JPH0961563A - 位置決めテーブル装置 - Google Patents
位置決めテーブル装置Info
- Publication number
- JPH0961563A JPH0961563A JP24231595A JP24231595A JPH0961563A JP H0961563 A JPH0961563 A JP H0961563A JP 24231595 A JP24231595 A JP 24231595A JP 24231595 A JP24231595 A JP 24231595A JP H0961563 A JPH0961563 A JP H0961563A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- motor
- coils
- phase
- exchanging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Control Of Linear Motors (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 各モータコイルおよび可動磁石の外形寸法、
さらには４対ある永久磁石の磁束密度などにばらつきが
あっても、多相型モータにおける最適な相切替え位置を
求める手段を有する高精度な位置決めテーブル装置を提
供する。 【解決手段】 テーブル１の位置を検出する位置検出器
７と、テーブルを駆動する多相型のモータ４，５と、こ
のモータの複数個のコイルの中からテーブルの位置に応
じて通電すべきコイルを選択的に切り替えてテーブルを
位置決めする駆動制御手段１２とを備えた位置決めテー
ブル装置において、駆動制御手段は、モータの相切り替
え位置付近において、切り替えられるべき一方のコイル
には正方向の推力が発生するように電流を通電し、他方
のコイルには負方向に推力が発生するように、一方のコ
イルと同じ値の電流を同時に通電し、これにより静止し
たステージの位置を位置検出器により計測するものであ
る。
さらには４対ある永久磁石の磁束密度などにばらつきが
あっても、多相型モータにおける最適な相切替え位置を
求める手段を有する高精度な位置決めテーブル装置を提
供する。 【解決手段】 テーブル１の位置を検出する位置検出器
７と、テーブルを駆動する多相型のモータ４，５と、こ
のモータの複数個のコイルの中からテーブルの位置に応
じて通電すべきコイルを選択的に切り替えてテーブルを
位置決めする駆動制御手段１２とを備えた位置決めテー
ブル装置において、駆動制御手段は、モータの相切り替
え位置付近において、切り替えられるべき一方のコイル
には正方向の推力が発生するように電流を通電し、他方
のコイルには負方向に推力が発生するように、一方のコ
イルと同じ値の電流を同時に通電し、これにより静止し
たステージの位置を位置検出器により計測するものであ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体露光装置、
工作機械等に使用する位置決めテーブル装置に係り、テ
ーブルの位置を検出する位置検出器と、複数個のコイル
の中からテーブルの位置に応じて通電すべきコイルを選
択的に切り替える多相型のモータを備えた位置決めテー
ブル装置に関するものである。
工作機械等に使用する位置決めテーブル装置に係り、テ
ーブルの位置を検出する位置検出器と、複数個のコイル
の中からテーブルの位置に応じて通電すべきコイルを選
択的に切り替える多相型のモータを備えた位置決めテー
ブル装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図６は、従来の位置決めテーブル装置の
概略構成図である。この図に示すような従来の位置決め
テーブル装置は、４相のコイルを一直線上に並べたリニ
アモータコイル１０４を備えている。リニアモータコイ
ル１０４は支持部材１０３に支持されており、リニアモ
ータコイル１０４を構成するコイルの並ぶ方向と平行
に、一対のガイド１０２が設けられている。ガイド１０
２には、テーブル天板１０１が軸受け１０６を介して取
り付けられており、テーブル天板１０１はガイド１０２
によって前記コイルの並ぶ方向に自在に案内される。テ
ーブル天板１０１には可動磁石１０５が取り付けられ、
可動磁石１０５は前記コイルの並ぶ方向に永久磁石を極
性を交互にして４対並べて構成されている。
概略構成図である。この図に示すような従来の位置決め
テーブル装置は、４相のコイルを一直線上に並べたリニ
アモータコイル１０４を備えている。リニアモータコイ
