JPH0953929A - 小径面の平面度測定装置 - Google Patents
小径面の平面度測定装置Info
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- JPH0953929A JPH0953929A JP7206947A JP20694795A JPH0953929A JP H0953929 A JPH0953929 A JP H0953929A JP 7206947 A JP7206947 A JP 7206947A JP 20694795 A JP20694795 A JP 20694795A JP H0953929 A JPH0953929 A JP H0953929A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/34—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B7/345—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for measuring evenness
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- G—PHYSICS
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- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/30—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B7/31—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 小径をなす測定面の平面度の測定を自動化し
て、測定作業を能率的に行うとともに、測定精度の向上
を図る。 【解決手段】 ワーク（タペット）Ｔを測定面８の中心
が測定の基準となる軸線と整合するように把持するチャ
ッキング手段（エアチャック）２４と、測定面８の中心
軸線に対して傾動可能に保持され、かつ測定面８に接触
可能な測定部３４を下端部に有するとともに、上端部に
測定部３４よりも大径かつ水平のフランジ３６を有する
中間測定子３２と、フランジ３６の上面における外端寄
りに接触することにより、フランジ３６の軸線方向の変
位を測定する少なくとも３個の変位量検出手段（電気マ
イクロメータ）３８とを設ける。
て、測定作業を能率的に行うとともに、測定精度の向上
を図る。 【解決手段】 ワーク（タペット）Ｔを測定面８の中心
が測定の基準となる軸線と整合するように把持するチャ
ッキング手段（エアチャック）２４と、測定面８の中心
軸線に対して傾動可能に保持され、かつ測定面８に接触
可能な測定部３４を下端部に有するとともに、上端部に
測定部３４よりも大径かつ水平のフランジ３６を有する
中間測定子３２と、フランジ３６の上面における外端寄
りに接触することにより、フランジ３６の軸線方向の変
位を測定する少なくとも３個の変位量検出手段（電気マ
イクロメータ）３８とを設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば内燃機関の
タペットにおける吸・排気弁の軸端面が接触する受面、
または受面に嵌合されたチップの下端面の中心軸線に対
する傾きを測定する際に用いる平面度測定装置に関す
る。
タペットにおける吸・排気弁の軸端面が接触する受面、
または受面に嵌合されたチップの下端面の中心軸線に対
する傾きを測定する際に用いる平面度測定装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】内燃機関の直動型の動弁機構に用いられ
るタペットは、図５に示すように、上面が頂壁(１)によ
り閉塞された円筒形を呈しており、全体がアルミニウム
合金により形成されたものについては、頂壁(１)の下面
中央における吸・排気弁(２)の軸端が当接する部分に、
耐摩耗性のチップ(３)が嵌合される。なお頂壁(１)上面
に形成された有底孔(１a)には、弁隙間調整用のシム
(４)が遊嵌される。
るタペットは、図５に示すように、上面が頂壁(１)によ
り閉塞された円筒形を呈しており、全体がアルミニウム
合金により形成されたものについては、頂壁(１)の下面
中央における吸・排気弁(２)の軸端が当接する部分に、
耐摩耗性のチップ(３)が嵌合される。なお頂壁(１)上面
に形成された有底孔(１a)には、弁隙間調整用のシム
(４)が遊嵌される。
【０００３】このようなチップ(３)が嵌合されているタ
ペットにおいては、チップ(３)の下面の平面度に誤差が
生じていると、吸・排気弁(２)の軸端が偏当たりして偏
摩耗等の原因となるため、その面の平面度、すなわち軸
