JPH0956178A - 超音波モータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 超音波モータの効率を落とすことなくロータ
〜出力軸側から被駆動部材側に振動が伝搬されるのを防
止する。 【解決手段】 超音波で振動する振動体に円板状のロー
タを押付け、該円板状のロータの中心に取り付けた出力
軸よりロータの回転駆動力を取り出す超音波モータにお
いて、出力軸の断面積をロータの断面積の５〜５０％の
範囲に設定すると共に、出力軸の固有振動数（ライン
Ｄ）が、振動体、ロータ１０１及び出力軸を含めた系の
固有振動数（ラインＣ）と異なるように設定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、超音波モータ、特
にその出力軸から振動が被駆動部材に伝搬しないように
配慮した超音波モータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、超音波で振動する振動体に円板状
のロータを押し付け、該円板状のロータの中心に取り付
けた出力軸よりロータの回転駆動力を取り出す超音波モ
ータが知られている。

【０００３】超音波モータは、このように、超音波振動
子の振動を利用して駆動力を得るものであるため、該超
音波振動子の振動が外部（モータの固定用部材や被駆動
部材）に伝搬し、該外部のものを振動させてしまうとい
う不具合が発生し易い。

【０００４】そのため、例えば出力軸や振動体の振動が
外部の被駆動部材やケーシングに伝搬したりしないよう
に、出力軸と被駆動部材とを吸振体を介して連結した
り、振動体とケーシングとを吸振体を介して連結したり
する等の方法が一般に採用されている。

【０００５】これらの方法は、既に生じている振動を遮
断するという考えに基づくものであるが、本来、超音波
モータの駆動力を生むための振動部分以外の振動は、モ
ータの機能として不必要なものであるから、このような
外部との境界における振動の単なる吸収あるいは遮断
は、エネルギの損失をもたらすことになる。

【０００６】特開平４−１０１６７５号公報には、これ
を少しでも改善しようとした超音波モータが提案されて
いる。

【０００７】この超音波モータは、振動体を第１共振子
と第２共振子とに分離してこの間に超音波振動子を挟
み、ロータ側の第１共振子を低剛性、ケーシング側の第
２共振子を高剛性とし、該高剛性の第２共振子をケーシ
ングに固定することにより、振動体の振動がケーシング
に伝わり難い構成としたものである。

【０００８】しかしながら、この特開平４−１０１６７
５号公報に記載の超音波モータにおいても、ロータ及び
出力軸を介して被駆動部材に伝搬される振動については
特に考慮されていなかった。

【０００９】ロータの振動は、該ロータに出力軸が取り
付けられることを考慮すると、できれば振動しない方が
よい。そのため、従来行われているような、例えばロー
タと振動体との間に剛性の低い樹脂層を設けたり、ロー
タが振動体の振動方向に弾性変形し易いように剛性を敢
えて落としたりするという方法は、外部への振動を遮断
するという意味ではそれなりに有効である。

【００１０】しかしながら、このように振動を吸収する
という発想の下で振動体とロータとの間の振動に対処す
るのは、駆動力を発生させるために必要な振動成分自体
も減衰させてしまうため、効率が大幅に低下するという
問題がある。

【００１１】又、特に高トルク超音波モータ（例えば出
願人が特開平７−１２３７４９号公報で提案したような
高トルク超音波モータ）を実現するために、ロータと振
動体とを一体化させて振動させるべく、ロータを振動体
に非常に強く押し付けるように構成した超音波モータの
場合には、該ロータと振動体との接触圧が大きいため、
ロータと振動体との間に挿入される軟質の部材の耐久性
が心配されると共に、この軟質の部材の挿入によってロ
ータと振動体とを一体とした振動自体も阻害されてしま
うという問題も発生する。

【００１２】そこで、このような問題に鑑み、出願人
は、前記特開平４−１０１６７５号公報を更に改良し、
前記ロータの外端側が共振振動の節となるように振動条
件を設定するという方法を提案した（特願平５−３３０
４５０）。

【００１３】この方法は、ロータの外端側が共振振動の
節となるため、そこに出力軸を取り付けても出力軸は振
動しないという考えに基づいている。

【００１４】この考えは、ロータに取り付ける出力軸が
ロータに対して相対的に小さいときは、ある程度有効で
ある。実際、従来の出力軸はロータの断面積に対し出力
軸の断面積が５％未満であるようなものしか提案されて
おらず、従って、ロータの外端側が共振振動の節になっ
ていれば、そこに出力軸を取り付けても振動モードはほ
とんど変化せず、出力軸は確かにあまり振動はしなかっ
た。

