JPH09321572A - 弾性表面波デバイス、共振子、フィルタ及びｉｄカード - Google Patents
弾性表面波デバイス、共振子、フィルタ及びｉｄカードInfo
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- JPH09321572A JPH09321572A JP8235197A JP23519796A JPH09321572A JP H09321572 A JPH09321572 A JP H09321572A JP 8235197 A JP8235197 A JP 8235197A JP 23519796 A JP23519796 A JP 23519796A JP H09321572 A JPH09321572 A JP H09321572A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 プログラマブルな弾性表面波デバイスにおい
て、変換子に常時電圧を印加することなく設定された出
力コード信号を発生できるようにする。 【解決手段】 基板８の強誘電体薄膜１０上に入力用櫛
形電極１１’、１１″と、出力用変換子１２’とが設け
られている。櫛形電極１１’、１１″に対し電圧印加装
置１３’のパルス発生回路２４からのパルス電圧が切替
回路２３を介して入力され、櫛形電極１１’、１１″の
電極間の強誘電体薄膜を分極させる。
て、変換子に常時電圧を印加することなく設定された出
力コード信号を発生できるようにする。 【解決手段】 基板８の強誘電体薄膜１０上に入力用櫛
形電極１１’、１１″と、出力用変換子１２’とが設け
られている。櫛形電極１１’、１１″に対し電圧印加装
置１３’のパルス発生回路２４からのパルス電圧が切替
回路２３を介して入力され、櫛形電極１１’、１１″の
電極間の強誘電体薄膜を分極させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は共振子、フィルタ等
として用いられる弾性表面波デバイスに係り、特に出力
コードを書替えできるプログラマブルな弾性表面波デバ
イスに関する。また、本発明は、この弾性表面波デバイ
スを用いた共振子、フィルタ、ＩＤカードに関する。
として用いられる弾性表面波デバイスに係り、特に出力
コードを書替えできるプログラマブルな弾性表面波デバ
イスに関する。また、本発明は、この弾性表面波デバイ
スを用いた共振子、フィルタ、ＩＤカードに関する。
【０００２】
【従来の技術】電子機器の分野においては、一定周波数
の信号を得る場合等に、圧電基板の機械的振動により所
定の電気的特性を得るようにした圧電デバイスが使用さ
れることがある。この種の圧電デバイスの一つに、圧電
基板の表層を伝搬する弾性表面波を用いた弾性表面波デ
バイスがある。弾性表面波デバイスの電気的特性のうち
周波数特性を可変し得るとすれば、可変型のマッチト・
フィルタ等を構成する上で極めて有効である。
の信号を得る場合等に、圧電基板の機械的振動により所
定の電気的特性を得るようにした圧電デバイスが使用さ
れることがある。この種の圧電デバイスの一つに、圧電
基板の表層を伝搬する弾性表面波を用いた弾性表面波デ
バイスがある。弾性表面波デバイスの電気的特性のうち
周波数特性を可変し得るとすれば、可変型のマッチト・
フィルタ等を構成する上で極めて有効である。
【０００３】従来、弾性表面波デバイスとして、圧電基
板（圧電材料からなる基板）の表面に櫛歯状電極を設け
てなる弾性表面波共振子や弾性表面波フィルタが知られ
ている。
板（圧電材料からなる基板）の表面に櫛歯状電極を設け
てなる弾性表面波共振子や弾性表面波フィルタが知られ
ている。
【０００４】従来の弾性表面波デバイスは、一般には図
３（ａ）の構成を有した出力コード固定タイプのもので
ある。即ち、圧電基板１上に入力用櫛形電極２と出力用
櫛形電極３とが設けられている。各櫛形電極２，３は、
第１の電極２ａ，３ａと第２の電極２ｂ，３ｂとを所定
間隙をおいて対峙させたものである。出力用櫛形電極３
にあっては、第１の電極３ａと第２の電極３ｂとの組み
合せを変えることにより出力コード０又は１を設定して
いる。
３（ａ）の構成を有した出力コード固定タイプのもので
ある。即ち、圧電基板１上に入力用櫛形電極２と出力用
櫛形電極３とが設けられている。各櫛形電極２，３は、
第１の電極２ａ，３ａと第２の電極２ｂ，３ｂとを所定
間隙をおいて対峙させたものである。出力用櫛形電極３
にあっては、第１の電極３ａと第２の電極３ｂとの組み
合せを変えることにより出力コード０又は１を設定して
いる。
【０００５】即ち、図３の，，の部分では１対の
