JPH0942225A

JPH0942225A - 尺取虫型アクチュエータ

Info

Publication number: JPH0942225A
Application number: JP19501495A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Morita; 紘史森田; Toshikazu Asakura; 敏和浅倉
Original assignee: Honda Motor Co Ltd
Current assignee: Honda Motor Co Ltd
Priority date: 1995-07-31
Filing date: 1995-07-31
Publication date: 1997-02-10

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】従来の如く２個のケーシングを用いずに、単
一のケーシングで歩進する尺取虫型アクチュエータ。【解決手段】１対のガイド部材ｂ１，ｂ２に摺動自在
に係合させたケーシング１に、ガイド部材ｂ１側に往動
用歩進ユニット４_１を組込み、ガイド部材ｂ２側に復動
用歩進ユニット４_２を組込み、各ユニットを歩進ピスト
ン４０と、ブレーキピストン４１と、両ピストン間のク
ランプ部材４２とを備えるものとし、付勢手段４３によ
りブレーキピストンを歩進ピストン側に付勢してクラン
プ部材を挟圧し、各ガイド部材をクランプさせる。往動
又は複動時は、対応する一方の歩進ピストン用圧力室４
５と他方のブレーキピストン用圧力室４４とに流体圧を
入力し、他方の歩進ユニットのクランプ部材４２をアン
クランプし、一方の圧力室４５内の流体圧により該ユニ
ットの歩進ピストンを反力受けとしてケーシングを該ピ
ストンのストローク分歩進させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガイド部材に対し
１ピッチ宛歩進するようにして相対移動する尺取虫型ア
クチュエータに関し、特に、治具上のワーク受けの位置
を保持し、且つ、ワークの機種に応じて変更する際の位
置決め駆動装置に好適なアクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、尺取虫型アクチュエータとして、
特開昭47-32631号公報により、油圧ジャッキを介して伸
縮自在に連結される１対のケーシングを棒状のガイド部
材に摺動自在に係合し、各ケーシングに、該各ケーシン
グをガイド部材に対してロック及びアンロックする、油
圧式のブレーキユニットを組込み、一方のケーシングの
ブレーキユニットをロック状態、他方のケーシングのブ
レーキユニットをアンロック状態にして油圧ジャッキの
伸張動作により他方のケーシングを歩進させ、次いで、
他方のケーシングのブレーキユニットをロック状態、一
方のケーシングのブレーキユニットをアンロック状態に
して油圧ジャッキの収縮動作により一方のケーシングを
他方のケーシング側に歩進させ、以上の作動の繰返しで
アクチュエータをガイド部材に沿って１ピッチ宛歩進さ
せるようにしたものが知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、アクチュエ
ータの制御の応答性を向上させるには、油圧ジャッキや
ブレーキユニットへの給排油を制御するバルブをケーシ
ングに取付けて、油圧ジャッキやブレーキユニットとバ
ルブとの間の流体通路長さを可及的に短縮することが望
まれる。

【０００４】上記従来例のものは、一方のケーシングに
油圧ジャッキを一体化できるから、該一方のケーシング
にこれに内蔵するブレーキユニット用のバルブと油圧ジ
ャッキ用のバルブとを備えるバルブブロックを取付け、
該バルブブロックに接続する共通の配管部材により各バ
ルブを介してブレーキユニットと油圧ジャッキに流体圧
を入力できるが、他方のケーシングは一方のケーシング
に対し相対移動するため、他方のケーシングに内蔵する
第２のブレーキユニット用のバルブを一方のケーシング
に取付けたバルブブロックに収納すると、バルブブロッ
クと第２のブレーキユニットとの間を可撓性ホースを介
して接続せざるを得なくなり、第２のブレーキユニット
の制御の応答性が悪くなると共に、他方のケーシングの
相対移動に伴う可撓性ホースの屈伸によりホースの疲労
を生じて耐久性が悪くなる。

