JPH09329427A - 非球面形状の測定方法 - Google Patents
非球面形状の測定方法Info
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- JPH09329427A JPH09329427A JP8168313A JP16831396A JPH09329427A JP H09329427 A JPH09329427 A JP H09329427A JP 8168313 A JP8168313 A JP 8168313A JP 16831396 A JP16831396 A JP 16831396A JP H09329427 A JPH09329427 A JP H09329427A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】簡易な手法にて非球面形状を測定することがで
きる方法を提供する。 【解決手段】光源１からの一部の光を参照面６で反射さ
せ、他の一部の光を非球面波発生手段４を介して被検非
球面５で反射させ、被検非球面５で反射した測定光を非
球面波発生手段４に戻し、参照面６で反射した参照光と
非球面波発生手段４からの測定光とを干渉させて干渉縞
を形成し、該干渉縞を観測することによって被検非球面
５の形状を測定する非球面形状の測定方法において、非
球面波発生手段４と被検非球面５とを当接させる工程を
含むことを特徴とする。
きる方法を提供する。 【解決手段】光源１からの一部の光を参照面６で反射さ
せ、他の一部の光を非球面波発生手段４を介して被検非
球面５で反射させ、被検非球面５で反射した測定光を非
球面波発生手段４に戻し、参照面６で反射した参照光と
非球面波発生手段４からの測定光とを干渉させて干渉縞
を形成し、該干渉縞を観測することによって被検非球面
５の形状を測定する非球面形状の測定方法において、非
球面波発生手段４と被検非球面５とを当接させる工程を
含むことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、非球面レンズな
どの非球面形状の測定方法に関する。
どの非球面形状の測定方法に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】干渉計を使用して非球
面形状の測定を行う場合、干渉縞の間隔が最も広がり、
したがって干渉縞の本数が最小となる位置が、被検非球
面を測定するための設置位置となる。このため、被検非
球面に入射する非球面波面を生成する光学系と、被検非
球面との間隔が不正確になり、十分な測定精度が得られ
なかった。そこで特開平６−１１３２３号公報には、被
検非球面に対応した非球面波と、被検非球面の位置検出
を行う光との２種類の光を被検非球面に入射する手法が
開示されている。
面形状の測定を行う場合、干渉縞の間隔が最も広がり、
したがって干渉縞の本数が最小となる位置が、被検非球
面を測定するための設置位置となる。このため、被検非
球面に入射する非球面波面を生成する光学系と、被検非
球面との間隔が不正確になり、十分な測定精度が得られ
なかった。そこで特開平６−１１３２３号公報には、被
検非球面に対応した非球面波と、被検非球面の位置検出
を行う光との２種類の光を被検非球面に入射する手法が
開示されている。
【０００３】しかるにこのような２種類の光をゾーンプ
レートによって生成しようとすると、ゾーンプレートの
製作が困難になり、また回折効率が低下するなどの問題
が生じ、更に光学系の色収差も問題となる。したがって
本発明は、簡易な手法にて非球面形状を測定することが
できる方法を提供することを課題とする。
レートによって生成しようとすると、ゾーンプレートの
製作が困難になり、また回折効率が低下するなどの問題
が生じ、更に光学系の色収差も問題となる。したがって
本発明は、簡易な手法にて非球面形状を測定することが
できる方法を提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、非球面波を発
生する手段と被検非球面とを当接させ、あるいは非球面
波を発生する手段と被検非球面との間に介在させた中間
光学系と、被検非球面とを当接させることによって、上
記課題を解決したものである。すなわち本発明は、光源
からの一部の光を参照面で反射させ、他の一部の光を非
球面波発生手段を介して被検非球面で反射させ、被検非
球面で反射した測定光を非球面波発生手段に戻し、参照
面で反射した参照光と非球面波発生手段からの測定光と
を干渉させて干渉縞を形成し、干渉縞を観測することに
よって被検非球面の形状を測定する非球面形状の測定方
