JPH0957218A - プラスチックフィルムの表面清浄装置 - Google Patents
プラスチックフィルムの表面清浄装置Info
- Publication number
- JPH0957218A JPH0957218A JP7233271A JP23327195A JPH0957218A JP H0957218 A JPH0957218 A JP H0957218A JP 7233271 A JP7233271 A JP 7233271A JP 23327195 A JP23327195 A JP 23327195A JP H0957218 A JPH0957218 A JP H0957218A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- film
- plastic film
- surface cleaning
- films
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 title claims abstract description 70
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 title claims abstract description 70
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 61
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 97
- 238000009736 wetting Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 11
- 238000001035 drying Methods 0.000 abstract description 25
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 10
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 abstract description 8
- 238000007664 blowing Methods 0.000 abstract description 3
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 20
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 10
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- 229920000297 Rayon Polymers 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 239000002964 rayon Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 2
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000001299 aldehydes Chemical class 0.000 description 1
- 150000001335 aliphatic alkanes Chemical class 0.000 description 1
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 フィルムに付着混入したほこりや屑を効果的
に取り除くことができるプラスチックフィルムの表面清
浄装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 プラスチックフィルム表面を液体でぬら
すための手段と、該プラスチックフィルム表面と接触す
るように配置された回転ブラシから構成されることを特
徴とし、例えば、図１に示すように、プラスチックフィ
ルム１２を液体に浸漬する液体タンク１４、液体中でフ
ィルム１２の表面と接触するように配置された回転ブラ
シ１６、該表面に液体を吹き付けるリンス用ノズル１
８、及び該表面に付着した液体を乾燥させるための乾燥
炉２０が、フィルムの走行方向に順次配置されるように
構成する。かかる表面清浄装置１０は、繰り出し装置２
６から巻取り装置２８へプラスチックフィルム１２を走
行させる過程で、フィルム１２をフリーロール３０によ
り液体タンク１４内に導いてブラッシングした後に、リ
ンス用ノズル１８から液体を吹き付けることでフィルム
１２の表面清浄処理を行い、次いで、該表面を乾燥する
乾燥処理を連続的に実施できる。
に取り除くことができるプラスチックフィルムの表面清
浄装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 プラスチックフィルム表面を液体でぬら
すための手段と、該プラスチックフィルム表面と接触す
るように配置された回転ブラシから構成されることを特
徴とし、例えば、図１に示すように、プラスチックフィ
ルム１２を液体に浸漬する液体タンク１４、液体中でフ
ィルム１２の表面と接触するように配置された回転ブラ
シ１６、該表面に液体を吹き付けるリンス用ノズル１
８、及び該表面に付着した液体を乾燥させるための乾燥
炉２０が、フィルムの走行方向に順次配置されるように
構成する。かかる表面清浄装置１０は、繰り出し装置２
６から巻取り装置２８へプラスチックフィルム１２を走
行させる過程で、フィルム１２をフリーロール３０によ
り液体タンク１４内に導いてブラッシングした後に、リ
ンス用ノズル１８から液体を吹き付けることでフィルム
１２の表面清浄処理を行い、次いで、該表面を乾燥する
乾燥処理を連続的に実施できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はフィルム表面を効果
的に洗浄できるプラスチックフィルムの表面清浄装置に
関する。
的に洗浄できるプラスチックフィルムの表面清浄装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】押出し法やキャスト法によって得られる
プラスチックフィルムは、多くの精密電子部品に使用さ
れるため、通常クリーンルーム内で製造される。しか
し、プラスチックフィルムは非常に帯電しやすいため、
多くのほこりが付着するという問題があった。また、フ