ル１０４は支持部材１０３に支持されており、リニアモ
ータコイル１０４を構成するコイルの並ぶ方向と平行
に、一対のガイド１０２が設けられている。ガイド１０
２には、テーブル天板１０１が軸受け１０６を介して取
り付けられており、テーブル天板１０１はガイド１０２
によって前記コイルの並ぶ方向に自在に案内される。テ
ーブル天板１０１には可動磁石１０５が取り付けられ、
可動磁石１０５は前記コイルの並ぶ方向に永久磁石を極
性を交互にして４対並べて構成されている。
【０００３】また、ガイド１０２の側方にはテーブル天
板１０１の位置を検出するリニアスケールなどの位置検
出器１０７が設けられている。特に高精度な位置決め精
度が必要な半導体露光装置などでは、位置検出器として
レーザ測長器が使用される。位置検出器１０７からはテ
ーブルの移動方向に応じてアップ・ダウン信号が出力さ
れ、これをカウンタユニット１１０でカウントすること
によりテーブルの位置情報が得られる。カウンタユニッ
ト１１０は、テーブル天板１０１に取り付けた遮光板１
０８が原点フォトスイッチ１０９を通過する際に初期化
される。カウンタユニット１１０にはサーボコントロー
ラ１１１が接続されており、サーボコントローラ１１１
はテーブルの目標位置とカウンタユニット１１０から得
られる現在位置との差分を、例えばＰＩＤ演算して制御
出力を得、これをＤ／Ａコンバータ１１３へ指令値とし
て出力し位置決め制御を行う。すなわちこの指令値に対
してＤ／Ａコンバータ１１３ならびに各コイル毎のスイ
ッチ１１４および電流アンプ１１５を介して各コイルへ
の通電が行われる。
板１０１の位置を検出するリニアスケールなどの位置検
出器１０７が設けられている。特に高精度な位置決め精
度が必要な半導体露光装置などでは、位置検出器として
レーザ測長器が使用される。位置検出器１０７からはテ
ーブルの移動方向に応じてアップ・ダウン信号が出力さ
れ、これをカウンタユニット１１０でカウントすること
によりテーブルの位置情報が得られる。カウンタユニッ
ト１１０は、テーブル天板１０１に取り付けた遮光板１
０８が原点フォトスイッチ１０９を通過する際に初期化
される。カウンタユニット１１０にはサーボコントロー
ラ１１１が接続されており、サーボコントローラ１１１
はテーブルの目標位置とカウンタユニット１１０から得
られる現在位置との差分を、例えばＰＩＤ演算して制御
出力を得、これをＤ／Ａコンバータ１１３へ指令値とし
て出力し位置決め制御を行う。すなわちこの指令値に対
してＤ／Ａコンバータ１１３ならびに各コイル毎のスイ
ッチ１１４および電流アンプ１１５を介して各コイルへ
の通電が行われる。
【０００４】この多相型リニアモータを備えた位置決め
テーブル装置におけるリニアモータコイル１０４への通
電パターンを図４に示す。図中、記号ＡおよびＢは各コ
イルに流れる電流の向きを示し、記号Ｂは図面を正面か
ら見て手前向きの電流を示し、記号Ａはその逆向きに流
れる電流の向きを示している。図４のケース０〜ケース
９に示すように、可動磁石１０５とリニアモータコイル
１０４との位置関係によって通電するコイルおよびその
コイルに流れる電流の向きをあるピッチ（この図では１
０ｍｍ毎）で切り替えることにより、可動磁石１０５の
同一方向に推力を付与しテーブルを所定方向に移動させ
ている。
テーブル装置におけるリニアモータコイル１０４への通
電パターンを図４に示す。図中、記号ＡおよびＢは各コ
イルに流れる電流の向きを示し、記号Ｂは図面を正面か
ら見て手前向きの電流を示し、記号Ａはその逆向きに流
れる電流の向きを示している。図４のケース０〜ケース
９に示すように、可動磁石１０５とリニアモータコイル
１０４との位置関係によって通電するコイルおよびその
コイルに流れる電流の向きをあるピッチ（この図では１
０ｍｍ毎）で切り替えることにより、可動磁石１０５の
同一方向に推力を付与しテーブルを所定方向に移動させ
ている。
【０００５】かかる通電制御は、相切替えコントローラ
１１２が、相切替え位置データを記憶してあるＲＯＭ
（リード・オンリ・メモリ）１１６を参照しながら、カ
ウンタユニット１１０からの現在位置に応じてアンプ切
替え信号を各スイッチ１１４へ出力し、各スイッチ１１
４を切替え制御することにより適切に行われる。
１１２が、相切替え位置データを記憶してあるＲＯＭ
（リード・オンリ・メモリ）１１６を参照しながら、カ
ウンタユニット１１０からの現在位置に応じてアンプ切
替え信号を各スイッチ１１４へ出力し、各スイッチ１１
４を切替え制御することにより適切に行われる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ここで、ＲＯＭ１１６
