JPH0941819A - 折り畳み式開閉扉 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板処理装置内に設けられた収納部における
収納物の自由度が高く、基板処理装置のメンテナンス時
の作業性がよい折り畳み式開閉扉を提供する。 【解決手段】 上および下レール部１０，６０に沿って
上ローラ部２０ａ，２０ｂおよび下ローラ部５０ａ，５
０ｂが移動自在となっている。扉パネル４０ａの一方側
辺の上部および下部がそれぞれ上ローラ部２０ａと下ロ
ーラ部５０ａに回動自在に連結されるとともに、扉パネ
ル４０ｂの一方側辺の上部および下部がそれぞれ上ロー
ラ部２０ｂと下ローラ部５０ｂに回動自在に連結され
る。また、扉パネル４０ａ，４０ｂの他方側辺ＨＴｂ同
士がヒンジ５０，５１により相互に回動自在に連結され
る。このため、扉パネル４０ａ，４０ｂを折り畳んだ状
態で上レール部１０および下レール部６０に沿って移動
可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、基板処理装置内
で各種薬剤、配管等を収納するために設けられた収納部
の開閉扉に関するもので、とくに折り畳むことにより開
扉する折り畳み式開閉扉に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より周知のように、液晶表示基板や
半導体基板などの精密電子基板（以下、単に「基板」と
いう）の製造プロセスにおいては、例えば図８のような
基板処理装置により一連の処理（塗布処理，現像処理，
密着強化処理，加熱処理，冷却処理等）を行う。図８の
基板処理装置では、塗布処理を行うためのスピンコータ
ＳＣ，現像処理を行うためのスピンデベロッパＳＤ1 ，
ＳＤ2 ，クーリングプレートＣＰ1 〜ＣＰ3 ，ホットプ
レートＨＰ1 〜ＨＰ6 ，密着強化ユニットＡＨ，基板１
０の搬入および搬出を行うインデクサーＩＤ等が配置さ
れ、基板搬送ロボットＲＢ等の基板搬送手段により基板
ＢＰを所定の搬送順序でそれらの基板処理部間を搬送し
つつ、それらの処理部に出入れして一連の処理を行う。

【０００３】このような基板処理装置において、上記の
ような各種基板処理部の下部空間は収納部として利用さ
れており、この収納部には、 ・レジスト液のビン、 ・洗浄液などを一時的にバッファして貯留しておくため
のバッファタンク、 ・廃液タンク、 ・スピンコータおよびスピンデベロッパの洗浄を行うた
めの溶剤、 ・現像薬液、 ・レジストポンプ、 ・各種排気ボックス、 ・真空配管、 ・電力配管、 ・制御装置、 等が収納される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
な収納部では、基板処理装置の正面側が開口部となって
おり、この開口部を介して収納物の搬出、搬入等を行う
ようになっている。また、この開口部には外装と兼ねた
開閉扉が設けられており、基板処理装置が通常作動して
いるときには閉じられる一方、収納物の交換や調達など
が必要になると開かれて開口部よりアクセス可能となっ
ている。ここで開閉扉としては、従来より片持ち式や、
両持ちの折り畳み式のものが採用されていた。

【０００５】図９は従来の開閉扉を例示する平面図であ
る。図９（ａ）は収納部ＳＰの開口部ＯＳに設けられた
片持ち式の開閉扉を示す平面図である。この従来例では
開口部ＯＳに支柱Ｐ１が設けられており、この支柱Ｐ１
にピンもしくは蝶番によって扉１０１ａ，１０１ｂの一
方側辺が回動自在に接続され、それを中心として矢符Ａ
Ｘ，ＡＹに示すように回動する。このように構成された
片持ち式の開閉扉では、収納部ＳＰの開口部ＯＳに支柱
Ｐ１を設けたことで、支柱Ｐ１の後部に収納された収納
物を取り出しにくい領域（以下「引き出し支障域」とい
う。）Ｓ１が収納部ＳＰに存在する。

