JPH0967173A - 多孔性アルミナチューブの製造方法 - Google Patents
多孔性アルミナチューブの製造方法Info
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- JPH0967173A JPH0967173A JP7245209A JP24520995A JPH0967173A JP H0967173 A JPH0967173 A JP H0967173A JP 7245209 A JP7245209 A JP 7245209A JP 24520995 A JP24520995 A JP 24520995A JP H0967173 A JPH0967173 A JP H0967173A
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Classifications
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- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
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- B01D71/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
- B01D71/02—Inorganic material
- B01D71/024—Oxides
- B01D71/025—Aluminium oxide
-
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D11/00—Electrolytic coating by surface reaction, i.e. forming conversion layers
- C25D11/02—Anodisation
- C25D11/04—Anodisation of aluminium or alloys based thereon
-
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 陽極酸化法を利用して均一な形状および径を
有する一次元状の細孔を持つ多孔性アルミナチューブの
製造方法を提供する。 【解決手段】 アルミニウムチューブの外側を陽極酸化
する工程と、前記陽極酸化後のアルミニウムチューブの
内側を除去する工程とを具備したことを特徴とするを特
徴としている。
有する一次元状の細孔を持つ多孔性アルミナチューブの
製造方法を提供する。 【解決手段】 アルミニウムチューブの外側を陽極酸化
する工程と、前記陽極酸化後のアルミニウムチューブの
内側を除去する工程とを具備したことを特徴とするを特
徴としている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、多孔性アルミナチ
ューブの製造方法に関する。
ューブの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】膜を使用するガス分離は、相変化を伴わ
ないので非常にエネルギー消費を低く抑えることができ
るため、大きな関心を集めている。また、前記膜に触媒
機能を付加させることによって反応と分離を同時に行う
ことが可能である。つまり、メンブレンリアクターとし
て用いることが可能になる。
ないので非常にエネルギー消費を低く抑えることができ
るため、大きな関心を集めている。また、前記膜に触媒
機能を付加させることによって反応と分離を同時に行う
ことが可能である。つまり、メンブレンリアクターとし
て用いることが可能になる。
【０００３】現在、多種多様な膜が開発され、かつ市販
され、有機ポリマー材料と無機材料からなる膜が代表的
である。反応を行うときには、加熱することがしばしば
必要であるため、無機膜の方がポリマー膜よりも高温で
の使用に耐え得る。実施に当たっては、膜をモジュール
化する必要があるが、無機膜は柔軟性に欠けるためにチ
ューブ状のものが平板タイプよりも実用的である。
され、有機ポリマー材料と無機材料からなる膜が代表的
である。反応を行うときには、加熱することがしばしば
必要であるため、無機膜の方がポリマー膜よりも高温で
の使用に耐え得る。実施に当たっては、膜をモジュール
化する必要があるが、無機膜は柔軟性に欠けるためにチ
ューブ状のものが平板タイプよりも実用的である。
【０００４】従来のアルミナチューブは、主にα−アル
ミナ粉末をチューブ状に成形した後、熱処理する方法、
またはα−アルミナチューブの表面にγ−アルミナをコ
ーティングする方法、により製造されている。
ミナ粉末をチューブ状に成形した後、熱処理する方法、
またはα−アルミナチューブの表面にγ−アルミナをコ
ーティングする方法、により製造されている。
【０００５】しかしながら、前記方法により製造された
アルミナチューブは細孔の形状が均一でなく、しかも細
孔の分布が大きいという問題がある。ガス分離を行う場
合には、アルミナチューブの細孔形状および径が揃って
いる方が選択性の制御が容易になる。したがって、細孔
の形状、径が揃った多孔質チューブの出現が要望されて