線に対する傾き(真直度)が許容範囲内にあるか否かを測
定する必要がある、
ペットにおいては、チップ(３)の下面の平面度に誤差が
生じていると、吸・排気弁(２)の軸端が偏当たりして偏
摩耗等の原因となるため、その面の平面度、すなわち軸
線に対する傾き(真直度)が許容範囲内にあるか否かを測
定する必要がある、
【０００４】従来は、図６に示すように、手作業により
測定していた。即ち、Ｖブロック(110)の上にタペット
(Ｔ)の筒部(５)を水平に載せて、頂壁(１)の端面をスト
ッパ(114)に押し当てたのち、ダイヤルゲージ(112)の測
定子(112a)を、チップ(３)の端面外周部に当接させ、タ
ペット(Ｔ)を手で回しながら、ダイヤルゲージ(112)の
指針の振れの最大最小値を読み取り、その差よりチップ
端面の軸線(Ｌ)に対する平面度が許容範囲内にあるか否
かを判定していた。
測定していた。即ち、Ｖブロック(110)の上にタペット
(Ｔ)の筒部(５)を水平に載せて、頂壁(１)の端面をスト
ッパ(114)に押し当てたのち、ダイヤルゲージ(112)の測
定子(112a)を、チップ(３)の端面外周部に当接させ、タ
ペット(Ｔ)を手で回しながら、ダイヤルゲージ(112)の
指針の振れの最大最小値を読み取り、その差よりチップ
端面の軸線(Ｌ)に対する平面度が許容範囲内にあるか否
かを判定していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の測定方
法では、手作業であるため作業能率が悪く、またチップ
(３)の被測定面は小径(例えば８mmm)であるため、ダイ
ヤルゲージ(112)の測定では測定精度も良くなく、平面
度を正確に判定することが困難である。本発明の目的
は、測定を自動化することにより、省力化並び作業能率
の向上を図り、かつ被測定面が小径であっても、高い測
定精度が得られるようにした、小径面の平面度測定装置
を提供することにある。
法では、手作業であるため作業能率が悪く、またチップ
(３)の被測定面は小径(例えば８mmm)であるため、ダイ
ヤルゲージ(112)の測定では測定精度も良くなく、平面
度を正確に判定することが困難である。本発明の目的
は、測定を自動化することにより、省力化並び作業能率
の向上を図り、かつ被測定面が小径であっても、高い測
定精度が得られるようにした、小径面の平面度測定装置
を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によると、上記課
題は次のようにして解決される。 (１) ワークにおける小径をなす測定面の垂直軸線に対
する傾きを測定するようにした小径面の平面度測定装置
であって、前記ワークを、測定面の中心が測定の基準と
なる軸線と整合するように把持するチャッキング手段
と、測定面の中心軸線に対して傾動可能に保持され、か
つ前記測定面に接触可能な測定部を下端部に有するとと
もに、上端部に測定部よりも大径かつ水平のフランジを
有する中間測定子と、前記フランジの上面における外周
端寄りに接触することにより、フランジの軸線方向の変
位を測定する少なくとも３個の変位量検出手段とを設け
る。
題は次のようにして解決される。 (１) ワークにおける小径をなす測定面の垂直軸線に対
する傾きを測定するようにした小径面の平面度測定装置
であって、前記ワークを、測定面の中心が測定の基準と
なる軸線と整合するように把持するチャッキング手段
と、測定面の中心軸線に対して傾動可能に保持され、か
つ前記測定面に接触可能な測定部を下端部に有するとと
もに、上端部に測定部よりも大径かつ水平のフランジを
有する中間測定子と、前記フランジの上面における外周
端寄りに接触することにより、フランジの軸線方向の変
位を測定する少なくとも３個の変位量検出手段とを設け
る。
【０００７】(２) 上記(１)項において、中間測定子
が、測定面の中心と同軸をなす有底の円筒部を備え、こ
の円筒部を、適宜の不動部材に支持されたスライドシャ
フトに遊嵌することにより、傾動可能に保持されるよう
にする。
が、測定面の中心と同軸をなす有底の円筒部を備え、こ
の円筒部を、適宜の不動部材に支持されたスライドシャ
フトに遊嵌することにより、傾動可能に保持されるよう
にする。
【０００８】(３) 上記(２)項において、中間測定子
が、円筒部とスライドシャフトとに係合させた弾性部材
により上向きに付勢され、かつ円筒部内の底面とスライ
ドシャフトの下端面とをスチールボールを介して接触さ
せる。
が、円筒部とスライドシャフトとに係合させた弾性部材
により上向きに付勢され、かつ円筒部内の底面とスライ
ドシャフトの下端面とをスチールボールを介して接触さ
せる。
【０００９】(４) 上記(１)〜(３)項のいずれかにおい
て、変位量検出手段を、電気マイクロメータとする。
て、変位量検出手段を、電気マイクロメータとする。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例を、図１〜図４
