JPH0955364A

JPH0955364A - 半導体装置における膜平坦化方法

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Publication number: JPH0955364A
Application number: JP7229711A
Authority: JP
Inventors: Naoki Nagashima; 直樹長島
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1995-08-15
Filing date: 1995-08-15
Publication date: 1997-02-25
Anticipated expiration: 2015-08-15
Also published as: JP3438429B2; US5824360A

Abstract

(57)【要約】【目的】ウエハ面内における研磨均一性を損なうことな
く、研磨量の制御性に優れ、均一で平坦な膜を形成し得
る、半導体装置における膜平坦化方法を提供する。【構成】膜平坦化方法は、（イ）基体１０に設けられた
段差部１４の少なくとも頂部に第１の膜２１を形成する
工程と、（ロ）第１の膜２１よりも研磨速度が早く、リ
ンを６乃至９重量％含有する第２の膜２２で段差部１４
を被覆する工程と、（ハ）第２の膜２２を研磨し、段差
部１４の頂部に形成された第１の膜２１を露出させる工
程、から成る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造
工程における層間絶縁層の平坦化、トレンチ素子分離領
域の平坦化等に適用し得る、半導体装置における膜平坦
化方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置を作製する上で、半導体基板
に例えばＬＯＣＯＳ構造から成る素子分離領域や配線を
形成したり、素子分離領域上に配線を形成したり、半導
体基板上に層間絶縁層を形成してかかる層間絶縁層の上
に配線を形成することが不可欠である。そして、配線等
が形成された半導体基板、配線等が形成された層間絶縁
層、ＬＯＣＯＳ構造から成る素子分離領域が形成された
半導体基板、更にはＬＯＣＯＳ構造から成る素子分離領
域の上に形成された配線等を有する半導体基板等（以
下、総称して半導体装置中間物とも呼ぶ）の表面には、
配線や素子分離領域等によって大きな凹凸が形成されて
いる。その結果、半導体装置中間物の表面の高さは局所
的に変化しており、平坦になっていない。

【０００３】半導体集積回路の微細化に伴い、フォトリ
ソグラフィー技術において用いられる露光光は短波長化
している。露光焦点深度は露光光の波長の逆数に比例す
る。従って、投影光学系の露光焦点深度が浅くなってい
る。それ故、半導体装置中間物の表面にフォトレジスト
を塗布し、かかるフォトレジストを露光するとき、半導
体装置中間物の表面に大きな凹凸が存在すると、投影光
学系からのフォトレジストの位置が投影光学系の最適露
光焦点深度内に収まらなくなる。その結果、フォトレジ
ストの露光・現像処理を行って得られる半導体装置中間
物上のフォトレジストパターンの線幅が、半導体装置中
間物において局所的に変動するという問題が生じる。あ
るいは又、フォトレジストパターンの形状が所望の形状
から逸脱した状態になるという問題が起きる。

【０００４】更には、層間絶縁層の表面に大きな凹凸が
存在する場合、層間絶縁層上に配線層を形成したとき、
配線層の局所的な膜厚変動を招く。このような配線層を
所望の形状にパターニングしたとき、配線層の薄い部分
から形成された配線は、その厚さが薄くなり、かかる配
線の部分の耐圧が低下するという問題もある。

【０００５】現在、半導体装置中間物の表面に凹凸を出
来るだけ形成しない技術が、各種検討されている。これ
らの技術として、ホウ素リンシリケートガラス（ＢＰＳ
Ｇ）リフロー法、絶縁膜堆積エッチバック法、ＳＯＧ
（Spin On Glass）平滑化法、表面凸部を積極的にエッ
チングして平坦化する方法、あるいは研磨平坦化技術を
挙げることができる。

【０００６】以下、研磨平坦化技術の概要を図２３の工
程図によって説明する。

【０００７】図２３の（Ａ）に示すように、半導体基板
１１０の表面には配線１１４が形成されている。このよ
うな半導体基板１１０の上に、例えばＣＶＤ法にて酸化
シリコンから成る絶縁層１２１を形成する（図２３の
（Ｂ）参照）。次いで図２３の（Ｃ）に示すように、か
かる絶縁層１２１の上面側を研磨して、その表面を平坦
化する。

【０００８】一方、従来から、半導体装置の素子分離領
域形成方法としてＬＯＣＯＳ法が用いられている。この
ＬＯＣＯＳ法においては、窒化シリコン膜をマスクとし
て、シリコン半導体基板を選択的に熱酸化することによ
って、酸化膜から成る素子分離領域をシリコン半導体基
板に形成する。しかしながら、熱酸化時に、窒化シリコ
ン膜のエッジ部分からシリコン半導体基板の横方向に酸
化膜が窒化シリコン膜に向かって喰い込む現象、所謂バ
ーズビークが生ずる。そのため、設計時のマスクと実際
の素子分離領域パターンの間に寸法の変換差が発生し、
半導体素子の微細化や大容量化に対応することが困難に
なってきている。

【０００９】このような問題に対処するために、半導体
基板に反応性イオンエッチング等によって溝部（トレン
チ）を設け、この溝部内に絶縁膜を充填する、所謂トレ
ンチ素子分離領域形成方法が提案されている。このトレ
ンチ素子分離領域形成方法においては、溝部（トレン
チ）を半導体基板に形成した後、溝部内を含む半導体基
板の表面に絶縁膜を堆積し、反応性イオンエッチングに
よって絶縁膜をエッチバックし、溝部内に絶縁膜を残し
ながら、半導体基板の表面を再度露出させる。かかる露
出した半導体基板の部分に例えば半導体素子を形成す
る。

【００１０】この従来のトレンチ素子分離領域形成方法
における最大の問題点は、絶縁膜の平坦化手法にある。
即ち、このようなエッチバックに基づいたトレンチ素子
分離領域形成方法においては、絶縁膜をエッチバックし
たとき、広いフィールド領域を形成するための幅の広い
溝部内に絶縁膜が残らないという問題がある。従って、
このようなエッチバックを用いる方法においては、ＬＯ
ＣＯＳ法を併用しなければならない。即ち、幅の狭い溝
部に関してはトレンチ素子分離領域形成方法にて素子分
離領域を形成し、幅の広い溝部に関してはＬＯＣＯＳ法
にて素子分離領域（広いフィールド領域）を形成する。
このような、ＬＯＣＯＳ法とトレンチ素子分離領域形成
方法が二重に必要とされる素子分離領域形成方法は、工
程数が多く、作業が複雑なため、半導体装置の量産化に
は不向きである。

【００１１】一方、素子分離領域を形成すべき部分の広
さによって絶縁膜の残り量が変化し難く、トレンチ素子
分離領域形成方法のみで全ての素子分離領域を形成し得
る平坦化手法が、例えば化学的機械的研磨法（ＣＭＰ
法）や機械的研磨法である。ＣＭＰ法等の研磨法に基づ
くトレンチ素子分離領域形成方法によって、幅１０μｍ
〜１０００μｍという広い素子分離領域（広いフィール
ド領域）を形成することが可能となり、素子分離領域形
成工程の大幅な削減ができる。従って、ＣＭＰ法や機械
的研磨法は、最も生産性の高いトレンチ素子分離領域形
成方法として現在注目されている技術である。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ＢＰＳＧリフロー法、絶縁膜堆積エッチバック法又はＳ
ＯＧ平滑化法は、半導体装置中間物において、局所的に
その表面の凹凸を緩和するだけである。このため、上述
のフォトリソグラフィー技術における問題を根本的に解
決することはできない。また、表面の凸部を積極的にエ
ッチングして半導体装置中間物の表面を平坦化する方法
は、エッチング量の調節や工程数の増加という課題を抱
えている。

【００１３】更には、研磨平坦化技術を用いて半導体装
置中間物の表面の凹凸を平坦化する方法では、絶縁層１
２１を研磨する際、１枚のウエハの面内（以下、単にウ
エハ面内とも呼ぶ）における絶縁層１２１の研磨速度や
研磨量が均一にならない。その結果、図２３の（Ｃ）に
示すように、研磨後の絶縁層１２１の膜厚はウエハ面
内、更には半導体装置中間物内において不均一となる。
従って、この方法によっても、フォトリソグラフィー技
術における問題点を解決することはできない。更には、
配線１１４上の絶縁層１２１にビヤホール等の接続孔を
形成する場合、配線１１４の上方の絶縁層１２１に開口
部を形成しなければならない（図２３の（Ｄ）参照）。
然るに、各配線１１４の上方の絶縁層１２１の膜厚にば
らつきがある場合、膜厚が厚い絶縁層１２１の部分に対
するエッチング量を増加させる必要があり、絶縁層１２
１のエッチング条件が複雑になるという問題がある。ま
た、研磨速度が一定でない研磨においては、研磨量が研
磨速度の変動量に依存するので、研磨後の絶縁層１２１
の膜厚の制御が非常に難しい。

【００１４】従来のＣＭＰ法や機械的研磨法を用いたト
レンチ素子分離領域形成方法には２つの問題点がある。
即ち、研磨による素子分離領域を含む半導体基板へのダ
メージの発生（図２４の（Ａ）の模式図を参照）、及び
ウエハ面内における研磨均一性の問題である。素子分離
領域にダメージが発生すると、素子分離領域の耐圧が低
下する。また、半導体基板にダメージが発生すると、か
かる半導体基板の領域に半導体素子を形成したとき、例
えば半導体素子のリーク電流が増大する。尚、図２４に
おいて、参照番号１１０は半導体基板、参照番号１３０
は半導体基板に形成された段差部の底部（凹部）、参照
番号１４１は例えばＳｉＯ₂から成る絶縁膜、参照番号
１３１は素子分離領域である。

【００１５】半導体基板へのダメージの発生は、絶縁膜
１４１の研磨レートや平坦性を犠牲にすることによっ
て、ある程度改善することが可能である。即ち、例えば
ＣＭＰ法にて使用する研磨材粒子の２次粒径を小さく
（１０ｎｍ程度あるいはそれ以下）抑えたコロイダルシ
リカを用い、しかも、研磨布としてはやや硬度の低い研
磨布（Ａｓｋｅｒ−Ｃ硬度で７０〜８０程度）を使用す
れば、半導体基板に与えるダメージを少なくできる。し
かし、この場合、研磨レートが低く（１０ｎｍ／分程度
あるいはそれ以下）、研磨量に対する凸部の除去量も小
さい。従って、ウエハ１枚を研磨するのに２時間以上も
要し、極めてスループットが悪くなる。ウエハが大口径
化すると、ウエハ面内における研磨均一性の問題もある
ため、複数枚のウエハを同時処理することが困難にな
る。それ故、このような方法で半導体基板へのダメージ
の発生を解決することは現実的ではない。

【００１６】絶縁膜をＣＭＰ法にて選択的に除去する場
合、研磨液と絶縁膜との化学的な反応、及び研磨材によ
る絶縁膜の機械的な研磨の双方によって、絶縁膜が除去
される。そこで、半導体基板へのダメージの発生の別の
解決策として、ＣＭＰ法における化学的研磨性を高める
方法が挙げられる。即ち、不純物を混入した酸化シリコ
ン膜や多結晶シリコン膜、あるいはシリコン窒化膜を絶
縁膜として堆積させ、ＣＭＰ法にてかかる絶縁膜を平坦
化する方法である。

【００１７】例えば、シリコン酸化膜の研磨を行う際、
シリコン酸化膜中に不純物を添加するとシリコン酸化膜
の研磨レートは変化する。一般に、シリコン酸化膜又は
シリコン窒化膜の研磨剤として使用されているヒューム
ドシリカやコロイダルシリカは酸化シリコンの微粒子を
アルカリ溶媒中に溶いたものである。そして、シリコン
酸化膜の研磨は、酸化シリコンから成る砥粒による機械
的な研磨作用と、アルカリ溶液の化学的な反応作用の２
つの作用によって行われる。砥粒の機械的作用は研磨装
置の研磨布から砥粒に与えられる機械的な力によって決
まるため、研磨布に加えられる垂直方向の圧力や研磨布
の回転速度などにより機械的研磨力は決定される。一
方、機械的研磨力を一定としたとき、機械的研磨力によ
る研磨に基づく研磨速度は、研磨対象物の原子又は分子
の結合力に依存する。更には、アルカリ溶液の反応作用
は化学的反応であるため、研磨対象物の化学的組成に大
きく依存する。

【００１８】一般に、研磨布に加えられる垂直方向の圧
力や研磨布の回転速度を増加させると、ウエハ内での研
磨速度は不均一になる傾向がある。このため機械的研磨
力を極端に高めることはできない。従って、研磨速度を
更に高めるためには、研磨における化学的な反応作用を
高めることが必要となる。研磨剤のアルカリ濃度を高め
ることにより研磨速度を向上させることができるが、研
磨剤の濃度が高くなると研磨液の安定性が低下するた
め、研磨液の濃度を極端に高＜することはできない。

【００１９】また、研磨における化学的な反応作用を高
め過ぎると等方的に絶縁膜の研磨が進行するため、段差
部の幅の広い底部（凹部）における膜厚減り（ディッシ
ングとも呼ばれる）が問題となる。このような現象を、
図２４の（Ｂ）及び（Ｃ）に模式的に示す。尚、図２４
の（Ｂ）においては、研磨されつつある絶縁膜１４１の
表面の位置を点線で示した。

【００２０】従って、機械的研磨条件と研磨剤を最適化
した場合、更に高い研磨速度を得るためには、研磨対象
物となる絶縁膜の機械的及び化学的性質を変えることが
必要となる。絶縁膜の機械的性質を変えて研磨速度を上
げるためには、原子及び分子の結合力を弱めなくてはな
らないが、絶縁膜の機械的性質を変えることは、絶縁膜
の強度が低下したりストレスの変動が大きくなるなど問
題を引き起こすため、実用的でない。

【００２１】一方、ウエハ面内における研磨不均一性の
問題には２つの要因がある。１つは絶縁膜の堆積膜厚の
ウエハ面内の分布（ばらつき）であり、他の１つは研磨
レートのウエハ面内の分布（ばらつき）である。８イン
チ径のウエハを処理する現行の絶縁膜堆積装置（例えば
ＣＶＤ装置）においては、絶縁膜の堆積膜厚のウエハ面
内の分布（ばらつき）は最低でも±３〜５％程度ある。
一方、８インチ径のウエハを処理する現行の化学的機械
的研磨装置においては、ウエハ面内の研磨レートには最
低でも±３〜５％程度のばらつきが存在する。

【００２２】従って、これらのばらつきが加算される
と、ウエハ面内における研磨均一性は最低でも±５〜１
０％ばらつくことになる。従来のトレンチ素子分離領域
形成方法においては、絶縁膜は１種類の材料から構成さ
れているので、半導体基板に形成された段差部の広い底
部（凹部）における絶縁膜の削れ量が大きくなる。それ
故、幅の広い底部内の絶縁膜を確実に残し且つかかる絶
縁膜を出来る限り平坦化するためには、堆積すべき絶縁
膜の厚さを、段差部の高さの２倍程度とする必要があ
る。例えば段差部の高さを０．５μｍとすれば、堆積す
べき絶縁膜の膜厚は１μｍ程度となり、ウエハ面内にお
ける研磨均一性は最低でも±５０〜１００ｎｍばらつく
ことになる。

【００２３】特開昭５９−１３６９４３号公報には、溝
の深さよりも少なくとも厚い絶縁膜を全面に堆積させた
後、かかる絶縁膜をＣＭＰ法で除去する素子分離領域の
形成方法が開示されている。しかしながら、この特許公
開公報に開示された技術においては、基本的には絶縁膜
は１種類の材料から構成されており、あるいは又、２層
の絶縁膜から構成されている場合にあっては同程度の研
磨速度を有する材料から各絶縁膜は構成されており、デ
ィッシング現象を解決することは困難である。また、溝
の深さよりも少なくとも厚い絶縁膜を全面に堆積させる
ため、ウエハ面内における研磨均一性が悪くなるという
問題がある。

