JPH0937158A - 固体撮像素子の駆動方法および装置 - Google Patents
固体撮像素子の駆動方法および装置Info
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- JPH0937158A JPH0937158A JP7202798A JP20279895A JPH0937158A JP H0937158 A JPH0937158 A JP H0937158A JP 7202798 A JP7202798 A JP 7202798A JP 20279895 A JP20279895 A JP 20279895A JP H0937158 A JPH0937158 A JP H0937158A
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- driving
- shift register
- signal
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 固体撮像素子の検査のための測定において、
測定時間を増大させることなく、精度を飛躍的に向上さ
せることができるようにする。 【構成】 駆動装置２０がＣＣＤイメージャ１０に与え
る測定用駆動パターンでは、所定の複数行分の信号電荷
を垂直シフトレジスタから水平シフトレジスタに転送す
る期間、水平転送クロックが停止され、これにより、水
平シフトレジスタの駆動が停止される。その後に、水平
転送クロックが出力されたときに、複数行分の信号電荷
が蓄積された水平シフトレジスタが駆動され、複数行分
の信号電荷に対応する信号が出力される。
測定時間を増大させることなく、精度を飛躍的に向上さ
せることができるようにする。 【構成】 駆動装置２０がＣＣＤイメージャ１０に与え
る測定用駆動パターンでは、所定の複数行分の信号電荷
を垂直シフトレジスタから水平シフトレジスタに転送す
る期間、水平転送クロックが停止され、これにより、水
平シフトレジスタの駆動が停止される。その後に、水平
転送クロックが出力されたときに、複数行分の信号電荷
が蓄積された水平シフトレジスタが駆動され、複数行分
の信号電荷に対応する信号が出力される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像素子の検査の
ための測定に適した固体撮像素子の駆動方法および装置
に関する。
ための測定に適した固体撮像素子の駆動方法および装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＣＣＤ（電荷結合素子）等を用い
た固体撮像素子の製造後の検査では、固体撮像素子を通
常の駆動パターンによって駆動し、各種の入力光レベル
に対して得られた信号を外部でゲインアップして対象と
なる信号レベルを増幅し、測定することによって評価を
行っていた。この測定において、固体撮像素子に対して
光を当てない状態での信号レベルすなわち暗信号レベル
を測定する場合等には、対象となる信号レベルが小さい
ため、従来は信号を繰り返し取り込むことによりアベレ
ージング（積算平均化）処理を行って精度を上げてい
た。
た固体撮像素子の製造後の検査では、固体撮像素子を通
常の駆動パターンによって駆動し、各種の入力光レベル
に対して得られた信号を外部でゲインアップして対象と
なる信号レベルを増幅し、測定することによって評価を
行っていた。この測定において、固体撮像素子に対して
光を当てない状態での信号レベルすなわち暗信号レベル
を測定する場合等には、対象となる信号レベルが小さい
ため、従来は信号を繰り返し取り込むことによりアベレ
ージング（積算平均化）処理を行って精度を上げてい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
測定方法では、評価すべき信号量に対してノイズ量が決
まっているので、ノイズも含めてゲインアップしたり、
ノイズを含めた信号のアベレージング処理を行うことに
なり、飛躍的な精度の改善は望めなかった。また、精度
が重要視され、大量の固体撮像素子に対する評価を行わ
なければならない生産選別においては、アベレージング
処理は測定時間が増大して実用的ではないという問題点
があった。
測定方法では、評価すべき信号量に対してノイズ量が決
まっているので、ノイズも含めてゲインアップしたり、
ノイズを含めた信号のアベレージング処理を行うことに
なり、飛躍的な精度の改善は望めなかった。また、精度
が重要視され、大量の固体撮像素子に対する評価を行わ
なければならない生産選別においては、アベレージング
処理は測定時間が増大して実用的ではないという問題点
があった。
【０００４】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その課題は、固体撮像素子の検査のための測定に
おいて、測定時間を増大させることなく、精度を飛躍的
に向上させることができるようにした固体撮像素子の駆
動方法および装置を提供することにある。
ので、その課題は、固体撮像素子の検査のための測定に
おいて、測定時間を増大させることなく、精度を飛躍的
に向上させることができるようにした固体撮像素子の駆
動方法および装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の固体撮像
素子の駆動方法は、行列状に配列された複数の受光部で
得られた信号電荷を１行分ずつ水平シフトレジスタに転
送し、この水平シフトレジスタを水平転送クロックによ
って駆動して信号電荷を順次出力部に転送する固体撮像
