JPH06343287A

JPH06343287A - 精密機器の駆動装置

Info

Publication number: JPH06343287A
Application number: JP5047130A
Authority: JP
Inventors: Mitsuo Uzuka; 光男宇塚
Original assignee: SOFUTORONIKUSU KK
Current assignee: SOFUTORONIKUSU KK
Priority date: 1993-02-15
Filing date: 1993-02-15
Publication date: 1994-12-13

Abstract

(57)【要約】【目的】目標位置到達後の移動体の振動やドリフトを
防止することにより、移動体の位置決めを迅速確実に行
うことができると共に、位置決め精度の向上を図る。【構成】開示される発明は、複数の主駆動コイル１４
Ｕ₀，１４Ｖ₀，１４Ｗ₀，…と永久磁石１８Ｎ，１８
Ｓ，…とを線形に対向配置して、一方を可動子１０、他
方を固定子９として構成されるリニアモータと、上記可
動子１０の現在位置情報を検出するためのリニアエンコ
ーダ（１９，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ）と、該
リニアエンコーダの出力値に基づいて、上記可動子１０
の現在位置から目標位置までの隔たりである位置偏差を
算出するための位置偏差算出回路２４と、該位置偏差算
出回路２４の出力値に基づいて、上記リニアモータの駆
動力を制御するためのＤ／Ａ変換器（駆動制御手段）２
５とを備えてなる。上記固定子９又は可動子１０には、
上記主駆動コイル１４Ｕ₀，１４Ｖ₀，１４Ｗ₀，…の駆
動力よりも弱いバイアス力を上記可動子１０に作用させ
るためのバイアス用電磁コイル１５Ｕ₀，１５Ｖ₀，１５
Ｗ₀，…が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、リニアモータ又は回
転モータを使用する精密機器の駆動装置に係り、特に、
非球面加工機、測定用センサ等の送り系、光学ミラー等
の位置決め系に適用して好適である。

【０００２】

【従来の技術】リニアモータは、制御の対象物を（機械
的結合なしに）一体化して、大きな推力で直接直線駆動
できる上、エンコーダ等の移動位置検出手段との組み合
わせで、高精度のステップ動作が容易に得られることか
ら、近年、物品の搬送装置、非球面光学レンズの研削加
工機のＸ−Ｙテーブル、測定用センサの送り装置等にリ
ニアモータが採用されるケースが多くなっている。

【０００３】図８は、従来のリニアモータ（片面励磁構
造の１２０度通電形３相リニア直流モータ）の機械的構
成を概略的に示す部分的斜視図である。同図に示すリニ
アモータにおいて、符号１は、制御の対象物を直接搭載
して直線運動する可動子を示し、この可動子１は、方形
平板状のヨーク２と、このヨーク２の下面にＮ極、Ｓ極
の磁極を交互にして取り付けられた複数対の界磁マグネ
ット（永久磁石）３Ｎ，３Ｓ，…とから概略構成されて
いる。また、４は固定子を示し、この固定子４は、長尺
平板状のヨーク５と、このヨーク５の上面に、その長さ
方向に沿って順次隣接して線形に並べられた複数個の空
心形の可動子駆動用コイル（以下、単に駆動コイルとい
う）６Ｕ₀，６Ｖ₀，６Ｗ₀，…とから構成されている。

【０００４】ここで、一群の駆動コイル６Ｕ₀，６Ｕ₁，
…は、順次直列接続され、Ｕ相の電力が供給されるよう
になっている。同様に、一群の駆動コイル６Ｖ₀，６
Ｖ₁，…は、順次直列接続され、Ｖ相の電力が、また、
一群の駆動コイル６Ｗ₀，６Ｗ₁，…は、順次直列接続さ
れ、Ｗ相の電力がそれぞれ供給されるようになってい
る。上記可動子１と固定子４とは、界磁マグネット３
Ｎ，３Ｓ，…と駆動コイル６Ｕ₀，６Ｖ₀，６Ｗ₀，…と
を対向させた状態で配置されている。

【０００５】上記リニアモータには、さらに、可動子１
の移動距離を計測するためのリニアエンコーダが設置さ
れ、駆動回路等の各種電気回路等と合わせて、全体とし
て駆動装置を構成する。上記リニアエンコーダは、例え
ば、図９に示すように、可動子１側に搭載され、可動子
１の移動距離分に相当する長さの磁気スケール７と、固
定子４側に固定され、上記磁気スケール７を読み取るた
めのホールセンサ８とから構成されている。

