JPH09325325A - プラズマ放電パネル製造装置及びプラズマ放電パネル製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プラズマ放電パネルの治具からの取り出し時
に薄板ガラスが割れることを防止するプラズマ放電パネ
ルの製造装置及び製造方法を提供する。 【解決手段】 プラズマ放電パネル製造装置２０は、プ
ラズマ放電パネル２の薄板ガラス５が載置される治具機
構２１と、プラズマ放電パネル２のチップ管１３に接続
されてプラズマ放電パネル２の内部空間のエアを吸引す
るエア吸引機構３３と、プラズマ放電パネル２を治具機
構２１から取り外すパネル取出し機構２３とを備える。
プラズマ放電パネル製造装置２０は、エア吸引機構３３
によりエアが吸引され、プラズマ放電パネル２の内部を
負圧にしながらパネル取出し機構２３が作動されること
により、薄板ガラス５の下方へのたわみがなくなり、薄
板ガラス５の破損が防止される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、プラズマアドレ
ス液晶表示装置を構成するプラズマ放電パネルを製造す
る装置及び方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、液晶を駆動する画像表示装置とし
て、放電プラズマを利用したいわゆるプラズマアドレス
液晶表示装置が知られている。以下、このプラズマアド
レス液晶表示装置の一例につき、その概略的な構成を図
６を用いて説明する。

【０００３】プラズマアドレス液晶表示装置１は、図６
に示すように、プラズマ放電パネル２の上に液晶パネル
部３が積層された構成となっている。このプラズマ放電
パネル２は、基板ガラス４と薄い誘電体板である薄板ガ
ラス５との間に放電電極７、バリアリブ８が複数印刷形
成されることにより、内部に放電領域９が形成されてい
る。一方、液晶パネル部３は、薄板ガラス５と液晶側ガ
ラス６との間の空間部に配置された複数の表示用電極１
０及び電気光学材料層である液晶層１１とにより構成さ
れている。

【０００４】プラズマ放電パネル２は、その基板ガラス
４上に複数の帯状の放電電極７が形成される。これら各
放電電極７は、基板ガラス４上に等間隔で配置され、各
放電電極７上には隔壁である所謂バリアリブ８が印刷形
成されている。放電領域９は、これら複数のバリアリブ
８によって仕切られ、それぞれ独立したプラズマ室Ｐ
１，Ｐ２，・・・に分割されている。そして、各プラズ
マ室Ｐ１，Ｐ２，・・・には、イオン化可能なガスが封
入されている。このイオン化可能なガスには、ヘリウ
ム、ネオン、アルゴン、あるいはこれらの混合ガスが用
いられ、基板ガラス４の端側に設けられた図７に示すチ
ップ管１３から各プラズマ室Ｐ１，Ｐ２，・・・に封印
される。

【０００５】各放電電極７は、例えば銀粉末等を含有す
る導電ペーストを印刷することにより、基板ガラス４上
に直接形成することができる。また、これら放電電極７
は、エッチング工程によっても形成される。

【０００６】各放電電極７は、その配列方向が表示画面
に対して水平となっている。また、これら放電電極７
は、アノード電極とカソード電極とからなり、これらを
対にして放電用電極が構成されている。上述のように放
電電極７上にバリアリブ８を印刷形成した場合には、こ
れらバリアリブ８で区切られた各プラズマ室Ｐ１，Ｐ
２，・・・において放電電極７が共用されている。即
ち、例えば放電電極７ａは、プラズマ室Ｐ１の放電用電
極でもあり、プラズマ室Ｐ２の放電用電極でもある。

【０００７】バリアリブ８は、これら放電電極７上に、
各走査単位毎に形成されており、したがって、各プラズ
マ室Ｐ１，Ｐ２，・・・が各走査線に対応している。こ
のバリアリブ８は、印刷法、例えばアルミナ等のセラミ
ックを混入したガラスペーストをスクリーン印刷法によ
り複数回積層印刷することによって形成される。ここ
で、バリアリブ８は、放電領域９のギャップ間隔、即ち
基板ガラス４と薄板ガラス５との距離を規制する役割を
も果たす。この放電領域９のギャップ間隔は、バリアリ
ブ８を形成する際のスクリーン印刷の回数や各印刷時の
ガラスペーストの量等を調節することにより制御するこ
とができる。