ィルムはさまざまな幅や長さにスリットされて使用され
るが、そのスリットの際に多くの屑が発生し、フィルム
中に混入するという問題点もあった。そのため、従来は
これらの問題に対して、フィルムの静電気除去を行った
り、フィルムにエアーを吹き付けることで異物の付着防
止や異物除去を行っていた。
プラスチックフィルムは、多くの精密電子部品に使用さ
れるため、通常クリーンルーム内で製造される。しか
し、プラスチックフィルムは非常に帯電しやすいため、
多くのほこりが付着するという問題があった。また、フ
ィルムはさまざまな幅や長さにスリットされて使用され
るが、そのスリットの際に多くの屑が発生し、フィルム
中に混入するという問題点もあった。そのため、従来は
これらの問題に対して、フィルムの静電気除去を行った
り、フィルムにエアーを吹き付けることで異物の付着防
止や異物除去を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年の
電気・電子工業における精密加工等の分野においては異
物付着が製品不良や欠陥を生じる原因となるために、フ
ィルム表面の清浄化が強く要求されてきている。そのた
め、従来の静電気除去やエアー吹き付けにより異物の付
着防止や異物除去を行っても、このような精密加工等の
分野における高度な要求に応えることが困難になってき
ている。
電気・電子工業における精密加工等の分野においては異
物付着が製品不良や欠陥を生じる原因となるために、フ
ィルム表面の清浄化が強く要求されてきている。そのた
め、従来の静電気除去やエアー吹き付けにより異物の付
着防止や異物除去を行っても、このような精密加工等の
分野における高度な要求に応えることが困難になってき
ている。
【０００４】そこで、本発明者らは上記従来の問題点を
解決し、フィルムに付着混入したほこりや屑を効果的に
取り除くことができるプラスチックフィルムの表面清浄
装置を提供することを目的に鋭意研究を重ねた結果、本
発明に至ったのである。
解決し、フィルムに付着混入したほこりや屑を効果的に
取り除くことができるプラスチックフィルムの表面清浄
装置を提供することを目的に鋭意研究を重ねた結果、本
発明に至ったのである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係るプラスチッ
クフィルムの表面清浄装置の要旨とするところは、プラ
スチックフィルム表面を液体でぬらすための手段と、該
プラスチックフィルム表面と接触するように配置された
回転ブラシから構成されることにある。
クフィルムの表面清浄装置の要旨とするところは、プラ
スチックフィルム表面を液体でぬらすための手段と、該
プラスチックフィルム表面と接触するように配置された
回転ブラシから構成されることにある。
【０００６】更には、かかるプラスチックフィルムの表
面清浄装置において、プラスチックフィルム表面を液体
でぬらすための手段、該プラスチックフィルム表面と接
触するように配置された回転ブラシ及び該プラスチック
フィルム表面に液体を吹き付けるリンス用ノズルが、プ
ラスチックフィルム走行方向に順次配置されていること
にある。
面清浄装置において、プラスチックフィルム表面を液体
でぬらすための手段、該プラスチックフィルム表面と接
触するように配置された回転ブラシ及び該プラスチック
フィルム表面に液体を吹き付けるリンス用ノズルが、プ
ラスチックフィルム走行方向に順次配置されていること
にある。
【０００７】そして、かかるプラスチックフィルムの表
面清浄装置において、前記フィルム表面を液体でぬらす
ための手段が、プラスチックフィルムを液体中に浸漬す
る液体タンクであることにある。
面清浄装置において、前記フィルム表面を液体でぬらす
ための手段が、プラスチックフィルムを液体中に浸漬す
る液体タンクであることにある。
【０００８】また、かかるプラスチックフィルムの表面
清浄装置において、前記回転ブラシが、液体中でプラス
チックフィルム表面と接触するように配置されることに
ある。
清浄装置において、前記回転ブラシが、液体中でプラス
チックフィルム表面と接触するように配置されることに
ある。
【０００９】また、かかるプラスチックフィルムの表面
清浄装置において、前記回転ブラシが、液体浸漬後にプ
ラスチックフィルム表面と接触するように配置されるこ
とにある。
清浄装置において、前記回転ブラシが、液体浸漬後にプ
ラスチックフィルム表面と接触するように配置されるこ
とにある。
【００１０】あるいは、かかるプラスチックフィルムの
表面清浄装置において、前記フィルム表面を液体でぬら
すための手段が、プラスチックフィルム表面に液体を吹
き付けるノズルであることにある。
表面清浄装置において、前記フィルム表面を液体でぬら
すための手段が、プラスチックフィルム表面に液体を吹
き付けるノズルであることにある。
【００１１】更に、かかるプラスチックフィルムの表面
清浄装置において、前記フィルム表面を液体でぬらすた
めの手段と回転ブラシが、プラスチックフィルムの両面
に配置されていることにある。
清浄装置において、前記フィルム表面を液体でぬらすた
めの手段と回転ブラシが、プラスチックフィルムの両面
に配置されていることにある。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明に係るプラスチックフィル
ムの表面清浄装置は、プラスチックフィルム表面を液体
でぬらす手段と該プラスチックフィルム表面と接触する
ように配置された回転ブラシから構成されることを特徴
とし、液体でフィルム表面をぬらした状態でプラスチッ
クフィルムを回転ブラシと接触させることにより、プラ
スチックフィルムの表面を効果的に清浄できる。なお、
フィルム表面を液体でぬらす手段としては、液体中にフ
ィルムを浸漬させる液体タンクや、フィルム表面に液体
を吹き付けるノズルなどを挙げることができる。
ムの表面清浄装置は、プラスチックフィルム表面を液体
でぬらす手段と該プラスチックフィルム表面と接触する
ように配置された回転ブラシから構成されることを特徴
とし、液体でフィルム表面をぬらした状態でプラスチッ
クフィルムを回転ブラシと接触させることにより、プラ
スチックフィルムの表面を効果的に清浄できる。なお、
フィルム表面を液体でぬらす手段としては、液体中にフ
ィルムを浸漬させる液体タンクや、フィルム表面に液体
を吹き付けるノズルなどを挙げることができる。
【００１３】以下に、本発明に係るプラスチックフィル
ムの表面清浄装置について、図面に基づいて詳細に説明
する。
ムの表面清浄装置について、図面に基づいて詳細に説明