いる。細孔の形状、径が揃った代表的な膜としては、陽
極酸化法によるアルミナ膜がよく知られている。このア
ルミナ膜は、細孔が膜面に対して垂直に形成され、かつ
揃った径（５〜２００ｎｍ）で一次元的に配列されてい
るものの、平板タイプに限られているのが現状である。
アルミナチューブは細孔の形状が均一でなく、しかも細
孔の分布が大きいという問題がある。ガス分離を行う場
合には、アルミナチューブの細孔形状および径が揃って
いる方が選択性の制御が容易になる。したがって、細孔
の形状、径が揃った多孔質チューブの出現が要望されて
いる。細孔の形状、径が揃った代表的な膜としては、陽
極酸化法によるアルミナ膜がよく知られている。このア
ルミナ膜は、細孔が膜面に対して垂直に形成され、かつ
揃った径（５〜２００ｎｍ）で一次元的に配列されてい
るものの、平板タイプに限られているのが現状である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、陽極酸化法
を利用して均一な形状および径を有する一次元状の細孔
を持つ多孔性アルミナチューブの製造方法を提供するも
のである。
を利用して均一な形状および径を有する一次元状の細孔
を持つ多孔性アルミナチューブの製造方法を提供するも
のである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明に係わる多孔性ア
ルミナチューブの製造方法は、アルミニウムチューブの
外側を陽極酸化する工程と、前記陽極酸化後のアルミニ
ウムチューブの内側を除去する工程とを具備したことを
特徴とするものである。
ルミナチューブの製造方法は、アルミニウムチューブの
外側を陽極酸化する工程と、前記陽極酸化後のアルミニ
ウムチューブの内側を除去する工程とを具備したことを
特徴とするものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係わる多孔性アル
ミナチューブの製造方法を詳細に説明する。
ミナチューブの製造方法を詳細に説明する。
【０００９】（第１工程）図１は、陽極酸化装置に示す
概略図である。図１に示すように電解液１が収容された
容器２内に脱脂、水洗等を施したアルミニウムチューブ
３を浸漬する。なお、前記アルミニウムチューブ３の内
側に電解液１が侵入してその内面までも陽極酸化される
のを防ぐために前記チューブ３の下端にキャップ４を取
り付ける。つづいて、前記アルミニウムチューブ３の外
周を囲むように大口径のアルミニウムチューブ５を前記
電解液１に浸漬する。ひきつづき、前記キャップ４が取
り付けられたアルミニウムチューブ３を陽極とし、前記
大口径のアルミニウムチューブ５を陰極とし、前記電解
液１を前記容器２の底部に配置されたマグネチックスタ
ラー６で撹拌しながら陽極酸化処理を行った。この陽極
酸化処理により被処理物である前記キャップ４が取り付
けられたアルミニウムチューブ３の外側のみが陽極酸化
される。
概略図である。図１に示すように電解液１が収容された
容器２内に脱脂、水洗等を施したアルミニウムチューブ
３を浸漬する。なお、前記アルミニウムチューブ３の内
側に電解液１が侵入してその内面までも陽極酸化される
のを防ぐために前記チューブ３の下端にキャップ４を取
り付ける。つづいて、前記アルミニウムチューブ３の外
周を囲むように大口径のアルミニウムチューブ５を前記
電解液１に浸漬する。ひきつづき、前記キャップ４が取
り付けられたアルミニウムチューブ３を陽極とし、前記
大口径のアルミニウムチューブ５を陰極とし、前記電解
液１を前記容器２の底部に配置されたマグネチックスタ
ラー６で撹拌しながら陽極酸化処理を行った。この陽極
酸化処理により被処理物である前記キャップ４が取り付
けられたアルミニウムチューブ３の外側のみが陽極酸化
される。
【００１０】前記電解液としては、例えば所望の濃度に
希釈されたシュウ酸溶液が用いられる。
希釈されたシュウ酸溶液が用いられる。
【００１１】前記キャップは、例えばシリコンゴム等の
絶縁材料から形成される。
絶縁材料から形成される。
【００１２】前記陽極酸化処理において、前記陽極、陰
極に接続される直流電源発生装置により電流値を調節す
ることにより、前記アルミニウムチューブ３の外側に形
成された酸化膜の厚さおよび膜質を制御することが可能
である。
極に接続される直流電源発生装置により電流値を調節す
ることにより、前記アルミニウムチューブ３の外側に形
成された酸化膜の厚さおよび膜質を制御することが可能
である。
【００１３】なお、前記アルミニウムチューブはその応
力を除去するために５００℃のような比較的高い温度で
熱処理されることを許容する。
力を除去するために５００℃のような比較的高い温度で
熱処理されることを許容する。
【００１４】（第２工程）前記第１工程で陽極酸化処理
したキャップ付きアルミニウムチューブを前記電解液か
ら取り出し、キャップを外す。つづいて、蒸留水等で洗
浄した後、陽極酸化されずに残存したアルミニウム部分
を除去するために前記アルミニウムチューブの内側に酸
性溶液を流通させる。さらに、酸化層とアルミニウム部
分の境界に生成されたバリア層を除去するために別の酸
性溶液を前記アルミニウムチューブの内側に酸性溶液を
流通させる。このような残存アルミニウムおよびバリア