【０００６】また、図９（ｂ）は収納部ＳＰの開口部Ｏ
Ｓに設けられた両持ちの折り畳み式の開閉扉を示す平面
図である。この従来例では開口部ＯＳに支柱Ｐ２が設け
られており、この支柱Ｐ２に扉パネル１０２ｂの一方側
辺がピンもしくは蝶番によって回動自在に接続されると
ともに、その他方側辺が扉パネル１０２ａの一方側辺と
ピンや蝶番等のヒンジ機構によって回動自在に接続され
ている。また扉パネル１０２ａの他方側辺は収納部ＳＰ
の開口部ＯＳに沿って移動可能となっている。このよう
な折り畳み式の開閉扉１０２は完全に開扉された状態で
は同図（ｂ）の点線で示したように支柱Ｐ２側に折り畳
まれる。したがって、この場合にも同図（ａ）の片持ち
式の開閉扉と同様に、支柱Ｐ２および折り畳まれた開閉
扉１０２が収納部の引き出しの障害となって、その後部
に引き出し支障域Ｓ２が存在する。

【０００７】このように、従来の開閉扉ではこのような
引き出し支障域Ｓ１およびＳ２が存在し、支柱Ｐ１，Ｐ
２や折り畳まれた扉１０２が収納物の引き出しの障害と
なるので、収納部ＳＰでの収納物の配置が制限される。

【０００８】さらに収納部ＳＰに収納された各種配管や
制御装置等の点検や支障などが生じた場合には補修など
のメンテナンス作業を行う必要があるが、そのメンテナ
ンス作業の際、支柱Ｐ１，Ｐ２や扉を避けながら作業を
行う必要があり、作業の効率が悪いといった問題があっ
た。

【０００９】この発明は、従来技術における上述の問題
の克服を意図しており、基板処理装置内に設けられた収
納部における収納物の配置の自由度が高く、しかも基板
処理装置のメンテナンス時の作業効率がよい折り畳み式
開閉扉を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、基板
処理装置内に設けられた収納部の開口部に取り付けられ
る開閉扉であって、上記目的を達成するため、前記開口
部の上部側で前記開口部の水平長手方向に伸びる上レー
ル部と、前記上レール部と平行に前記開口部の下部側に
配置された下レール部と、前記上レール部に沿って移動
可能な第１および第２上ローラ部と、前記下レール部に
沿って移動可能な第１および第２下ローラ部と、その一
方側辺の上部および下部が前記第１上ローラ部および前
記第１下ローラ部にそれぞれ回動自在に連結された第１
扉パネルと、その一方側辺の上部および下部が前記第２
上ローラ部および前記第２下ローラ部にそれぞれ回動自
在に連結された第２扉パネルと、前記第１および第２扉
パネルの他方側辺同士を相互に回動自在に連結するヒン
ジ部と、を備えている。

【００１１】請求項２の発明は、前記第１および第２上
ローラ部のそれぞれは、前記上レール部上を鉛直面内で
回転する上ローラと、前記上ローラとそれに対応する扉
パネルとを連結するプレートとで構成されるとともに、
前記第１および第２下ローラ部のそれぞれは、前記下レ
ール部の鉛直面と接触しながら水平面内で回転する下ロ
ーラと、前記下ローラとそれに対応する扉パネルとを連
結するプレートとで構成されており、前記第１および第
２扉パネルを上方に持ち上げ、さらに前記第１および第
２扉パネルの下方部を前記開口部に対して前記収納部の
反対方向に移動させることにより前記下ローラが前記下
レール部から外れ、それに続いて前記第１および第２扉
パネルを下方に移動させることにより前記上ローラが前
記上レール部から外れるように構成している。

【００１２】

【発明の実施の形態】

Ａ．折り畳み式開閉扉の構成 図１はこの発明にかかる折り畳み式開閉扉の一つの実施
の形態を示す斜視図である。同図および以下の各図にお
いては、床面に平行な水平面をＸ−Ｙ面とし、鉛直方向
をＺ方向とする３次元座標系Ｘ−Ｙ−Ｚが定義されてい
る。また、図２はこの実施の形態の折り畳み式開閉扉１
の断面図である。

【００１３】この折り畳み式開閉扉１は基板処理装置の
薬液や溶剤、各種タンク、各種配管、制御装置等を収納
する収納部ＳＰの開口部ＯＳ側に設けられており、後述
するようにして開閉扉１により開口部ＯＳを閉鎖する
（図６（ａ）参照）と、この開閉扉１が基板処理装置の
外装の一部を担うこととなる。なお、図１において収納
部ＳＰは図示を省略されている。