法において、非球面波発生手段と被検非球面とを当接さ
せる工程を含むことを特徴とする非球面形状の測定方法
である。本発明はまた、光源からの一部の光を参照面で
反射させ、他の一部の光を非球面波発生手段と中間光学
系とを介して被検非球面で反射させ、被検非球面で反射
した測定光を中間光学系を介して非球面波発生手段に戻
し、参照面で反射した参照光と非球面波発生手段からの
測定光とを干渉させて干渉縞を形成し、干渉縞を観測す
ることによって被検非球面の形状を測定する非球面形状
の測定方法において、中間光学系と被検非球面とを当接
させる工程を含むことを特徴とする非球面形状の測定方
法である。
生する手段と被検非球面とを当接させ、あるいは非球面
波を発生する手段と被検非球面との間に介在させた中間
光学系と、被検非球面とを当接させることによって、上
記課題を解決したものである。すなわち本発明は、光源
からの一部の光を参照面で反射させ、他の一部の光を非
球面波発生手段を介して被検非球面で反射させ、被検非
球面で反射した測定光を非球面波発生手段に戻し、参照
面で反射した参照光と非球面波発生手段からの測定光と
を干渉させて干渉縞を形成し、干渉縞を観測することに
よって被検非球面の形状を測定する非球面形状の測定方
法において、非球面波発生手段と被検非球面とを当接さ
せる工程を含むことを特徴とする非球面形状の測定方法
である。本発明はまた、光源からの一部の光を参照面で
反射させ、他の一部の光を非球面波発生手段と中間光学
系とを介して被検非球面で反射させ、被検非球面で反射
した測定光を中間光学系を介して非球面波発生手段に戻
し、参照面で反射した参照光と非球面波発生手段からの
測定光とを干渉させて干渉縞を形成し、干渉縞を観測す
ることによって被検非球面の形状を測定する非球面形状
の測定方法において、中間光学系と被検非球面とを当接
させる工程を含むことを特徴とする非球面形状の測定方
法である。
【０００５】非球面波発生手段としては、非球面波発生
手段又は中間光学系と被検非球面とを当接させた状態
で、被検非球面の形状に対応した非球面波を発生するも
のを用いることもできるし、非球面波発生手段又は中間
光学系と被検非球面とが当接していない状態で、被検非
球面の形状に対応した非球面波を発生するものを用いる
こともできる。前者の場合には当然に、非球面波発生手
段又は中間光学系と被検非球面とを当接させた状態で、
測定を行うことになる。また後者の場合には、非球面波
発生手段又は中間光学系と被検非球面とを当接させた後
に、既定の間隔だけ被検非球面を後退させた状態で測定
を行うことになる。したがって後者の場合には、干渉縞
の観察に関して余裕をもつことができ、また、非球面波
発生手段又は中間光学系と被検非球面との当接に起因し
て生じ得る誤差を除去することができる。
手段又は中間光学系と被検非球面とを当接させた状態
で、被検非球面の形状に対応した非球面波を発生するも
のを用いることもできるし、非球面波発生手段又は中間
光学系と被検非球面とが当接していない状態で、被検非
球面の形状に対応した非球面波を発生するものを用いる
こともできる。前者の場合には当然に、非球面波発生手
段又は中間光学系と被検非球面とを当接させた状態で、
測定を行うことになる。また後者の場合には、非球面波
発生手段又は中間光学系と被検非球面とを当接させた後
に、既定の間隔だけ被検非球面を後退させた状態で測定
を行うことになる。したがって後者の場合には、干渉縞
の観察に関して余裕をもつことができ、また、非球面波
発生手段又は中間光学系と被検非球面との当接に起因し
て生じ得る誤差を除去することができる。
【０００６】以上のように本発明によれば、非球面波発
生手段又は中間光学系と、被検非球面との間隔を正確に
知ることができ、すなわち光軸ｚ方向についての被検非
球面の位置を正確に知ることができる。したがって被検
非球面のアライメントは、光軸ｚと平行な方向へのシフ
トと、光軸ｚに対して回転する方向へのチルトだけとな
る。
生手段又は中間光学系と、被検非球面との間隔を正確に
知ることができ、すなわち光軸ｚ方向についての被検非
球面の位置を正確に知ることができる。したがって被検
非球面のアライメントは、光軸ｚと平行な方向へのシフ
トと、光軸ｚに対して回転する方向へのチルトだけとな
る。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面によっ
て説明する。図１は第１実施例を示し、光源１からの光
はコリメータレンズ２を透過して平行光となる。平行光
のうち一部の光はビームスプリッタ３を透過し、他の一
部の光はビームスプリッタ３で反射する。ビームスプリ
ッタ３を透過した測定光は、ゾーンプレート４によって