【０００６】上記構成の駆動装置において、駆動コイル
６Ｕ₀，６Ｖ₀，６Ｗ₀，…の各相に順次１２０度位相を
遅らせた電力が供給されると、可動子１が、固定子４と
の間で生じる電磁力により、固定子４に沿って目標位置
に向けて移動する。このとき、上記ホールセンサ８から
は、可動子１の移動距離に対応した数のデジタルパルス
が出力される。図示せぬカウンタ回路は、ホールセンサ
８から出力されたデジタルパルスの個数を計測して位置
偏差算出回路に送出する。位置偏差算出回路は、カウン
タ回路の出力値に基づき、現在位置（デジタル値）から
目標位置（デジタル値）までの隔たり（位置偏差）を算
出し、算出結果を駆動回路に送出する。駆動回路は、入
力された位置偏差に応じた駆動電流（図１０）を駆動コ
イル６Ｕ₀，６Ｖ₀，６Ｗ₀，…に供給する。

【０００７】図１０は、位置偏差に応じて、駆動コイル
６Ｕ₀，６Ｖ₀，６Ｗ₀，…に供給される駆動電流を示す
図であり、例えば、可動子１が目標位置に近づくにつれ
て、駆動電流の供給がデジタル（段階）的に減り、これ
に伴ってトルクがデジタル（段階）的に弱められるよう
になっている。一方、可動子１がオーバランすると、オ
ーバランの程度に応じて、逆向きの駆動電流が駆動コイ
ル６Ｕ₀，６Ｖ₀，６Ｗ₀，…に供給され、これに伴っ
て、トルクがデジタル（段階）的にかつ逆向きに発生す
るようになっている。このようにして、可動子１は現在
位置から目標位置に向けて移動させられる。なお、図示
していないが、可動子１は固定子４に対して無接触でエ
アスライドするようになされている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
構成の駆動装置にあっては、図１０に示すように、可動
子１が位置偏差「０」パルスの区域Ａに到達すると、駆
動コイル６Ｕ₀，６Ｖ₀，６Ｗ₀，…に対して駆動電流が
全く供給されなくなる。しかしながら、可動子１の運動
には摩擦ロスがないために、駆動電流の供給が止まって
も可動子１は即停止できず、慣性や外乱等のため、位置
偏差「０」パルスの区域Ａからはみ出てしまう。この結
果、可動子１は、位置偏差「±１」パルス内の区域Ｂで
振動やドリフトを繰り返し、仲々整定されず、整定され
ても、所望の送り精度（±１パルスの精度）が得られな
いという不都合があった。

【０００９】この発明は、上述の事情に鑑みてなされた
もので、目標位置到達後の可動子（移動体）１の振動や
ドリフトを防止することができる精密機器の駆動装置を
提供することを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の発明は、移動体を駆動する主駆動手
段と、上記移動体の現在位置情報を検出するためのエン
コーダと、該エンコーダの出力値に基づいて、上記移動
体の現在位置から目標位置までの隔たりである位置偏差
を算出するための位置偏差算出手段と、該位置偏差算出
手段の出力値に基づいて、上記主駆動手段の駆動力を制
御するための駆動制御手段と、上記主駆動手段の駆動力
よりも弱いバイアス力を上記移動体に作用させるバイア
ス用駆動手段とを備えてなることを特徴としている。

【００１１】また、請求項２記載の発明は、上記移動体
が目標位置又はその近傍に到達し、かつ留まる間、上記
バイアス用駆動手段が上記移動体にバイアス力を作用さ
せるものであることを特徴としている。

【００１２】また、請求項３記載の発明は、複数の主駆
動用電磁コイルと永久磁石とを線形に対向配置して、一
方を可動子、他方を固定子として構成されるリニアモー
タと、上記可動子の現在位置情報を検出するためのリニ
アエンコーダと、該リニアエンコーダの出力値に基づい
て、上記可動子の現在位置から目標位置までの隔たりで
ある位置偏差を算出するための位置偏差算出手段と、該
位置偏差算出手段の出力値に基づいて、上記リニアモー
タの駆動力を制御するための駆動制御手段とを備えてな
ると共に、上記固定子又は可動子には、上記主駆動手段
の駆動力よりも弱いバイアス力を上記可動子に作用させ
るためのバイアス用電磁コイルが設けられていることを
特徴としている。