【００１４】図２に示したように収納部ＳＰの開口部Ｏ
Ｓの上方側で開口部ＯＳの水平長手方向Ｘに伸びる上部
フレームＦ表面に上レール部１０が設けられ、また開口
部ＯＳの下方側で水平方向Ｘに伸びる下部のフレームＦ
表面に下レール部６０が設けられている。上レール部１
０は、フレームＦに取り付けられたブラケット１０ａ
と、該ブラケット１０ａ上に設けられたレール１０ｂ、
及びカバー１０ｃからなるものである。この上レール部
１０には、レール１０ｂに沿って上ローラ部２０ａ，２
０ｂが移動自在に取り付けられている。また、下レール
部６０は、下部のフレームＦとカバー６０ａからなるも
のである。下レール部６０には、フレームＦに沿って下
ローラ部５０ａ，５０ｂが移動自在に取り付けられてい
る。なお、これらローラ部２０ａ，２０ｂ，５０ａ，５
０ｂの構成については後で詳述する。

【００１５】図１に示すように、上ローラ部２０ａと下
ローラ部５０ａとは相互に対向するように配置されてお
り、扉パネル４０ａの一方側辺ＲＴａの上部および下部
にそれぞれ連結されており、扉パネル４０ａの一方側辺
の上部および下部がそれぞれ上ローラ部２０ａおよび下
ローラ部５０ａに対して回動自在となっている。したが
って、扉パネル４０ａはレール部１０，６０に沿ってＸ
方向に移動自在で、しかもその一方側辺ＲＴａ回りに回
動自在となっている。

【００１６】また、扉パネル４０ｂについても、扉パネ
ル４０ａと同様に、扉パネル４０ｂの一方側辺ＲＴｂの
上部および下部がそれぞれ上ローラ部２０ｂおよび下ロ
ーラ部５０ｂに回動自在に連結されて、レール部１０，
６０に沿ってＸ方向に移動自在で、しかもその一方側辺
ＲＴｂ回りに回動自在となっている。

【００１７】さらに、このように上レール部１０と下レ
ール部６０に支持された左右２枚の扉パネル４０ａ，４
０ｂの他方側辺ＨＴａ，ＨＴｂ同士が突き合わされ、ヒ
ンジ５０，５１によって互いのなす角度が変更可能なよ
うに相互に回動自在に連結されており、折り畳み可能と
なっている。しかも、上記のように扉パネル４０ａ，４
０ｂはともに上レール部１０および下レール部６０に沿
って移動可能であるため、扉パネル４０ａ，４０ｂを折
り畳んだ状態で一体的にＸおよび−Ｘ方向に移動するこ
とができる。

【００１８】つぎに、細部の構成について説明する。図
３は図１のＡ領域に示された上ローラ部２０ａと扉パネ
ル４０ａの接続部の拡大斜視図である。上ローラ部２０
ａは２つの上ローラ２２ａ，２３ａを備えている。上ロ
ーラ２２ａ，２３ａはピン２４ａ，２５ａを回転軸とし
てピンプレート２１ａに枢支されている。そして、図２
のように上ローラ２２ａ，２３ａはレール１０ｂ上を、
上ローラ２２ａ，２３ａが鉛直面（Ｘ−Ｙ面）内を回転
しながら上ローラ部２０ａ，２０ｂはレール１０ｂに沿
って移動する。

【００１９】さらに、ピンプレート２１ａはピン２６ａ
によって扉パネル４０ａに固定された支持板３０ａに枢
支されている。そのため、扉パネル４０ａは上ローラ部
２０ａに対して回動自在となっている。

【００２０】図４は図１のＢ領域に示された下ローラ部
５０ａと扉パネル４０ａの接続部の拡大斜視図である。
下ローラ部５０ａは２つの下ローラ５２ａ，５３ａを備
えている。下ローラ５２ａ，５３ａはピン５４ａ，５５
ａを回転軸としてピンプレート５１ａに枢支されてい
る。そして、図２のように下ローラ５２ａ，５３ａは水
平面内で回転するように構成されており、図４には図示
されていないが下ローラ部５０ａ，５０ｂはフレームＦ
に当接して回転しながら移動する。なお、カバー６０ａ
は脱輪防止機能もある。

【００２１】さらに、図４に示すように、ピンプレート
５１ａはピン５６ａによって扉パネル４０ａに固定され
た支持板３１ａに枢支されている。そのため、扉パネル
４０ａは下ローラ部５０ａに対して回動自在となってい
る。

【００２２】図５は図１のＣ領域に示された扉パネル４
０ａの取手４１ａの拡大斜視図である。取手４１ａは扉
パネル４０ａのヒンジ５０に接続された部分の近傍に切
欠４２ａが設けられているものである。そして、折り畳
み式扉１を開扉する際に切欠４２ａに作業者が手を挿入
し、扉パネル４０ａを手前方向（開口部ＯＳに対して収
納部ＳＰの反対方向）に引くことにより開けるためのも
のである。これと同様の取手４１ｂが扉パネル４０ｂに
も備えられており、取手４１ａと同様にして折り畳み式
扉１を開扉する。

