JPH0964438A

JPH0964438A - 固体レーザ発振器

Info

Publication number: JPH0964438A
Application number: JP21621695A
Authority: JP
Inventors: Noboru Taguchi; 昇田口; Hideetsu Kudo; 秀悦工藤; Yoshikazu Suzuki; 良和鈴木
Original assignee: SEITAI HIKARI JOHO KENKYUSHO K; SEITAI HIKARI JOHO KENKYUSHO KK; NEC Corp
Current assignee: SEITAI HIKARI JOHO KENKYUSHO K; SEITAI HIKARI JOHO KENKYUSHO KK; NEC Corp
Priority date: 1995-08-24
Filing date: 1995-08-24
Publication date: 1997-03-07

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、例えばニオジウムヤグ（Ｎｄ：ＹＡ
Ｇ）結晶等の固体レーザ媒質を用いた固体レーザ発振器
に関し、従来と比べ大幅に高出力化する。【解決手段】励起光が入射され励起光のエネルギーによ
り励起されてレーザ光を発生する個体レーザ媒質と、そ
の固体レーザ媒質の一端側に配備された、励起光を透過
するとともに固体レーザ媒質で発生したレーザ光を反射
する第１の反射ミラーとを有する単位構成体を複数個備
え、これら複数個の単位構成体が、これら複数個の単位
構成体のうちのある１つの単位構成体を構成する固体レ
ーザ媒質に入射したレーザ光がその単位構成体を構成す
る第１の反射ミラーで反射されその固体レーザ媒質から
出射して次の単位構成体を構成する固体レーザ媒質に入
射するように配列する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばニオジウム
ヤグ（Ｎｄ：ＹＡＧ）結晶等の固体レーザ媒質を用いた
固体レーザ発振器に関する。

【０００２】

【従来の技術】４準位レーザの一つであるＮｄ：ＹＡＧ
レーザは、励起入力に対するレーザ出力の比、すなわち
効率の高い固体レーザ発振器として知られている。この
Ｎｄ：ＹＡＧ結晶を固体レーザ媒質として用い始めた当
初から、励起ランプと呼ばれる放電管の発する光をＮ
ｄ：ＹＡＧ結晶に照射してエネルギーを与えることによ
り、レーザ発振を行ってきたが、その後、高出力レーザ
ダイオード（ＬＤ）の進歩に伴い、ＬＤの出力によりＮ
ｄ：ＹＡＧ結晶を励起する方式が実用化され始めた。励
起ランプによる励起が、広い波長範囲で光を発している
ランプ出力のＮｄ：ＹＡＧ結晶の吸収線に相当するエネ
ルギーのみを利用するのに比べ、ＬＤ励起ではＮｄ：Ｙ
ＡＧ結晶の吸収線と一致した波長をもつＬＤ出力で励起
することになるから、効率の高い固体レーザ発振器が実
現できる。ランプ励起の場合、効率が数％であるのに対
し、ＬＤ励起では数１０％の効率となり、Ｎｄ：ＹＡＧ
レーザの高効率性はＬＤ励起により一層高められること
になる。

【０００３】ＬＤ励起Ｎｄ：ＹＡＧレーザの基本構成を
図６に示す。ＬＤ３の出力である励起光３ａを集光レン
ズ系２により集光しレーザ共振器を構成する凹面ミラー
６を通してＮｄ：ＹＡＧ結晶１に照射し、そのＮｄ：Ｙ
ＡＧ結晶１を励起する。この凹面ミラー６と、その凹面
ミラーに対向する形で配置された出力ミラー７とにより
レーザ共振器が構成されており、このレーザ共振器の内
部には横モード制御用のアパーチャ１５が設けられ、横
モードについて配慮されたレーザ出力８が取り出され
る。

