JPH0970783A - 吸着装置 - Google Patents
吸着装置Info
- Publication number
- JPH0970783A JPH0970783A JP7228759A JP22875995A JPH0970783A JP H0970783 A JPH0970783 A JP H0970783A JP 7228759 A JP7228759 A JP 7228759A JP 22875995 A JP22875995 A JP 22875995A JP H0970783 A JPH0970783 A JP H0970783A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- crystal display
- liquid crystal
- display device
- adsorption
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 搬送装置における搬送物を吸着する吸着装置
において、搬送物を吸着する際に吸着力は低下させず
に、吸着部へ引き込まれ歪等の変形を発生させないよう
にする吸着装置を提供すること。 【解決手段】 液晶表示装置１３の画像表示面を吸着す
る搬送アーム１２の吸着部には、表面に微小穴を持ち通
気性のある金属焼結品１０があり、該金属焼結材１０の
表面と該金属焼結材１０の周辺の搬送アーム１２の表面
は表面精度１０μｍの同一平面になるように形成されて
おり、該平面上に液晶表示装置１３の画像表示面をぴた
りと重ね合わせて吸着する。
において、搬送物を吸着する際に吸着力は低下させず
に、吸着部へ引き込まれ歪等の変形を発生させないよう
にする吸着装置を提供すること。 【解決手段】 液晶表示装置１３の画像表示面を吸着す
る搬送アーム１２の吸着部には、表面に微小穴を持ち通
気性のある金属焼結品１０があり、該金属焼結材１０の
表面と該金属焼結材１０の周辺の搬送アーム１２の表面
は表面精度１０μｍの同一平面になるように形成されて
おり、該平面上に液晶表示装置１３の画像表示面をぴた
りと重ね合わせて吸着する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、吸着装置に関し、
より詳細には、液晶表示装置の画像表示面等を吸着して
搬送するのに好適な吸着装置に関する。
より詳細には、液晶表示装置の画像表示面等を吸着して
搬送するのに好適な吸着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、表面ガラス、偏光板、液晶、Ｔ
ＦＴ基板等の積層よりなる液晶表示装置の製造工程、検
査工程、修正工程等に使用する搬送装置において、液晶
表示装置の画像表示面を真空圧力にて吸着する吸着装置
が使われている。この吸着装置の吸着部そのものは、円
形や溝状の空洞になっている穴や、吸着部にゴム製吸着
パッドを使用しているものがあるが、これら吸着部の形
状や材質は、主に吸着ミスへの対応が中心のものであ
り、画像表示面を吸着する際に発生する可能性がある不
具合を生じる原因により、表示不良がもたらされる該原
因の発生に対する対策を実施したものではない。
ＦＴ基板等の積層よりなる液晶表示装置の製造工程、検
査工程、修正工程等に使用する搬送装置において、液晶
表示装置の画像表示面を真空圧力にて吸着する吸着装置
が使われている。この吸着装置の吸着部そのものは、円
形や溝状の空洞になっている穴や、吸着部にゴム製吸着
パッドを使用しているものがあるが、これら吸着部の形
状や材質は、主に吸着ミスへの対応が中心のものであ
り、画像表示面を吸着する際に発生する可能性がある不
具合を生じる原因により、表示不良がもたらされる該原
因の発生に対する対策を実施したものではない。
【０００３】上記の液晶表示装置の自動組立機での搬送
を例に取った場合、液晶表示装置の搬送位置に高精度を
求めることが多いため、搬送中に、位置ズレが起きない
ように吸着装置の吸着力を高くする必要がある。具体的
には吸着部の吸着穴の穴径を大きくし、液晶表示装置に
対する吸着面積を大きくしている。その結果、吸着され
る表面ガラス等は吸着装置に接触する面積が少なくな
り、吸着力に耐えられず、画像表示面の最表面である表
面ガラスや、内部の幾つかの層が吸着穴径部分に引き込
まれ画像表示面が歪むことになり、その影響で表示不
良、例えば、セル厚ムラやニュートンリング等が発生す
る可能性がある。また、吸着部の形状が溝式のものでも
同様の思想で製作した場合、液晶表示装置に表示不良が
発生する可能性が高い。そして、従来、実際に表示不良
が発生する場合には、表示不良対策としては、吸着部の