素子を駆動する駆動方法であって、所定の複数行分の信
号電荷を水平シフトレジスタに転送する期間、水平シフ
トレジスタの駆動を停止するようにしたものである。
素子の駆動方法は、行列状に配列された複数の受光部で
得られた信号電荷を１行分ずつ水平シフトレジスタに転
送し、この水平シフトレジスタを水平転送クロックによ
って駆動して信号電荷を順次出力部に転送する固体撮像
素子を駆動する駆動方法であって、所定の複数行分の信
号電荷を水平シフトレジスタに転送する期間、水平シフ
トレジスタの駆動を停止するようにしたものである。
【０００６】請求項２記載の固体撮像素子の駆動装置
は、行列状に配列された複数の受光部で得られた信号電
荷を１行分ずつ水平シフトレジスタに転送し、この水平
シフトレジスタを水平転送クロックによって駆動して信
号電荷を順次出力部に転送する固体撮像素子を駆動する
駆動装置であって、所定の複数行分の信号電荷を水平シ
フトレジスタに転送する期間、水平シフトレジスタの駆
動を停止するような水平転送クロックのパターンを生成
するパターン生成手段を有するものである。
は、行列状に配列された複数の受光部で得られた信号電
荷を１行分ずつ水平シフトレジスタに転送し、この水平
シフトレジスタを水平転送クロックによって駆動して信
号電荷を順次出力部に転送する固体撮像素子を駆動する
駆動装置であって、所定の複数行分の信号電荷を水平シ
フトレジスタに転送する期間、水平シフトレジスタの駆
動を停止するような水平転送クロックのパターンを生成
するパターン生成手段を有するものである。
【０００７】請求項３記載の固体撮像素子の駆動方法
は、読み出しクロックが与えられていない間に受光部で
蓄積した信号電荷を、読み出しクロックが与えられたと
きに受光部より出力する固体撮像素子を駆動する駆動方
法であって、通常時における読み出しクロックの周期よ
りも長い所定の期間、読み出しクロックを停止して受光
部からの信号電荷の出力を停止するようにしたものであ
る。
は、読み出しクロックが与えられていない間に受光部で
蓄積した信号電荷を、読み出しクロックが与えられたと
きに受光部より出力する固体撮像素子を駆動する駆動方
法であって、通常時における読み出しクロックの周期よ
りも長い所定の期間、読み出しクロックを停止して受光
部からの信号電荷の出力を停止するようにしたものであ
る。
【０００８】請求項４記載の固体撮像素子の駆動装置
は、読み出しクロックが与えられていない間に受光部で
蓄積した信号電荷を、読み出しクロックが与えられたと
きに受光部より出力する固体撮像素子を駆動する駆動装
置であって、通常時における読み出しクロックの周期よ
りも長い所定の期間、読み出しクロックを停止して受光
部からの信号電荷の出力を停止するような読み出しクロ
ックのパターンを生成するパターン生成手段を有するも
のである。
は、読み出しクロックが与えられていない間に受光部で
蓄積した信号電荷を、読み出しクロックが与えられたと
きに受光部より出力する固体撮像素子を駆動する駆動装
置であって、通常時における読み出しクロックの周期よ
りも長い所定の期間、読み出しクロックを停止して受光
部からの信号電荷の出力を停止するような読み出しクロ
ックのパターンを生成するパターン生成手段を有するも
のである。
【０００９】
【作用】請求項１記載の固体撮像素子の駆動方法または
請求項２記載の固体撮像素子の駆動装置では、所定の複
数行分の信号電荷を水平シフトレジスタに転送する期
間、水平シフトレジスタの駆動が停止され、これによ
り、水平シフトレジスタに複数行分の信号電荷が蓄積さ
れ、ノイズを増大させることなく評価すべき信号量を大
きくすることができる。
請求項２記載の固体撮像素子の駆動装置では、所定の複
数行分の信号電荷を水平シフトレジスタに転送する期
間、水平シフトレジスタの駆動が停止され、これによ
り、水平シフトレジスタに複数行分の信号電荷が蓄積さ
れ、ノイズを増大させることなく評価すべき信号量を大
きくすることができる。
【００１０】請求項３記載の固体撮像素子の駆動方法ま
たは請求項４記載の固体撮像素子の駆動装置では、通常
時における読み出しクロックの周期よりも長い所定の期
間、読み出しクロックが停止されて受光部からの信号電
荷の出力が停止され、これにより、受光部に通常時より
も大きな信号電荷が蓄積され、ノイズを増大させること
なく評価すべき信号量を大きくすることができる。
たは請求項４記載の固体撮像素子の駆動装置では、通常
時における読み出しクロックの周期よりも長い所定の期
間、読み出しクロックが停止されて受光部からの信号電
荷の出力が停止され、これにより、受光部に通常時より
も大きな信号電荷が蓄積され、ノイズを増大させること
なく評価すべき信号量を大きくすることができる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００１２】第１の実施例
【００１３】図１は本発明の第１の実施例に係る固体撮
像素子の駆動方法および装置が適用される固体撮像素子
の測定システムの構成を示すブロック図である。この測
定システムは、測定対象である固体撮像素子としてのＣ
ＣＤイメージャ１０を駆動する駆動装置２０と、ＣＣＤ
イメージャ１０の出力信号を処理してビデオ信号を生成
する信号処理装置３０と、この信号処理装置３０から出
力されるビデオ信号を入力して評価を行うための評価装
置３１とを備えている。評価装置３１としては、ビデオ
信号の信号レベルを測定するためのオシロスコープや、
ビデオ信号に基づく画質を測定するためのモニタ等が用
いられる。
像素子の駆動方法および装置が適用される固体撮像素子
