JPH0954222A - 光導波素子及びその製造方法 - Google Patents
光導波素子及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH0954222A JPH0954222A JP7208786A JP20878695A JPH0954222A JP H0954222 A JPH0954222 A JP H0954222A JP 7208786 A JP7208786 A JP 7208786A JP 20878695 A JP20878695 A JP 20878695A JP H0954222 A JPH0954222 A JP H0954222A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- optical waveguide
- groove
- glass
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
- G02B6/3684—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier
- G02B6/3696—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier by moulding, e.g. injection moulding, casting, embossing, stamping, stenciling, printing, or with metallic mould insert manufacturing using LIGA or MIGA techniques
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
- G02B6/3632—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the cross-sectional shape of the mechanical coupling means
- G02B6/3636—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the cross-sectional shape of the mechanical coupling means the mechanical coupling means being grooves
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
- G02B6/3648—Supporting carriers of a microbench type, i.e. with micromachined additional mechanical structures
- G02B6/3652—Supporting carriers of a microbench type, i.e. with micromachined additional mechanical structures the additional structures being prepositioning mounting areas, allowing only movement in one dimension, e.g. grooves, trenches or vias in the microbench surface, i.e. self aligning supporting carriers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
- G02B6/3684—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier
- G02B6/3692—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier with surface micromachining involving etching, e.g. wet or dry etching steps
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光導波路と光ファイバとを正確に結合するこ
とができる光導波路素子の提供。 【構成】 ガラスプリフォーム３のＶ溝３ｂに対応する
凸部４ａを有する熱間プレス金型４がガラスプリフォー
ム３にプレスされ、熱間プレス金型４とガラスプリフォ
ーム３がガラスの転移点Ｔｇ以上、融点Ａｔ以下の温度
に加熱されて加圧され、この熱間プレス処理によりＶ溝
３ｂがガラスプリフォーム３に形成される。次いで、ガ
ラスプリフォーム３の開口３ａに光導波路１が位置決
め、固定されると共に、光ファイバ２がＶ溝３ｂに位置
決めされ、同様にガラス製の止め板５を熱間プレス処理
することにより、光ファイバ２がＶ溝３ｂに固定され
る。
とができる光導波路素子の提供。 【構成】 ガラスプリフォーム３のＶ溝３ｂに対応する
凸部４ａを有する熱間プレス金型４がガラスプリフォー
ム３にプレスされ、熱間プレス金型４とガラスプリフォ