【０００５】この場合、他方のケーシングに第２のブレ
ーキユニット用のバルブを取付けることも考えられる
が、これでは圧力源に連なる配管部材を一方のケーシン
グ側と他方のケーシング側とに分けて配設しなければな
らず、配管の取回しが面倒になる。

【０００６】更に、上記従来例では、相対移動する２つ
のケーシングでアクチュエータが構成されているため、
ワーク受け等の被駆動物の固定部として利用できるのは
アクチュエータの一部（２つのケーシングの一方）のみ
となり、被駆動物の位置決めの剛性，精度を損う。

【０００７】また、上記従来例では、往復動の何れにお
いても油圧ジャッキのストローク分のピッチで歩進され
ることになるため、往動時の歩進ピッチと復動時の歩進
ピッチとが等しくなり、治具上のワーク受けの位置決め
駆動装置としてアクチュエータを使用する場合、歩進ピ
ッチの整数倍のピッチでしかワーク受けを位置変更でき
なくなり、位置変更の自由度を損う。更に、上記従来例
では、１対のブレーキユニットと歩進用の油圧ジャッキ
とが必要なため、構造が複雑になる。

【０００８】また、アクチュエータをガイド部材に対し
て回り止めする場合、ガイド部材に平行な第２のガイド
部材を設けて、第２のガイド部材に対する係合部を各ケ
ーシングに形成する必要があるが、アクチュエータはガ
イド部材の長手方向に長手であって、これに更に回り止
め用の係合部を設けると、アクチュエータが大型化する
と共に重量が重くなる。

【０００９】本発明は、以上の点に鑑み、単一のケーシ
ングを用いて歩進可能とすることにより配管部材の取回
しの簡素化を図れるようにすると共に、被駆動物の位置
決めの剛性，精度を確保し、更に、往動時の歩進ピッチ
と復動時の歩進ピッチとに差異を付けられるようにし、
而も、ガイド部材に対し回り止めし得るようにした、小
型軽量で、且つ、構造が簡単な尺取虫型アクチュエータ
を提供することをその目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく、
本発明は、ガイド部材に対し相対移動する尺取虫型アク
チュエータであって、平行に配置した１対のガイド部材
に摺動自在に係合させたケーシングと、ケーシングに一
方のガイド部材側に位置させて組込んだ往動用の歩進ユ
ニットと、ケーシングに他方のガイド部材側に位置させ
て組込んだ復動用の歩進ユニットとを備え、前記各歩進
ユニットは、往動用歩進ユニットについては往動方向を
正方向、復動方向を逆方向、復動用歩進ユニットについ
ては復動方向を正方向、往動方向を逆方向として、歩進
用ピストンと、歩進用ピストンに対し逆方向に配置した
ブレーキ用ピストンと、歩進用ピストンとブレーキ用ピ
ストンとの間に介設した、該両ピストン間で挟圧された
ときに対応するガイド部材をクランプするクランプ部材
と、ブレーキ用ピストンを正方向に付勢する付勢手段
と、ブレーキ用ピストンを逆方向に押圧する第１圧力室
と、歩進用ピストンを逆方向に押圧する第２圧力室とを
備え、往動歩進時に往動用歩進ユニットの第２圧力室と
復動用歩進ユニットの第１圧力室とに流体圧を入力し、
復動歩進時に復動用歩進ユニットの第２圧力室と往動用
歩進ユニットの第１圧力室とに流体圧を入力する流体供
給手段を設ける、ことを特徴とする。

【００１１】ケーシングを平行な１対のガイド部材に摺
動自在に係合させることによりアクチュエータが回り止
めされ、更に、ケーシングに回り止め専用の係合部を設
けるのではなく、一方のガイド部材に対する係合部を往
動用歩進ユニットの配置スペース、他方のガイド部材に
対する係合部を復動用歩進ユニットの配置スペースに活
用して、ケーシングに各歩進ユニットをスペース効率良
く組込むことができるため、アクチュエータを小型軽量
化できる。