【０００４】また、図７は、ＬＤ励起固体レーザ発振器
の他の構成を示した図である。この図７は、ＬＤ３の接
合面がこの図７の紙面に平行となる方向から示した図で
ある。これは、１９９３年５月開催のＣＥＬＯ（Ｃｏｎ
ｆｅｒｅｎｃｅｏｎＬａｓｅｒｓａｎｄＥｌｅ
ｃｔｒｏ−ｏｐｔｉｃｓ）においてＬａｒｒｙＲＭａ
ｒｓｈａｌｌ，ＡｌｅｘＫａｚ，Ｈｏｒａｔｉｏ
Ｖｅｒｄｕｎにより発表された「Ｃｗ−ｄｉｏｄｅ，ｅ
ｎｄ−ｐｕｍｐｅｄＮｄ：ＹＬＦＬａｓｅｒｗｉ
ｔｈａｎａｓｔｉｇｍａｔｉｃｒｅｓｏｎａｔｏ
ｒ」と題する発表（発表番号ＣＭＦ６）に基づくもので
ある。ここでは、レーザ結晶１がＮｄ：ＹＡＧではなく
Ｎｄ：ＹＬＦになっているが、このＮｄ：ＹＬＦ結晶
は、光励起のレーザ結晶としてＮｄ：ＹＡＧ結晶と同様
の扱いのできる結晶である。この図７において、図６に
示す固体レーザ発振器の構成要素に対応する構成要素に
は図６に付した番号と同一の番号を付して示す。

【０００５】図７においてＬＤ３の出力３ａはレンズ系
２により集光され、Ｎｄ：ＹＬＦ結晶１１の１つの端面
を照射し、そのＮｄ：ＹＬＦ結晶１１を励起する。レー
ザ共振器の光路が、Ｎｄ：ＹＬＦ結晶内部でＶ字状をた
どるよう、Ｎｄ：ＹＬＦ結晶１１を出たレーザ光の光路
に直交させて全反射ミラー６１、および出力ミラー７を
配置する。ＬＤ３の出力は、接合面とその直交面とで広
がり角が異なるため、また非点収差の特性をもつため、
集光しにくく、レーザ結晶内のレーザ光の光路が図６の
ように１本だと、ＬＤ３の出力である励起エネルギーが
必要部分以外の部分に流れがちとなり、効率の低下を招
きがちである。これに対し、図７の構成では、ＬＤ出力
の拡がり角を抑制しにくいＬＤの接合面内についてレー
ザ結晶内の光路がＶ字をたどるようにレーザ共振器を配
置してレーザ出力８を取り出しており、この構成により
ＬＤ出力の有効利用が図られている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】さて、固体レーザ媒質
が単一の場合、そこから取り出することのできるレーザ
出力パワーには限界がある。なぜならば単一の固体レー
ザ媒質に適用できるＬＤによる励起パワーには限界があ
り、過度の励起を行うとレーザ結晶の動作温度が上昇
し、固体レーザ媒質に熱ひずみあるいは熱レンズ効果が
生じ、このため、出力の飽和あるいは横モードの悪化が
生ずるからである。また、単に基本波の高出力化を目的
とするだけではなく、大きな基本波エネルギーをレーザ
共振器内に蓄え、共振器内部に非線形素子を配置して第
２高調波の発生を意図した場合、基本波の高出力化を目
的とする場合よりも一層、固体レーザ媒質の熱的影響に
よる内部損失の増大を避ける必要がある。

【０００７】本発明は、上記事情に鑑み、従来と比べ大
幅な高出力化が図られた固体レーザ発振器を提供するこ
とを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の固体レーザ発振器は、励起光が入射され励起光のエ
ネルギーにより励起されてレーザ光を発生する固体レー
ザ媒質と、その固体レーザ媒質の一端側に配備された、
励起光を透過するとともに固体レーザ媒質で発生したレ
ーザ光を反射する第１の反射ミラーとを有する単位構成
体を複数個備え、これら複数個の単位構成体が、これら
複数個の単位構成体のうちのある１つの単位構成体を構
成する固体レーザ媒質に入射したレーザ光がその単位構
成体を構成する第１の反射ミラーで反射されその固体レ
ーザ媒質から出射して次の単位構成体を構成する固体レ
ーザ媒質に入射するように配列されてなると共に、上記
複数個の単位構成体それぞれを構成する各第１の反射ミ
ラーを透過させて各固体レーザ媒質に励起光を入射する
励起光源を備えたことを特徴とする。

