JPH09325480A - 感光性組成物、感光材料、レリーフパターンの製造法及びポリイミドパターンの製造法 - Google Patents
感光性組成物、感光材料、レリーフパターンの製造法及びポリイミドパターンの製造法Info
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- JPH09325480A JPH09325480A JP8142776A JP14277696A JPH09325480A JP H09325480 A JPH09325480 A JP H09325480A JP 8142776 A JP8142776 A JP 8142776A JP 14277696 A JP14277696 A JP 14277696A JP H09325480 A JPH09325480 A JP H09325480A
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Abstract
組成物及び、感光材料、優れた耐熱性、密着性及び耐薬
品性を示すポリイミドパターンを与えるレリーフパター
ンの製造法及びポリイミドパターンの製造法を提供す
る。 【解決手段】 下記一般式(I) 例えば、2,2′,4,4′,5,5′−ヘキサアリル
ビスイミダゾールで示される芳香族ビスイミダゾール化
合物、芳香族メルカプト化合物及び常圧において100
℃以上の沸点を有する付加重合性化合物を含有してなる
感光性組成物、前記芳香族ビスイミダゾール化合物、芳
香族メルカプト化合物、化学線により2量化又は重合可
能な炭素炭素二重結合及びエステル結合基又は尿素結合
基を有するポリアミドを含有してなる感光材料、前記感
光性組成物又は前記感光材料の塗膜に活性光線をパター
ン状に照射し、未照射部を現像除去するレリーフパター
ンの製造法並びにレリーフパターンを加熱するポリイミ
ドパターンの製造法。
Description
材料、レリーフパターンの製造法及びポリイミドパター
ンの製造法に関する。
自体でフォトパターニング性を兼備しているものは感光
性ポリイミドと呼ばれ、半導体の表面保護膜用等に用い
られる。感光性ポリイミドにはいくつかの感光性付与方
式が知られている。代表的なものには、特公昭55−4
1422号公報で提案されているようなポリアミド酸の
ヒドロキシアクリレートとのエステルとしたものや、特
開昭54−145794号公報で提案されているような
ポリアミド酸にアミノアクリレートのようなものを配合
し感光性基を塩結合で導入するものが知られている。こ
れらの材料はポリアミド酸自体が剛直なために、スピン
コート等によって作製する膜状態では従来の紫外線硬化
塗料やドライフィルムレジストと比較して低感度となる
欠点がある。これを改良すべくオキシムエステル系化合
物、フェニルグリシン系化合物等を添加することにより
高感度化することができる。しかし一方で、保存時の極
性溶媒中に溶解した状態において保存時のワニスの粘度
変化や感光特性が低下してしまう欠点がある。このた
め、膜状態での高感度化と保存時の溶液状態での保存安
定性を両立できない問題があった。
は、優れた感光特性及び保存安定性を示す感光性組成物
を提供するものである。請求項2記載の発明は、優れた
感光特性、保存安定性及び耐熱性を示す感光材料を提供
するものである。請求項3記載の発明は、請求項2記載
の発明の効果に加えて、より優れた感光特性を示す感光
材料を提供するものである。請求項4記載の発明は、優
れた耐熱性、密着性及び耐薬品性を示すポリイミドパタ
ーンを与えるレリーフパターンの製造法を提供するもの
である。請求項5記載の発明は、優れた耐熱性、密着性
及び耐薬品性を示すポリイミドパターンの製造法を提供
するものである。
(I)
9、R10、R11、R12、R13、R14及びR15は、各々独
立に、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、ハロゲン
原子、トリハロメチル基又は炭素数1〜5のアルコキシ
基を表す)で示される芳香族ビスイミダゾール化合物、
芳香族メルカプト化合物及び常圧において100℃以上
の沸点を有する付加重合性化合物を含有してなる感光性
組成物に関する。
9、R10、R11、R12、R13、R14及びR15は、各々独
立に、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、ハロゲン
原子、トリハロメチル基又は炭素数1〜5のアルコキシ
基を表す)で示される芳香族ビスイミダゾール化合物、
芳香族メルカプト化合物、化学線により2量化又は重合
可能な炭素炭素二重結合及びエステル結合基又は尿素結