の測定システムの構成を示すブロック図である。この測
定システムは、測定対象である固体撮像素子としてのＣ
ＣＤイメージャ１０を駆動する駆動装置２０と、ＣＣＤ
イメージャ１０の出力信号を処理してビデオ信号を生成
する信号処理装置３０と、この信号処理装置３０から出
力されるビデオ信号を入力して評価を行うための評価装
置３１とを備えている。評価装置３１としては、ビデオ
信号の信号レベルを測定するためのオシロスコープや、
ビデオ信号に基づく画質を測定するためのモニタ等が用
いられる。
【００１４】図２は図１におけるＣＣＤイメージャ１０
の構成を示す説明図である。このＣＣＤイメージャ１０
は、行列状に配列された複数の受光部（画素）１１と、
それぞれ１列分の受光部１１に対して読み出しゲート１
２を介して接続された複数の垂直シフトレジスタ１３
と、この垂直シフトレジスタ１３の下端に接続された水
平シフトレジスタ１４と、この水平シフトレジスタ１４
の一端に接続された出力部１５とを備えている。
の構成を示す説明図である。このＣＣＤイメージャ１０
は、行列状に配列された複数の受光部（画素）１１と、
それぞれ１列分の受光部１１に対して読み出しゲート１
２を介して接続された複数の垂直シフトレジスタ１３
と、この垂直シフトレジスタ１３の下端に接続された水
平シフトレジスタ１４と、この水平シフトレジスタ１４
の一端に接続された出力部１５とを備えている。
【００１５】このＣＣＤイメージャ１０では、通常時に
は、読み出しゲート１２に対して所定の周期で読み出し
クロックが与えられ、読み出しクロックが与えられてい
ない間に受光部１１で蓄積した信号電荷が、読み出しク
ロックが与えられたときに受光部１１より読み出しゲー
ト１２を介して垂直シフトレジスタ１３に出力される。
垂直シフトレジスタ１３は、垂直転送クロックによって
駆動され、水平走査毎に１行分ずつ信号電荷を水平シフ
トレジスタ１４に転送する。水平シフトレジスタ１４
は、水平転送クロックによって駆動され、信号電荷を順
次出力部１５に転送する。出力部１５は、転送されてき
た信号電荷を電圧または電流に変換して出力する。
は、読み出しゲート１２に対して所定の周期で読み出し
クロックが与えられ、読み出しクロックが与えられてい
ない間に受光部１１で蓄積した信号電荷が、読み出しク
ロックが与えられたときに受光部１１より読み出しゲー
ト１２を介して垂直シフトレジスタ１３に出力される。
垂直シフトレジスタ１３は、垂直転送クロックによって
駆動され、水平走査毎に１行分ずつ信号電荷を水平シフ
トレジスタ１４に転送する。水平シフトレジスタ１４
は、水平転送クロックによって駆動され、信号電荷を順
次出力部１５に転送する。出力部１５は、転送されてき
た信号電荷を電圧または電流に変換して出力する。
【００１６】図３は図１における駆動装置２０の構成の
一例を示すブロック図である。この駆動装置２０は、使
用者の設定により、任意の駆動パターンを選択できるよ
うにしたものである。この駆動装置２０は、使用者が駆
動パターンを設定するためのパターン設定部２１と、こ
のパターン設定部２１によって設定された駆動パターン
を作成するパターン作成部２２と、このパターン作成部
２２で作成された駆動パターンに従ってＣＣＤイメージ
ャ１０を駆動するための各種信号、すなわち読み出しク
ロック、垂直転送クロック、水平転送クロック等を出力
するパターン出力部２３とを備えている。
一例を示すブロック図である。この駆動装置２０は、使
用者の設定により、任意の駆動パターンを選択できるよ
うにしたものである。この駆動装置２０は、使用者が駆
動パターンを設定するためのパターン設定部２１と、こ
のパターン設定部２１によって設定された駆動パターン
を作成するパターン作成部２２と、このパターン作成部
２２で作成された駆動パターンに従ってＣＣＤイメージ
ャ１０を駆動するための各種信号、すなわち読み出しク
ロック、垂直転送クロック、水平転送クロック等を出力
するパターン出力部２３とを備えている。
【００１７】図３に示した駆動装置２０では、使用者が
パターン設定部２１によって後述する測定用駆動パター
ンを設定することで、この測定用駆動パターンがパター
ン作成部２２で作成され、この測定用駆動パターンに従
ってパターン出力部２３よりＣＣＤイメージャ１０を駆
動するための各種信号が出力される。従って、この駆動
装置２０によって、本実施例に係る固体撮像素子の駆動
方法を実現することができる。
パターン設定部２１によって後述する測定用駆動パター
ンを設定することで、この測定用駆動パターンがパター
ン作成部２２で作成され、この測定用駆動パターンに従
ってパターン出力部２３よりＣＣＤイメージャ１０を駆
動するための各種信号が出力される。従って、この駆動
装置２０によって、本実施例に係る固体撮像素子の駆動
方法を実現することができる。
【００１８】図４は図１における駆動装置２０の構成の
他の例を示すブロック図である。この駆動装置２０は、
予め測定用駆動パターンを記憶しているものである。こ
の駆動装置２０は、通常の駆動パターンおよび測定用駆
動パターンを含む複数の駆動パターンを記憶するパター
ン記憶部２４と、このパターン記憶部２４によって記憶
された複数の駆動パターンのうちの一つを使用者が選択
するためのパターン選択部２５と、このパターン選択部
２５によって選択された駆動パターンに従ってＣＣＤイ
メージャ１０を駆動するための各種信号を出力するパタ
ーン出力部２６とを備えている。
他の例を示すブロック図である。この駆動装置２０は、
予め測定用駆動パターンを記憶しているものである。こ