ーム３がガラスの転移点Ｔｇ以上、融点Ａｔ以下の温度
に加熱されて加圧され、この熱間プレス処理によりＶ溝
３ｂがガラスプリフォーム３に形成される。次いで、ガ
ラスプリフォーム３の開口３ａに光導波路１が位置決
め、固定されると共に、光ファイバ２がＶ溝３ｂに位置
決めされ、同様にガラス製の止め板５を熱間プレス処理
することにより、光ファイバ２がＶ溝３ｂに固定され
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光導波路と光ファイバ
が基板上で光学的に結合された光導波素子及びその製造
方法に関し、特に、光導波路と光ファイバの各端面を位
置決めするための構造及びその製造方法に関する。
が基板上で光学的に結合された光導波素子及びその製造
方法に関し、特に、光導波路と光ファイバの各端面を位
置決めするための構造及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、光導波路と光ファイバが基板上
で光学的に結合された光導波素子では、光導波路と光フ
ァイバの各端面を正確に位置決めして固定しなければな
らない。
で光学的に結合された光導波素子では、光導波路と光フ
ァイバの各端面を正確に位置決めして固定しなければな
らない。
【０００３】従来、光導波路と光ファイバを結合する場
合、異方性エッチング、砥石による研削加工等によりセ
ラミック、シリコン等の基板上に光ファイバを位置決
め、固定するための溝を形成する方法が提案されてい
る。なお、光ファイバを位置決めするためのＶ溝は例え
ば特開平４−１７５７０５号公報に提案されている。
合、異方性エッチング、砥石による研削加工等によりセ
ラミック、シリコン等の基板上に光ファイバを位置決
め、固定するための溝を形成する方法が提案されてい
る。なお、光ファイバを位置決めするためのＶ溝は例え
ば特開平４−１７５７０５号公報に提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、異方性
エッチング、砥石による研削加工等によりセラミック、
シリコン等の基板上にＶ溝を形成する方法では、加工精
度のばらつきにより正確な形状のＶ溝を形成することが
できず、例えば、Ｖ溝の底部が正確なＶ字状にならずに
鈍ったりすると光ファイバを正確に位置決め、固定する
ことができない。その結果、加工工程が複雑になり、高
価となるという問題点がある。
エッチング、砥石による研削加工等によりセラミック、
シリコン等の基板上にＶ溝を形成する方法では、加工精
度のばらつきにより正確な形状のＶ溝を形成することが
できず、例えば、Ｖ溝の底部が正確なＶ字状にならずに
鈍ったりすると光ファイバを正確に位置決め、固定する
ことができない。その結果、加工工程が複雑になり、高
価となるという問題点がある。
【０００５】また、光導波路は通常、ガラスで形成さ
れ、セラミック、シリコン等の基板の熱膨張係数がガラ
スより大きいので、温度変化により結合効率が悪くなる
という問題点がある。また、セラミック、シリコン等の
基板が透光性でないので、多数の光ファイバを並列に配
置する場合には、クラッド径の小さな光ファイバを用い
ることができず、光ファイバの隣接ピッチを大きくする
ことができない。
れ、セラミック、シリコン等の基板の熱膨張係数がガラ
スより大きいので、温度変化により結合効率が悪くなる
という問題点がある。また、セラミック、シリコン等の
基板が透光性でないので、多数の光ファイバを並列に配
置する場合には、クラッド径の小さな光ファイバを用い
ることができず、光ファイバの隣接ピッチを大きくする
ことができない。
【０００６】本発明は上記した従来技術の実情に鑑みて
なされたもので、その目的は、光導波路と光ファイバを
正確に結合することができる光導波路素子及びその製造
方法を提供することにある。
なされたもので、その目的は、光導波路と光ファイバを
正確に結合することができる光導波路素子及びその製造
方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による光導波素子の製造方法は、光ファイバ
を位置決めするためのＶ溝を熱間プレス処理によりガラ
ス基板上に形成し、前記Ｖ溝に光ファイバを配置して光
ファイバと光導波路の各端面を位置決めすることを特徴
とする。
に、本発明による光導波素子の製造方法は、光ファイバ
を位置決めするためのＶ溝を熱間プレス処理によりガラ
ス基板上に形成し、前記Ｖ溝に光ファイバを配置して光
ファイバと光導波路の各端面を位置決めすることを特徴
とする。
【０００８】また、本発明による光導波素子の製造方法
は、更に、ガラス製止め板を前記ガラス基板上に配置し
て熱間プレス処理することにより、前記Ｖ溝に位置決め
された光ファイバを固定することを特徴とする。
は、更に、ガラス製止め板を前記ガラス基板上に配置し
て熱間プレス処理することにより、前記Ｖ溝に位置決め
された光ファイバを固定することを特徴とする。
【０００９】また、上記目的を達成するために、本発明
による光導波素子は、熱間プレス処理によりガラス基板
上に形成されたＶ溝に光ファイバを配置して光ファイバ
と光導波路の各端面を位置決めしたことを特徴とする。