を用いて説明する。図１は、平面度測定装置(10)の要部
を示すもので、(12)は、図示しないベースに立設された
支柱で、鋼板を溶接またはボルト止めすることにより固
定されている。支柱(12)の上部には、支持プレート(14)
が、前方(以下、方向は図１の右方を前方、同じく左方
を後方として説明する)を向いて水平に固着されてい
る。
を用いて説明する。図１は、平面度測定装置(10)の要部
を示すもので、(12)は、図示しないベースに立設された
支柱で、鋼板を溶接またはボルト止めすることにより固
定されている。支柱(12)の上部には、支持プレート(14)
が、前方(以下、方向は図１の右方を前方、同じく左方
を後方として説明する)を向いて水平に固着されてい
る。
【００１１】(16)は昇降板で、支柱(12)の前面に形成さ
れた案内レール(18)に、昇降板(16)の後面に固着した上
下１対のガイド(20)(20)を摺動自在に嵌合することによ
り、上下のショックアブソーバ付きのストッパ(28)(29)
の間で昇降することができる。
れた案内レール(18)に、昇降板(16)の後面に固着した上
下１対のガイド(20)(20)を摺動自在に嵌合することによ
り、上下のショックアブソーバ付きのストッパ(28)(29)
の間で昇降することができる。
【００１２】昇降板(16)の前面上部に固着されたブラケ
ット(17)には、上下方向を向くエアシリンダ(22)のピス
トンロッド(22a)が、ストローク調整部材(23)を介して
連結されている。(24)は、昇降板(16)の前面に前方を向
いて固着された公知のエアチャックで、その前部には、
図４に示すように、ワークであるタペット(Ｔ) の外周
面を、その軸線を垂直として把持するためのＶ字形をな
す左右１対の把持片(26)(27)が水平方向に相対移動可能
に取付けられている。
ット(17)には、上下方向を向くエアシリンダ(22)のピス
トンロッド(22a)が、ストローク調整部材(23)を介して
連結されている。(24)は、昇降板(16)の前面に前方を向
いて固着された公知のエアチャックで、その前部には、
図４に示すように、ワークであるタペット(Ｔ) の外周
面を、その軸線を垂直として把持するためのＶ字形をな
す左右１対の把持片(26)(27)が水平方向に相対移動可能
に取付けられている。
【００１３】(30)は、スライドシャフトで、エアチャッ
ク(24)の把持片(26)(27)に把持されたタペット(Ｔ)の中
心軸線上に位置するように、支持プレート(14)に摺動可
能に垂下して保持されている。(31)は、スライドシャフ
ト(30)を下向きに付勢するための圧縮コイルばねであ
る。
ク(24)の把持片(26)(27)に把持されたタペット(Ｔ)の中
心軸線上に位置するように、支持プレート(14)に摺動可
能に垂下して保持されている。(31)は、スライドシャフ
ト(30)を下向きに付勢するための圧縮コイルばねであ
る。
【００１４】(32)は、中間測定子で、その下向きの円筒
部(40)内には、スライドシャフト(30)の下端部が傾動可
能に遊嵌されている。円筒部(40)の下端部は、ワークの
測定面に接触する小径の測定部(34)となっており、また
上部には、測定面における軸方向の変位、すなわち測定
面の軸線に対する傾きを拡大するための大径円板状のフ
ランジ(36)が水平をなして連設されている。
部(40)内には、スライドシャフト(30)の下端部が傾動可
能に遊嵌されている。円筒部(40)の下端部は、ワークの
測定面に接触する小径の測定部(34)となっており、また
上部には、測定面における軸方向の変位、すなわち測定
面の軸線に対する傾きを拡大するための大径円板状のフ
ランジ(36)が水平をなして連設されている。
【００１５】(38)は、フランジ(36)の軸方向の変位量を
測定するための公知の差動トランス式の電気マイクロメ
ータで、本実施例では４個の電気マイクロメータ(38)
を、スライドシャフト(30)の軸線を中心として円周方向
に９０°の間隔を隔てて、支持プレート(14)に取り付け
られている。それらの下端部の上下動可能な各スピンド
ル(38a)は、フランジ(36)の上面の外周端りに接触させ
てあり、フランジ(36)の傾きが僅かでも、軸方向の変位
を拡大して精度良く測定しうるようになっている。
測定するための公知の差動トランス式の電気マイクロメ
ータで、本実施例では４個の電気マイクロメータ(38)
を、スライドシャフト(30)の軸線を中心として円周方向
に９０°の間隔を隔てて、支持プレート(14)に取り付け
られている。それらの下端部の上下動可能な各スピンド
ル(38a)は、フランジ(36)の上面の外周端りに接触させ
てあり、フランジ(36)の傾きが僅かでも、軸方向の変位
を拡大して精度良く測定しうるようになっている。