形状はそのままで、表示不良の発生具合を評価しなが
ら、同時に液晶表示装置の吸着具合にも注意しながら、
吸着力を低下させていく。
を例に取った場合、液晶表示装置の搬送位置に高精度を
求めることが多いため、搬送中に、位置ズレが起きない
ように吸着装置の吸着力を高くする必要がある。具体的
には吸着部の吸着穴の穴径を大きくし、液晶表示装置に
対する吸着面積を大きくしている。その結果、吸着され
る表面ガラス等は吸着装置に接触する面積が少なくな
り、吸着力に耐えられず、画像表示面の最表面である表
面ガラスや、内部の幾つかの層が吸着穴径部分に引き込
まれ画像表示面が歪むことになり、その影響で表示不
良、例えば、セル厚ムラやニュートンリング等が発生す
る可能性がある。また、吸着部の形状が溝式のものでも
同様の思想で製作した場合、液晶表示装置に表示不良が
発生する可能性が高い。そして、従来、実際に表示不良
が発生する場合には、表示不良対策としては、吸着部の
形状はそのままで、表示不良の発生具合を評価しなが
ら、同時に液晶表示装置の吸着具合にも注意しながら、
吸着力を低下させていく。
【０００４】この時、自動搬送装置の吸着部について、
表示不良対策のみを考慮して吸着力を低下させすぎた場
合、吸着力が弱いために搬送中に吸着部上で液晶表示装
置が位置ズレを起こし、搬送位置精度の低下を招くこと
になる。よって、高い吸着力で吸着しても、表示不良を
発生させない吸着装置が必要となる。
表示不良対策のみを考慮して吸着力を低下させすぎた場
合、吸着力が弱いために搬送中に吸着部上で液晶表示装
置が位置ズレを起こし、搬送位置精度の低下を招くこと
になる。よって、高い吸着力で吸着しても、表示不良を
発生させない吸着装置が必要となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述の従来
技術における問題点に鑑みてなされたもので、吸着力は
低下させずに、液晶表示装置等の搬送物の吸着部にある
表面ガラス等の吸着される所が吸着部へ引き込まれるこ
となく、歪等の変形を起こすことのない吸着装置を提供
することをその課題とするものである。
技術における問題点に鑑みてなされたもので、吸着力は
低下させずに、液晶表示装置等の搬送物の吸着部にある
表面ガラス等の吸着される所が吸着部へ引き込まれるこ
となく、歪等の変形を起こすことのない吸着装置を提供
することをその課題とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、請求項１に記載の発明は、搬送装置に設
け、ポンプ等の吸引によって搬送物を吸着する吸着部を
備えた吸着装置において、前記吸着部を焼結材とし、該
吸着装置の吸着部は、表面に無数の微小穴を持ち、通気
性のある焼結材で搬送物を吸着するようにし、局部に吸
引力が集中しないようにして搬送物を変形させないよう
にしたものである。
決するために、請求項１に記載の発明は、搬送装置に設
け、ポンプ等の吸引によって搬送物を吸着する吸着部を
備えた吸着装置において、前記吸着部を焼結材とし、該
吸着装置の吸着部は、表面に無数の微小穴を持ち、通気
性のある焼結材で搬送物を吸着するようにし、局部に吸
引力が集中しないようにして搬送物を変形させないよう
にしたものである。
【０００７】請求項２に記載の発明は、請求項１におい
て、前記搬送装置における搬送アームに前記ポンプにつ
ながる吸引流路、及び、前記吸引流路端に開口する穴を
形成し、前記穴に前記焼結材をはめこみ、搬送装置に設
けた吸着装置として搬送物を吸着後、搬送するといった
動作を行なうことを可能とする装置の具体化手段を提供
するものである。
て、前記搬送装置における搬送アームに前記ポンプにつ
ながる吸引流路、及び、前記吸引流路端に開口する穴を
形成し、前記穴に前記焼結材をはめこみ、搬送装置に設
けた吸着装置として搬送物を吸着後、搬送するといった
動作を行なうことを可能とする装置の具体化手段を提供
するものである。
【０００８】請求項３に記載の発明は、請求項２におい
て、前記搬送アームにおける前記吸着部の表面と該吸着
部の表面周辺の搬送アームの表面は、同一平面になるよ
うに成され、搬送物の吸着する面に凹凸や歪みを発生さ
せることを一層少なくするようにしたものである。
て、前記搬送アームにおける前記吸着部の表面と該吸着
部の表面周辺の搬送アームの表面は、同一平面になるよ
うに成され、搬送物の吸着する面に凹凸や歪みを発生さ
せることを一層少なくするようにしたものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は、本発明を説明するための
一実施の形態を示す液晶表示装置用搬送アームの吸着部
の斜視図で、図中、１０は金属焼結材、１１は液晶表示