【００１２】アクチュエータを使用する際、常時は各歩
進ユニットの第１と第２の両圧力室を共に大気開放する
が、これによれば各歩進ユニットのブレーキ用ピストン
が付勢手段によって正方向に付勢され、クランプ部材が
正方向のストローク端位置に存する歩進用ピストンとの
間で挟圧されてクランプ状態になる。この状態では、ケ
ーシングに作用する往動方向へのスラスト力が復動用歩
進ユニットの歩進用ピストンを介してそのクランプ部材
で受けられると共に、復動方向へのスラスト力が往動用
歩進ユニットの歩進用ピストンを介してそのクランプ部
材で受けられ、ケーシングは定位置にロックされる。

【００１３】復動用歩進ユニットの第１圧力室に流体圧
を入力すると、復動用歩進ユニットのブレーキ用ピスト
ンが付勢手段に抗して退動し、復動用歩進ユニットのク
ランプ部材がアンクランプ状態になって、ケーシングが
往動方向に移動可能になる。一方、往動用歩進ユニット
のクランプ部材はクランプ状態に維持されるから、往動
用歩進ユニットの第２圧力室に流体圧を入力すると、そ
の歩進用ピストンを反力受けとしてケーシングに往動方
向の押圧力が作用し、該歩進用ピストンのストローク分
ケーシングが往動方向に歩進する。

【００１４】この歩進後、復動用歩進ユニットの第１圧
力室と往動用歩進ユニットの第２圧力室とを共に大気開
放するが、これによれば復動用歩進ユニットのクランプ
部材がクランプ状態になると共に、往動用歩進ユニット
の歩進用ピストンがそのブレーキ用ピストンからの付勢
力でケーシングに対し相対移動しつつ往動方向のストロ
ーク端位置に押し戻され、元の状態に復帰する。そし
て、以上の作動を繰返すことにより、ケーシングが往動
用歩進ユニットの歩進用ピストンのストロークで１ピッ
チ宛往動方向に歩進する。

【００１５】往動用歩進ユニットの第１圧力室と復動用
歩進ユニットの第２圧力室とに流体圧を入力したとき
も、上記と同様の作用で、ケーシングが復動用歩進ユニ
ットの歩進用ピストンのストローク分だけ復動方向に歩
進する。このように、往動と復動とを各別の歩進ユニッ
トを用いて行うため、往動時の歩進ピッチと復動時の歩
進ピッチとに差異を付けることが可能となる。

【００１６】また、ケーシングが単一であるため、流体
供給手段を構成する、各歩進ユニットの第１圧力室用の
バルブと第２圧力室用のバルブとを組込んだバルブブロ
ックをケーシングに取付けて、バルブブロックに接続す
る共通の配管部材から各バルブを介して各ユニットに応
答性良く流体圧を入力できるようになり、アクチュエー
タに対する配管部材の取回しが簡素化される。更に、単
一のケーシングでアクチュエータが構成されるため、ア
クチュエータ全体を被駆動物の固定部に利用できるよう
になり、被駆動物の位置決めの剛性，精度が確保され
る。また、１対の歩進ユニットを設けるだけであるた
め、１対のブレーキユニットと歩進用の油圧ジャッキと
を設ける従来のアクチュエータに比し、構造が簡単にな
る。

【００１７】クラッチ部材としては種々のものが考えら
れるが、クランプ部材を、歩進用ピストンとブレーキ用
ピストンとの間で挟圧されたときに内径が縮径される皿
ばね状部材で構成すれば、構造が簡単になる。また、ク
ランプ部材を、ガイド部材に外挿されるコレットチャッ
クを備えるものに構成すれば、耐久性が向上すると共
に、ガイド部材に対する拘束力を強くでき、有利であ
る。

【００１８】

【発明の実施の形態】図１は自動車製造ライン等で使用
する治具上のワーク受けの配置部を示しており、治具本
体ａ上に棒状のガイド部材ｂ横設し、ガイド部材ｂに沿
って左右動するアクチュエータＡに被駆動物たるワーク
受けｃを取付け、ワークの機種に応じてワーク受けｃの
位置を変更し得るようにした。

