JP3122871B2 - 尺取虫型アクチュエータ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガイド部材に対し
１ピッチ宛歩進するようにして相対移動する尺取虫型ア
クチュエータに関し、特に、治具上のワーク受けの位置
を保持し、且つ、ワークの機種に応じて変更する際の位
置決め駆動装置に好適なアクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、尺取虫型アクチュエータとして、
特開昭47-32631号公報により、油圧ジャッキを介して伸
縮自在に連結される１対のケーシングを棒状のガイド部
材に摺動自在に係合し、各ケーシングに、該各ケーシン
グをガイド部材に対してロック及びアンロックする、油
圧式のブレーキユニットを組込み、一方のケーシングの
ブレーキユニットをロック状態、他方のケーシングのブ
レーキユニットをアンロック状態にして油圧ジャッキの
伸張動作により他方のケーシングを歩進させ、次いで、
他方のケーシングのブレーキユニットをロック状態、一
方のケーシングのブレーキユニットをアンロック状態に
して油圧ジャッキの収縮動作により一方のケーシングを
他方のケーシング側に歩進させ、以上の作動の繰返しで
アクチュエータをガイド部材に沿って１ピッチ宛歩進さ
せるようにしたものが知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、アクチュエ
ータの制御の応答性を向上させるには、油圧ジャッキや
ブレーキユニットへの給排油を制御するバルブをケーシ
ングに取付けて、油圧ジャッキやブレーキユニットとバ
ルブとの間の流体通路長さを可及的に短縮することが望
まれる。

【０００４】上記従来例のものは、一方のケーシングに
油圧ジャッキを一体化できるから、該一方のケーシング
にこれに内蔵するブレーキユニット用のバルブと油圧ジ
ャッキ用のバルブとを備えるバルブブロックを取付け、
該バルブブロックに接続する共通の配管部材により各バ
ルブを介してブレーキユニットと油圧ジャッキに流体圧
を入力できるが、他方のケーシングは一方のケーシング
に対し相対移動するため、他方のケーシングに内蔵する
第２のブレーキユニット用のバルブを一方のケーシング
に取付けたバルブブロックに収納すると、バルブブロッ
クと第２のブレーキユニットとの間を可撓性ホースを介
して接続せざるを得なくなり、第２のブレーキユニット
の制御の応答性が悪くなると共に、他方のケーシングの
相対移動に伴う可撓性ホースの屈伸によりホースの疲労
を生じて耐久性が悪くなる。

【０００５】この場合、他方のケーシングに第２のブレ
ーキユニット用のバルブを取付けることも考えられる
が、これでは圧力源に連なる配管部材を一方のケーシン
グ側と他方のケーシング側とに分けて配設しなければな
らず、配管の取回しが面倒になる。

【０００６】また、上記従来例では、往復動の何れにお
いても油圧ジャッキのストローク分のピッチで歩進され
ることになるため、往動時の歩進ピッチと復動時の歩進
ピッチとが等しくなり、治具上のワーク受けの位置決め
駆動装置としてアクチュエータを使用する場合、歩進ピ
ッチの整数倍のピッチでしかワーク受けを位置変更でき
なくなり、位置変更の自由度を損う。

【０００７】更に、上記従来例では、相対移動する２つ
のケーシングでアクチュエータが構成されているため、
ワーク受け等の被駆動物の固定部として利用できるのは
アクチュエータの一部（２つのケーシングの一方）のみ
となり、被駆動物の位置決めの剛性，精度を損う。