装置認識用光学センサ、１２は搬送アームである。図２
は、搬送アーム１２の断面図である。金属焼結材１０
は、ポンプにつながる吸引流路端に開口する穴に埋め込
まれている。この金属焼結材１０は、内部がメッシュ構
造になっているため、内部に無数の毛細管があり、さら
に、焼結材の表面にあらわれる穴径は３０μｍ程度まで
細かくすることができ、通気性があるために、従来、い
ろいろな流体中のゴミの除去や固形成分の回収、混合な
どの目的に用いられているものである。
一実施の形態を示す液晶表示装置用搬送アームの吸着部
の斜視図で、図中、１０は金属焼結材、１１は液晶表示
装置認識用光学センサ、１２は搬送アームである。図２
は、搬送アーム１２の断面図である。金属焼結材１０
は、ポンプにつながる吸引流路端に開口する穴に埋め込
まれている。この金属焼結材１０は、内部がメッシュ構
造になっているため、内部に無数の毛細管があり、さら
に、焼結材の表面にあらわれる穴径は３０μｍ程度まで
細かくすることができ、通気性があるために、従来、い
ろいろな流体中のゴミの除去や固形成分の回収、混合な
どの目的に用いられているものである。
【００１０】本発明の実施の形態において、吸着部の焼
結材はステンレス焼結材を使用した。ステンレス焼結材
の仕様としては、粒径φ０．３ｍｍの球体粉焼結体、開
口率１５％以上、空隙率３０％、密度５．７ｇ／ｃｍ3
のものである。図２に示したように、金属焼結材１０
は、吸着部が設けられる穴（吸引口）に隙間なく合うよ
うに表面精度１０μｍで加工され、更に、搬送アーム本
体１２の表面と吸着部の表面とは表面精度が１０μｍの
精度になるように埋め込まれている。そして、金属焼結
材１０の表面と液晶表示装置１３の画像表示面とをぴた
りと重ね合わせ、金属焼結材１０の表面に歪みなど発生
させなくし、焼結材の表面の無数にある微小穴によっ
て、液晶表示装置１３を吸着している。なお、本発明に
使用する焼結材は、金属焼結材に限るものでなく、セラ
ミックス、樹脂等を用いた焼結材でもよい。
結材はステンレス焼結材を使用した。ステンレス焼結材
の仕様としては、粒径φ０．３ｍｍの球体粉焼結体、開
口率１５％以上、空隙率３０％、密度５．７ｇ／ｃｍ3
のものである。図２に示したように、金属焼結材１０
は、吸着部が設けられる穴（吸引口）に隙間なく合うよ
うに表面精度１０μｍで加工され、更に、搬送アーム本
体１２の表面と吸着部の表面とは表面精度が１０μｍの
精度になるように埋め込まれている。そして、金属焼結
材１０の表面と液晶表示装置１３の画像表示面とをぴた
りと重ね合わせ、金属焼結材１０の表面に歪みなど発生
させなくし、焼結材の表面の無数にある微小穴によっ
て、液晶表示装置１３を吸着している。なお、本発明に
使用する焼結材は、金属焼結材に限るものでなく、セラ
ミックス、樹脂等を用いた焼結材でもよい。
【００１１】図３は、１０インチの液晶表示装置を図１
に示した搬送アーム１２にて吸着している状態を示す斜
視図で、図中、１３は液晶表示装置である。本発明の実
施の形態では、図１に示した搬送アーム１２の吸着部に
て１０インチの液晶表示装置１３を−６７０ｍｍＨｇ／
ｃｍ2の真空圧力にて、１，３，５，１０，３０，６０
分間のそれぞれの時間だけ吸着を実施した後、表示不良
の発生の有無を確認した。その結果、６０分間吸着を実
施したものでも、表示不良は発生していなかった。な
お、通常、搬送装置の搬送時間は、ロード、アンロード
合わせて１分程度である。
に示した搬送アーム１２にて吸着している状態を示す斜
視図で、図中、１３は液晶表示装置である。本発明の実
施の形態では、図１に示した搬送アーム１２の吸着部に
て１０インチの液晶表示装置１３を−６７０ｍｍＨｇ／
ｃｍ2の真空圧力にて、１，３，５，１０，３０，６０
分間のそれぞれの時間だけ吸着を実施した後、表示不良
の発生の有無を確認した。その結果、６０分間吸着を実
施したものでも、表示不良は発生していなかった。な
お、通常、搬送装置の搬送時間は、ロード、アンロード
合わせて１分程度である。
【００１２】
【発明の効果】本発明では、吸着部に微小穴が無数にあ
り通気性のある焼結材を使い、局部に吸引力が集中する
のを防ぎ、搬送物を変形させることがない。また、吸着
部分に表面精度が出ている焼結材を使用し、吸着する搬
送物表面にぴたりと重ね合わせることで、一層、吸着時
の搬送物表面の引き込みによる変形や歪みは発生しな
い。また、搬送物として液晶表示装置を対象とする場合
に、−６７０ｍｍＨｇ／ｃｍ2程度の強い真空圧力に
て、通常の搬送時間の数十倍にあたる１時間程度吸着し
ても、歪みを生じるような変形が起こらず表示不良が発
生しないため、液晶表示装置製造過程にて表示不良につ
いての判定工程が必要ない。このため、液晶表示装置の