【００１５】しかしながら、伝達する出力が大きくなれ
ば、当然出力軸も大きくする必要があり、出力軸が大き
くなると（いかにロータの外端側を共振振動の節となる
ように設定しようとしたとしても、該外端側で振動を零
にすることはできないため）出力軸は当然に振動する。
しかもこの出力軸の質量が大きいことからロータと振動
体との系と、ロータと振動体に出力軸を加えた系とで固
有振動モードが異なってしまい、（ロータの外端側を共
振振動の節となるように設定したとしても）出力軸の端
部、即ち被駆動部材との連結部分の振動が大きくなって
しまうことがあるという問題があった。

【００１６】又、特定の箇所に共振振動の節を形成する
というのは現実には容易ではなく、場合によっては強度
上不必要な箇所に重量物を付加しなければならないこと
があるという問題もあった。

【００１７】本発明は、このような従来の問題に鑑みて
なされたものであって、例えば出力軸の断面積がロータ
の断面積に比べて相対的に大きいような場合であって
も、できるだけ効率を落とさずに済み、且つ出力軸が大
きく振動しないようにすることのできる超音波モータを
提供することを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、超音波で振動する振動体に円板状のロータを押し付
け、該円板状のロータの中心に取付けた出力軸よりロー
タの回転駆動力を取出す超音波モータにおいて、前記出
力軸の断面積をロータの断面積の５〜５０％の範囲に設
定すると共に、該出力軸の固有振動数が、前記振動体、
ロータ及び出力軸を含めた系の固有振動数と異なるよう
に設定したことにより、上記課題を解決したものであ
る。

【００１９】請求項２に記載の発明は、超音波で振動す
る振動体に円板状のロータを押し付け、該円板状のロー
タの中心に取付けた出力軸よりロータの回転駆動力を取
出す超音波モータにおいて、前記ロータを、前記振動体
と接触する接触部材と、該接触部材を振動体側に押付け
ると共に、該接触部材の回転駆動力を受けて前記出力軸
に伝達する連結部材とに軸方向に分割し、且つ、該接触
部材と連結部材との接触面に、半径方向に沿って互いに
係合する溝部及び突起部をそれぞれ形成したことによ
り、同じく上記課題を解決したものである。

【００２０】請求項３に記載の発明は、超音波で振動す
る振動体に円板状のロータを押し付け、該円板状のロー
タの中心に取付けた出力軸よりロータの回転駆動力を取
出す超音波モータにおいて、前記ロータの前記振動体側
の面の外周縁に沿って、円筒状の接触縁部を突出形成
し、該接触縁部の前記振動体と接触する面を前記軸に対
して斜めに設定し、且つ振動体の接触位置における接触
縁部の半径方向の厚さが、軸方向の厚さに比べ薄く設定
することにより、同じく上記課題を解決したものであ
る。

【００２１】請求項１〜３の発明は、いずれも、超音波
モータの駆動力を生むための振動部分、即ち振動体とロ
ータの接触部分についてはここに振動を吸収するような
素材等を一切挿入することなく十分に振動させ、その上
で、ロータの外端側に着目するのではなく、出力軸自体
に着目し、しかも「結果として」出力軸が振動しなけれ
ばよいという発想に基づいて開発されたものである。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下図面に基づいて本発明の実施
形態の例を詳細に説明する。

【００２３】まず、請求項１に記載の発明の実施形態に
相当する第１実施例形態から説明する。

【００２４】この第１実施形態に係る超音波モータは、
図２に示されるように、超音波で振動する共振子（振動
体）１０４に円板状のロータ１０１を押し付け、該円板
状のロータ１０１の中心に取り付けた出力軸１０２より
ロータ１０１の回転駆動力を取り出すようにしたもので
ある。

【００２５】ロータ１０１は、出力軸１０２に強固に固
定されている。出力軸１０２はケーシング１０３に軸受
１２２、１２４を介して軸方向移動可能且つ回転可能に
取り付けられている。

【００２６】共振子１０４は、軸線方向に沿って第１共
振子１０４ａと第２共振子１０４ｂとに２分割されてお
り、該第１共振子１０４ａと第２共振子１０４ｂとの間
に２層の超音波振動子１０５が装着されている。