【０００８】プラズマ放電パネル２は、その周囲をシー
ル剤であるフリット１２によって支持することにより、
基板ガラス４と薄板ガラス５とが所定の間隔をもって接
合されるとともに、その内部が密封される。このフリッ
ト１２は、粉末ガラスからなり、塗布することにより形
成される。

【０００９】液晶パネル部３は、液晶側ガラス６の内面
に複数の帯状の表示用電極１０が形成されると共に、こ
れら表示用電極１０に接してネマチック液晶等から成る
液晶層１１が配置されている。この液晶層１１は、薄板
ガラス５によって上記液晶側ガラス６との間に狭持され
ている。したがって、薄板ガラス５は、プラズマ放電パ
ネル２及び液晶パネル部３双方の構成部材となるととも
に、液晶層１１と放電領域９との断絶遮断層として機能
するものである。そして、液晶パネル部３は、これら液
晶側ガラス６、液晶層１１、表示用電極１０及び薄板ガ
ラス５とによって、いわゆる液晶セルが構成される。

【００１０】各表示用電極１０は、液晶側ガラス６の基
板ガラス４と対向する主面上に所定の幅をもって形成さ
れている。これら表示用電極１０は、例えばインジウム
錫オキサイド（ＩＴＯ）等の透明導電材料により形成さ
れており、光学的に透明である。また、各表示用電極１
０は、その配列方向が上述の各放電電極７に対して直交
する方向、すなわち表示画面に対して垂直方向となって
いる。

【００１１】次に、上述したプラズマアドレス液晶表示
装置１の製造工程を簡単に説明する。プラズマアドレス
液晶表示装置１は、先ずプラズマ放電パネル２を製作す
るために、基板ガラス４上に複数の放電電極７を作成
し、これら放電電極７上にバリアリブ８を積層印刷す
る。

【００１２】次に、バリアリブ８の周囲にフリット１２
を塗布して基板ガラス４と薄板ガラス５とを接合用の治
具上で貼り合わせ、これを治具と共に炉に入れることに
より基板ガラス４と薄板ガラス５との間に放電領域９を
形成させる。そして、これらを炉から取出した後、薄板
ガラス５の上側に液晶パネル部３が製作される。

【００１３】上述の基板ガラス４と薄板ガラス５とを貼
り合わせる工程で用いられる接合用の治具１００は、例
えば図７に示すように、基台１０１上にネオセラムガラ
ス１０２及びカーボン製のグラファイトシート１０３が
取り付けられたものが使用される。そして、基板ガラス
４と薄板ガラス５との貼り合わせにあたっては、このグ
ラファイトシート１０３上に予め薄板ガラス５を載置し
ておき、この薄板ガラス５上に放電表示用電極１０、バ
リアリブ８、及びフリット１２とが形成及び塗布された
基板ガラス４を逆向きにして貼り合わされ、一定時間炉
に入れられる。

【００１４】この貼り合わせの工程によって放電領域９
が形成されたプラズマ放電パネル２は、この後、薄板ガ
ラス５側に液晶パネル部３が積層されるために、治具１
００から取外す必要が生じる。この取外し工程は、例え
ば基板ガラス４に複数の吸着パッドを密着させてこれら
を上方に持ち上げることによって行われ、従来は、この
作業がパネル１枚につき２人の作業者で行われていた。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の取外し工程においては、プラズマ放電パネル２
の薄板ガラス５とバリアリブ８とがこの段階では接着さ
れておらず、フリット１２のみによって接着されている
状態となっている。従って、プラズマ放電パネル２は、
図８に示すように、治具１００から取外される際に薄板
ガラス５の中央部が自重及びグラファイトシート１０３
との間で発生する静電気等により下側にたわみ、その結
果薄板ガラス５の端部Ｑに大きなストレスがかかり、こ
の端部Ｑが破損しやすかった。

【００１６】加えて、プラズマ放電パネル２は、この薄
板ガラス５の厚さが約５０μｍと非常に薄いため、治具
１００からの取外しには細心の注意が必要とされ、作業
ミス等によりこの薄板ガラス５の破損が多く発生し歩留
まりが悪いといった問題点があった。そのため従来は、
この作業を２人の作業者により１つのパネル当たり１０
分から１５分かけて行わなければならず、かかる工程の
自動化を検討する上で大きな課題となっていた。