による光導波素子は、熱間プレス処理によりガラス基板
上に形成されたＶ溝に光ファイバを配置して光ファイバ
と光導波路の各端面を位置決めしたことを特徴とする。
【００１０】また、本発明による光導波素子は、更に、
ガラス製止め板を前記ガラス基板上に配置して熱間プレ
ス処理することにより、前記Ｖ溝に位置決めされた光フ
ァイバを固定することを特徴とする。
ガラス製止め板を前記ガラス基板上に配置して熱間プレ
ス処理することにより、前記Ｖ溝に位置決めされた光フ
ァイバを固定することを特徴とする。
【００１１】
【作用】本発明によれば、光ファイバを位置決めするた
めのＶ溝を熱間プレス処理によりガラス基板上に形成
し、Ｖ溝に光ファイバを配置して光ファイバと光導波路
の各端面を位置決めするので、Ｖ溝の形成処理を簡単に
することができる。また、ガラス基板と光導波路として
熱膨張率が同様な材料を用いることができるので、温度
変化にかかわらず光ファイバと光導波路の各面を正確に
位置決めすることができ、また、ガラス基板として透光
性の材料を用いることができるので、多数の光ファイバ
を並列に配置する場合にクラッド径の小さな光ファイバ
を用いることができ、したがって、光ファイバの隣接ピ
ッチを大きくすることができる。
めのＶ溝を熱間プレス処理によりガラス基板上に形成
し、Ｖ溝に光ファイバを配置して光ファイバと光導波路
の各端面を位置決めするので、Ｖ溝の形成処理を簡単に
することができる。また、ガラス基板と光導波路として
熱膨張率が同様な材料を用いることができるので、温度
変化にかかわらず光ファイバと光導波路の各面を正確に
位置決めすることができ、また、ガラス基板として透光
性の材料を用いることができるので、多数の光ファイバ
を並列に配置する場合にクラッド径の小さな光ファイバ
を用いることができ、したがって、光ファイバの隣接ピ
ッチを大きくすることができる。
【００１２】また、ガラス製止め板をガラス基板上に配
置して熱間プレス処理することにより、Ｖ溝に位置決め
された光ファイバを固定するので、光ファイバと光導波
路の各面を正確に位置決めすることができる。
置して熱間プレス処理することにより、Ｖ溝に位置決め
された光ファイバを固定するので、光ファイバと光導波
路の各面を正確に位置決めすることができる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は本発明に係る光導波路素子及びその製造方
法の一実施例を示す説明図、図２は図１の光導波路素子
の製造完了状態を示す外観図、図３は光ファイバを止め
板により固定する工程を示す説明図である。
する。図１は本発明に係る光導波路素子及びその製造方
法の一実施例を示す説明図、図２は図１の光導波路素子
の製造完了状態を示す外観図、図３は光ファイバを止め
板により固定する工程を示す説明図である。
【００１４】図１及び図２に示す光導波路素子は、光導
波路１と、光ファイバ２を位置決めして固定するための
ガラスプリフォーム３とが別体のものを示し、ガラスプ
リフォーム３は例えばＳｉＯ2系のガラスが用いられ
る。先ず、ガラスプリフォーム３には、図１（ａ）に示
すように、光導波路１が嵌合して位置決めするための開
口３ａが形成され、また、光導波路１と光ファイバ２の
各端面を位置決めするためのＶ溝ガイド３ｂをガラスプ
リフォーム３に形成するために、図１（ｂ）に示すよう
に、Ｖ溝ガイド３ｂに対応する凸部４ａが形成された熱
間プレス金型４が準備される。
波路１と、光ファイバ２を位置決めして固定するための
ガラスプリフォーム３とが別体のものを示し、ガラスプ
リフォーム３は例えばＳｉＯ2系のガラスが用いられ
る。先ず、ガラスプリフォーム３には、図１（ａ）に示
すように、光導波路１が嵌合して位置決めするための開
口３ａが形成され、また、光導波路１と光ファイバ２の
各端面を位置決めするためのＶ溝ガイド３ｂをガラスプ
リフォーム３に形成するために、図１（ｂ）に示すよう
に、Ｖ溝ガイド３ｂに対応する凸部４ａが形成された熱
間プレス金型４が準備される。
【００１５】そして、この熱間プレス金型４がガラスプ
リフォーム３にプレスされ、熱間プレス金型４とガラス
プリフォーム３がガラスの転移点Ｔｇ以上、融点Ａｔ以
下の温度に加熱されて加圧される。したがって、この熱
間プレス処理により、図１（ｃ）に示すようにＶ溝３ｂ
がガラスプリフォーム３に形成される。
リフォーム３にプレスされ、熱間プレス金型４とガラス
プリフォーム３がガラスの転移点Ｔｇ以上、融点Ａｔ以
下の温度に加熱されて加圧される。したがって、この熱
間プレス処理により、図１（ｃ）に示すようにＶ溝３ｂ
がガラスプリフォーム３に形成される。
【００１６】次いで、図１（ｄ）に示すように、このガ
ラスプリフォーム３の開口３ａに光導波路１を嵌合する
ことにより、光導波路１が開口３ａに位置決め、固定さ
れると共に、Ｖ溝ガイド３ｂに光ファイバ２が位置決め
される。また、Ｖ溝ガイド３ｂに位置決めされた光ファ
イバ２は、同様にガラス製の止め板５を用いて熱間プレ
ス処理により、図２に示すようにＶ溝３ｂに固定され、
その端面が光導波路１の端面に一致する。
ラスプリフォーム３の開口３ａに光導波路１を嵌合する
ことにより、光導波路１が開口３ａに位置決め、固定さ