【００１３】

【作用】上記構成において、移動体が位置偏差「０」パ
ルスの区域に到達すれば、主駆動手段は駆動を停止する
が、バイアス用駆動手段は駆動を停止しない。このた
め、移動体には常時一定方向のバイアス力が作用する。
それ故、移動体は位置偏差「０」パルスの区域Ａから出
ようとする。しかしながら、一旦、位置偏差「±１」パ
ルスの区域Ｃに入ると、主駆動装置の駆動力が作用し
て、移動体を位置偏差「０」パルスの区域Ａ内に押し戻
す。この結果、移動体のドリフト又は振動は急速に減衰
し、移動体は、エンコーダパルスが変化する立ち上がり
部又は立ち下がり部に張り付けられることとなる（図１
０参照）。それ故、上記構成によれば、移動体の位置決
めを迅速確実に行うことができると共に、位置決め精度
の向上を図ることができる。

【００１４】

【実施例】以下、図面を参照してこの発明の実施例につ
いて説明する。図１は、この発明の一実施例である精密
機器の駆動装置に適用されるリニアモータの機械的構成
を示す斜視図、図２は同機械的構成の要部を示す斜視
図、図３は図１のＡ−Ａ線に沿う垂直断面図、また図４
は同駆動装置の電気的構成を示す回路図である。まず、
図１乃至図３を参照して、この例のリニアモータの機械
的構成について説明する。この例のリニアモータは、図
８のリニアモータと同様に、マグネット移動式によるも
のであり、固定子９と可動子１０とからなっている。上
記固定子９は、互いに平行な一対のガイドレール１１，
１１が設けられた長尺状の水平基板１２と、この水平基
板１２のガイドレール１１，１１間に立設された長尺状
の垂直基板１３と、この垂直基板１３の一側面側に、そ
の長さ方向に沿って並べて固定配置された複数の空心形
の主駆動コイル１４Ｕ₀，１４Ｖ₀，１４Ｗ₀，…と、各
主駆動コイルの内周側にそれぞれ嵌合配置された複数の
バイアス用駆動コイル１５Ｕ₀，１５Ｖ₀，１５Ｗ₀，…
とから概略構成され、上記垂直基板１３には、複数個の
位置検出センサ１６Ｕ₁，１６Ｖ₁，１６Ｗ₁，…設けら
れている。

【００１５】上記主駆動コイル１４Ｕ₀，１４Ｖ₀，１４
Ｗ₀，…は、可動子１０を駆動するために主駆動電流が
供給されるコイルであり、１２０度通電形３相構成にな
されている。また、上記バイアス用駆動コイル１５
Ｕ₀，１５Ｖ₀，１５Ｗ₀，…は、可動子１０にバイアス
力を作用させるために、比較的弱小のバイアス駆動電流
が供給されるコイルであり、主駆動コイル１４Ｕ₀，１
４Ｖ₀，１４Ｗ₀，…と同様に、１２０度通電形３相構成
になされている。上記位置検出センサ１６Ｕ₁，１６
Ｖ₁，１６Ｗ₁，…は、磁気密度を検出して電位差に変換
するディジタルタイプのホールＩＣからなり、垂直基板
１３の長手方向に沿って所定間隔毎に取り付けられてい
る。

【００１６】上記可動子１０は、断面コ字状のヨーク１
７と、このヨーク１７の一方の内側面にＮ極、Ｓ極の磁
極が交互に並んだ状態に配設された複数対の界磁マグネ
ット１８Ｎ，１８Ｓ，…（図２）とから概略構成されて
いる。上記ヨーク１７は、図３に示すように、一対の垂
直片１７Ａ，１７Ａと水平片１７Ｂとから下部開口型コ
字状に形成され、各垂直片１７Ａの下端部は、レール１
１に載置され、レールに沿って移動自在になされてい
る。なお、図示していないが、駆動時には、レール１
１，１１上面からエアが噴射され、可動子１０がエアス
ライドするようになされている。また、水平片１７Ｂの
上面には、制御の対象物が載置固定されるようになって
いる。

【００１７】上記リニアモータには、さらに、可動子１
０の移動距離を計測するためのリニアエンコーダが設置
され、後述する各種電気回路等と合わせて、全体として
駆動装置を構成する。上記リニアエンコーダは、可動子
１０の一方の垂直片１７Ａ外側側面に取り付けられた磁
気スケール１９と、固定子９の水平基板１２に互いに離
間的に固定され、上記磁気スケール１９を磁気的に読み
取るための複数の位置決めセンサ２０Ａ，２０Ｂ，２０
Ｃ，２０Ｄとから構成されている。