【００２４】従って、本発明の目的は、ウエハ面内にお
ける研磨均一性を損なうことなく、研磨量の制御性に優
れ、均一で平坦な膜を形成し得る、半導体装置における
膜平坦化方法を提供することにある。あるいは又、本発
明の目的は、化学的機械的研磨法や機械的研磨法による
トレンチ素子分離領域形成工程における問題点である、
半導体基板への研磨ダメージの発生防止とウエハ面内に
おける研磨均一性の両面で優れた、半導体装置における
膜平坦化方法を提供することにある。

【００２５】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明の第１の態様に係る半導体装置における膜平
坦化方法は、（イ）基体に設けられた段差部の少なくと
も頂部に第１の膜を形成する工程と、（ロ）該第１の膜
よりも研磨速度が早く、リンを６乃至９重量％含有する
第２の膜で段差部を被覆する工程と、（ハ）該第２の膜
を研磨し、段差部の頂部に形成された前記第１の膜を露
出させる工程、から成ることを特徴とする。

【００２６】段差部は、例えば配線や素子分離領域から
構成することができる。基体としては、半導体基板、半
導体基板の上方に形成された層間絶縁層を例示すること
ができる。また、研磨速度が早いあるいは遅いとは、同
一の研磨装置及び同一の研磨条件において膜を研磨した
とき、或る膜の研磨レートがＰ_R1となり、他の膜の研磨
レートＰ_R2が、例えばＰ_R1の少なくとも２倍となった場
合、或る膜よりも他の膜の方が研磨速度が早いと規定す
る。また、第１の膜を露出させるとき、第１の膜が研磨
される場合もあるし、研磨されない場合もある。以下に
おいても同様である。

【００２７】本発明の第１の態様に係る半導体装置にお
ける膜平坦化方法においては、工程（ロ）に引き続き、
第２の膜を熱処理することなく、工程（ハ）を実行する
ことが、第２の膜の研磨速度を早める上で好ましい。更
には、第１の膜は、酸化シリコン及び窒化シリコンのい
ずれか一方若しくは両方が積層されて成り、第２の膜
は、リンを６乃至９重量％含有する酸化シリコン、より
具体的には、例えばホウ素リンシリケートガラス又はリ
ンシリケートガラスから成ることが望ましい。第１及び
第２の膜をこのような構成にすることで、十分な研磨速
度比が得られる。尚、酸化シリコンにはＳｉＯ₂のみな
らずＳｉＯＮも包含される。以下においても同様であ
る。

【００２８】この場合、段差部の高さをＨとし、段差部
頂部における第１の膜の厚さをＴ₁とし、段差部の底面
からの第２の膜の表面の高さをＴ₂としたとき、Ｔ₂の値
はＨ＋Ｔ₁の値より大きいか若しくは略等しいことが好
ましい。ここで略等しいとは、例えば使用する研磨装置
や研磨条件にも依存するが、｜Ｔ₂−（Ｈ＋Ｔ₁）｜≦０．１μｍを意味する。Ｔ₂の値が（Ｈ＋Ｔ₁）の値より非常に小さ
い場合、上記（ハ）の工程において、段差部底部の上方
の第２の膜が研磨されない虞がある。これでは、膜全体
の平滑性が乏しくなってしまう。

【００２９】また、前記（ハ）の工程の後、段差部頂部
の第１の膜を除去する工程を更に含むことができる。こ
れによって、第１の膜が除去された段差部頂部に、例え
ば半導体素子を形成することができ、一方、第２の膜で
埋め込まれた段差部底部は、例えばトレンチ素子分離領
域を構成する。

【００３０】上記の目的を達成するための本発明の第２
の態様に係る半導体装置における膜平坦化方法は、
（イ）基体に設けられた高さＨの段差部の少なくとも頂
部に、段差部頂部における膜厚がＴ₁の第１の膜を形成
する工程と、（ロ）段差部底面から第２の膜の表面まで
の高さＴ₂が（Ｈ＋Ｔ₁）の値より小さいか若しくは略等
しくなるように、第１の膜よりも研磨速度が早く、リン
を６乃至９重量％含有する第２の膜で段差部を被覆する
工程と、（ハ）段差部底面から第３の膜の表面までの高
さがＴ₃となるように、該第２の膜上に、第２の膜より
も研磨速度の遅い第３の膜を形成する工程と、（ニ）第
３の膜及び第２の膜を研磨し、段差部の頂部に形成され
た前記第１の膜を露出させる工程、から成ることを特徴
とする。

【００３１】ここで、高さＴ₂が（Ｈ＋Ｔ₁）の値と略等
しいとは、例えば使用する研磨装置や研磨条件にも依存
するが、｜Ｔ₂−（Ｈ＋Ｔ₁）｜≦０．１μｍを意味する。Ｔ₂の値が（Ｈ＋Ｔ₁）の値より非常に大き
い場合、上記（ニ）の工程において、段差部頂部の第１
の膜が研磨ストッパとして機能しなくなるし、段差部の
頂部に形成された第１の膜を露出させることができなく
なる虞があり、膜全体の平滑性が乏しくなる場合があ
る。

【００３２】本発明の第２の態様に係る半導体装置にお
ける膜平坦化方法においては、工程（ロ）に引き続き、
第２の膜を熱処理することなく、工程（ハ）を実行する
ことが、第２の膜の研磨速度を早める上で好ましい。更
には、第１の膜は、酸化シリコン及び窒化シリコンのい
ずれか一方若しくは両方が積層されて成り、第２の膜
は、リンを６乃至９重量％含有する酸化シリコン、より
具体的には、例えばホウ素リンシリケートガラス又はリ
ンシリケートガラスから成り、第３の膜は、酸化シリコ
ン及び窒化シリコンのいずれか一方若しくは両方が積層
されて成ることが好ましい。第１、第２及び第３の膜を
このような構成にすることで、十分な研磨速度比が得ら
れる。

【００３３】この場合、例えば使用する研磨装置や研磨
条件にも依存するが、｜Ｔ₃−（Ｈ＋Ｔ₁）｜≦０．１μｍの関係を満足することが、段差部の頂部に形成された第
１の膜を一層確実に露出させ、且つ膜全体を一層均一に
平滑化する上で、好ましい。尚、｜（Ｔ₂＋Ｔ₃）−（Ｈ
＋Ｔ₁）｜＞０．１μｍとなる場合、第１、第２及び第
３の膜にて構成される膜表面にはゆるやかな段差が生じ
るが、場合によっては問題ない。尚、例えば使用する研
磨装置や研磨条件にも依存するが、Ｔ₂−（Ｈ＋Ｔ₁）≦０．１μｍの関係を満足することが、段差部の頂部に形成された第
１の膜を確実に露出させ、且つ膜全体を平滑化する上
で、望ましい。

【００３４】段差部がトレンチ素子分離領域から構成さ
れる場合には、更に、Ｈ≦Ｔ₂であることが好ましい。
Ｔ₂＜Ｈ＋Ｔ₁の場合には、Ｈ＋Ｔ₁＜Ｔ₃あるいはＨ＜Ｔ
₃＜Ｈ＋Ｔ₁であることが好ましい。Ｔ₃＜Ｈとなる場合
には、例えば段差部のコーナー部に電界が集中する虞が
ある。

【００３５】あるいは又、前記（ニ）の工程の後、段差
部頂部の第１の膜を除去する工程を更に含むことができ
る。これによって、第１の膜が除去された段差部頂部
に、例えば半導体素子を形成することができ、一方、第
２の膜及び第３の膜で埋め込まれた段差部底部は、例え
ばトレンチ素子分離領域を構成する。

【００３６】本発明の第２の態様に係る半導体装置にお
ける膜平坦化方法の好ましい第１の態様では、前記
（イ）の工程は、基体に凹部から成る段差部を形成した
後、段差部を構成する該凹部の底部を含む基体表面に第
１の膜を形成する工程から構成することができる。ある
いは又、本発明の第２の態様に係る半導体装置における
膜平坦化方法の好ましい第２の態様では、前記（イ）の
工程は、基体に第１の膜を形成した後、基体に凹部から
成る段差部を形成する工程から構成することができる。

【００３７】あるいは又、本発明の第２の態様に係る半
導体装置における膜平坦化方法の好ましい第３の態様で
は、前記（イ）の工程は、基体上に酸化膜及び上層膜を
形成した後、基体に凹部から成る段差部を形成し、次い
で、段差部を構成する該凹部の側壁及び底面に酸化膜を
形成する工程から成り、段差部頂部における第１の膜は
酸化膜及び上層膜から成り、段差部底部における第１の
膜は酸化膜から成ることができる。この場合、第１の膜
を構成する上層膜は窒化シリコンから成り、第１の膜を
構成する酸化膜は酸化シリコンから成り、第２の膜は、
リンを６乃至９重量％含有する酸化シリコン、より具体
的には、例えばホウ素リンシリケートガラス又はリンシ
リケートガラスから成り、第３の膜は、酸化シリコン及
び窒化シリコンのいずれか一方若しくは両方が積層され
て成ることが好ましい。

【００３８】上記の目的を達成するための本発明の第３
の態様に係る半導体装置における膜平坦化方法は、
（イ）基体に形成されたｎ重（但し、ｎ≧２）の段差部
を、第１番目の膜で被覆する工程と、（ロ）第（２ｍ−
１）番目の膜（但し、ｍ＝１，２，・・・，ｋであり、
２≦ｋである）よりも研磨速度が早く、リンを６乃至９
重量％含有する第２ｍ番目の膜を第（２ｍ−１）番目の
膜上に形成し、次いで該第２ｍ番目の膜よりも研磨速度
が遅い第（２ｍ＋１）番目の膜を該第２ｍ番目の膜上に
形成する工程を（ｋ−１）回繰り返す工程と、（ハ）第
（２ｋ−１）番目の膜よりも研磨速度が早く、リンを６
乃至９重量％含有する第２ｋ番目の膜を第（２ｋ−１）
番目の膜上に形成する工程と、（ニ）第２ｋ番目の膜か
ら第２番目の膜までを研磨し、ｎ重の段差部の最頂部に
形成された第１番目の膜を露出させる工程、から成るこ
とを特徴とする。

【００３９】本発明の第３の態様に係る半導体装置にお
ける膜平坦化方法においては、工程（ロ）において、第
２ｍ番目の膜を形成した後、該第２ｍ番目の膜に対して
熱処理を行うことなく、第（２ｍ＋１）番目の膜を形成
し、工程（ハ）に引き続き、第２ｋ番目の膜を熱処理す
ることなく、工程（ニ）を実行することが好ましい。更
には、第２ｍ番目の膜（但し、ｍ＝１，２，・・・，ｋ
であり、２≦ｋである）は、リンを６乃至９重量％含有
する酸化シリコン、より具体的には、例えばホウ素リン
シリケートガラス又はリンシリケートガラスから成り、
第（２ｍ−１）番目の膜は、酸化シリコン及び窒化シリ
コンのいずれか一方若しくは両方が積層されて成ること
が好ましい。各膜をこのような構成にすることで、十分
な研磨速度比が得られる。

【００４０】この場合、ｎ重の段差部の最底面から最頂
部までの高さをＨとし、該ｎ重の段差部の最頂部におけ
る第１番目の膜の厚さをＴ₁とし、ｎ重の段差部の最底
面から第２ｋ番目の膜（但し、２≦ｋである）の表面ま
での高さをＴ_2kとしたとき、Ｔ_2kの値が（Ｈ＋Ｔ₁）の
値より大きいか若しくは略等しいことが好ましい。ここ
で略等しいとは、例えば使用する研磨装置や研磨条件に
も依存するが、｜Ｔ_2k−（Ｈ＋Ｔ₁）｜≦０．１μｍを意味する。Ｔ_2kの値が（Ｈ＋Ｔ₁）の値より非常に小
さい場合、第２ｋ番目の膜を研磨して段差部の頂部に形
成された第１の膜を露出させる工程において、段差部底
部の上方の最上層である第２ｋ番目の膜が研磨されない
虞がある。これでは、膜全体の平滑性が乏しくなってし
まう。更には、ｋ＝ｎとし（即ち、多層化された膜は２
ｎ層の多層膜である）、そして、ｎ重の段差部の最頂部
における第１番目の膜の厚さをＴ₁とし、ｎ重の段差部
の最底部からｉ番目（但し、ｉ＝１，２，・・・，ｎ）
の段差部の高さをＨ_iとしたとき、ｎ重の段差部の最底
面から第（２ｊ＋１）番目の膜（但し、ｊ＝１，２，・
・・，ｋ−１であり、２≦ｋである）の表面までの高さ
Ｔ_2j+1は、

【数３】と略等しいことが好ましい。ここで略等しいとは、例え
ば使用する研磨装置や研磨条件にも依存するが、

【数４】を満足することを意味する。

【００４１】あるいは又、本発明の第３の態様に係る半
導体装置における膜平坦化方法の好ましい態様では、前
記工程（ハ）と（ニ）の間に、第２ｋ番目の膜よりも研
磨速度が遅い第（２ｋ＋１）番目の膜を第２ｋ番目の膜
上に形成する工程を含み、前記工程（ニ）において、第
（２ｋ＋１）番目の膜から第２番目の膜までを研磨する
ことが好ましい。このように、最上層を研磨速度の遅い
第（２ｋ＋１）番目の膜とすることによって、段差部底
部の上方の最上層の第（２ｋ＋１）番目の膜が研磨スト
ッパとして働き、膜全体を一層確実に平滑化することが
できる。尚、この場合には、工程（ロ）において、第２
ｍ番目の膜を形成した後、該第２ｍ番目の膜に対して熱
処理を行うことなく、第（２ｍ＋１）番目の膜を形成
し、工程（ロ）に引き続き、第２ｋ番目の膜を熱処理す
ることなく、第（２ｋ＋１）番目の膜を第２ｋ番目の膜
上に形成することが好ましい。

【００４２】この本発明の第３の態様に係る半導体装置
における膜平坦化方法の好ましい態様では、ｎ重の段差
部の最底面から最頂部までの高さをＨとし、該ｎ重の段
差部の最頂部における第１番目の膜の厚さをＴ₁とし、
ｎ重の段差部の最底面から第（２ｋ＋１）番目の膜の表
面までの高さをＴ_2k+1としたとき、例えば使用する研磨
装置や研磨条件にも依存するが、｜Ｔ_2k+1−（Ｈ＋Ｔ₁）｜≦０．１μｍの関係を満足することが好ましい。尚、Ｔ_2k+1の値の範
囲がこの範囲を逸脱した場合、各膜にて構成される膜表
面にはゆるやかな段差が生じるが、場合によっては問題
ない。尚、例えば使用する研磨装置や研磨条件にも依存
するが、Ｔ_2k−（Ｈ＋Ｔ₁）≦０．１μｍの関係を満足することが、段差部の頂部に形成された第
１の膜を確実に露出させ、且つ膜全体を平滑化する上
で、望ましい。

【００４３】更には、この好ましい態様においては、ｋ
＝ｎとし（即ち、多層化された膜は（２ｎ＋１）層の多
層膜である）、そして、ｎ重の段差部の最頂部における
第１番目の膜の厚さをＴ₁とし、ｎ重の段差部の最底部
からｉ番目（但し、ｉ＝１，２，・・・，ｎ）の段差部
の高さをＨ_iとしたとき、ｎ重の段差部の最底面から第
（２ｊ＋１）番目の膜（但し、ｊ＝１，２，・・・，ｋ
−１であり、２≦ｋである）の表面までの高さＴ
_2j+1は、

【数５】と略等しいことが望ましい。ここで略等しいとは、例え
ば使用する研磨装置や研磨条件にも依存するが、

【数６】を満足することを意味する。

【００４４】尚、本発明の第３の態様に係る半導体装置
における膜平坦化方法における好ましいこれらの態様に
おいては、第（２ｍ’−１）番目の膜（但し、ｍ’＝
１，２，・・・，ｋ＋１であり、２≦ｋである）の膜
は、酸化シリコン及び窒化シリコンのいずれか一方若し
くは両方が積層されて成り、第２ｍ番目の膜（但し、ｍ
＝１，２，・・・，ｋであり、２≦ｋである）は、リン
を６乃至９重量％含有する酸化シリコン、より具体的に
は、ホウ素リンシリケートガラス又はリンシリケートガ
ラスから成ることが望ましい。各膜をこのような構成に
することで、十分な研磨速度比が得られる。