れると共に、Ｖ溝ガイド３ｂに光ファイバ２が位置決め
される。また、Ｖ溝ガイド３ｂに位置決めされた光ファ
イバ２は、同様にガラス製の止め板５を用いて熱間プレ
ス処理により、図２に示すようにＶ溝３ｂに固定され、
その端面が光導波路１の端面に一致する。
【００１７】次に、止め板５を用いた熱間プレス処理に
ついて、図３を参照して詳細に説明する。まず、図３
（ａ）に示すように、止め板５には光ファイバ２を位置
決めするためのＶ溝ガイド５ａが形成されており、これ
ら止め板５とガラスプリフォーム３と上下のＶ溝ガイド
５ａ，３ｂにより光ファイバ２を固定する。
ついて、図３を参照して詳細に説明する。まず、図３
（ａ）に示すように、止め板５には光ファイバ２を位置
決めするためのＶ溝ガイド５ａが形成されており、これ
ら止め板５とガラスプリフォーム３と上下のＶ溝ガイド
５ａ，３ｂにより光ファイバ２を固定する。
【００１８】なお、止め板５の材料はガラスプリフォー
ム３の基板より融点Ａｔが低いものが選択され、例えば
ガラスプリフォーム３は 材質：ＢＫ−７ 融点Ａｔ：６２４°Ｃ 転移点Ｔｇ：５６５°Ｃ が用いられ、これに対し、止め板５は 材質：ＳＦＳ０１ 融点Ａｔ：４１３°Ｃ 転移点Ｔｇ：３９３°Ｃ が用いられる。
ム３の基板より融点Ａｔが低いものが選択され、例えば
ガラスプリフォーム３は 材質：ＢＫ−７ 融点Ａｔ：６２４°Ｃ 転移点Ｔｇ：５６５°Ｃ が用いられ、これに対し、止め板５は 材質：ＳＦＳ０１ 融点Ａｔ：４１３°Ｃ 転移点Ｔｇ：３９３°Ｃ が用いられる。
【００１９】次いで、図３（ｂ）に示すように、固定側
金型６上にガラスプリフォーム３を配置し、更に、ガラ
スプリフォーム３のＶ溝３ｂ内に光ファイバ２を、ガラ
スプリフォーム３の上に止め板５を、止め板５の上に可
動側金型７を、止め板５と金型６の回りに加熱用のリン
グヒータ８をそれぞれ配置し、止め板５の転移点Ｔｇ以
上、融点Ａｔ以下の温度、例えば４０ｋｇの圧力で３０
秒間加熱、加圧することにより、止め板５がガラスプリ
フォーム３より高温になるようにしてガラスプリフォー
ム３が変形しないように加熱する。これにより、図３
（ｃ）に示すように、ガラスプリフォーム３のＶ溝３ｂ
内に光ファイバ２が固定される。したがって、この止め
板５の熱間プレス処理時には、ガラスプリフォーム３及
びＶ溝ガイド３ｂが変形することを防止することができ
る。
金型６上にガラスプリフォーム３を配置し、更に、ガラ
スプリフォーム３のＶ溝３ｂ内に光ファイバ２を、ガラ
スプリフォーム３の上に止め板５を、止め板５の上に可
動側金型７を、止め板５と金型６の回りに加熱用のリン
グヒータ８をそれぞれ配置し、止め板５の転移点Ｔｇ以
上、融点Ａｔ以下の温度、例えば４０ｋｇの圧力で３０
秒間加熱、加圧することにより、止め板５がガラスプリ
フォーム３より高温になるようにしてガラスプリフォー
ム３が変形しないように加熱する。これにより、図３
（ｃ）に示すように、ガラスプリフォーム３のＶ溝３ｂ
内に光ファイバ２が固定される。したがって、この止め
板５の熱間プレス処理時には、ガラスプリフォーム３及
びＶ溝ガイド３ｂが変形することを防止することができ
る。
【００２０】なお、上記実施例では、光導波路１と、光
ファイバ２を位置決めして固定するためのガラスプリフ
ォーム３とが別体のものを例にして説明したが、本発明
はこれに限定されるものではなく、図４や図５に示すよ
うに、光導波路１とガラスプリフォーム３が一体で形成
された光導波路にも適用することができる。図４（ａ）
は光導波路１がガラスプリフォーム３上に盛り上がるよ
うに一体で形成されたリッジ型導波路素子の製造完了状
態を示す外観図、同図（ｂ）はその製造工程を示す説明
図、図５（ａ）は光導波路１がガラスプリフォーム３内
に埋め込まれたトレンチ型導波路素子の製造完了状態を
示す外観図、同図（ｂ）はその製造工程を示す説明図で
ある。これらの場合にも、熱間プレス処理によりガラス
プリフォーム３上にＶ溝ガイド３ｂを形成することによ
り、光導波路１と光ファイバ２の各端面を正確に位置決
めして結合することができる。
ファイバ２を位置決めして固定するためのガラスプリフ
ォーム３とが別体のものを例にして説明したが、本発明
はこれに限定されるものではなく、図４や図５に示すよ
うに、光導波路１とガラスプリフォーム３が一体で形成
された光導波路にも適用することができる。図４（ａ）
は光導波路１がガラスプリフォーム３上に盛り上がるよ
うに一体で形成されたリッジ型導波路素子の製造完了状
態を示す外観図、同図（ｂ）はその製造工程を示す説明
図、図５（ａ）は光導波路１がガラスプリフォーム３内
に埋め込まれたトレンチ型導波路素子の製造完了状態を
示す外観図、同図（ｂ）はその製造工程を示す説明図で
ある。これらの場合にも、熱間プレス処理によりガラス
プリフォーム３上にＶ溝ガイド３ｂを形成することによ
り、光導波路１と光ファイバ２の各端面を正確に位置決
めして結合することができる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光ファイバを位置決めするためのＶ溝を熱間プレス処理
によりガラス基板上に形成し、Ｖ溝に光ファイバを配置
して光ファイバと光導波路の各端面を位置決めするの