【００１６】中間測定子(32)についての詳細を、図２を
用いてさらに詳しく説明する。中間測定子(32)は、上方
よりフランジ(36)、円筒部(40)、下端のリング状の測定
部(34)を主要部として構成されている。円筒部(40)の内
径は、スライドシャフト(30)を余裕をもって嵌挿しうる
大きさに形成されている。スライドシャフト(30)の下端
と円筒部(40)内の底部とは、スライドシャフト(30)側に
凹入させたスチールボール(42)を介して当接している。
中間測定子(32)は、スライドシャフト(30)の下端部に外
嵌したスナップリング(48)と、円筒部(40)内の上部に嵌
合したブッシュ(46)との間に縮設された圧縮コイルばね
(44)により、常時上向きに付勢されている。
用いてさらに詳しく説明する。中間測定子(32)は、上方
よりフランジ(36)、円筒部(40)、下端のリング状の測定
部(34)を主要部として構成されている。円筒部(40)の内
径は、スライドシャフト(30)を余裕をもって嵌挿しうる
大きさに形成されている。スライドシャフト(30)の下端
と円筒部(40)内の底部とは、スライドシャフト(30)側に
凹入させたスチールボール(42)を介して当接している。
中間測定子(32)は、スライドシャフト(30)の下端部に外
嵌したスナップリング(48)と、円筒部(40)内の上部に嵌
合したブッシュ(46)との間に縮設された圧縮コイルばね
(44)により、常時上向きに付勢されている。
【００１７】中間測定子(32)の測定部(34)の下面とフラ
ンジ(36)の上面は、軸線に対して正確に直角度が出され
ており、上下の２つの面は互いに平行となっている。従
って、測定部(34)の面が傾けば、フランジ(36)も同じ角
度で傾く。
ンジ(36)の上面は、軸線に対して正確に直角度が出され
ており、上下の２つの面は互いに平行となっている。従
って、測定部(34)の面が傾けば、フランジ(36)も同じ角
度で傾く。
【００１８】中間測定子(32)はあまり重くなく、２つの
圧縮コイルばね(31)(44)も軽い適度の圧縮力で付勢する
ようになっている。そのため、測定部(34)の面にワーク
の測定面を下から押しつけた際に、測定部(34)の面は測
定面に忠実に倣い、もし測定面に傾きがあれば、中間測
定子(32)全体がスチールボール(42)を支点として傾くこ
とになる。また、電気マイクロメータ(38)のスピンドル
(38a)は、内蔵された圧縮コイルばねにより、下向きに
付勢されているが、その圧縮コイルばねのばね定数は極
めて低く設定してあり、測定時にフランジ(36)に大きな
押圧荷重が作用しないようになっている。
圧縮コイルばね(31)(44)も軽い適度の圧縮力で付勢する
ようになっている。そのため、測定部(34)の面にワーク
の測定面を下から押しつけた際に、測定部(34)の面は測
定面に忠実に倣い、もし測定面に傾きがあれば、中間測
定子(32)全体がスチールボール(42)を支点として傾くこ
とになる。また、電気マイクロメータ(38)のスピンドル
(38a)は、内蔵された圧縮コイルばねにより、下向きに
付勢されているが、その圧縮コイルばねのばね定数は極
めて低く設定してあり、測定時にフランジ(36)に大きな
押圧荷重が作用しないようになっている。
【００１９】タペット(Ｔ)をチップ(３)の測定面(８)を
上にして、エアチャック(24)の把持片(26)(27)により外
周面を把持すると、前述したように、タペット(Ｔ)の軸
線は垂直となるので、もし、チップ(３)の測定面(８)
の、軸線に対しての傾きが０であるなら、チップ(３)は
水平に嵌合されていることになる。
上にして、エアチャック(24)の把持片(26)(27)により外
周面を把持すると、前述したように、タペット(Ｔ)の軸
線は垂直となるので、もし、チップ(３)の測定面(８)
の、軸線に対しての傾きが０であるなら、チップ(３)は
水平に嵌合されていることになる。
【００２０】この際は、図２に示すように、チップ(３)
の測定面(８)を中間測定子(32)の測定部(34)に接触させ
ても、それに傾きは生じないので、フランジ(36)の上面
に接触している各電気マイクロメータ(38)による軸方向
の変位量は４個とも同じ測定値となる。
の測定面(８)を中間測定子(32)の測定部(34)に接触させ
ても、それに傾きは生じないので、フランジ(36)の上面
に接触している各電気マイクロメータ(38)による軸方向
の変位量は４個とも同じ測定値となる。
【００２１】一方、チップ(３)の測定面(８)の平面度が
損なわれている際には、図３に示すように、中間測定子
(32)が一方に傾くことにより、フランジ(36)は、水平の
基準面(０)に対して、上下にそれぞれ＋θと−θの角度
で傾く。この傾斜角度を、傾き方向にある２つの電気マ
イクロメータ(38)が軸方向の変位量として検出し、基準