第１の電極３ａ間に１条の第２の電極３ｂを配置してい
るのに対し、の部分では１対の第２の電極３ｂ間に１
条の第１の電極３ａを配置している。
第１の電極３ａ間に１条の第２の電極３ｂを配置してい
るのに対し、の部分では１対の第２の電極３ｂ間に１
条の第１の電極３ａを配置している。
【０００６】この弾性表面波デバイスの入力用櫛形電極
２に継続時間Ｔc のパルスが入力された場合、出力用櫛
形電極３からは図３（ｂ）に示す波形の電圧が出力され
る。この出力電圧波形は、〜の部分から発生する電
圧波形が経時的に連なったものであり、，，の部
分から発生する電圧との部分から発生する電圧とは反
転しており、これによりこの出力波形からコード１１０
１を読みとることができる。なお、入力櫛形電極２の幅
と、出力櫛形電極３の各部分〜間距離はそれぞれｖ
・Ｔc に設定されている。ｖは基板１における振動伝播
速度である。
２に継続時間Ｔc のパルスが入力された場合、出力用櫛
形電極３からは図３（ｂ）に示す波形の電圧が出力され
る。この出力電圧波形は、〜の部分から発生する電
圧波形が経時的に連なったものであり、，，の部
分から発生する電圧との部分から発生する電圧とは反
転しており、これによりこの出力波形からコード１１０
１を読みとることができる。なお、入力櫛形電極２の幅
と、出力櫛形電極３の各部分〜間距離はそれぞれｖ
・Ｔc に設定されている。ｖは基板１における振動伝播
速度である。
【０００７】この図３（ａ）に示す弾性表面波デバイス
は、出力コードが常に一定のものであり（図３では１１
０１に固定されている。）、コード書替えできない。
は、出力コードが常に一定のものであり（図３では１１
０１に固定されている。）、コード書替えできない。
【０００８】出力コードを書替えできるプログラマブル
(programble)な弾性表面波デバイスとして、D.P.Morgan
"Surface Wave Device For Signal Processing" Elsev
ier,1991 P.２８６〜２８８には、図３（ｃ）に示すよ
うに、常誘電体基板４上に入力櫛形電極５と、複数個の
独立した変換子６とを配置し、各変換子６に正負の電圧
を反転して印加させうる電圧印加装置７を設けたプログ
ラマブル弾性表面波デバイスが記載されている。
(programble)な弾性表面波デバイスとして、D.P.Morgan
"Surface Wave Device For Signal Processing" Elsev
ier,1991 P.２８６〜２８８には、図３（ｃ）に示すよ
うに、常誘電体基板４上に入力櫛形電極５と、複数個の
独立した変換子６とを配置し、各変換子６に正負の電圧
を反転して印加させうる電圧印加装置７を設けたプログ
ラマブル弾性表面波デバイスが記載されている。
【０００９】この変換子６は、いずれも第１の電極６ａ
と第２の電極６ｂとで構成されており、電圧印加装置７
は第１の電極６ａと第２の電極６ｂとの印加電圧を正又
は負のいずれでも切り替えうるようになっている。電極
６ａ，６ｂ間に印加する電圧を正と負とで切り替える
と、電極６ａ，６ｂ間の常誘電体基板４の分極状態が反
転し、これにより当該変換子６から出力されるコードを
０，１間で切り替えることができる。
と第２の電極６ｂとで構成されており、電圧印加装置７
は第１の電極６ａと第２の電極６ｂとの印加電圧を正又
は負のいずれでも切り替えうるようになっている。電極
６ａ，６ｂ間に印加する電圧を正と負とで切り替える
と、電極６ａ，６ｂ間の常誘電体基板４の分極状態が反
転し、これにより当該変換子６から出力されるコードを
０，１間で切り替えることができる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】図３（ｃ）に示すプロ
グラマブルな弾性表面波デバイスは、この弾性表面波デ
バイスを作動させる際には必ず電圧印加装置７によって
各変換子６に電圧を印加する必要があり、電圧印加装置
が必須である。
グラマブルな弾性表面波デバイスは、この弾性表面波デ
バイスを作動させる際には必ず電圧印加装置７によって
各変換子６に電圧を印加する必要があり、電圧印加装置
が必須である。
【００１１】本発明は、プログラマブルな弾性表面波デ
バイスにおいて変換子に常時電圧を印加することなく設
定された出力コード信号を発生できる弾性表面波デバイ
スを提供することを目的とする。
バイスにおいて変換子に常時電圧を印加することなく設
定された出力コード信号を発生できる弾性表面波デバイ
スを提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波デバ