の駆動装置２０は、通常の駆動パターンおよび測定用駆
動パターンを含む複数の駆動パターンを記憶するパター
ン記憶部２４と、このパターン記憶部２４によって記憶
された複数の駆動パターンのうちの一つを使用者が選択
するためのパターン選択部２５と、このパターン選択部
２５によって選択された駆動パターンに従ってＣＣＤイ
メージャ１０を駆動するための各種信号を出力するパタ
ーン出力部２６とを備えている。
【００１９】図４に示した駆動装置２０では、使用者が
パターン選択部２５によって測定用駆動パターンを選択
することで、この測定用駆動パターンの情報がパターン
記憶部２４より取り出されて、パターン出力部２６に出
力され、この測定用駆動パターンに従ってパターン出力
部２６よりＣＣＤイメージャ１０を駆動するための各種
信号が出力される。従って、この駆動装置２０によっ
て、本実施例に係る固体撮像素子の駆動方法を実現する
ことができると共に、この駆動装置２０は本実施例に係
る固体撮像素子の駆動装置に対応する。
パターン選択部２５によって測定用駆動パターンを選択
することで、この測定用駆動パターンの情報がパターン
記憶部２４より取り出されて、パターン出力部２６に出
力され、この測定用駆動パターンに従ってパターン出力
部２６よりＣＣＤイメージャ１０を駆動するための各種
信号が出力される。従って、この駆動装置２０によっ
て、本実施例に係る固体撮像素子の駆動方法を実現する
ことができると共に、この駆動装置２０は本実施例に係
る固体撮像素子の駆動装置に対応する。
【００２０】図５は図１における駆動装置２０の構成の
更に他の例を示すブロック図である。この駆動装置２０
は、測定用駆動パターンのみを生成するものである。こ
の駆動装置２０は、測定用駆動パターンのみを記憶する
パターン記憶部２７と、このパターン記憶部２７によっ
て記憶された測定用駆動パターンに従ってＣＣＤイメー
ジャ１０を駆動するための各種信号を出力するパターン
出力部２８とを備えている。
更に他の例を示すブロック図である。この駆動装置２０
は、測定用駆動パターンのみを生成するものである。こ
の駆動装置２０は、測定用駆動パターンのみを記憶する
パターン記憶部２７と、このパターン記憶部２７によっ
て記憶された測定用駆動パターンに従ってＣＣＤイメー
ジャ１０を駆動するための各種信号を出力するパターン
出力部２８とを備えている。
【００２１】図５に示した駆動装置２０では、パターン
記憶部２７に記憶された測定用駆動パターンに従ってパ
ターン出力部２８よりＣＣＤイメージャ１０を駆動する
ための各種信号が出力される。従って、この駆動装置２
０によって、本実施例に係る固体撮像素子の駆動方法を
実現することができると共に、この駆動装置２０は本実
施例に係る固体撮像素子の駆動装置に対応する。
記憶部２７に記憶された測定用駆動パターンに従ってパ
ターン出力部２８よりＣＣＤイメージャ１０を駆動する
ための各種信号が出力される。従って、この駆動装置２
０によって、本実施例に係る固体撮像素子の駆動方法を
実現することができると共に、この駆動装置２０は本実
施例に係る固体撮像素子の駆動装置に対応する。
【００２２】次に、図６を参照して、本実施例に係る固
体撮像素子の駆動方法および装置の作用について説明す
る。図６は本実施例における測定用駆動パターンとその
作用を説明するための波形図である。
体撮像素子の駆動方法および装置の作用について説明す
る。図６は本実施例における測定用駆動パターンとその
作用を説明するための波形図である。
【００２３】図６（ａ）は本実施例との比較のために、
通常の駆動パターンによる水平転送クロックＨφを示し
たものである。図示しない垂直ブランキング期間以外の
期間において、通常の駆動パターンによる水平転送クロ
ックＨφは水平ブランキング期間４０以外のときに出力
され、この水平転送クロックＨφによって、水平シフト
レジスタ１４は信号電荷を順次出力部１５に転送する。
なお、水平ブランキング期間４０では、垂直転送クロッ
クによって垂直シフトレジスタ１３が駆動され、１行分
の信号電荷が水平シフトレジスタ１４に転送される。図
６（ｃ）は、図６（ａ）に示した通常の駆動パターンに
よる水平転送クロックＨφに従って出力部１５より出力
される信号の一例を示したものである。
通常の駆動パターンによる水平転送クロックＨφを示し
たものである。図示しない垂直ブランキング期間以外の
期間において、通常の駆動パターンによる水平転送クロ
ックＨφは水平ブランキング期間４０以外のときに出力
され、この水平転送クロックＨφによって、水平シフト
レジスタ１４は信号電荷を順次出力部１５に転送する。
なお、水平ブランキング期間４０では、垂直転送クロッ
クによって垂直シフトレジスタ１３が駆動され、１行分
の信号電荷が水平シフトレジスタ１４に転送される。図
６（ｃ）は、図６（ａ）に示した通常の駆動パターンに
よる水平転送クロックＨφに従って出力部１５より出力
される信号の一例を示したものである。
【００２４】図６（ｂ）は本実施例における測定用駆動
パターンによる水平転送クロックＨφを示したものであ
る。本実施例における測定用駆動パターンでは、所定の
複数行分の信号電荷を垂直シフトレジスタ１３から水平
シフトレジスタ１４に転送する期間、水平転送クロック
Ｈφが停止され、水平シフトレジスタ１４の駆動が停止
される。なお、このように水平転送クロックＨφが停止
されている期間の後、次の垂直ブランキング期間の前
に、少なくとも１水平走査期間の間は水平転送クロック
Ｈφが出力される。図６（ｄ）は、図６（ｂ）に示した
測定用駆動パターンによる水平転送クロックＨφに従っ