値との差を演算処理することにより、平面度が許容範囲
内にあるか否かを判定する。
損なわれている際には、図３に示すように、中間測定子
(32)が一方に傾くことにより、フランジ(36)は、水平の
基準面(０)に対して、上下にそれぞれ＋θと−θの角度
で傾く。この傾斜角度を、傾き方向にある２つの電気マ
イクロメータ(38)が軸方向の変位量として検出し、基準
値との差を演算処理することにより、平面度が許容範囲
内にあるか否かを判定する。
【００２２】この際、フランジ(36)上でのθの変位は、
チップ(３)の測定面(８)での変位が拡大されたものとな
る。すなわち、例えば図３に示すように、中間測定子(3
2)の測定部(34)のチップ(３)との当接部の平均径(ｄ)を
５ｍｍとし、フランジ(36)上での電気マイクロメータ(3
8)の接触部の直径(Ｄ)を５０ｍｍとすると、チップ(３)
の測定面(８)の上下方向の変位は１０倍に拡大されて読
みとれることとなり、小径の測定面(８)が僅かに傾いて
いても測定精度を高めることができる。
チップ(３)の測定面(８)での変位が拡大されたものとな
る。すなわち、例えば図３に示すように、中間測定子(3
2)の測定部(34)のチップ(３)との当接部の平均径(ｄ)を
５ｍｍとし、フランジ(36)上での電気マイクロメータ(3
8)の接触部の直径(Ｄ)を５０ｍｍとすると、チップ(３)
の測定面(８)の上下方向の変位は１０倍に拡大されて読
みとれることとなり、小径の測定面(８)が僅かに傾いて
いても測定精度を高めることができる。
【００２３】平面度の測定は、次の要領で行われる。ま
ず最初に、標準となるマスタワークを用いて４つの電気
マイクロメータ(38)の指示値を予め０に合わせておく。
ず最初に、標準となるマスタワークを用いて４つの電気
マイクロメータ(38)の指示値を予め０に合わせておく。
【００２４】ついで、エアシリンダ(22)の作動により、
エアチャック(24)を下限位置まで下降させ、ワーク支持
台(50)上に、図示しないワーク供給装置により上下倒立
させて載置されたタペット(Ｔ)の外周面を把持したの
ち、エアシリンダ(22)を縮退させて、昇降板(16)をスト
ッパ(28)に当接する上限位置まで上昇させる。すると、
タペット(Ｔ)に嵌合されたチップ(３)の測定面(８)が中
間測定子(32)の測定部(34)の下面に当接し、スライドシ
ャフト(30)が圧縮コイルばね(31)の付勢力に抗して若干
押し上げられることにより、測定部(34)がチップ(３)の
測定面(８)に圧接する。かつ同時に、４個の電気マイク
ロメータ(38)の測定子(38a)が、フランジ(36)に接触す
ることにより、各電気マイクロメータ(38)はフランジ(3
6)における面の傾きによる軸線方向の変位を測定する。
エアチャック(24)を下限位置まで下降させ、ワーク支持
台(50)上に、図示しないワーク供給装置により上下倒立
させて載置されたタペット(Ｔ)の外周面を把持したの
ち、エアシリンダ(22)を縮退させて、昇降板(16)をスト
ッパ(28)に当接する上限位置まで上昇させる。すると、
タペット(Ｔ)に嵌合されたチップ(３)の測定面(８)が中
間測定子(32)の測定部(34)の下面に当接し、スライドシ
ャフト(30)が圧縮コイルばね(31)の付勢力に抗して若干
押し上げられることにより、測定部(34)がチップ(３)の
測定面(８)に圧接する。かつ同時に、４個の電気マイク
ロメータ(38)の測定子(38a)が、フランジ(36)に接触す
ることにより、各電気マイクロメータ(38)はフランジ(3
6)における面の傾きによる軸線方向の変位を測定する。
【００２５】その測定値の最大、最小値を、予め定めて
おいた基準値と比較演算し、平面度が許容範囲内にある
か否かを判定する。
おいた基準値と比較演算し、平面度が許容範囲内にある
か否かを判定する。
【００２６】上記実施例では、電気マイクロメータ(38)
の数を４個としてあるが、３個を円周方向に１２０°の
間隔で設けても、平面度の測定は可能である。
の数を４個としてあるが、３個を円周方向に１２０°の
間隔で設けても、平面度の測定は可能である。
【００２７】中間測定子(32)の測定部(34)は、リング状
としているが、少なくとも３個の突起を円周方向に等間
隔おきに設けてもよい。このようにすると、例えば、測
定面にごみ等が付着していても点接触となるので、測定
誤差が生じる恐れがない。上記実施例では、チップ(３)
の平面度を測定するようにしたが、チップ(３)が嵌合さ
れる前の凹孔内の平面度や、チップ(３)を必要としない
通常のタペットの吸・排気弁との当接面の平面度を測定
しうるのは勿論のこと、タペット以外の他のワークの小
径面の平面度の測定にも適用することができる。
としているが、少なくとも３個の突起を円周方向に等間
隔おきに設けてもよい。このようにすると、例えば、測
定面にごみ等が付着していても点接触となるので、測定
