JPH095172A - 温度測定方法 - Google Patents
温度測定方法Info
- Publication number
- JPH095172A JPH095172A JP14898295A JP14898295A JPH095172A JP H095172 A JPH095172 A JP H095172A JP 14898295 A JP14898295 A JP 14898295A JP 14898295 A JP14898295 A JP 14898295A JP H095172 A JPH095172 A JP H095172A
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- JP
- Japan
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- thermocouple
- heater
- jig
- elevator
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 再現性の良い測定データを得ると共に測温素
子,ボート,ウェーハ等を損傷させるおそれを少なくす
る。 【構成】 ウェーハ5を熱処理するためのヒータ1の均
熱長を測定する際に昇降可能な治具10を用い、この治
具10に測温素子8を取り付け、該測温素子8を一定速
度で下降させてヒータ1の均熱長を測定することを特徴
とする。
子,ボート,ウェーハ等を損傷させるおそれを少なくす
る。 【構成】 ウェーハ5を熱処理するためのヒータ1の均
熱長を測定する際に昇降可能な治具10を用い、この治
具10に測温素子8を取り付け、該測温素子8を一定速
度で下降させてヒータ1の均熱長を測定することを特徴
とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、縦型半導体製造装置に
搭載されるヒータの均熱長の測定方法に関する。
搭載されるヒータの均熱長の測定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に半導体製造装置を購入先に納める
際、顧客の検収条件としてヒータの加熱可能な範囲、例
えば900mmのうち、一定の長さ、例えば700mmが何
℃の範囲、例えば800±10℃等に入っていなければ
いけないという条件がある。図5は従来方法を採用した
縦型半導体製造装置の1例を示す側断面図である。図5
において1はヒータ、2はヒータベース、3はヒータ1
内に設置された反応管、4は複数枚のウェーハ5を載せ
たボート、6はキャップ、7は測温用挿入口、8は熱電
対である。従来の基本的な測定方法としては、ウェーハ
5を搭載したボート4をヒータ1内の反応管3内に挿入
した状態で、ヒータ1の熱を一定に保ち、次にヒータ長
に近い長さをもつ熱電対8をヒータ下部より挿入し、そ
れを一定の速度で人手により下ろして、その値をペンレ
コーダ9などで測定する。
際、顧客の検収条件としてヒータの加熱可能な範囲、例
えば900mmのうち、一定の長さ、例えば700mmが何
℃の範囲、例えば800±10℃等に入っていなければ
いけないという条件がある。図5は従来方法を採用した
縦型半導体製造装置の1例を示す側断面図である。図5
において1はヒータ、2はヒータベース、3はヒータ1
内に設置された反応管、4は複数枚のウェーハ5を載せ
たボート、6はキャップ、7は測温用挿入口、8は熱電
対である。従来の基本的な測定方法としては、ウェーハ
5を搭載したボート4をヒータ1内の反応管3内に挿入
した状態で、ヒータ1の熱を一定に保ち、次にヒータ長
に近い長さをもつ熱電対8をヒータ下部より挿入し、そ
れを一定の速度で人手により下ろして、その値をペンレ
コーダ9などで測定する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例にあって
は、熱電対8を下ろす作業を人手により行っていたた
め、測定値の再現性に問題があり、熱電対が長いため扱
いが難しく、熱電対自体やボート,ウェーハ等を損傷さ
せる可能性があった。
は、熱電対8を下ろす作業を人手により行っていたた
め、測定値の再現性に問題があり、熱電対が長いため扱
いが難しく、熱電対自体やボート,ウェーハ等を損傷さ
せる可能性があった。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、従来技術の課
題である、人手に頼った測定による測定値の再現性の問
題及び熱電対,ボート,ウェーハ等を損傷させる危険性
を解決し、安全に再現性の長い測定を実現することので