て出力部１５より出力される信号の一例を示したもので
ある。この図に示したように、水平転送クロックＨφが
停止されている間は信号は出力されず、水平シフトレジ
スタ１４には複数行分の信号電荷が蓄積される。そし
て、その後に、水平転送クロックＨφが出力されたとき
に、複数行分の信号電荷が蓄積された水平シフトレジス
タ１４が駆動され、複数行分の信号電荷に対応する信号
が出力される。
パターンによる水平転送クロックＨφを示したものであ
る。本実施例における測定用駆動パターンでは、所定の
複数行分の信号電荷を垂直シフトレジスタ１３から水平
シフトレジスタ１４に転送する期間、水平転送クロック
Ｈφが停止され、水平シフトレジスタ１４の駆動が停止
される。なお、このように水平転送クロックＨφが停止
されている期間の後、次の垂直ブランキング期間の前
に、少なくとも１水平走査期間の間は水平転送クロック
Ｈφが出力される。図６（ｄ）は、図６（ｂ）に示した
測定用駆動パターンによる水平転送クロックＨφに従っ
て出力部１５より出力される信号の一例を示したもので
ある。この図に示したように、水平転送クロックＨφが
停止されている間は信号は出力されず、水平シフトレジ
スタ１４には複数行分の信号電荷が蓄積される。そし
て、その後に、水平転送クロックＨφが出力されたとき
に、複数行分の信号電荷が蓄積された水平シフトレジス
タ１４が駆動され、複数行分の信号電荷に対応する信号
が出力される。
【００２５】図６（ｅ）は通常の駆動パターンによる水
平転送クロックＨφに従って出力された信号における各
画素の評価すべき信号ＳA と出力部１５以降のノイズＳ
N との関係を示したものである。ここで、評価すべき信
号ＳA のレベルをＡ0 、ノイズＳN のレベルをＮとする
と、評価すべき信号ＳA に対するノイズＳN の割合はＮ
／Ａ0 となる。
平転送クロックＨφに従って出力された信号における各
画素の評価すべき信号ＳA と出力部１５以降のノイズＳ
N との関係を示したものである。ここで、評価すべき信
号ＳA のレベルをＡ0 、ノイズＳN のレベルをＮとする
と、評価すべき信号ＳA に対するノイズＳN の割合はＮ
／Ａ0 となる。
【００２６】図６（ｆ）は本実施例における測定用駆動
パターンにより、水平転送クロックＨφが停止されてい
る期間の後に出力される水平転送クロックＨφに従って
出力された信号における評価すべき信号ＳA と出力部１
５以降のノイズＳN との関係を示したものである。評価
すべき信号ＳA のレベルをＡ1 とすると、評価すべき信
号ＳA に対するノイズＳN の割合はＮ／Ａ1 となる。こ
こで、ｍ行分の信号電荷を垂直シフトレジスタ１３から
水平シフトレジスタ１４に転送する期間、水平転送クロ
ックＨφを停止した場合には、Ａ1 はＡ0 の約ｍ倍とな
り、評価すべき信号ＳA に対するノイズＳN の割合は通
常時の約１／ｍとなる。例えば、ｍが１００のときは、
評価すべき信号ＳA に対するノイズＳN の割合は通常時
の約１／１００となる。
パターンにより、水平転送クロックＨφが停止されてい
る期間の後に出力される水平転送クロックＨφに従って
出力された信号における評価すべき信号ＳA と出力部１
５以降のノイズＳN との関係を示したものである。評価
すべき信号ＳA のレベルをＡ1 とすると、評価すべき信
号ＳA に対するノイズＳN の割合はＮ／Ａ1 となる。こ
こで、ｍ行分の信号電荷を垂直シフトレジスタ１３から
水平シフトレジスタ１４に転送する期間、水平転送クロ
ックＨφを停止した場合には、Ａ1 はＡ0 の約ｍ倍とな
り、評価すべき信号ＳA に対するノイズＳN の割合は通
常時の約１／ｍとなる。例えば、ｍが１００のときは、
評価すべき信号ＳA に対するノイズＳN の割合は通常時
の約１／１００となる。
【００２７】このように、本実施例によれば、出力部１
５以降のノイズを増大させることなく、評価すべき信号
のみを大きくすることができるので、固体撮像素子の検
査のための測定において精度を飛躍的に向上させること
ができる。本実施例は、特に、微小な暗信号を評価する
場合のように、評価すべき信号に対する出力部１５以降
のノイズの割合が大きい場合に効果的である。これに対
し、従来のような出力部１５以降における出力信号のゲ
インアップやアベレージング処理では評価すべき信号と
共にノイズも増大するため、精度を改善することは難し
い。また、本実施例によれば、従来のアベレージング処
理のように測定時間が増大することがなく、また、駆動
パターンの変更が容易であることから、精度が重要視さ
れ、大量の固体撮像素子に対する評価を行わなければな
らない生産選別において実用的であり、且つ大変有効で
ある。
５以降のノイズを増大させることなく、評価すべき信号
のみを大きくすることができるので、固体撮像素子の検
査のための測定において精度を飛躍的に向上させること
ができる。本実施例は、特に、微小な暗信号を評価する
場合のように、評価すべき信号に対する出力部１５以降
のノイズの割合が大きい場合に効果的である。これに対
し、従来のような出力部１５以降における出力信号のゲ
インアップやアベレージング処理では評価すべき信号と
共にノイズも増大するため、精度を改善することは難し
い。また、本実施例によれば、従来のアベレージング処
理のように測定時間が増大することがなく、また、駆動
パターンの変更が容易であることから、精度が重要視さ
れ、大量の固体撮像素子に対する評価を行わなければな
らない生産選別において実用的であり、且つ大変有効で
ある。
【００２８】第２の実施例
【００２９】次に、本発明の第２の実施例について説明