合基を有するポリアミドを含有してなる感光材料に関す
る。
物を含有する前記感光材料に関する。また、本発明は、
前記感光性組成物又は前記感光材料の塗膜に活性光線を
パターン状に照射し、未照射部を現像除去することを特
徴とするレリーフパターンの製造法に関する。また、本
発明は、前記製造法により得られたレリーフパターンを
加熱することを特徴とするポリイミドパターンの製造法
に関する。
般式(I)
9、R10、R11、R12、R13、R14及びR15は、各々独
立に、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、ハロゲン
原子、トリハロメチル基又は炭素数1〜5のアルコキシ
基を表す)で示される芳香族ビスイミダゾール化合物、
芳香族メルカプト化合物及び常圧において100℃以上
の沸点を有する付加重合性化合物を必須成分として含有
する。
ビスイミダゾール化合物としては、例えば、2,2′,
4,4′,5,5′−ヘキサアリルビスイミダゾール、
2,2′−ビス(o−クロロフェニル)−4,4′,
5,5′−テトラフェニルビスイミダゾール、2,2′
−ビス(o−フルオロフェニル)−4,4′,5,5′
−テトラフェニルビスイミダゾール、2,2′−ビス
(o−トリフルオロメチルフェニル)−4,4′,5,
5′−テトラフェニルビスイミダゾール、2,2′−ビ
ス(o−クロロフェニル)−4,4′,5,5′−テト
ラ−(p−メトキシフェニル)ビスイミダゾール、2,
2′−ビス(o−クロロフェニル)−4,4′,5,
5′−テトラ−(m−メトキシフェニル)ビスイミダゾ
ール、2,2′−ビス(o−クロロフェニル)−4,
4′,5,5′−テトラ−(3,4−ジメトキシフェニ
ル)ビスイミダゾール等が挙げられる。これらは単独で
又は2種類以上を組み合わせて使用される。これらの芳
香族ビスイミダゾール化合物の使用量については、特に
制限はないが、通常、本発明の感光性組成物において芳
香族ビスイミダゾール化合物を除く固型分100重量部
に対して、0.01〜1重量部である。
しては、例えば、ベンゼン又は複素環を母核とし、メル
カプト基を1つ若しくは2つ有するもの等が挙げられ、
2置換の場合には、一方のメルカプト基が、アルキル、
アラルキル又はフェニル置換されていてもよく、さら
に、アルキレン基を介在した二量体又はジスルフィドの
形をとった二量体であってもよい。これらの芳香族メル
カプト化合物の中で、2−メルカプトベンゾチアゾー
ル、2−メルカプトベンゾオキサゾール等が好ましいも
のとして挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を
組み合わせて使用される。これらの芳香族メルカプト化
合物の使用量については、特に制限はないが、通常、本
発明の感光性樹脂組成物において、芳香族メルカプト化
合物を除く固型分100重量部に対して0.1〜10重
量部である。
の沸点を有する付加重合性化合物としては、例えば、多
価アルコールとα,β−不飽和カルボン酸とを縮合して
得られる化合物(エチレングリコールジアクリレート、
トリエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレ
ングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパン
ジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレ
ート、1,2−プロピレングリコールジアクリレート、
ジ(1,2−プロピレングリコール)ジアクリレート、
トリ(1,2−プロピレングリコール)ジアクリレー
ト、テトラ(1,2−プロピレングリコール)ジアクリ
レート、ジメチルアミノエチルアクリレート、ジエチル
アミノエチルアクリレート、ジメチルアミノプロピルア
クリレート、ジエチルアミノプロピルアクリレート、
1,4−ブタンジオールジアクリレート、1,6−ヘキ
サンジオールジアクリレート、ペンタエリスリトールト
リアクリレート、これらに対応するメタクリレート
等)、スチレン、ジビニルベンゼン、4−ビニルトルエ
ン、4−ビニルピリジン、N−ビニルピロリドン、2−
ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチル
メタクリレート、1,3−アクリロイルオキシ−2−ヒ
ドロキシプロパン、1,3−メタアクリロイルオキシ−
2−ヒドロキシプロパン、メチレンビスアクリルアミ
ド、N,N−ジメチルアクリルアミド、N−メチロール
アクリルアミド等が挙げられ、これらは単独で又は2種
以上を組み合わせて使用される。