する。
【００１４】図１に示す表面清浄装置１０は、フィルム
表面を液体でぬらす手段としてプラスチックフィルム１
２を液体に浸漬する液体タンク１４を備えており、該液
体タンク１４と液体中でフィルム１２の表面と接触する
ように配置された回転ブラシ１６から構成されることを
必須要件とし、フィルム表面がぬれた状態で回転ブラシ
に接触するように構成されている。かかる装置１０にお
いては、回転ブラシ１６はフィルム１２の両側に該表面
と接触するように配置されており、フィルム１２を液体
タンク１４内の液体中に浸漬させる。そして、液体中で
フィルム１２の表面と接触するように配置された回転ブ
ラシ１６を回転させることにより、液体でぬらされたフ
ィルム１２の両面がブラッシングされ、フィルム表面の
ゴミや屑が除去されるのである。
表面を液体でぬらす手段としてプラスチックフィルム１
２を液体に浸漬する液体タンク１４を備えており、該液
体タンク１４と液体中でフィルム１２の表面と接触する
ように配置された回転ブラシ１６から構成されることを
必須要件とし、フィルム表面がぬれた状態で回転ブラシ
に接触するように構成されている。かかる装置１０にお
いては、回転ブラシ１６はフィルム１２の両側に該表面
と接触するように配置されており、フィルム１２を液体
タンク１４内の液体中に浸漬させる。そして、液体中で
フィルム１２の表面と接触するように配置された回転ブ
ラシ１６を回転させることにより、液体でぬらされたフ
ィルム１２の両面がブラッシングされ、フィルム表面の
ゴミや屑が除去されるのである。
【００１５】また、かかる装置１０はブラッシングされ
たフィルム１２の表面に液体を吹き付けるリンス用ノズ
ル１８を備え、更に該フィルム１２の表面に付着した液
体を乾燥させるための乾燥炉２０が設けられている。更
に、リンス用ノズル１８は液体タンク１４から循環ポン
プ２２、フィルター２４を介して設けられていて、吹き
付けた液体を液体タンク１４で回収して繰り返し使用す
ることができるように構成されている。そして、繰り出
し装置２６から巻取り装置２８へプラスチックフィルム
１２を走行させる過程で、フィルム１２をフリーロール
３０により液体タンク１４内に導いて液体中でブラッシ
ングした後に、リンス用ノズル１８から液体を吹き付け
ることでフィルム１２の表面清浄処理が行われ、次い
で、該表面を乾燥する乾燥処理が連続的に実施できるよ
うに構成されている。
たフィルム１２の表面に液体を吹き付けるリンス用ノズ
ル１８を備え、更に該フィルム１２の表面に付着した液
体を乾燥させるための乾燥炉２０が設けられている。更
に、リンス用ノズル１８は液体タンク１４から循環ポン
プ２２、フィルター２４を介して設けられていて、吹き
付けた液体を液体タンク１４で回収して繰り返し使用す
ることができるように構成されている。そして、繰り出
し装置２６から巻取り装置２８へプラスチックフィルム
１２を走行させる過程で、フィルム１２をフリーロール
３０により液体タンク１４内に導いて液体中でブラッシ
ングした後に、リンス用ノズル１８から液体を吹き付け
ることでフィルム１２の表面清浄処理が行われ、次い
で、該表面を乾燥する乾燥処理が連続的に実施できるよ
うに構成されている。
【００１６】その他、本発明に係るプラスチックフィル
ムの表面清浄装置としては、液体でフィルム表面をぬら
した状態でプラスチックフィルムを回転ブラシと接触さ
せればよく、上述のように、回転ブラシが液体中でフィ
ルムと接触するように構成するのではなく、図２に示す
表面清浄装置３２のように、フィルム１２を液体タンク
１４内の液体中に浸漬した後に、該フィルム１２の表面
と回転ブラシ１６とが接触するように構成してもよい。
なお、かかる装置３２においても、上記装置１０のよう
に、フィルムの両側に配置した回転ブラシ１６に続いて
リンス用ノズル１８及び乾燥炉２０を設け、繰り出し装
置２６から巻取り装置２８へプラスチックフィルム１２
を走行させる過程で、液体でぬらされたフィルム１２の
両面をブラッシングした後に液体を吹き付けて表面清浄
を行い、次いで乾燥処理を連続的に実施できるように構
成するのが好ましい。
ムの表面清浄装置としては、液体でフィルム表面をぬら
した状態でプラスチックフィルムを回転ブラシと接触さ
せればよく、上述のように、回転ブラシが液体中でフィ
ルムと接触するように構成するのではなく、図２に示す
表面清浄装置３２のように、フィルム１２を液体タンク
１４内の液体中に浸漬した後に、該フィルム１２の表面
と回転ブラシ１６とが接触するように構成してもよい。
なお、かかる装置３２においても、上記装置１０のよう
に、フィルムの両側に配置した回転ブラシ１６に続いて
リンス用ノズル１８及び乾燥炉２０を設け、繰り出し装
置２６から巻取り装置２８へプラスチックフィルム１２
を走行させる過程で、液体でぬらされたフィルム１２の
両面をブラッシングした後に液体を吹き付けて表面清浄
を行い、次いで乾燥処理を連続的に実施できるように構
成するのが好ましい。
【００１７】また、フィルム表面を液体でぬらす手段と
して、このようにフィルムを液体タンク内の液体中に浸
漬させるのではなく、図３に示す表面清浄装置３４のよ
うに、フィルム１２の表面に液体を吹き付けるノズル１
７を設け、続いてフィルム１２の両側にフィルム表面と
接触するように回転ブラシ１６を配置し、そして、回転
ブラシ１６に続いてリンス用ノズル１８及び乾燥炉２０
を設けるように構成してもよい。なお、ノズル１７は、
ノズル１８とともに液体タンク１４から循環ポンプ２
２、フィルター２４を介して設けられていて、吹き付け
た液体を液体タンク１４で回収して繰り返し使用するこ
とができるように構成されている。また、液体を吹き付
けるノズル１７は回転ブラシ１６の直前に配置し、フィ
ルム表面がぬれた状態で回転ブラシが接触するようにす
る。また、片面に複数個の回転ブラシを設置する場合
は、ブラシ間にもノズル１７を設置することが好まし
い。
して、このようにフィルムを液体タンク内の液体中に浸
漬させるのではなく、図３に示す表面清浄装置３４のよ
うに、フィルム１２の表面に液体を吹き付けるノズル１
７を設け、続いてフィルム１２の両側にフィルム表面と
接触するように回転ブラシ１６を配置し、そして、回転
ブラシ１６に続いてリンス用ノズル１８及び乾燥炉２０
を設けるように構成してもよい。なお、ノズル１７は、
ノズル１８とともに液体タンク１４から循環ポンプ２
２、フィルター２４を介して設けられていて、吹き付け
た液体を液体タンク１４で回収して繰り返し使用するこ
とができるように構成されている。また、液体を吹き付
