JPH095569A - 導波路型光部品及びその製造方法並びに導波路 - Google Patents
導波路型光部品及びその製造方法並びに導波路Info
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- JPH095569A JPH095569A JP15786695A JP15786695A JPH095569A JP H095569 A JPH095569 A JP H095569A JP 15786695 A JP15786695 A JP 15786695A JP 15786695 A JP15786695 A JP 15786695A JP H095569 A JPH095569 A JP H095569A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】実装部品点数及び研磨部が少なく、導波路の反
り及び収縮等に起因するコア間のずれの影響を受けず、
また導波路と光ファイバとの接続部に接着剤を用いない
ようにする。 【構成】ＣＯ2 レーザにより光ファイバ１３Ａ〜１３Ｅ
を導波路１０の両端面に融着接続し、導波路１０をクラ
ッド面１９側を下にして補強板１２上に接着固定する。
補強板１２は、導波路１０を固定する導波路固定部１２
Ｂと、融着接続部１８Ａ、１８Ｂと非接触状態となって
融着接続部を保護する融着接続部保護溝１６Ａ、１６Ｂ
と、光ファイバ１３を固定する光ファイバ固定溝１７と
を有する。補強板１２の導波路固定部１２Ｂに導波路１
０を固定し、融着接続部保護溝１６Ａ、１６Ｂ上に融着
接続部１８Ａ、１８Ｂを配置させ、光ファイバ固定溝１
７に光ファイバ１３Ａ〜１３Ｅを固定する。
り及び収縮等に起因するコア間のずれの影響を受けず、
また導波路と光ファイバとの接続部に接着剤を用いない
ようにする。 【構成】ＣＯ2 レーザにより光ファイバ１３Ａ〜１３Ｅ
を導波路１０の両端面に融着接続し、導波路１０をクラ
ッド面１９側を下にして補強板１２上に接着固定する。
補強板１２は、導波路１０を固定する導波路固定部１２
Ｂと、融着接続部１８Ａ、１８Ｂと非接触状態となって
融着接続部を保護する融着接続部保護溝１６Ａ、１６Ｂ
と、光ファイバ１３を固定する光ファイバ固定溝１７と
を有する。補強板１２の導波路固定部１２Ｂに導波路１
０を固定し、融着接続部保護溝１６Ａ、１６Ｂ上に融着
接続部１８Ａ、１８Ｂを配置させ、光ファイバ固定溝１
７に光ファイバ１３Ａ〜１３Ｅを固定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＣＯ2 レーザを用いて
導波路に光ファイバを融着接続した導波路型光部品、及
びその製造方法、並びに導波路型光部品に使用される導
波路に係り、特に補強板を使って導波路のクラッド面側
から導波路及び光ファイバを補強固定するようにしたも
のに関する。
導波路に光ファイバを融着接続した導波路型光部品、及
びその製造方法、並びに導波路型光部品に使用される導
波路に係り、特に補強板を使って導波路のクラッド面側
から導波路及び光ファイバを補強固定するようにしたも
のに関する。
【０００２】
【従来の技術】導波路に光ファイバを接続した導波路型
光部品は、機能性、量産性に優れ、さらに低価格化が期
待できるため、光通信網など幅広い分野に適用されつつ
ある。この導波路型光部品を実用化するには、低損失
で、耐環境性に優れ、また高い強度をもつ光ファイバと
導波路の接続技術が必要である。
光部品は、機能性、量産性に優れ、さらに低価格化が期
待できるため、光通信網など幅広い分野に適用されつつ
ある。この導波路型光部品を実用化するには、低損失
で、耐環境性に優れ、また高い強度をもつ光ファイバと
導波路の接続技術が必要である。
【０００３】従来の導波路と光ファイバの接続構造を図
８に示す。（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。導
波路８１の両端面に接続される光ファイバ８７Ａ、８７
Ｂは、表面にＶ溝加工を施した光ファイバ固定台８５
Ａ、８５ＢのＶ溝に接着剤により接着固定する。光ファ
イバを固定した光ファイバ固定台８５Ａ及び８５Ｂの上
下に補強板８４Ａ、８６Ａ及び８４Ｂ、８６Ｂを固定し
た後、これらの端面をまとめて厚さ方向に８度の角度で
斜め研磨する。
８に示す。（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。導
波路８１の両端面に接続される光ファイバ８７Ａ、８７
Ｂは、表面にＶ溝加工を施した光ファイバ固定台８５
Ａ、８５ＢのＶ溝に接着剤により接着固定する。光ファ
イバを固定した光ファイバ固定台８５Ａ及び８５Ｂの上
下に補強板８４Ａ、８６Ａ及び８４Ｂ、８６Ｂを固定し
た後、これらの端面をまとめて厚さ方向に８度の角度で
斜め研磨する。
【０００４】一方、導波路８１の両端部のクラッド面８
１Ａに補強板８３Ａ及び８３Ｂを固定し、基板面８１Ｂ
の全面に補強板８２を固定した後、これらの端面をまと
めて厚さ方向に８度の角度で斜め研磨する。
１Ａに補強板８３Ａ及び８３Ｂを固定し、基板面８１Ｂ
の全面に補強板８２を固定した後、これらの端面をまと
めて厚さ方向に８度の角度で斜め研磨する。
【０００５】その後、光ファイバ８７Ａ、８７Ｂのコア
と導波路８１のコアを突き合せ、斜めに研磨した端面同
士を接着剤により接着することにより、複数の光ファイ
バを一括して導波路８１に固定する。
と導波路８１のコアを突き合せ、斜めに研磨した端面同
士を接着剤により接着することにより、複数の光ファイ
バを一括して導波路８１に固定する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
の導波路と光ファイバの接続構造においては、次のよう
な種々の欠点があった。
の導波路と光ファイバの接続構造においては、次のよう
な種々の欠点があった。
【０００７】（１）導波路及び光ファイバの両面を補強
板で固定するために、光ファイバと導波路を除いた部品
点数（９個）が非常に多く、構造が複雑で部品コストが
かかる。
板で固定するために、光ファイバと導波路を除いた部品