非球面波に変換されて、被検非球面５に入射する。被検
非球面５に入射した測定光は、被検非球面５で反射して
往路を逆進し、すなわちゾーンプレート４を透過して平
行光となり、ビームスプリッタ３に戻る。ビームスプリ
ッタ３に戻った測定光の全部又は一部は、ビームスプリ
ッタ３で反射し、結像光学系７を透過して、ＣＣＤ８上
に被検非球面５の像を結像する。
て説明する。図１は第１実施例を示し、光源１からの光
はコリメータレンズ２を透過して平行光となる。平行光
のうち一部の光はビームスプリッタ３を透過し、他の一
部の光はビームスプリッタ３で反射する。ビームスプリ
ッタ３を透過した測定光は、ゾーンプレート４によって
非球面波に変換されて、被検非球面５に入射する。被検
非球面５に入射した測定光は、被検非球面５で反射して
往路を逆進し、すなわちゾーンプレート４を透過して平
行光となり、ビームスプリッタ３に戻る。ビームスプリ
ッタ３に戻った測定光の全部又は一部は、ビームスプリ
ッタ３で反射し、結像光学系７を透過して、ＣＣＤ８上
に被検非球面５の像を結像する。
【０００８】他方、ビームスプリッタ３で反射した参照
光は、参照面６で反射してビームスプリッタ３に戻る。
ビームスプリッタ３に戻った参照光の全部又は一部は、
ビームスプリッタ３を透過し、結像光学系７を透過して
ＣＣＤ８上に至る。したがってＣＣＤ８上には、測定光
と参照光との干渉によって干渉縞が形成され、この干渉
縞をＣＣＤ８を介して観測することにより、被検非球面
５の形状を測定することができる。図２は第１実施例の
要部拡大図を示し、同図に示すように、ゾーンプレート
４と被検非球面５とは当接して配置されている。ゾーン
プレート４は、この当接状態で被検非球面５の形状に対
応した非球面波を発生するように形成されている。
光は、参照面６で反射してビームスプリッタ３に戻る。
ビームスプリッタ３に戻った参照光の全部又は一部は、
ビームスプリッタ３を透過し、結像光学系７を透過して
ＣＣＤ８上に至る。したがってＣＣＤ８上には、測定光
と参照光との干渉によって干渉縞が形成され、この干渉
縞をＣＣＤ８を介して観測することにより、被検非球面
５の形状を測定することができる。図２は第１実施例の
要部拡大図を示し、同図に示すように、ゾーンプレート
４と被検非球面５とは当接して配置されている。ゾーン
プレート４は、この当接状態で被検非球面５の形状に対
応した非球面波を発生するように形成されている。
【０００９】本実施例は以上のように構成されており、
この実施例によれば、ゾーンプレート４と被検非球面５
との間隔を設計値通りに正確に、すなわち間隔が０とな
るように容易に配置することができる。したがって非球
面形状の測定精度を向上することができる。なお本実施
例ではトワイマン・グリーン型の干渉計を示したが、フ
ィゾー型の干渉計についても本発明を適用することがで
きる。以下の各実施例についても同様である。
この実施例によれば、ゾーンプレート４と被検非球面５
との間隔を設計値通りに正確に、すなわち間隔が０とな
るように容易に配置することができる。したがって非球
面形状の測定精度を向上することができる。なお本実施
例ではトワイマン・グリーン型の干渉計を示したが、フ
ィゾー型の干渉計についても本発明を適用することがで
きる。以下の各実施例についても同様である。
【００１０】次に図３は第２実施例を示す。上記第１実
施例のゾーンプレート４は、被検非球面５との当接状態
で、被検非球面５の形状に対応した非球面波を発生する
ように形成されていたが、この第２実施例のゾーンプレ
ート４は、被検非球面５と離隔した状態で、被検非球面
５の形状に対応した非球面波を発生するように形成され
ている。このゾーンプレート４を用いた非球面形状の測
定は、次のように行う。先ず図３（Ａ）に示すように、
ゾーンプレート４と被検非球面５とを当接させる。次い
で図３（Ｂ）に示すように、被検非球面５を当接状態か
ら一定の間隔ｄだけ離隔し、この状態で被検非球面の形
状を測定する。ゾーンプレート４は、当然にこの間隔ｄ
だけ被検非球面５を離隔した状態で、被検非球面５の形
状に対応した非球面波を発生するように形成されてい
る。被検非球面を離隔させる間隔ｄについては、例えば
距離測定用干渉計を用いて正確に測定することができ
る。この測定方法によれば、上記第１実施例と同様に非
球面形状の測定精度の向上を図ることができるほか、干
渉縞の観察に関して余裕をもつことができ、また、ゾー
ンプレート４と被検非球面５との当接に起因して生じ得
る誤差を除去することができる。
施例のゾーンプレート４は、被検非球面５との当接状態
で、被検非球面５の形状に対応した非球面波を発生する