けるノズル１７は回転ブラシ１６の直前に配置し、フィ
ルム表面がぬれた状態で回転ブラシが接触するようにす
る。また、片面に複数個の回転ブラシを設置する場合
は、ブラシ間にもノズル１７を設置することが好まし
い。
【００１８】ここで、回転ブラシ１６は、図１乃至図３
ではフィルムに対して対称な位置の両側に配置されてい
るが、回転ブラシの配置位置は限定されるものではな
く、フィルムの片面若しくは両面のいずれであってもよ
く、また両面に配置する際にはフィルムに対して対称な
位置であっても非対称な位置であってもよい。特には、
効果的に洗浄するためにはフィルムの両面に配置するこ
とが好ましく、更には、ブラシの個数は片面に２個以
上、両面で４個以上設置することが好ましい。そして、
回転ブラシを回転させる方向はフィルムの進行方向であ
っても進行方向と逆向きであってもよい。
ではフィルムに対して対称な位置の両側に配置されてい
るが、回転ブラシの配置位置は限定されるものではな
く、フィルムの片面若しくは両面のいずれであってもよ
く、また両面に配置する際にはフィルムに対して対称な
位置であっても非対称な位置であってもよい。特には、
効果的に洗浄するためにはフィルムの両面に配置するこ
とが好ましく、更には、ブラシの個数は片面に２個以
上、両面で４個以上設置することが好ましい。そして、
回転ブラシを回転させる方向はフィルムの進行方向であ
っても進行方向と逆向きであってもよい。
【００１９】なお、本発明に適用されるブラシの形態、
材質は特に制限はなく、フィルム表面に実用上有害な傷
を付けないものや、使用する液体によって劣化、溶解、
膨潤等が起きない充分な耐薬品性を有するものを選択す
ればよい。例えば、ブラシの形態には紙、布、不織布、
バフやスポンジ状のもの等あらゆるものを用いることが
でき、材質には樹脂、綿、絹等あらゆる材質が用いられ
る。
材質は特に制限はなく、フィルム表面に実用上有害な傷
を付けないものや、使用する液体によって劣化、溶解、
膨潤等が起きない充分な耐薬品性を有するものを選択す
ればよい。例えば、ブラシの形態には紙、布、不織布、
バフやスポンジ状のもの等あらゆるものを用いることが
でき、材質には樹脂、綿、絹等あらゆる材質が用いられ
る。
【００２０】そして、このように液体でフィルム表面を
ぬらした状態でブラッシングすることにより、フィルム
表面のゴミや屑が除去されるのであるが、ブラッシング
だけでは依然ゴミや屑の残存や、あるいはブラシから発
生するゴミの付着も考えられる。そのため、より効果的
に清浄化するためには、上記表面清浄装置１０（あるい
は装置３２又は装置３４）のようにリンス用ノズル１８
を設け、フィルム１２の表面を液体でぬらした状態でブ
ラッシングした後、次いでリンス用ノズル１８からプラ
スチックフィルム１２に液体を吹き付けることが好まし
い。かかるリンス用ノズル１８から液体を吹き付ける際
は、液体タンク１４で回収して繰り返して使用してもよ
いし、専用のタンクを用いてもよい。その他、何ら限定
されるものではない。
ぬらした状態でブラッシングすることにより、フィルム
表面のゴミや屑が除去されるのであるが、ブラッシング
だけでは依然ゴミや屑の残存や、あるいはブラシから発
生するゴミの付着も考えられる。そのため、より効果的
に清浄化するためには、上記表面清浄装置１０（あるい
は装置３２又は装置３４）のようにリンス用ノズル１８
を設け、フィルム１２の表面を液体でぬらした状態でブ
ラッシングした後、次いでリンス用ノズル１８からプラ
スチックフィルム１２に液体を吹き付けることが好まし
い。かかるリンス用ノズル１８から液体を吹き付ける際
は、液体タンク１４で回収して繰り返して使用してもよ
いし、専用のタンクを用いてもよい。その他、何ら限定
されるものではない。
【００２１】更に、かかる表面清浄装置１０（あるいは
装置３２又は装置３４）は、上記処理工程によりフィル
ム表面に付着した液体を乾燥させるための乾燥炉２０が
設けられ、当該表面洗浄処理工程に次いで引き続き乾燥
処理工程を順次連続的に実施することができる。乾燥炉
２０における乾燥温度は使用する液体の沸点及び使用す
るプラスチックフィルムの耐熱性を勘案して適宜決定す
ればよい。なお、乾燥炉２０は必ずしも必要ではない
が、能率的にフィルムの処理を行うためには乾燥炉２０
を設けて構成することが好ましい。その他、乾燥炉２０
に変えて冷風や温風により乾燥させる装置を設けてもよ
い等、何ら限定されない。
装置３２又は装置３４）は、上記処理工程によりフィル
ム表面に付着した液体を乾燥させるための乾燥炉２０が
設けられ、当該表面洗浄処理工程に次いで引き続き乾燥
処理工程を順次連続的に実施することができる。乾燥炉
２０における乾燥温度は使用する液体の沸点及び使用す
るプラスチックフィルムの耐熱性を勘案して適宜決定す
ればよい。なお、乾燥炉２０は必ずしも必要ではない
が、能率的にフィルムの処理を行うためには乾燥炉２０
を設けて構成することが好ましい。その他、乾燥炉２０
に変えて冷風や温風により乾燥させる装置を設けてもよ
い等、何ら限定されない。
【００２２】なお、処理速度は特に限定されるものでは
なく、実使用を考慮してプラスチックフィルムの走行速
度は１〜２０ｍ／分が好ましい。
なく、実使用を考慮してプラスチックフィルムの走行速
度は１〜２０ｍ／分が好ましい。
【００２３】ところで、本発明でいう液体としては、水
及びアルカン類、アルケン類、アルコール類、ケトン
類、エーテル類、ハロゲン類、カルボン酸類、アルデヒ
ド類、アミド類等の有機溶媒を単独で又は同一の類若し
くは異なる類から２種類以上の混合物として用いること
ができるが、使用されるプラスチックフィルムの耐薬品
性を勘案し、物性を著しく低下させないものを適宜使用
すればよい。また、表面処理時の温度は特に制限はな
く、使用する液体の融点以上沸点以下の温度を設定すれ
ばよい。
及びアルカン類、アルケン類、アルコール類、ケトン
類、エーテル類、ハロゲン類、カルボン酸類、アルデヒ
ド類、アミド類等の有機溶媒を単独で又は同一の類若し
くは異なる類から２種類以上の混合物として用いること
ができるが、使用されるプラスチックフィルムの耐薬品
性を勘案し、物性を著しく低下させないものを適宜使用
すればよい。また、表面処理時の温度は特に制限はな
く、使用する液体の融点以上沸点以下の温度を設定すれ
ばよい。
【００２４】また、本発明に適用されるプラスチックフ
ィルムは従来公知のもので、例えばフッ素系樹脂フィル
ム、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム、