【００１９】アクチュエータＡは、ガイド部材ｂに摺動
自在に係合するケーシング１を備えており、ケーシング
１の外面にバルブブロック２を取付け、該バルブブロッ
ク２にこれに接続した配管部材３を介して圧力流体、例
えば、圧縮エアを供給し、エア圧でアクチュエータＡを
作動させるようにした。更に、本実施例では、図２に示
す如く、互に平行な第１と第２の１対のガイド部材ｂ
１，ｂ２を設け、アクチュエータＡのケーシング１を両
ガイド部材ｂ１，ｂ２に摺動自在に係合させて、アクチ
ュエータＡを回り止めするようにした。

【００２０】ケーシング１には、第１ガイド部材ｂ１側
に位置させて右動用の歩進ユニット４₁が組込まれ、ま
た、第２ガイド部材ｂ２側に位置させて左動用の歩進ユ
ニット４₂が組込まれている。

【００２１】右動用歩進ユニット４₁は、右方に配置し
た歩進用ピストン４０と、左方に配置したブレーキ用ピ
ストン４１と、歩進用ピストン４０とブレーキ用ピスト
ン４１との間に介設した、第１ガイド部材ｂ１をクラン
プ可能なクランプ部材４２と、ブレーキ用ピストン４１
を右方に付勢する付勢手段４３と、ブレーキ用ピストン
４１を左方に押圧する第１圧力室４４と、歩進用ピスト
ン５０を左方に押圧する第２圧力室４５とを備えてい
る。尚、付勢手段４３はコイルスプリングで構成されて
いるが、エアスプリング等で構成することも可能であ
る。

【００２２】ブレーキ用ピストン４１には、これとの間
に第１圧力室４４を画成するケーシング１に固定の隔壁
１０を通して右方にのびるカラー４１ａが一体成形され
ている。クランプ部材４２は、図３に示す如く、内周側
から径方向途中までのびる放射状のスリットを形成した
皿ばね状部材１００で構成されており、該部材１００の
内周部左側面にブレーキ用ピストン４１のカラー４１ａ
を当接させ、該部材１００の外周部右側面に歩進用ピス
トン４０を当接させた。そして、歩進用ピストン４０
が、これとの間に第２圧力室４５を画成するケーシング
１の右端の端壁１１に当接する、外方のストローク端位
置に存する状態において、ブレーキ用ピストン４１を介
して作用する付勢手段４３の付勢力により皿ばね状部材
１００が歩進用ピストン４０との間で挟圧されてその内
径が縮径され、該部材１００の内周縁が第１ガイド部材
ｂ１に食い付いて、クランプ部材４２が第１ガイド部材
ｂ１をクランプするクランプ状態に保持されるようにし
た。

【００２３】尚、ケーシング１の左端部にはブレーキ用
ピストン４１の左方への退動を規制するストッパ１２が
設けられている。また、本実施例ではクランプ部材４２
を歩進用ピストン４０側に配置したが、クランプ部材を
ブレーキ用ピストン側に配置し、歩進用ピストンにクラ
ンプ部材に当接するカラーを突設しても良い。

【００２４】左動用歩進ユニット４₂は、右動用歩進ユ
ニット４₁と方向性が反対になっているだけで構造自体
は同一であり、右動用歩進ユニット４₁と同一の部材に
上記と同一の符号を付してその説明を省略する。