ように形成されていたが、この第２実施例のゾーンプレ
ート４は、被検非球面５と離隔した状態で、被検非球面
５の形状に対応した非球面波を発生するように形成され
ている。このゾーンプレート４を用いた非球面形状の測
定は、次のように行う。先ず図３（Ａ）に示すように、
ゾーンプレート４と被検非球面５とを当接させる。次い
で図３（Ｂ）に示すように、被検非球面５を当接状態か
ら一定の間隔ｄだけ離隔し、この状態で被検非球面の形
状を測定する。ゾーンプレート４は、当然にこの間隔ｄ
だけ被検非球面５を離隔した状態で、被検非球面５の形
状に対応した非球面波を発生するように形成されてい
る。被検非球面を離隔させる間隔ｄについては、例えば
距離測定用干渉計を用いて正確に測定することができ
る。この測定方法によれば、上記第１実施例と同様に非
球面形状の測定精度の向上を図ることができるほか、干
渉縞の観察に関して余裕をもつことができ、また、ゾー
ンプレート４と被検非球面５との当接に起因して生じ得
る誤差を除去することができる。
【００１１】次に図４は第３実施例を示す。上記第１及
び第２実施例では、ゾーンプレート４のパターン面４ａ
を被検非球面５側の面に形成し、したがってゾーンプレ
ート４のパターン面４ａと被検非球面５とを当接させて
いたが、この第３実施例では、ゾーンプレート４のパタ
ーン面４ａを被検非球面５と反対側の面に形成したもの
である。この第３実施例では、ゾーンプレート４のパタ
ーン面４ａの反対側の面が被検非球面５と当接するか
ら、ゾーンプレート４の基板を均一に形成する必要が生
じるものの、ゾーンプレート４のパターン面４ａを破損
するおそれがない。
び第２実施例では、ゾーンプレート４のパターン面４ａ
を被検非球面５側の面に形成し、したがってゾーンプレ
ート４のパターン面４ａと被検非球面５とを当接させて
いたが、この第３実施例では、ゾーンプレート４のパタ
ーン面４ａを被検非球面５と反対側の面に形成したもの
である。この第３実施例では、ゾーンプレート４のパタ
ーン面４ａの反対側の面が被検非球面５と当接するか
ら、ゾーンプレート４の基板を均一に形成する必要が生
じるものの、ゾーンプレート４のパターン面４ａを破損
するおそれがない。
【００１２】次に図５は第４実施例を示す。上記第１〜
第３実施例ではゾーンプレート４と被検非球面５とを直
接当接させていたが、この第４実施例ではゾーンプレー
ト４と被検非球面５との間に平行平面ガラス９を介在さ
せ、この平行平面ガラス９と被検非球面５とを当接させ
たものである。この第５実施例の場合にも、ゾーンプレ
ート４の基板を均一に形成する必要が生じるものの、ゾ
ーンプレート４のパターン面４ａを破損するおそれがな
くなる。なおゾーンプレート４のパターン面４ａは、図
５に示すように平行平面ガラス９の側に形成することも
できるほか、平行平面ガラス９と反対側に形成してもよ
い。
第３実施例ではゾーンプレート４と被検非球面５とを直
接当接させていたが、この第４実施例ではゾーンプレー
ト４と被検非球面５との間に平行平面ガラス９を介在さ
せ、この平行平面ガラス９と被検非球面５とを当接させ
たものである。この第５実施例の場合にも、ゾーンプレ
ート４の基板を均一に形成する必要が生じるものの、ゾ
ーンプレート４のパターン面４ａを破損するおそれがな
くなる。なおゾーンプレート４のパターン面４ａは、図
５に示すように平行平面ガラス９の側に形成することも
できるほか、平行平面ガラス９と反対側に形成してもよ
い。
【００１３】次に図６は第５実施例を示す。上記各実施
例では非球面波発生手段としてゾーンプレート４を用い
ていたが、この第５実施例は非球面波発生手段としてヌ
ルレンズ１０を用いたものである。すなわち本発明は、
非球面波発生手段の如何を問わず適用することができ
る。
例では非球面波発生手段としてゾーンプレート４を用い
ていたが、この第５実施例は非球面波発生手段としてヌ
ルレンズ１０を用いたものである。すなわち本発明は、
非球面波発生手段の如何を問わず適用することができ
る。
【００１４】次に図７は第６実施例を示す。上記各実施
例では被検非球面５が凸面状である場合を示したが、こ
の第６実施例は被検非球面５が凹面状である場合を示
す。この場合には図７に示すごとく、被検非球面５の外
周部がゾーンプレート４と当接した状態で被検非球面形
状を測定し、あるいは当接した後に一定の間隔ｄだけ被
検非球面を後退させた後に測定することになる。被検非
球面５の外周部がゾーンプレート４と当接した状態にお
ける光軸ｚ上での被検非球面５とゾーンプレート４との
間隔ａは、別途の手段で測定しておくことになる。
例では被検非球面５が凸面状である場合を示したが、こ
の第６実施例は被検非球面５が凹面状である場合を示