【０００９】ここで、上記本発明の固体レーザ発振器
は、上記レーザ光の光路に沿って複数個の単位構成体を
間に挟む位置に配備された、レーザ光を反射する第２の
反射ミラーと、レーザ光の一部を出力する出力ミラーと
からなるレーザ共振器を備えたものであってもよい。上
記本発明の固体レーザ発振器において高調波を出力する
場合、上記レーザ光の光路上に配置された、レーザ光の
一部を、そのレーザ光よりも波長の短い高調波のレーザ
光に変換する高調波発生素子、およびその高調波発生素
子から出力されたレーザ光を、高調波のレーザ光と、波
長が変換されていない基本波のレーザ光とに分離して、
基本波のレーザ光を上記光路に置くとともに高調波のレ
ーザ光をその光路から外して出力する光路変換ミラーと
を備えた構成が採用される。

【００１０】この、高調波を出力する構成の場合、レー
ザ光の光路に沿って上記複数個の単位構成体を間に挟む
位置に配備された、レーザ光を反射する２枚の反射ミラ
ーからなるレーザ共振器を備えてもよい。また、本発明
の固体レーザ発振器において、上記レーザ光が、閉じた
光路を形成して成ることも好ましい態様の１つであり、
この場合に、上記光路上に、その光路に沿う一方向にの
みレーザ光のエネルギーの伝搬を許容する、オプティカ
ルダイオード等の光波伝搬方向制限素子を備えることが
好ましい。この閉じた光路を形成する態様は、上述の、
高調波を出力する態様と組み合わせてもよい。

【００１１】ここで、上記本発明の固体レーザ発振器に
おいて、上記励起光源が、上記複数個の単位構成体それ
ぞれに対応して備えられた複数個の単位励起光源、例え
ばＬＤからなるものであることが好ましい。また、上記
本発明の固体レーザ発振器において、上記第１の反射ミ
ラーは、その固体レーザ媒質の一端面に付されたコーテ
ィングにより形成されたものであってもよく、あるい
は、上記第１の反射ミラーは、固体レーザ媒質とは別体
に形成されたものであってもよい。

【００１２】さらに、上記本発明の固体レーザ発振器に
おいて、上記固体レーザ媒質としては、例えば、ＹＬＦ
結晶、ＹＡＧ結晶、あるいはＹＶＯ₄ 結晶が採用され、
また、上記高調波発生素子としては、例えば、ＫＴＰ結
晶、ＢＢＯ結晶、あるいはＬＢＯ結晶が採用される。本
発明は、上記のように、複数個の固体レーザ媒質を用い
て構成したレーザ発振器について提案するものである。
図６に示す直線形のレーザ共振器構成では、複数個の固
体レーザ媒質をカスケードに配置することは、複数個の
固体レーザ媒質それぞれに入射する励起光を、直線状の
共振器内のレーザ光路に一致する形で導入せねばなら
ず、レーザ発振については損失が多くなり、実現は困難
と思われる。

【００１３】しかし、図７に示すように固体レーザ媒質
内でＶ字状に光路を折り返す構成を複数個配置してレー
ザ共振器を構成させることは可能である。前述したよう
に、図６に示す構成は、ＬＤ出力の有効利用を目的とす
るものであって、そこには固体レーザ媒質を複数個配置
することに関する考え方は皆無であるが、この図６に示
す構成であれば固体レーザ媒質を複数個カスケードに配
置することができることに想到し、本発明に到ったので
ある。

【００１４】すなわち、例えば、第１の固体レーザ媒質
内でＶ字状の光路をたどりその固体レーザ媒質の外に折
り返す光路の一方は、レーザ共振器の全反射ミラーに向
かい、光路の他の一方は、第１の固体レーザ媒質と対面
する形で配置された第２の固体レーザ媒質の１つの光路
と一致するようにする。このような配置方法を繰り返
し、ｎ個（ｎ≧２）の固体レーザ媒質についての配置を
行う。ｎ番目の固体レーザ媒質についての残った光路は
レーザ共振器の出力ミラーに達するようにする。このよ
うにすれば、図７に示す基本系のもつ特徴をそのまま生
かして、複数個の固体レーザ媒質がカスケードに配置さ
れた高出力の固体レーザ発振器を実現することができ
る。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。図１は、レーザ結晶を４個を用いた本発明の
第１の実施形態を示す図である。図６，図７に示す固体
レーザ発振器の構成要素に対応する構成要素には、図
６，図７に付した番号と同一の番号を付して示す。図１
において２個ずつ対面する形で配置されたレーザ結晶２
１は、例えばＹＡＧ結晶であり、それぞれの端面におい
て、集光レンズ系２で整形されたＬＤ３の出力によって
励起されている。この励起が効率よく行われるよう、こ
の端面は励起光の波長については無反射の特性を示すコ
ーティング４が付されている。レーザ結晶２１の励起側
の端面（コーティング４が付された端面）と集光レンズ
系２の間には、レーザ波長（基本波の波長）については
完全反射の特性を示し、励起光については良好な透過特
性を示すコーティングが付された反射ミラー５が配置さ
れている。本実施形態では、互いに対応するレーザ結晶
２１と反射ミラー５とのペアが、本発明にいう単位構成
体に相当する。