点数（９個）が非常に多く、構造が複雑で部品コストが
かかる。
【０００８】（２）光ファイバ端面及び導波路端面の計
４箇所の研磨を行う必要があり研磨コストがかかる。
４箇所の研磨を行う必要があり研磨コストがかかる。
【０００９】（３）研磨面は８度とする必要があり、研
磨誤差による特性の劣化が避けられない。
磨誤差による特性の劣化が避けられない。
【００１０】（４）光ファイバを一括して導波路に接着
固定するために、導波路と光ファイバのコア間が、導波
路の反り及び導波路の収縮等により一致しなくなり、過
剰損失等の特性劣化の原因となる。
固定するために、導波路と光ファイバのコア間が、導波
路の反り及び導波路の収縮等により一致しなくなり、過
剰損失等の特性劣化の原因となる。
【００１１】（５）導波路と光ファイバの接続部を接着
剤で固定するので、接続後の導波路特性が接着剤の信頼
性及び特性に大きく左右される。
剤で固定するので、接続後の導波路特性が接着剤の信頼
性及び特性に大きく左右される。
【００１２】本発明の目的は、ＣＯ2 レーザ融着接続を
用いることによって、前記した従来技術の欠点を解消
し、構造が簡単な導波路型光部品を提供することにあ
る。また、本発明の目的は、実装部品点数及び研磨部が
少なく、コア間が導波路の反り及び収縮等に影響を受け
ず、また導波路と光ファイバの接続部に接着剤を用いな
い導波路型光部品の製造方法を提供することにある。ま
た、本発明の目的は、そのような導波路型光部品に好適
な導波路を提供することにある。
用いることによって、前記した従来技術の欠点を解消
し、構造が簡単な導波路型光部品を提供することにあ
る。また、本発明の目的は、実装部品点数及び研磨部が
少なく、コア間が導波路の反り及び収縮等に影響を受け
ず、また導波路と光ファイバの接続部に接着剤を用いな
い導波路型光部品の製造方法を提供することにある。ま
た、本発明の目的は、そのような導波路型光部品に好適
な導波路を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の導波路
型光部品は、端面に光ファイバを融着接続した導波路
と、該導波路のクラッド面側を固定する導波路固定部、
上記融着接続部と非接触状態となって融着接続部を保護
する融着接続部保護溝、及び上記光ファイバを固定する
光ファイバ固定溝を有する光ファイバ固定部を一体的に
もつ補強板とを備え、上記補強板の導波路固定部に導波
路のクラッド面側を固定し、上記融着接続部保護溝上に
融着接続部を位置させ、上記光ファイバ固定溝に光ファ
イバを固定したものである。
型光部品は、端面に光ファイバを融着接続した導波路
と、該導波路のクラッド面側を固定する導波路固定部、
上記融着接続部と非接触状態となって融着接続部を保護
する融着接続部保護溝、及び上記光ファイバを固定する
光ファイバ固定溝を有する光ファイバ固定部を一体的に
もつ補強板とを備え、上記補強板の導波路固定部に導波
路のクラッド面側を固定し、上記融着接続部保護溝上に
融着接続部を位置させ、上記光ファイバ固定溝に光ファ
イバを固定したものである。
【００１４】請求項２に記載の導波路型光部品は、上記
導波路は石英系基板上に作製されているものである。
導波路は石英系基板上に作製されているものである。
【００１５】請求項３に記載の導波路型光部品は、上記
補強板は石英系基板またはシリコン基板により作製され
ているものである。
補強板は石英系基板またはシリコン基板により作製され
ているものである。
【００１６】請求項４に記載の導波路型光部品は、光フ
ァイバ固定溝の深さを、導波路の端面上部に光ファイバ
を融着接続したときに生じる導波路のクラッド表面と光
ファイバ表面との段差を吸収して、導波路と光ファイバ
を一直線上に補強板に固定できる深さとしたものであ
る。
ァイバ固定溝の深さを、導波路の端面上部に光ファイバ
を融着接続したときに生じる導波路のクラッド表面と光
ファイバ表面との段差を吸収して、導波路と光ファイバ
を一直線上に補強板に固定できる深さとしたものであ
る。
【００１７】請求項５に記載の導波路型光部品は、上記
導波路の両端面の入出力ポートの数が異なる場合におい
て、入出力ポート数の少ない方の端面の入出力ポートを
端面の幅方向にオフセットさせて、入出力ポート数の多
い方の端面の入出力ポートの何れかに位置合せすること
により、当該両端面の入出力ポートを一直線上に並べた
ものである。
導波路の両端面の入出力ポートの数が異なる場合におい
て、入出力ポート数の少ない方の端面の入出力ポートを
端面の幅方向にオフセットさせて、入出力ポート数の多
い方の端面の入出力ポートの何れかに位置合せすること
により、当該両端面の入出力ポートを一直線上に並べた
ものである。
【００１８】請求項６に記載の導波路型光部品の製造方
法は、導波路の端面にＣＯ2 レーザにより光ファイバを
融着接続する一方、光ファイバを固定する光ファイバ固
定溝を有する光ファイバ固定部、融着接続部と非接触状
態となって融着接続部を保護する融着接続部保護溝、及
び導波路を固定する導波路固定部を一体的に有する補強
板を作製し、上記光ファイバを融着接続した導波路をそ
のクラッド面側から上記補強板上に載せ、上記補強板の
融着接続部保護溝上に位置させた上記融着接続部を除い
て、上記導波路のクラッド面を補強板の導波路固定部
に、上記光ファイバを補強板の光ファイバ固定部の光フ
ァイバ固定溝にそれぞれ固定して、導波路と光ファイバ
の補強固定を行うようにしたものである。
法は、導波路の端面にＣＯ2 レーザにより光ファイバを
融着接続する一方、光ファイバを固定する光ファイバ固
定溝を有する光ファイバ固定部、融着接続部と非接触状
態となって融着接続部を保護する融着接続部保護溝、及
び導波路を固定する導波路固定部を一体的に有する補強
板を作製し、上記光ファイバを融着接続した導波路をそ
のクラッド面側から上記補強板上に載せ、上記補強板の
融着接続部保護溝上に位置させた上記融着接続部を除い
て、上記導波路のクラッド面を補強板の導波路固定部
に、上記光ファイバを補強板の光ファイバ固定部の光フ
ァイバ固定溝にそれぞれ固定して、導波路と光ファイバ