【００２５】ケーシング１に取付けた上記バルブブロッ
ク２には、右動用歩進ユニット４₁の各圧力室４４，４
５の給排気ポート４４ａ，４５ａに接続される各バルブ
２０₁，２１₁と、左動用歩進ユニット４₂の各圧力室４
４，４５の給排気ポート４４ａ，４５ａに接続される各
バルブ２０₂，２１₂とが設けられている。これら各バル
ブ２０₁，２０₂，２１₁，２１₂は電磁弁で構成されてお
り、図外のコントローラからの信号で切換制御される。
また、各バルブ２０₁，２０₂，２１₁，２１₂の給気ポー
ト２０ａ，２１ａと排気ポート２０ｂ，２１ｂは、夫々
バルブブロック２内の給気用と排気用のマニホルド通路
２２，２３を介して共通の配管部材３と消音器２４とに
接続される。尚、ケーシング１に各バルブ２０₁，２
０₂，２１₁，２１₂を個別に取付ける場合でも、ケーシ
ング１にマニホルドを取付けて、共通の配管部材３から
各バルブ２０₁，２０₂，２１₁，２１₂にエアを供給する
ことができる。

【００２６】次に、上記アクチュエータＡの作用を説明
する。常時は、両歩進ユニット４₁，４₂の第１と第２の
両圧力室４４，４５は共に大気開放されており、この状
態では両歩進ユニット４₁，４₂の歩進用ピストン４０，
４０が共に外方のストローク端位置に存すると共に、両
歩進ユニット４₁，４₂のクランプ部材４２，４２が共に
各ガイド部材ｂ１，ｂ２をクランプする。この場合、ア
クチュエータＡにワーク受けｃを介して作用する左方へ
のスラスト力は、ケーシング１の右方の端壁１１と右動
用歩進ユニット４₁の歩進用ピストン４０とを介してそ
のクランプ部材４２で受けられ、また、右方へのスラス
ト力は、ケーシング１の左方の端壁１１と左動用歩進ユ
ニット４₂の歩進用ピストン４０とを介してそのクラン
プ部材４２で受けられ、かくて、アクチュエータＡは定
位置にロックされる。

【００２７】アクチュエータＡを右動させる際は、先
ず、右動用歩進ユニット４₁の第２圧力室４５にエア圧
を入力する。この場合、該歩進ユニット４₁の歩進用ピ
ストン４０はそのクランプ部材４２を介して第１ガイド
部材ｂ１に対しロックされているから、第２圧力室４５
内のエア圧による反力でケーシング１が右方に押圧され
る。この状態で左動用歩進ユニット４₂の第１圧力室４
４にもエア圧を入力する。これによれば、左動用歩進ユ
ニット４₂のブレーキ用ピストン４１が付勢手段４３に
抗して外方に退動し、該歩進ユニット４₂のクランプ部
材４２がアンクランプ状態になって、ケーシング１が右
方に移動可能になり、右動用歩進ユニット４₁の第２圧
力室４５内のエア圧により、アクチュエータＡが図４
（ａ）に示す如く右動用歩進ユニット４₁の歩進用ピス
トン４０のストローク分だけ右方に歩進する。尚、図示
例では右動用歩進ユニット４₁のブレーキ用ピストン４
１へのストッパ１２の当接でその歩進用ピストン４０の
ストロークが規制されるが、クランプ部材４２への隔壁
１０の当接でストロークが規制されるようにしても良
い。

【００２８】上記の如くアクチュエータＡが歩進する
と、先ず、左動用歩進ユニット４₂の第１圧力室４４を
大気開放して、図４（ｂ）に示す如く、該歩進ユニット
４₂のクランプ部材４２をクランプ状態に切換え、次い
で、右動用歩進ユニット４₁の第２圧力室４５を大気開
放する。これによれば、該歩進ユニット４₁のクランプ
部材４２がアンクランプ状態に切換わり、該歩進ユニッ
ト４₁のブレーキ用ピストン４１に作用する付勢手段４
３の付勢力によりクランプ部材４２を介して歩進用ピス
トン４０がケーシング１及び第１ガイド部材ｂ１に対し
相対移動しつつ外方のストローク端位置に押し戻され、
図２に示す状態に復帰する。