で、Ｖ溝の形成処理を簡単にすることができる。また、
ガラス基板と光導波路として熱膨張率が同様な材料を用
いることができるので、温度変化にかかわらず光ファイ
バと光導波路の各面を正確に位置決めすることができ、
また、ガラス基板として透光性の材料を用いることがで
きるので、多数の光ファイバを並列に配置する場合にク
ラッド径の小さな光ファイバを用いることができ、した
がって、光ファイバの隣接ピッチを大きくすることがで
きる。
光ファイバを位置決めするためのＶ溝を熱間プレス処理
によりガラス基板上に形成し、Ｖ溝に光ファイバを配置
して光ファイバと光導波路の各端面を位置決めするの
で、Ｖ溝の形成処理を簡単にすることができる。また、
ガラス基板と光導波路として熱膨張率が同様な材料を用
いることができるので、温度変化にかかわらず光ファイ
バと光導波路の各面を正確に位置決めすることができ、
また、ガラス基板として透光性の材料を用いることがで
きるので、多数の光ファイバを並列に配置する場合にク
ラッド径の小さな光ファイバを用いることができ、した
がって、光ファイバの隣接ピッチを大きくすることがで
きる。
【００２２】また、ガラス製止め板をガラス基板上に配
置して熱間プレス処理することにより、Ｖ溝に位置決め
された光ファイバを固定するので、光ファイバと光導波
路の各面を正確に位置決めすることができる。
置して熱間プレス処理することにより、Ｖ溝に位置決め
された光ファイバを固定するので、光ファイバと光導波
路の各面を正確に位置決めすることができる。
【図１】本発明に係る光導波路素子及びその製造方法の
一実施例を示す説明図である。
一実施例を示す説明図である。
【図２】図１の光導波路素子の製造完了状態を示す外観
図である。
図である。
【図３】光ファイバを止め板により固定する工程を示す
説明図である。
説明図である。
【図４】光導波路素子の他の実施例を示す説明図であ
る。
る。
【図５】光導波路素子の更に他の実施例を示す説明図で
ある。
ある。
１ 光導波路 ２ 光ファイバ ３ ガラスプリフォーム ３ｂ，５ａ Ｖ溝ガイド ４ 熱間プレス成形金型 ５ 止め板
Claims (4)
- 【請求項１】 光ファイバを位置決めするためのＶ溝を
熱間プレス処理によりガラス基板上に形成し、 前記Ｖ溝に光ファイバを配置して光ファイバと光導波路
の各端面を位置決めすることを特徴とする光導波素子の
製造方法。 - 【請求項２】 ガラス製止め板を前記ガラス基板上に配
置して熱間プレス処理することにより、前記Ｖ溝に位置
決めされた光ファイバを固定することを特徴とする請求
項１に記載の光導波素子の製造方法。 - 【請求項３】 熱間プレス処理によりガラス基板上に形
成されたＶ溝に光ファイバを配置して光ファイバと光導
波路の各端面を位置決めしたことを特徴とする光導波素
子。 - 【請求項４】 ガラス製止め板を前記ガラス基板上に配
置して熱間プレス処理することにより、前記Ｖ溝に位置
決めされた光ファイバを固定することを特徴とする請求
項３に記載の光導波素子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20878695A JP3205227B2 (ja) | 1995-08-16 | 1995-08-16 | 光導波素子及びその製造方法 |
| US08/684,362 US5737138A (en) | 1995-08-16 | 1996-07-19 | Optical waveguide device and method of making the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20878695A JP3205227B2 (ja) | 1995-08-16 | 1995-08-16 | 光導波素子及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0954222A true JPH0954222A (ja) | 1997-02-25 |
| JP3205227B2 JP3205227B2 (ja) | 2001-09-04 |
Family
ID=16562092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20878695A Expired - Fee Related JP3205227B2 (ja) | 1995-08-16 | 1995-08-16 | 光導波素子及びその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5737138A (ja) |
| JP (1) | JP3205227B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6904190B2 (en) | 2001-12-04 | 2005-06-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical package substrate, optical device, optical module, and method for molding optical package substrate |