誤差が生じる恐れがない。上記実施例では、チップ(３)
の平面度を測定するようにしたが、チップ(３)が嵌合さ
れる前の凹孔内の平面度や、チップ(３)を必要としない
通常のタペットの吸・排気弁との当接面の平面度を測定
しうるのは勿論のこと、タペット以外の他のワークの小
径面の平面度の測定にも適用することができる。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、次のような効果が得ら
れる。 (１) 中間測定子の下端の測定部をワークの測定面に接
触させるだけで、複数の変位量検出手段により測定面の
平面度を正確かつ自動的に測定しうるので、省力化が図
れるとともに、測定作業を能率的に行うことができる。
また、測定面のわずかな傾きを拡大して検出しうるの
で、測定面が小径であっても測定精度を向上させること
ができる。
れる。 (１) 中間測定子の下端の測定部をワークの測定面に接
触させるだけで、複数の変位量検出手段により測定面の
平面度を正確かつ自動的に測定しうるので、省力化が図
れるとともに、測定作業を能率的に行うことができる。
また、測定面のわずかな傾きを拡大して検出しうるの
で、測定面が小径であっても測定精度を向上させること
ができる。
【００２９】(２) 請求項２のようにすると、中間測定
子は容易に測定面の傾きに倣って傾くことができるの
で、測定誤差が生じる恐れがない。
子は容易に測定面の傾きに倣って傾くことができるの
で、測定誤差が生じる恐れがない。
【００３０】(３) 請求項３のようにすると、中間測定
子はスチールボールを中心として容易に傾動しうるの
で、前項と同様の効果が得られる。
子はスチールボールを中心として容易に傾動しうるの
で、前項と同様の効果が得られる。
【００３１】(４) 請求項４のようにすると、検出した
数値を電気的に演算処理して、平面度の良し悪しをデジ
タル式に表示させうるので、自動化をさらに推進するこ
とができる。
数値を電気的に演算処理して、平面度の良し悪しをデジ
タル式に表示させうるので、自動化をさらに推進するこ
とができる。
【図１】本発明の一実施例を示す主要部の一部切欠側面
図である。
図である。
【図２】同じく中間測定子によるワークの測定面の測定
原理を示し、傾きが０の場合の説明図である。
原理を示し、傾きが０の場合の説明図である。
【図３】同じく測定面が傾斜している際の説明図であ
る。
る。
【図４】同じくチャッキング手段の平面図である。
【図５】本発明の測定に適用されるタペットの縦断正面
図である。
図である。
【図６】従来の平面度の測定要領を示す説明図である。
(Ｔ)タペット（ワーク） (３)チップ (４)シム (８)測定面 (10)平面度測定装置 (12)支柱 (14)支持プレート (16)昇降板 (17)ブラケット (18)案内レール (20)ガイド (22)エアシリンダ (23)ストローク調整部材 (24)エアチャック (26)(27)把持片 (30)スライドシャフト (31)(44)圧縮コイルばね (32)中間測定子 (34)測定部 (36)フランジ (38)電気マイクロメータ (38a)測定子 (40)円筒部 (42)スチールボール (46)ブッシュ (48)スナップリング
Claims (4)
- 【請求項１】 ワークにおける小径をなす測定面の垂直
軸線に対する傾きを測定するようにした小径面の平面度
測定装置であって、 前記ワークを、測定面の中心が測定の基準となる軸線と
整合するように把持するチャッキング手段と、 測定面の中心軸線に対して傾動可能に保持され、かつ前
記測定面に接触可能な測定部を下端部に有するととも
に、上端部に測定部よりも大径かつ水平のフランジを有
する中間測定子と、 前記フランジの上面における外周端寄りに接触すること
により、フランジの軸線方向の変位を測定する少なくと
も３個の変位量検出手段とを備えることを特徴とする小
径面の平面度測定装置。 - 【請求項２】 中間測定子が、測定面の中心と同軸をな
す有底の円筒部を備え、この円筒部を、適宜の不動部材
に支持されたスライドシャフトに遊嵌することにより、
傾動可能に保持されている請求項１記載の小径面の平面
度測定装置。 - 【請求項３】 中間測定子が、円筒部とスライドシャフ
トとに係合させた弾性部材により上向きに付勢され、か
つ円筒部内の底面とスライドシャフトの下端面とがスチ
ールボールを介して接触するようになっている請求項２
記載の小径面の平面度測定装置。 - 【請求項４】 変位量検出手段が、電気マイクロメータ
である請求項１〜３のいずれかに記載の小径面の平面度
測定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7206947A JPH0953929A (ja) | 1995-08-14 | 1995-08-14 | 小径面の平面度測定装置 |