【０００８】本発明は、以上の点に鑑み、単一のケーシ
ングを用いて歩進可能とすることにより配管部材の取回
しの簡素化を図れるようにすると共に、被駆動物の位置
決めの剛性，精度を確保し、且つ、往動時の歩進ピッチ
と復動時の歩進ピッチとに差異を付けられるようにした
尺取虫型アクチュエータを提供することをその目的とし
ている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく、
本発明は、ガイド部材に対し相対移動する尺取虫型アク
チュエータであって、ガイド部材の長手方向に長手でガ
イド部材に対し摺動自在なケーシングと、ケーシングの
中央部に組込んだブレーキユニットと、ケーシングの一
端部に組込んだ往動用の歩進ユニットと、ケーシングの
他端部に組込んだ復動用の歩進ユニットとを備え、前記
ブレーキユニットは、ブレーキ用ピストンと、ブレーキ
用ピストンに連動してケーシングをガイド部材に対しロ
ック及びアンロックするロック部材と、ブレーキ用ピス
トンをロック部材のロック方向に付勢する付勢手段と、
ブレーキ用ピストンをロック部材のアンロック方向に押
圧する圧力室とを備え、前記各歩進ユニットは、往動用
歩進ユニットについては往動方向を正方向、復動方向を
逆方向、復動用歩進ユニットについては復動方向を正方
向、往動方向を逆方向として、歩進用ピストンと、歩進
用ピストンに向けて正方向に付勢される受取め部材と、
歩進用ピストンと受取め部材との間に介設した、歩進用
ピストンからの逆方向の押圧力を受けたときにガイド部
材をクランプするクランプ部材と、歩進用ピストンを逆
方向に押圧する圧力室とを備え、往動歩進時に往動用歩
進ユニットの圧力室とブレーキユニットの圧力室とに流
体圧を入力し、復動歩進時に復動用歩進ユニットの圧力
室とブレーキユニットの圧力室とに流体圧を入力する流
体供給手段を設ける、ことを特徴とする。

【００１０】常時はブレーキ用ピストンの付勢手段によ
る付勢力によりロック部材がロック状態に維持され、ケ
ーシングはガイド部材に対しロックされている。往動用
歩進ユニットの圧力室に流体圧を入力すると、該歩進ユ
ニットのクランプ部材が歩進用ピストンと受取め部材と
の間で軸方向に圧縮されてガイド部材をクランプし、該
歩進ユニットの歩進用ピストンがガイド部材に対し移動
不能となり、圧力室内の流体圧による反力でケーシング
が往動方向に押圧される。この際、ブレーキユニットの
圧力室にも流体圧が入力されるが、これによればブレー
キ用ピストンを介してロック部材がアンロック状態に切
換えられ、往動用歩進ユニットの圧力室内の流体圧によ
り歩進用ピストンのストローク分だけケーシングが往動
方向に歩進する。

【００１１】この歩進後、ブレーキユニットの圧力室と
往動用歩進ユニットの圧力室とを共に大気開放するが、
これによればブレーキユニットのロック部材がロック状
態に切換えられてケーシングが歩進位置にロックされる
と共に、歩進ユニットのクランプ部材がアンクランプ状
態に切換えられ、受取め部材の付勢力によりクランプ部
材を介して歩進用ピストンがケーシングに対し往動方向
のストローク端位置まで押し戻され、元の状態に復帰す
る。そして、以上の作動を繰返すことにより、ケーシン
グが往動用歩進ユニットの歩進用ピストンのストローク
で１ピッチ宛往動方向に歩進する。

【００１２】復動用歩進ユニットの圧力室とブレーキユ
ニットの圧力室とに流体圧を入力したときも、上記と同
様の作用で、ケーシングが復動用歩進ユニットの歩進用
ピストンのストローク分だけ復動方向に歩進する。この
ように、往動と復動とを各別の歩進ユニットを用いて行
うため、往動時の歩進ピッチと復動時の歩進ピッチとに
差異を付けることが可能となる。

【００１３】また、ケーシングが単一であるため、流体
供給手段を構成するブレーキユニット用のバルブと往動
用歩進ユニット用のバルブと復動用歩進ユニット用のバ
ルブとを組込んだバルブブロックをケーシングに取付け
て、バルブブロックに接続する共通の配管部材から各バ
ルブを介して各ユニットに応答性良く流体圧を入力でき
るようになり、アクチュエータに対する配管部材の取回
しが簡素化される。更に、単一のケーシングでアクチュ
エータが構成されるため、アクチュエータ全体を被駆動
物の固定部に利用できるようになり、被駆動物の位置決
めの剛性，精度が確保される。