【００２７】超音波振動子１０５には、図３に示すよう
に、８個の扇形の圧電素子１０５ａ〜１０５ｈが円周上
に分割して設けられ、同図に示されるように配線されて
いる。又、各圧電素子１０５ａ〜１０５ｈの中央にはボ
ルト１０６が貫通する孔１１５が形成されている。

【００２８】超音波振動子１０５は、扇形に分離した圧
電素子を円周方向に複数（図示の例で８個）並べてもよ
く、又、１枚の圧電素子の分極方向を扇形に区分するよ
うにしてもよい。

【００２９】出力軸１０２にはねじ１０２ａが切られて
おり、該ねじ１０２ａにはナット１０９が螺合されてい
る。又、スプリング１１０によって離反方向に付勢され
る２個のスペーサ１１１が軸受１２２とナット１０９と
に接して設けられ、該ナット１０９を回転させることに
よりスプリング１１０の付勢力を変更し、ロータ１０１
の端面１０１ａと第１共振子１０４ａの解放端面１１３
との圧着力（振動体に対するロータの押付力）を可変と
している。

【００３０】前記第１共振子１０４ａは、超音波振動子
１０４の振動を受けて、「斜板」の首振り揺動を複数結
合した運動と等価な運動」を発生するべく、弾性材料
（比較的剛性の低い材料）によって構成されている。
又、この第１共振子１０４ａには円錐状の凹部１１２が
設けられており、第１共振子１０４ａがより超音波振動
し易くなるように工夫してある。

【００３１】これに対し、第２共振子１０４ｂは、第１
共振子１０４ａと同一、又はこれより剛性の高い材料で
構成されている。この第２共振子１０４ｂは、最低限の
加工しか行われておらず、フランジ１０７が形成されて
いることと相まって第１共振子１０４ａに比べ高剛性と
なるように設計されている。

【００３２】このような設計を行うことにより、第１共
振子１０４ａ及び第２共振子１０４ｂの各部分の固有振
動数の値の相違から加振する周波数によっては、低剛性
の第１共振子１０４ａの部分のみが激しく振動するモー
ドを形成させることができる。即ち、第２共振子１０４
ｂの外端部に、共振振動の節を作るような振動を起こす
ことができる。

【００３３】従って、第２共振子１０４ｂの特に外端部
を、ほとんど振動しないようにすることができ、この結
果、第２共振子１０４ｂに設けたフランジ１０７を介し
てケーシング１０３に固定することにより、該ケーシン
グ１０３に振動がほとんど伝達されない超音波モータを
得ることができる。

【００３４】次に、（本発明の要旨である）第１共振子
（振動体）１０４ａの振動がロータ１０１〜出力軸１０
２を介して図示せぬ被駆動部材に伝達されないように工
夫した構成について説明する。

【００３５】前述したように、本発明では、第１共振子
１０４ａとロータ１０１との接触位置Ｐ１においては超
音波振動のエネルギを最大限回転駆動力として得るべ
く、ここに例えば吸振部材等を一切挿入したりすること
なく、十分に振動させ、且つ、この振動が結果として出
力軸１０２から被駆動部材に伝わらないようにすれば良
いという技術思想に立脚している。

【００３６】第１の実施形態は、これを具体的に次のよ
うにして実現している。即ち、この第１実施形態では、
出力軸１０２の固有振動数が、第１共振子１０４ａ、ロ
ータ１０１及び出力軸１０２を含めた系の固有振動数と
異なるように設定するようにした。

【００３７】この構成を図１を用いて詳細に説明する。

【００３８】図１において、ラインＡは出力軸１０２が
ないときの、（第１共振子１０４ａ＋ロータ１０１）の
系の固有振動数を示している。ラインＢは出力軸径＝ロ
ータ径、即ち出力軸１０２とロータ１０１との断面積比
が１００％のときの、（第１共振子１０４ａ＋出力軸を
兼ねたロータ１０１）の系の固有振動数を示している。
更に、ラインＣは、出力軸１０２の径を変えた場合の、
（第１共振子１０４ａ＋ロータ１０１＋出力軸１０２）
の系の固有振動数の変化を示している。

【００３９】この図から、出力軸１０２の断面積がロー
タ１０１の断面積の５０％程度になるまではラインＣは
ラインＡと略一致しており、出力軸１０２を加えても加
えなくても固有振動数はあまり変わらないが、５０％付
近を超えるとラインＣは急激にラインＢに近くなり、出
力軸１０２はロータ１０１の一部と見做されてしまうこ
とが分かる。

【００４０】従って、この第１実施形態では、出力軸１
０２の断面積をそれ以下（即ちロータ１０１の断面積の
５０％以下）に設定するようにしている。それは、出力
軸１０２がロータ１０１の一部と見做されてしまうと、
この第１実施形態で意図している「ロータ１０１は振動
させるが結果として出力軸１０２は振動させない」とい
うことを実現するのが困難になってしまうためである。

【００４１】このことは、換言すると、結局断面積比５
０％までの範囲で出力軸の径を設定すれば、前述したよ
うな「出力軸１０２の径をロータ１０１の径に対して相
対的に大きくした場合には、該出力軸１０２が振動モー
ドに大きく影響を及ぼすようになり、（第１共振子１０
４ａ＋ロータ１０１）の系と、（第１共振子１０４ａ＋
ロータ１０１＋出力軸１０２）の系とでは固有振動モー
ドが異なってくる」という問題が発生するのを防止でき
るということでもある。

【００４２】なお、断面積比が５％以下の領域Ｘは、従
来の超音波モータで設定されていた断面積比の領域に相
当している。即ち、従来は前述したように振動を抑える
ために、吸振手段その他を各箇所に配置する等の対策を
とっており、ロータによって発生し得る駆動力に対し、
出力軸から結果として取り出せる駆動力がそれほど大き
くなかったため、出力軸も大きくする必要がなかった。

【００４３】しかしながら、本実施形態のように、第１
共振子１０４ａと、ロータ１０１との接触位置Ｐ１に一
切の吸振手段を設けず、しかも、例えば特開平７−１２
３７４９号公報で開示されているようなロータを振動体
（第１共振子）に対して極めて強く押付け、振動体から
非常に強力な回転駆動力を得るようにした超音波モータ
にも適用しようとした場合には、このＸの領域は（確か
に上記固有振動数を変えるという条件については満たさ
れる領域ではあるものの）本発明の趣旨を生かすために
は強度不足の領域であるとして、ここでは採用しない。

【００４４】ところで、結果として出力軸１０２を振動
させないようにするには、これだけでは不十分である。
即ち、出力軸１０２の形状（断面積、あるいは長さ）を
具体的に決定するには、（第１共振子１０４ａ＋ロータ
１０１）の系の固有振動数が出力軸１０２を付加しても
維持されると共に、該出力軸１０２を付加することによ
って新たに生じる（出力軸１０２自体の）固有振動数が
（第１共振子１０４ａ＋ロータ１０１）の系の固有振動
数から離れている必要がある。

【００４５】再び図１でこれを説明すると、例えばある
第１共振子１０４ａとロータ１０１との組合せで５０Ｋ
Ｈｚに固有振動数があり、出力軸１０２が振れる固有振
動数がラインＤで示されるような場合、このラインＤと
ラインＣとが一致しないような領域Ｙ、あるいはＺに対
応する出力軸径を採用する必要があるということであ
る。

【００４６】ラインＤとラインＣの交点からどの程度離
れていれば（異なっていれば）よいかについては、各固
有振動数のピークが鋭いか緩やかであるかによって異な
ってくるが、一般的には半値幅（振幅のピークに対しそ
の値が１／√２となる幅：パワーとして半減する幅）の
２倍程度離れていれば出力軸１０２のロータ１０１の励
振による振動を最小限に抑えることができるようにな
る。

【００４７】なお、（同一の断面積比における）ライン
Ｄ自体の特性は、出力軸１０２の長さあるいは材質を変
えることによって変えることができる。その結果、それ
に付随して領域Ｙ、あるいはＺの領域も変えることがで
きるため、例えば、被駆動部材との関係でどうしてもα
に相当する出力軸径に設定したい場合には、出力軸径の
長さや材質を変えることによって例えばラインＤをライ
ンＤ′に示すようにその特性をずらし、Ｙ′の領域に結
果として入るように設計すればよい。

【００４８】なお、この超音波モータにおいては、主に
振動体からケーシングに伝達される振動を低減するため
に該振動体を第１、第２共振子１０４ａ、１０４ｂに分
割するようにしていたが、振動体〜ロータ〜出力軸〜被
駆動部材側のみを考慮した場合には、振動体は第１、第
２共振子１０４ａ、１０４ｂに特に分ける必要はない。
即ち、振動体とケーシングとの間に適当な吸振手段を施
すようにすれば、振動体自体は単一の素材で制作するこ
とができるようになるため、それだけ低コスト化が図れ
る。

【００４９】次に、本発明の第２実施形態について説明
する。

【００５０】この第２実施形態は、振動体（第１共振
子）とロータとの接触部分を十分に振動させながら、結
果として出力軸にその振動が伝達されないようにするた
めに、以下のような構成を採用した。

【００５１】即ち、この第２実施形態では、図４に示さ
れるように、ロータ２１０を、第１共振子１０４ａと接
触する接触部材２１２と、該接触部材２１２を第１共振
子１０４ａ側に押付けると共に、該接触部材２１２の回
転駆動力を受けて出力軸２２０に伝達する連結部材２１
４とに軸方向に分割するようにしたものである。

【００５２】連結部材２１４は、その中心部において出
力軸２２０と連結されている。この場合、出力軸２２０
は連結部材２１４と別部材で構成されていても、あるい
は一体的に構成されていてもよい。

【００５３】これに対し、接触部材２１２は、出力軸２
２０が貫通する貫通孔２１２ｂを有し、出力軸２２０と
は連結されていない。即ち、接触部材２１２は、出力軸
２２０に対し半径方向に相対移動することができ、自由
に振動することができる。接触部材２１２には連結部材
２１４との接触面２１２ｓに半径方向に沿って溝部２１
２ａが形成されている。又、連結部材２１４には、接触
部材２１２との接触面２１４ｓにこの溝部２１２ａに係
合する突起部２１４ａが形成されている。この突起部２
１４ａと溝部２１２ａとの間の隙間は、接触部材２１２
に生じる振幅の約２〜１０倍（一方向のみの回転なら１
００倍程度にとってもよい）に設定され、接触部材２１
２がこの溝部２１２ａ、突起部２１４ａとの係合に拘束
されることなく、自由に振動できるように配慮されてい
る。

【００５４】なお、接触部材２１２と連結部材２１４と
の接触面２１２ｓ、２１４ｓの間には、防振材、摺動
材、あるいは潤滑油等が充填され、ここで接触部材２１
２の振動が効率的に遮断されるような構成とされてい
る。

【００５５】この第２実施形態の作用を説明する。第１
共振子１０４ａが振動されると、この振動を接触部材２
１２が受け、前述した「斜板の首振り揺動を複数結合し
た運動と等価な運動」により、接触部材２１２に回転駆
動力が発生する。この接触部材２１２の回転駆動力（円
周方向の駆動力）は接触部材２１２と連結部材２１４と
の接触面２１２ｓ、２１４ｓに形成された溝部２１２
ａ、突起部２１４ａとの係合によって連結部材２１４に
伝達される。しかしながら、接触部材２１２は連結部材
２１４に対し、半径方向には自由に滑ることができ、
又、軸方向にも間に介在された防振材、摺動材、あるい
は潤滑油の機能により、ある程度独立して動くことがで
きるため、結局超音波モータとして必要な回転駆動力以
外の振動成分については連結部材２１４側にほとんど伝
達されないようにすることができる。

【００５６】この結果、連結部材２１４に取り付けられ
ている出力軸２２０もほとんど振動しないように維持す
ることができ、超音波モータ側の振動が被駆動部材側に
伝搬されないようにすることができる。

【００５７】なお、前記溝部２１２ａ、突起部２１４ａ
の断面形状は、この第２実施形態においては、回転駆動
力の効率的な伝達を考慮して四角形状としていたが、無
論これに限定されるものではなく、例えば半円形状でも
よく、又サインウェーブのような形状のものであっても
よい。

【００５８】又、この突起部２１２ａ、溝部２１４ａの
形成数は、この第２実施形態では９０°間隔で「４」と
していたが、これも「４」には限定されない。但し、振
動や力の伝達の均一性を考慮し、円周方向には等間隔で
配置することが望ましい。なお、圧電素子の配置が図３
に示されるように２次の場合、２、４、８・・・が望ま
しいが、３次の場合には３、６、９・・・が望ましい。

【００５９】この第２実施形態におけるロータ２１０及
び出力軸２２０以外の構成については、先の第１実施形
態と同様であるため、重複説明は省略する。

【００６０】次に本発明の第３実施形態について説明す
る。

【００６１】この第３実施形態は、図６に示されるよう
に、ロータ３１０が、その第１共振子１０４ａ側の面の
外周縁に沿って、円筒状の接触縁部３１２を突出形成
し、この接触縁部３１２の第１共振子１０４ａと接触す
る面３１２ａを軸に対して斜めに設定するようにしたも
のである。