ポリアリレートフィルム、ポリプロピレン（ＰＰ）フィ
ルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドフィルム等あら
ゆるものを含む。
ィルムは従来公知のもので、例えばフッ素系樹脂フィル
ム、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム、
ポリアリレートフィルム、ポリプロピレン（ＰＰ）フィ
ルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドフィルム等あら
ゆるものを含む。
【００２５】このように、本発明に係るプラスチックフ
ィルムの表面清浄装置は液体でぬらされたフィルム表面
をブラッシングするように構成することでフィルム表面
のゴミや屑が除去され、更にブラッシング後に再度液体
を吹き付けることで効果的にフィルムの表面清浄を行う
ことができる。そして、続いて乾燥炉を設けることで該
フィルムの乾燥を速やかに行うことができ、フィルム表
面を清浄化するための処理工程を能率的に行うことがで
きるのである。
ィルムの表面清浄装置は液体でぬらされたフィルム表面
をブラッシングするように構成することでフィルム表面
のゴミや屑が除去され、更にブラッシング後に再度液体
を吹き付けることで効果的にフィルムの表面清浄を行う
ことができる。そして、続いて乾燥炉を設けることで該
フィルムの乾燥を速やかに行うことができ、フィルム表
面を清浄化するための処理工程を能率的に行うことがで
きるのである。
【００２６】以上、本発明に係るプラスチックフィルム
の表面清浄装置の実施例を説明したが、本発明はこれら
の実施例のみに限定されるものではなく、例えば、リン
ス用ノズル１８の代わりに洗浄槽を設け、ブラッシング
されたフィルムを洗浄槽内に導いて洗浄用の液体中に浸
漬させるように構成してもよい。また、液体吹き付けノ
ズル１７とリンス用ノズル１８には、それぞれ専用のタ
ンクを用いるように構成してもよい等、本発明はその趣
旨を逸脱しない範囲内で当業者の知識に基づき、種々な
る改良、変更、修正を加えた態様で実施しうるものであ
る。
の表面清浄装置の実施例を説明したが、本発明はこれら
の実施例のみに限定されるものではなく、例えば、リン
ス用ノズル１８の代わりに洗浄槽を設け、ブラッシング
されたフィルムを洗浄槽内に導いて洗浄用の液体中に浸
漬させるように構成してもよい。また、液体吹き付けノ
ズル１７とリンス用ノズル１８には、それぞれ専用のタ
ンクを用いるように構成してもよい等、本発明はその趣
旨を逸脱しない範囲内で当業者の知識に基づき、種々な
る改良、変更、修正を加えた態様で実施しうるものであ
る。
【００２７】
【実施例】以下に実施例により本発明をより具体的に説
明するが、本発明はこれら実施例によって限定されるも
のではない。
明するが、本発明はこれら実施例によって限定されるも
のではない。
【００２８】〔実施例 １〕図１に示したものとほぼ同
じ表面清浄装置を用い、厚み２５μｍ、幅１ｍのＰＥＴ
フィルムの表面清浄処理を連続的に行った。処理条件は
フィルム走行速度を５ｍ／min とし、液体には水を使用
し、乾燥温度は１００℃とした。また、回転ブラシはブ
ラシ径２０cmのレーヨンの不織布を基材としたものを用
い、ニップ圧を３kg／ｍ、回転数をフィルムの進行方向
とは逆向きに２００ｒｐｍとした。また、リンス用ノズ
ルとＰＥＴフィルム間の距離は５０cmとした。
じ表面清浄装置を用い、厚み２５μｍ、幅１ｍのＰＥＴ
フィルムの表面清浄処理を連続的に行った。処理条件は
フィルム走行速度を５ｍ／min とし、液体には水を使用
し、乾燥温度は１００℃とした。また、回転ブラシはブ
ラシ径２０cmのレーヨンの不織布を基材としたものを用
い、ニップ圧を３kg／ｍ、回転数をフィルムの進行方向
とは逆向きに２００ｒｐｍとした。また、リンス用ノズ
ルとＰＥＴフィルム間の距離は５０cmとした。
【００２９】このようにして表面清浄処理を行ったＰＥ
Ｔフィルムについて、測定装置には液体パーティクルカ
ウンター（HIAC/ROYCO社製 Model 8000 A)を用い、以下
の方法でフィルム表面に付着する異物の個数（個／c
m2 ）を測定し、フィルムのクリーン度を調べた。
Ｔフィルムについて、測定装置には液体パーティクルカ
ウンター（HIAC/ROYCO社製 Model 8000 A)を用い、以下
の方法でフィルム表面に付着する異物の個数（個／c
m2 ）を測定し、フィルムのクリーン度を調べた。
【００３０】まず、上記処理済ＰＥＴフィルムから７
０mm×７０mm×３枚をクリーンルーム内でサンプリング
した。サンプリングに用いるカッターナイフと定規はア
ルコール洗浄したものを用い、サンプリングはシリコー
ンウェハー上で行った。 次に測定用サンプルとして、クリーンルーム内で使用
しているポリ容器（２５０ml）に超純水２００mlを入
れ、その中に上記サンプリングしたＰＥＴフィルム１枚
を投入して５分間超音波洗浄した水を得た。また、ブラ
ンクとしては、クリーンルーム内で使用しているポリ容
器（２５０ml）に超純水２００mlを入れ、５分間超音波
洗浄した水を得た。 そして、液体パーティクルカウンターを用いて、この
測定用サンプルとブランクの異物の個数（個／cm2 ）を
異物のサイズ別に測定し、ブランクの値を基準として測
定用サンプルにおける値を求めた。測定条件は流速２５
ml/min、測定量は１００ml（２０ml×５回）とした。
でサンプリングした３枚のＰＥＴフィルムそれぞれにつ
いての操作を行い、その平均値を表１に示した。
０mm×７０mm×３枚をクリーンルーム内でサンプリング
した。サンプリングに用いるカッターナイフと定規はア
ルコール洗浄したものを用い、サンプリングはシリコー
ンウェハー上で行った。 次に測定用サンプルとして、クリーンルーム内で使用
しているポリ容器（２５０ml）に超純水２００mlを入
れ、その中に上記サンプリングしたＰＥＴフィルム１枚
を投入して５分間超音波洗浄した水を得た。また、ブラ
ンクとしては、クリーンルーム内で使用しているポリ容
器（２５０ml）に超純水２００mlを入れ、５分間超音波
洗浄した水を得た。 そして、液体パーティクルカウンターを用いて、この
測定用サンプルとブランクの異物の個数（個／cm2 ）を
異物のサイズ別に測定し、ブランクの値を基準として測
定用サンプルにおける値を求めた。測定条件は流速２５
ml/min、測定量は１００ml（２０ml×５回）とした。