【００１８】上記磁気スケール１９は、複数個の小マグ
ネットｍ，ｍ，…を可動部１０の移動方向に沿って極性
が交互に逆になる状態に、かつ等ピッチに配列してな
り、長さが、垂直片１７Ａの長さ寸法Ｌに概略等しく設
定されている。。また、上記位置決めセンサ２０Ａ，２
０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄは、位置検出センサ１６Ｕ₁，１
６Ｖ₁，１６Ｗ₁，…と同様に、ディジタルタイプのホー
ルＩＣからなり、水平基板１２の長手方向に沿って所定
間隔（小マグネットｍ，ｍ，…の配列ピッチＰの整数倍
で、かつ垂直片１７Ａの長さ寸法Ｌより小）毎に取り付
けられている。

【００１９】次に、図４を参照して、この例の駆動装置
の電気的構成について説明する。図４において、位置検
出センサ１６Ｕ₁，１６Ｖ₁，１６Ｗ₁，…は、各相毎に
互いに並列接続され、その検出出力が、互いに同一構成
の対応する主駆動用増幅回路２１Ｕ，２１Ｖ，２１Ｗ、
及びバイアス駆動用増幅回路２２Ｕ，２２Ｖ，２２Ｗに
それぞれ供給されるようになっている。

【００２０】アップダウンカウンタ２３は、可動子１０
の移動距離に応じて、リニアエンコーダ（位置決めセン
サ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ）によって生成され
るデジタルパルスを計測して、計測結果を位置偏差算出
回路２４に送出する。ここで、可動子１０が予め設定さ
れた正の方向に移動するときは、デジタルパルスはアッ
プダウンカウンタ２３の＋入力端子から入力され、カウ
ントアップされ、一方、可動子１０が負の方向に進むと
きは、デジタルパルスはアップダウンカウンタ２３の−
入力端子から入力され、カウントダウンされるようにな
っている。

【００２１】上記位置偏差算出回路２４は、予め設定さ
れた基準値（可動子１０の移動先である目標位置に相
当）からアップダウンカウンタ２３の計測結果（可動子
１０の現在位置に相当）を減算して位置偏差（デジタル
値）を算出する。そして、算出された位置偏差をＤ／Ａ
変換器２５に供給する。Ｄ／Ａ変換器２５は、位置偏差
算出回路２４から供給された位置偏差に基づいて、主駆
動電流制御信号を生成して、主駆動用増幅回路２１Ｕ，
２１Ｖ，２１Ｗにそれぞれ供給する。

【００２２】Ｄ／Ａ変換器２５においては、電圧が複数
段階に分けられ、例えば「＋１」パルスの位置偏差が入
力されたときは、例えば０．５Ｖの主駆動電流制御信号
が出力され、「＋２」パルスの位置偏差が入力されたと
きは、例えば１．０Ｖの主駆動電流制御信号が出力さ
れ、「＋３」パルスの位置偏差が入力されたときは、例
えば１．５Ｖの主駆動電流制御信号が出力されるように
なっている。同様に、例えば「−１」パルスの位置偏差
が入力されたときは、例えば−０．５Ｖの主駆動電流制
御信号が出力され、「−２」パルスの位置偏差が入力さ
れたときは、例えば−１．０Ｖの主駆動電流制御信号が
出力され、「−３」パルスの位置偏差が入力されたとき
は、例えば−１．５Ｖの主駆動電流制御信号が出力され
るようになっている。

【００２３】バイアス駆動電流調整回路２６は、可変抵
抗器及び増幅器等からなり、バイアス駆動用増幅回路２
２Ｕ，２２Ｖ，２２Ｗにバイアス駆動電流制御信号を送
出する。上記主駆動用増幅回路２１Ｕ，２１Ｖ，２１Ｗ
は、主駆動電流を主駆動コイル１４Ｕ₀，１４Ｖ₀，１４
Ｗ₀，…に供給する。ここで、主駆動電流の位相のタイ
ミングは、位置検出センサ１６Ｕ₁，１６Ｖ₁，１６
Ｗ₁，…から供給される検出信号によって制御され、主
駆動電流の大きさは、Ｄ／Ａ変換器２５から供給される
主駆動電流制御信号によって制御される（主駆動電流制
御信号の電圧が大きい程、主駆動電流は多く供給され
る）。