| WO2011105693A3 (ko) * | 2010-02-25 | 2011-11-24 | 부산대학교 산학협력단 | 평면 광회로 소자의 광연결 방법 |
| CN106405736A (zh) * | 2016-10-17 | 2017-02-15 | 吉林大学 | 一种采用3d打印和热压印技术制备聚合物光波导侧面电极的方法 |
| WO2021106163A1 (ja) * | 2019-11-28 | 2021-06-03 | 日本電信電話株式会社 | 光ファイバアレイ |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10506204A (ja) * | 1994-09-26 | 1998-06-16 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | Ｏｅｉｃモジュールおよび光ファイバを光学的に相互結合するための結合装置 |
| WO1997015850A1 (fr) * | 1995-10-27 | 1997-05-01 | Hoya Corporation | Element de fixation de fibre optique et procede de fabrication |
| CA2258398A1 (en) * | 1999-01-07 | 2000-07-07 | Victor Benham | An adhesive-free lens-attached optical fibers to optical waveguide packaging system |
| US6377732B1 (en) * | 1999-01-22 | 2002-04-23 | The Whitaker Corporation | Planar waveguide devices and fiber attachment |
| US6304695B1 (en) * | 1999-05-17 | 2001-10-16 | Chiaro Networks Ltd. | Modulated light source |
| US6366720B1 (en) | 1999-07-09 | 2002-04-02 | Chiaro Networks Ltd. | Integrated optics beam deflector assemblies utilizing side mounting blocks for precise alignment |
| JP2001330762A (ja) * | 2000-05-24 | 2001-11-30 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光モジュール |
| US6813023B2 (en) | 2002-01-03 | 2004-11-02 | Chiaro Nerwork Ltd. | Automatic optical inter-alignment of two linear arrangements |
| US7295742B2 (en) * | 2002-05-31 | 2007-11-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical element and method for producing the same |
| US6886994B2 (en) * | 2002-07-18 | 2005-05-03 | Chiaro Networks Ltd. | Optical assembly and method for manufacture thereof |
| KR100476317B1 (ko) * | 2002-10-24 | 2005-03-16 | 한국전자통신연구원 | 광결합 소자 및 그 제작 방법, 광결합 소자 제작을 위한마스터 및 그 제작 방법 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2574950B1 (fr) * | 1984-12-18 | 1987-09-25 | Corning Glass Works | Composants optiques integres en verre et leur fabrication |
| US5018817A (en) * | 1987-07-24 | 1991-05-28 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of optically coupling optical fiber to waveguide on substrate, and optical device produced by the method |
| FR2661516B1 (fr) * | 1990-04-27 | 1992-06-12 | Alcatel Fibres Optiques | Composant d'optique integree et procede de fabrication. |