【００１６】このようにしてレーザ結晶２１の内部には
励起状態が生じレーザ発振状態が実現して、各レーザ結
晶２１の背後に置かれた反射ミラー５で反射し、Ｖ字状
の光路をたどって折り返し、レーザ結晶２１の外部では
対向するレーザ結晶２１と連結するような光路をたど
り、レーザ結晶群を出た光路の端部の一方にはレーザ光
を全反射させる全反射ミラー６が配置され、他の一方に
はレーザ光についてある程度の透過特性を示す出力ミラ
ー７が配置されているために、出力ミラー７からレーザ
光８が取り出される。

【００１７】図２は、図１の場合と同じくレーザ結晶を
４個を用いた本発明の第２の実施形態を示す図である。
図１に示す第１の実施形態との相違点について説明す
る。図１において２個ずつ対面する形で配置されたレー
ザ結晶２１はそれぞれの端面において、集光レンズ系２
で整形されたＬＤ３の出力によって励起されている。こ
の励起が効率よく行われるよう、この端面には励起光の
波長については無反射の特性を示すコーティング４’が
付されている。同時に、このコーティング４’はレーザ
光については完全反射の特性を示すようになってもい
る。このようにして、レーザ結晶２１の内部には励起状
態が生じレーザ発振状態が実現して、レーザ光は、各レ
ーザ結晶２１の端面のコーティング４’で反射し、Ｖ字
状の光路をたどって折り返し、レーザ結晶２１の外部で
は対向するレーザ結晶１と連結するような光路をたど
り、レーザ結晶群を出た光路の端部の一方にはレーザ光
を全反射させる全反射ミラー６が配置され、他の一方に
はレーザ光についてある程度の透過特性を示す出力ミラ
ー７が配置されているために、出力ミラー７からレーザ
光８が取り出される。

【００１８】図３は、本発明の第３の実施形態を示す図
である。この図３は、図２に示す第２の実施形態の構成
に加えて高調波発生素子をレーザ共振器内に配置し、レ
ーザ光の第２高調波を発生させる構成を示したものであ
る。図３において、光路変換ミラー９は約４５度の角度
の入射角について、基本波に対しては全反射、第２高調
波に対しては透過するようなコーティングが付されてい
る。また、図３において、ミラー１０は基本波および第
２高調波双方に対して完全反射特性をもたせてある。Ｌ
Ｄ３の出力を増大させると、レーザ結晶２１は励起され
上述の過程により基本波についてのレーザ発振が開始す
る。しかし、ミラー６とミラー１０はどちらも透過しな
いため基本波がレーザ出力として取り出されることはな
く、それらのミラー６，１０からなるレーザ共振器内部
に蓄積される。このとき集光レンズ１４の集光点に配置
された例えばケーティーピー（ＫＴＰ；ＫＴｉＰＯ₄ ）
結晶のような非線形結晶１２において、蓄積された基本
波の高電界強度によって第２高調波が発生する。その第
２高調波は往復する基本波に対応して非線形結晶１２の
両方向に放射されるが、その一方の、光路変換ミラー９
側に放射された第２高調波は直接に、また、反対側に放
射された第２高周波はミラー１０で反射されて折り返し
た後に、光路変換ミラー９を透過して、第２高調波出力
１３として取り出される。

【００１９】尚、図３に示す第３実施形態においては、
非線形結晶１２、光路変換ミラー９等は、ミラー１０
と、レーザ光の光路に沿ってそのミラー１０に最も近い
位置に配置されたレーザ結晶２１との間に配置されてい
るが、これら非線形結晶１２や光路変換ミラー９等はこ
の位置に配置されている必要はなく、例えばレーザ結晶
２１どうしの中間の光路上に配置してもよい。