【００１４】ところで、アクチュエータにより重量物を
移動する場合、ロックを確実にするには、ブレーキユニ
ットを１対設けることが望まれる。この場合、１対のブ
レーキユニットを、該各ブレーキユニットのロック部材
のロック方向が夫々ケーシングの長手方向外方を向くよ
うに配置し、両ブレーキユニットのブレーキ用ピストン
間に両ブレーキ用ピストンをロック方向に付勢する共通
の付勢手段を設け、部品の共用化を図ることが望まし
い。

【００１５】また、往動用と復動用の１対の歩進ユニッ
トを、該両歩進ユニットの正方向が夫々ケーシングの長
手方向内方を向くように配置すれば、各歩進ユニットの
圧力室は歩進用ピストンに対しケーシングの長手方向内
方に配置されることになり、流体供給手段をケーシング
の中央部寄りに集約配置でき、有利である。

【００１６】ロック部材やクラッチ部材としては種々の
ものが考えられるが、これらを、ブレーキ用ピストンや
歩進用ピストンからの押圧力を受けたときに内径が縮径
する皿ばね状部材で構成すれば、構造が簡単になる。ま
た、ロック部材やクランプ部材をガイド部材に外挿され
るコレットチャックを備えるものに構成すれば、耐久性
が向上すると共に、ガイド部材に対する拘束力を強くで
き、有利である。

【００１７】

【発明の実施の形態】図１は自動車製造ライン等で使用
する治具上のワーク受けの配置部を示しており、治具本
体ａ上に棒状のガイド部材ｂ横設し、ガイド部材ｂに沿
って左右動するアクチュエータＡに被駆動物たるワーク
受けｃを取付け、ワークの機種に応じてワーク受けｃの
位置を変更し得るようにした。

【００１８】アクチュエータＡは、ガイド部材ｂに摺動
自在に係合するケーシング１を備えており、ケーシング
１の外面にバルブブロック２を取付け、該バルブブロッ
ク２にこれに接続した配管部材３を介して圧力流体、例
えば、圧縮エアを供給し、エア圧でアクチュエータＡを
作動させるようにした。

【００１９】アクチュエータＡの詳細は、図２に示す通
りであり、ガイド部材ｂに摺動自在に外挿される筒状の
ケーシング１の中央部に左右１対のブレーキユニット
４，４が組込まれると共に、ケーシング１の左端部に右
動用の歩進ユニット５₁が組込まれ、更に、ケーシング
１の右端部に左動用の歩進ユニット５₂が組込まれてい
る。

【００２０】各ブレーキユニット４は、ブレーキ用ピス
トン４０と、該ピストン４０に連動してケーシング１を
ガイド部材ｂに対しロック及びアンロックするロック部
材４１とを備えている。ロック部材４１は、図３に示す
如く、内周側から径方向途中までのびる放射状のスリッ
トを形成した皿ばね状部材１００で構成されており、該
部材１００をブレーキ用ピストン４０とこれに対向する
ケーシング１に一体の受け部４２との間に介設し、ブレ
ーキ用ピストン４０から受け部４２側への押圧力を受け
たとき皿ばね状部材１００が軸方向に圧縮されてその内
径が縮径され、該部材１００の内周縁がガイド部材ｂに
食い付き、ガイド部材ｂに対しケーシング１がロックさ
れるようにした。

【００２１】ブレーキユニット４は、更に、ブレーキ用
ピストン４０をロック部材４１のロック方向、即ち、受
け部４２側に付勢する付勢手段４３と、ブレーキ用ピス
トン４０をロック部材４１のアンロック方向に押圧する
圧力室４４とを備えており、常時は付勢手段４３の付勢
力によりロック部材４１をロック状態に維持し、圧力室
４４への給排気ポート４４ａからのエア圧の入力でロッ
ク部材４１をアンロック状態に切換えるようにした。