イスは、圧電基板上に第１の電極及び該第１の電極に対
峙した第２の電極よりなる変換子を設けてなり、該第１
の電極と第２の電極との間の印加電圧の正負を反転させ
ることにより出力コードを変換できるコード書替え可能
な弾性表面波デバイスにおいて、該圧電基板は、基板本
体と、該基板本体の表面に形成された強誘電体薄膜とを
備えてなり、該第１の電極と第２の電極との間に印加さ
れる電圧によって該電極間の強誘電体薄膜を分極させて
出力コードを設定し、且つ該電圧印加の解除後も残留分
極によって、設定された出力コードを維持するようにし
たことを特徴とするものである。
イスは、圧電基板上に第１の電極及び該第１の電極に対
峙した第２の電極よりなる変換子を設けてなり、該第１
の電極と第２の電極との間の印加電圧の正負を反転させ
ることにより出力コードを変換できるコード書替え可能
な弾性表面波デバイスにおいて、該圧電基板は、基板本
体と、該基板本体の表面に形成された強誘電体薄膜とを
備えてなり、該第１の電極と第２の電極との間に印加さ
れる電圧によって該電極間の強誘電体薄膜を分極させて
出力コードを設定し、且つ該電圧印加の解除後も残留分
極によって、設定された出力コードを維持するようにし
たことを特徴とするものである。
【００１３】かかる本発明の弾性表面波デバイスにおい
ては、変換子に電圧を印加すると変換子の電極間の強誘
電体薄膜が分極し、当該変換子にコード０又は１を設定
できる。この電圧印加を解除しても、強誘電体の残留分
極により当該コードが残留する。従って、一度変換子に
電圧を印加してコードを設定すると、その後は電圧印加
装置を切り離して弾性表面波デバイスから設定コード信
号を出力させることができる。
ては、変換子に電圧を印加すると変換子の電極間の強誘
電体薄膜が分極し、当該変換子にコード０又は１を設定
できる。この電圧印加を解除しても、強誘電体の残留分
極により当該コードが残留する。従って、一度変換子に
電圧を印加してコードを設定すると、その後は電圧印加
装置を切り離して弾性表面波デバイスから設定コード信
号を出力させることができる。
【００１４】また、変換子にコードを設定した後でも、
再度変換子に逆の電圧を印加して分極を反転させること
ができ、出力コードを再設定できるから、この弾性表面
波デバイスはプログラマブルなものとなる。
再度変換子に逆の電圧を印加して分極を反転させること
ができ、出力コードを再設定できるから、この弾性表面
波デバイスはプログラマブルなものとなる。
【００１５】この弾性表面波デバイスは、弾性表面波共
振子や弾性表面波フィルタとして用いることができる。
この弾性表面波デバイスによると、弾性表面波デバイス
を備えたＩＤ自動認識システムにおいて、応答器（ＩＤ
カード）のＩＤコードを書き替え可能なものとすること
ができる。
振子や弾性表面波フィルタとして用いることができる。
この弾性表面波デバイスによると、弾性表面波デバイス
を備えたＩＤ自動認識システムにおいて、応答器（ＩＤ
カード）のＩＤコードを書き替え可能なものとすること
ができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１（ａ）は実施の形態に係る弾
性表面波デバイスの平面図であり、図１（ｂ）はこの弾
性表面波デバイスの電圧印加装置の回路図である。図１
（ｃ）は基板の断面図である。基板８は、基板本体９上
に強誘電体薄膜１０を形成したものである。この強誘電
体薄膜１０上に入力用櫛形電極１１と、出力用変換子１
２とが設けられている。入力用櫛形電極１１は、それぞ
れ櫛状の第１の電極１１ａと第２の電極１１ｂとを所定
間隔をおいて対峙させるように組み合わせたものであ
る。
性表面波デバイスの平面図であり、図１（ｂ）はこの弾
性表面波デバイスの電圧印加装置の回路図である。図１
（ｃ）は基板の断面図である。基板８は、基板本体９上
に強誘電体薄膜１０を形成したものである。この強誘電
体薄膜１０上に入力用櫛形電極１１と、出力用変換子１
２とが設けられている。入力用櫛形電極１１は、それぞ
れ櫛状の第１の電極１１ａと第２の電極１１ｂとを所定
間隔をおいて対峙させるように組み合わせたものであ
る。
【００１７】変換子１２は第１の電極１２ａと第２の電
極１２ｂとを組み合わせたものであり、４条の第１の電
極１２ａは櫛状に連続している。第２の電極１２ｂは、
１対の第１の電極１２ａ，１２ａ間に入り込むように直
線状に設けられている。
極１２ｂとを組み合わせたものであり、４条の第１の電
極１２ａは櫛状に連続している。第２の電極１２ｂは、
１対の第１の電極１２ａ，１２ａ間に入り込むように直
線状に設けられている。