す。この場合には図７に示すごとく、被検非球面５の外
周部がゾーンプレート４と当接した状態で被検非球面形
状を測定し、あるいは当接した後に一定の間隔ｄだけ被
検非球面を後退させた後に測定することになる。被検非
球面５の外周部がゾーンプレート４と当接した状態にお
ける光軸ｚ上での被検非球面５とゾーンプレート４との
間隔ａは、別途の手段で測定しておくことになる。
【００１５】次に図８は第７実施例を示す。上記第６実
施例ではゾーンプレート４の被検非球面５側の面が平面
であり、被検非球面５が凹面状であったために、被検非
球面５の外周部がゾーンプレート４と当接していたが、
この第７実施例では、ゾーンプレート４の被検非球面５
側の面の曲率を、被検非球面５の曲率よりもきつく形成
しており、したがって被検非球面５が凹面状であるにも
拘わらず、ゾーンプレート４と被検非球面５とは光軸ｚ
上にて当接する。したがって上記第６実施例における間
隔ａの測定を行う必要がなくなる。なお本実施例のゾー
ンプレート４は、被検非球面５が凸面状であるときに
も、当然に使用することができる。またゾーンプレート
４の被検非球面５と反対側の面は、必ずしも平面である
必要はない。
施例ではゾーンプレート４の被検非球面５側の面が平面
であり、被検非球面５が凹面状であったために、被検非
球面５の外周部がゾーンプレート４と当接していたが、
この第７実施例では、ゾーンプレート４の被検非球面５
側の面の曲率を、被検非球面５の曲率よりもきつく形成
しており、したがって被検非球面５が凹面状であるにも
拘わらず、ゾーンプレート４と被検非球面５とは光軸ｚ
上にて当接する。したがって上記第６実施例における間
隔ａの測定を行う必要がなくなる。なお本実施例のゾー
ンプレート４は、被検非球面５が凸面状であるときに
も、当然に使用することができる。またゾーンプレート
４の被検非球面５と反対側の面は、必ずしも平面である
必要はない。
【００１６】
【発明の効果】以上のように本発明方法は、非球面波発
生手段ないしは中間光学系と被検非球面とを当接させる
工程によって、非球面波発生手段ないしは中間光学系と
被検非球面との間隔を正確に０にすることができるか
ら、被検非球面形状の測定精度を飛躍的に向上すること
ができる。
生手段ないしは中間光学系と被検非球面とを当接させる
工程によって、非球面波発生手段ないしは中間光学系と
被検非球面との間隔を正確に０にすることができるか
ら、被検非球面形状の測定精度を飛躍的に向上すること
ができる。
【図１】本発明の第１実施例を示す構成図
【図２】第１実施例の要部を示す拡大図
【図３】第２実施例の要部を示す拡大図
【図４】第３実施例の要部を示す拡大図
【図５】第４実施例の要部を示す拡大図
【図６】第５実施例の要部を示す拡大図
【図７】第６実施例の要部を示す拡大図
【図８】第７実施例の要部を示す拡大図
１…光源 ２…コリメータレン
ズ ３…ビームスプリッタ３ ４…ゾーンプレート ４ａ…パターン面 ５…被検非球面 ６…参照面 ７…結像光学系 ８…ＣＣＤ ９…平行平面ガラス １０…ヌルレンズ
ズ ３…ビームスプリッタ３ ４…ゾーンプレート ４ａ…パターン面 ５…被検非球面 ６…参照面 ７…結像光学系 ８…ＣＣＤ ９…平行平面ガラス １０…ヌルレンズ
Claims (12)
- 【請求項１】光源からの一部の光を参照面で反射させ、
他の一部の光を非球面波発生手段を介して被検非球面で
反射させ、該被検非球面で反射した測定光を前記非球面
波発生手段に戻し、前記参照面で反射した参照光と前記
非球面波発生手段からの測定光とを干渉させて干渉縞を
形成し、該干渉縞を観測することによって前記被検非球
面の形状を測定する非球面形状の測定方法において、 前記非球面波発生手段と前記被検非球面とを当接させる
工程を含むことを特徴とする非球面形状の測定方法。 - 【請求項２】前記非球面波発生手段は、該非球面波発生
手段と前記被検非球面とを当接させた状態で、前記被検
非球面の形状に対応した非球面波を発生するものであ
る、請求項１記載の非球面形状の測定方法。 - 【請求項３】前記非球面波発生手段は、該非球面波発生
手段と前記被検非球面とを当接させた後に、予め定めた
一定の間隔だけ前記非球面波発生手段と被検非球面とを
離隔した状態で、前記被検非球面の形状に対応した非球
面波を発生するものである、請求項１記載の非球面形状
の測定方法。 - 【請求項４】非球面波発生手段と被検非球面との前記当
接が、非球面波発生手段と被検非球面との光軸上にて行
われるように、前記非球面波発生手段の最も被検非球面
側の面の曲率を形成した、請求項１、２又は３記載の非
球面形状の測定方法。 - 【請求項５】光源からの一部の光を参照面で反射させ、