【００２２】尚、付勢手段４３はコイルスプリングで構
成されているが、エアスプリング等で構成することも可
能である。また、ブレーキ用ピストン４０に対し受け部
４２をケーシング１の長手方向内方に配置し、ロック部
材４１のロック方向をケーシング１の長手方向内方に設
定することも可能であるが、本実施例では、ブレーキ用
ピストン４０に対し受け部４２をケーシング１の長手方
向外方に配置して、ロック方向をケーシング１の長手方
向外方に設定し、両ブレーキユニット４，４のブレーキ
用ピストン４０，４０を両者間に配置した共通の付勢手
段４３でロック方向に付勢し得るようにした。

【００２３】右動用歩進ユニット５₁は、歩進用ピスト
ン５０と、歩進用ピストン５０に向けて右方に付勢され
る受取め部材５１と、歩進用ピストン５０と受取め部材
５１との間に介設した、ガイド部材ｂをクランプ可能な
クランプ部材５２と、歩進用ピストン５０を左方に押圧
する圧力室５３とを備えている。

【００２４】クランプ部材５２は、ロック部材４１と同
様の皿ばね状部材１００で構成されており、また、受取
め部材５１は、その尾端部に形成したピストン部５１ａ
においてエアスプリングから成る付勢手段５４により右
方に付勢されている。そして、歩進用ピストン５０が右
方のストローク端位置に到達したところで受取め部材５
１の右方への移動がケーシング１に設けたストッパ部５
５によって規制されるようにしており、そのため、常時
はクランプ部材５２は軸方向に圧縮されずアンクランプ
状態に保持される。一方、歩進用ピストン５０が圧力室
５３への給排気ポート５３ａからのエア圧の入力で左方
に押圧されると、クランプ部材５２たる皿ばね状部材１
００が受取め部材５１との間で軸方向に圧縮されてその
内径が縮径され、該部材１００の内周縁がガイド部材ｂ
に食い付いてクランプ状態になり、歩進用ピストン５０
の左動が阻止されて、圧力室５３内のエア圧による反力
でケーシング１が右方に押圧されるようになる。尚、受
取め部材５１の付勢手段５４は、コイルスプリング等の
エアスプリング以外のもので構成しても良い。

【００２５】左動用歩進ユニット５₂は、右動用歩進ユ
ニット５₁と方向性が反対になっているだけで構造自体
は同一であり、右動用歩進ユニット５₁と同一の部材に
上記と同一の符号を付してその説明を省略する。

【００２６】尚、ケーシング１は、左右両半部１ａ，１
ａに分割して構成されており、各半部１ａに各１個の歩
進ユニットとブレーキユニットとを組込んで成るサブア
ッセンブリを組立てた後、両半部１ａ，１ａを結合して
アクチュエータＡを組立てる。この場合、両半部１ａ，
１ａのサブアッセンブリは全く同一の構成となり、量産
性に優れる。

【００２７】ケーシング１に取付けた上記バルブブロッ
ク２には、１対のブレーキユニット４，４の圧力室４
４，４４への給排気を制御する１対のブレーキ用バルブ
２０，２０と、右動用歩進ユニット５₁の圧力室５３へ
の給排気を制御する右動用バルブ２１と、左動用歩進ユ
ニット５₂の圧力室５３への給排気を制御する左動用バ
ルブ２２とが設けられている。これら各バルブ２０，２
１，２２は電磁弁で構成されており、図外のコントロー
ラからの信号で切換制御される。また、各バルブ２０，
２１，２２の給気ポート２０ａ，２１ａ，２２ａと排気
ポート２０ｂ，２１ｂ，２２ｂは、夫々バルブブロック
２内の給気用と排気用のマニホルド通路２３，２４を介
して共通の配管部材３と消音器２５に接続される。尚、
ケーシング１に各バルブ２０，２１，２２を個別に取付
ける場合でも、ケーシング１にマニホルドを取付けて、
共通の配管部材３から各バルブ２０，２１，２２にエア
を供給することができる。