【００１７】この発明は、上述の実情に鑑み、プラズマ
アドレス液晶表示装置の製造工程において、プラズマ放
電パネルをその薄板ガラスが割れることなく治具から取
り外すことのできるプラズマ放電パネルの製造装置を提
供することを目的とする。

【００１８】また、この発明は、上述の問題に鑑み、治
具からの取出しが容易かつ短時間で行うことのできるプ
ラズマ放電パネルの製造方法を提供することを目的とす
る。

【００１９】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、この発明に係るプラズマ放電パネル製造装置は、プ
ラズマ放電パネルがその薄板ガラスを下側にして載置さ
れる基台を備えた治具機構と、チップ管に接続されてプ
ラズマ放電パネル内部のエアーを吸引するエアー吸引機
構と、プラズマ放電パネルを治具機構から取り外して移
動させるパネル取出し機構とを備える。

【００２０】プラズマ放電パネル製造装置は、エアー吸
引機構によりチップ管からエアーが吸引され、プラズマ
放電パネルの内部空間を負圧にしながらパネル取出し機
構が作動されることにより、薄板ガラスを上方に押し上
げようとする大気圧が作用し、薄板ガラスが治具機構か
ら取り外される際の下方へのたわみが防止され、薄板ガ
ラスの破損が防止される。

【００２１】また、この発明に係るプラズマ放電パネル
製造方法は、プラズマ放電パネルのチップ管からエアー
を吸引してプラズマ放電パネルの内部を負圧にした状態
で治具から取り外すことを特徴とする。

【００２２】かかる方法によれば、薄板ガラスを上方に
押し上げようとする力と下方にたわもうとする力とが釣
合った状態でプラズマ放電パネルが治具から取り外され
るので、薄板ガラスにストレスがかかることなくプラズ
マ放電パネルを治具から容易に取り外すことが可能とな
り、プラズマ放電パネルを治具から取外す作業に要する
時間が短縮されるとともに、薄板ガラスの破損が防止さ
れる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て添付図面を参照して説明する。本発明のプラズマ放電
パネル製造装置２０は、図１に示すように、基台２４上
にネオセラムガラス２５及びグラファイトシート２６が
固定載置された治具機構２１と、この治具機構２１にエ
アーを供給するエアー供給機構２２と、治具機構２１の
上方に配置されプラズマ放電パネル２を治具機構２１か
ら取り出すパネル取出し機構２３とを備えている。

【００２４】治具機構２１は、プラズマ放電パネル２の
薄板ガラス５と基板ガラス４との接合を行うためのもの
であり、基台２４上に面出しのためのネオセラムガラス
２５及びグラファイトシート２６が固定載置されてい
る。この治具機構２１は、耐熱性を備え、所定の炉（図
示せず）の中に移動可能に載置されている。また、治具
機構２１は、その内部に後述するエアー流通路２８が形
成されている。

【００２５】治具機構２１の基台２４は、図１及び図２
に示すように、その上面がプラズマ放電パネル２よりも
幅広の略方形の平面となっており、この平面上にネオセ
ラムガラス２５が固定載置され、さらにその上にカーボ
ン製のグラファイトシート２６が積層されている。ま
た、基台２４は、その内部にエアー流通路２８が形成さ
れている。このエアー流通路２８は、基台２４の下側に
設けられたエアー導入孔２７と連続している。

【００２６】さらに、基台２４上のネオセラムガラス２
５及びグラファイトシート２６には、エアー噴出孔２９
が複数形成され、これらエアー噴出孔２９がエアー流通
路２８と連続している。したがって、治具機構２１は、
エアー導入孔２７からエアーが送り出された場合に、こ
のエアーがエアー流通路２８を通ってエアー噴出孔２９
から上方に噴射されるようになっている。なお、このエ
アー噴出孔２７の構成数については、特に限定されるも
のではない。

【００２７】エアー供給機構２２は、エアー供給部（図
示せず）と、このエアー供給部と接続されたエアー供給
パッド３１を有している。エアー供給パッド３１は、治
具機構２１の基台２４の下側に位置され、この基台２４
のエアー導入孔２７に着脱自在に接続される。