【００１８】この実施の形態では、３条の第２の電極１
２ｂが設けられることにより、３個の変換子１２が成形
されている。
２ｂが設けられることにより、３個の変換子１２が成形
されている。
【００１９】各第２の電極１２ｂは、電圧印加装置１３
の電池１４，１５に対しコイル１６及び切替スイッチ１
７を介して導通可能とされている。各第２の電極１２ｂ
は、直流を遮断し交流信号電圧のみを通すためのコンデ
ンサ１８を介して出力端子１９に接続されている。第１
の電極１２ａは出力端子２０に接続されている。第１の
電極１２ａはアースを介して電池１４，１５に導通され
ている。
の電池１４，１５に対しコイル１６及び切替スイッチ１
７を介して導通可能とされている。各第２の電極１２ｂ
は、直流を遮断し交流信号電圧のみを通すためのコンデ
ンサ１８を介して出力端子１９に接続されている。第１
の電極１２ａは出力端子２０に接続されている。第１の
電極１２ａはアースを介して電池１４，１５に導通され
ている。
【００２０】このように構成された弾性表面波デバイス
においては、切替スイッチ１７によって３個の変換子１
２に正、負いずれの電圧をも印加可能となっている。３
個の第２の電極１２ｂにいずれも正電圧を印加すると、
出力コードは [１１１] となり、いずれの印加電圧をも
負とすることにより出力コードは [０００] となる。何
れか１又は２個の第２の電極１２ｂに対する印加電圧を
他のものと異ならせることにより、０，１のすべての組
み合せコードを得ることができる。
においては、切替スイッチ１７によって３個の変換子１
２に正、負いずれの電圧をも印加可能となっている。３
個の第２の電極１２ｂにいずれも正電圧を印加すると、
出力コードは [１１１] となり、いずれの印加電圧をも
負とすることにより出力コードは [０００] となる。何
れか１又は２個の第２の電極１２ｂに対する印加電圧を
他のものと異ならせることにより、０，１のすべての組
み合せコードを得ることができる。
【００２１】一度電圧印加装置１３によって各変換子１
２に電圧を印加すると、この電圧印加を解除した場合
（即ち、第２の電極１２ｂを電池１４，１５のいずれに
も導通させないようにした場合）であっても、強誘電体
薄膜１０に残留分極が残留し、設定コードが維持され
る。
２に電圧を印加すると、この電圧印加を解除した場合
（即ち、第２の電極１２ｂを電池１４，１５のいずれに
も導通させないようにした場合）であっても、強誘電体
薄膜１０に残留分極が残留し、設定コードが維持され
る。
【００２２】従って、一度コードを設定すると、その後
は電圧印加装置１３を切り離し、図２のように弾性表面
波デバイス単体で作動させることができる。また、コー
ド設定後であっても、電圧印加装置１３によって変換子
１２への印加電圧を反転させることにより、コードを書
き替えることができる。
は電圧印加装置１３を切り離し、図２のように弾性表面
波デバイス単体で作動させることができる。また、コー
ド設定後であっても、電圧印加装置１３によって変換子
１２への印加電圧を反転させることにより、コードを書
き替えることができる。
【００２３】図４は各第２の電極１２ｂに対し正又は負
の電圧を印加するための別の電圧印加装置１３’を示す
回路図である。各電極１２ｂは、順及び逆向きに並列さ
れたダイオード２２を介して切替回路２３に接続されて
いる。この切替回路２３には正又は負のパルス発生回路
２４が接続されている。切替回路２３及びパルス発生回
路２４に対しコード設定器２５から指示信号が与えられ
るこのコード設定器２５では、各電極１２ｂに与えるべ
き電圧の正負が設定されている。
の電圧を印加するための別の電圧印加装置１３’を示す
回路図である。各電極１２ｂは、順及び逆向きに並列さ
れたダイオード２２を介して切替回路２３に接続されて
いる。この切替回路２３には正又は負のパルス発生回路
２４が接続されている。切替回路２３及びパルス発生回
路２４に対しコード設定器２５から指示信号が与えられ
るこのコード設定器２５では、各電極１２ｂに与えるべ
き電圧の正負が設定されている。
【００２４】このコード設定器２５からの信号に基づい
てパルス発生回路２４が正又は負のパルスを出力し、こ
のパルスが切替回路２３によって３個の電極１２ｂに対
し切り替え入力されることにより、各変換子１２の強誘
電体薄膜に残留分極を形成し、コードを設定することが
できる。
てパルス発生回路２４が正又は負のパルスを出力し、こ
のパルスが切替回路２３によって３個の電極１２ｂに対
し切り替え入力されることにより、各変換子１２の強誘
電体薄膜に残留分極を形成し、コードを設定することが
できる。