【００２０】また、上記の各実施形態はいずれもレーザ
結晶１を４個用いた例であるが、レーザ結晶２１の個数
は４個に限られるものではなく、目的とするレーザ出力
パワー等に応じて、２個ないし３個、あるいは５個以上
であってもよい。以上は定在波形光共振器の実施形態で
あるが、他の実施形態を図４に示す。これはリング形光
共振器構成に本発明を適用してリングレーザを構築した
例である。

【００２１】定在波レーザでは両端に配置された１対の
ミラーの間を往復する光波により定常状態がつくり出さ
れ、光共振器内の各所の光強度は、光強度の強い“山”
の部分と光強度の弱い“谷”の部分とが交互に繰り返さ
れる定在波が立った状態になっており、谷にあたる部分
のレーザ作用が活用されないことがある。一方、リング
レーザでは、光共振器内の光波は一方向に廻り続ける進
行波になっていて、空間的に光強度が“山”と“谷”と
なることはなく、レーザ作用はレーザ結晶内で均一に行
なわれる。レーザ出力の向上、出力スペクトルの狭線
化、横モードの単一化などを目的としたリングレーザに
おいて、複数個のレーザ結晶２１を用いて一層の高出力
化を求める場合、あるいは結晶入力を低く抑えてモード
の純粋さを求める場合も、本発明の提供する端面励起の
構成は非常に有効である。Ｖ字形光路は、出入りする光
路が垂直に近く、リング形光共振器の設計上の要求とマ
ッチするからである。図４においてオプティカルダイオ
ード１８の許容する方向のみ進行波がレーザ発振状態に
至り、出力８として出射される。

【００２２】図４に示す実施形態では、全反射ミラー６
が用いられているが、この全反射ミラー６に代えて、レ
ーザ結晶２１や、それに伴うＬＤ３等を配置し、全反射
ミラー６を取り去ることもできる。また、出力ミラー７
に代えて、レーザ結晶２１やそれに伴うＬＤ３等を配置
して、基本波はこの閉じた光路から外部には洩れないよ
うに構成し、その光路上に、オプティカルダイオード１
８に代えて、あるいはオプティカルダイオード１８とと
もに、図３に示すような非線形結晶１２、光路変換ミラ
ー９等を配置し、閉じた光路を持ち高調波を出力する固
体レーザ発振器を構成してもよい。

【００２３】このように、本発明は、種々の実施形態を
包含するものである。以上の各実施形態においては、レ
ーザ結晶としてはＮｄ：ＹＡＧ結晶、非線形素子として
ＫＴＰ結晶を例として説明したが、それぞれが本発明を
限定するものではなく、レーザ結晶として、Ｎｄ：ＹＬ
Ｆ、ＹＶＯ₄ などを用いてもよく、非線形結晶としてビ
ービーオー（ＢＢＯ；β−ＢａＢ₂ Ｏ₄ ）、エルビーオ
ー（ＬＢＯ；ＬｉＢ₃ Ｏ₅ ）などを用いてもよい。

【００２４】さらに、上記の各実施形態では、いずれも
各レーザ結晶２１を１個励起させるために各１個のＬＤ
３が備えられているが、例えばＬＤ３に代わり励起ラン
プを用いてもよく、１個の光源からの出力を複数に分け
て１個の光源で複数個のレーザ結晶を励起してもよい。
また、上記各実施形態では、本発明にいう固体レーザ媒
質としてレーザ結晶が用いられているが、本発明にいう
固体レーザ媒質は、必ずしも結晶化された固体である必
要はない。

【００２５】

【実施例】図５は、図２に示す第２の実施形態及び図３
に示す第３の実施形態において、レーザ結晶２１として
ＹＬＦ結晶を４個用いたときの、ＬＤ電流に対する、基
本波１．０４７μｍおよびその第２高調波０．５２３μ
ｍの出力パワーを示したグラフである。

【００２６】基本波出力および第２高調波出力のいずれ
においても、横モードは良好なＴＥＭ００モードであっ
た。第２高調波で２．５Ｗの出力が得られたことは特筆
すべきことである。

【００２７】

【発明の効果】このように、本発明によれば、複数個の
固体レーザ媒質を用い、単一の固体レーザ媒質では達成
できない高出力の固体レーザ発振器を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態を示す図である。