【００２３】Ｂ．折り畳み式開閉扉の動作 ＜１．開閉動作＞図６はこの実施の形態の折り畳み式開
閉扉の開閉動作の説明図であり、収納部ＳＰおよび折り
畳み式開閉扉１の平面図である。折り畳み式開閉扉１は
収納部ＳＰに収められた薬液や溶剤等を取り出す際や収
納部ＳＰの内部の各種配管や制御装置等を点検、整備等
のメンテナンス作業等が行われないときには、図６
（ａ）のように扉パネル４０ａと扉パネル４０ｂの成す
角度が１８０度、すなわちＸ−Ｚ平面内にあるような状
態で開口部を閉鎖している。

【００２４】そして、収納物の取り出し作業やメンテナ
ンス作業が行われる際には、図６（ｂ）の実線で示した
折り畳み式開閉扉１のように、扉パネル４０ａと扉パネ
ル４０ｂの成す角度がθのように小さな状態で開けられ
る。この状態で作業員が収納部ＳＰの収納物を取出した
り、各種配管や制御装置のメンテナンス作業を行う。さ
らに、この実施の形態の折り畳み式開閉扉１では折り畳
んだ状態の折り畳み式開閉扉１を矢符ＡＡやＡＢのよう
に移動することが可能である。そのため、収納部ＳＰの
中央で作業を行いたい場合には、邪魔にならないように
点線で示した折り畳み式開閉扉１のように端に寄せるこ
ともできるし、逆に収納部ＳＰの端で作業を行いたい場
合には実線で示す折り畳み式開閉扉１のように中央に置
くこともできる。したがって、この実施の形態の折り畳
み式開閉扉１においては引き出し支障域がなく、メンテ
ナンス作業等の作業効率がよい。

【００２５】＜２．取り外し動作＞図７はこの折り畳み
式開閉扉１の取り外し動作の説明図である。この図７で
は図２と同様にＸ軸の正の方向から見た断面図を示して
いる。折り畳み式開閉扉１が閉鎖されている通常の状態
は図７（ａ）のようである。図７（ａ）に示されている
ように、下ローラ部５０ａ，５０ｂの周囲には、その上
方への動きを阻害する物は配置されておらず、上レール
部１０内の上ローラ部２０ａ，２０ｂの上方には空間Ｅ
Ｓが設けられている。これを利用することによりこの折
り畳み式開閉扉１の上レール部１０および下レール部６
０以外の部分（以下、「扉部分」という。）は収納部Ｓ
Ｐの開口部ＯＳから取り外すことができる。この折り畳
み式開閉扉１の扉部分を取り外す動作は図７のように行
う。

【００２６】まず、図７（ａ）の状態にあった扉部分を
わずかにＺ方向に持ち上げ、下ローラ部５０ａ，５０ｂ
が下レール部６０より上方に位置するように扉部分全体
を上げる。

【００２７】つぎに、矢符ＡＣのように上ローラ部２０
ａ，２０ｂを中心として扉パネル４０ａ，４０ｂの下方
部を手前側（開口部ＯＳに対して収納部ＳＰの反対方
向、つまり図７のＹ方向側）に回転移動させることによ
り図７（ｂ）の状態にする。

【００２８】最後に、扉部分全体を矢符ＡＤの方向に降
ろすことにより、上ローラ部２０ａ，２０ｂを上レール
部１０から外すことにより扉部分を取り外すことができ
る。

【００２９】このように折り畳み式開閉扉１の扉部分を
取り外すことによって、収納部ＳＰの開口部ＯＳ全面を
開放してメンテナンス等の作業を行いたい場合にも扉パ
ネル４０ａ，４０ｂが邪魔にならず、作業効率をさらに
向上させることができる。

【００３０】また、本実施の形態では、扉パネル４０ａ
と４０ｂの２枚用いているが、この実施の形態の折り畳
み式開閉扉１を複数連ねた構成にすることもできる。

【００３１】また、本実施の形態では、上ローラ２２
ａ，２３ａおよび下ローラ５２ａ，５３ａがピンプレー
ト２１ａを介して扉パネル４０ａに、同様に上ローラ２
２ｂ，２３ｂおよび下ローラ５２ｂ，５３ｂがピンプレ
ート２１ｂを介して扉パネル４０ｂに固定されている
が、上下ローラの数をそれぞれ１個や３個以上とするこ
ともできるし、それぞれピンプレートを介さないで直接
扉パネル４０ａ，４０ｂに固定することもできる。