他の一部の光を非球面波発生手段と中間光学系とを介し
て被検非球面で反射させ、該被検非球面で反射した測定
光を前記中間光学系を介して前記非球面波発生手段に戻
し、前記参照面で反射した参照光と前記非球面波発生手
段からの測定光とを干渉させて干渉縞を形成し、該干渉
縞を観測することによって前記被検非球面の形状を測定
する非球面形状の測定方法において、 前記中間光学系と前記被検非球面とを当接させる工程を
含むことを特徴とする非球面形状の測定方法。 - 【請求項６】前記非球面波発生手段は、前記中間光学系
と被検非球面とを当接させた状態で、前記被検非球面の
形状に対応した非球面波を発生するものである、請求項
５記載の非球面形状の測定方法。 - 【請求項７】前記非球面波発生手段は、前記中間光学系
と被検非球面とを当接させた後に、予め定めた一定の間
隔だけ前記中間光学系と被検非球面とを離隔した状態
で、前記被検非球面の形状に対応した非球面波を発生す
るものである、請求項５記載の非球面形状の測定方法。 - 【請求項８】中間光学系と被検非球面との前記当接が、
中間光学系と被検非球面との光軸上にて行われるよう
に、前記中間光学系の最も被検非球面側の面の曲率を形
成した、請求項５、６又は７記載の非球面形状の測定方
法。 - 【請求項９】前記非球面波発生手段がゾーンプレートで
ある、請求項１〜８のいずれか１項記載の非球面形状の
測定方法。 - 【請求項１０】前記ゾーンプレートのパターン面を、前
記被検非球面側の面に形成した、請求項９記載の非球面
形状の測定方法。 - 【請求項１１】前記ゾーンプレートのパターン面を、前
記被検非球面側の反対側の面に形成した、請求項９記載
の非球面形状の測定方法。 - 【請求項１２】前記非球面波発生手段がヌルレンズであ
る、請求項１〜８のいずれか１項記載の非球面形状の測
定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8168313A JPH09329427A (ja) | 1996-06-07 | 1996-06-07 | 非球面形状の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8168313A JPH09329427A (ja) | 1996-06-07 | 1996-06-07 | 非球面形状の測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09329427A true JPH09329427A (ja) | 1997-12-22 |
Family
ID=15865724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8168313A Pending JPH09329427A (ja) | 1996-06-07 | 1996-06-07 | 非球面形状の測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09329427A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102013203882A1 (de) | 2012-03-09 | 2013-09-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Verfahren zum Messen einer asphärischen Oberfläche, Vorrichtung zum Messen einer asphärischen Oberfläche, Vorrichtung zum Erzeugen eines optischen Elements und optisches Element |
| DE102013203883A1 (de) | 2012-03-09 | 2013-09-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Verfahren zum Messen einer asphärischen Oberfläche, Vorrichtung zum Messen einer asphärischen Oberfläche, Vorrichtung zum Erzeugen eines optischen Elements und optisches Element |