【００４５】本明細書において、各膜の膜厚や各膜の表
面の高さ、あるいは段差部の高さは、適切な数の測定点
における算術平均値を意味する。

【００４６】膜の研磨は、機械的研磨法、あるいは化学
的機械的研磨法（ＣＭＰ法）にて行うことができる。

【００４７】ホウ素リンシリケートガラス（ＢＰＳＧ）
を用い、ＢＰＳＧ中のリン濃度を変化させ、異なる温度
で熱処理を加えた後に研磨を行ったときの研磨速度を図
１に示す。ここで、ＢＰＳＧは、従来の成膜方法である
Ｏ₃−ＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）ＣＶＤ法によ
り４２０゜Ｃの成膜温度で堆積させた。研磨条件を次の
とおりとした。また、研磨方法を化学的機械的研磨法と
した。研磨布：不織布タイプ研磨剤：ヒュームドシリカ加圧：５００ｇｆ／ｃｍ² 回転数：６０ｒｐｍ

【００４８】図１に研磨速度の試験結果を示す。尚、図
１中、白四角で表した研磨速度は、ＢＰＳＧ堆積後の熱
処理を行わない場合を表し、黒丸で表した研磨速度は、
ＢＰＳＧ堆積後、４９０゜Ｃ×１０分間の熱処理を行っ
た場合を表し、黒丸で表した研磨速度は、ＢＰＳＧ堆積
後、９５０゜Ｃ×１０分間の熱処理を行わった場合を表
す。図１から明らかなように、ＢＰＳＧ中のリン濃度が
増加するに従い、研磨速度が増加する。また、ＢＰＳＧ
堆積後の熱処理温度が低いほど、研磨速度の増加が認め
られる。また、熱処理温度が低いほど、リン濃度が６重
量％以上になると、急激に研磨速度は増加し且つ安定す
る。リン濃度を９重量％以上にしても研磨速度の増加は
少ない。研磨速度は、リン濃度が９重量％であり、しか
も、熱処理を行わない場合でほぼ飽和する。尚、ＢＰＳ
Ｇからの不純物の拡散を抑制するためには、ＢＰＳＧ中
のリン濃度は出来るだけ低いことが望ましい。従って、
少ないリン濃度で高い研磨速度を得るためには、第２の
膜若しくは第２ｍ番目の膜としてリンを６乃至９重量％
含有する膜を用いる必要がある。更に、第２の膜若しく
は第２ｍ番目の膜に対して熱処理することなく、これら
の膜を研磨することが好ましい。リンを６乃至９重量％
含有する膜としては、具体的には、ホウ素リンシリケー
トガラス（ＢＰＳＧ）又はリンシリケートガラス（ＰＳ
Ｇ）を挙げることができる。

【００４９】本発明の半導体装置における膜平坦化方法
（以下、単に膜平坦化方法ともいう）においては、研磨
速度が遅い第１の膜、第３の膜、第（２ｍ−１）番目の
膜あるいは第（２ｋ＋１）番目の膜が形成される。かか
る膜は研磨時の研磨ストッパとして機能する。従って、
段差部の特に幅の広い底部（凹部）における膜厚減り
（ディッシング）発生を回避することができ、第２の膜
や、第２ｍ番目の膜、第２ｋ番目の膜の平滑性が損なわ
れたり、段差部の底部における膜全体の厚さが所望の厚
さ以下となることを効果的に防止することができる。

【００５０】本発明の第１の態様に係る膜平坦化方法に
おいては、段差部頂部において、研磨速度の異なる膜を
２層、積層化する。これによって、第２の膜を研磨した
とき、段差部頂部に形成された第１の膜が研磨ストッパ
として機能する。その結果、基体に形成された段差部底
部の上方における第２の膜の膜厚減りを防止することが
でき、ウエハ面内の研磨均一性を向上させることができ
るし、基体へのダメージ発生を効果的に抑制することが
できる。

【００５１】本発明の第２の態様に係る膜平坦化方法に
おいては、段差部頂部において、研磨速度の異なる膜を
３層、積層化する。また、基体に形成された段差部底部
においては、研磨速度の異なる膜を少なくとも２層、積
層化する。これによって、第３の膜及び第２の膜を研磨
したとき、段差部頂部に形成された第１の膜及び段差部
底部の上方に形成された第３の膜が、研磨ストッパとし
て機能する。その結果、基体に形成された段差部底部の
上方における第２の膜の膜厚減りを確実に防止すること
ができ、ウエハ面内の研磨均一性を一層向上させること
ができるし、基体へのダメージ発生を一層効果的に抑制
することができる。

【００５２】本発明の第３の態様に係る膜平坦化方法に
おいては、段差部最頂部に、研磨速度の異なる膜を２ｋ
層、積層化する。これによって、第２ｋ番目の膜から第
２番目の膜まで研磨したとき、段差部最頂部に形成され
た第１の膜、及び各段差部の上方や段差部底部の上方に
形成された第（２ｍ−１）番目の膜が、研磨ストッパと
して機能する。その結果、基体に形成された段差部底部
の上方における第２ｍ番目の膜や第２ｋ番目の膜の膜厚
減りを防止することができ、ウエハ面内の研磨均一性を
向上させることができるし、基体へのダメージ発生を効
果的に抑制することができる。また、段差部最頂部にお
いて、研磨速度の異なる膜を（２ｋ＋１）層、積層化す
れば、第（２ｋ＋１）番目の膜から第２番目の膜まで研
磨したとき、段差部最頂部に形成された第１の膜、各段
差部の上方や段差部底部の上方に形成された第（２ｍ−
１）番目の膜、及び段差部底部の上方に形成された第
（２ｋ＋１）番目の膜が研磨ストッパとして機能する。
その結果、基体に形成された段差部底部の上方における
第２ｍ番目の膜や第２ｋ番目の膜の膜厚減りを一層効果
的に防止することができ、ウエハ面内の研磨均一性を一
層向上させることができるし、基体へのダメージ発生を
一層効果的に抑制することができる。

【００５３】更には、本発明の膜平坦化方法によれば、
基体に形成された段差部底部における膜の膜厚減りを防
止することができそしてウエハ面内の研磨均一性を向上
させることができるので、フォトリソグラフィ技術にお
ける露光焦点深度の問題や、接続孔の形成時の絶縁層の
厚さばらつきによる絶縁層のエッチング問題を回避する
ことができる。

【００５４】これに加えて、本発明の第２あるいは第３
の態様に係る膜平坦化方法によれば、研磨前に基体の全
面に堆積させるべき膜全体の厚さを、例えば段差部全体
の高さと略同等かそれ以下にする。それ故、本発明の第
２あるいは第３の態様に係る膜平坦化方法は、特開昭５
９−１３６９４３号に開示された技術とは掛け離れた技
術である。しかも、研磨速度の異なる膜を２層以上、積
層化することで、膜の研磨中に、段差部の頂部の上の膜
の膜質（研磨レート）と、段差部底部の上方の膜の一部
分（若しくは全て）の膜質（研磨レート）との間には、
大きな差が存在し得る。これによって、研磨前の膜全体
の厚さを段差部の高さと略同等かそれ以下にすることが
可能になる。

【００５５】

【実施例】以下、図面を参照して、実施例に基づき本発
明を説明する。尚、実施例１〜実施例４は、本発明の第
１の態様に係る膜平坦化方法に関する。また、実施例５
〜実施例８は、本発明の第２の態様に係る膜平坦化方法
に関する。更に、実施例９〜実施例１１は、本発明の第
３の態様に係る膜平坦化方法に関する。

【００５６】（実施例１）実施例１は、本発明の第１の
態様に係る膜平坦化方法に関する。実施例１において
は、配線と配線の間に形成される絶縁膜の平坦化、所謂
層間絶縁層の平坦化を意図している。実施例１において
は、基体は半導体基板から構成されており、段差部は基
体上に形成された配線から構成されている。第１の膜は
酸化シリコン（ＳｉＯ₂）から成り、第２の膜は具体的
にはＢＰＳＧから成る。第１の膜は、段差部の頂部だけ
でなく、段差部の側壁及び底面にも形成されている。第
２の膜は機械研磨法によって研磨される。尚、第１の膜
は、研磨ストッパとして機能し研磨の均一性を改善する
だけでなく、例えばＢＰＳＧから成る第２の膜からの基
体への不純物の拡散を防止するという実用的な機能をも
有している。

【００５７】以下、基体等の模式的な一部断面図である
図２を参照して、実施例１の膜平坦化方法を説明する。

【００５８】［工程−１００］先ず、シリコン半導体基
板から構成された基体１０に配線１４を形成しておく
（図２の（Ａ）参照）。即ち、公知の成膜技術によっ
て、基体１０上に、例えば、厚さが１１ｎｍの酸化シリ
コン膜１１、厚さが０．１０μｍのリン（Ｐ）をドープ
した多結晶シリコン層１２、厚さが０．１０μｍのタン
グステンシリサイド（ＷＳｉ₂）層１３を成膜する。そ
の後、フォトリソグラフィー技術及びエッチング技術を
用いて、タングステンシリサイド層１３、多結晶シリコ
ン層１２及び酸化シリコン層１１を所望形状にパターニ
ングし、配線１４を形成する。実施例１においては、配
線１４が段差部に相当する。更に詳しくは、段差部の頂
部は配線１４の頂部に相当し、段差部の底部は、配線と
配線の間に露出している基体１０に相当し、段差部の底
面は、配線と配線の間に露出している基体１０の表面に
相当する。段差部の高さＨは０．２１μｍである。

【００５９】［工程−１１０］このような基体１０に設
けられた段差部の少なくとも頂部に第１の膜２１を形成
する（図２の（Ｂ）参照）。実施例１においては、段差
部である配線１４の頂部だけでなく、段差部の底部にも
第１の膜２１を形成した。即ち、配線１４上を含む基体
１０の全面に第１の膜２１を形成した。第１の膜はＳｉ
Ｏ₂から成り、例えば、テトラエトキシシラン（ＴＥＯ
Ｓ）を用いたプラズマＣＶＤ法によって形成することが
できる。段差部頂部における第１の膜２１の厚さＴ₁を
０．６０μｍとした。第１の膜２１の成膜条件を以下に
例示する。使用ガス：Ｏ₂／Ｈ₂＝６／１．５sccm 成膜温度：８５０゜Ｃ成膜時間：１００分Ｔ₁ ：０．６０μｍ

【００６０】［工程−１２０］次に、第１の膜２１より
も研磨速度が早い第２の膜２２で段差部を被覆する（図
２の（Ｃ）参照）。第２の膜２２は、実施例１において
はＢＰＳＧから成り、例えば低圧ＣＶＤ法によって形成
することができる。このＢＰＳＧにおいては、例えば、
ホウ素（Ｂ）の重量濃度を４％、リン（Ｐ）の重量濃度
を７％とすることができる。段差部の底部における第２
の膜２２の厚さを０．４０μｍとした。即ち、段差部の
底面からの第２の膜２２の表面の高さＴ₂は１．０μｍ
（＝０．６０μｍ＋０．４０μｍ）である。従って、Ｔ
₂（＝１．０μｍ）＞（Ｈ＋Ｔ₁）（０．８１μｍ＝０．
２１μｍ＋０．６０μｍ）を満足する。第２の膜２２の
成膜条件を以下に例示する。尚、ＢＰＳＧから成る第２
の膜２２の成膜後、第２の膜２２の熱処理は行わない。使用ガス：ＳｉＨ₄／ＰＨ₃／Ｂ₂Ｈ₆ 成膜温度：４００゜Ｃ反応圧力：常圧

【００６１】［工程−１３０］その後、第２の膜２２を
研磨し、段差部である配線１４の頂部に形成された第１
の膜２１を露出させる（図２の（Ｄ）参照）。研磨は機
械的研磨法に基づいている。研磨条件としては、例え
ば、研磨布にはベロアタイプ（Ａｓｋｅｒ−Ｃ硬度が例
えば８２〜８５程度）を用い、研磨液には適切な組成の
ヒュームドシリカと純水とを１：２に混合したものを用
いる。また、研磨液の供給量を３０ｃｍ³／分、研磨圧
を１３０ｇ／ｃｍ²、定盤速度を３８ｒｐｍに設定し
て、研磨を行った。

【００６２】こうして、段差部である配線１４の頂部に
は第１の膜２１が残り、段差部の底部である基体１０の
上には、第１の膜２１及び第２の膜２２から成る膜が形
成される。段差部である配線１４の頂部における第１の
膜２１の表面と、段差部の底部の上方の第２の膜２２の
表面とはほぼ同じ水準（高さ）にある。即ち、実施例１
にて形成された配線構造は、基体１０の上に形成された
複数の配線１４と、これらの配線１４の頂部に形成され
た第１の膜２１と、配線１４の間の基体１０上に形成さ
れた第１の膜２１及び第２の膜２２から成り、第１の膜
２１の表面と第２の膜２２の表面は略同一平面にある。

【００６３】酸化シリコン（ＳｉＯ₂）から成る第１の
膜２１の研磨速度は１２ｎｍ／分であった。一方、ＢＰ
ＳＧから成る第２の膜２２の研磨速度は１００ｎｍ／分
であった。従って、第２の膜２２の研磨速度は第１の膜
２１の研磨速度の８倍程度になるので、研磨速度に十分
な選択比を生じる。即ち、第１の膜２１に比較して第２
の膜２２の方が研磨され易い。このため、段差部である
配線１４上における第２の膜２２の研磨が進行して、凸
部である配線１４の頂部上の第１の膜２１が露出する
と、その露出した部分（第１の膜２１）での研磨速度は
遅くなる。このように、研磨面内における研磨速度が不
均一になっても、先に露出した第１の膜２１の部分では
研磨速度が抑制される。

【００６４】そして、研磨速度の遅い第１の膜２１が研
磨ストッパとなり、他の配線１４上の第１の膜２１が露
出するまで第２の膜２２は研磨される。このようにし
て、ウエハに形成された全ての若しくはほぼ全ての配線
１４上の第１の膜２１が露出したときに研磨を終了す
る。こうして、段差部の底部における第１の膜２１と第
２の膜２２の膜厚の和は、ウエハ面内で均一化される。
この結果、グローバルな状態でウエハ面内における膜の
平坦化が実現される。尚、図２１の（Ａ）に示すよう
に、Ｔ₂の値がＨ＋Ｔ₁の値より非常に小さい場合、図２
１の（Ｂ）に示すように、［工程−１３０］において、
段差部底部の上方の第２の膜２２が研磨されない虞があ
る。

【００６５】（実施例１の変形）実施例１の変形におい
ては、基体１０は半導体基板から構成されており、段差
部は、基体上に形成されたＬＯＣＯＳ構造を有する素子
分離領域１５の上に形成された配線１４から構成されて
いる（図３の（Ａ）参照）。即ち、段差部は二重であ
り、第１番目の段差部はＬＯＣＯＳ構造を有する素子分
離領域１５から成り、第２番目の段差部は配線１４から
成る。

【００６６】実施例１と同様に、第１の膜は酸化シリコ
ン（ＳｉＯ₂）から成り、第２の膜はＢＰＳＧから成
る。また、第２の膜は機械研磨法によって研磨される。
実施例１の変形における膜平坦化方法は、段差部の構成
が異なることを除き、実施例１の各工程と同様とするこ
とができるので、詳細な説明は省略する。尚、段差部の
高さＨは０．３５μｍである。即ち、素子分離領域１５
から成る第１番目の段差部の高さ（基体１０から素子分
離領域１５の頂面までの高さ）は０．１５μｍであり、
配線１４から成る第２番目の段差部の高さ（配線１４の
厚さ）は０．２０μｍである。実施例１の変形の［工程
−１００Ａ］（実施例１の［工程−１００］に相当す
る）、［工程−１２０Ａ］（実施例１の［工程−１２
０］に相当する）、［工程−１３０Ａ］（実施例１の
［工程−１３０］に相当する）における基体等の模式的
な一部断面図を図３に示す。