層の除去により残存した陽極酸化部分からなる多孔性ア
ルミナチューブが製造される。
したキャップ付きアルミニウムチューブを前記電解液か
ら取り出し、キャップを外す。つづいて、蒸留水等で洗
浄した後、陽極酸化されずに残存したアルミニウム部分
を除去するために前記アルミニウムチューブの内側に酸
性溶液を流通させる。さらに、酸化層とアルミニウム部
分の境界に生成されたバリア層を除去するために別の酸
性溶液を前記アルミニウムチューブの内側に酸性溶液を
流通させる。このような残存アルミニウムおよびバリア
層の除去により残存した陽極酸化部分からなる多孔性ア
ルミナチューブが製造される。
【００１５】前記残存アルミニウムを除去するためにア
ルミニウムチューブの内側に流通させる酸性溶液として
は、例えば所望の濃度に希釈された塩酸（ＨＣｌ）水溶
液を用いることができる。
ルミニウムチューブの内側に流通させる酸性溶液として
は、例えば所望の濃度に希釈された塩酸（ＨＣｌ）水溶
液を用いることができる。
【００１６】前記バリア層除去するためにアルミニウム
チューブの内側に流通させる酸性溶液としては、例えば
所望の濃度に希釈されたリン酸（Ｈ3 ＰＯ4 ）水溶液の
ようなリン酸系溶液を用いることができる。
チューブの内側に流通させる酸性溶液としては、例えば
所望の濃度に希釈されたリン酸（Ｈ3 ＰＯ4 ）水溶液の
ようなリン酸系溶液を用いることができる。
【００１７】以上説明した本発明によれば、アルミニウ
ムチューブの外側を陽極酸化することにより均一な形状
および径を持つ細孔を有する陽極酸化層が外側に形成さ
れ、しかる後、前記アルミニウムチューブの内側を除去
することによって、残存した陽極酸化部分からなる多孔
性アルミナチューブを再現性よく製造することができ
る。この多孔性アルミナチューブは、細孔が外周面に対
して垂直に形成され、かつ揃った径（５〜２００ｎｍ）
で一次元的に配列されているため、ガス分離チューブ、
限外濾過用チューブ、メンブレンリアクター等に有効に
利用することができる。
ムチューブの外側を陽極酸化することにより均一な形状
および径を持つ細孔を有する陽極酸化層が外側に形成さ
れ、しかる後、前記アルミニウムチューブの内側を除去
することによって、残存した陽極酸化部分からなる多孔
性アルミナチューブを再現性よく製造することができ
る。この多孔性アルミナチューブは、細孔が外周面に対
して垂直に形成され、かつ揃った径（５〜２００ｎｍ）
で一次元的に配列されているため、ガス分離チューブ、
限外濾過用チューブ、メンブレンリアクター等に有効に
利用することができる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明の実施例を前述した図１を参照
して詳細に説明する。
して詳細に説明する。
【００１９】まず、長さ５０ｍｍ、外径２ｍｍ、壁厚
０．２ｍｍ、純度９９．５％のアルミニウムチューブを
出発物質として用意した。前記チューブの応力を除くた
めに空気中、５００℃で２時間熱処理した。つづいて、
前記チューブをアセトンで脱脂し、水洗した。ひきつづ
き、図１に示すように４重量％濃度のシュウ酸からなる
電解液１が収容された容器２内に前記脱脂、水洗等を施
したアルミニウムチューブ３を浸漬した。なお、前記ア
ルミニウムチューブ３の内側に電解液１が侵入してその
内面までも陽極酸化されるのを防ぐために前記チューブ
３の下端にシリコンキャップ４を取り付けた。次いで、
前記アルミニウムチューブ３の外周を囲むように直径３
０ｍｍのアルミニウムチューブ５を前記電解液１に浸漬
した。前記キャップ４が取り付けられたアルミニウムチ
ューブ３を陽極とし、前記大口径のアルミニウムチュー
ブ５を陰極として直流電源発生装置に接続し、前記電解
液１を前記容器２の底部に配置されたマグネチックスタ
ラー６で撹拌しながら前記アルミニウムチューブ３の外
側のみを陽極酸化処理を行った。この陽極酸化処理にお
いて、電流密度を前記アルミニウムチューブ３の外表面
に対して２０ｍＡ／ｃｍ2 の一定とし、室温で２時間電
流を流した。この間、電圧は５０Ｖから９０Ｖに増加し
た。その後、９０Ｖの定電圧で３０時間流した。
０．２ｍｍ、純度９９．５％のアルミニウムチューブを
出発物質として用意した。前記チューブの応力を除くた
めに空気中、５００℃で２時間熱処理した。つづいて、
前記チューブをアセトンで脱脂し、水洗した。ひきつづ
き、図１に示すように４重量％濃度のシュウ酸からなる
電解液１が収容された容器２内に前記脱脂、水洗等を施
したアルミニウムチューブ３を浸漬した。なお、前記ア
ルミニウムチューブ３の内側に電解液１が侵入してその
内面までも陽極酸化されるのを防ぐために前記チューブ
３の下端にシリコンキャップ４を取り付けた。次いで、
前記アルミニウムチューブ３の外周を囲むように直径３
０ｍｍのアルミニウムチューブ５を前記電解液１に浸漬
した。前記キャップ４が取り付けられたアルミニウムチ
ューブ３を陽極とし、前記大口径のアルミニウムチュー
ブ５を陰極として直流電源発生装置に接続し、前記電解
液１を前記容器２の底部に配置されたマグネチックスタ
ラー６で撹拌しながら前記アルミニウムチューブ３の外
側のみを陽極酸化処理を行った。この陽極酸化処理にお
いて、電流密度を前記アルミニウムチューブ３の外表面