種以上の高分子量有機重合体を含有してもよい。感光性
組成物中に高分子量有機重合体を加えることによって、
基体への接着性、耐薬品性、フィルム性等の特性を改良
することができる。この高分子量有機重合体は、光硬化
性の点から高分子量有機重合体と前記の付加重合性化合
物の総量100重量に対して0.1〜70重量部とする
ことが好ましい。高分子量有機重合体の重量平均分子量
(ゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定し、
標準ポリスチレン換算した値。以下同様)は、10,0
00から700,000が好ましい。
ポリエステル(多価アルコール(ジエチレングリコー
ル、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコー
ル、トリメチロールプロパン、ネオペンチルグリコール
等)と多価カルボン酸(テレフタル酸、イソフタル酸、
セバシン酸、アジピン酸等)から製造したコポリエステ
ル等)、ビニルポリマ(メタクリル酸、アクリル酸、メ
タクリル酸又はアクリル酸のエステル(メチルアクリレ
ート、エチルアクリレート、ブチルアクリレート、2−
ヒドロキシエチルアクリレート、フェニルアクリレー
ト、ベンジルアクリレート、2−ジメチルアミノエチル
アクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、これ
らに対応するメタクリレート等)などのホモポリマ又は
コポリマなど)、ポリホルムアルデヒド、ポリウレタ
ン、ポリカーボネート、ポリアミド、セルロースエステ
ル(メチルセルロース、エチルセルロース等)、ポリア
ミド酸などが挙げられる。
ものを使用できるが、例えば、テトラカルボン酸二無水
物とジアミン化合物を付加重合させて得られるものが挙
げられる。
ば、ピロメリット酸二無水物、3,3′,4,4′−ベ
ンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3′,
4,4′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、1,
2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、
2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水
物、2,3,5,6−ピリジンテトラカルボン酸二無水
物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無
水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二
無水物、4,4′−スルホニルジフタル酸二無水物、m
−ターフェニル−3,3″,4,4″−テトラカルボン
酸二無水物、p−ターフェニル−3,3″,4,4″−
テトラカルボン酸二無水物、4,4′−オキシジフタル
酸二無水物、1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロ
−2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロ
パン二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフ
ェニル)プロパン二無水物、2,2−ビス(3,4−ジ
カルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1,1,
3,3,3−ヘキサフルオロ−2,2′−ビス[4−
(2,3−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパ
ン二無水物、1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロ
−2,2′−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノ
キシ)フェニル]プロパン二無水物が挙げられる。これ
らのテトラカルボン酸二無水物は単独で又は2種以上を
組み合わせて使用される。
ェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、p−キシ
リレンジアミン、m−キシリレンジアミン、1,5−ジ
アミノナフタレン、ベンジジン、3,3′−ジメチルベ
ンジジン、3,3′−ジメトキシベンジジン、4,4′
(又は3,4′−、3,3′−、2,4′−)−ジアミ
ノジフェニルメタン、4,4′(又は3,4′−、3,
3′−、2,4′−)−ジアミノジフェニルエーテル、