【００２８】ところで、ケーシング１の左端部に左動用
歩進ユニット５₂と、右端部に右動用歩進ユニット５₁と
を設けることも可能であるが、この場合には各歩進ユニ
ット５₁，５₂の圧力室５３が歩進用ピストン５０に対し
ケーシング１の長手方向外方に配置されることになり、
両歩進ユニット５₁，５₂の給排気ポート５３ａ，５３ａ
間の距離が長くなる。これに対し、本実施例のように、
ケーシング１の左端部に右動用歩進ユニット５₁と、右
端部に左動用歩進ユニット５₂とを設けておけば、各歩
進ユニット５₁，５₂の圧力室５３が歩進用ピストン５０
に対しケーシング１の長手方向内方に配置されることに
なるため、両歩進ユニット５₁，５₂の給排気ポート５３
ａ，５３ａ間の距離が短くなり、バルブロック２の小型
化を図れる。

【００２９】次に、上記アクチュエータＡの作用を説明
する。アクチュエータＡを右動させる際は、先ず右動用
歩進ユニット５₁の圧力室５３にエア圧を入力し、上記
の如く該歩進ユニット５₁のクランプ部材５２でガイド
部材ｂをクランプして、該歩進ユニット５₁の歩進用ピ
ストン５０の左動を阻止し、次いで、両ブレーキユニッ
ト４，４の圧力室４４，４４にエア圧を入力し、両ブレ
ーキユニット４，４のロック部材４１，４１をアンロッ
ク状態に切換える。これによれば、右動用歩進ユニット
５₁の圧力室５３内のエア圧による反力でケーシング１
が図４（ａ）に示す如く歩進用ピストン５０のストロー
ク分だけ右方に歩進する。尚、図示例では、受取め部材
５１のストロークによって歩進用ピストン５０のストロ
ークが規制されるが、クランプ部材５２へのストッパ部
５５の当接で歩進用ピストン５０のストロークが規制さ
れるようにしても良い。

【００３０】上記の如くケーシング１が歩進すると、両
ブレーキユニット４，４の圧力室４４，４４を大気開放
して、図４（ｂ）に示す如く、両ブレーキユニット４，
４のロック部材４１，４１をロック状態に切換え、次い
で、右動用歩進ユニット５₁の圧力室５３を大気開放す
る。これによれば、クランプ部材５２がアンクランプ状
態に切換わり、受取め部材５１の付勢力によりクランプ
部材５２を介して歩進用ピストン５０がケーシング１及
びガイド部材ｂに対し相対移動しつつ右方のストローク
端位置に押し戻され、図２に示す状態に復帰する。

【００３１】そして、以上の作動を繰返すことによりケ
ーシング１は右動用歩進ユニット５₁の歩進用ピストン
５０のストロークで１ピッチ宛右方に歩進する。右動用
歩進ユニット５₁に代えて左動用歩進ユニット５₂の圧力
室５３に給排気すれば、上記と同様の作用で、ケーシン
グ１は左動用歩進ユニット５₂の歩進用ピストン５０の
ストロークで１ピッチ宛左方に歩進する。

【００３２】ここで、図示例では、各歩進ユニット
５₁，５₂の歩進用ピストン５０のストロークを等しく設
定しているが、このストロークに差異を付けると、ワー
ク受けｃの位置をかなり大きな自由度を持って変更でき
るようになる。例えば、右動用歩進ユニット５₁のピス
トンストロークを５mm、左動用歩進ユニット５₂のピス
トンストロークを２mmに設定しておけば、右方に１回歩
進して左方に２回歩進することによりワーク受けｃを右
方に1mm変位させることができ、ピストンストロークよ
り微小ピッチでの位置変更が可能となる。

【００３３】ところで、上記実施例では、ロック部材４
１とクランプ部材５２とを夫々皿ばね状部材１００で構
成したが、図５に示す実施例のように、ガイド部材ｂに
外挿されるコレットチャック１０１を皿ばね状部材１０
０の内周に嵌合して、ロック部材４１やクランプ部材５
２を構成しても良い。尚、図示例でクランプ部材５２用
のコレットチャック１０１は受取め部材５１に一体化さ
れている。また、ロック部材４１をコレットチャック１
０１付きのものにすると、ガイド部材ｂをその移動方向
に係りなく確実にロックできるから、ブレーキユニット
４は１個だけでも良い。