に対して２０ｍＡ／ｃｍ2 の一定とし、室温で２時間電
流を流した。この間、電圧は５０Ｖから９０Ｖに増加し
た。その後、９０Ｖの定電圧で３０時間流した。
【００２０】陽極酸化処理を終了した後、前記キャップ
４を外し、蒸留水で水洗した。つづいて、陽極されずに
残存したアルミニウム部分を除去するために前記アルミ
ニウムチューブの内側に１０重量％濃度の塩酸水溶液を
流通させた。さらに、陽極酸化層と前記アルミニウム部
分の境界に生成されたバリア層を除去するために４重量
％濃度のリン酸を前記アルミニウムチューブの内側に酸
性溶液を流通させる。このような残存アルミニウムおよ
びバリア層の除去により残存した陽極酸化部分からなる
多孔性アルミナチューブが得られた。
４を外し、蒸留水で水洗した。つづいて、陽極されずに
残存したアルミニウム部分を除去するために前記アルミ
ニウムチューブの内側に１０重量％濃度の塩酸水溶液を
流通させた。さらに、陽極酸化層と前記アルミニウム部
分の境界に生成されたバリア層を除去するために４重量
％濃度のリン酸を前記アルミニウムチューブの内側に酸
性溶液を流通させる。このような残存アルミニウムおよ
びバリア層の除去により残存した陽極酸化部分からなる
多孔性アルミナチューブが得られた。
【００２１】得られた多孔性アルミナチューブを走査型
電子顕微鏡（ＳＥＭ）により調べた。その結果を図２に
示す。図２の（ａ）は多孔性アルミナチューブの外表面
付近の断面ＳＥＭ写真、（ｂ）は同アルミナチューブの
内側表面付近の断面ＳＥＭ写真、（ｃ）は同アルミナチ
ューブの中間付近の断面ＳＥＭ写真、（ｄ）は同アルミ
ナチューブの外側表面のＳＥＭ写真、（ｅ）は同アルミ
ナチューブの内側表面のＳＥＭ写真、である。
電子顕微鏡（ＳＥＭ）により調べた。その結果を図２に
示す。図２の（ａ）は多孔性アルミナチューブの外表面
付近の断面ＳＥＭ写真、（ｂ）は同アルミナチューブの
内側表面付近の断面ＳＥＭ写真、（ｃ）は同アルミナチ
ューブの中間付近の断面ＳＥＭ写真、（ｄ）は同アルミ
ナチューブの外側表面のＳＥＭ写真、（ｅ）は同アルミ
ナチューブの内側表面のＳＥＭ写真、である。
【００２２】図２の（ａ）、（ｄ）から明らかなように
得られた多孔性アルミナチューブはその外側表面が平滑
ではなく、粗悪であるものの、図２の（ｂ）、（ｅ）に
示すようにその内側表面では比較的滑らかで直径１５０
ｎｍの円形の細孔が見られることがわかる。また、図２
の（ｃ）に示すようにアルミナチューブの断面形態は表
面に近い部分を除くと細孔が一次元的に伸びていること
がわかる。
得られた多孔性アルミナチューブはその外側表面が平滑
ではなく、粗悪であるものの、図２の（ｂ）、（ｅ）に
示すようにその内側表面では比較的滑らかで直径１５０
ｎｍの円形の細孔が見られることがわかる。また、図２
の（ｃ）に示すようにアルミナチューブの断面形態は表
面に近い部分を除くと細孔が一次元的に伸びていること
がわかる。
【００２３】また、得られた多孔性アルミナチューブに
ついて水素、ヘリウム、窒素、酸素および炭酸ガスの各
種ガスの透過性を調べた。その結果を図３に示す。図３
中の縦軸は流量に（ＭＴ）0.5 （ＭとＴはそれぞれ分子
量、温度である）を掛けたものである。ガス圧力に対す
る流量×（ＭＴ）0.5 の関係において、勾配が一定で、
分子による差異が見られないことから、主にクーヌセン
流によってガス透過が起きていると考えられ、チューブ
に大きなクラックはないことが示された。また、１ＭＰ
ａの差圧を加えても漏れはなく、ガス分離やメンブレン
リアクターとしての利用が可能であることがわかる。
ついて水素、ヘリウム、窒素、酸素および炭酸ガスの各
種ガスの透過性を調べた。その結果を図３に示す。図３
中の縦軸は流量に（ＭＴ）0.5 （ＭとＴはそれぞれ分子
量、温度である）を掛けたものである。ガス圧力に対す
る流量×（ＭＴ）0.5 の関係において、勾配が一定で、
分子による差異が見られないことから、主にクーヌセン
流によってガス透過が起きていると考えられ、チューブ
に大きなクラックはないことが示された。また、１ＭＰ
ａの差圧を加えても漏れはなく、ガス分離やメンブレン
リアクターとしての利用が可能であることがわかる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば陽
極酸化法を利用して均一な形状および径を持つ細孔が一
次元的に配列されたガス分離チューブ、限外濾過用チュ
ーブ、メンブレンリアクター等に有用な多孔性アルミナ
チューブを簡単かつ再現性よく製造することができる方
法を提供できる。
極酸化法を利用して均一な形状および径を持つ細孔が一
次元的に配列されたガス分離チューブ、限外濾過用チュ
ーブ、メンブレンリアクター等に有用な多孔性アルミナ
チューブを簡単かつ再現性よく製造することができる方
法を提供できる。
【図１】本発明に係わる多孔性アルミナチューブを得る
ための陽極酸化装置を示す概略図。
ための陽極酸化装置を示す概略図。
【図２】本発明の実施例で得られた多孔性アルミナチュ
ーブのＳＥＭ写真。
ーブのＳＥＭ写真。
【図３】本発明の実施例で得られた多孔性アルミナチュ
ーブの各種ガスの透過性を説明するための特性図。
ーブの各種ガスの透過性を説明するための特性図。
１…電解液、３…アルミニウムチューブ（陽極）、４…