4,4′(又は3,4′−、3,3′−、2,4′−)
−ジアミノジフェニルスルフォン、4,4′(又は3,
4′−、3,3′−、2,4′−)−ジアミノジフェニ
ルスルフィド、4,4′−ベンゾフェノンジアミン、
3,3′−ベンゾフェノンジアミン、4,4′−ジ(4
−アミノフェノキシ)フェニルスルフォン、4,4′−
ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、1,4−ビ
ス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス
(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,1,1,3,
3,3−ヘキサフルオロ−2,2−ビス(4−アミノフ
ェニル)プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフ
ェノキシ)フェニル]プロパン、3,3′−ジメチル−
4,4′−ジアミノジフェニルメタン、3,3′,5,
5′−テトラメチル−4,4′−ジアミノジフェニルメ
タン、4,4′−ジ(3−アミノフェノキシ)フェニル
スルホン、3,3′−ジアミノジフェニルスルホン、
2,2′−ビス(4−アミノフェニル)プロパン、2,
2′−ジメチル−4,4′−ジアミノビフェニル、2,
2′−トリフルオロメチル−4,4′−ジアミノビフェ
ニル、2,2′,6,6′−テトラメチル−4,4′−
ジアミノビフェニル、2,2′,6,6′−テトラトリ
フルオロメチル−4,4′−ジアミノビフェニル等の芳
香族ジアミン、2,6−ジアミノピリジン、2,4−ジ
アミノピリミジン、2,4−ジアミノ−s−トリアジ
ン、2,7−ジアミノベンゾフラン、2,7−ジアミノ
カルバゾール、3,7−ジアミノフェノチアジン、2,
5−ジアミノ−1,3,4−チアジアゾール、2,4−
ジアミノ−6−フェニル−s−トリアジン等の複素環式
ジアミン、トリメチレンジアミン、テトラメチレンジア
ミン、ヘキサメチレンジアミン、2,2−ジメチルプロ
ピレンジアミン、下記一般式(II)
素数1〜6のアルキル基を示し、m及びnは、各々独立
に、1〜10の整数である)で表されるジアミノポリシ
ロキサン等の脂肪族ジアミンなどが挙げられる。これら
のジアミン化合物は単独で又は2種以上を組み合わせて
使用される。
剤を含有してもよい。そのような増感剤としては、例え
ば、7−N,N−ジエチルアミノクマリン、3,3′−
カルボニルビス(7−N,N−ジエチルアミノ)クマリ
ン、3,3′−カルボニルビス(7−N,N−ジメトキ
シ)クマリン、3−チエニルカルボニル−7−N,N−
ジエチルアミノクマリン、3−ベンゾイルクマリン、3
−ベンゾイル−7−N,N−メトキシクマリン、3−
(4′−メトキシベンゾイル)クマリン、3,3′−カ
ルボニルビス−5,7−(ジメトキシ)クマリン、ベン
ザルアセトフェノン、4′−N,N−ジメチルアミノベ
ンザルアセトフェノン、4′−アセトアミノベンザル−
4−メトキシアセトフェノン等が挙げられる。これら
は、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用される。
これらの増感剤の使用量については、特に制限はない
が、通常、本発明の感光性組成物において、増感剤を除
く固形分100重量部に対して0.1〜10重量部であ
る。
開始剤を含有してもよい。そのような光開始剤として
は、例えば、ミヒラーズケトン、ベンゾインメチルエー
テル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロ
ピルエーテル、2−t−ブチルアントラキノン、2−エ
チルアントラキノン、4,4′−ビス(p−N,N−ジ
エチルアミノ)ベンゾフェノン、アセトフェノン、ベン
ゾフェノン、チオキサントン、2,2−ジメトキシ−2
−フェニルアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキ
シルフェニルケトン、2−メチル−[4−(メチルチ
オ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン、
ベンジル、ジフェニルジスルフィド、フェナンスレンキ
ノン、2−イソプロピルチオキサントン、リボフラビン
テトラブチレート、N−フェニルジエタノールアミン、
2−(o−エトキシカルボニル)オキシイミノ−1,3
−ジフェニルプロパンジオン、1−フェニル−2−(o
−エトキシカルボニル)オキシイミノプロパン−1−オ
ン、3,3′,4,4′−テトラ(t−ブチルパーオキ
シカルボニル)ベンゾフェノン、N−(p−シアノフェ