きるヒータ均熱長の温度測定方法を提供しようとするも
のである。即ち、本発明方法は、図1,図2に示すよう
にウェーハ5を熱処理するためのヒータ1の均熱長を測
定する際に昇降可能な治具10を用い、この治具10に
測温素子8を取り付け、該測温素子8を一定速度で下降
させてヒータ1の均熱長を測定することを特徴とする。
題である、人手に頼った測定による測定値の再現性の問
題及び熱電対,ボート,ウェーハ等を損傷させる危険性
を解決し、安全に再現性の長い測定を実現することので
きるヒータ均熱長の温度測定方法を提供しようとするも
のである。即ち、本発明方法は、図1,図2に示すよう
にウェーハ5を熱処理するためのヒータ1の均熱長を測
定する際に昇降可能な治具10を用い、この治具10に
測温素子8を取り付け、該測温素子8を一定速度で下降
させてヒータ1の均熱長を測定することを特徴とする。
【0005】
【作 用】ヒータ1の均熱長を測定する際、昇降可能な
治具10に取り付けられた測温素子8が一定速度で下降
されて、ヒータ1の均熱長が測定されることになる。
治具10に取り付けられた測温素子8が一定速度で下降
されて、ヒータ1の均熱長が測定されることになる。
【0006】
【実施例】図1は本発明方法の第1実施例を適用した縦
型半導体製造装置の1例を示す側断面図である。図1に
おいて図5中の符号と同一符号を付した部品は同様の機
能を有する。12はウェーハ移載機11を昇降ガイド軸
12Aに沿って昇降ネジ軸12Bにより昇降するエレベ
ータである。第1実施方法は、本来、ウェーハ移載機1
1を上下方向に昇降させるエレベータ12に、均熱長測
定用の熱電対8を固定する機能を持った治具10を装着
し、この治具10に熱電対8を固定し、エレベータ12
を構成する昇降ネジ軸12Bを回転することにより治具
10を昇降ガイド軸12Aに沿って昇降できる構成にな
っている。ヒータ1の均熱長を測定する際、ヒータ1の
温度を安定させた状態で、エレベータ12に治具10を
装着し、これに熱電対8を固定し、エレベータ12によ
り治具10を上下方向に一定速度で下降させ、均熱長を
測定するという手順で行う。
型半導体製造装置の1例を示す側断面図である。図1に
おいて図5中の符号と同一符号を付した部品は同様の機
能を有する。12はウェーハ移載機11を昇降ガイド軸
12Aに沿って昇降ネジ軸12Bにより昇降するエレベ
ータである。第1実施方法は、本来、ウェーハ移載機1
1を上下方向に昇降させるエレベータ12に、均熱長測
定用の熱電対8を固定する機能を持った治具10を装着
し、この治具10に熱電対8を固定し、エレベータ12
を構成する昇降ネジ軸12Bを回転することにより治具
10を昇降ガイド軸12Aに沿って昇降できる構成にな
っている。ヒータ1の均熱長を測定する際、ヒータ1の
温度を安定させた状態で、エレベータ12に治具10を
装着し、これに熱電対8を固定し、エレベータ12によ
り治具10を上下方向に一定速度で下降させ、均熱長を
測定するという手順で行う。
【0007】上記本発明の第1実施例によれば、以下の
効果が得られる。 . 人手ではなく機械により熱電対8を動かして測定を
行うため、正確な速度で熱電対8を下降することがで
き、かつ横方向のズレも抑えられるため、再現性の良い
測定データを得ることができる。 . 装置の一部であるエレベータ12を利用し測定を行
うため、測温用挿入口7に対する水平が出ているので、
熱電対8,ボート4,ウェーハ5等を損傷させる可能性
が少ない。 . 装置の一部であるエレベータ12を利用し測定を行
うため、例えば熱電対8をアームに固定し、そのアーム
を昇降させる機能を有するオートプロファイラと呼ばれ
る装置を制作することに比べるとかなり安価に均熱長の
測定を行うことができる。
効果が得られる。 . 人手ではなく機械により熱電対8を動かして測定を
行うため、正確な速度で熱電対8を下降することがで
き、かつ横方向のズレも抑えられるため、再現性の良い
測定データを得ることができる。 . 装置の一部であるエレベータ12を利用し測定を行
うため、測温用挿入口7に対する水平が出ているので、
熱電対8,ボート4,ウェーハ5等を損傷させる可能性
が少ない。 . 装置の一部であるエレベータ12を利用し測定を行
うため、例えば熱電対8をアームに固定し、そのアーム
を昇降させる機能を有するオートプロファイラと呼ばれ
る装置を制作することに比べるとかなり安価に均熱長の
測定を行うことができる。
【0008】図2は第2実施例を適用した縦型半導体製
造装置の1例を示す側断面図、図3は第2実施例におけ
るオートプロファイラの一部の斜視図である。この第2
実施方法は、昇降可能なアーム13を有するオートプロ