キャップ、５…アルミニウムチューブ（陰極）。
キャップ、５…アルミニウムチューブ（陰極）。
Claims (3)
- 【請求項１】 アルミニウムチューブの外側を陽極酸化
する工程と、 前記陽極酸化後のアルミニウムチューブの内側を除去す
る工程とを具備したことを特徴とする多孔性アルミナチ
ューブの製造方法。 - 【請求項２】 前記アルミニウムチューブの外側の陽極
酸化は、前記アルミニウムチューブの一端にキャップを
取り付け、電解液に前記キャップ側が下端になるように
浸漬して陽極酸化処理することによりなされることを特
徴とする請求項１記載の多孔性アルミナチューブの製造
方法。 - 【請求項３】 前記陽極酸化後のアルミニウムチューブ
の内側の除去は、前記アルミニウムチューブの内側に酸
性溶液を流通させることによりなされることを特徴とす
る請求項１記載の多孔性アルミナチューブの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7245209A JPH0967173A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 多孔性アルミナチューブの製造方法 |
| US08/703,032 US5693210A (en) | 1995-08-31 | 1996-08-26 | Method of manufacturing porous alumina tube |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7245209A JPH0967173A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 多孔性アルミナチューブの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0967173A true JPH0967173A (ja) | 1997-03-11 |
Family
ID=17130257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7245209A Pending JPH0967173A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 多孔性アルミナチューブの製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5693210A (ja) |
| JP (1) | JPH0967173A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101340933B1 (ko) * | 2010-02-08 | 2013-12-13 | 후지필름 가부시키가이샤 | 절연층을 가진 금속 기판과 그 제조방법, 반도체 디바이스와 그 제조방법, 태양 전지와 그 제조방법, 전자 회로와 그 제조방법, 및 발광 소자와 그 제조방법 |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6024774A (en) * | 1996-09-26 | 2000-02-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Chemical reaction apparatus and method of collecting main product gas |
| DE10154756C1 (de) * | 2001-07-02 | 2002-11-21 | Alcove Surfaces Gmbh | Verwendung einer anodisch oxidierten Oberflächenschicht |
| US7066234B2 (en) | 2001-04-25 | 2006-06-27 | Alcove Surfaces Gmbh | Stamping tool, casting mold and methods for structuring a surface of a work piece |
| DE10020877C1 (de) * | 2000-04-28 | 2001-10-25 | Alcove Surfaces Gmbh | Prägewerkzeug, Verfahren zum Herstellen desselben, Verfahren zur Strukturierung einer Oberfläche eines Werkstücks und Verwendung einer anodisch oxidierten Oberflächenschicht |
| US6896483B2 (en) | 2001-07-02 | 2005-05-24 | Allison Advanced Development Company | Blade track assembly |
| US20030047505A1 (en) * | 2001-09-13 | 2003-03-13 | Grimes Craig A. | Tubular filter with branched nanoporous membrane integrated with a support and method of producing same |