ニル)グリシン、N−(p−メチルスルホニルフェニ
ル)グリシン等が挙げられる。これらは、単独で又は2
種類以上を組み合わせて使用される。これらの光開始剤
の使用量については特に制限はないが、通常、本発明の
感光性組成物において、光開始剤を除く固型分100重
量部に対して0.1〜10重量部である。
溶剤を含有してもよい。そのような有機溶剤としては、
例えば、アセトン、メチルエチルケトン、ジエチルケト
ン、トルエン、クロロホルム、メタノール、エタノー
ル、1−プロパノール、2−プロパノール、1−ブタノ
ール、2−ブタノール、t−ブタノール、エチレングリ
コールモノメチルエーテル、キシレン、テトラヒドロフ
ラン、ジオキサン、N,N−ジメチルアセトアミド、
N,N−ジメチルホルムアミド、N−メチル−2−ピロ
リドン、γ−ブチロラクトン、ジメチルスルホキシド、
エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート、スル
ホラン等が用いられる。これらの有機溶剤は単独で又は
2種類以上を組み合わせて使用される。そのような有機
溶剤の使用量は、特に制限はないが、塗工性等の点か
ら、感光性組成物の固型分が5〜95重量%となるよう
な量が好ましく、10〜50重量%となるような量がよ
り好ましい。
ば、可塑剤、接着促進剤等の添加物を含有してもよい。
9、R10、R11、R12、R13、R14及びR15は、各々独
立に、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、ハロゲン
原子、トリハロメチル基又は炭素数1〜5のアルコキシ
基を表す)で示される芳香族ビスイミダゾール化合物、
芳香族メルカプト化合物、化学線により2量化又は重合
可能な炭素炭素二重結合及びエステル結合基又は尿素結
合基を有するポリアミドを必須成分として含有する。
素二重結合及びエステル結合基又は尿素結合基を有する
ポリアミドとしては、例えば、前記したテトラカルボン
酸二無水物を、アクリル基又はメタクリル基含有アルコ
ール若しくはアクリル基又はメタクリル基を含まないア
ルコールと反応させて、テトラカルボン酸ジエステルを
生じさせ、このテトラカルボン酸ジエステルとジアミン
化合物を縮合重合する方法、前記したポリアミド酸のカ
ルボキシル基に、アクリル基又はメタクリル基含有アル
コール若しくはアクリル基又はメタクリル基を含まない
アルコールを反応させる方法、尿素結合基を介して、下
記式
合を有するジアミンと前記したテトラカルボン酸二無水
物とを縮合重合する方法などにより得ることができる。
ルとしては、例えば、2−ヒドロキシエチルアクリレー
ト、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、3−ヒドロ
キシプロピルアクリレート、3−ヒドロキシプロピルメ
タクリレート等が挙げられ、これらは単独で又は2種類
以上を組み合わせて使用される。また、アクリル基又は
メタクリル基を含まないアルコールとしては、例えば、
メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノ
ール、n−ブタノール、sec−ブタノール、tert−ブタ
ノール、ペンタノール、ヘキサノール。ヘプタノール、
オクタノール等が挙げられ、これらは単独で又は2種類
以上を組み合わせて使用される。
ド化合物を含んでもよく、そのようなビスアジド化合物
としては、次の化合物が挙げられる。
用量は耐熱性、光硬化性等の点からポリアミド100重
量部に対して0.01〜10重量部であることが好まし
い。
剤を含有してもよい。そのような光開始剤としては前記
したものが挙げられる。光開始剤を使用する場合、その
使用量は、耐熱性、光硬化性等の点から、ポリアミド1
00重量部に対して0.1〜10重量部であることが好
ましい。
を含有してもよい。そのような増感剤としては前記した
ものが挙げられる。増感剤を使用する場合、その使用量
は、耐熱性、光硬化性等の点から、ポリアミド100重
量部に対して0.1〜10重量部であることが好まし
い。
剤を含有してもよい。そのような有機溶剤としては前記
したものが挙げられる。有機溶剤を使用する場合、その
使用量は、特に制限はないが、塗工性等の点から、感光
材料の固型分が5〜95重量%となるような量であるこ
とが好ましく、10〜50重量%となるような量である
ことがより好ましい。
等の添加剤を含有してもよい。
漬法、スプレー法、スクリーン印刷法、回転塗布法等に
よってシリコーンウエーハ、金属基板、ガラス基板、セ
ラミック基板等の基材上に塗布され、有機溶剤を含む場
合はそれらの有機溶剤の大部分を加熱乾燥することによ