【００３４】また、ロック部材４１やクランプ部材５２
を、図７に示すような、周方向に分断された複数のセグ
メントプレート１０２で構成することも可能である。こ
の場合、図６に示すように、セグメントプレート１０２
をその外縁部を支持するリテーナリング１０３を介して
ブレーキ用ピストン４０や歩進用ピストン５０に当接さ
せる。これによれば、各ピストン４０，５０からの押圧
力が作用したとき、セグメントプレート１０２がリテー
ナリング１０３を径方向の反力受けとして径方向に起立
するように傾動し、その内縁部がガイド部材ｂに食い付
く。尚、図８に示す実施例のように、ロック部材４１や
クランプ部材５２を、セグメントプレート１０２とコレ
ットチャック１０１とを組合わせて構成しても良い。

【００３５】また、ロック部材４１やクランプ部材５２
を、図９に示すような、ボール式のコレットチャック１
０４で構成することも可能である。該チャック１０４
は、内周面にテーパーを付けたアウターレース１０４ａ
と、外周面にテーパーを付けたコレット状のインナーレ
ース１０４ｂと、両レース１０４ａ，１０４ｂ間に介挿
したボール１０４ｃとを備えており、両レース１０４
ａ，１０４ｂを両端の１対のエンドピース１０４ｄ，１
０４ｄで軸方向に少許相対移動し得るように連結し、ア
ウタレース１０４ａにブレーキ用や歩進用のピストンか
ら矢示方向の押圧力が作用したとき、ボール１０４ｃを
介してインナーレース１０４ｂが縮径されて、ガイド部
材ｂがクランプされるようにした。図中１０４ｅはボー
ルリテーナである。

【００３６】以上の如く、ロック部材４１やクランプ部
材５２としては種々のものが考えられるが、部品点数を
削減してコストダウンを図るには、皿ばね状部材１００
を用いることが望ましく、更に、コストダウンと耐久性
との両立を図るには、皿ばね状部材１００とコレットチ
ャック１０１との組合せが有利である。また、上記実施
例では、アクチュエータＡの作動流体としてエアを用い
たが、油等の液体を用いることも可能である。

【００３７】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は、単一のケーシングに組込んだブレーキユニットと往
動用と復動用の１対の歩進ユニットとで往動方向と復動
方向とへの歩進を行うものであり、これら各ユニットに
共通の配管部材からケーシング上で分配して流体圧を供
給できるため、アクチュエータに対する配管部材の取回
しを簡素化できると共に、アクチュエータ全体を被駆動
物の固定部に利用できるため、被駆動物の位置決めの剛
性，精度を確保でき、更に、往動時と復動時とで歩進ピ
ッチに差異を付けることができるため、被駆動物の位置
変更の自由度を増すことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明アクチュエータの使用例を示す図

【図２】 本発明アクチュエータの第１実施例の截断側
面図

【図３】 第１実施例でロック部材やクランプ部材とし
て使用する皿ばね状部材の正面図

【図４】 （ａ）（ｂ）第１実施例の作用を示す図

【図５】 第２実施例の截断側面図

【図６】 第３実施例の截断側面図

【図７】 第３実施例でロック部材やクランプ部材とし
て使用するセグメントプレートの正面図

【図８】 第４実施例の截断側面図

【図９】 ロック部材やクランプ部材として使用するボ
ール式コレットチャックの断面図

【符号の説明】

Ａ アクチュエータ ｂ ガイド部材 １ ケーシング ２ バルブブロック
（流体供給手段） ４ ブレーキユニット ４０ ブレーキ用ピスト
ン ４１ ロック部材 ４２ 受け部 ４３ 付勢手段 ４４ 圧力室 ５₁，５₂ 歩進ユニット ５０ 歩進用ピス
トン ５１ 受取め部材 ５２ クランプ部材 ５３ 圧力室 １００ 皿ばね状部材 １０１ コレットチャック