【００２８】パネル取出し機構２３は、プラズマ放電パ
ネル２の基板ガラス４に複数のパッドを吸着させてこれ
を治具機構２１から取り出すものであり、パッドベース
３２にエアー吸引パッド３３、及び複数の基板吸着パッ
ド３４が取り付けられた構成となっている。なお、基板
吸着パッド３４の構成数については、特に限定されるも
のではない。パッドベース３２は、図１に示すように、
治具機構２１の上方に位置され、この治具機構２１上を
平行に上下移動するように構成されている。

【００２９】エアー吸引パッド３３は、プラズマ放電パ
ネル２のチップ管１３よりも広い内径を有し、このチッ
プ管１３を上方から覆うようにして基板ガラス４に吸着
される。また、エアー吸引パッド３３は、その端部に形
成された接続管３３Ａからエアー吸引ポンプ（図示せ
ず）に接続されている。

【００３０】次に、プラズマ放電パネル製造装置２０を
用いてプラズマ放電パネル２を製造する工程について説
明する。プラズマ放電パネル製造装置２０は、治具機構
２１のグラファイトシート２６上に薄板ガラス５が載置
され、この薄板ガラス５の上に各放電電極９及びフリッ
ト１２が形成された基板ガラス４が載置されることによ
り、両部材の貼り合わせが行われる。

【００３１】この貼り合わせの際には、図２に示すよう
に、基板ガラス４と薄板ガラス５の内周部にフリット１
２が塗布され、治具機構２１とともに炉に入れられる。
これにより、プラズマ放電パネル２は、図３に示すよう
に、基板ガラス４と薄板ガラス５とがフリット１２によ
って接合支持されると共に、基板ガラス４と薄板ガラス
５間の空間が密閉される。

【００３２】プラズマ放電パネル製造装置２０は、プラ
ズマ放電パネル２が炉から出された後に、図４に示すよ
うに、パッドベース３２が下降されることにより、プラ
ズマ放電パネル２の基板ガラス４上にエアー吸引パッド
３３及び複数の基板吸着パッド３４が吸着される。ま
た、プラズマ放電パネル製造装置２０は、これと同時に
基台２４のエアー導入孔２７にエアー供給パッド３１が
接続される。

【００３３】そして、プラズマ放電パネル製造装置２０
は、このように各パッド３３及び３４が取り付けられた
状態でエアー吸引ポンプが作動されることにより、プラ
ズマ放電パネル２の内部空間を負圧にする。また、プラ
ズマ放電パネル製造装置２０は、エアー供給パッド３１
が接続された状態でエアー供給部からエアーが送り出さ
れることにより、グラファイトシート２６上に載置され
た薄板ガラス５側にエアーを噴出させる。これにより、
グラファイトシート２６と薄板ガラス５間にエアーが充
填されるので、グラファイトシート２６と薄板ガラス５
との間の静電気等による密着性が低下され、これらが分
離しやすい状態となる。

【００３４】プラズマ放電パネル製造装置２０は、この
状態でパッドベース３２を上昇させることにより、図５
に示すように、プラズマ放電パネル２を治具機構２１か
ら取り出す。このときプラズマ放電パネル２は、その内
部が負圧になっており、薄板ガラス５が自重により下方
にたわもうとする力と薄板ガラス５を上方に押し上げよ
うとする大気圧の力とが釣り合った状態となるので、図
５に示すように、薄板ガラス５が下方にたわむことなく
そのままの形状を保ちながら上昇する。

【００３５】したがって、プラズマ放電パネル製造装置
２０は、プラズマ放電パネル２の薄板ガラス５の端部Ｑ
等にストレスをかけることなく治具機構２１から容易に
取り外すことが可能となるので、薄板ガラス５の破損が
防止され、プラズマ放電パネルを治具から取外す作業に
要する時間が短縮される。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、この発明に係るプ
ラズマ放電パネル製造装置は、チップ管に接続されてプ
ラズマ放電パネルの内部空間のエアーを吸引するエアー
吸引機構により内部空間を負圧にしながらパネル取出し
機構が作動されることとしたので、プラズマ放電パネル
の治具からの取外しの際に、プラズマ放電パネルをその
ままの形状を保ちながら治具機構から容易かつ自動的に
取り外すことが可能となり、これにより薄板ガラスの破
損が防止され、プラズマ放電パネルを治具から取外す作
業に要する時間が短縮される。