| DE102013004043A1 (de) | 2012-03-09 | 2013-09-12 | Canon K.K. | Messverfahren für eine asphärische Oberfläche, Messvorrichtung für eine asphärische Oberfläche, Fertigungsvorrichtung für ein optisches Element und optisches Element |
-
1996
- 1996-06-07 JP JP8168313A patent/JPH09329427A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102013203882A1 (de) | 2012-03-09 | 2013-09-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Verfahren zum Messen einer asphärischen Oberfläche, Vorrichtung zum Messen einer asphärischen Oberfläche, Vorrichtung zum Erzeugen eines optischen Elements und optisches Element |
| DE102013203883A1 (de) | 2012-03-09 | 2013-09-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Verfahren zum Messen einer asphärischen Oberfläche, Vorrichtung zum Messen einer asphärischen Oberfläche, Vorrichtung zum Erzeugen eines optischen Elements und optisches Element |
| DE102013004043A1 (de) | 2012-03-09 | 2013-09-12 | Canon K.K. | Messverfahren für eine asphärische Oberfläche, Messvorrichtung für eine asphärische Oberfläche, Fertigungsvorrichtung für ein optisches Element und optisches Element |
| US8947676B2 (en) | 2012-03-09 | 2015-02-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Aspheric surface measuring method, aspheric surface measuring apparatus, optical element producing apparatus and optical element |
| US8947675B2 (en) | 2012-03-09 | 2015-02-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Aspheric surface measuring method, aspheric surface measuring apparatus, optical element producing apparatus and optical element |
| DE102013004043B4 (de) * | 2012-03-09 | 2016-01-28 | Canon K.K. | Messverfahren für eine asphärische Oberfläche, Messvorrichtung für eine asphärische Oberfläche, Fertigungsvorrichtung für ein optisches Element und optisches Element |
| DE102013203883B4 (de) * | 2012-03-09 | 2016-02-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Verfahren zum Messen einer asphärischen Oberfläche, Vorrichtung zum Messen einer asphärischen Oberfläche, Vorrichtung zum Erzeugen eines optischen Elements und optisches Element |
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