する。本実施例において、測定システムの構成、ＣＣＤ
イメージャ１０の構成は、それぞれ図１、図２と同様で
ある。また、駆動装置２０の構成は図３ないし図５と同
様であるが、生成する測定用駆動パターンが第１の実施
例とは異なっている。以下、図７を参照して、本実施例
における測定用駆動パターンとその作用について説明す
る。
する。本実施例において、測定システムの構成、ＣＣＤ
イメージャ１０の構成は、それぞれ図１、図２と同様で
ある。また、駆動装置２０の構成は図３ないし図５と同
様であるが、生成する測定用駆動パターンが第１の実施
例とは異なっている。以下、図７を参照して、本実施例
における測定用駆動パターンとその作用について説明す
る。
【００３０】図７（ａ）は本実施例との比較のために、
通常の駆動パターンによる読み出しクロックＳＧ１，Ｓ
Ｇ２を示したものである。この例は、フレーム読み出し
モード（フレーム蓄積モードともいう。）でＣＣＤイメ
ージャ１０を駆動する場合の例であり、読み出しクロッ
クＳＧ１は奇数フィールドにおいて奇数行の読み出しゲ
ート１２を開き、読み出しクロックＳＧ２は偶数フィー
ルドにおいて偶数行の読み出しゲート１２を開く。読み
出しクロックＳＧ１，ＳＧ２が与えられていない間に受
光部１１で蓄積された信号電荷は、読み出しクロックＳ
Ｇ１，ＳＧ２が与えられたときに、読み出しゲート１２
を介して受光部１１より垂直シフトレジスタ１３に出力
される。図７（ａ）に示したように、通常の駆動パター
ンによる読み出しクロックＳＧ１，ＳＧ２は、１フィー
ルド毎に交互に出力され、それぞれ周期は１フレームで
ある。図７（ｃ）は、図７（ａ）に示した通常の駆動パ
ターンによる読み出しクロックＳＧ１，ＳＧ２に従って
出力部１５より出力される信号の一例を示したものであ
る。
通常の駆動パターンによる読み出しクロックＳＧ１，Ｓ
Ｇ２を示したものである。この例は、フレーム読み出し
モード（フレーム蓄積モードともいう。）でＣＣＤイメ
ージャ１０を駆動する場合の例であり、読み出しクロッ
クＳＧ１は奇数フィールドにおいて奇数行の読み出しゲ
ート１２を開き、読み出しクロックＳＧ２は偶数フィー
ルドにおいて偶数行の読み出しゲート１２を開く。読み
出しクロックＳＧ１，ＳＧ２が与えられていない間に受
光部１１で蓄積された信号電荷は、読み出しクロックＳ
Ｇ１，ＳＧ２が与えられたときに、読み出しゲート１２
を介して受光部１１より垂直シフトレジスタ１３に出力
される。図７（ａ）に示したように、通常の駆動パター
ンによる読み出しクロックＳＧ１，ＳＧ２は、１フィー
ルド毎に交互に出力され、それぞれ周期は１フレームで
ある。図７（ｃ）は、図７（ａ）に示した通常の駆動パ
ターンによる読み出しクロックＳＧ１，ＳＧ２に従って
出力部１５より出力される信号の一例を示したものであ
る。
【００３１】図７（ｂ）は本実施例における測定用駆動
パターンによる読み出しクロックＳＧ１，ＳＧ２を示し
たものである。本実施例における測定用駆動パターンで
は、読み出しクロックＳＧ１，ＳＧ２の周期は通常時に
おける周期（１フレーム）よりも長い期間、例えば４フ
レームになっている。従って、本実施例における測定用
駆動パターンでは、通常時における読み出しクロックＳ
Ｇ１，ＳＧ２の周期（１フレーム）よりも長い所定の期
間（４フレーム）、読み出しクロックＳＧ１，ＳＧ２が
停止され、その間、受光部１１からの信号電荷の出力が
停止される。図７（ｄ）は、図７（ｂ）に示した測定用
駆動パターンによる読み出しクロックＳＧ１，ＳＧ２に
従って出力部１５より出力される信号の一例を示したも
のである。この図に示したように、読み出しクロックＳ
Ｇ１，ＳＧ２が停止されている間は信号は出力されず、
受光部１１にはその間、信号電荷が蓄積される。そし
て、その後に読み出しクロックＳＧ１，ＳＧ２が出力さ
れたときに、受光部１１から信号電荷が垂直シフトレジ
スタ１３に出力され、最終的に出力部１５より信号が出
力される。
パターンによる読み出しクロックＳＧ１，ＳＧ２を示し
たものである。本実施例における測定用駆動パターンで
は、読み出しクロックＳＧ１，ＳＧ２の周期は通常時に
おける周期（１フレーム）よりも長い期間、例えば４フ
レームになっている。従って、本実施例における測定用
駆動パターンでは、通常時における読み出しクロックＳ
Ｇ１，ＳＧ２の周期（１フレーム）よりも長い所定の期
間（４フレーム）、読み出しクロックＳＧ１，ＳＧ２が
停止され、その間、受光部１１からの信号電荷の出力が
停止される。図７（ｄ）は、図７（ｂ）に示した測定用
駆動パターンによる読み出しクロックＳＧ１，ＳＧ２に
従って出力部１５より出力される信号の一例を示したも
のである。この図に示したように、読み出しクロックＳ
Ｇ１，ＳＧ２が停止されている間は信号は出力されず、
受光部１１にはその間、信号電荷が蓄積される。そし
て、その後に読み出しクロックＳＧ１，ＳＧ２が出力さ
れたときに、受光部１１から信号電荷が垂直シフトレジ
スタ１３に出力され、最終的に出力部１５より信号が出
力される。
【００３２】図７（ｅ）は通常の駆動パターンによる読
み出しクロックＳＧ１，ＳＧ２に従って出力された信号
における各画素の評価すべき信号ＳA と出力部１５以降
のノイズＳN との関係を示したものである。ここで、評
価すべき信号ＳA のレベルをＡ0 、ノイズＳN のレベル
をＮとすると、評価すべき信号ＳA に対するノイズＳN
の割合はＮ／Ａ0 となる。
み出しクロックＳＧ１，ＳＧ２に従って出力された信号
における各画素の評価すべき信号ＳA と出力部１５以降
のノイズＳN との関係を示したものである。ここで、評