【００３７】また、この発明に係るプラズマ放電パネル
製造方法は、プラズマ放電パネルのチップ管からエアー
を吸引してプラズマ放電パネルの内部を負圧にした状態
で治具から取り外すこととしたので、薄板ガラスを上方
に押し上げようとする力と下方にたわもうとする力とが
釣合った状態でプラズマ放電パネルが治具から取り外さ
れ、薄板ガラスにストレスがかかることなくプラズマ放
電パネルを治具から容易に取り外すことが可能となり、
プラズマ放電パネルを治具から取外す作業に要する時間
が短縮される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るプラズマ放電パネル製造装置の構
成を示した断面図である。

【図２】同プラズマ放電パネル製造装置の治具機構にプ
ラズマ放電パネルを載置した状態を示す平面図である。

【図３】同プラズマ放電パネル製造装置の治具機構にプ
ラズマ放電パネルを載置した状態を示す断面図である。

【図４】プラズマ放電パネル及び基台に各パッドが取付
けられた状態を示す断面図である。

【図５】プラズマ放電パネルが治具機構から取り外され
た状態を示す断面図である。

【図６】プラズマアドレス液晶表示装置の構成を示す要
部断面図である。

【図７】プラズマ放電パネルを治具上に載置した場合を
示す断面図である。

【図８】プラズマ放電パネルが治具から取り外された状
態を示す従来例における断面図である。

【符号の説明】

１ プラズマアドレス液晶表示装置、２ プラズマ放電
パネル ３ 液晶パネル部、４ 基板ガラス、５ 薄板
ガラス、６ 液晶側ガラス、７ 放電電極、８バリアリ
ブ、９ 放電領域、１０ 表示用電極、１１ 液晶層、
１２ フリット、２０ プラズマ放電パネル製造装置、
２１ 治具機構、２２ エアー供給機構、２３ パネル
取出し機構、２４ 基台、２５ ネオセラムガラス、２
６ グラファイトシート、２７、エアー導入孔、２８
エアー流通路、２９ エアー噴出孔、３１ エアー供給
パッド、３２ パッドベース、３３ エアー吸引パッ
ド、３４ 基板吸着パッド

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 チップ管が外面に設けられかつ複数の放
   電電極及びこの放電電極上に形成されるバリアリブが内
   面に印刷された基板ガラスと、この基板ガラスと略等し
   い平面形状を有する薄板ガラスとがフリットで端部が接
   合支持されることにより内部に密閉空間が形成されたプ
   ラズマ放電パネルを製造する装置において、 上記プラズマ放電パネルがその薄板ガラスを下側にして
   載置される基台を備えた治具機構と、 上記チップ管に接続されて上記プラズマ放電パネル内部
   のエアーを吸引するエアー吸引機構と、 上記プラズマ放電パネルを上記治具機構から取り外すパ
   ネル取出し機構とを備え、 上記エアー供給機構の作動により上記プラズマ放電パネ
   ルの内部を負圧にしながらパネル取出し機構が作動され
   上記プラズマ放電パネルが上記治具機構から取り外され
   ることを特徴とするプラズマ放電パネル製造装置。
2. 【請求項２】 上記治具機構には、上記プラズマ放電パ
   ネルの上記薄板ガラスに対してエアーを噴出するための
   エアー噴出孔が設けられ、このエアー噴出孔からエアー
   を噴出させながらエアー吸引機構とパネル取出し機構が
   作動され上記プラズマ放電パネルが上記治具機構から取
   り外されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ
   放電パネル製造装置。
3. 【請求項３】 チップ管が外面に設けられかつ複数の放
   電電極及びこの放電電極上に形成されるバリアリブが内
   面に印刷された基板ガラスと、この基板ガラスと略等し
   い平面形状を有する薄板ガラスとがフリットで端部が接
   合されることにより内部に密閉空間が形成されたプラズ
   マ放電パネルを治具上で薄板ガラスを下側に配置して製
   造する方法において、 上記チップ管を通してプラズマ放電パネル内部が負圧に
   なるようにエアーを吸引しながら上記治具から上記プラ
   ズマ放電パネルを取り外すことを特徴とするプラズマ放
   電パネル製造方法。
4. 【請求項４】 上記治具と上記薄板ガラスとの間にエア
   ーを噴出させながら上記治具から上記プラズマ放電パネ
   ルを取り外すことを特徴とする請求項３に記載のプラズ
   マ放電パネル製造方法。