の補強固定を行うようにしたものである。
【００１９】請求項７に記載の導波路型光部品の製造方
法は、上記導波路の端面へのＣＯ2レーザによる光ファ
イバの融着接続は、導波路のコアと光ファイバのコアと
を１心づつ突き合せて融着接続するようにしたものであ
る。
法は、上記導波路の端面へのＣＯ2レーザによる光ファ
イバの融着接続は、導波路のコアと光ファイバのコアと
を１心づつ突き合せて融着接続するようにしたものであ
る。
【００２０】請求項８に記載の導波路型光部品の製造方
法は、上記補強板は、シリコンウェハ基板表面に、上記
光ファイバ固定溝と上記融着接続部保護溝とをエッチン
グにより形成した後、シリコンウェハ基板を所定の大き
さに分割することにより作製されるものである。
法は、上記補強板は、シリコンウェハ基板表面に、上記
光ファイバ固定溝と上記融着接続部保護溝とをエッチン
グにより形成した後、シリコンウェハ基板を所定の大き
さに分割することにより作製されるものである。
【００２１】請求項９に記載の導波路型光部品の製造方
法は、上記補強板の導波路固定部への導波路クラッド表
面の固定、及び補強板の光ファイバ固定溝への光ファイ
バの固定に接着剤を用いたものである。
法は、上記補強板の導波路固定部への導波路クラッド表
面の固定、及び補強板の光ファイバ固定溝への光ファイ
バの固定に接着剤を用いたものである。
【００２２】請求項１０に記載の導波路は、両端面の入
出力ポートの数が異なる導波路において、入出力ポート
数の少ない方の端部の入出力ポートを端面の幅方向にオ
フセットさせて、入出力ポート数の多い方の端面の入出
力ポートの何れかに位置合せすることにより、当該両端
面の入出力ポートを一直線上に並べたものである。
出力ポートの数が異なる導波路において、入出力ポート
数の少ない方の端部の入出力ポートを端面の幅方向にオ
フセットさせて、入出力ポート数の多い方の端面の入出
力ポートの何れかに位置合せすることにより、当該両端
面の入出力ポートを一直線上に並べたものである。
【００２３】
【作用】請求項１に記載の発明のように、光ファイバの
融着接続された導波路をクラッド面側から補強板で固定
すると、クラッド面側は光ファイバを含めてほぼ同一平
面にあるから、少なくとも１枚の補強板によって光ファ
イバの融着接続部の強度を補強することができる。少な
くとも１枚の補強板によって補強できるので導波路型光
部品の構造を簡素化できる。また、光ファイバの融着接
続部と融着接続部保護溝とは固定せず非接触状態として
いるので、他の部分を固定することによる融着接続部の
応力を有効に除去でき、信頼性に優れる。
融着接続された導波路をクラッド面側から補強板で固定
すると、クラッド面側は光ファイバを含めてほぼ同一平
面にあるから、少なくとも１枚の補強板によって光ファ
イバの融着接続部の強度を補強することができる。少な
くとも１枚の補強板によって補強できるので導波路型光
部品の構造を簡素化できる。また、光ファイバの融着接
続部と融着接続部保護溝とは固定せず非接触状態として
いるので、他の部分を固定することによる融着接続部の
応力を有効に除去でき、信頼性に優れる。
【００２４】請求項２に記載の発明のように、導波路基
板に石英系基板を用いると、融着接続は石英同士の永久
接続となるため、優れた温度特性と長期信頼性が得られ
る。
板に石英系基板を用いると、融着接続は石英同士の永久
接続となるため、優れた温度特性と長期信頼性が得られ
る。
【００２５】請求項３に記載の発明のように、導波路の
材質と同じまたはこれに近い石英系基板またはシリコン
基板で補強板を作製すると、環境温度の変化にともなう
熱膨張や収縮に影響されない補強を行うことができる。
材質と同じまたはこれに近い石英系基板またはシリコン
基板で補強板を作製すると、環境温度の変化にともなう
熱膨張や収縮に影響されない補強を行うことができる。
【００２６】請求項４に記載の発明のように、光導波路
固定溝の深さを、導波路と光ファイバを一直線上に補強
板に固定できるような深さに設定して、導波路表面と光
ファイバ表面との段差を吸収させると、光ファイバの融
着接続部をより強固に補強することができる。
固定溝の深さを、導波路と光ファイバを一直線上に補強
板に固定できるような深さに設定して、導波路表面と光
ファイバ表面との段差を吸収させると、光ファイバの融
着接続部をより強固に補強することができる。
【００２７】請求項５に記載の発明のように、導波路の
両端面の入出力ポートを一直線上に並べると、光ファイ
バを固定する光ファイバ固定溝を補強板上に一直線に並
べることができるから、補強板の作製が容易となる。
両端面の入出力ポートを一直線上に並べると、光ファイ
バを固定する光ファイバ固定溝を補強板上に一直線に並
べることができるから、補強板の作製が容易となる。
【００２８】請求項６に記載の発明のように、光ファイ
バを導波路に融着接続し、その導波路のクラッド面側を
補強板により固定すると、クラッド面側は光ファイバを
含めてほぼ同一面にあるから、実装部品は少なくとも１
枚の補強板だけで済むことになり、実装部品点数が低減
する。また研磨については、融着接続部と接触しない補
強板は研磨する必要はなく、光ファイバを融着接続する
際に要求される導波路端面の研磨だけでよいので、研磨
工程にかかるコスト低減が図れる。
バを導波路に融着接続し、その導波路のクラッド面側を
補強板により固定すると、クラッド面側は光ファイバを
含めてほぼ同一面にあるから、実装部品は少なくとも１
枚の補強板だけで済むことになり、実装部品点数が低減
する。また研磨については、融着接続部と接触しない補
強板は研磨する必要はなく、光ファイバを融着接続する
際に要求される導波路端面の研磨だけでよいので、研磨
工程にかかるコスト低減が図れる。
【００２９】請求項７に記載の発明のように、光ファイ
バを１心づつ導波路に接続すると、導波路の反り及び収
縮等による特性劣化の低減が図れる。
バを１心づつ導波路に接続すると、導波路の反り及び収
縮等による特性劣化の低減が図れる。
【００３０】請求項８に記載の発明のように、補強板を
シリコンウェハ基板からＩＣ製造技術を使って作製する
と、作製工程が少なくコストを低減することができる。