【図２】本発明の第２の実施形態を示す図である。

【図３】本発明の第３の実施形態を示す図である。

【図４】本発明の第４の実施形態を示す図である。

【図５】本発明の固体レーザ発振器によるデータ例を示
すグラフである。

【図６】直線状の光路をとる従来の固体レーザ発振器の
基本形を示す図である。

【図７】結晶内でＶ字状に光路を折り返す従来の固体レ
ーザ発振器の例を示す図である。

【符号の説明】

１レーザ結晶２集光レンズ系３レーザダイオード（ＬＤ）４，４’ コーティング５反射ミラー６全反射ミラー７出力ミラー８レーザ出力９光路変換ミラー１０全反射ミラー１２非線形結晶１３第２高調波出力１４集光レンズ１８オプティカルダイオード

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者鈴木良和神奈川県相模原市下九沢1120 日本電気株式会社レーザメカトロ事業部内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】励起光が入射され該励起光のエネルギー
により励起されてレーザ光を発生する固体レーザ媒質
と、該固体レーザ媒質の一端側に配備された、前記励起
光を透過するとともに該固体レーザ媒質で発生したレー
ザ光を反射する第１の反射ミラーとを有する単位構成体
を複数個備え、これら複数個の単位構成体が、これら複
数個の単位構成体のうちのある１つの単位構成体を構成
する固体レーザ媒質に入射したレーザ光が該単位構成体
を構成する第１の反射ミラーで反射され該固体レーザ媒
質から出射して次の単位構成体を構成する固体レーザ媒
質に入射するように配列されてなると共に、前記複数個の単位構成体それぞれを構成する各第１の反
射ミラーを透過させて各固体レーザ媒質に励起光を入射
する励起光源を備えたことを特徴とする固体レーザ発振
器。
【請求項２】前記レーザ光の光路に沿って前記複数個
の単位構成体を間に挟む位置に配備された、該レーザ光
を反射する第２の反射ミラーと、該レーザ光の一部を出
力する出力ミラーとからなるレーザ共振器を備えたこと
を特徴とする固体レーザ発振器。
【請求項３】前記レーザ光の光路上に配置された、該
レーザ光の一部を、該レーザ光よりも波長の短い高調波
のレーザ光に変換する高調波発生素子、および該高調波
発生素子から出力されたレーザ光を、高調波のレーザ光
と、波長が変換されていない基本波のレーザ光とに分離
して、該基本波のレーザ光を前記光路に置くとともに該
高調波のレーザ光を前記光路から外して出力する光路変
換ミラーを備えたことを特徴とする請求項１記載の固体
レーザ発振器。
【請求項４】前記レーザ光の光路に沿って前記複数個
の単位構成体を間に挟む位置に配備された、該レーザ光
を反射する２枚の反射ミラーからなるレーザ共振器を備
えたことを特徴とする請求項３記載の固体レーザ発振
器。
【請求項５】前記レーザ光が、閉じた光路を形成して
成ることを特徴とする請求項１又は３記載の固体レーザ
発振器。
【請求項６】前記光路上に、該光路に沿う一方向にの
み前記レーザ光のエネルギーの伝搬を許容する光波伝搬
方向制限素子を備えたことを特徴とする請求項５記載の
固体レーザ発振器。
【請求項７】前記励起光源が、前記複数個の単位構成
体それぞれに対応して備えられた複数個の単位励起光源
からなることを特徴とする請求項１記載の固体レーザ発
振器。
【請求項８】前記第１の反射ミラーが、前記固体レー
ザ媒質の一端面に付されたコーティングにより形成され
たものであることを特徴とする請求項１項記載の固体レ
ーザ発振器。
【請求項９】前記第１の反射ミラーが、前記固体レー
ザ媒質とは別体に形成されたものであることを特徴とす
る請求項１記載の固体レーザ発振器。
【請求項１０】前記固体レーザ媒質が、ＹＬＦ結晶、
ＹＡＧ結晶、あるいはＹＶＯ₄ 結晶であることを特徴と
する請求項１記載の固体レーザ発振器。
【請求項１１】前記高調波発生素子が、ＫＴＰ結晶、
ＢＢＯ結晶、あるいはＬＢＯ結晶であることを特徴とす
る請求項３記載の固体レーザ発振器。