【００２５】上記の実施の形態では３個の変換子が用い
られているが、変換子の数は２又は４以上であっても良
い。
られているが、変換子の数は２又は４以上であっても良
い。
【００２６】また、本発明では、入力用櫛形電極に電圧
を印加して出力コードを設定するようにしても良い。
を印加して出力コードを設定するようにしても良い。
【００２７】図５（ａ）はその一例を示すものであり、
１１’は入力用櫛形電極、１２’は出力用変換子を示
す。入力用櫛形電極１１’に対し電圧印加装置１３’の
パルス発生回路２４からのパルス電圧が切替回路２３及
びダイオード２２を介して入力される。符号２６は、ダ
イオード２６とコンデンサ１８とからなるユニットを示
す。
１１’は入力用櫛形電極、１２’は出力用変換子を示
す。入力用櫛形電極１１’に対し電圧印加装置１３’の
パルス発生回路２４からのパルス電圧が切替回路２３及
びダイオード２２を介して入力される。符号２６は、ダ
イオード２６とコンデンサ１８とからなるユニットを示
す。
【００２８】図５（ｂ）は、入力用の櫛形電極１２″が
両側から＋−を切り替えるようにした弾性表面波デバイ
スを示す。２７は開閉スイッチを示す。
両側から＋−を切り替えるようにした弾性表面波デバイ
スを示す。２７は開閉スイッチを示す。
【００２９】本発明では、基板の材質としては、シリコ
ン、ＧａＡｓ，ＳｒＴｉＯ3 ，ＭｇＯ，サファイアなど
を用いることができる。強誘電体薄膜としては、ＰＺＴ
などが好適である。電極材料としてはＡｌなどを用いる
ことができる。
ン、ＧａＡｓ，ＳｒＴｉＯ3 ，ＭｇＯ，サファイアなど
を用いることができる。強誘電体薄膜としては、ＰＺＴ
などが好適である。電極材料としてはＡｌなどを用いる
ことができる。
【００３０】
【実施例】４ｉｎｃｈのシリコン基板上にゾル・ゲル法
により厚さ１μｍのＰＺＴ薄膜を形成した。その後、Ｐ
ＺＴ薄膜上に線幅（線及び間隔）２μｍの電極を図１の
パターンとなるように形成した。各電極１１ａ，１１ｂ
間、電極１２ａ，１２ｂ間の電極の交差長は４００μｍ
とした。電池１４，１５は３０Ｖとした。
により厚さ１μｍのＰＺＴ薄膜を形成した。その後、Ｐ
ＺＴ薄膜上に線幅（線及び間隔）２μｍの電極を図１の
パターンとなるように形成した。各電極１１ａ，１１ｂ
間、電極１２ａ，１２ｂ間の電極の交差長は４００μｍ
とした。電池１４，１５は３０Ｖとした。
【００３１】このように構成された弾性表面波デバイス
において、各変換子に正又は負の電圧を印加し、次いで
電圧印加を解除してコード設定を行った後、パルス継続
時間５００ｎＳｅｃの入力パルスを与えたところ、設定
コード通りの信号波形が出力された。コード設定を繰り
返し変更したが、いずれの場合も設定コード通りの信号
波形が出力された。
において、各変換子に正又は負の電圧を印加し、次いで
電圧印加を解除してコード設定を行った後、パルス継続
時間５００ｎＳｅｃの入力パルスを与えたところ、設定
コード通りの信号波形が出力された。コード設定を繰り
返し変更したが、いずれの場合も設定コード通りの信号
波形が出力された。
【００３２】
【発明の効果】以上の通り、本発明によると、設定コー
ドの書き替えが可能であり、しかもこのコード設定のた
めの電圧印加を解除しても作動する弾性表面波デバイス
及びそれを利用した共振子、フィルタ及びＩＤカードが
提供される。
ドの書き替えが可能であり、しかもこのコード設定のた
めの電圧印加を解除しても作動する弾性表面波デバイス
及びそれを利用した共振子、フィルタ及びＩＤカードが
提供される。
【００３３】この弾性表面波デバイスは、コード設定後
は電圧印加装置と切り離して弾性表面波デバイス単体と
して作動させることができ、小型軽量なものとなる。
は電圧印加装置と切り離して弾性表面波デバイス単体と
して作動させることができ、小型軽量なものとなる。
【図１】実施の形態に係る弾性表面波デバイスの構成を
示すものであり、（ａ）図は平面図、（ｂ）図は電圧印
加装置の回路図、（ｃ）図は基板の断面図である。
示すものであり、（ａ）図は平面図、（ｂ）図は電圧印
加装置の回路図、（ｃ）図は基板の断面図である。
【図２】実施の形態に係る弾性表面波デバイスを電圧印
加装置から分離した状態を示す構成図である。
加装置から分離した状態を示す構成図である。
【図３】従来の弾性表面波デバイスの構成図である。
【図４】別の電圧印加装置を示す回路図である。
【図５】別の実施の形態に係る弾性表面波デバイスの構
成図である。
成図である。