製造コストの低減も図ることができる。
り通気性のある焼結材を使い、局部に吸引力が集中する
のを防ぎ、搬送物を変形させることがない。また、吸着
部分に表面精度が出ている焼結材を使用し、吸着する搬
送物表面にぴたりと重ね合わせることで、一層、吸着時
の搬送物表面の引き込みによる変形や歪みは発生しな
い。また、搬送物として液晶表示装置を対象とする場合
に、−６７０ｍｍＨｇ／ｃｍ2程度の強い真空圧力に
て、通常の搬送時間の数十倍にあたる１時間程度吸着し
ても、歪みを生じるような変形が起こらず表示不良が発
生しないため、液晶表示装置製造過程にて表示不良につ
いての判定工程が必要ない。このため、液晶表示装置の
製造コストの低減も図ることができる。
【図１】 本発明を説明するための一実施の形態を示す
液晶表示装置用搬送アームの吸着部の斜視図である。
液晶表示装置用搬送アームの吸着部の斜視図である。
【図２】 搬送アーム１２の断面図である。
【図３】 １０インチの液晶表示装置を図１の搬送アー
ム１２にて吸着している状態を示す斜視図である。
ム１２にて吸着している状態を示す斜視図である。
１０…金属焼結材、１１…液晶表示装置認識用光学セン
サ、１２…搬送アーム、１３…液晶表示装置。
サ、１２…搬送アーム、１３…液晶表示装置。
Claims (3)
- 【請求項１】 搬送装置に設け、ポンプ等の吸引によっ
て搬送物を吸着する吸着部を備えた吸着装置において、
前記吸着部を焼結材としたことを特徴とする吸着装置。 - 【請求項２】 前記搬送装置における搬送アームに前記
ポンプにつながる吸引流路、及び、前記吸引流路端に開
口する穴を形成し、前記穴に前記焼結材をはめこんだこ
とを特徴とする請求項１に記載の吸着装置。 - 【請求項３】 前記搬送アームにおける前記吸着部の表
面と該吸着部の表面周辺の搬送アームの表面は、同一平
面になるように成されたことを特徴とする請求項２に記
載の吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7228759A JPH0970783A (ja) | 1995-09-06 | 1995-09-06 | 吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7228759A JPH0970783A (ja) | 1995-09-06 | 1995-09-06 | 吸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0970783A true JPH0970783A (ja) | 1997-03-18 |
Family
ID=16881389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7228759A Pending JPH0970783A (ja) | 1995-09-06 | 1995-09-06 | 吸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0970783A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04272027A (ja) * | 1991-02-27 | 1992-09-28 | Sharp Corp | 吸着ハンドラ |
| JPH0516088A (ja) * | 1991-07-11 | 1993-01-26 | Nec Corp | 吸着保持具 |
| JPH0556393U (ja) * | 1992-01-08 | 1993-07-27 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 自動基板裁断装置の搬送機 |
-
1995
- 1995-09-06 JP JP7228759A patent/JPH0970783A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04272027A (ja) * | 1991-02-27 | 1992-09-28 | Sharp Corp | 吸着ハンドラ |
| JPH0516088A (ja) * | 1991-07-11 | 1993-01-26 | Nec Corp | 吸着保持具 |
| JPH0556393U (ja) * | 1992-01-08 | 1993-07-27 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 自動基板裁断装置の搬送機 |
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