価すべき信号ＳA のレベルをＡ0 、ノイズＳN のレベル
をＮとすると、評価すべき信号ＳA に対するノイズＳN
の割合はＮ／Ａ0 となる。
【００３３】図７（ｆ）は本実施例における測定用駆動
パターンによる読み出しクロックＳＧ１，ＳＧ２に従っ
て出力された信号における評価すべき信号ＳA と出力部
１５以降のノイズＳN との関係を示したものである。評
価すべき信号ＳA のレベルをＡ2 とすると、評価すべき
信号ＳA に対するノイズＳN の割合はＮ／Ａ2 となる。
ここで、ｎフレームの期間、読み出しクロックＳＧ１，
ＳＧ２を停止した場合には、Ａ2 はＡ0 の約ｎ倍とな
り、評価すべき信号ＳA に対するノイズＳN の割合は通
常時の約１／ｎとなる。例えば、図７（ｂ）の例のよう
にｎが４のときは、評価すべき信号ＳA に対するノイズ
ＳN の割合は通常時の約１／４となる。
パターンによる読み出しクロックＳＧ１，ＳＧ２に従っ
て出力された信号における評価すべき信号ＳA と出力部
１５以降のノイズＳN との関係を示したものである。評
価すべき信号ＳA のレベルをＡ2 とすると、評価すべき
信号ＳA に対するノイズＳN の割合はＮ／Ａ2 となる。
ここで、ｎフレームの期間、読み出しクロックＳＧ１，
ＳＧ２を停止した場合には、Ａ2 はＡ0 の約ｎ倍とな
り、評価すべき信号ＳA に対するノイズＳN の割合は通
常時の約１／ｎとなる。例えば、図７（ｂ）の例のよう
にｎが４のときは、評価すべき信号ＳA に対するノイズ
ＳN の割合は通常時の約１／４となる。
【００３４】このように、本実施例によれば、第１の実
施例と同様に、出力部１５以降のノイズを増大させるこ
となく、評価すべき信号のみを大きくすることができる
ので、固体撮像素子の検査のための測定において精度を
飛躍的に向上させることができる。本実施例では、特
に、画素単位で評価すべき信号を大きくすることができ
るので、光を当てない状態で画素から発生する大きな信
号（図７（ｅ），（ｆ）において他の部分よりも突出し
た信号）、いわゆる白きずの発見が容易になる。本実施
例のその他の作用および効果は第１の実施例と同様であ
る。
施例と同様に、出力部１５以降のノイズを増大させるこ
となく、評価すべき信号のみを大きくすることができる
ので、固体撮像素子の検査のための測定において精度を
飛躍的に向上させることができる。本実施例では、特
に、画素単位で評価すべき信号を大きくすることができ
るので、光を当てない状態で画素から発生する大きな信
号（図７（ｅ），（ｆ）において他の部分よりも突出し
た信号）、いわゆる白きずの発見が容易になる。本実施
例のその他の作用および効果は第１の実施例と同様であ
る。
【００３５】なお、本発明は上記各実施例に限定され
ず、例えば、図２にはインターライン型のＣＣＤイメー
ジャを示したが、本発明はインターライン型に限らず、
フレームトランスファ型やフレームインターライントラ
ンスファ型のＣＣＤイメージャに対しても適用すること
ができる。
ず、例えば、図２にはインターライン型のＣＣＤイメー
ジャを示したが、本発明はインターライン型に限らず、
フレームトランスファ型やフレームインターライントラ
ンスファ型のＣＣＤイメージャに対しても適用すること
ができる。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように請求項１記載の固体
撮像素子の駆動方法または請求項２記載の固体撮像素子
の駆動装置によれば、所定の複数行分の信号電荷を水平
シフトレジスタに転送する期間、水平シフトレジスタの
駆動を停止するようにしたので、固体撮像素子の検査の
ための測定において、水平シフトレジスタに複数行分の
信号電荷を蓄積させて、ノイズを増大させることなく評
価すべき信号量を大きくすることができ、測定時間を増
大させることなく精度を飛躍的に向上させることができ
るという効果がある。
撮像素子の駆動方法または請求項２記載の固体撮像素子
の駆動装置によれば、所定の複数行分の信号電荷を水平
シフトレジスタに転送する期間、水平シフトレジスタの
駆動を停止するようにしたので、固体撮像素子の検査の
ための測定において、水平シフトレジスタに複数行分の
信号電荷を蓄積させて、ノイズを増大させることなく評
価すべき信号量を大きくすることができ、測定時間を増
大させることなく精度を飛躍的に向上させることができ
るという効果がある。
【００３７】また、請求項３記載の固体撮像素子の駆動
方法または請求項４記載の固体撮像素子の駆動装置によ
れば、通常時における読み出しクロックの周期よりも長
い所定の期間、読み出しクロックを停止して受光部から
の信号電荷の出力を停止させるようにしたので、固体撮
像素子の検査のための測定において、受光部に通常時よ
りも大きな信号電荷を蓄積させて、ノイズを増大させる
ことなく評価すべき信号量を大きくすることができ、測
定時間を増大させることなく精度を飛躍的に向上させる
ことができるという効果がある。
方法または請求項４記載の固体撮像素子の駆動装置によ
れば、通常時における読み出しクロックの周期よりも長
い所定の期間、読み出しクロックを停止して受光部から
の信号電荷の出力を停止させるようにしたので、固体撮
像素子の検査のための測定において、受光部に通常時よ
りも大きな信号電荷を蓄積させて、ノイズを増大させる
ことなく評価すべき信号量を大きくすることができ、測
定時間を増大させることなく精度を飛躍的に向上させる
ことができるという効果がある。
【図１】本発明の第１の実施例に係る固体撮像素子の駆
動方法および装置が適用される固体撮像素子の測定シス
テムを構成を示すブロック図である。