１，４，８ 基板 ９ 基板本体 １０ 強誘電体薄膜 １１，１１’，１１″ 入力用櫛形電極 １２，１２’ 出力用変換子 １１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ 電極 １３，１３’ 電圧印加装置 ２２ ダイオード ２３ 切替回路 ２４ パルス発生回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 橋本 研也 千葉県千葉市稲毛区弥生町１−33 千葉大 学工学部電子電気工学科内
Claims (5)
- 【請求項１】 圧電基板上に第１の電極及び該第１の電
極に対峙した第２の電極よりなる変換子を設けてなり、
該第１の電極と第２の電極との間の印加電圧の正負を反
転させることにより出力コードを変換できるコード書替
え可能な弾性表面波デバイスにおいて、 該圧電基板は、基板本体と、該基板本体の表面に形成さ
れた強誘電体薄膜とを備えてなり、該第１の電極と第２
の電極との間に印加される電圧によって該電極間の強誘
電体薄膜を分極させて出力コードを設定し、且つ該電圧
印加の解除後も残留分極によって、設定された出力コー
ドを維持するようにしたことを特徴とする弾性表面波デ
バイス。 - 【請求項２】 請求項１において、前記変換子の第１の
電極と第２の電極とに対し正又は負の電圧を切り替えて
印加できる電圧印加装置を設けたことを特徴とする弾性
表面波デバイス。 - 【請求項３】 請求項１又は２の弾性表面波デバイスを
用いた共振子。 - 【請求項４】 請求項１又は２の弾性表面波デバイスを
用いたフィルタ。 - 【請求項５】 請求項１又は２の弾性表面波デバイスを
用いたＩＤ自動認識システム用のＩＤカード。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8235197A JPH09321572A (ja) | 1996-03-26 | 1996-09-05 | 弾性表面波デバイス、共振子、フィルタ及びｉｄカード |
| DE1997112496 DE19712496A1 (de) | 1996-03-26 | 1997-03-25 | Piezoelektrische Dünnfilm-Bauelemente |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7016796 | 1996-03-26 | ||
| JP8-70167 | 1996-03-26 | ||
| JP8235197A JPH09321572A (ja) | 1996-03-26 | 1996-09-05 | 弾性表面波デバイス、共振子、フィルタ及びｉｄカード |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09321572A true JPH09321572A (ja) | 1997-12-12 |
Family
ID=26411327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8235197A Withdrawn JPH09321572A (ja) | 1996-03-26 | 1996-09-05 | 弾性表面波デバイス、共振子、フィルタ及びｉｄカード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09321572A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6489863B2 (en) | 2000-01-18 | 2002-12-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device, surface acoustic wave filter, and manufacturing method for the surface acoustic wave device |
-
1996
- 1996-09-05 JP JP8235197A patent/JPH09321572A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6489863B2 (en) | 2000-01-18 | 2002-12-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device, surface acoustic wave filter, and manufacturing method for the surface acoustic wave device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031202 |