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ Ｂ２３Ｑ 5/34 ５２０Ｃ Ｂ２５Ｊ 5/02 Ｚ (56)参考文献 特開 昭47−32631（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−5506（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−49005（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−38009（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−46744（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−126316（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−83904（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−122504（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−25703（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−116433（ＪＰ，Ｕ) 米国特許2988058（ＵＳ，Ａ) 米国特許3176590（ＵＳ，Ａ) 米国特許4564088（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F15B 15/00 - 15/28 B23Q 5/34 520 B25J 5/02 F15B 11/12 F15B 11/18

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガイド部材に対し相対移動する尺取虫型
   アクチュエータであって、 ガイド部材の長手方向に長手でガイド部材に対し摺動自
   在なケーシングと、ケーシングの中央部に組込んだブレ
   ーキユニットと、ケーシングの一端部に組込んだ往動用
   の歩進ユニットと、ケーシングの他端部に組込んだ復動
   用の歩進ユニットとを備え、 前記ブレーキユニットは、ブレーキ用ピストンと、ブレ
   ーキ用ピストンに連動してケーシングをガイド部材に対
   しロック及びアンロックするロック部材と、ブレーキ用
   ピストンをロック部材のロック方向に付勢する付勢手段
   と、ブレーキ用ピストンをロック部材のアンロック方向
   に押圧する圧力室とを備え、 前記各歩進ユニットは、往動用歩進ユニットについては
   往動方向を正方向、復動方向を逆方向、復動用歩進ユニ
   ットについては復動方向を正方向、往動方向を逆方向と
   して、歩進用ピストンと、歩進用ピストンに向けて正方
   向に付勢される受取め部材と、歩進用ピストンと受取め
   部材との間に介設した、歩進用ピストンからの逆方向の
   押圧力を受けたときにガイド部材をクランプするクラン
   プ部材と、歩進用ピストンを逆方向に押圧する圧力室と
   を備え、 往動歩進時に往動用歩進ユニットの圧力室とブレーキユ
   ニットの圧力室とに流体圧を入力し、復動歩進時に復動
   用歩進ユニットの圧力室とブレーキユニットの圧力室と
   に流体圧を入力する流体供給手段を設ける、 ことを特徴とする尺取虫型アクチュエータ。
2. 【請求項２】 １対のブレーキユニットを、該各ブレー
   キユニットのロック部材のロック方向が夫々ケーシング
   の長手方向外方を向くように配置し、両ブレーキユニッ
   トのブレーキ用ピストン間に両ブレーキ用ピストンをロ
   ック方向に付勢する共通の付勢手段を設けることを特徴
   とする請求項１に記載の尺取虫型アクチュエータ。
3. 【請求項３】 往動用と復動用の１対の歩進ユニット
   を、該両歩進ユニットの正方向が夫々ケーシングの長手
   方向内方を向くように配置することを特徴とする請求項
   １又は２に記載の尺取虫型アクチュエータ。
4. 【請求項４】 前記ロック部材は、ブレーキ用ピストン
   に対しロック方向に対向するケーシングに固定の受け部
   とブレーキ用ピストンとの間に介設した、ブレーキ用ピ
   ストンからのロック方向の押圧力を受けて内径が縮径す
   る皿ばね状部材で構成されることを特徴とする請求項１
   乃至３の何れか１項に記載の尺取虫型アクチュエータ。
5. 【請求項５】 前記クランプ部材は、歩進用ピストンと
   受取め部材との間に介設した、歩進用ピストンからの逆
   方向の押圧力を受けて内径が縮径する皿ばね状部材で構
   成されることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項
   に記載の尺取虫型アクチュエータ。
6. 【請求項６】 前記ロック部材や前記クランプ部材をガ
   イド部材に外挿されるコレットチャックを備えるものに
   構成することを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項
   に記載の尺取虫型アクチュエータ。