【００３２】また、この実施の形態では扉パネル４０
ａ，４０ｂ同士をヒンジ５０，５１で連結しているが、
その代わりに蝶番等の他の回動可能な連結方法を採用す
ることもできる。

【００３３】さらに扉パネル４０ａ，４０ｂと上ローラ
部２０ａ，２０ｂのそれぞれ、および下ローラ部５０
ａ，５０ｂのそれぞれとの接続部もピンに限らず、その
他の回動可能な接続手段によることもできる。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明で
は、相互に連結された第１および第２扉パネルの一方側
辺が収納部に固定されず上および下レール部に沿って移
動できるように構成しているので、収納物の配置を自由
に決めることができる。

【００３５】また、引き出し支障域がないため、メンテ
ナンス作業に支障を来すことがなく、作業効率を向上さ
せることができる。

【００３６】請求項２の発明では、扉パネルを取り外し
て収納部の開口部全面を完全に開放できるようにしてい
るので、請求項１よりさらにメンテナンス作業時の作業
効率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態の折り畳み式開閉扉の斜
視図である。

【図２】実施の形態の折り畳み式開閉扉の断面図であ
る。

【図３】実施の形態の折り畳み式開閉扉の上ローラ部と
扉の接続部の拡大斜視図である。

【図４】実施の形態の折り畳み式開閉扉の下ローラ部と
扉の接続部の拡大斜視図である。

【図５】実施の形態の折り畳み式開閉扉の取手の拡大斜
視図である。

【図６】実施の形態の折り畳み式開閉扉の開閉動作の説
明図である。

【図７】実施の形態の折り畳み式開閉扉の取り外し動作
の説明図である。

【図８】この発明の背景技術となる基板処理装置の斜視
図である。

【図９】従来例の開閉扉の引き出し支障域の説明図であ
る。

【符号の説明】

１０ 上レール部 ２０ａ，２０ｂ 上ローラ部 ２１ａ，２１ｂ，５１ａ，５１ｂ ピンプレート ２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂ 上ローラ ３０ａ，３０ｂ 支持板 ３１ａ，３１ｂ 支持板 ４０ａ，４０ｂ 扉パネル ５０ａ，５０ｂ 下ローラ部 ５２ａ，５２ｂ，５３ａ，５３ｂ 下ローラ ６０ 下レール部

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板処理装置内に設けられた収納部の開
   口部に取り付けられる開閉扉において、 前記開口部の上部側で前記開口部の水平長手方向に伸び
   る上レール部と、 前記上レール部と平行に前記開口部の下部側に配置され
   た下レール部と、 前記上レール部に沿って移動可能な第１および第２上ロ
   ーラ部と、 前記下レール部に沿って移動可能な第１および第２下ロ
   ーラ部と、 その一方側辺の上部および下部が前記第１上ローラ部お
   よび前記第１下ローラ部にそれぞれ回動自在に連結され
   た第１扉パネルと、 その一方側辺の上部および下部が前記第２上ローラ部お
   よび前記第２下ローラ部にそれぞれ回動自在に連結され
   た第２扉パネルと、 前記第１および第２扉パネルの他方側辺同士を相互に回
   動自在に連結するヒンジ部と、を備えることを特徴とす
   る折り畳み式開閉扉。
2. 【請求項２】 請求項１の折り畳み式開閉扉において、 前記第１および第２上ローラ部のそれぞれは、前記上レ
   ール部上を鉛直面内で回転する上ローラと、前記上ロー
   ラとそれに対応する扉パネルとを連結するプレートとで
   構成されるとともに、 前記第１および第２下ローラ部のそれぞれは、前記下レ
   ール部の鉛直面と接触しながら水平面内で回転する下ロ
   ーラと、前記下ローラとそれに対応する扉パネルとを連
   結するプレートとで構成されており、 前記第１および第２扉パネルを上方に持ち上げ、さらに
   前記第１および第２扉パネルの下方部を前記開口部に対
   して前記収納部の反対方向に移動させることにより前記
   下ローラが前記下レール部から外れ、それに続いて前記
   第１および第２扉パネルを下方に移動させることにより
   前記上ローラが前記上レール部から外れることを特徴と
   する折り畳み式開閉扉。