【００２９】そして、以上の作動を繰返すことによりケ
ーシング１は右動用歩進ユニット４₁の歩進用ピストン
４０のストロークで１ピッチ宛右方に歩進する。右動用
歩進ユニット４₁の第１圧力室４４と左動用歩進ユニッ
ト４₂の第２圧力室４５に給排気すれば、上記と同様の
作用で、ケーシング１は左動用歩進ユニット４₂の歩進
用ピストン４０のストロークで１ピッチ宛左方に歩進す
る。

【００３０】ここで、図示例では、各歩進ユニット
４₁，４₂の歩進用ピストン４０のストロークを等しく設
定しているが、このストロークに差異を付けると、ワー
ク受けｃの位置をかなり大きな自由度を持って変更でき
るようになる。例えば、右動用歩進ユニット４₁のピス
トンストロークを５mm、左動用歩進ユニット４₂のピス
トンストロークを２mmに設定しておけば、右方に１回歩
進して左方に２回歩進することによりワーク受けｃを右
方に1mm変位させることができ、ピストンストロークよ
り微小ピッチでの位置変更が可能となる。

【００３１】また、図示例では第１と第２の両ガイド部
材ｂ１，ｂ２の径を互に等しくしているが、アクチュエ
ータＡに作用する左右のスラスト力の一方が小さい場
合、例えば、右方へのスラスト力が小さい場合には、左
動用歩進ユニット４₂のクランプ部材４２による第２ガ
イド部材ｂ２に対する拘束力が左程強くなくても右方へ
のスラスト力を受けられる。そのため、第２ガイド部材
ｂ２を細くして、アクチュエータＡの一層の小型化を図
ることができる。

【００３２】ところで、上記実施例では、クランプ部材
４２を皿ばね状部材１００で構成したが、図５に示す実
施例のように、各ガイド部材ｂ１，ｂ２に外挿されるコ
レットチャック１０１を皿ばね状部材１００の内周に嵌
合して、クランプ部材４２を構成しても良い。尚、図示
例でコレットチャック１０１はブレーキ用ピストン４１
のカラー４１ａに一体化されている。

【００３３】また、クランプ部材４２を、図７に示すよ
うな、周方向に分断された複数のセグメントプレート１
０２で構成することも可能である。この場合、図６に示
すように、セグメントプレート１０２をその外縁部を支
持するリテーナリング１０３を介して歩進用ピストン４
０に当接させる。これによれば、クランプ部材４２が歩
進用ピストン４０とブレーキ用ピストン４１との間で挟
圧されたとき、セグメントプレート１０２がリテーナリ
ング１０３を径方向の反力受けとして径方向に起立する
ように傾動し、その内縁部が各ガイド部材ｂ１，ｂ２に
食い付く。尚、図８に示す実施例のように、クランプ部
材４２を、セグメントプレート１０２とコレットチャッ
ク１０１とを組合わせて構成しても良い。

【００３４】また、クランプ部材４２を、図９に示すよ
うな、ボール式のコレットチャック１０４で構成するこ
とも可能である。該チャック１０４は、内周面にテーパ
ーを付けたアウターレース１０４ａと、外周面にテーパ
ーを付けたコレット状のインナーレース１０４ｂと、両
レース１０４ａ，１０４ｂ間に介挿したボール１０４ｃ
とを備えており、両レース１０４ａ，１０４ｂを両端の
１対のエンドピース１０４ｄ，１０４ｄで軸方向に少許
相対移動し得るように連結し、アウターレース１０４ａ
とインナーレース１０４ｂとが歩進用とブレーキ用のピ
ストン間で矢示方向に挟圧されたとき、ボール１０４ｃ
を介してインナーレース１０４ｂが縮径されて、各ガイ
ド部材ｂ１，ｂ２がクランプされるようにした。図中１
０４ｅはボールリテーナである。

【００３５】以上の如く、クランプ部材４２としては種
々のものが考えられるが、部品点数を削減してコストダ
ウンを図るには、皿ばね状部材１００を用いることが望
ましく、更に、コストダウンと耐久性との両立を図るに
は、皿ばね状部材１００とコレットチャック１０１との
組合せが有利である。また、上記実施例では、アクチュ
エータＡの作動流体としてエアを用いたが、油等の液体
を用いることも可能である。