ファイラ10という装置を使用し、このオートプロファ
イラ10を予じめ決められた場所に固定し、該オートプ
ロファイラ10の溝14より突出するアーム13に熱電
対8を取り付け、均熱長を測定する。また予じめ測温用
挿入口7に合わせてオートプロファイラ10の脚15を
スタットボルト16で装置下部17に固定する。
造装置の1例を示す側断面図、図3は第2実施例におけ
るオートプロファイラの一部の斜視図である。この第2
実施方法は、昇降可能なアーム13を有するオートプロ
ファイラ10という装置を使用し、このオートプロファ
イラ10を予じめ決められた場所に固定し、該オートプ
ロファイラ10の溝14より突出するアーム13に熱電
対8を取り付け、均熱長を測定する。また予じめ測温用
挿入口7に合わせてオートプロファイラ10の脚15を
スタットボルト16で装置下部17に固定する。
【0009】ヒータ1の均熱長を測定する際、ヒータ1
の温度を安定させた状態で装置にオートプロファイラ1
0を固定し、そのアーム13に熱電対8を取り付け、オ
ートプロファイラ10によりアーム13を上昇して熱電
対8を反応管3内に挿入し、アーム13を下降して熱電
対8を一定速度で下降することによりヒータ1の均熱長
を測定する。又、図4は図2に示す第2実施例の変形例
を示す側断面図である。この変形例は、ロードロックチ
ャンバ18にオートプロファイラ10を固定具19で固
定し、そのアーム13に熱電対8を取り付ける以外、図
2に示す第2実施例と全く同様の構成と作用をなす。
の温度を安定させた状態で装置にオートプロファイラ1
0を固定し、そのアーム13に熱電対8を取り付け、オ
ートプロファイラ10によりアーム13を上昇して熱電
対8を反応管3内に挿入し、アーム13を下降して熱電
対8を一定速度で下降することによりヒータ1の均熱長
を測定する。又、図4は図2に示す第2実施例の変形例
を示す側断面図である。この変形例は、ロードロックチ
ャンバ18にオートプロファイラ10を固定具19で固
定し、そのアーム13に熱電対8を取り付ける以外、図
2に示す第2実施例と全く同様の構成と作用をなす。
【0010】上記第2実施例によれば、 .第1実施例と同様に再現性の良い測定データを得る
ことができる。 .装置本体にオートプロファイラを固定することで第
1実施例と同様、測温挿入口7に対する水平が出ている
ため、熱電対8,ボート4,ウェーハ5等を損傷させる
可能性が少ない。 .予じめオートプロファイラ10を固定する位置が決
まっているため、逐一測温用挿入口7に合わせてオート
プロファイラ10の置く位置を調整する必要がない。
ことができる。 .装置本体にオートプロファイラを固定することで第
1実施例と同様、測温挿入口7に対する水平が出ている
ため、熱電対8,ボート4,ウェーハ5等を損傷させる
可能性が少ない。 .予じめオートプロファイラ10を固定する位置が決
まっているため、逐一測温用挿入口7に合わせてオート
プロファイラ10の置く位置を調整する必要がない。
【0011】
【発明の効果】以上詳細に説明したことから明らかなよ
うに本発明方法を実施することにより再現性の良い測定
データを得ることができると共に測温素子,ボート,ウ
ェーハ等を損傷させるおそれを少なくすることができ
る。
うに本発明方法を実施することにより再現性の良い測定
データを得ることができると共に測温素子,ボート,ウ
ェーハ等を損傷させるおそれを少なくすることができ
る。
【図1】本発明方法の第1実施例を適用した縦型半導体
製造装置の1例を示す側断面図である。
製造装置の1例を示す側断面図である。
【図2】第2実施例を適用した縦型半導体製造装置の1
例を示す側断面図である。
例を示す側断面図である。
【図3】第2実施例におけるオートプロファイラの一部
の斜視図である。
の斜視図である。
【図4】図2に示す第2実施例の変形例を示す側断面図
である。
である。
【図5】従来方法を採用した縦型半導体製造装置の1例
を示す側断面図である。
を示す側断面図である。
1 ヒータ 2 ヒータベース 3 反応管 4 ボート 5 ウェーハ 6 キャップ 7 測温用挿入口 8 測温素子(熱電対) 9 ペンレコーダ 10 治具 11 ウェーハ移載機 12 エレベータ 12A 昇降ガイド軸 12B 昇降ネジ軸 13 アーム 14 溝 15 脚 16 スタッドボルト 17 装置下部 18 ロードロックチャンバ 19 固定具
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 狩野 利一 東京都中野区東中野三丁目14番20号 国際 電気株式会社内
Claims (1)