【００６２】又、第１共振子１０４ａの接触位置Ｐ１に
おける接触縁部３１２の半径方向の厚さＤｒが軸方向の
厚さＤｓに比べ薄く設定されている。このような構成と
した趣旨は、以下のとおりである。

【００６３】即ち、この実施形態に係る超音波モータ
は、第１共振子１０４ａの半径方向の剛性を比較的低く
してあるため、第１共振子１０４ａの半径方向の振動が
比較的大きくなり易い。一方、第１共振子１０４ａとロ
ータ３１０との接触圧は軸方向にかかる。そこで、上述
したような構成とすることにより、軸方向、即ち第１共
振子１０４ａとロータ３１０との圧着力がかかる方向に
ついては高い剛性を保ったまま、半径方向（余分な振動
方向）には変形し易いロータを実現することができる。

【００６４】第１共振子１０４ａの動きによって円筒状
の接触縁部３１２は半径方向内側に撓まされるが、軸方
向には曲げられないため、第１共振子の振動のうちモー
タの駆動に必要な軸方向の（連続した）動きについては
極めて効率良くロータ３１０側に伝達することができる
ようになる。

【００６５】なお、以上の説明で明らかなように、本第
１〜第３実施形態は、それぞれ重複して実施することが
可能であり、相応の相乗効果を得ることができる。

【００６６】

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
振動体とロータとの接触部分についてはこれを十分に振
動させ、該振動体の振動により回転駆動力をほとんど減
衰させることなく取り出し、且つこの振動が結果として
出力軸側に伝達されないような構成としたため、該出力
軸と連結される被駆動部材に振動が伝搬されるのを防止
できる。又、設計にあたっては基本的に出力軸が付加さ
れることによる影響を見るだけでよいため、極めて設計
の自由度が高く、又振動モードの節を特定の場所に設定
する必要がないため、高剛性の部材（重量部材）を本来
不要な部分に配置したりする必要もなくなるという優れ
た効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】出力軸とロータの断面積比の変化をパラメータ
として各固有振動数の変化する様子を示した線図

【図２】本発明の第１実施形態（〜第３実施形態）の全
体構成を示す超音波モータの縦断面図

【図３】上記超音波モータの超音波振動子の構成を示す
平面図

【図４】本発明の第２実施形態に係るロータ及び出力軸
の正面図

【図５】同分解図

【図６】本発明の第３実施形態に係るロータの正面図

【符号の説明】

１０１…ロータ １０２…出力軸 １０５…超音波振動子 ２１０…ロータ ２１２…接触部材 ２１２ａ…溝部 ２１４…連結部材 ２１４ａ…突起部 ３１０…ロータ ３１２…接触縁部 Ｐ１…接触位置 Ｄｒ…接触縁部の半径方向の厚さ Ｄｓ…接触縁部の軸方向の厚さ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】超音波で振動する振動体に円板状のロータ
   を押し付け、該円板状のロータの中心に取付けた出力軸
   よりロータの回転駆動力を取出す超音波モータにおい
   て、 前記出力軸の断面積をロータの断面積の５〜５０％の範
   囲に設定すると共に、該出力軸の固有振動数が、前記振
   動体、ロータ及び出力軸を含めた系の固有振動数と異な
   るように設定したことを特徴とする超音波モータ。
2. 【請求項２】超音波で振動する振動体に円板状のロータ
   を押し付け、該円板状のロータの中心に取付けた出力軸
   よりロータの回転駆動力を取出す超音波モータにおい
   て、 前記ロータを、前記振動体と接触する接触部材と、該接
   触部材を振動体側に押付けると共に、該接触部材の回転
   駆動力を受けて前記出力軸に伝達する連結部材とに軸方
   向に分割し、且つ、 該接触部材と連結部材との接触面に、半径方向に沿って
   互いに係合する溝部及び突起部をそれぞれ形成したこと
   を特徴とする超音波モータ。
3. 【請求項３】超音波で振動する振動体に円板状のロータ
   を押し付け、該円板状のロータの中心に取付けた出力軸
   よりロータの回転駆動力を取出す超音波モータにおい
   て、 前記ロータの前記振動体側の面の外周縁に沿って、円筒
   状の接触縁部を突出形成し、 該接触縁部の前記振動体と接触する面を前記軸に対して
   斜めに設定し、且つ振動体の接触位置における接触縁部
   の半径方向の厚さが、軸方向の厚さに比べ薄く設定され
   たことを特徴とする超音波モータ。