り、粘着性のない塗膜とすることができる。この塗膜上
に、パターン状に活性光線を照射する。照射する活性光
線としては、紫外線、遠紫外線、可視光、電子線、X線
などがある。照射後未照射部を適当な現像液で溶解除去
することにより所望のレリーフパターンを得る。
ば、1,1,1−トリクロロエタン等の難燃性溶媒、
N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセ
トアミド、N−メチル−2−ピロリドン等の良溶媒と低
級アルコール、水、芳香族炭化水素等の貧溶媒との混合
溶媒などが用いられる。現像後は必要に応じて貧溶媒等
でリンスを行い、100℃前後で乾燥しレリーフパター
ンを安定なものとできる。このようにして得られたレリ
ーフパターンを加熱(通常、80〜400℃で5〜30
0分間)することにより、イミド閉環させポリイミドパ
ターンを得ることができる。上記レリーフパターン又は
ポリイミドパターンをマスクとして、SiO、SiN等
の無機物を用いて形成されたパッシベーション膜をドラ
イエッチング等により加工することができる。
水物1当量に2−ヒドロキシエチルメタクリレート2当
量を反応させた、3,3′,4,4′−ビフェニルテト
ラカルボン酸ジ(2−ヒドロキシエチルメタクリレー
ト)エステル0.50モル及び3,3′,4,4′−ビ
フェニルテトラカルボン酸二無水物1当量にメタノール
2当量を反応させた、3,3′,4,4′−ビフェニル
テトラカルボン酸ジメチルエステル0.50モルとの混
合物と、4,4′−ジアミノジフェニルエーテル1.0
0モルとを、塩化チオニル2.20モルを縮合剤として
反応させて得られたポリアミド酸エステルのN−メチル
−2−ピロリドン溶液10g(固形分20重量%)、テ
トラ(1,2−プロピレングリコール)ジアクリレート
0.50g、表1に示す芳香族ビスイミダゾール化合
物、芳香族メルカプト化合物及びビスアジド化合物を配
合した後、攪拌混合し、感光材料を得た。
後、シリコンウエハ上に回転塗布し、ホットプレート上
100℃で200秒間加熱して溶剤を乾燥させて感光性
塗膜とした。乾燥後の膜厚は20ミクロンであった。塗
膜上にフォトマスクを介し、超高圧水銀灯を光源とする
ミラープロジェクション露光機でパターン露光を行っ
た。このときの露光量は、100mJ/cm2であった。次い
で、N−メチル−2−ピロリドンとメチルアルコールの
混合溶液(容積比4/1)で浸漬現像を行った後、エタ
ノールでリンスし、レリーフパターンを得た。得られた
レリーフパターンの残膜率(膜厚を初期の膜厚で割った
値)及び最小開口スルーホール径(開口径)を測定し、
結果を表1に合わせて示した。また、得られたパターン
形状を、顕微鏡を使用して目視で観察し、その結果も表
1に合わせて示した。
ルメタクリレート2当量を反応させた、オキシジフタル
酸ジ(2−ヒドロキシエチルメタクリレート)エステル
0.50モル及びオキシジフタル酸二無水物1当量にメ
タノール2当量を反応させたオキシジフタル酸ジメチル
エステル0.50モルとの混合物と、4,4′−ジアミ
ノジフェニルエーテル0.95モルと1,1′,3,
3′−テトラメチル−2,2′−ジ(アミノプロピル)
ジシロキサン0.05モルとの混合物とを、塩化チオニ
ル2.20モルを縮合剤として反応させて得られたポリ
アミド酸エステルのN−メチル−2−ピロリドン溶液1
0g(固形分20重量%)、テトラ(1,2−プロピレ
ングリコール)ジアクリレート0.50g、表2に示し
た芳香族ビスイミダゾール化合物、芳香族メルカプト化
合物及びビスアジド化合物を配合した後、攪拌混合し感
光材料を得た。
て、レリーフパターンを作製し、得られたレリーフパタ
ーンの残膜率(膜厚を初期の膜厚で割った値)、最小開
口スルーホール径(開口径)及びパターン形状を、実施
例1と同様にして評価し、結果を表2に合わせて示し
た。
囲気下で、100℃で15分間、200℃で20分間、
350℃で60分間加熱し、ポリイミドパターンを得
た。得られたポリイミドパターンの膜厚は10ミクロン
であり、良好なポリイミドパターンが得られた。
比較例の組成物に比べて感光特性に優れたものであるこ
とがわかる。
感光特性及び保存安定性を示す。請求項2記載の感光材
料は、優れた感光特性、保存安定性及び耐熱性を示す。
請求項3記載の感光材料は、請求項2記載の発明の効果
を奏し、より優れた感光特性を示す。請求項4記載のレ
リーフパターンの製造法は、優れた耐熱性、密着性及び
耐薬品性を示すポリイミドパターンを与える。請求項5
記載のポリイミドパターンの製造法は、優れた耐熱性、
密着性及び耐薬品性を示す。
Claims (5)