シリコンウェハ基板からＩＣ製造技術を使って作製する
と、作製工程が少なくコストを低減することができる。
【００３１】請求項９に記載の発明のように、導波路及
び光ファイバの補強板への固定には接着剤を用いるの
で、固定が容易である。
び光ファイバの補強板への固定には接着剤を用いるの
で、固定が容易である。
【００３２】請求項１０に記載の発明のように、導波路
の一端面の入出力ポートを他端面の入出力ポートの何れ
かに合わせて一直線上に並べると、当該両端面に接続す
る光ファイバを一直線上に並べることができる。
の一端面の入出力ポートを他端面の入出力ポートの何れ
かに合わせて一直線上に並べると、当該両端面に接続す
る光ファイバを一直線上に並べることができる。
【００３３】
【実施例】図１は本発明の実施例による導波路型光部品
を示したものであり、ＣＯ2 レーザで光ファイバを融着
接続した導波路を補強板に実装したものである。導波路
１０の光回路は、一例として１×４スプリッタとしてい
る。図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は正面及び図１
（ｃ）は側面図である。
を示したものであり、ＣＯ2 レーザで光ファイバを融着
接続した導波路を補強板に実装したものである。導波路
１０の光回路は、一例として１×４スプリッタとしてい
る。図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は正面及び図１
（ｃ）は側面図である。
【００３４】図１（ｂ）に示すように光ファイバ１３を
融着接続した導波路１０は、導波路１０のクラッド面１
９を下にして１枚の補強板１２上に実装される。導波路
１０への光ファイバ１３の融着接続は、一方の導波路端
面のコア１０Ａに光ファイバ１３Ａを、他方の導波路端
面のコア１０Ｂ〜１０Ｅに光ファイバ１３Ｂ〜１３Ｅを
それぞれ１心づつ突き合せた後、ＣＯ2 レーザにより行
う。ＣＯ2 レーザにより光ファイバ１３Ａ〜１３Ｅを導
波路１０に融着接続することにより融着接続部１８Ａ、
１８Ｂの信頼性及び反射等の特性改善が得られる。な
お、導波路１０に融着接続した光ファイバ１３Ａ〜１３
Ｅの外表面は導波路１０のクラッド面１９より段差ｔだ
け出っ張るようになる。
融着接続した導波路１０は、導波路１０のクラッド面１
９を下にして１枚の補強板１２上に実装される。導波路
１０への光ファイバ１３の融着接続は、一方の導波路端
面のコア１０Ａに光ファイバ１３Ａを、他方の導波路端
面のコア１０Ｂ〜１０Ｅに光ファイバ１３Ｂ〜１３Ｅを
それぞれ１心づつ突き合せた後、ＣＯ2 レーザにより行
う。ＣＯ2 レーザにより光ファイバ１３Ａ〜１３Ｅを導
波路１０に融着接続することにより融着接続部１８Ａ、
１８Ｂの信頼性及び反射等の特性改善が得られる。な
お、導波路１０に融着接続した光ファイバ１３Ａ〜１３
Ｅの外表面は導波路１０のクラッド面１９より段差ｔだ
け出っ張るようになる。
【００３５】この融着接続した導波路１０と光ファイバ
１３Ａ〜１３Ｅは、導波路１０のクラッド面１９側から
補強板１２上に石英と屈折率の等しい接着剤１４Ｃ、１
４Ａ及び１４Ｂにより接着固定される。補強板１２を導
波路１０のクラッド面１９側から接着固定することによ
り、１枚の補強板１２で光ファイバ１３Ａ〜１３Ｅの融
着接続部１８Ａ、１８Ｂの強度を補強できる。
１３Ａ〜１３Ｅは、導波路１０のクラッド面１９側から
補強板１２上に石英と屈折率の等しい接着剤１４Ｃ、１
４Ａ及び１４Ｂにより接着固定される。補強板１２を導
波路１０のクラッド面１９側から接着固定することによ
り、１枚の補強板１２で光ファイバ１３Ａ〜１３Ｅの融
着接続部１８Ａ、１８Ｂの強度を補強できる。
【００３６】導波路１０及び光ファイバ１３を接着固定
する補強板１２は、導波路１０のほぼ全面及び導波路１
０の両端面に融着接続された光ファイバ１３の一部を支
持するために、導波路１０の全長よりやや長く形成さ
れ、幅は導波路１０と同一幅に形成される。補強板１２
は、中央に導波路１０のクラッド面１９を固定する導波
路固定部１２Ｂと、その両側に融着接続部１８Ａ、１８
Ｂと非接触状態となって融着接続部１８を保護する断面
Ｖ字形の融着接続部保護溝１６Ａ、１６Ｂと、左右に光
ファイバ１３Ａ〜１３Ｅを固定する断面Ｖ字形の光ファ
イバ固定溝１７を表面に加工した光ファイバ固定部１２
Ａ、１２Ｃとを一体に有している。
する補強板１２は、導波路１０のほぼ全面及び導波路１
０の両端面に融着接続された光ファイバ１３の一部を支
持するために、導波路１０の全長よりやや長く形成さ
れ、幅は導波路１０と同一幅に形成される。補強板１２
は、中央に導波路１０のクラッド面１９を固定する導波
路固定部１２Ｂと、その両側に融着接続部１８Ａ、１８
Ｂと非接触状態となって融着接続部１８を保護する断面
Ｖ字形の融着接続部保護溝１６Ａ、１６Ｂと、左右に光
ファイバ１３Ａ〜１３Ｅを固定する断面Ｖ字形の光ファ
イバ固定溝１７を表面に加工した光ファイバ固定部１２
Ａ、１２Ｃとを一体に有している。
【００３７】図１（ａ）に示すように、光ファイバ固定
溝１７は、補強板１２上の左右に設けられ、補強板１２
の長手方向に複数本（図示例では４本）平行に設けられ
る。補強板１２の両端部に設けられた各光ファイバ固定
溝１７の幅方向の位置は、１×４スプリッタを構成する
導波路１０のコア１０Ａ、コア１０Ｂ〜１０Ｅの導波路
端面の入出力ポートの位置と一致させる。なお、光ファ
イバ固定溝１７の断面形状は、Ｕ字形または台形でもよ
い。
溝１７は、補強板１２上の左右に設けられ、補強板１２
の長手方向に複数本（図示例では４本）平行に設けられ
る。補強板１２の両端部に設けられた各光ファイバ固定
溝１７の幅方向の位置は、１×４スプリッタを構成する
導波路１０のコア１０Ａ、コア１０Ｂ〜１０Ｅの導波路
端面の入出力ポートの位置と一致させる。なお、光ファ
イバ固定溝１７の断面形状は、Ｕ字形または台形でもよ
い。
【００３８】また、融着接続部保護溝１６Ａ、１６Ｂ
は、光ファイバ固定溝１７と直交するように左右２箇所
に設けられる。融着接続部保護溝１６が設けられる箇所
は、光ファイバ１３を融着接続した導波路１０を補強板