- 【請求項1】 ウェーハを熱処理するためのヒータの均
熱長を測定する際に昇降可能な治具を用い、この治具に
測温素子を取り付け、該測温素子を一定速度で下降させ
てヒータの均熱長を測定することを特徴とする温度測定
方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14898295A JPH095172A (ja) | 1995-06-15 | 1995-06-15 | 温度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14898295A JPH095172A (ja) | 1995-06-15 | 1995-06-15 | 温度測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH095172A true JPH095172A (ja) | 1997-01-10 |
Family
ID=15465053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14898295A Pending JPH095172A (ja) | 1995-06-15 | 1995-06-15 | 温度測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH095172A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR19990038729A (ko) * | 1997-11-06 | 1999-06-05 | 윤종용 | 웨이퍼의 실제 온도를 측정하는 감지장치를 갖는 종형 확산로 |
WO2013180010A1 (ja) * | 2012-05-28 | 2013-12-05 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、温度計測システム、処理装置の温度計測方法、搬送装置及び記録媒体 |
WO2017056148A1 (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
-
1995
- 1995-06-15 JP JP14898295A patent/JPH095172A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR19990038729A (ko) * | 1997-11-06 | 1999-06-05 | 윤종용 | 웨이퍼의 실제 온도를 측정하는 감지장치를 갖는 종형 확산로 |
WO2013180010A1 (ja) * | 2012-05-28 | 2013-12-05 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、温度計測システム、処理装置の温度計測方法、搬送装置及び記録媒体 |
US20150099235A1 (en) * | 2012-05-28 | 2015-04-09 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate Processing Apparatus, Method of Measuring Temperature of Substrate Processing Apparatus and Non-Transitory Computer-Readable Recording Medium |
JPWO2013180010A1 (ja) * | 2012-05-28 | 2016-01-21 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、温度計測システム、処理装置の温度計測方法、搬送装置及び記録媒体 |
US10340164B2 (en) | 2012-05-28 | 2019-07-02 | Hitachi Kokusai Electric, Inc. | Substrate processing apparatus, method of measuring temperature of substrate processing apparatus and non-transitory computer-readable recording medium |
WO2017056148A1 (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
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