- 【請求項1】 下記一般式(I) 【化1】 (式中、R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R
9、R10、R11、R12、R13、R14及びR15は、各々独
立に、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、ハロゲン
原子、トリハロメチル基又は炭素数1〜5のアルコキシ
基を表す)で示される芳香族ビスイミダゾール化合物、
芳香族メルカプト化合物及び常圧において100℃以上
の沸点を有する付加重合性化合物を含有してなる感光性
組成物。 - 【請求項2】 下記一般式(I) 【化2】 (式中、R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R
9、R10、R11、R12、R13、R14及びR15は、各々独
立に、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、ハロゲン
原子、トリハロメチル基又は炭素数1〜5のアルコキシ
基を表す)で示される芳香族ビスイミダゾール化合物、
芳香族メルカプト化合物、化学線により2量化又は重合
可能な炭素炭素二重結合及びエステル結合基又は尿素結
合基を有するポリアミドを含有してなる感光材料。 - 【請求項3】 さらに、ビスアジド化合物を含有する請
求項2記載の感光材料。 - 【請求項4】 請求項1記載の感光性組成物又は請求項
2若しくは3記載の感光材料の塗膜に活性光線をパター
ン状に照射し、未照射部を現像除去することを特徴とす
るレリーフパターンの製造法。 - 【請求項5】 請求項4記載の製造法により得られたレ
リーフパターンを加熱することを特徴とするポリイミド
パターンの製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14277696A JP3748086B2 (ja) | 1996-06-05 | 1996-06-05 | 感光材料、レリーフパターンの製造法及びポリイミドパターンの製造法 |
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JP14277696A JP3748086B2 (ja) | 1996-06-05 | 1996-06-05 | 感光材料、レリーフパターンの製造法及びポリイミドパターンの製造法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH09325480A true JPH09325480A (ja) | 1997-12-16 |
JP3748086B2 JP3748086B2 (ja) | 2006-02-22 |
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ID=15323332
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP14277696A Expired - Fee Related JP3748086B2 (ja) | 1996-06-05 | 1996-06-05 | 感光材料、レリーフパターンの製造法及びポリイミドパターンの製造法 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP3748086B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7220520B2 (en) | 2005-06-03 | 2007-05-22 | Fujifilm Electronic Materials U.S.A., Inc. | Photosensitive resin compositions |
US7399572B2 (en) | 2005-06-03 | 2008-07-15 | Fujifilm Electronic Materials U.S.A., Inc. | Pretreatment compositions |
US7407731B2 (en) | 2005-03-25 | 2008-08-05 | Fujifilm Electronic Materials U.S.A., Inc. | Photosensitive resin compositions |
-
1996
- 1996-06-05 JP JP14277696A patent/JP3748086B2/ja not_active Expired - Fee Related
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