１２に接着固定したとき、それらの融着接続部１８Ａ、
１８Ｂが位置する場所とする。融着接続部保護溝１６
は、図示例では断面Ｖ字形で構成してあるが、Ｕ字形ま
たは台形など任意の形状の溝でよい。
は、光ファイバ固定溝１７と直交するように左右２箇所
に設けられる。融着接続部保護溝１６が設けられる箇所
は、光ファイバ１３を融着接続した導波路１０を補強板
１２に接着固定したとき、それらの融着接続部１８Ａ、
１８Ｂが位置する場所とする。融着接続部保護溝１６
は、図示例では断面Ｖ字形で構成してあるが、Ｕ字形ま
たは台形など任意の形状の溝でよい。
【００３９】補強板１２の光ファイバ固定部１２Ａ上の
光ファイバ固定溝１７に一方の光ファイバ１３Ａが接着
剤１４Ａにより接着固定され、光ファイバ固定部１２Ｃ
上の光ファイバ固定溝１７に他方の光ファイバ１３Ｂ〜
１３Ｅが接着剤１４Ｂにより接着固定される。
光ファイバ固定溝１７に一方の光ファイバ１３Ａが接着
剤１４Ａにより接着固定され、光ファイバ固定部１２Ｃ
上の光ファイバ固定溝１７に他方の光ファイバ１３Ｂ〜
１３Ｅが接着剤１４Ｂにより接着固定される。
【００４０】また、補強板１２の導波路固定部１２Ｂの
表面に、導波路１０のクラッド面１９が接着剤１４Ｃに
より接着固定される。クラッド面１９を下にして補強板
１２に導波路１０を接着固定することにより、導波路１
０に融着接続した光ファイバ１３Ａ〜１３Ｅはクラッド
面１９より段差ｔだけ出っ張ることになるが、光ファイ
バ固定溝１７の深さを、その段差を吸収して導波路１０
と光ファイバ１３Ａ〜１３Ｅを一直線上に配置実装でき
るような深さに設定することにより、導波路１０と光フ
ァイバ１３Ａ〜１３Ｅを一直線上に補強板１２に固定で
きる。
表面に、導波路１０のクラッド面１９が接着剤１４Ｃに
より接着固定される。クラッド面１９を下にして補強板
１２に導波路１０を接着固定することにより、導波路１
０に融着接続した光ファイバ１３Ａ〜１３Ｅはクラッド
面１９より段差ｔだけ出っ張ることになるが、光ファイ
バ固定溝１７の深さを、その段差を吸収して導波路１０
と光ファイバ１３Ａ〜１３Ｅを一直線上に配置実装でき
るような深さに設定することにより、導波路１０と光フ
ァイバ１３Ａ〜１３Ｅを一直線上に補強板１２に固定で
きる。
【００４１】このような構造とすることにより、光ファ
イバ１３Ａ〜１３Ｅと導波路１０の融着接続部１８Ａ、
１８Ｂを補強する部品点数は補強板１つで済み、また研
磨工程も導波路１０の両端面のみに低減できる。
イバ１３Ａ〜１３Ｅと導波路１０の融着接続部１８Ａ、
１８Ｂを補強する部品点数は補強板１つで済み、また研
磨工程も導波路１０の両端面のみに低減できる。
【００４２】図２に、上述した導波路型光部品に使用さ
れる導波路の構造を示す。石英基板７１上に矩形のコア
７２を形成し、その周りをクラッド７３で埋め込んだ構
造をしている。コア７２は一般的に屈折率を高めるため
石英にＴｉＯ2 を添加した材料を用いる。クラッド７３
はクラッド形成時の熱によりコア７２が変形するのを防
止するため、石英にＰ2 Ｏ5 、Ｂ2 Ｏ3 を添加した軟化
温度の低い材料を用いる。石英基板７１とクラッド７３
は材質が異なり、それぞれの線膨張計数も異なるためク
ラッド層を厚くすると導波路に割れや反りが生じ易くな
る。従って、クラッド層はあまり厚くすることはでき
ず、導波路に接続する光ファイバのクラッド外表面と導
波路のクラッド面との間に既述したような段差ｔが必然
的に生じる。
れる導波路の構造を示す。石英基板７１上に矩形のコア
７２を形成し、その周りをクラッド７３で埋め込んだ構
造をしている。コア７２は一般的に屈折率を高めるため
石英にＴｉＯ2 を添加した材料を用いる。クラッド７３
はクラッド形成時の熱によりコア７２が変形するのを防
止するため、石英にＰ2 Ｏ5 、Ｂ2 Ｏ3 を添加した軟化
温度の低い材料を用いる。石英基板７１とクラッド７３
は材質が異なり、それぞれの線膨張計数も異なるためク
ラッド層を厚くすると導波路に割れや反りが生じ易くな
る。従って、クラッド層はあまり厚くすることはでき
ず、導波路に接続する光ファイバのクラッド外表面と導
波路のクラッド面との間に既述したような段差ｔが必然
的に生じる。
【００４３】図３に、ウェハ基板から多数の補強板を作
製する方法を示す。図３（ａ）はウェハ基板の平面図、
図３（ｂ）はウェハ基板から分離した補強板の平面図、
図３（ｃ）は同正断面図である。
製する方法を示す。図３（ａ）はウェハ基板の平面図、
図３（ｂ）はウェハ基板から分離した補強板の平面図、
図３（ｃ）は同正断面図である。
【００４４】シリコンウェハ基板２１上に、光ファイバ
固定用のＶ溝２２Ｂ、及びこれと直交する融着接続部保
護用のＶ溝２２Ａをエッチングにより作製した後、ウェ
ハ基板２１を破線で示すダイシングライン２３Ａにより
分割する。このように分割すると、ダイシングライン２
３Ａで囲まれた補強板２４が多数枚作製できる。この補
強板２４には、左右に光ファイバ固定用Ｖ溝２６、２７
が作製された光ファイバ固定部２４Ｂ、２４Ｃ、中央に
導波路固定部２４Ａ、その両側に融着接続部保護溝２５
Ａ、２５Ｂが形成されている。
固定用のＶ溝２２Ｂ、及びこれと直交する融着接続部保
護用のＶ溝２２Ａをエッチングにより作製した後、ウェ
ハ基板２１を破線で示すダイシングライン２３Ａにより
分割する。このように分割すると、ダイシングライン２
３Ａで囲まれた補強板２４が多数枚作製できる。この補
強板２４には、左右に光ファイバ固定用Ｖ溝２６、２７
が作製された光ファイバ固定部２４Ｂ、２４Ｃ、中央に
導波路固定部２４Ａ、その両側に融着接続部保護溝２５
Ａ、２５Ｂが形成されている。
【００４５】左右の光ファイバ固定用Ｖ溝２６、２７の
本数は同じ本数であり、導波路の両端面の何れかのうち
融着接続される光ファイバの本数が多い方の端面の本数
と等しく、間隔は導波路上のコア間隔と等しくする。ま
た、光ファイバ固定用Ｖ溝２６、２７は、導波路固定部
２４Ａ上にも作製される。このようにＩＣ製造技術を利
用して補強板を作製することにより、作製工程が少なく
コストを低減できる。
本数は同じ本数であり、導波路の両端面の何れかのうち
融着接続される光ファイバの本数が多い方の端面の本数
と等しく、間隔は導波路上のコア間隔と等しくする。ま
た、光ファイバ固定用Ｖ溝２６、２７は、導波路固定部
２４Ａ上にも作製される。このようにＩＣ製造技術を利
用して補強板を作製することにより、作製工程が少なく
コストを低減できる。
【００４６】図４に導波路上に形成される光回路構造例
を示す。図４（ａ）は１×４、図４（ｂ）は２×２の光
回路である。図３で説明したように、補強板２４上の左
右のＶ溝２６、２７は一直線上に作製されているため、
この補強板２４上に接着固定する導波路は、図４（ａ）
に示す１×４の導波路５１の場合には、導波路５１の一
端側の入出力ポート５３Ａを他端側の入出力ポート５３
Ｂ〜５３Ｅの何れかと同じ直線上に位置合せする必要が
ある。そのため、ここでは曲線導波路５２を形成するこ
とにより入出力ポート５３Ａにオフセットをかけて入出
力ポート５３Ｄと同一直線上に来るようにしている。
を示す。図４（ａ）は１×４、図４（ｂ）は２×２の光
回路である。図３で説明したように、補強板２４上の左
右のＶ溝２６、２７は一直線上に作製されているため、
この補強板２４上に接着固定する導波路は、図４（ａ）
に示す１×４の導波路５１の場合には、導波路５１の一
端側の入出力ポート５３Ａを他端側の入出力ポート５３
Ｂ〜５３Ｅの何れかと同じ直線上に位置合せする必要が
ある。そのため、ここでは曲線導波路５２を形成するこ
とにより入出力ポート５３Ａにオフセットをかけて入出
力ポート５３Ｄと同一直線上に来るようにしている。
【００４７】図４（ｂ）に示す２×２の導波路５４の場
合、導波路５４の一端側の入出力ポート５５Ａ及び５５
Ｂは、他端側の入出力ポート５５Ｃ及び５５Ｄとそれぞ
れ一直線上に配置させる。
合、導波路５４の一端側の入出力ポート５５Ａ及び５５
Ｂは、他端側の入出力ポート５５Ｃ及び５５Ｄとそれぞ
れ一直線上に配置させる。
【００４８】図５に上述した光回路を形成した導波路と
光ファイバの融着接続方法を示す。図５（ａ）に示すよ
うに、光ファイバ３１のコア３２と導波路３５上のコア
３３を１心づつ突き合せ、ＣＯ2 レーザにより３Ａ方向
から融着接続する。図５（ｂ）に示すように、融着接続
することにより光ファイバ３１と導波路３５の接続面３
６は融着接続部３７のように接続される。ここで、クラ
ッド３４表面から光ファイバ３１上の上面までの段差ｔ
は、約４０μｍである。この段差分を、図３に示す補強
板２４上のＶ溝２６、２７で吸収する。
光ファイバの融着接続方法を示す。図５（ａ）に示すよ
うに、光ファイバ３１のコア３２と導波路３５上のコア
３３を１心づつ突き合せ、ＣＯ2 レーザにより３Ａ方向
から融着接続する。図５（ｂ）に示すように、融着接続
することにより光ファイバ３１と導波路３５の接続面３
６は融着接続部３７のように接続される。ここで、クラ
ッド３４表面から光ファイバ３１上の上面までの段差ｔ
は、約４０μｍである。この段差分を、図３に示す補強
板２４上のＶ溝２６、２７で吸収する。
【００４９】図６に、光ファイバ４２を融着接続した導
波路４１の補強板４７への固定方法を示す。導波路４８
のクラッド面４４を補強板４７のＶ溝加工面４０上に載
せ、光ファイバ４２Ａと光ファイバ固定部４６Ｂ、導波
路４８と導波路固定部４６Ａ、光ファイバ４２Ｂと光フ
ァイバ固定部４６Ｃのそれぞれの接続面を接着剤により
接着固定する。補強板４７上の融着接続部保護用Ｖ溝４
５Ａ、４５Ｂの間隔はほぼ導波路４８の長さと等しい位
置に作製して、融着接続部４３Ａ、４３Ｂと融着接続部
保護用Ｖ溝４５Ａ、４５Ｂとは、接着剤による応力を除
去するため接着固定しないようにする。このように光フ
ァイバ４２Ａ、４２Ｂを融着接続した導波路４８を補強
板４７に接着固定することにより図１に示す導波路型光
部品が作製される。
波路４１の補強板４７への固定方法を示す。導波路４８
のクラッド面４４を補強板４７のＶ溝加工面４０上に載
せ、光ファイバ４２Ａと光ファイバ固定部４６Ｂ、導波
路４８と導波路固定部４６Ａ、光ファイバ４２Ｂと光フ
ァイバ固定部４６Ｃのそれぞれの接続面を接着剤により
接着固定する。補強板４７上の融着接続部保護用Ｖ溝４
５Ａ、４５Ｂの間隔はほぼ導波路４８の長さと等しい位
置に作製して、融着接続部４３Ａ、４３Ｂと融着接続部
保護用Ｖ溝４５Ａ、４５Ｂとは、接着剤による応力を除
去するため接着固定しないようにする。このように光フ
ァイバ４２Ａ、４２Ｂを融着接続した導波路４８を補強
板４７に接着固定することにより図１に示す導波路型光
部品が作製される。
【００５０】なお、上述した実施例では１枚の補強板を
用いて光ファイバを融着接続した導波路を補強するよう
にしたが、補強板を分割して２枚用いるようにしてもよ
い。例えば、図７に示すように、補強板６７Ａ及び６７
Ｂを左右別々に作製して、一方の補強板６７Ａで左側の
光ファイバ６２Ａと導波路６８の左側部分を、他方の補
強板６７Ｂで右側の光ファイバ６２Ｂと導波路６８の右
側部分をそれぞれ固定し、各補強板６７Ａ、６７Ｂに設
けた融着接続部保護用Ｖ溝６５Ａ、６５Ｂで融着接続部
６３Ａ及び６３Ｂを保護するようにしてもよい。これに
よれば、図３で説明したような同一ウェハ基板から作製
した補強板であっても、２枚の補強板６７Ａと６７Ｂの
相対位置を幅方向にずらし、それらの上に形成されてい
る光ファイバ固定用Ｖ溝の位置を、導波路６８の両端面
に形成された入出力ポート位置に個別に合せることがで
きるので、導波路６８の両端面に形成される入出力ポー
トの位置は一直線上に並んでいなくてもよい。
用いて光ファイバを融着接続した導波路を補強するよう
にしたが、補強板を分割して２枚用いるようにしてもよ
い。例えば、図７に示すように、補強板６７Ａ及び６７
Ｂを左右別々に作製して、一方の補強板６７Ａで左側の
光ファイバ６２Ａと導波路６８の左側部分を、他方の補
強板６７Ｂで右側の光ファイバ６２Ｂと導波路６８の右
側部分をそれぞれ固定し、各補強板６７Ａ、６７Ｂに設
けた融着接続部保護用Ｖ溝６５Ａ、６５Ｂで融着接続部
６３Ａ及び６３Ｂを保護するようにしてもよい。これに
よれば、図３で説明したような同一ウェハ基板から作製
した補強板であっても、２枚の補強板６７Ａと６７Ｂの
相対位置を幅方向にずらし、それらの上に形成されてい
る光ファイバ固定用Ｖ溝の位置を、導波路６８の両端面
に形成された入出力ポート位置に個別に合せることがで
きるので、導波路６８の両端面に形成される入出力ポー
トの位置は一直線上に並んでいなくてもよい。
【００５１】
【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、導波路
のクラッド面側から補強板で補強するするようにしたの
で、簡単な構造でありながら、光ファイバの融着接続部
の強度を補強することができる。また、融着接続部と補
強板の融着接続部保護溝を非接触にしているので、融着
接続部の信頼性を向上できる。
のクラッド面側から補強板で補強するするようにしたの
で、簡単な構造でありながら、光ファイバの融着接続部
の強度を補強することができる。また、融着接続部と補
強板の融着接続部保護溝を非接触にしているので、融着
接続部の信頼性を向上できる。
【００５２】請求項２に記載の発明によれば、導波路に
石英系基板を用いているため、同じく石英系の光ファイ
バとの間で石英同士の永久接続ができ、優れた温度特性
と長期信頼性を期待できる。
石英系基板を用いているため、同じく石英系の光ファイ
バとの間で石英同士の永久接続ができ、優れた温度特性
と長期信頼性を期待できる。
【００５３】請求項３に記載の発明によれば、導波路の
材質に近い石英系基板またはシリコン基板で補強板を作
製すると、環境温度の変化にともなう熱膨張や収縮に影
響されない補強を行うことができる。
材質に近い石英系基板またはシリコン基板で補強板を作
製すると、環境温度の変化にともなう熱膨張や収縮に影
響されない補強を行うことができる。
【００５４】請求項４に記載の発明によれば、光ファイ
バ固定用溝の深さを導波路と光ファイバを一直線上に固
定できるような深さにしたので、光ファイバの融着接続
部の強度をより強くすることができる。
バ固定用溝の深さを導波路と光ファイバを一直線上に固
定できるような深さにしたので、光ファイバの融着接続
部の強度をより強くすることができる。
【００５５】請求項５に記載の発明によれば、導波路の
両端面の入出力ポートを一直線上に並べるようにしたの
で、光ファイバ固定溝を補強板上に一直線上に並べるこ
とができるから、補強板の製造が容易となる。
両端面の入出力ポートを一直線上に並べるようにしたの
で、光ファイバ固定溝を補強板上に一直線上に並べるこ
とができるから、補強板の製造が容易となる。
【００５６】請求項６に記載の発明によれば、光ファイ
バと導波路をＣＯ2 レーザで融着接続するので、接続部
に接着剤を用いる必要がなくなる。また、導波路をクラ
ッド面から補強板で固定するようにしたので、実装部品
点数及び研磨工程にかかるコスト低減ができる。
バと導波路をＣＯ2 レーザで融着接続するので、接続部
に接着剤を用いる必要がなくなる。また、導波路をクラ
ッド面から補強板で固定するようにしたので、実装部品
点数及び研磨工程にかかるコスト低減ができる。
【００５７】請求項７に記載の発明によれば、光ファイ
バを１心づつ接続するため導波路の反り及び収縮等に起
因したコア間のずれが生じず、光部品の特性劣化を低減
できる。
バを１心づつ接続するため導波路の反り及び収縮等に起
因したコア間のずれが生じず、光部品の特性劣化を低減
できる。
【００５８】請求項８に記載の発明によれば、補強板が
シリコンウェハ基板からＩＣ製造技術を使って作製され
るので、作製工程が少なくコストを低減することができ
る。
シリコンウェハ基板からＩＣ製造技術を使って作製され
るので、作製工程が少なくコストを低減することができ
る。
【００５９】請求項９に記載の発明によれば、導波路及
び光ファイバの補強板への固定には接着剤を用いるの
で、固定が容易である。
び光ファイバの補強板への固定には接着剤を用いるの
で、固定が容易である。
【００６０】請求項１０に記載の発明によれば、両端面
の入出力ポートを一直線上に並べたので、両端面に接続
する光ファイバを一直線上に並べることができる。
の入出力ポートを一直線上に並べたので、両端面に接続
する光ファイバを一直線上に並べることができる。
【図１】本発明の実施例による導波路型光部品の説明図
であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は
側面図である。
であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は
側面図である。
【図２】本実施例による導波路の断面図。
【図３】本発明の実施例による補強板の説明図であっ
て、（ａ）は補強板のパターンを形成したウェハ基板の
平面図、（ｂ）はウェハ基板からブンリシタ補強板の平
面図、（ｃ）は同じく補強板の正断面図である。
て、（ａ）は補強板のパターンを形成したウェハ基板の
平面図、（ｂ）はウェハ基板からブンリシタ補強板の平
面図、（ｃ）は同じく補強板の正断面図である。
【図４】本実施例による導波路の光回路の説明図であっ
て、（ａ）は左右で入出力ポートの本数が異なる１×４
光回路の入出力ポート配置図、（ｂ）は左右で入出力ポ
ートの本数が等しい２×２光回路の入出力ポート配置図
である。
て、（ａ）は左右で入出力ポートの本数が異なる１×４
光回路の入出力ポート配置図、（ｂ）は左右で入出力ポ
ートの本数が等しい２×２光回路の入出力ポート配置図
である。
【図５】本実施例による導波路と光ファイバの融着接続
方法を示す接続部の拡大断面図である。
方法を示す接続部の拡大断面図である。
【図６】本実施例による光ファイバを融着接続した導波
路の補強板への実装方法を示した説明図である。
路の補強板への実装方法を示した説明図である。
【図７】他の実施例による導波路型光部品の正面図であ
る。
る。
【図８】従来の導波路型光部品の説明図であって、
（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