でサンプリングした３枚のＰＥＴフィルムそれぞれにつ
いての操作を行い、その平均値を表１に示した。
【００３１】
【表１】
【００３２】〔実施例 ２〕図１に示したものとほぼ同
じ表面清浄装置を用い、処理条件を変更して厚み２５μ
ｍ、幅１ｍのＰＥＴフィルムの表面清浄処理を連続的に
行った。処理条件はフィルム走行速度を１０ｍ／min と
し、液体にはメタノールを使用し、乾燥温度は８０℃と
した。回転ブラシはブラシ径２０cmのナイロンの不織布
を基材としたものを用い、ニップ圧を３kg／ｍ、回転数
をフィルムの進行方向とは逆向きに２００ｒｐｍとし
た。また、リンス用ノズルとＰＥＴフィルム間の距離は
５０cmとした。このようにして表面清浄処理を行ったＰ
ＥＴフィルムについて、実施例１と同様にして異物のサ
イズ別に異物の個数（個／cm2 ）を測定し、フィルムの
クリーン度を調べた。その結果を表１に示す。
じ表面清浄装置を用い、処理条件を変更して厚み２５μ
ｍ、幅１ｍのＰＥＴフィルムの表面清浄処理を連続的に
行った。処理条件はフィルム走行速度を１０ｍ／min と
し、液体にはメタノールを使用し、乾燥温度は８０℃と
した。回転ブラシはブラシ径２０cmのナイロンの不織布
を基材としたものを用い、ニップ圧を３kg／ｍ、回転数
をフィルムの進行方向とは逆向きに２００ｒｐｍとし
た。また、リンス用ノズルとＰＥＴフィルム間の距離は
５０cmとした。このようにして表面清浄処理を行ったＰ
ＥＴフィルムについて、実施例１と同様にして異物のサ
イズ別に異物の個数（個／cm2 ）を測定し、フィルムの
クリーン度を調べた。その結果を表１に示す。
【００３３】〔実施例 ３〕図１に示したものとほぼ同
じ表面清浄装置を用い、処理条件を変更して厚み２５μ
ｍ、幅１ｍのＰＥＴフィルムの表面清浄処理を連続的に
行った。処理条件はフィルム走行速度を１５ｍ／min と
し、液体には水を使用し、乾燥温度は１００℃とした。
回転ブラシはブラシ径２０cmのポリエステルの不織布を
基材としたものを用い、ニップ圧を３kg／ｍ、回転数を
フィルムの進行方向と同じ向きに２００ｒｐｍとした。
また、リンス用ノズルとＰＥＴフィルム間の距離は５０
cmとした。このようにして表面清浄処理を行ったＰＥＴ
フィルムについて、実施例１と同様にして異物のサイズ
別に異物の個数（個／cm2 ）を測定し、フィルムのクリ
ーン度を調べた。その結果を表１に示す。
じ表面清浄装置を用い、処理条件を変更して厚み２５μ
ｍ、幅１ｍのＰＥＴフィルムの表面清浄処理を連続的に
行った。処理条件はフィルム走行速度を１５ｍ／min と
し、液体には水を使用し、乾燥温度は１００℃とした。
回転ブラシはブラシ径２０cmのポリエステルの不織布を
基材としたものを用い、ニップ圧を３kg／ｍ、回転数を
フィルムの進行方向と同じ向きに２００ｒｐｍとした。
また、リンス用ノズルとＰＥＴフィルム間の距離は５０
cmとした。このようにして表面清浄処理を行ったＰＥＴ
フィルムについて、実施例１と同様にして異物のサイズ
別に異物の個数（個／cm2 ）を測定し、フィルムのクリ
ーン度を調べた。その結果を表１に示す。
【００３４】〔実施例 ４〜６〕図２に示したものとほ
ぼ同じ表面清浄装置を用い、厚み２５μｍ、幅１ｍのＰ
ＥＴフィルムについて、実施例１〜３と同様の処理条件
で表面清浄処理を連続的に行った。このようにして表面
清浄処理を行ったそれぞれのＰＥＴフィルムについて、
実施例１と同様にして異物のサイズ別に異物の個数（個
／cm2 ）を測定し、フィルムのクリーン度を調べた。そ
れぞれの結果を表２に示す。
ぼ同じ表面清浄装置を用い、厚み２５μｍ、幅１ｍのＰ
ＥＴフィルムについて、実施例１〜３と同様の処理条件
で表面清浄処理を連続的に行った。このようにして表面
清浄処理を行ったそれぞれのＰＥＴフィルムについて、
実施例１と同様にして異物のサイズ別に異物の個数（個
／cm2 ）を測定し、フィルムのクリーン度を調べた。そ
れぞれの結果を表２に示す。
【００３５】
【表２】
【００３６】〔実施例 ７〜９〕図３に示したものとほ
ぼ同じ表面清浄装置を用い、厚み２５μｍ、幅１ｍのＰ
ＥＴフィルムについて、実施例１〜３と同様の処理条件
で表面清浄処理を連続的に行った。なお、液体吹き付け
ノズルとＰＥＴフィルム間の距離も５０cmとした。この
ようにして表面清浄処理を行ったそれぞれのＰＥＴフィ
ルムについて、実施例１と同様にして異物のサイズ別に
異物の個数（個／cm2 ）を測定し、フィルムのクリーン
度を調べた。それぞれの結果を表３に示す。
ぼ同じ表面清浄装置を用い、厚み２５μｍ、幅１ｍのＰ
ＥＴフィルムについて、実施例１〜３と同様の処理条件
で表面清浄処理を連続的に行った。なお、液体吹き付け
ノズルとＰＥＴフィルム間の距離も５０cmとした。この
ようにして表面清浄処理を行ったそれぞれのＰＥＴフィ
ルムについて、実施例１と同様にして異物のサイズ別に
異物の個数（個／cm2 ）を測定し、フィルムのクリーン
度を調べた。それぞれの結果を表３に示す。
【００３７】
【表３】
【００３８】〔比較例 １〕比較のために、実施例１で
使用した厚み２５μｍ、幅１ｍのＰＥＴフィルムについ
て、フィルム走行速度を５ｍ／分としてエアー吹き付け
による表面清浄処理を連続的に行った。このようにして
表面清浄処理を行ったＰＥＴフィルムについて、実施例
１と同様にして異物のサイズ別に異物の個数（個／c
m2 ）を測定し、フィルムのクリーン度を調べた。その
結果を表４に示す。
使用した厚み２５μｍ、幅１ｍのＰＥＴフィルムについ
て、フィルム走行速度を５ｍ／分としてエアー吹き付け
による表面清浄処理を連続的に行った。このようにして
表面清浄処理を行ったＰＥＴフィルムについて、実施例
１と同様にして異物のサイズ別に異物の個数（個／c
m2 ）を測定し、フィルムのクリーン度を調べた。その
結果を表４に示す。
【００３９】
【表４】
【００４０】〔比較例 ２〕比較のために、実施例１で
使用した厚み２５μｍ、幅１ｍのＰＥＴフィルムについ
て、図１に示したものとほぼ同じ表面清浄装置を用い、
液体タンクに液体を入れずにブラッシングのみでフィル
ムの表面清浄処理を連続的に行った。処理条件はフィル
ム走行速度を５ｍ／min とし、回転ブラシはブラシ径２
０cmのレーヨンの不織布を基材としたものを用い、ニッ
プ圧を３kg／ｍ、回転数をフィルムの進行方向と逆向き
に２００ｒｐｍとした。このようにして表面清浄処理を
行ったＰＥＴフィルムについて、実施例１と同様にして
異物のサイズ別に異物の個数（個／cm2 ）を測定し、フ
ィルムのクリーン度を調べた。その結果を表４に示す。
使用した厚み２５μｍ、幅１ｍのＰＥＴフィルムについ
て、図１に示したものとほぼ同じ表面清浄装置を用い、
液体タンクに液体を入れずにブラッシングのみでフィル
ムの表面清浄処理を連続的に行った。処理条件はフィル
ム走行速度を５ｍ／min とし、回転ブラシはブラシ径２
０cmのレーヨンの不織布を基材としたものを用い、ニッ
プ圧を３kg／ｍ、回転数をフィルムの進行方向と逆向き
に２００ｒｐｍとした。このようにして表面清浄処理を
行ったＰＥＴフィルムについて、実施例１と同様にして
異物のサイズ別に異物の個数（個／cm2 ）を測定し、フ
ィルムのクリーン度を調べた。その結果を表４に示す。
【００４１】〔比較例 ３〕比較のために、実施例１で
使用した厚み２５μｍ、幅１ｍのＰＥＴフィルムについ
て、図１に示したものとほぼ同じ表面清浄装置を用い、
ブラッシングを行わないで液体中に浸漬させることによ
りフィルムの表面清浄処理を連続的に行った。処理条件
はフィルム走行速度を５ｍ／min とし、液体には水を使
用し、乾燥温度は１００℃とした。また、リンス用ノズ
ルとＰＥＴフィルム間の距離は５０cmとした。このよう
にして表面清浄処理を行ったＰＥＴフィルムについて、
実施例１と同様にして異物のサイズ別に異物の個数（個
／cm2 ）を測定し、フィルムのクリーン度を調べた。そ
の結果を表４に示す。
使用した厚み２５μｍ、幅１ｍのＰＥＴフィルムについ
て、図１に示したものとほぼ同じ表面清浄装置を用い、
ブラッシングを行わないで液体中に浸漬させることによ
りフィルムの表面清浄処理を連続的に行った。処理条件
はフィルム走行速度を５ｍ／min とし、液体には水を使
用し、乾燥温度は１００℃とした。また、リンス用ノズ
ルとＰＥＴフィルム間の距離は５０cmとした。このよう
にして表面清浄処理を行ったＰＥＴフィルムについて、
実施例１と同様にして異物のサイズ別に異物の個数（個
／cm2 ）を測定し、フィルムのクリーン度を調べた。そ
の結果を表４に示す。
【００４２】〔比較例 ４〕比較のために、実施例１で
使用した厚み２５μｍ、幅１ｍのＰＥＴフィルムについ
て、図３に示したものとほぼ同じ表面清浄装置を用い、
ブラッシングを行わないで液体吹き付けノズルで水を吹
き付けることによりフィルムの表面清浄処理を連続的に
行った。処理条件はフィルム走行速度を５ｍ／min と
し、乾燥温度は１００℃とした。また、液体吹き付けノ
ズル及びリンス用ノズルと、ＰＥＴフィルム間の距離は
５０cmとした。このようにして表面清浄処理を行ったＰ
ＥＴフィルムについて、実施例１と同様にして異物のサ
イズ別に異物の個数（個／cm2 ）を測定し、フィルムの
クリーン度を調べた。その結果を表４に示す。
使用した厚み２５μｍ、幅１ｍのＰＥＴフィルムについ
て、図３に示したものとほぼ同じ表面清浄装置を用い、
ブラッシングを行わないで液体吹き付けノズルで水を吹
き付けることによりフィルムの表面清浄処理を連続的に
行った。処理条件はフィルム走行速度を５ｍ／min と
し、乾燥温度は１００℃とした。また、液体吹き付けノ
ズル及びリンス用ノズルと、ＰＥＴフィルム間の距離は
５０cmとした。このようにして表面清浄処理を行ったＰ
ＥＴフィルムについて、実施例１と同様にして異物のサ
イズ別に異物の個数（個／cm2 ）を測定し、フィルムの
クリーン度を調べた。その結果を表４に示す。
【００４３】
【発明の効果】以上のように、本発明に係るプラスチッ
クフィルムの表面清浄装置は、フィルムを液体でぬらす
ための手段と、該プラスチックフィルム表面と接触する
ように配置された回転ブラシから構成することにより、
プラスチックフィルム表面の異物を効果的に取り除くこ
とができるものである。
クフィルムの表面清浄装置は、フィルムを液体でぬらす
ための手段と、該プラスチックフィルム表面と接触する
ように配置された回転ブラシから構成することにより、
プラスチックフィルム表面の異物を効果的に取り除くこ
とができるものである。
【図１】本発明に係るプラスチックフィルムの表面清浄
装置を示した説明図である。
装置を示した説明図である。
【図２】本発明に係る他のプラスチックフィルムの表面
清浄装置を示した説明図である。
清浄装置を示した説明図である。
【図３】本発明に係る更に他のプラスチックフィルムの
表面清浄装置を示した説明図である。
表面清浄装置を示した説明図である。
１０，３２，３４；表面清浄装置 １２；プラスチックフィルム １４；液体タンク １６；回転ブラシ １７，１８；ノズル ２０；乾燥炉 ２６；繰り出し装置 ２８；巻取り装置
Claims (7)
- 【請求項１】 プラスチックフィルム表面を液体でぬら
すための手段と、該プラスチックフィルム表面と接触す
るように配置された回転ブラシから構成されることを特
徴とするプラスチックフィルムの表面清浄装置。 - 【請求項２】 プラスチックフィルム表面を液体でぬら
すための手段、該プラスチックフィルム表面と接触する
ように配置された回転ブラシ及び該プラスチックフィル
ム表面に液体を吹き付けるリンス用ノズルが、プラスチ
ックフィルム走行方向に順次配置されていることを特徴
とする請求項１に記載するプラスチックフィルムの表面
清浄装置。 - 【請求項３】 前記フィルム表面を液体でぬらすための
手段が、プラスチックフィルムを液体中に浸漬する液体
タンクであることを特徴とする請求項１又は請求項２に
記載するプラスチックフィルムの表面清浄装置。 - 【請求項４】 前記回転ブラシが、液体中でプラスチッ
クフィルム表面と接触するように配置されることを特徴
とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載するプラ
スチックフィルムの表面清浄装置。 - 【請求項５】 前記回転ブラシが、液体浸漬後にプラス
チックフィルム表面と接触するように配置されることを
特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載する
プラスチックフィルムの表面清浄装置。 - 【請求項６】 前記フィルム表面を液体でぬらすための
手段が、プラスチックフィルム表面に液体を吹き付ける
ノズルであることを特徴とする請求項１又は請求項２に
記載するプラスチックフィルムの表面清浄装置。 - 【請求項７】 前記フィルム表面を液体でぬらすための
手段と回転ブラシが、プラスチックフィルムの両面に配
置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項６に