| EP97102184A EP0859214A1 (en) | 1995-08-14 | 1997-02-12 | Flatness measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7206947A JPH0953929A (ja) | 1995-08-14 | 1995-08-14 | 小径面の平面度測定装置 |
| EP97102184A EP0859214A1 (en) | 1995-08-14 | 1997-02-12 | Flatness measuring apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0953929A true JPH0953929A (ja) | 1997-02-25 |
Family
ID=26145224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7206947A Pending JPH0953929A (ja) | 1995-08-14 | 1995-08-14 | 小径面の平面度測定装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0859214A1 (ja) |
| JP (1) | JPH0953929A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111189379A (zh) * | 2020-01-14 | 2020-05-22 | 大连理工大学 | 一种基于双点旋转摩擦的内腔表面粗糙度在位检测方法 |
| CN115900534A (zh) * | 2023-03-13 | 2023-04-04 | 山东省三鼎汽车配件有限公司 | 一种刹车盘平整度检测装置 |
| CN118168501A (zh) * | 2024-05-14 | 2024-06-11 | 荣成荣盛橡胶机械有限公司 | 一种机械配件精度检测装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110017807B (zh) * | 2019-05-09 | 2023-11-24 | 南京和澳自动化科技有限公司 | 一种粗糙度测量装置及测量方法 |
| CN117570884B (zh) * | 2024-01-12 | 2024-03-29 | 鑫鑫精密制造(江苏)有限公司 | 一种基于自动化技术的高精度直线滑块检测装置及系统 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2920160A1 (de) * | 1979-05-18 | 1980-11-20 | Genthe Gmbh & Co Kg Dr | Vorrichtung zum pruefen der lage mehrerer ausgewaehlter punkte eines werkstueckes gegenueber einer gemeinsamen bezugsebene |
| US4328621A (en) * | 1980-01-04 | 1982-05-11 | Benjamin Harry L | Position sensing device |
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| US5432503A (en) * | 1993-07-02 | 1995-07-11 | Vought Aircraft Company | Electronic slope detector |
-
1995
- 1995-08-14 JP JP7206947A patent/JPH0953929A/ja active Pending
-
1997
- 1997-02-12 EP EP97102184A patent/EP0859214A1/en not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111189379A (zh) * | 2020-01-14 | 2020-05-22 | 大连理工大学 | 一种基于双点旋转摩擦的内腔表面粗糙度在位检测方法 |
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| CN118168501A (zh) * | 2024-05-14 | 2024-06-11 | 荣成荣盛橡胶机械有限公司 | 一种机械配件精度检测装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0859214A1 (en) | 1998-08-19 |
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