１０ 導波路 １０Ａ〜１０Ｅ コア １２ 補強板 １２Ａ、１２Ｃ 光ファイバ固定部 １２Ｂ 導波路固定部 １３、１３Ａ〜１３Ｅ 光ファイバ １４Ａ〜１４Ｃ 接着剤 １６Ａ、１６Ｂ 融着接続部保護溝 １７ 光ファイバ固定溝 １８Ａ、１８Ｂ 融着接続部 １９ クラッド面
Claims (10)
- 【請求項１】端面に光ファイバを融着接続した導波路
と、該導波路のクラッド面側を固定する導波路固定部、
上記融着接続部と非接触状態となって融着接続部を保護
する融着接続部保護溝、及び上記光ファイバを固定する
光ファイバ固定溝を有する光ファイバ固定部を一体的に
もつ補強板とを備え、上記補強板の導波路固定部に導波
路のクラッド面側を固定し、上記融着接続部保護溝上に
融着接続部を位置させ、上記光ファイバ固定溝に光ファ
イバを固定した導波路型光部品。 - 【請求項２】上記導波路は石英系基板上に作製されてい
る請求項１に記載の導波路型光部品。 - 【請求項３】上記補強板は石英系基板またはシリコン基
板により作製されている請求項１または２に記載の導波
路型光部品。 - 【請求項４】上記光ファイバ固定溝の深さを、導波路の
端面上部に光ファイバを融着接続したときに生じる導波
路のクラッド表面と光ファイバ表面との段差を吸収し
て、導波路と光ファイバを一直線上に補強板に固定でき
る深さとした請求項１ないし３のいずれかに記載の導波
路型光部品。 - 【請求項５】上記導波路の両端面の入出力ポートの数が
異なる場合において、入出力ポート数の少ない方の端面
の入出力ポートを端面の幅方向にオフセットさせて、入
出力ポート数の多い方の端面の入出力ポートの何れかに
位置合せすることにより、当該両端面の入出力ポートを
一直線上に並べた請求項１ないし４のいずれかに記載の
導波路型光部品。 - 【請求項６】導波路の端面にＣＯ2 レーザにより光ファ
イバを融着接続する一方、上記光ファイバを固定する光
ファイバ固定溝を有する光ファイバ固定部、融着接続部
と非接触状態となって融着接続部を保護する融着接続部
保護溝、及び上記導波路を固定する導波路固定部を一体
的に有する補強板を作製し、上記光ファイバを融着接続
した導波路をそのクラッド面側から上記補強板上に載
せ、上記補強板の融着接続部保護溝上に位置させた上記
融着接続部を除いて、上記導波路のクラッド面を補強板
の導波路固定部に、上記光ファイバを補強板の光ファイ
バ固定部の光ファイバ固定溝にそれぞれ固定して、導波
路と光ファイバの補強固定を行うようにした導波路型光
部品の製造方法。 - 【請求項７】上記導波路の端面へのＣＯ2 レーザによる
光ファイバの融着接続は、導波路のコアと光ファイバの
コアとを１心づつ突き合せて融着接続するようにした請
求項６に記載の導波路型光部品の製造方法。 - 【請求項８】上記補強板は、シリコンウェハ基板表面
に、上記光ファイバ固定溝と上記融着接続部保護溝とを
エッチングにより形成した後、シリコンウェハ基板を所
定の大きさに分割することにより作製される請求項６ま
たは７に記載の導波路型光部品の製造方法。 - 【請求項９】上記補強板の導波路固定部への導波路クラ
ッド表面の固定、及び補強板の光ファイバ固定溝への光
ファイバの固定に接着剤を用いた請求項６ないし８のい
ずれかに記載の導波路型光部品の製造方法。 - 【請求項１０】両端面の入出力ポートの数が異なる導波
路において、入出力ポート数の少ない方の端部の入出力
ポートを端面の幅方向にオフセットさせて、入出力ポー
ト数の多い方の端面の入出力ポートの何れかに位置合せ
することにより、当該両端面の入出力ポートを一直線上
に並べたことを特徴とする導波路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15786695A JPH095569A (ja) | 1995-06-23 | 1995-06-23 | 導波路型光部品及びその製造方法並びに導波路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15786695A JPH095569A (ja) | 1995-06-23 | 1995-06-23 | 導波路型光部品及びその製造方法並びに導波路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH095569A true JPH095569A (ja) | 1997-01-10 |
Family
ID=15659117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15786695A Pending JPH095569A (ja) | 1995-06-23 | 1995-06-23 | 導波路型光部品及びその製造方法並びに導波路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH095569A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0880929A2 (en) | 1997-05-29 | 1998-12-02 | Nippon Sanso Corporation | Insulating double-layered container |
| WO2005124411A1 (ja) * | 2004-06-16 | 2005-12-29 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | 光導波路構造体、光導波路型光モジュール、及び光ファイバーアレイ |
| CN100458481C (zh) * | 2004-06-16 | 2009-02-04 | 日立化成工业株式会社 | 光波导构造体、光波导型光组件及光纤阵列 |
| WO2024033988A1 (ja) * | 2022-08-08 | 2024-02-15 | 日本電信電話株式会社 | 光ファイバと光導波路との接続構造及び光導波路基板の製造方法 |
-
1995
- 1995-06-23 JP JP15786695A patent/JPH095569A/ja active Pending
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