記載するプラスチックフィルムの表面清浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7233271A JPH0957218A (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | プラスチックフィルムの表面清浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7233271A JPH0957218A (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | プラスチックフィルムの表面清浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0957218A true JPH0957218A (ja) | 1997-03-04 |
Family
ID=16952479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7233271A Withdrawn JPH0957218A (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | プラスチックフィルムの表面清浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0957218A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU2002313977B2 (en) * | 1997-08-04 | 2005-03-03 | Henri Jacques Burkhardt | Refurbishing sheets |
| JP2014024034A (ja) * | 2012-07-27 | 2014-02-06 | Fujifilm Corp | ウエブの異物除去方法及び異物除去装置 |
| KR101372462B1 (ko) * | 2013-08-14 | 2014-03-11 | 주식회사 오피오 | 필름지의 이물질 제거장치 |
| CN108339778A (zh) * | 2018-04-19 | 2018-07-31 | 陈子群 | 一种改进型薄膜制造技术设备 |
| CN114772341A (zh) * | 2022-04-28 | 2022-07-22 | 安徽顺民智能科技有限公司 | 一种具有除尘功能的布料收卷装置 |
-
1995
- 1995-08-18 JP JP7233271A patent/JPH0957218A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU2002313977B2 (en) * | 1997-08-04 | 2005-03-03 | Henri Jacques Burkhardt | Refurbishing sheets |
| JP2014024034A (ja) * | 2012-07-27 | 2014-02-06 | Fujifilm Corp | ウエブの異物除去方法及び異物除去装置 |
| KR101372462B1 (ko) * | 2013-08-14 | 2014-03-11 | 주식회사 오피오 | 필름지의 이물질 제거장치 |
| CN108339778A (zh) * | 2018-04-19 | 2018-07-31 | 陈子群 | 一种改进型薄膜制造技术设备 |
| CN114772341A (zh) * | 2022-04-28 | 2022-07-22 | 安徽顺民智能科技有限公司 | 一种具有除尘功能的布料收卷装置 |
| CN114772341B (zh) * | 2022-04-28 | 2023-12-08 | 浙江德邦汽车零部件有限公司 | 一种具有除尘功能的布料收卷装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3158886A (en) | Film cleaning apparatus | |
| KR19990082694A (ko) | 액정표시패널의제조방법및이것에사용되는세정장치 | |
| JPH0957218A (ja) | プラスチックフィルムの表面清浄装置 | |
| CN111433681A (zh) | 用于显影印刷前体的装置和方法 | |
| JP3351431B2 (ja) | 高清浄プラスチックフィルム又はシートおよびその製法 | |
| JP2000057565A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び装置 | |
| JPH01299682A (ja) | ウェブの除塵方法 | |
| JP4031629B2 (ja) | 基材洗浄装置およびその方法 | |
| JPH01140727A (ja) | 基板洗浄方法 | |
| JP2002313767A (ja) | 基板処理装置 | |
| JP4042179B2 (ja) | 薬液処理装置 | |
| JP6620497B2 (ja) | 研磨パッドおよび研磨パッドの製造方法 | |
| JPH11179299A (ja) | 洗浄装置 | |
| JP2004105849A (ja) | 塗布用ダイの清掃装置及び塗布装置 | |
| US7807475B2 (en) | Process for producing surface enhanced membrane | |
| JPH0243157A (ja) | 除塵方法 | |
| JP2996270B2 (ja) | 除塵装置 | |
| JPH0347229A (ja) | 掃除機 | |
| JP2003000349A (ja) | 洗浄用ブラシおよびこれを用いた処理装置、処理方法 | |
| JPH1157630A (ja) | 自己洗浄ブラシおよび洗浄装置 | |
| JPH11128852A (ja) | 薬液処理装置 | |
| JPH0948863A (ja) | ポリイミドフィルムの接着性改善方法及び接着性を改善したポリイミドフィルム | |
| JP2023143772A (ja) | 被膜剥離装置および被膜剥離方法 | |
| JP3551301B2 (ja) | ウェーハ面取り面のエッチング装置 | |
| JP2001129866A (ja) | フイルムキャスト用冷却ロールの清掃方法及び装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20021105 |