【００６７】（実施例２）実施例２も、本発明の第１の
態様に係る膜平坦化方法に関する。実施例２において
は、トレンチ素子分離領域の形成を意図している。実施
例２においては、基体は半導体基板から構成されてお
り、段差部は基体に形成された凹部から構成されてい
る。第１の膜は酸化シリコン（ＳｉＯ₂）から成り、第
２の膜は具体的にはＢＰＳＧから成る。第１の膜は、段
差部の頂部（基体の表面）だけでなく、段差部（基体に
形成された凹部）の側壁及び底面にも形成されている。
第２の膜は機械研磨法によって研磨される。尚、第１の
膜は、研磨ストッパとして機能し研磨の均一性を改善す
るだけでなく、例えばＢＰＳＧから成る第２の膜からの
基体への不純物の拡散を防止するという実用的な機能を
も有している。

【００６８】以下、基体等の模式的な一部断面図である
図４を参照して、実施例２の膜平坦化方法を説明する。

【００６９】［工程−２００］先ず、シリコン半導体基
板から成る基体１０に凹部３０を形成する。この凹部３
０は、公知のフォトリソグラフィ技術及びエッチング技
術によって形成することができる。この凹部３０が段差
部に相当する。更に詳しくは、段差部の頂部は基体１０
の表面に相当し、段差部の底部は凹部３０の底部に相当
し、段差部の底面は凹部３０の底面に相当する。段差部
の高さＨである凹部３０の深さを０．３０μｍとした。
その後、凹部３０内を含む基体１０全体を酸化処理す
る。これによって、ＳｉＯ₂から成る第１の膜２１が形
成される（図４の（Ａ）参照）。段差部頂部における第
１の膜２１の厚さＴ₁を２０ｎｍとした。例えばドライ
熱酸化法による酸化処理条件を以下に例示する。酸化雰囲気：乾燥酸素酸化温度：１０００゜ＣＴ₁ ：２０ｎｍ

【００７０】［工程−２１０］次に、必要に応じて、凹
部３０の底部にイオン注入を施し、凹部３０の底部にチ
ャネルストップ領域（図示せず）を形成する。その後、
第１の膜２１よりも研磨速度が早い第２の膜２２で段差
部を被覆する（図４の（Ｂ）参照）。第２の膜２２は、
実施例２においてはＢＰＳＧから成り、実施例１の［工
程−１２０］と基本的には同様の条件で成膜することが
できる。尚、段差部（凹部３０）の底部における第２の
膜２２の厚さを０．６０μｍとした。即ち、段差部の底
面（凹部３０の底面）からの第２の膜２２の表面の高さ
Ｔ₂は０．６２μｍ（＝０．０２μｍ＋０．６０μｍ）
である。従って、Ｔ₂（＝０．６２μｍ）＞（Ｈ＋Ｔ₁）
（０．３２μｍ＝０．３０μｍ＋０．０２μｍ）を満足
する。

【００７１】［工程−２２０］その後、実施例１の［工
程−１３０］と同様の方法で第２の膜２２を研磨し、段
差部の頂部に相当する基体１０上に形成された第１の膜
２１を露出させる（図４の（Ｃ）参照）。

【００７２】［工程−２３０］次いで、基体１０の表面
に残っている第１の膜２１を、例えば０．５％希フッ酸
を用いて除去する。こうして、図４の（Ｄ）に模式的に
示すように、凹部３０にＢＰＳＧから成る第２の膜２２
が埋め込まれ、表面がほぼ平滑なトレンチ構造を有する
素子分離領域３１が形成され、一方、素子分離領域３１
の間に例えば半導体素子を形成すべき領域（半導体素子
形成領域）３２が形成される。尚、基体１０の表面に残
っている第１の膜２１を研磨法にて除去してもよい。

【００７３】こうして実施例２にて形成されたトレンチ
構造を有する素子分離領域３１は、基体１０に形成され
た凹部３０と、この凹部３０の底面及び側壁に形成され
た第１の膜２１と、凹部３０を埋める第２の膜２２から
成る。

【００７４】尚、図２１の（Ｃ）に示すように、Ｔ₂の
値がＨ＋Ｔ₁の値より非常に小さい場合、図２１の
（Ｄ）に示すように、［工程−２３０］において、段差
部底部の上方の第２の膜２２が研磨されない虞がある。

【００７５】（実施例３）実施例３は実施例２の変形で
あり、段差部（凹部３０）の形成及び第１の膜２１の形
成が実施例２と相違する。即ち、図５の（Ａ）に模式的
な一部断面図を示すように、基体１０の表面にのみ第１
の膜２１を形成する。第１の膜２１は、例えばＣＶＤ法
にて成膜された酸化シリコン（ＳｉＯ₂）や窒化シリコ
ン（Ｓｉ₃Ｎ ₄）とすることができる。次に、フォトリソ
グラフィ技術及びエッチング技術を用いて第１の膜２１
及び基体１０を選択的にエッチングし、基体１０に凹部
３０から成る段差部を形成する（図５の（Ｂ）参照）。
第１の膜２１は基体１０の表面にのみ形成されている。
即ち、基体１０に設けられた段差部の頂部にのみ第１の
膜２１が形成される。

【００７６】その後、実施例１の［工程−１２０］と同
様の方法で第２の膜２２を形成し、［工程−１３０］と
同様の方法で第２の膜を研磨し、段差部の頂部に相当す
る基体１０上に形成された第１の膜２１を露出させる
（図５の（Ｃ）参照）。次いで、実施例２の［工程−２
３０］と同様の方法で、基体１０の表面に残っている第
１の膜２１を除去する。尚、第１の膜２１を窒化シリコ
ンから構成した場合には、１４０゜Ｃのリン酸を用いて
第１の膜２１を除去すればよい。

【００７７】（実施例４）実施例４も実施例２の変形で
ある。実施例４は、段差部（凹部３０）の形成及び第１
の膜２１Ａ，２１Ｂの形成が実施例２と相違する。以
下、基体等の模式的な一部断面図である図６を参照して
実施例４を説明する。

【００７８】［工程−４００］図６の（Ａ）に模式的な
一部断面図を示すように、基体１０の表面に第１の膜の
一部２１Ａを形成する。即ち、先ず、シリコン半導体基
板から成る基体１０上に酸化膜（ＳｉＯ₂）を形成す
る。酸化膜は、例えば以下の条件のパイロジェニック法
にて形成することができる。酸化雰囲気：Ｏ₂／Ｈ₂＝４／１酸化温度：８５０゜Ｃ

【００７９】次に、酸化膜の上にＣＶＤ法にて窒化シリ
コン（Ｓｉ₃Ｎ₄）から成る上層膜を成膜する。こうし
て、酸化膜（ＳｉＯ₂）と上層膜（Ｓｉ₃Ｎ₄）の２層か
ら成る第１の膜の一部２１Ａが形成される。

【００８０】［工程−４１０］その後、フォトリソグラ
フィ技術及びエッチング技術を用いて第１の膜の一部２
１Ａの内の窒化シリコンから成る上層膜を選択的に除去
し、次いで、かかる窒化シリコンから成る上層膜をマス
クとしてエッチング技術を用いて酸化膜及び基体１０を
選択的にエッチングする。こうして、基体１０に段差部
である凹部３０を形成する。次いで、凹部３０を例えば
熱酸化法にて酸化し、凹部３０の底面及び側壁に酸化膜
（ＳｉＯ₂）２１Ｂを形成する（図６の（Ｂ）参照）。
熱酸化法の条件を以下に例示する。酸化雰囲気：乾燥酸素酸化温度：１０００゜Ｃ

【００８１】こうして、第１の膜２１Ａ，２１Ｂが形成
される。尚、段差部頂部における第１の膜２１Ａは酸化
膜及び上層膜から成り、段差部底部における第１の膜２
１Ｂは酸化膜から成る。尚、第１の膜２１Ａは、研磨ス
トッパとして機能し研磨の均一性を改善する。また、第
１の膜２１Ｂは、例えばＢＰＳＧから成る第２の膜２２
からの基体１０への不純物の拡散を防止するという機能
を有している。

【００８２】［工程−４２０］その後、実施例１の［工
程−１２０］と同様の方法で第２の膜２２を形成し、
［工程−１３０］と同様の方法で第２の膜を研磨し、段
差部の頂部に相当する基体１０上に形成された第１の膜
２１Ａを露出させる（図６の（Ｃ）参照）。

【００８３】［工程−４３０］次いで、実施例２の［工
程−２３０］と同様に、基体１０の表面に残っている第
１の膜２１Ａを除去する。尚、第１の膜２１Ａを構成す
る窒化シリコン（Ｓｉ₃Ｎ₄）を１４０゜Ｃのリン酸を用
いて除去する。また、第１の膜２１Ａを構成する酸化シ
リコン（ＳｉＯ₂）を０．５％希フッ酸を用いて除去す
る。

【００８４】（実施例５）実施例５は、本発明の第２の
態様に係る膜平坦化方法に関する。実施例５において
は、実施例１と同様に、配線と配線の間に形成される絶
縁膜の平坦化を意図している。実施例５においては、基
体は半導体基板から構成されており、段差部は基体上に
形成された配線から構成されている。第１の膜及び第３
の膜は酸化シリコン（ＳｉＯ₂）から成り、第２の膜は
具体的にはＢＰＳＧから成る。第１の膜は、段差部の頂
部だけでなく、段差部の側壁及び底面にも形成されてい
る。第３の膜及び第２の膜は化学的機械研磨法（ＣＭＰ
法）によって研磨される。尚、第１の膜は、研磨ストッ
パとして機能し研磨の均一性を改善するだけでなく、例
えばＢＰＳＧから成る第２の膜からの基体への不純物の
拡散を防止するという実用的な機能をも有している。

【００８５】以下、基体等の模式的な一部断面図である
図７を参照して、実施例５の膜平坦化方法を説明する。

【００８６】［工程−５００］先ず、実施例１の［工程
−１００］と同様の方法で、半導体基板から構成された
基体１０に配線１４を形成しておく（図７の（Ａ）参
照）。尚、この配線１４は、例えば、ＭＯＳ型トランジ
スタのゲート電極、あるいはゲート電極が延在したもの
である。尚、段差部の高さＨは０．２１μｍである。

【００８７】［工程−５１０］このような基体１０に設
けられた段差部の少なくとも頂部に第１の膜４１を形成
する。実施例５においては、段差部である配線１４の頂
部だけでなく、段差部の底部にも第１の膜４１を形成し
た。即ち、配線１４上を含む基体１０の全面に第１の膜
４１を形成した。第１の膜は酸化シリコン（ＳｉＯ₂）
から成り、例えば、テトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）
を用いたプラズマＣＶＤ法によって形成することができ
る。段差部頂部における第１の膜４１の厚さＴ₁を０．
２０μｍとした。第１の膜４１の成膜条件は、実施例１
の［工程−１１０］と基本的には同様とすることができ
る。

【００８８】［工程−５２０］次に、段差部底面（具体
的には基体１０の表面）から第２の膜４２の表面までの
高さＴ₂が（Ｈ＋Ｔ₁）の値より小さいか若しくは略等し
くなるように、第１の膜４１よりも研磨速度の早い第２
の膜４２で段差部を被覆する（図７の（Ｂ）参照）。第
２の膜４２は、実施例５においてはＢＰＳＧから成り、
実施例１の［工程−１２０］と同様に、例えば低圧ＣＶ
Ｄ法によって形成することができる。段差部の底部にお
ける第２の膜４２の厚さを０．２３μｍとした。即ち、
段差部の底面からの第２の膜４２の表面の高さＴ₂は
０．４３μｍ（＝０．２０μｍ＋０．２３μｍ）であ
る。従って、Ｔ₂（＝０．４３μｍ）の値は、（Ｈ＋
Ｔ₁）（０．４１μｍ＝０．２１μｍ＋０．２０μｍ）
の値と略等しい。更には、Ｔ₂−（Ｈ＋Ｔ₁）≦０．１μ
ｍの関係を満足している。尚、ＢＰＳＧから成る第２の
膜４２の成膜後、第２の膜４２の熱処理は行わない。

【００８９】［工程−５３０］その後、第２の膜４２上
に、第２の膜４２よりも研磨速度の遅い厚さ５０ｎｍ第
３の膜４３を形成する（図７の（Ｃ）参照）。即ち、段
差部底面（基体１０の表面）から第３の膜４３の表面ま
での高さＴ₃は、０．４８μｍとなる。第３の膜４３は
ノンドープ・シリケートガラス（ＮＳＧ膜，組成は酸化
シリコン，ＳｉＯ₂）から成り、ＳｉＨ₄ガスを用い、基
体の加熱温度を４１０゜Ｃとした低圧ＣＶＤ法にて成膜
することができる。あるいは又、第３の膜４３は、テト
ラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）を用いたプラズマＣＶＤ
法によって形成された酸化シリコンとすることもでき
る。尚、第３の膜４３の膜厚は、｜Ｔ₃−（Ｈ＋Ｔ₁）｜
≦０．１μｍの関係を満足している。尚、第３の膜４３
を窒化シリコン（Ｓｉ₃Ｎ₄）から構成することもでき
る。

【００９０】［工程−５４０］次に、第３の膜４３及び
第２の膜４２を研磨し、段差部である配線１４の頂部に
形成された第１の膜４１を露出させる（図７の（Ｄ）参
照）。研磨は化学的機械的研磨法（ＣＭＰ法）に基づい
ている。研磨条件としては、例えば、研磨布にはＳＵＢ
Ａ８００（Ａｓｋｅｒ−Ｃ硬度が例えば８０〜１００程
度）を用い、研磨液には適切な組成のヒュームドシリカ
を用いる。また、研磨液の供給量を４ｃｍ³／分、研磨
圧を２００ｇ／ｃｍ²、定盤速度を４０ｒｐｍに設定し
て、研磨を行った。あるいは又、実施例１の［工程−１
３０］にて説明した機械的研磨法にて、第３の膜４３及
び第２の膜４２を研磨してもよい。

【００９１】こうして、段差部である配線１４の頂部に
は第１の膜４１が残り、段差部の底部である基体１０の
上には、第１の膜４１、第２の膜４２及び第３の膜４３
から成る積層化された膜が形成される。段差部である配
線１４の頂部における第１の膜４１の表面と、段差部の
底部の上方の第２の膜４２及び第３の膜４３の表面とは
ほぼ同じ水準（高さ）にある。

【００９２】即ち、実施例５にて形成された配線構造
は、基体１０の上に形成された複数の配線１４と、これ
らの配線１４の頂部に形成された第１の膜４１と、配線
１４と配線１４の間の基体１０上に積層された第２の膜
４２及び第３の膜４３から成り、第１の膜４１の表面、
第２の膜４２の表面及び第３の膜４３の表面は略同一平
面にあり、第１の膜４１と第３の膜４３との間に第２の
膜４２が露出している。

【００９３】酸化シリコン（ＳｉＯ₂）から成る第１の
膜４１及び第３の膜４３の研磨速度は１２ｎｍ／分であ
った。一方、ＢＰＳＧから成る第２の膜４２の研磨速度
は１００ｎｍ／分であった。従って、第２の膜４２の研
磨速度は第１の膜４１及び第３の膜４３の研磨速度の８
倍程度になるので、研磨速度に十分な選択比を生じる。
即ち、第１の膜４１及び第３の膜４３に比較して第２の
膜４２の方が研磨され易い。このため、段差部である配
線１４上における第３の膜４３、第２の膜４２の研磨が
進行して、凸部である配線１４の頂部上の第１の膜４１
が露出すると（若しくは露出する直前に）、段差部底部
の上方の第３の膜４３が研磨され始める。従って、段差
部頂部の第１の膜４１及び段差部底部の上方の第３の膜
４３が研磨ストッパとして機能する。即ち、段差部頂部
の第１の膜４１と段差部底部の上方の第３の膜４３とに
よって挟まれた第２の膜４２の部分では研磨速度が抑制
される。

【００９４】そして、研磨速度の遅い第１の膜４１及び
第３の膜４３が研磨ストッパとなり、他の配線１４上の
第１の膜４１が露出するまで第３の膜４３、第２の膜４
２は研磨される。このようにして、ウエハに形成された
全ての若しくはほぼ全ての配線１４上の第１の膜４１が
露出したときに研磨を終了する。あるいは又、基体１０
に形成された全ての若しくはほぼ全ての段差部底部の上
方の第３の膜４３が最頂部分になったときに研磨を終了
する。こうして、段差部の底部における第１の膜４１、
第２の膜４２及び第３の膜４３の膜厚の和は、ウエハ面
内で均一化される。この結果、グローバルな状態でウエ
ハ面内における膜の平坦化が実現される。尚、図２２の
（Ａ）に示すように、Ｔ₂の値がＨ＋Ｔ₁の値より非常に
大きい場合、図２２の（Ｂ）に示すように、［工程−５
４０］において、各膜の研磨が不十分になり、平滑性が
不十分になる虞がある。

【００９５】尚、実施例５においては、第１の膜４１及
び第３の膜４３を酸化シリコンから形成し、第２の膜４
２をＢＰＳＧから形成したが、第１の膜４１及び第３の
膜４３は第２の膜４２よりも研磨速度が遅い材料で形成
されていればよい。例えば、第１の膜４１及び第３の膜
４３を窒化シリコンから形成してもよい。あるいは又、
第１の膜や第３の膜４３を、酸化シリコンと窒化シリコ
ンの２層膜としてもよい。第２の膜４２を、ＰＳＧ、あ
るいは、ＢＰＳＧやＰＳＧと多結晶シリコンの２層膜と
してもよい。第１、第２及び第３の膜をこのような材料
から構成することによって、第１の膜４１の研磨速度に
対して第２の膜４２の研磨速度は十分に早くなり、第２
の膜４２の研磨速度に対して第３の膜４３の研磨速度は
十分に遅くなる。

【００９６】次に、実施例５における研磨機構を、図８
及び図９の研磨工程図、及び図１０の表面高さと研磨時
間との関係図に基づき説明する。図１０中の各線Ａ，
Ｂ，Ｃ，Ｄは図８及び図９中の領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄで示
された部分における各膜の高さを示す。尚、図１０の縦
軸は表面高さを示し、横軸は研磨時間を示す。ここで、
高さは、基体１０の表面を基準としている。

【００９７】図８の（Ａ）に示すように、基体１０には
配線１４が形成されている。配線１４上を含む基体１０
上には、第１の膜４１が形成されている。尚、幅の狭い
配線１４Ａ（領域Ａに相当する）の頂部の第１の膜の部
分を参照番号４１Ａで示し、幅の広い配線１４Ｂ（領域
Ｂに相当する）の頂部の第１の膜の部分を参照番号４１
Ｂで示す。第１の膜４１の表面には、当該第１の膜４１
よりも研磨速度が早い第２の膜４２が形成されている。
この第２の膜４２は、Ｔ₂が（Ｈ＋Ｔ₁）の値より小さい
か若しくは略等しくなるように形成されている。尚、幅
の狭い配線１４Ａ（領域Ａに相当する）の頂部の第２の
膜の部分を参照番号４２Ａで示し、幅の広い配線１４Ｂ
（領域Ｂに相当する）の頂部の第２の膜の部分を参照番
号４２Ｂで示す。更に、第２の膜４２の上には、少なく
とも第２の膜４２よりも研磨速度が遅い第３の膜４３が
形成されている。尚、幅の狭い配線１４Ａ（領域Ａに相
当する）の上方の第３の膜の部分を参照番号４３Ａで示
し、幅の広い配線１４Ｂ（領域Ｂに相当する）の上方の
第３の膜の部分を参照番号４３Ｂで示し、段差部の広い
底部（領域Ｃに相当する）の上方の第３の膜を参照番号
４３Ｃで示し、段差部の狭い底部（領域Ｄに相当する）
の上方の第３の膜を参照番号４３Ｄで示す。

【００９８】特にこの第３の膜４３Ｃは、配線１４の頂
部に形成された第１の膜４１Ａ，４１Ｂの表面とほぼ同
等の高さになるように形成されている。尚、この状態に
おける各膜の表面の高さは、図１０に示すように、領域
Ａ，Ｂではｈ₃（＝Ｈ＋Ｔ₃）の高さになっており、領域
Ｃ，Ｄではｈ₁（＝Ｔ₃）の高さになっている。尚、ｈ₂
はＨ＋Ｔ₂に等しい。

【００９９】このような状態で研磨を開始する。図８の
（Ｂ）に示すように、研磨の開始直後の段階では、第３
の膜４３Ａ，４３Ｂの稜線部（破線で示す部分）が主に
研磨される。そして、この段階では、領域Ｃにおける第
３の膜４３Ｃ及び領域Ｄにおける第３の膜４３Ｄは殆ど
研磨されない。また、領域Ａにおける第３の膜４３Ａ
は、領域Ｂにおける第３の膜４３Ｂと比較して、基体１
０の表面に垂直な方向の研磨圧力成分を強く受ける。こ
のため、領域Ａにおける第３の膜４３Ａの研磨速度は、
領域Ｂにおける第３の膜４３Ｂの研磨速度と比較して早
い。

【０１００】研磨が進行すると、図８の（Ｃ）に示すよ
うに、領域Ａにおける第３の膜４３Ａは除去され、その
下方の第２の膜４２Ａは所謂山型に研磨され始める。一
方、領域Ｂにおける第３の膜４３Ｂの縁側部分が研磨さ
れ、更には、このように研磨され始めた第３の膜４３Ｂ
の近傍の第２の膜４２Ｂも斜めに研磨される。この段階
を、図１０の時間ｔ_Aにて示す。

【０１０１】更に研磨が進行すると、図９の（Ａ）に示
すように、領域Ｂにおける第３の膜４３Ｂが更に研磨さ
れて無くなる。また、領域Ｂにおける第２の膜４２Ｂの
相当量も研磨される。一方、配線１４Ａの頂部に形成さ
れた第１の膜４１Ａの表面が露出する。このとき、領域
Ａにおける第１の膜４１Ａの表面と、段差部の広い底部
（領域Ｃ）の上方の第３の膜４３Ｃの表面及び段差部の
狭い底部（領域Ｄ）の上方の第３の膜４３Ｄの表面と
は、ほぼ同一の高さに形成されているので、領域Ｃにお
ける第３の膜４３Ｃ、領域Ｄにおける第３の膜４３Ｄ及
び領域Ａにおける第１の膜４１Ａは、研磨ストッパにな
る。その結果、研磨は、第１の膜４１Ａの表面、第３の
膜４３Ｃの表面及び第３の膜４３Ｄの表面の高さのレベ
ルでほぼ止まる。この段階を、図１０の時間ｔ_Bにて示
す。

【０１０２】しかしながら、この時点においては、幅の
広い配線１４Ｂ（領域Ｂ）の上方の第２の膜４２Ｂの相
当部分は残っている。そこで研磨を更に進めて、図９の
（Ｂ）に示すように、残っている第２の膜４２Ｂ（図９
の（Ａ）参照）を研磨して除去する。このとき、第１の
膜４１Ａ、及びその表面とほぼ同一高さに研磨されてい
る第３の膜４３Ｃ，４３Ｄとが研磨ストッパになるの
で、配線１４間に露出している第２の膜４２は殆ど研磨
されない。更に、幅の広い配線１４Ｂ（領域Ｂ）の頂部
の第１の膜４１Ｂも研磨ストッパとして作用するので、
第１の膜４１，第２の膜４２及び第３の膜４３は、ほぼ
平坦化される。この段階を、図１０の時間ｔ_B’にて示
す。

【０１０３】時間ｔ_Dまで研磨した場合には、領域Ｄに
おける第３の膜４３Ｄが研磨されて無くなる。従って、
研磨を制御できる時間的余裕ｔ_Mは、ｔ_B’からｔ_Dの間
の時間である。尚、時間ｔ_B’は最大配線幅を有する配
線領域によって規定されるが、一般に或る配線幅以上に
なると時間ｔ_B’は一定になる。一方、基体１０の表面
に垂直の方向の研磨圧力成分によって、領域Ｄにおける
第３の膜４３は配線幅に依存せず、ある所定の時間（ｔ
_D）で消失する。更に、時間ｔ_Cまで研磨を行うと、領域
Ｃにおける第３の膜４３Ｃが研磨されて消滅し、領域Ｃ
における第２の膜４２は凹状に研磨される。このため、
平坦度が悪化する。以上に説明したように、研磨時間は
ｔ_B’〜ｔ_Dの時間範囲に設定しなければならない。

【０１０４】尚、実施例５における膜平坦化方法におい
ては、｜Ｔ₃−（Ｈ＋Ｔ₁）｜≦０．１μｍの関係を満足することが好ましい。このような関係を満
足するならば、十分な研磨余裕が確保される。従って、
基体１０の上に形成される第１、第２及び第３の膜４
１，４２，４３の表面は、ほぼ平坦になる。

【０１０５】（実施例５の変形）実施例５の変形におい
ては、基体１０は半導体基板から構成されており、段差
部は、基体上に形成されたＬＯＣＯＳ構造を有する素子
分離領域１５の上に形成された配線１４から構成されて
いる（図１１の（Ａ）参照）。即ち、段差部は二重であ
り、第１番目の段差部はＬＯＣＯＳ構造を有する素子分
離領域１５から成り、第２番目の段差部は配線１４から
成る。

【０１０６】実施例５と同様に、第１の膜４１は酸化シ
リコン（ＳｉＯ₂）から成り、第２の膜４２はＢＰＳＧ
から成り、第３の膜４３は酸化シリコン（ＳｉＯ₂）か
ら成る。また、第３の膜４３及び第２の膜４２は化学的
機械研磨法若しくは機械的研磨法にて研磨される。実施
例５の変形における膜平坦化方法は、段差部の構成が異
なることを除き、実施例５の各工程と同様とすることが
できるので、詳細な説明は省略する。実施例５の変形の
［工程−５００Ａ］（実施例５の［工程−５００］に相
当する）、［工程−５３０Ａ］（実施例５の［工程−５
３０］に相当する）、［工程−５４０Ａ］（実施例５の
［工程−５４０］に相当する）における基体等の模式的
な一部断面図を図１１に示す。

【０１０７】（実施例６）実施例６も、本発明の第２の
態様に係る膜平坦化方法に関する。実施例６において
は、実施例４と同様に、配線と配線の間に形成される絶
縁膜の平坦化を意図している。実施例６においては、基
体は半導体基板から構成されており、段差部は基体上に
形成された凹部から構成されている。第１の膜は酸化シ
リコン（ＳｉＯ₂）及び窒化シリコン（Ｓｉ₃Ｎ₄）から
成り、第２の膜は具体的にはＢＰＳＧから成り、第３の
膜は酸化シリコン（ＳｉＯ₂）から成る。第１の膜は、
段差部の頂部だけでなく、段差部の側壁及び底面にも形
成されている。第３の膜及び第２の膜は化学的機械研磨
法（ＣＭＰ法）によって研磨される。尚、段差部の頂部
（基体の表面）に形成された第１の膜は、研磨ストッパ
として機能し研磨の均一性を改善する。また、段差部の
底部（凹部の底部）に形成された第１の膜は、例えばＢ
ＰＳＧから成る第２の膜からの基体への不純物の拡散を
防止するという機能を有している。

【０１０８】更に詳しくは、実施例６は、本発明の第２
の態様に係る膜平坦化方法の好ましい第３の態様に関す
る。即ち、実施例６においては、基体に設けられた高さ
Ｈの段差部の少なくとも頂部に段差部頂部における膜厚
がＴ₁の第１の膜を形成する工程は、基体上に酸化膜及
び上層膜を形成した後、基体に凹部から成る段差部を形
成し、次いで、段差部を構成する凹部の側壁及び底面に
酸化膜を形成する工程から成る。そして、段差部頂部に
おける第１の膜は酸化膜及び上層膜から成り、段差部底
部における第１の膜は酸化膜から成る。

【０１０９】以下、基体等の模式的な一部断面図である
図１２及び図１３を参照して、実施例６の膜平坦化方法
を説明する。

【０１１０】［工程−６００］先ず、実施例４の［工程
−４００］と同様の方法で、基体１０の表面に第１の膜
の一部４１Ａを形成する。即ち、先ず、シリコン半導体
基板から成る基体１０上に厚さ１０ｎｍの酸化膜（Ｓｉ
Ｏ₂）を形成する。次に、酸化膜の上にＣＶＤ法にて窒
化シリコン（Ｓｉ₃Ｎ₄）から成る厚さ０．１５μｍの上
層膜を成膜する。こうして、酸化膜（ＳｉＯ₂）と上層
膜（Ｓｉ₃Ｎ₄）の２層から成る第１の膜の一部４１Ａが
形成される（図１２の（Ａ）参照）。

【０１１１】［工程−６１０］その後、実施例４の［工
程−４１０］と同様の方法で、フォトリソグラフィ技術
及びエッチング技術を用いて第１の膜の一部４１Ａ及び
基体１０を選択的にエッチングし、基体１０に段差部で
ある凹部３０を形成する。次いで、凹部３０を例えば熱
酸化法にて酸化し、凹部３０の底面及び側壁に厚さ２０
ｎｍの酸化膜（ＳｉＯ₂）４１Ｂを形成する（図１２の
（Ｂ）参照）。

【０１１２】こうして、第１の膜４１Ａ，４１Ｂが形成
される。尚、段差部頂部における第１の膜４１Ａは酸化
膜及び上層膜から成り、段差部底部における第１の膜４
１Ｂは酸化膜から成る。そして、実施例６においては、
基体１０に設けられた段差部である凹部３０の頂部（基
体１０の表面）だけでなく、段差部の底部にも第１の膜
４１Ｂが形成されている。

【０１１３】基体１０に設けられた段差部である凹部３
０の高さ（深さ）Ｈを０．２５μｍとした。また、Ｔ₁
は０．１６μｍである。従って、（Ｈ＋Ｔ₁）の値は
０．４１μｍである。

【０１１４】［工程−６２０］次に、段差部底面（具体
的には凹部３０の底面）から第２の膜４２の表面までの
高さＴ₂が（Ｈ＋Ｔ₁）の値より小さいか若しくは略等し
くなるように、第１の膜４１Ａよりも研磨速度の早い第
２の膜４２で段差部を被覆する（図１２の（Ｃ）参
照）。第２の膜４２は、実施例６においてもＢＰＳＧか
ら成り、実施例１の［工程−１２０］と同様に、例えば
低圧ＣＶＤ法によって形成することができる。段差部の
底部（具体的には凹部３０の底部）における第２の膜４
２の厚さを０．３０μｍとした。即ち、段差部の底面か
らの第２の膜４２の表面の高さＴ₂は０．３２μｍ（＝
０．０２μｍ＋０．３０μｍ）である。従って、Ｔ
₂（＝０．３２μｍ）の値は、（Ｈ＋Ｔ₁）（０．４１μ
ｍ＝０．２５μｍ＋，０．１６μｍ）の値より小さい。
尚、ＢＰＳＧから成る第２の膜４２の成膜後、第２の膜
４２の熱処理は行わない。

【０１１５】［工程−６３０］その後、第２の膜４２上
に、実施例５の［工程−５３０］と同様の方法で、第２
の膜４２よりも研磨速度の遅い厚さ０．１０μｍの第３
の膜４３を形成する（図１３の（Ａ）参照）。Ｔ₃の値
は０．４２μｍである。第３の膜４３の膜厚は、｜Ｔ₃
−（Ｈ＋Ｔ₁）｜≦０．１μｍの関係を満足している。

【０１１６】［工程−６４０］次に、実施例５の［工程
−５４０］と同様の方法で、第３の膜４３及び第２の膜
４２を研磨し、段差部である凹部３０の頂部（基体１０
の表面）に形成された第１の膜４１Ａを露出させる（図
１３の（Ｂ）参照）。

【０１１７】［工程−６５０］次いで、実施例４の［工
程−４３０］と同様の方法で、基体１０の表面に残って
いる第１の膜４１Ａを除去する（図１３の（Ｃ）参
照）。即ち、第１の膜４１Ａを構成する窒化シリコン
（Ｓｉ₃Ｎ₄）を１４０゜Ｃのリン酸を用いて除去する。
また、第１の膜４１Ａを構成する酸化シリコン（ＳｉＯ
₂）を０．５％希フッ酸を用いて除去する。こうして、
図１３の（Ｃ）に模式的に示すように、凹部３０にＢＰ
ＳＧから成る第２の膜４２が埋め込まれ、表面がほぼ平
滑なトレンチ構造を有する素子分離領域３１が形成され
る。一方、素子分離領域３１の間に例えば半導体素子を
形成すべき領域（半導体素子形成領域）３２が形成され
る。尚、基体１０の表面に残っている第１の膜４１Ａを
研磨法にて除去してもよい。

【０１１８】こうして実施例６にて形成されたトレンチ
構造を有する素子分離領域３１は、基体１０に形成され
た凹部３０と、この凹部３０の底面及び側壁に形成され
た第１の膜４１Ｂと、凹部３０を埋める第２の膜４２か
ら成る。

【０１１９】（実施例７）実施例７も実施例６の変形で
ある。実施例７は、本発明の第２の態様に係る膜平坦化
方法の好ましい第１の態様に関する。実施例７が実施例
６と相違する点は、第１の膜４１の形成方法にある。即
ち、基体に設けられた高さＨの段差部の少なくとも頂部
に段差部頂部における膜厚がＴ₁の第１の膜を形成する
工程は、基体１０に凹部３０から成る段差部を形成した
後、段差部を構成する凹部３０の底部を含む基体１０の
表面に第１の膜４１を形成する工程から成る。以下、基
体等の模式的な一部断面図である図１４及び図１５を参
照して、実施例７の膜平坦化方法を説明する。尚、第１
の膜は、研磨ストッパとして機能し研磨の均一性を改善
するだけでなく、例えばＢＰＳＧから成る第２の膜から
の基体への不純物の拡散を防止するという実用的な機能
をも有している。

【０１２０】［工程−７００］先ず、実施例２の［工程
−２００］と同様の方法で、半導体基板から成る基体１
０に凹部３０を形成する。この凹部３０は、公知のフォ
トリソグラフィ技術及びエッチング技術によって形成す
ることができる。この凹部３０が段差部に相当する。更
に詳しくは、段差部の頂部は基体１０の表面に相当し、
段差部の底部は凹部３０の底部に相当し、段差部の底面
は凹部３０の底面に相当する。段差部の高さＨである凹
部３０の深さは０．３０μｍである。その後、凹部３０
内を含む基体１０全体を酸化処理する。これによって、
ＳｉＯ₂から成る第１の膜４１が形成される（図１４の
（Ａ）参照）。段差部頂部における第１の膜２１の厚さ
Ｔ₁を２０ｎｍとした。

【０１２１】［工程−７１０］次に、段差部底面（具体
的には凹部３０の底面）から第２の膜４２の表面までの
高さＴ₂が（Ｈ＋Ｔ₁）の値より小さいか若しくは略等し
くなるように、第１の膜４１よりも研磨速度の早い第２
の膜４２で段差部を被覆する（図１４の（Ｂ）参照）。
この工程は、実施例６の［工程−６２０］と同様とする
ことができる。段差部の底部（具体的には凹部３０の底
部）における第２の膜４２の厚さを０．３０μｍとし
た。即ち、段差部の底面からの第２の膜４２の表面の高
さＴ₂は０．３２μｍ（＝０．０２μｍ＋０．３０μ
ｍ）である。従って、Ｔ₂（＝０．３２μｍ）の値は、
（Ｈ＋Ｔ₁）（０．３２μｍ＝０．０２μｍ＋０．３０
μｍ）の値と等しい。ＢＰＳＧから成る第２の膜４２の
成膜後、第２の膜４２の熱処理は行わない。

【０１２２】［工程−７２０］その後、実施例６の［工
程−６３０］と同様の方法で、第２の膜４２の上に、第
２の膜よりも研磨速度の遅い酸化シリコンから成る第３
の膜４３を形成する（図１４の（Ｃ）参照）。尚、Ｔ₃
の値は、実施例６の同様の場合０．４２μｍ程度であ
る。

【０１２３】［工程−７３０］次に、実施例５の［工程
−５４０］と同様の方法で、第３の膜４３及び第２の膜
４２を研磨し、段差部である凹部３０の頂部（基体１０
の表面）に形成された第１の膜４１を露出させる（図１
５の（Ａ）参照）。

【０１２４】［工程−７４０］その後、実施例６の［工
程−６５０］と同様に、基体１０の表面に残っている第
１の膜４１を除去する（図１５の（Ｂ）参照）。これに
よって、トレンチ構造を有する素子分離領域３１が形成
され、一方、素子分離領域３１の間に例えば半導体素子
を形成すべき領域３２が形成される。

【０１２５】（実施例８）実施例８も実施例６の変形で
ある。実施例８は、本発明の第２の態様に係る膜平坦化
方法の好ましい第２の態様に関する。実施例８が実施例
６と相違する点は、第１の膜４１の形成方法にある。即
ち、基体に設けられた高さＨの段差部の少なくとも頂部
に段差部頂部における膜厚がＴ₁の第１の膜を形成する
工程は、基体１０に第１の膜４１を形成した後、基体１
０に凹部３０から成る段差部を形成する工程から成る。
以下、基体等の模式的な一部断面図である図１６及び図
１７を参照して、実施例８の膜平坦化方法を説明する。

【０１２６】［工程−８００］先ず、実施例３と同様
に、基体１０の表面にのみ第１の膜４１を形成する。即
ち、基体１０の表面に、例えばＣＶＤ法にて酸化シリコ
ン（ＳｉＯ₂）や窒化シリコン（Ｓｉ₃Ｎ₄）、あるいは
酸化シリコンと窒化シリコンの２層膜から成る第１の膜
４１を形成する。次いで、フォトリソグラフィ技術及び
エッチング技術を用いて第１の膜４１及び基体１０を選
択的にエッチングし、基体１０に凹部３０から成る段差
部を形成する（図１６の（Ａ）参照）。第１の膜４１は
基体１０の表面にのみ形成されている。即ち、基体１０
に設けられた段差部の頂部にのみ第１の膜４１が形成さ
れる。段差部の高さＨである凹部３０の深さを０．３０
μｍとした。一方、段差部頂部（基体１０の表面）にお
ける第１の膜２１の厚さＴ₁を２０ｎｍとした。

【０１２７】［工程−８１０］次に、段差部底面（具体
的には凹部３０の底面）から第２の膜４２の表面までの
高さＴ₂が（Ｈ＋Ｔ₁）の値より小さいか若しくは略等し
くなるように、第１の膜４１よりも研磨速度の早い第２
の膜４２で段差部を被覆する（図１６の（Ｂ）参照）。
この工程は、実施例６の［工程−６２０］と同様とする
ことができる。段差部の底部（具体的には凹部３０の底
部）における第２の膜４２の厚さを０．３０μｍとし
た。即ち、段差部の底面からの第２の膜４２の表面の高
さＴ₂は０．２５μｍである。従って、Ｔ₂（＝０．２７
μｍ）の値は、（Ｈ＋Ｔ₁）（０．３２μｍ＝０．３０
μｍ＋０．０２μｍ）の値より小さい。ＢＰＳＧから成
る第２の膜４２の成膜後、第２の膜４２の熱処理は行わ
ない。

【０１２８】［工程−８２０］その後、実施例６の［工
程−６３０］と同様の方法で、第２の膜４２の上に、第
２の膜よりも研磨速度の遅い酸化シリコンから成る第３
の膜４３を形成する（図１６の（Ｃ）参照）。

【０１２９】［工程−８３０］次に、実施例５の［工程
−５４０］と同様の方法で、第３の膜４３及び第２の膜
４２を研磨し、段差部である凹部３０の頂部（基体１０
の表面）に形成された第１の膜４１を露出させる（図１
７の（Ａ）参照）。

【０１３０】［工程−８４０］その後、実施例６の［工
程−６５０］と同様に、基体１０の表面に残っている第
１の膜４１を除去する（図１７の（Ｂ）参照）。これに
よって、トレンチ構造を有する素子分離領域３１が形成
され、一方、素子分離領域３１の間に例えば半導体素子
を形成すべき領域３２が形成される。

【０１３１】尚、第２の膜４２が例えばＢＰＳＧから成
る場合、第２の膜４２から基体へ不純物が拡散し、問題
が生ずる虞がある。このような虞がある場合には、第２
の膜４２を、多結晶シリコンとＢＰＳＧの２層から構成
すればよい。

【０１３２】（実施例９）実施例９は、本発明の第３の
態様に係る膜平坦化方法に関する。実施例９において
は、配線と配線の間に形成される絶縁膜の平坦化、所謂
層間絶縁層の平坦化を意図している。実施例９において
は、基体は半導体基板から構成されている。また、段差
部は、基体上に形成されたＬＯＣＯＳ構造を有する素子
分離領域１５の上に形成された配線５０から構成されて
いる（図１８の（Ａ）参照）。即ち、段差部は二重（即
ち、ｎ＝２）であり、第１番目の段差部はＬＯＣＯＳ構
造を有する素子分離領域１５から成り、第２番目の段差
部は配線５０から成る。実施例９においては、段差部底
部の上方の膜は４層（ｋ＝２であり、第２ｋ番目の膜は
第４番目の膜である）から構成されている。

【０１３３】第（２ｍ−１）番目の膜（但し、ｍ＝１，
２，・・・，ｋであり、実施例９においてはｋ＝ｎ＝２
である）は酸化シリコン（ＳｉＯ₂）から成り、第２ｍ
番目の膜は具体的にはＢＰＳＧから成る。第１の膜は、
段差部の頂部だけでなく、段差部の側壁及び底面にも形
成されている。第２ｍ番目の膜から第２番目の膜までの
各膜は、化学的機械研磨法（ＣＭＰ法）によって研磨さ
れる。尚、第１の膜は、研磨ストッパとして機能し研磨
の均一性を改善するだけでなく、例えばＢＰＳＧから成
る第２の膜からの基体への不純物の拡散を防止するとい
う実用的な機能をも有している。

【０１３４】実施例９においては、ｎ重の段差部の最底
面から最頂部までの高さをＨとし、ｎ重の段差部の最頂
部における第１番目の膜の厚さをＴ₁とし、ｎ重の段差
部の最底面から第２ｋ番目の膜（但し、２≦ｋである）
の表面までの高さをＴ_2kとしたとき、Ｔ_2kの値を（Ｈ＋
Ｔ₁）の値より大きくした。

【０１３５】更には、実施例９においては、ｋ＝ｎ＝２
であり、ｎ重の段差部の最頂部における第１番目の膜の
厚さをＴ₁とし、ｎ重の段差部の最底部からｉ番目（但
し、ｉ＝１，２，・・・，ｎ）の段差部の高さをＨ_iと
したとき、ｎ重の段差部の最底面から第（２ｊ＋１）番
目の膜（但し、ｊ＝１，２，・・・，ｋ−１であり、２
≦ｋである）の表面までの高さＴ_2j+1は、

【数７】と略等しい。

【０１３６】以下、基体等の模式的な一部断面図である
図１８及び図１９を参照して、実施例９の膜平坦化方法
を説明する。

【０１３７】［工程−９００］先ず、実施例１の［工程
−１００］と同様の方法で、ＬＯＣＯＳ構造を有する素
子分離領域１５の上に配線５０を形成する。素子分離領
域１５上の配線５０は、例えば厚さが０．１０μｍのリ
ン（Ｐ）をドープした多結晶シリコン層１２及び厚さが
０．１０μｍのタングステンシリサイド（ＷＳｉ₂）層
１３から構成されている。ｎ重の段差部の最底面から最
頂部までの高さＨ（＝Ｈ₁＋Ｈ₂）は０．３５μｍであ
る。即ち、素子分離領域１５（第１番目の段差部）の高
さ（Ｈ₁）は０．１５μｍであり、配線５０（第２番目
の段差部）の高さ（Ｈ₂）は０．２０μｍである。

【０１３８】［工程−９１０］実施例５の［工程−５１
０］と同様の方法で、基体１０に形成されたｎ重（但
し、ｎ≧２であり、実施例９においてはｎ＝２）の段差
部を、第１番目の膜５１で被覆する（図１８の（Ｂ）参
照）。第１番目の膜５１は酸化シリコン（ＳｉＯ₂）か
ら成る。第１番目の膜５１の厚さを０．１０μｍとし
た。即ち、ｎ重の段差部の最頂部における第１番目の膜
の厚さＴ₁は０．１０μｍである。

【０１３９】［工程−９２０］次に、第１の膜５１より
も研磨速度が早い第２の膜５２を第１の膜５１上に形成
し、第２の膜５２で段差部を被覆する。第２の膜５２
は、実施例９においてはＢＰＳＧから成り、例えば低圧
ＣＶＤ法によって形成することができる。この工程は、
実施例５の［工程−５２０］と同様とすることができ
る。第２の膜５２の厚さを０．１７μｍとした。従っ
て、Ｔ₂は、Ｔ₂＝０．１０μｍ＋０．１７μｍ＝０．２７μｍである。

【０１４０】［工程−９３０］その後、第２の膜５２上
に、第２の膜５２よりも研磨速度の遅い第３の膜５３
（第（２ｍ＋１）番目の膜であり、ｍ＝１である）を形
成する（図１８の（Ｃ）参照）。第３の膜５３は、例え
ば、テトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）を用いたプラズ
マＣＶＤ法によって形成された酸化シリコンとした。
尚、第３の膜５３を窒化シリコン（Ｓｉ₃Ｎ₄）から構成
することもできる。第３の膜５３の膜厚を３０ｎｍとし
た。従って、ｎ重の段差部の最底面から第（２ｍ＋１＝
３）番目の膜５３の表面までの高さＴ₃は、Ｔ₃＝０．１０μｍ＋０．１７μｍ＋０．０３μｍ＝０．３０μｍである。

【０１４１】一方、ｎ＝２、ｊ＝１なので、

【数８】の値は０．３０μｍとなり、Ｔ₃の値と等しい。

【０１４２】尚、本発明の第３の態様に係る膜平坦化方
法においては、［工程−９２０］及び［工程−９３０］
を（ｋ−１）回繰り返すが、実施例９においてはｋ＝２
としたので、［工程−９２０］及び［工程−９３０］を
１回実行する。

【０１４３】［工程−９４０］その後、第（２ｋ−１＝
３）番目の膜５３よりも研磨速度が早い第（２ｋ＝４）
番目の膜５４を第（２ｋ−１＝３）番目の膜５３上に形
成する（図１９の（Ａ）参照）。この工程は、［工程−
９２０］と同様とすることができる。第４番目の膜５４
の厚さを０．５０μｍとした。（Ｈ＋Ｔ₁）の値は、Ｈ＋Ｔ₁＝０．３５μｍ＋０．１０μｍ＝０．４５μｍである。また、ｎ重（二重）の段差部の最底面から第
（２ｋ＝４）番目の膜５４の表面までの高さＴ_2kの値
は、Ｔ₄＝０．１０μｍ＋０．１７μｍ＋０．０３μｍ＋
０．５０μｍ＝０．８０μｍである。従って、Ｔ_2kの値は（Ｈ＋Ｔ₁）の値より大き
い。

【０１４４】［工程−９５０］その後、第（２ｋ＝４）
番目５４の膜から第２番目の膜５２までを研磨し、ｎ重
の段差部の最頂部に形成された第１番目の膜を露出させ
る。この工程は、実施例５の［工程−５４０］と同様と
することができる。研磨の途中における基体等の模式的
な一部断面図を図１９の（Ｂ）に示す。また、研磨完了
時における基体等の模式的な一部断面図を図１９の
（Ｃ）に示す。

【０１４５】第１番目の段差部の高さＨ₁は０．１５μ
ｍである。一方、段差部の最底面である基体１０の表面
を基準としたときの、第１番目の段差部の上方に形成さ
れた第３番目の膜５３の表面の高さは、Ｈ₁＋Ｔ₃ ＝０．１５μｍ＋０．３０μｍ＝０．４５μｍである。従って、段差部の最底面である基体１０の表面
を基準としたときの、第１番目の段差部の上方に形成さ
れた第３番目の膜５３の高さと、ｎ重の段差部の最頂部
における第１番目の膜の表面の高さは等しい。

【０１４６】それ故、第２ｋ番目の膜（実施例９におい
ては第４番目の膜５４）から第２番目の膜５２までを研
磨し、ｎ重の段差部の最頂部に形成された第１番目の膜
５１を露出させたとき、かかるｎ重の段差部の最頂部に
形成された第１番目の膜５１が研磨ストッパとなるだけ
でなく、第１番目の段差部の上方に形成された第（２ｍ
＋１）番目の膜（実施例９においては、図１９の（Ｃ）
において第３番目の膜５３Ａで示す）も研磨ストッパと
して機能する。従って、第ｋ番目の膜（第４番目の膜５
４）や第２ｍ番目の膜（第２番目の膜５２）が研磨され
過ぎることを効果的に抑制することができる。

【０１４７】尚、第２ｍ番目の膜（但し、ｍ＝１，２，
・・・，ｋであり、２≦ｋである）は、ＰＳＧ、あるい
はＢＰＳＧやＰＳＧと多結晶シリコンの積層から構成し
てもよい。また、第（２ｍ−１）番目の膜は、窒化シリ
コン、あるいは酸化シリコンと窒化シリコンの積層から
構成してもよい。

【０１４８】こうして実施例９の膜平坦化方法によっ
て、ｎ重の段差部の間に形成され、２ｋ層の絶縁膜が積
層されそして表面が平坦化させた多層絶縁膜が得られ
る。この多層絶縁膜の第１層目はｎ重の段差部の最頂部
を被覆している。一方、段差部底部の上方における多層
絶縁膜の表面の一部分は、第２ｋ番目の層から成る。更
に、ｎ重の段差部の最頂部を被覆した絶縁膜の第１層と
かかる第２ｋ番目の層との間には、第２ｍ’番目の層
（但し、ｍ＝１，２，・・・，ｋ−１であり、２≦ｋで
ある）及び第（２ｍ’＋１）番目の層が露出している。
そして、第２ｍ’番目の層は、第（２ｍ’±１）番目の
層よりも研磨速度が早い。更には、第２ｋ番目の層は、
第（２ｋ−１）番目の層よりも研磨速度が早い。

【０１４９】（実施例１０）実施例１０は実施例９の変
形であり、本発明の第３の態様に係る膜平坦化方法の好
ましい態様に関する。実施例１０が実施例９と相違する
点は、実施例９の［工程−９４０］と［工程−９５０］
の間に、第２ｋ番目の膜（実施例１０においては第４番
目の膜５４）よりも研磨速度が遅い第（２ｋ＋１）番目
の膜（実施例１０においては第５番目の膜５５）を第２
ｋ番目の膜上に形成する工程を含む点、実施例９の［工
程−９５０］において、第（２ｋ＋１）番目の膜（実施
例１０においては第５番目の膜５５）から第２番目の膜
までを研磨する点、及び第２ｋ番目の膜（実施例１０に
おいては第４番目の膜５４）の膜厚を変えた点にある。
実施例１０においては、段差部底部の上方の膜は５層
（２ｋ＋１＝２×２＋１）から構成されている。第５番
目の膜５５は酸化シリコン（ＳｉＯ₂）から成る。

【０１５０】尚、実施例１０においても、ｋ＝ｎ＝２で
あり、ｎ重の段差部の最頂部における第１番目の膜の厚
さをＴ₁とし、ｎ重の段差部の最底部からｉ番目（但
し、ｉ＝１，２，・・・，ｎ）の段差部の高さをＨ_iと
したとき、ｎ重の段差部の最底面から第（２ｊ＋１）番
目の膜（但し、ｊ＝１，２，・・・，ｋ−１であり、２
≦ｋである）の表面までの高さＴ_2j+1は、

【数９】と略等しい。

【０１５１】以下、基体等の模式的な一部断面図である
図２０を参照して、実施例１０の膜平坦化方法を説明す
る。

【０１５２】［工程−１０００］先ず、実施例９の［工
程−９００］と同様に、ＬＯＣＯＳ構造を有する素子分
離領域１５の上に配線５０を形成する。第１番目の段差
部を構成する素子分離領域１５の高さ（Ｈ₁）は０．１
５μｍであり、第２番目の段差部を構成する配線５０の
高さ（Ｈ₂）は０．２０μｍであり、ｎ重の段差部の最
底面から最頂部までの高さＨ（＝Ｈ₁＋Ｈ₂）は０．３５
μｍである。

【０１５３】［工程−１０１０］実施例９の［工程−９
１０］と同様に、基体１０に形成されたｎ重（但し、ｎ
≧２であり、実施例９においてはｎ＝２）の段差部を、
第１番目の膜５１で被覆する。第１番目の膜５１は酸化
シリコン（ＳｉＯ₂）から成る。第１番目の膜５１の厚
さを０．１０μｍとした。即ち、ｎ重の段差部の最頂部
における第１番目の膜の厚さＴ₁は０．１０μｍであ
る。

【０１５４】［工程−１０２０］次に、実施例９の［工
程−９２０］と同様に、第１の膜５１よりも研磨速度が
早いＢＰＳＧから成る第２の膜５２を第１の膜５１上に
形成し、第２の膜５２で段差部を被覆する。第２の膜５
２の厚さを０．１７μｍとした。従って、Ｔ₂は、Ｔ₂＝０．１０μｍ＋０．１７μｍ＝０．２７μｍである。

【０１５５】［工程−１０３０］その後、実施例９の
［工程−９３０］と同様に、第２の膜５２上に、第２の
膜５２よりも研磨速度の遅い酸化シリコン（ＳｉＯ₂）
から成る第３の膜５３（第（２ｍ＋１）番目の膜であ
り、ｍ＝１である）を形成する。第３の膜５３の膜厚を
３０ｎｍとした。従って、ｎ重の段差部の最底面から第
（２ｍ＋１＝３）番目の膜５３の表面までの高さＴ
₃は、Ｔ₃＝０．１０μｍ＋０．１７μｍ＋０．０３μｍ＝０．３０μｍである。

【０１５６】一方、ｎ＝２、ｊ＝１なので、

【数１０】の値は０．３０μｍとなり、Ｔ₃の値と等しい。

【０１５７】尚、実施例１０においてもｋ＝２とした。
それ故、［工程−１０２０］及び［工程−１０３０］を
（ｋ−１）回繰り返すとは、実施例１０においては、
［工程−１０２０］及び［工程−１０３０］を１回、実
行することを意味する。

【０１５８】［工程−１０４０］その後、第（２ｋ−１
＝３）番目の膜５３よりも研磨速度が早いＢＰＳＧから
成る第（２ｋ＝４）番目の膜５４を第（２ｋ−１＝３）
番目の膜５３上に形成する（図２０の（Ａ）参照）。こ
の工程は、基本的には［工程−１０２０］と同様とする
ことができる。但し、第４番目の膜５４の厚さを０．１
２μｍとした。（Ｈ＋Ｔ₁）の値は、Ｈ＋Ｔ₁＝０．３５μｍ＋０．１０μｍ＝０．４５μｍである。また、ｎ重（二重）の段差部の最底面から第
（２ｋ＝４）番目の膜５４の表面までの高さＴ_2kの値
は、Ｔ₄＝０．１０μｍ＋０．１７μｍ＋０．０３μｍ＋
０．１２μｍ＝０．４２μｍである。従って、Ｔ_2kの値は（Ｈ＋Ｔ₁）の値より小さ
い。

【０１５９】［工程−１０５０］次に、第（２ｋ＝４）
番目の膜５４よりも研磨速度が遅い第（２ｋ＋１＝５）
番目の膜５５を第（２ｋ＝４）番目の膜５４の上に形成
する（図２０の（Ｂ）参照）。第５番目の膜５５の膜
は、例えば、テトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）を用い
たプラズマＣＶＤ法によって形成された酸化シリコンと
した。尚、第５の膜５５を窒化シリコン（Ｓｉ₃Ｎ₄）か
ら構成することもできる。第５の膜５５の膜厚を３０ｎ
ｍとした。従って、ｎ重の段差部の最底面から第（２ｋ
＋１＝５）番目の膜５５の表面までの高さＴ₅は、Ｔ₅＝０．１０μｍ＋０．１７μｍ＋０．０３μｍ＋
０．１２μｍ＋０．０３μｍ＝０．４５μｍである。

【０１６０】ｎ重の段差部の最底面から最頂部までの高
さをＨとし、ｎ重の段差部の最底面から第（２ｋ＋１＝
５）番目の膜５５の表面までの高さをＴ_2k+1としたと
き、Ｔ_2k+1はＨ＋Ｔ₁に等しい。従って、実施例１０に
おいては、｜Ｔ_2k+1−（Ｈ＋Ｔ₁）｜≦０．１μｍの関係を満足している。

【０１６１】［工程−１０６０］その後、第（２ｋ＋１
＝５）番目の膜５５から第２番目の膜５２までを研磨
し、ｎ重の段差部の最頂部に形成された第１番目の膜を
露出させる。この工程は、実施例５の［工程−５４０］
と同様とすることができる。研磨完了時における基体等
の模式的な一部断面図を図２０の（Ｃ）に示す。

【０１６２】第１番目の段差部の高さＨ₁は０．１５μ
ｍである。一方、段差部の最底面である基体１０の表面
を基準としたときの、第１番目の段差部の上方に形成さ
れた第３番目の膜５３の表面の高さは、Ｈ₁＋Ｔ₃ ＝０．１５μｍ＋０．３０μｍ＝０．４５μｍである。従って、段差部の最底面である基体１０の表面
を基準としたときの、段差部底部の上方に形成された第
５番目の膜５５の高さと、第１番目の段差部の上方に形
成された第３番目の膜５３Ａの高さと、ｎ重の段差部の
最頂部における第１番目の膜の表面の高さは等しい。

【０１６３】それ故、第（２ｋ＋１）番目の膜から第２
番目の膜までを研磨し、ｎ重の段差部の最頂部に形成さ
れた第１番目の膜を露出させたとき、かかるｎ重の段差
部の最頂部に形成された第１番目の膜５１、及び段差部
底部の上方に形成された第５番目の膜５５が研磨ストッ
パとなるだけでなく、第１番目の段差部の上方に形成さ
れた第３番目の膜５３も研磨ストッパとなる。従って、
第４番目の膜５４や第２番目の膜５２が研磨され過ぎる
ことを一層効果的に抑制することができる。

【０１６４】尚、第（２ｍ’−１）番目の膜（但し、
ｍ’＝１，２，・・・，ｋ＋１であり、２≦ｋである）
の膜は、窒化シリコン、あるいは酸化シリコンと窒化シ
リコンの積層から構成してもよい。また、第２ｍ番目の
膜（但し、ｍ＝１，２，・・・，ｋであり、２≦ｋであ
る）は、ＰＳＧ、あるいは、ＢＰＳＧやＰＳＧと多結晶
シリコンの積層から構成してもよい。

【０１６５】こうして実施例１０の膜平坦化方法によっ
て、ｎ重の段差部の間に形成され、（２ｋ＋１）層の絶
縁膜が積層されそして表面が平坦化された多層絶縁膜が
得られる。この多層絶縁膜の第１層目はｎ重の段差部の
最頂部を被覆している。一方、段差部底部の上方におけ
る多層絶縁膜の表面の一部分は、第（２ｋ＋１）番目の
層から成る。更に、ｎ重の段差部の最頂部を被覆した絶
縁膜の第１層とかかる第（２ｋ＋１）番目の層との間に
は、第２ｍ番目の層（但し、ｍ＝１，２，・・・，ｋで
あり、２≦ｋである）及び第（２ｍ＋１）番目の層（但
し、ｍ＝１，２，・・・，ｋ−１であり、２≦ｋであ
る）が露出している。そして、第２ｍ番目の層は、第
（２ｍ±１）番目の層よりも研磨速度が早い。また、第
（２ｋ＋１）番目の層は、第２ｋ番目の層よりも研磨速
度が遅い。

【０１６６】（実施例１１）実施例１１は実施例１０の
変形である。実施例１１が実施例１０と相違する点は、
第２ｍ番目の膜（但し、ｍ＝１，２，・・・，ｋであ
り、２≦ｋである）の膜厚が異なる点にある。

【０１６７】即ち、実施例１０においては、ｋ＝ｎ＝２
であり、ｎ重の段差部の最頂部における第１番目の膜の
厚さをＴ₁とし、ｎ重の段差部の最底部からｉ番目（但
し、ｉ＝１，２，・・・，ｎ）の段差部の高さをＨ_iと
したとき、ｎ重の段差部の最底面から第（２ｊ＋１）番
目の膜（但し、ｊ＝１，２，・・・，ｋ−１であり、２
≦ｋである）の表面までの高さＴ_2j+1は、

【数１１】と略等しいとした。

【０１６８】一方、実施例１１においては、ｋ＝ｎ＝２
であり、ｎ重の段差部の最頂部における第１番目の膜の
厚さをＴ₁とし、ｎ重の段差部の最底部からｉ番目（但
し、ｉ＝１，２，・・・，ｎ）の段差部の高さをＨ_iと
したとき、ｎ重の段差部の最底面から第（２ｊ＋１）番
目の膜（但し、ｊ＝１，２，・・・，ｋ−１であり、２
≦ｋである）の表面までの高さＴ_2j+1は、Ｔ₁＋Ｈ_iに略
等しいとした。

【０１６９】第１番目の膜５１から第５番目の膜５５の
膜厚を以下に示す。第１番目の膜５１：０．１０μｍ第２番目の膜５２：０．１２μｍ第３番目の膜５３：０．０３μｍ第４番目の膜５４：０．１７μｍ第５番目の膜５５：０．０３μｍ

【０１７０】実施例１１における膜平坦化方法の各工程
は実施例１０と同様とすることができるので、詳細な説
明は省略する。

【０１７１】実施例１１においても、第（２ｋ＋１）番
目の膜から第２番目の膜までを研磨し、ｎ重の段差部の
最頂部に形成された第１番目の膜を露出させたとき、か
かるｎ重の段差部の最頂部に形成された第１番目の膜５
１、及び段差部底部の上方に形成された第５番目の膜５
５が研磨ストッパとなるだけでなく、第１番目の段差部
の上方に形成された第３番目の膜５３も研磨ストッパと
なる。従って、第４番目の膜５４や第２番目の膜５２が
研磨され過ぎることを一層効果的に抑制することができ
る。

【０１７２】以上、本発明を好ましい実施例に基づき説
明したが、本発明はこれらの実施例に限定されるもので
はない。各実施例にて説明した数値や条件は例示であ
り、適宜変更することができる。段差部は、配線や素子
分離領域の他にも、如何なる要素から構成されていても
よい。

【０１７３】実施例において、配線１４，５０を、ＭＯ
Ｓ型トランジスタのゲート電極、あるいはゲート電極が
延在したものとした。しかしながら、配線１４，５０と
しては、このような構成に限定されず、適宜構成を変更
することができる。また、基体１０もシリコン半導体基
板に限定されない。基体１０を、例えばＧａＡｓ等の化
合物半導体基板から構成することができる。更には、基
体１０をシリコン半導体基板に形成されたトレンチ素子
分離領域とし、配線１４をトレンチ素子分離領域上に形
成した構造とすることもできる。

【０１７４】本発明の第１及び第２の態様に関する実施
例においては、段差部の段差数を１段若しくは２段とし
て説明したが、更に多い段数であってもよい。また、本
発明の第３の態様に関する実施例においては、段差部の
段差の数を２段として説明したが、それ以外の段数であ
ってもよい。本発明の第３の態様に関する実施例におい
ては、ｋ＝ｎ＝２の場合を例にとり説明したが、ｎは１
以上であればよい。また、ｋの値は２以上であればよ
く、ｋの値はｎ未満であってもｎを越えてもよい。膜平
坦化方法として本発明の第１、第２及び第３の態様のい
ずれを採用するかは、段差部の形状や高さ、段差部と段
差部の間の間隔等に基づき適宜決定すればよい。