【００２４】上記バイアス駆動用増幅回路２２Ｕ，２２
Ｖ，２２Ｗは、バイアス駆動電流をバイアス用駆動コイ
ル１５Ｕ₀，１５Ｖ₀，１５Ｗ₀，…に供給する。ここ
で、バイアス駆動電流の位相のタイミングは、位置検出
センサ１６Ｕ₁，１６Ｖ₁，１６Ｗ₁，…から供給される
検出信号によって制御され、バイアス駆動電流の大きさ
は、バイアス駆動電流調整回路２６から供給されるバイ
アス駆動電流制御信号によって制御される。なお、この
例においては、主駆動電流の最小値、すなわち、位置偏
差が±１パルスのときに、主駆動用増幅回路２１Ｕ，２
１Ｖ，２１Ｗから出力される主駆動電流の電流値より
も、バイアス駆動用増幅回路２２Ｕ，２２Ｖ，２２Ｗか
ら出力されるバイアス駆動電流の電流値が常に小さくな
るように設定されている。

【００２５】図５は、この例のリニアエンコーダの電気
的構成を示すブロック図である。この図に示すように、
位置決めセンサ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄの出力
端が、共通接続されていて論理和がとられている（すな
わち各出力端がワイアードオア接続されている）。ま
た、各位置決めセンサ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ
には、端子Ｔａ，Ｔｂを介して、電源が供給されるよう
になっている。

【００２６】それ故、各位置決めセンサ２０Ａ，２０
Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄの出力Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐｄを重
ねても、図６に示すように、可動子１０の移動量（すな
わち、磁気スケール１９の移動量）に対応した個数のデ
ジタルパルスｃｗ，ｃｗ，…が、出力端子Ｔｏから出力
される。これらのデジタルパルスｃｗ，ｃｗ，…はアッ
プダウンカウンタ２３により計数され、これにより、現
在位置ないしは移動量が認識される。

【００２７】上記構成において、目標位置へ移動する可
動体１０が位置偏差「０」パルスの区域Ａ（図１０参
照）に到達すれば、主駆動用増幅回路２１Ｕ，２１Ｖ，
２１Ｗは、主駆動コイル１４Ｕ₀，１４Ｖ₀，１４Ｗ₀，
…に対して主駆動電流の供給を停止するが、バイアス駆
動用増幅回路２２Ｕ，２２Ｖ，２２Ｗは、バイアス用駆
動コイル１５Ｕ₀，１５Ｖ₀，１５Ｗ₀，…に対してバイ
アス駆動電流の供給を停止しない。このため、可動体１
０には常時一定方向のバイアス力が作用する。このバイ
アス力の作用によって、可動体１０は、位置偏差「０」
パルスの区域Ａから押し出されようとする（スライドア
ウト）。しかしながら、一旦、位置偏差「±１」パルス
の区域Ｃに入ると、Ａ／Ｄ変換器２５から送出される主
駆動電流制御信号に基づいて、主駆動用増幅回路２１
Ｕ，２１Ｖ，２１Ｗは、主駆動コイル１４Ｕ₀，１４
Ｖ₀，１４Ｗ₀，…に対して主駆動電流を供給するため、
可動子１０は再び位置偏差「０」パルスの区域Ａに押し
戻される（ないしは引き戻される）。

【００２８】この結果、可動子１０は、エンコーダパル
スが変化する立ち上がり部又は立ち下がり部に張り付け
られることとなる（図１０参照）。それ故、上記構成に
よれば、可動体１０の位置決めを迅速確実に行うことが
できると共に、位置決め精度の向上を図ることができ
る。

【００２９】以上、この発明の実施例を図面により詳述
してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られるもの
ではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変
更等があってもこの発明に含まれる。例えば、上述の各
実施例においては、マグネット移動式のリニアモータに
適用する制動装置について述べたが、これに限らず、例
えば、コイル移動式のリニアモータに適用するようにし
ても良い。また、位置検出センサや位置決めセンサとし
て、ホールＩＣに代えて、磁気抵抗効果素子を用いても
良い。また、磁気スケールを固定子側に設けるようにし
ても良い。

【００３０】また、上述の実施例においては、磁気を
利用したリニアエンコーダを用いる場合について述べた
が、図５に示すように、スリット２７，２７，…を利用
した光学式のリニアエンコーダ２８を用いるようにして
も良い。また、上述の実施例においては、一次元のリニ
アモータを用いる場合について述べたが、二次元、三次
元のリニアモータを用いるようにしても良い。