に記憶されている相切替え位置は、原点スイッチ１０９
を基準としたコイルと可動磁石の位置関係などからおお
よその値を見積もったものである。しかしながら、各モ
ータコイルおよび可動磁石の外形寸法、さらには４対あ
る永久磁石の磁束密度などにはばらつきがあるため、相
切替え位置を事前に精度よく求めておくことは困難であ
る。その結果、相切替え時に推力段差が生じてしまい、
スキャン（定速移動）中に露光を行う高精度な半導体装
置などでは、速度むらにより焼付け精度が劣化してしま
うという問題がある。
に記憶されている相切替え位置は、原点スイッチ１０９
を基準としたコイルと可動磁石の位置関係などからおお
よその値を見積もったものである。しかしながら、各モ
ータコイルおよび可動磁石の外形寸法、さらには４対あ
る永久磁石の磁束密度などにはばらつきがあるため、相
切替え位置を事前に精度よく求めておくことは困難であ
る。その結果、相切替え時に推力段差が生じてしまい、
スキャン（定速移動）中に露光を行う高精度な半導体装
置などでは、速度むらにより焼付け精度が劣化してしま
うという問題がある。
【０００７】これを図５により説明する。同図における
破線は各コイルの発生推力、実線はコイルを切り替えな
がら駆動する際の実際の推力を示す。相切替え位置１で
は、推力段差がないため、ステージのスキャン移動中に
速度ムラは発生しない。これに対して、相切り替え位置
２では各モータコイルおよび可動磁石の外形寸法、さら
には４対ある永久磁石の磁束密度のばらつきなどにより
相切替え位置がずれてしまい、その結果、相切替え時に
推力段差が発生し速度むらが生じてしまう。
破線は各コイルの発生推力、実線はコイルを切り替えな
がら駆動する際の実際の推力を示す。相切替え位置１で
は、推力段差がないため、ステージのスキャン移動中に
速度ムラは発生しない。これに対して、相切り替え位置
２では各モータコイルおよび可動磁石の外形寸法、さら
には４対ある永久磁石の磁束密度のばらつきなどにより
相切替え位置がずれてしまい、その結果、相切替え時に
推力段差が発生し速度むらが生じてしまう。
【０００８】本発明の目的は、これらの従来技術の問題
点に鑑み、各モータコイルおよび可動磁石の外形寸法、
さらには４対ある永久磁石の磁束密度などにばらつきが
あっても、多相型モータにおける最適な相切替え位置を
求める手段を有する高精度な位置決めテーブル装置を提
供することにある。
点に鑑み、各モータコイルおよび可動磁石の外形寸法、
さらには４対ある永久磁石の磁束密度などにばらつきが
あっても、多相型モータにおける最適な相切替え位置を
求める手段を有する高精度な位置決めテーブル装置を提
供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明では、テーブルの位置を検出する位置検出器と、
テーブルを駆動する多相型のモータと、このモータの複
数個のコイルの中からテーブルの位置に応じて通電すべ
きコイルを選択的に切り替えてテーブルを位置決めする
駆動制御手段とを備えた位置決めテーブル装置におい
て、駆動制御手段は、モータの相切り替え位置付近にお
いて、切り替えられるべき一方のコイルには正方向の推
力が発生するように電流を通電し、他方のコイルには負
方向に推力が発生するように、一方のコイルと同じ値の
電流を同時に通電し、これにより静止したステージの位
置を位置検出器により計測するものであることを特徴と
する。
本発明では、テーブルの位置を検出する位置検出器と、
テーブルを駆動する多相型のモータと、このモータの複
数個のコイルの中からテーブルの位置に応じて通電すべ
きコイルを選択的に切り替えてテーブルを位置決めする
駆動制御手段とを備えた位置決めテーブル装置におい
て、駆動制御手段は、モータの相切り替え位置付近にお
いて、切り替えられるべき一方のコイルには正方向の推
力が発生するように電流を通電し、他方のコイルには負
方向に推力が発生するように、一方のコイルと同じ値の
電流を同時に通電し、これにより静止したステージの位
置を位置検出器により計測するものであることを特徴と
する。
【００１０】また、駆動制御手段は、計測を、テーブル
の可動範囲中にある全ての相切り替え位置にて行い、そ
の計測結果を保持しておく手段を有することを特徴とす
る。さらに、駆動制御手段は、保持しておいた計測結果
の値を参照しながら、多相型モータの相の切り替え動作
を行うことを特徴とする。
の可動範囲中にある全ての相切り替え位置にて行い、そ