【００３６】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は、単一のケーシングに組込んだ往動用と復動用の１対
の歩進ユニットで往動方向と復動方向とへの歩進を行う
ものであり、アクチュエータの構造が簡単になると共
に、これら各ユニットに共通の配管部材からケーシング
上で分配して流体圧を供給できるため、アクチュエータ
に対する配管部材の取回しを簡素化でき、且つ、アクチ
ュエータ全体を被駆動物の固定部に利用できるため、被
駆動物の位置決めの剛性，精度を確保でき、更に、往動
時と復動時とで歩進ピッチに差異を付けることができる
ため、被駆動物の位置変更の自由度を増すことができ、
而も、アクチュエータを回り止めするために並設した１
対のガイド部材を往動用歩進ユニットと復動用歩進ユニ
ットとで効率良く利用でき、アクチュエータの小型軽量
化を図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明アクチュエータの使用例を示す図

【図２】本発明アクチュエータの第１実施例の截断側
面図

【図３】第１実施例でクランプ部材として使用する皿
ばね状部材の正面図

【図４】（ａ）（ｂ）第１実施例の作用を示す図

【図５】第２実施例の截断側面図

【図６】第３実施例の截断側面図

【図７】第３実施例でクランプ部材として使用するセ
グメントプレートの正面図

【図８】第４実施例の截断側面図

【図９】クランプ部材として使用するボール式コレッ
トチャックの断面図

【符号の説明】

Ａアクチュエータｂ１第１ガイド部材（一方のガイド部材）ｂ２第２ガイド部材（他方のガイド部材）１ケーシング２バルブブロック
（流体供給手段）４₁，４₂ 歩進ユニット４０歩進用ピス
トン４１ブレーキ用ピストン４２クランプ部材４３付勢手段４４第１圧力室４５第２圧力室１００皿ばね状部材１０１コレットチャック

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ガイド部材に対し相対移動する尺取虫型
アクチュエータであって、平行に配置した１対のガイド部材に摺動自在に係合させ
たケーシングと、ケーシングに一方のガイド部材側に位
置させて組込んだ往動用の歩進ユニットと、ケーシング
に他方のガイド部材側に位置させて組込んだ復動用の歩
進ユニットとを備え、前記各歩進ユニットは、往動用歩進ユニットについては
往動方向を正方向、復動方向を逆方向、復動用歩進ユニ
ットについては復動方向を正方向、往動方向を逆方向と
して、歩進用ピストンと、歩進用ピストンに対し逆方向
に配置したブレーキ用ピストンと、歩進用ピストンとブ
レーキ用ピストンとの間に介設した、該両ピストン間で
挟圧されたときに対応するガイド部材をクランプするク
ランプ部材と、ブレーキ用ピストンを正方向に付勢する
付勢手段と、ブレーキ用ピストンを逆方向に押圧する第
１圧力室と、歩進用ピストンを逆方向に押圧する第２圧
力室とを備え、往動歩進時に往動用歩進ユニットの第２圧力室と復動用
歩進ユニットの第１圧力室とに流体圧を入力し、復動歩
進時に復動用歩進ユニットの第２圧力室と往動用歩進ユ
ニットの第１圧力室とに流体圧を入力する流体供給手段
を設ける、ことを特徴とする尺取虫型アクチュエータ。
【請求項２】前記クランプ部材は、歩進用ピストンと
ブレーキ用ピストンとの間で挟圧されたときに内径が縮
径される皿ばね状部材で構成されることを特徴とする請
求項１に記載の尺取虫型アクチュエータ。
【請求項３】前記クランプ部材は、ガイド部材に外挿
されるコレットチャックを備えるものに構成されること
を特徴とする請求項１又は２に記載の尺取虫型アクチュ
エータ。