【０１７５】

【発明の効果】本発明の半導体装置における膜平坦化方
法においては、リンを６乃至９重量％含有する第２の膜
若しくは第２ｍ番目の膜を用いることにより、高い研磨
速度と膜ストレスの小さな経時変化を両立させることが
でき、研磨時間の短縮による製造コスト低下と信頼性向
上を図ることができる。また、リンを含まない第１の膜
等に対して高い研磨速度比を得ることができるため、リ
ンを含まない膜を研磨ストッパーを使用した場合、高い
信頼性を維持しながら、プロセスマージンや平坦度の向
上、並びに研磨時間の短縮を図ることができる。

【０１７６】また、本発明の膜平坦化方法によれば、第
１の膜と第１の膜よりも研磨速度が早い第２の膜を積層
した後、あるいは研磨速度の遅い膜と研磨速度の早い膜
を交互に積層した後、平坦化のための研磨を行うので、
段差部の頂部に形成されている第１の膜や研磨速度の遅
い膜が研磨ストッパとして機能する。このため、第２の
膜や研磨速度の早い膜の研磨は第１の膜や研磨速度の遅
い膜によって制御できるので、基体において研磨後の膜
に局所的な凹凸が発生することを効果的に抑制すること
ができる。従って、均一性を損なうことなく研磨による
膜平坦化が実現できる。しかも、第１の膜や研磨速度の
遅い膜を研磨ストッパに用いているので、膜厚制御性の
向上を図ることができる。しかも、各膜を過剰に研磨を
しても、所望の膜厚より減少させないことも可能とな
り、ウエハ面内の研磨均一性を向上させることができ
る。

【０１７７】その結果、フォトリソグラフィー技術にお
ける露光時の露光焦点深度マージンを増大させることが
できる。また、接続孔の形成におけるオーバーエッチン
グ量を減少することができるので、配線の信頼性の向上
を図ることが可能になる。また、トレンチ素子分離領域
の研磨法による平坦化に際して、基体へのダメージ発生
防止と、基体表面と素子分離領域との平滑化の両立を図
ることができ、広い素子分離領域においても膜厚減り
（ディッシング）を生じない研磨を確立することができ
る。それ故、半導体装置の製造歩留りが向上し、量産化
へ容易に対応することが可能となる。

【０１７８】尚、本発明の第２の態様あるいは第３の態
様に係る膜平坦化方法において、段差部底部の上方に形
成する第３の膜や第（２ｋ＋１）番目の膜の表面を、段
差部頂部に形成した第１の膜の表面に対して±０．１μ
ｍの範囲内の高さに形成すれば、十分な研磨余裕が確保
できる。それ故、各膜の表面をほぼ平坦面に研磨するこ
とができる。

【０１７９】さらに本発明において、第２ｍ番目の膜を
構成する材料と第（２ｍ±１）番目の膜を構成する材料
を適宜選択することによって、各膜に対して十分な研磨
速度比を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ＢＰＳＧ中のリン濃度を変化させ、異なる温度
で熱処理を加えた後に研磨を行ったときの研磨速度を示
すグラフである。

【図２】実施例１の半導体装置における膜平坦化方法の
各工程を説明するための、基体等の模式的な一部断面図
である。

【図３】実施例１の変形における半導体装置における膜
平坦化方法の各工程を説明するための、基体等の模式的
な一部断面図である。

【図４】実施例２の半導体装置における膜平坦化方法の
各工程を説明するための、基体等の模式的な一部断面図
である。

【図５】実施例３の半導体装置における膜平坦化方法の
各工程を説明するための、基体等の模式的な一部断面図
である。

【図６】実施例４の半導体装置における膜平坦化方法の
各工程を説明するための、基体等の模式的な一部断面図
である。

【図７】実施例５の半導体装置における膜平坦化方法の
各工程を説明するための、基体等の模式的な一部断面図
である。

【図８】実施例５における研磨工程図である。

【図９】実施例５における研磨工程図である。

【図１０】実施例５における各膜の表面高さと研磨時間
との関係を示す図である。

【図１１】実施例５の変形の半導体装置における膜平坦
化方法の各工程を説明するための、基体等の模式的な一
部断面図である。

【図１２】実施例６の半導体装置における膜平坦化方法
の各工程を説明するための、基体等の模式的な一部断面
図である。

【図１３】図１２に引き続き、実施例６の半導体装置に
おける膜平坦化方法の各工程を説明するための、基体等
の模式的な一部断面図である。

【図１４】実施例７の半導体装置における膜平坦化方法
の各工程を説明するための、基体等の模式的な一部断面
図である。

【図１５】図１４に引き続き、実施例７の半導体装置に
おける膜平坦化方法の各工程を説明するための、基体等
の模式的な一部断面図である。

【図１６】実施例８の半導体装置における膜平坦化方法
の各工程を説明するための、基体等の模式的な一部断面
図である。

【図１７】図１６に引き続き、実施例８の半導体装置に
おける膜平坦化方法の各工程を説明するための、基体等
の模式的な一部断面図である。

【図１８】実施例９の半導体装置における膜平坦化方法
の各工程を説明するための、基体等の模式的な一部断面
図である。

【図１９】図１８に引き続き、実施例９の半導体装置に
おける膜平坦化方法の各工程を説明するための、基体等
の模式的な一部断面図である。

【図２０】実施例１０の半導体装置における膜平坦化方
法の各工程を説明するための、基体等の模式的な一部断
面図である。

【図２１】実施例１及び実施例２における第２の膜の厚
さが不適切な場合の問題点を示す基体等の模式的な一部
断面図である。

【図２２】実施例５における第２の膜の厚さが不適切な
場合の問題点を示す基体等の模式的な一部断面図であ
る。

【図２３】従来の研磨平坦化技術の概要を示す半導体基
板等の模式的な一部断面図である。

【図２４】従来のＣＭＰ法を用いたトレンチ素子分離領
域形成方法の問題点を説明するための、半導体基板等の
模式的な一部断面図である。

【符号の説明】

１０基体１４，５０配線１５ＬＯＣＯＳ構造を有する素子分離領域２１，２１Ａ，２１Ｂ，４１，４１Ａ，４１Ｂ第１の
膜２２，４２第２の膜２２Ａ酸化膜４３第３の膜３０凹部３１素子分離領域３２半導体素子形成領域

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】（イ）基体に設けられた段差部の少なくと
も頂部に第１の膜を形成する工程と、（ロ）該第１の膜よりも研磨速度が早く、リンを６乃至
９重量％含有する第２の膜で段差部を被覆する工程と、（ハ）該第２の膜を研磨し、段差部の頂部に形成された
前記第１の膜を露出させる工程、から成ることを特徴と
する半導体装置における膜平坦化方法。
【請求項２】工程（ロ）に引き続き、第２の膜を熱処理
することなく、工程（ハ）を実行することを特徴とする
請求項１に記載の半導体装置における膜平坦化方法。
【請求項３】第１の膜は、酸化シリコン及び窒化シリコ
ンのいずれか一方若しくは両方が積層されて成り、第２
の膜はホウ素リンシリケートガラス又はリンシリケート
ガラスから成ることを特徴とする請求項２に記載の半導
体装置における膜平坦化方法。
【請求項４】段差部の高さをＨとし、段差部頂部におけ
る第１の膜の厚さをＴ₁とし、段差部の底面からの第２
の膜の表面の高さをＴ₂としたとき、Ｔ₂の値は（Ｈ＋Ｔ
₁）の値より大きいか若しくは略等しいことを特徴とす
る請求項３に記載の半導体装置における膜平坦化方法。
【請求項５】前記（ハ）の工程の後、段差部頂部の第１
の膜を除去する工程を更に含むことを特徴とする請求項
３に記載の半導体装置における膜平坦化方法。
【請求項６】（イ）基体に設けられた高さＨの段差部の
少なくとも頂部に、段差部頂部における膜厚がＴ₁の第
１の膜を形成する工程と、（ロ）段差部底面から第２の膜の表面までの高さＴ₂が
（Ｈ＋Ｔ₁）の値より小さいか若しくは略等しくなるよ
うに、第１の膜よりも研磨速度が早く、リンを６乃至９
重量％含有する第２の膜で段差部を被覆する工程と、（ハ）段差部底面から第３の膜の表面までの高さがＴ₃
となるように、該第２の膜上に、第２の膜よりも研磨速
度の遅い第３の膜を形成する工程と、（ニ）第３の膜及び第２の膜を研磨し、段差部の頂部に
形成された前記第１の膜を露出させる工程、から成るこ
とを特徴とする半導体装置における膜平坦化方法。
【請求項７】工程（ロ）に引き続き、第２の膜を熱処理
することなく、工程（ハ）を実行することを特徴とする
請求項６に記載の半導体装置における膜平坦化方法。
【請求項８】第１の膜は、酸化シリコン及び窒化シリコ
ンのいずれか一方若しくは両方が積層されて成り、第２
の膜はホウ素リンシリケートガラス又はリンシリケート
ガラスから成り、第３の膜は、酸化シリコン及び窒化シ
リコンのいずれか一方若しくは両方が積層されて成るこ
とを特徴とする請求項７に記載の半導体装置における膜
平坦化方法。
【請求項９】｜Ｔ₃−（Ｈ＋Ｔ₁）｜≦０．１μｍの関係
を満足することを特徴とする請求項８に記載の半導体装
置における膜平坦化方法。
【請求項１０】前記（ニ）の工程の後、段差部頂部の第
１の膜を除去する工程を更に含むことを特徴とする請求
項８に記載の半導体装置における膜平坦化方法。
【請求項１１】前記（イ）の工程は、基体に凹部から成
る段差部を形成した後、段差部を構成する該凹部の底部
を含む基体表面に第１の膜を形成する工程から成ること
を特徴とする請求項８に記載の半導体装置における膜平
坦化方法。
【請求項１２】前記（イ）の工程は、基体に第１の膜を
形成した後、基体に凹部から成る段差部を形成する工程
から成ることを特徴とする請求項８に記載の半導体装置
における膜平坦化方法。
【請求項１３】前記（イ）の工程は、基体上に酸化膜及
び上層膜を形成した後、基体に凹部から成る段差部を形
成し、次いで、段差部を構成する該凹部の側壁及び底面
に酸化膜を形成する工程から成り、段差部頂部における第１の膜は酸化膜及び上層膜から成
り、段差部底部における第１の膜は酸化膜から成ること
を特徴とする請求項７に記載の半導体装置における膜平
坦化方法。
【請求項１４】第１の膜を構成する上層膜は窒化シリコ
ンから成り、第１の膜を構成する酸化膜は酸化シリコン
から成り、第２の膜はホウ素リンシリケートガラス又は
リンシリケートガラスから成り、第３の膜は、酸化シリ
コン及び窒化シリコンのいずれか一方若しくは両方が積
層されて成ることを特徴とする請求項１３に記載の半導
体装置における膜平坦化方法。
【請求項１５】（イ）基体に形成されたｎ重（但し、ｎ
≧２）の段差部を、第１番目の膜で被覆する工程と、（ロ）第（２ｍ−１）番目の膜（但し、ｍ＝１，２，・
・・，ｋであり、２≦ｋである）よりも研磨速度が早
く、リンを６乃至９重量％含有する第２ｍ番目の膜を第
（２ｍ−１）番目の膜上に形成し、次いで該第２ｍ番目
の膜よりも研磨速度が遅い第（２ｍ＋１）番目の膜を該
第２ｍ番目の膜上に形成する工程を（ｋ−１）回繰り返
す工程と、（ハ）第（２ｋ−１）番目の膜よりも研磨速度が早く、
リンを６乃至９重量％含有する第２ｋ番目の膜を第（２
ｋ−１）番目の膜上に形成する工程と、（ニ）第２ｋ番目の膜から第２番目の膜までを研磨し、
ｎ重の段差部の最頂部に形成された第１番目の膜を露出
させる工程、から成ることを特徴とする半導体装置にお
ける膜平坦化方法。
【請求項１６】工程（ロ）において、第２ｍ番目の膜を
形成した後、該第２ｍ番目の膜に対して熱処理を行うこ
となく、第（２ｍ＋１）番目の膜を形成し、工程（ハ）に引き続き、第２ｋ番目の膜を熱処理するこ
となく、工程（ニ）を実行することを特徴とする請求項
１５に記載の半導体装置における膜平坦化方法。
【請求項１７】第２ｍ番目の膜（但し、ｍ＝１，２，・
・・，ｋであり、２≦ｋである）は、ホウ素リンシリケ
ートガラス又はリンシリケートガラスから成り、第（２
ｍ−１）番目の膜は、酸化シリコン及び窒化シリコンの
いずれか一方若しくは両方が積層されて成ることを特徴
とする請求項１６に記載の半導体装置における膜平坦化
方法。
【請求項１８】ｎ重の段差部の最底面から最頂部までの
高さをＨとし、該ｎ重の段差部の最頂部における第１番
目の膜の厚さをＴ₁とし、ｎ重の段差部の最底面から第
２ｋ番目の膜（但し、２≦ｋである）の表面までの高さ
をＴ_2kとしたとき、Ｔ_2kの値が（Ｈ＋Ｔ₁）の値より大
きいか若しくは略等しいことを特徴とする請求項１７に
記載の半導体装置における膜平坦化方法。
【請求項１９】ｋ＝ｎであり、ｎ重の段差部の最頂部における第１番目の膜の厚さをＴ
₁とし、ｎ重の段差部の最底部からｉ番目（但し、ｉ＝
１，２，・・・，ｎ）の段差部の高さをＨ_iとしたと
き、ｎ重の段差部の最底面から第（２ｊ＋１）番目の膜
（但し、ｊ＝１，２，・・・，ｋ−１であり、２≦ｋで
ある）の表面までの高さＴ_2j+1は、【数１】と略等しいことを特徴とする請求項１８に記載の半導体
装置における膜平坦化方法。
【請求項２０】前記工程（ハ）と（ニ）の間に、第２ｋ
番目の膜よりも研磨速度が遅い第（２ｋ＋１）番目の膜
を第２ｋ番目の膜上に形成する工程を含み、前記工程（ニ）において、第（２ｋ＋１）番目の膜から
第２番目の膜までを研磨することを特徴とする請求項１
６に記載の半導体装置における膜平坦化方法。
【請求項２１】第（２ｍ’−１）番目の膜（但し、ｍ’
＝１，２，・・・，ｋ＋１であり、２≦ｋである）の膜
は、酸化シリコン及び窒化シリコンのいずれか一方若し
くは両方が積層されて成り、第２ｍ番目の膜（但し、ｍ
＝１，２，・・・，ｋであり、２≦ｋである）は、ホウ
素リンシリケートガラス又はリンシリケートガラスから
成ることを特徴とする請求項２０に記載の半導体装置に
おける膜平坦化方法。
【請求項２２】ｎ重の段差部の最底面から最頂部までの
高さをＨとし、該ｎ重の段差部の最頂部における第１番
目の膜の厚さをＴ₁とし、ｎ重の段差部の最底面から第
（２ｋ＋１）番目の膜の表面までの高さをＴ_2k+1とした
とき、｜Ｔ_2k ₊₁−（Ｈ＋Ｔ₁）｜≦０．１μｍの関係を
満足することを特徴とする請求項２１に記載の半導体装
置における膜平坦化方法。
【請求項２３】ｋ＝ｎであり、ｎ重の段差部の最頂部における第１番目の膜の厚さをＴ
₁とし、ｎ重の段差部の最底部からｉ番目（但し、ｉ＝
１，２，・・・，ｎ）の段差部の高さをＨ_iとしたと
き、ｎ重の段差部の最底面から第（２ｊ＋１）番目の膜
（但し、ｊ＝１，２，・・・，ｋ−１であり、２≦ｋで
ある）の表面までの高さＴ_2j+1は、【数２】と略等しいことを特徴とする請求項２１に記載の半導体
装置における膜平坦化方法。