| DE10240221A1 (de) * | 2002-08-28 | 2004-03-11 | G. Rau Gmbh & Co. Kg | Verfahren zum Herstellen dünner Präzisionsrohre |
| US20070119781A1 (en) * | 2005-10-03 | 2007-05-31 | Zhongping Huang | Apparatus and method for enhanced hemodialysis performance |
| US20080035568A1 (en) * | 2005-10-03 | 2008-02-14 | Zhongping Huang | Apparatus and Method for Filtering Fluids |
| JP2009050773A (ja) | 2007-08-24 | 2009-03-12 | Fujifilm Corp | クロスフロー型濾過方法およびクロスフロー型濾過器 |
| US8728681B2 (en) * | 2008-04-29 | 2014-05-20 | E.M.W. Energy Co., Ltd. | Inorganic conductive membrane, fuel cell containing the same, and method for manufacturing thereof |
| US20100116733A1 (en) * | 2008-11-12 | 2010-05-13 | Korea Electrotechnology Research Institute | Nanoporous oxide ceramic membranes of tubular and hollow fiber shape and method of making the same |
| TWI412459B (zh) * | 2009-12-08 | 2013-10-21 | Univ Nat Taiwan | The method of forming a roller for embossing |
| US20110275145A1 (en) * | 2010-05-04 | 2011-11-10 | Wei-Te Wu | Manufacturing method and structure of cell cryopreservation tube |
| JP5648660B2 (ja) * | 2012-09-10 | 2015-01-07 | 株式会社デンソー | アルミニウムの陽極酸化方法 |
| CN114232044A (zh) * | 2021-05-18 | 2022-03-25 | 西比里电机技术(苏州)有限公司 | 热电化学氧化夹具 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60177198A (ja) * | 1984-02-22 | 1985-09-11 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 薄膜状Ａｌ↓２Ｏ↓３多孔質体の製造方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3850762A (en) * | 1973-08-13 | 1974-11-26 | Boeing Co | Process for producing an anodic aluminum oxide membrane |
| GB8602582D0 (en) * | 1986-02-03 | 1986-03-12 | Alcan Int Ltd | Porous anodic aluminium oxide films |
| US5454924A (en) * | 1994-09-09 | 1995-10-03 | Agfa-Gevaert N.V. | Apparatus for the electrolytic recovery of silver from solutions containing silver |
-
1995
- 1995-08-31 JP JP7245209A patent/JPH0967173A/ja active Pending
-
1996
- 1996-08-26 US US08/703,032 patent/US5693210A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60177198A (ja) * | 1984-02-22 | 1985-09-11 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 薄膜状Ａｌ↓２Ｏ↓３多孔質体の製造方法 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5693210A (en) | 1997-12-02 |
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