【００３１】また、上述の実施例においては、リニアモ
ータを用いる場合について述べたが、回転モータを用い
るようにしても良い。

【００３２】また、上述の実施例においては、常時、バ
イアス駆動用増幅回路２２Ｕ，２２Ｖ，２２Ｗから、バ
イアス用駆動コイル１５Ｕ₀，１５Ｖ₀，１５Ｗ₀，…に
対してバイアス駆動電流が供給される場合について述べ
たが、スイッチング回路を用いて、例えば位置偏差「±
１」パルスの区域のときのみ、バイアス力が作用するよ
うにしても良い。

【００３３】また、この発明において、現在位置情報の
概念には現在角度情報も含まれ、現在位置には現在角度
位置が、目標位置には目標角度位置が含まれる。また、
位置偏差には角度偏差も含まれる。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、この発明の構成に
よれば、移動体が位置偏差「０」パルスの区域に到達す
ることにより、主駆動手段が駆動を停止しても、バイア
ス力が作用するので、移動体は、エンコーダパルスが変
化する立ち上がり部又は立ち下がり部に張り付けられる
こととなる。それ故、移動体の位置決めを迅速確実に行
うことができると共に、位置決め精度の向上を図ること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例である精密機器の駆動装置
に適用されるリニアモータの機械的構成を示す斜視図で
ある。

【図２】同機械的構成の要部を示す斜視図である。

【図３】図１のＡ−Ａ線に沿う垂直断面図である。

【図４】同駆動装置の電気的構成を示す回路図である。

【図５】この例のリニアエンコーダの電気的構成を示す
ブロック図である。

【図６】同リニアエンコーダの動作を説明するための図
である。

【図７】リニアエンコーダの変形例を示す斜視図であ
る。

【図８】従来のリニアモータの機械的構成を概略的に示
す部分的斜視図である。

【図９】同リニアモータに取り付けられるリニアエンコ
ーダの一例を概略的に示す概略図である。

【図１０】同リニアモータの位置決め動作を説明するた
めの図である。

【符号の説明】

９固定子１０可動子（移動体）１４Ｕ₀，１４Ｖ₀，… 主駆動コイル（主駆動手
段）１５Ｕ₀，１５Ｖ₀，… バイアス用駆動コイル（バ
イアス用駆動手段）１８Ｎ，１８Ｓ界磁マグネット（永久磁石）１９磁気スケール（エンコーダの一部）２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ位置決めセンサ（エンコ
ーダの一部）２１Ｕ，２１Ｖ，２１Ｗ主駆動用増幅回路２２Ｕ，２２Ｖ，２２Ｗバイアス駆動用増幅回路２３アップダウンカウンタ２４位置偏差算出回路（位置偏差算出手段）２５Ｄ／Ａ変換器（駆動制御手段の一部）２６バイアス駆動電流調整回路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】移動体を駆動する主駆動手段と、前記移動体の現在位置情報を検出するためのエンコーダ
と、該エンコーダの出力値に基づいて、前記移動体の現在位
置から目標位置までの隔たりである位置偏差を算出する
ための位置偏差算出手段と、該位置偏差算出手段の出力値に基づいて、前記主駆動手
段の駆動力を制御するための駆動制御手段と、前記主駆動手段の駆動力よりも弱いバイアス力を前記移
動体に作用させるバイアス用駆動手段とを備えてなるこ
とを特徴とする精密機械の駆動装置。
【請求項２】前記バイアス用駆動手段は、前記移動体
が目標位置又はその近傍に到達し、かつ留まる間、前記
移動体にバイアス力を作用させるものであることを特徴
とする請求項１記載の精密機器の駆動装置。
【請求項３】複数の主駆動用電磁コイルと永久磁石と
を線形に対向配置して、一方を可動子、他方を固定子と
して構成されるリニアモータと、前記可動子の現在位置情報を検出するためのリニアエン
コーダと、該リニアエンコーダの出力値に基づいて、前記可動子の
現在位置から目標位置までの隔たりである位置偏差を算
出するための位置偏差算出手段と、該位置偏差算出手段の出力値に基づいて、前記リニアモ
ータの駆動力を制御するための駆動制御手段とを備えて
なると共に、前記固定子又は可動子には、前記主駆動手段の駆動力よ
りも弱いバイアス力を前記可動子に作用させるためのバ
イアス用電磁コイルが設けられていることを特徴とする
請求項１又は２記載の精密機械の駆動装置。