の計測結果を保持しておく手段を有することを特徴とす
る。さらに、駆動制御手段は、保持しておいた計測結果
の値を参照しながら、多相型モータの相の切り替え動作
を行うことを特徴とする。
【００１１】
【作用】上記構成において、多相型モータの相切り替え
位置付近における推力が、一方のコイルには正方向に、
また他方のコイルには負方向に発生するように同じ値の
電流を同時に通電し、これにより静止したステージの位
置を位置検出手段により計測すると、モータの相切替え
位置にて相切替え前後のコイルの発生推力がつり合う位
置（推力段差のでない位置）が精度よく求められる。
位置付近における推力が、一方のコイルには正方向に、
また他方のコイルには負方向に発生するように同じ値の
電流を同時に通電し、これにより静止したステージの位
置を位置検出手段により計測すると、モータの相切替え
位置にて相切替え前後のコイルの発生推力がつり合う位
置（推力段差のでない位置）が精度よく求められる。
【００１２】また、こうした計測動作を全ての切替え位
置にて行ってその結果を保持しておき、保持しておいた
計測結果の値を参照しながら多相型モータの相の切替え
動作を行うことにより、相切替え時の推力段差はなくな
り、定速移動中にも速度ムラの発生しない高精度な位置
決め装置が提供される。
置にて行ってその結果を保持しておき、保持しておいた
計測結果の値を参照しながら多相型モータの相の切替え
動作を行うことにより、相切替え時の推力段差はなくな
り、定速移動中にも速度ムラの発生しない高精度な位置
決め装置が提供される。
【００１３】
【実施例】図１は、本発明の一実施例に係る位置決めテ
ーブル装置の概略構成図である。この位置決めテーブル
装置は、４相のコイル（コイル１〜４）を一直線上に並
べたリニアモータコイル４を備えている。リニアモータ
コイル４はコイル支持部材３に支持されており、リニア
モータコイル４を構成するコイルの並ぶ方向と平行に、
一対のガイド２が設けられている。ガイド２には、テー
ブル天板１が軸受け６を介して取り付けられており、テ
ーブル天板１はガイド２によって前記コイルの並ぶ方向
に自在に案内される。テーブル天板１には可動磁石５が
取り付けられ、可動磁石５はコイルの並ぶ方向に永久磁
石を極性を交互にして４対並べて構成されている。
ーブル装置の概略構成図である。この位置決めテーブル
装置は、４相のコイル（コイル１〜４）を一直線上に並
べたリニアモータコイル４を備えている。リニアモータ
コイル４はコイル支持部材３に支持されており、リニア
モータコイル４を構成するコイルの並ぶ方向と平行に、
一対のガイド２が設けられている。ガイド２には、テー
ブル天板１が軸受け６を介して取り付けられており、テ
ーブル天板１はガイド２によって前記コイルの並ぶ方向
に自在に案内される。テーブル天板１には可動磁石５が
取り付けられ、可動磁石５はコイルの並ぶ方向に永久磁
石を極性を交互にして４対並べて構成されている。
【００１４】また、ガイド２の側方にはテーブル天板１
の位置を検出するリニアスケールなどの位置検出器７が
設けられている。特に高精度な位置決め精度が必要な半
導体露光装置などでは、位置検出器としてレーザ測長器
が使用される。位置検出器７からはテーブル１の移動方
向に応じてアップ、ダウン信号が出力され、これをカウ
ンタユニット１０に取り込んでカウントすることにより
テーブルの位置情報が得られる。カウンタユニットは、
テーブル天板に取り付けられた遮光板８が原点フォトス
イッチ９を通過した際に初期化される。カウンタユニッ
ト１０にはサーボコントローラ１１が接続されており、
テーブルの目標位置とカウンタユニット１０から得られ
る現在位置との差分を、例えばＰＩＤ演算して制御出力
とし、これをＤ／Ａコンバータ１３へ指令値として出力
して位置決め制御を行う。Ｄ／Ａコンバータ１３の出力
および反転出力は４つのスイッチ１４に供給され、各ス
イッチ１４には、各コイルが電流アンプ１５を介して接
続されている。
の位置を検出するリニアスケールなどの位置検出器７が
設けられている。特に高精度な位置決め精度が必要な半
導体露光装置などでは、位置検出器としてレーザ測長器
が使用される。位置検出器７からはテーブル１の移動方
向に応じてアップ、ダウン信号が出力され、これをカウ
ンタユニット１０に取り込んでカウントすることにより
テーブルの位置情報が得られる。カウンタユニットは、
テーブル天板に取り付けられた遮光板８が原点フォトス
イッチ９を通過した際に初期化される。カウンタユニッ
ト１０にはサーボコントローラ１１が接続されており、
テーブルの目標位置とカウンタユニット１０から得られ
る現在位置との差分を、例えばＰＩＤ演算して制御出力
とし、これをＤ／Ａコンバータ１３へ指令値として出力
して位置決め制御を行う。Ｄ／Ａコンバータ１３の出力
および反転出力は４つのスイッチ１４に供給され、各ス
イッチ１４には、各コイルが電流アンプ１５を介して接
続されている。
【００１５】相切替えコントローラ１２は、各スイッチ
１４によりＤ／Ａコンバータ１３の出力または反転出力
を選択して各電流アンプ１５に供給する。
１４によりＤ／Ａコンバータ１３の出力または反転出力
を選択して各電流アンプ１５に供給する。
【００１６】本実施例では、相切替えコントローラ１２
は、切替え位置最適化シーケンスプログラム１８に基づ
いて以下の動作を行う。遮光板８が原点フォトスイッチ
９を通過するようにテーブル１を駆動してカウンタユニ
ット１０を初期化した後、まずはじめにテーブル１を相
切替え位置付近まで移動させる。そこで、図２に示すよ
うに、例えばコイル２とコイル３に同じ値の電流を発生
推力が逆向きになるように同時に通電する。この時、電
流値が大きければ大きいほど外乱の影響を受けにくくな
る。通電を続けると、ステージ１は発生推力がつり合う
位置でやがて静止する。このステージ１の静止位置を位
置検出器７によって計測する。この静止位置は、相切替
え前後のコイルの発生する推力が等しくなる位置であ
り、推力段差を発生させない最適な切替え位置である。
こうした計測動作をテーブルの可動範囲中にある全ての
相切替え位置にて行い、計測結果を例えばＲＡＭ（ラン
ダム・アクセス・メモリ）１７に順次記憶していく。
は、切替え位置最適化シーケンスプログラム１８に基づ
いて以下の動作を行う。遮光板８が原点フォトスイッチ
９を通過するようにテーブル１を駆動してカウンタユニ
ット１０を初期化した後、まずはじめにテーブル１を相
切替え位置付近まで移動させる。そこで、図２に示すよ
うに、例えばコイル２とコイル３に同じ値の電流を発生
推力が逆向きになるように同時に通電する。この時、電
流値が大きければ大きいほど外乱の影響を受けにくくな
る。通電を続けると、ステージ１は発生推力がつり合う
位置でやがて静止する。このステージ１の静止位置を位
置検出器７によって計測する。この静止位置は、相切替
え前後のコイルの発生する推力が等しくなる位置であ
り、推力段差を発生させない最適な切替え位置である。
こうした計測動作をテーブルの可動範囲中にある全ての
相切替え位置にて行い、計測結果を例えばＲＡＭ（ラン
ダム・アクセス・メモリ）１７に順次記憶していく。
【００１７】ステージ１を位置決めのために移動させる
場合には、ＲＡＭ１７に記憶してある相切替え位置を参
照しながらアンプ切替え信号を出力し、モータコイルを
適切に切替えながら駆動すれば、図３に示すように相切
替え位置において推力の段差がなくなり、速度ムラの発
生を抑えることができる。
場合には、ＲＡＭ１７に記憶してある相切替え位置を参
照しながらアンプ切替え信号を出力し、モータコイルを
適切に切替えながら駆動すれば、図３に示すように相切
替え位置において推力の段差がなくなり、速度ムラの発
生を抑えることができる。
【００１８】また、このような相切替え位置の最適化シ
ーケンスを定期的に実行することで、モータおよび永久
磁石の経年変化に伴う誤差にも対処できる。
ーケンスを定期的に実行することで、モータおよび永久
磁石の経年変化に伴う誤差にも対処できる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、多
相型モータの相切り替え位置付近における推力が、一方
のコイルには正方向に、また他方のコイルには負方向に
発生するように同じ値の電流を同時に通電し、これによ
って静止したステージの位置を計測するようにしたた
め、モータの相切替え位置にて相切替え前後のコイルの
発生推力がつり合う位置（推力段差のでない位置）を精
度よく求めることができる。こうした計測結果を全ての
切替え位置にて行い結果を保持しておき、保持しておい
た計測結果の値を参照しながら多相型モータの相の切替
え動作を行うことにより、相切替え時の推力段差はなく
なり、定速移動中にも速度ムラの発生しない高精度な位
置決めを行うことができる。
相型モータの相切り替え位置付近における推力が、一方
のコイルには正方向に、また他方のコイルには負方向に
発生するように同じ値の電流を同時に通電し、これによ
って静止したステージの位置を計測するようにしたた
め、モータの相切替え位置にて相切替え前後のコイルの
発生推力がつり合う位置（推力段差のでない位置）を精
度よく求めることができる。こうした計測結果を全ての
切替え位置にて行い結果を保持しておき、保持しておい
た計測結果の値を参照しながら多相型モータの相の切替
え動作を行うことにより、相切替え時の推力段差はなく
なり、定速移動中にも速度ムラの発生しない高精度な位
置決めを行うことができる。
【図１】 本発明の一実施例に係る位置決めテーブル装
置の概略構成図である。
置の概略構成図である。
【図２】 図１の装置の切替え位置計測のための通電パ
ターン示した図である。
ターン示した図である。
【図３】 図１の装置の制御特性を示す図である。
【図４】 多相型リニアモータの通電パターンを示した
図である。
図である。
【図５】 従来の位置決めテーブル装置の制御特性を示
す図である。
す図である。
【図６】 従来の位置決めテーブル装置の概略構成図で
ある。
ある。
１：テーブル天板、２：ガイド、３：コイル支持部材、
４：リニアモータコイル、５：可動磁石、６：軸受け、
７：位置検出器（リニアスケール）、８：遮光板、９：
原点フォトスイッチ、１０：カウンタユニット、１１：
サーボコントローラ、１２：相切替えコントローラ、１
３：Ｄ／Ａコンバータ、１４：スイッチ、１５：電流ア
ンプ、１７：ＲＡＭ、１８：相切替え位置最適化シーケ
ンスプログラム、１０１：テーブル天板、１０２：ガイ
ド、１０３：コイル支持部材、１０４：リニアモータコ
イル、１０５：可動磁石、１０６：軸受け、１０７：位
置検出器（リニアスケール）、１０８：遮光板、１０
９：原点フォトスイッチ、１１０：カウンタユニット、
１１１：サーボコントローラ、１１２：相切替えコント
ローラ、１１３：Ｄ／Ａコンバータ、１１４：スイッ
チ、１１５：電流アンプ、１１６：ＲＯＭ。
４：リニアモータコイル、５：可動磁石、６：軸受け、
７：位置検出器（リニアスケール）、８：遮光板、９：
原点フォトスイッチ、１０：カウンタユニット、１１：
サーボコントローラ、１２：相切替えコントローラ、１
３：Ｄ／Ａコンバータ、１４：スイッチ、１５：電流ア
ンプ、１７：ＲＡＭ、１８：相切替え位置最適化シーケ
ンスプログラム、１０１：テーブル天板、１０２：ガイ
ド、１０３：コイル支持部材、１０４：リニアモータコ
イル、１０５：可動磁石、１０６：軸受け、１０７：位
置検出器（リニアスケール）、１０８：遮光板、１０
９：原点フォトスイッチ、１１０：カウンタユニット、
１１１：サーボコントローラ、１１２：相切替えコント
ローラ、１１３：Ｄ／Ａコンバータ、１１４：スイッ
チ、１１５：電流アンプ、１１６：ＲＯＭ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５１６Ｂ Ｈ０２Ｐ 7/00 １０１ Ｂ２３Ｑ 1/14 Ｚ
Claims (3)
- 【請求項１】 テーブルの位置を検出する位置検出器
と、前記テーブルを駆動する多相型のモータと、このモ
ータの複数個のコイルの中から前記テーブルの位置に応
じて通電すべきコイルを選択的に切り替えて前記テーブ
ルを位置決めする駆動制御手段とを備えた位置決めテー
ブル装置において、 前記駆動制御手段は、前記モータの相切り替え位置付近
において、切り替えられるべき一方のコイルには正方向
の推力が発生するように電流を通電し、他方のコイルに
は負方向に推力が発生するように、前記一方のコイルと
同じ値の電流を同時に通電し、これにより静止したステ
ージの位置を前記位置検出器により計測するものである
ことを特徴とする位置決めテーブル装置。 - 【請求項２】 前記駆動制御手段は、前記計測を、テー
ブルの可動範囲中にある全ての相切り替え位置にて行
い、その計測結果を保持しておく手段を有することを特
徴とする請求項１記載の位置決めテーブル装置。 - 【請求項３】 前記駆動制御手段は、前記保持しておい
た計測結果の値を参照しながら、前記多相型モータの相
の切り替え動作を行うことを特徴とする請求項２記載の
位置決めテーブル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24231595A JPH0961563A (ja) | 1995-08-29 | 1995-08-29 | 位置決めテーブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24231595A JPH0961563A (ja) | 1995-08-29 | 1995-08-29 | 位置決めテーブル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0961563A true JPH0961563A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=17087393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24231595A Pending JPH0961563A (ja) | 1995-08-29 | 1995-08-29 | 位置決めテーブル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0961563A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005312213A (ja) * | 2004-04-22 | 2005-11-04 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータ制御装置および制御方法 |
| JP2011014876A (ja) * | 2009-06-04 | 2011-01-20 | Canon Inc | 位置決め装置、及びそれを用いたリソグラフィ装置並びにデバイス製造方法 |
-
1995
- 1995-08-29 JP JP24231595A patent/JPH0961563A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005312213A (ja) * | 2004-04-22 | 2005-11-04 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータ制御装置および制御方法 |
| JP4626744B2 (ja) * | 2004-04-22 | 2011-02-09 | 株式会社安川電機 | リニアモータ制御装置および制御方法 |
| JP2011014876A (ja) * | 2009-06-04 | 2011-01-20 | Canon Inc | 位置決め装置、及びそれを用いたリソグラフィ装置並びにデバイス製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100242923B1 (ko) | 스테이지장치 및 리니어모터와, 상기 스테이지장치를사용한 노광장치 및 디바이스생산방법 | |
| KR0164620B1 (ko) | 테이블 위치 결정장치 | |
| JP5443718B2 (ja) | リニアモータシステム及び制御装置 | |
| JPH0961563A (ja) | 位置決めテーブル装置 | |
| KR20220160654A (ko) | 스테핑 모터 제어 장치 | |
| EP0146849B1 (en) | Actuator with stepping motion function | |
| JP3876685B2 (ja) | 門型ステージ装置の駆動方法 | |
| JPH0564487A (ja) | 位置決めテーブル装置 | |
| JPH08275495A (ja) | リニアモータ | |
| JPH10328975A (ja) | 位置決めテーブル装置 | |
| JP3219133B2 (ja) | リニアｄｃブラシレスモータ | |
| JP2010142033A (ja) | リニアモータ | |
| JPH0828993B2 (ja) | チップマウンタ部品供給テーブル駆動用リニア直流モータの制御装置 | |
| JPS6359796A (ja) | パルスモ−タの原点復帰方式 | |
| JPH0837772A (ja) | リニアモータ | |
| JPH07161798A (ja) | 位置決めテーブル装置 | |
| JP2006050875A (ja) | 門型ステージ装置のリニアモータ制御方法 | |
| JPH10328954A (ja) | 位置決めテーブル装置および初期位置推定方法 | |
| US7071583B2 (en) | Uniaxial drive unit | |
| JPH09191680A (ja) | ブラシレスモータおよびこれを用いた位置決めテーブル装置 | |
| JP3176766B2 (ja) | 位置決めテーブル装置 | |
| JPH11297591A (ja) | 位置決め装置および露光装置ならびにデバイス製造方法 | |
| JPH06335230A (ja) | 永久磁石式リニア同期モータ | |
| JPH06343287A (ja) | 精密機器の駆動装置 | |
| JPH05284719A (ja) | モータの原点位置決め方法 |