動方法および装置が適用される固体撮像素子の測定シス
テムを構成を示すブロック図である。
【図２】図１におけるＣＣＤイメージャの構成図であ
る。
る。
【図３】図１における駆動装置の構成の一例を示すブロ
ック図である。
ック図である。
【図４】図１における駆動装置の構成の他の例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図５】図１における駆動装置の構成の更に他の例を示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図６】本発明の第１の実施例における測定用駆動パタ
ーンとその作用を説明するための波形図である。
ーンとその作用を説明するための波形図である。
【図７】本発明の第２の実施例における測定用駆動パタ
ーンとその作用を説明するための波形図である。
ーンとその作用を説明するための波形図である。
１０ ＣＣＤイメージャ １１ 受光部 １２ 読み出しゲート １３ 垂直シフトレジスタ １４ 水平シフトレジスタ １５ 出力部 ２０ 駆動装置 ２１ パターン設定部 ２２ パターン作成部 ２３，２６，２８ パターン出力部 ２４，２７ パターン記憶部 ２５ パターン選択部
Claims (4)
- 【請求項１】 行列状に配列された複数の受光部で得ら
れた信号電荷を１行分ずつ水平シフトレジスタに転送
し、この水平シフトレジスタを水平転送クロックによっ
て駆動して信号電荷を順次出力部に転送する固体撮像素
子を駆動する駆動方法であって、 所定の複数行分の信号電荷を水平シフトレジスタに転送
する期間、水平シフトレジスタの駆動を停止することを
特徴とする固体撮像素子の駆動方法。 - 【請求項２】 行列状に配列された複数の受光部で得ら
れた信号電荷を１行分ずつ水平シフトレジスタに転送
し、この水平シフトレジスタを水平転送クロックによっ
て駆動して信号電荷を順次出力部に転送する固体撮像素
子を駆動する駆動装置であって、 所定の複数行分の信号電荷を水平シフトレジスタに転送
する期間、水平シフトレジスタの駆動を停止するような
水平転送クロックのパターンを生成するパターン生成手
段を有することを特徴とする固体撮像素子の駆動装置。 - 【請求項３】 読み出しクロックが与えられていない間
に受光部で蓄積した信号電荷を、読み出しクロックが与
えられたときに受光部より出力する固体撮像素子を駆動
する駆動方法であって、 通常時における読み出しクロックの周期よりも長い所定
の期間、読み出しクロックを停止して受光部からの信号
電荷の出力を停止することを特徴とする固体撮像素子の
駆動方法。 - 【請求項４】 読み出しクロックが与えられていない間
に受光部で蓄積した信号電荷を、読み出しクロックが与
えられたときに受光部より出力する固体撮像素子を駆動
する駆動装置であって、 通常時における読み出しクロックの周期よりも長い所定
の期間、読み出しクロックを停止して受光部からの信号
電荷の出力を停止するような読み出しクロックのパター
ンを生成するパターン生成手段を有することを特徴とす
る固体撮像素子の駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7202798A JPH0937158A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | 固体撮像素子の駆動方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7202798A JPH0937158A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | 固体撮像素子の駆動方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0937158A true JPH0937158A (ja) | 1997-02-07 |
Family
ID=16463374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7202798A Pending JPH0937158A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | 固体撮像素子の駆動方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0937158A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007036461A (ja) * | 2005-07-25 | 2007-02-08 | Fujifilm Holdings Corp | 固体撮像素子のノイズ発生源特定方法 |
-
1995
- 1995-07-18 JP JP7202798A patent/JPH0937158A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007036461A (ja) * | 2005-07-25 | 2007-02-08 | Fujifilm Holdings Corp | 固体撮像素子のノイズ発生源特定方法 |
| JP4522337B2 (ja) * | 2005-07-25 | 2010-08-11 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子のノイズ発生源特定方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040406 |