| JPH04175705A (ja) * | 1990-11-09 | 1992-06-23 | Hitachi Ltd | 波長多重送受信モジュール |
-
1995
- 1995-08-16 JP JP20878695A patent/JP3205227B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-07-19 US US08/684,362 patent/US5737138A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6904190B2 (en) | 2001-12-04 | 2005-06-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical package substrate, optical device, optical module, and method for molding optical package substrate |
| WO2011105693A3 (ko) * | 2010-02-25 | 2011-11-24 | 부산대학교 산학협력단 | 평면 광회로 소자의 광연결 방법 |
| CN106405736A (zh) * | 2016-10-17 | 2017-02-15 | 吉林大学 | 一种采用3d打印和热压印技术制备聚合物光波导侧面电极的方法 |
| WO2021106163A1 (ja) * | 2019-11-28 | 2021-06-03 | 日本電信電話株式会社 | 光ファイバアレイ |
| JPWO2021106163A1 (ja) * | 2019-11-28 | 2021-06-03 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3205227B2 (ja) | 2001-09-04 |
| US5737138A (en) | 1998-04-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3205227B2 (ja) | 光導波素子及びその製造方法 | |
| JP3229871B2 (ja) | 微細形状転写方法および光学部品の製造方法 | |
| US4444458A (en) | Substrate ruggedized optical fiber apparatus | |
| US4444460A (en) | Optical fiber apparatus including subtstrate ruggedized optical fibers | |
| JPH06201936A (ja) | 光ファイバアレイ及びその製造方法 | |
| EP0611971B1 (en) | Molded waveguide with a unitary cladding region and method of making | |
| JPH11231163A (ja) | 光ファイバコネクタおよびその製造方法 | |
| JPH08327842A (ja) | 光導波路 | |
| JP2855091B2 (ja) | 光導波路の製造方法 | |
| US5937132A (en) | Process and system for positioning and holding optical fibers | |
| JPWO2002079831A1 (ja) | 光ファイバーアレイ及びその製造方法 | |
| JPH08271746A (ja) | 光導波路およびその作製法 | |
| JP2818132B2 (ja) | 光導波路の製造方法 | |
| JPH0990151A (ja) | Ｖ溝光コネクタ基盤の製造方法及びこの基盤を備えた光コネクタの製造方法 | |
| JP2002071993A (ja) | 光導波路基板とその製造方法、及び光導波路部品とその製造方法 | |
| JPH11211928A (ja) | 光ファイバコネクタ | |
| JP2001133650A (ja) | 光導波路基板、光導波路基板の製造方法、光導波路部品、及び光導波路部品の製造方法 | |
| JP2000019337A (ja) | 光導波路及びその製造方法 | |
| JP4582325B2 (ja) | 光基板の製造方法 | |
| JPH08327844A (ja) | 光導波路の作製方法 | |
| JPH09145948A (ja) | 光ファイバ固定部材及び該光ファイバ固定部材の製造方法 | |
| US20030012518A1 (en) | Optical fiber coupler receptacle member | |
| JP2975504B2 (ja) | 光ファイバ固定用部材 | |
| KR100493440B1 (ko) | 고밀도 광섬유 어레이 블록 및 제작방법 | |
| JPH08152538A (ja) | 光導波路の結合構造 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010612 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |