JPH09314835A

JPH09314835A - インクジェットヘッドとその製造方法

Info

Publication number: JPH09314835A
Application number: JP13902996A
Authority: JP
Inventors: Shuichi Fukuoka; 修一福岡; Toshikazu Kishino; 敏和岸野; Shin Okubo; 慎大久保
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 1996-05-31
Filing date: 1996-05-31
Publication date: 1997-12-09

Abstract

(57)【要約】【課題】インク室１及びノズル２の高集積化を図り、圧
電素子４の変形を振動板１０に良好に伝達できるインク
ジェットヘッドを得る。【解決手段】複数のインク室１と、該インク室１に連通
するノズル２と、各インク室１に圧力を加えるための振
動板１０とを備えたインクジェットヘッドにおいて、上
記各部材を金属材で形成するとともに、金属製の振動板
１０の外側に、硬化後のヤング率が３０〜１００ＧＰａ
で厚み３０μｍ以下の接合層９を介して圧電素子４を接
合し、該圧電素子４上に駆動用電極５を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットプ
リンターに用いるインクジェットヘッドに関し、特に高
速かつ高解像度印字を可能にするインクジェトヘッドと
その製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェットプリンターは、ヘッドよ
りインクを噴射して印字するようにしたプリンターであ
り、騒音が少なく高速印字が可能であることから、近年
広く使用されている。

【０００３】このインクジェットヘッドの概略構造は、
図４（Ａ）に示すようにインク室２１とこれに連通する
ノズル２２を備えたヘッド基板２３に、各インク室２１
に圧力を加える振動板２４を接合し、該振動板２４を変
形させてインク室２１内の圧力を上昇させ、インク（不
図示）をノズル２２より噴出させるようになっている。
なお、各部材は金属材で形成されており、図では１つの
インク室２１しか示していないが、同様のものが複数、
一列に並んでインクジェットヘッドを構成している。ま
た、上記振動板２４を変形させる手段としては振動板２
４に圧電素子を接合し、この圧電素子に電圧を印加して
変形させることが行われている。

【０００４】一方、特開平６−４００３０号、特開平６
−２１８９２９号公報等に示されるように、このインク
ジェットヘッドの材質としてセラミックスを用いること
も提案されている。

【０００５】例えば酸化アルミニウム、酸化マグネシウ
ム、酸化ジルコニウムのうちのいずれか一種類を主成分
とするセラミックスからなるヘッド基板２３に、酸化ジ
ルコニウムを主成分とするセラミックスからなる振動板
２４を備え、図４（Ｂ）に示すように振動板２４にＰＺ
Ｔなどの圧電素子２６を下部電極２５、上部電極２７に
より挟持した圧電振動体を接合したものが知られてい
る。

【０００６】このような、セラミックス製のインクジェ
ットヘッドを製造する場合は、まず、酸化アルミニウ
ム、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウムのうち少なく
ともいずれか一種類を主成分とするセラミックスグリー
ンシート上に、インク室２１及びノズル２２となる部位
を金型で打ち抜いた後、振動板２４となるもう一枚のセ
ラミックスグリーンシートを積層し、熱圧着後、セラミ
ックスの焼成温度である約１４００℃の温度で焼成して
ヘッド基板２３を形成する。

【０００７】その後、インク室２１に対応した振動板２
４上に、駆動用下部電極２５とした導電性を持ったサー
メットをスクリーン印刷後、さらにその上部に圧電素子
２６を、例えばＰＺＴ系材料を厚膜形成法により作成
後、焼成し、その上部に駆動用上部電極２７を形成して
いた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
なセラミックス製のインクジェットヘッドの場合、製造
工程中で、セラミックスグリーンシートにインク室２１
及びノズル２２を金型で打ち抜く際にインク室２１間の
壁部が破損変形しやすいことから、インク室２１間のピ
ッチを狭くできないという問題があった。そのため、イ
ンク室２１およびノズル２２の高集積化ができず、印刷
画像の解像度は約７００ｄｐｉが上限であった。また、
ヘッド基板２３が取扱時に破損しやすく、実装時の歩留
まりが悪くなるなどの問題もあった。

【０００９】さらに、ヘッド基板２３を約１４００℃で
焼成した後で、振動板２４上に、下部電極２５となるサ
ーメット、圧電素子２６、及び上部電極２７となる金属
ペーストをそれぞれ塗布した後、再度焼成する必要があ
り、少なくとも２つの焼成工程を必要とするため、製造
工程が煩雑になり、コストの増大を招くという問題もあ
った。また、振動板２４と圧電素子２６との線膨張係数
が異なることによる圧電素子２６の剥離が生じ、歩留ま
りが悪くなるなどの問題もあった。

【００１０】一方、金属製のインクジェットヘッドの場
合は、振動板２４上に圧電素子を備える際に接合層を介
して接合する必要があるため、振動板２４を変形させる
際の応答性が悪いという問題があった。これは、振動板
２４上に接合層を介して圧電素子を備えると、圧電素子
の変形が接合層によって吸収されてしまい、振動板２４
に伝わり難くなるためである。その結果、振動板２４を
変位させるために必要な駆動電圧が大きくなるだけでな
く、圧電素子に大きな応力が生じてしまい破損しやすく
なるという問題もあった。

【００１１】また、いずれのインクジェットヘッドの場
合も、高集積化のためにインク室２１間のピッチを小さ
くすると、各圧電素子を各インク室２１上に正確に位置
決めして備えることが困難になるという問題もあった。

【００１２】そこで本発明は、インク室、ノズル及び圧
電素子の高集積化を図って、約１０００ｄｐｉを超える
高解像度と高速印字を可能にしたインクジェットヘッド
と、製造歩留まりを大幅に向上させ、かつ取り扱いを容
易にしたインクジェットヘッドの製造方法を提供するこ
とを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、複数のインク
室と、該インク室に連通するノズルと、各インク室に圧
力を加えるための振動板とを備えたインクジェットヘッ
ドにおいて、各部材を金属板で形成するとともに、振動
板の外側に、硬化後のヤング率が３０〜１００ＧＰａで
厚み３０μｍ以下の接合層を介して圧電素子を接合し、
該圧電素子上に駆動用電極を形成したことを特徴とす
る。

【００１４】即ち、本発明によれば、ヘッドを金属材で
形成することによって、靱性及び強度が高いことから、
製造時にインク室やノズルを形成する際の加工精度を高
くしやすい。そのため、インク室間のピッチを狭くして
集積度の高いインクジェットヘッドを得ることができ
る。また、ヘッドを金属で形成することによって、製造
工程を簡略化し、取扱を容易にすることもできる。さら
に振動板を金属材で形成することによって、圧電素子の
下部電極を振動板で兼用することができる。

【００１５】なお、金属製のインクジェットヘッドの場
合、振動板と圧電素子との接合層が問題となるが、種々
実験の結果、接合層のヤング率と厚みを上記範囲とすれ
ば、応答性に優れたインクジェットヘッドが得られるこ
とを見出したのである。

【００１６】即ち、圧電素子で発生した変位を効率よく
振動板に伝達するには、振動板と圧電素子の接合にヤン
グ率の高い接合層を用いることが望ましい。しかしなが
ら、過度にヤング率の高い接合層で圧電素子を接合した
場合、圧電素子への電圧印加時に、変形が拘束されて内
部に発生する応力が高くなり、圧電素子が破壊に至る可
能性がある。

【００１７】そこで、本発明では上記接合層の硬化後の
ヤング率を３０〜１００ＧＰａとしたが、これは３０Ｇ
Ｐａ未満では圧電素子の変位を効率良く振動板に伝達す
ることができず、１００ＧＰａを超えると変形拘束によ
り圧電素子が破損しやすくなるためである。なお、この
ような接合層としては、低融点ガラス、エポキシ系接着
剤、嫌気性接着剤、シランカップリング剤と金属系カッ
プリング剤の混合剤などを用いるが、上記範囲内であれ
ば、その他の有機系接着剤、無機系接着剤を用いること
ができる。あるいは、これらの接着剤に無機粉末等のフ
ィラーを混合してヤング率を上記範囲に調整したもので
あってもよい。

【００１８】また、圧電素子の変位を振動板に効率よく
伝達し、かつ振動板、接合層および圧電素子に生ずる応
力を低く抑えるには、これらの積層時の厚みをできるだ
け薄くすることが望ましい。そこで、本発明では、接合
層の厚みを３０μｍ以下、望ましくは２０μｍ以下とす
ることにより、圧電素子の変位を効率よく振動板に伝達
し、かつ強度上安定した構造を実現した。

【００１９】また上記応力を低く抑え、応答性を向上さ
せて高速駆動するために、振動板の厚みは３０μｍ以下
とすることが好ましい。

【００２０】さらに、圧電素子の厚みは５０μｍ以下と
薄くすることによって、共振周波数を高めるとともに、
駆動電圧を小さくすることができる。しかし、小型化と
薄層化に伴い、個々に独立した圧電素子をインク室上に
形成することが困難で、生産性が低くなるなどの問題が
生じる。そこで、後述する製造方法により、一枚の圧電
素子を全面に接合し、インク室間の部分を除去してスリ
ットを形成することで、容易に圧電素子を形成すること
ができる。

【００２１】さらに本発明は、複数のインク室と、該イ
ンク室に連通するノズルと、各インク室に圧力を加える
ための振動板とを備えたインクジェットヘッドにおい
て、上記振動板の外側に接合層を介して板状の圧電素子
を接合した後、該圧電素子における隣合うインク室間の
部分を除去してスリットを形成する工程からインクジェ
ットヘッドを製造することを特徴とする。

【００２２】即ち、本発明によれば、インク室上に圧電
素子を備える際に、全面を覆う圧電素子プレートを接合
した後、インク室の間に相当する部分の圧電素子を除去
してスリットを形成することによって、インク室上に正
確に位置決めして圧電素子を形成するとともに、個々の
圧電素子の相互干渉を防止できる。そのため、インク室
間のピッチを小さくして、高集積化を図ったインクジェ
ットヘッドを容易に製造できる。

【００２３】また、本発明は、複数のインク室と、該イ
ンク室に連通するノズルと、各インク室に圧力を加える
ための振動板とを備えたインクジェットヘッドにおい
て、上記振動板の外側に、インク室に対応する部分のみ
に圧電素子を成膜する工程からインクジェットヘッドを
製造することを特徴とする。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図によ
って説明する。

【００２５】本発明のインクジェットヘッドは、図１に
示すようにインク室１とノズル２が形成されたヘッド基
板３の表面に、接合層９を介して圧電素子プレート４が
接合された構造となっている。

【００２６】ヘッド基板３は、ノズル２を形成したプレ
ート７と、インク室１及びインク通路（不図示）を形成
したプレート８と、振動板１０とをガラス等の接合材６
で接合したものであり、これらの部材はステンレス、Ｎ
ｉ、Ｔｉ、Ａｌまたはその合金など、耐食性に優れた金
属から形成されている。上記振動板１０の厚みｔ₁は３
０μｍ以下、特に２０μｍ以下であることが好ましい
が、これは圧電素子４に電圧を印加して変位させた時の
応力を小さくし、高速駆動を可能とするためである。

【００２７】また、ヘッド基板３の振動板１０と圧電素
子プレート４との間の接合層９は、低融点ガラス、エポ
キシ系接着剤、嫌気性接着剤またはシランカップリング
剤と金属系カップリング剤の混合剤等からなり、硬化後
のヤング率が３０〜１００ＧＰａのものを用いることに
よって、圧電素子プレート４の変位を効率的に振動板１
０に伝えるとともに、圧電素子プレート４への電圧印加
時に生じる応力を小さくしてある。

【００２８】なお、接合層９の硬化後のヤング率とは、
接合層９が完全に硬化した後のヤング率のことであり、
接合層９に薄膜用硬度測定圧子を押しつけることによっ
て測定できる。

【００２９】さらに、接合層９の厚みｔ₂は３０μｍ以
下、好ましくは２０μｍ以下とすることが好ましいが、
これは圧電素子プレート４の変位を効率的に振動板１０
に伝えるためである。

【００３０】また圧電素子プレート４は、各インク室１
上に形成された駆動部４ａと連結部４ｂからなる一枚の
板状体であり、インク室１間の部分に相当する各駆動部
４ａ間にはスリット４ｃが形成され、全体として櫛歯状
となっている。そのため、隣接するインク室１間におい
て駆動部４ａによる相互干渉を少なくすることができ
る。

【００３１】また、圧電素子４の駆動部４ａの厚みｔ₃
は５０μｍ以下とすることが好ましいが、これは共振周
波数を高くし、駆動電圧を低くするためである。

【００３２】この圧電素子プレート４は、電圧印加によ
り変形する圧電材料により形成されている。例えば、チ
タン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とするペロブス
カイト型複合酸化物からなる圧電材料、あるいは上記Ｐ
ＺＴのＰｂ、Ｚｒ、Ｔｉの元素の一部を、Ｓｒ、Ｂａ等
のアルカリ土類金属、Ｎｂ等の周期律表第５ａ族元素、
Ｂｉ、Ｓｂ等の周期律表第５ｂ族元素、Ｎｉ等の周期律
表第８族元素、Ｐｒ、Ｎｄ等の希土類、Ｚｎ、Ｔｅ等に
より一部置換した圧電材料で形成されている。

【００３３】さらに駆動用電極５は、圧電素子プレート
４の駆動部４ａ上に形成され、例えば、銀、パラジウ
ム、白金、ニッケルのうちの少なくとも一種からなるも
のである。

【００３４】このインクジェットヘッドを作動させる場
合は、下部電極を兼用する振動板１０と圧電素子プレー
ト４のうち所望の駆動部４ａ上の駆動電極５との間に電
圧を印加することによって、当該駆動部４ａを変形さ
せ、これを振動板１０に伝えてインク室１内の圧力を高
め、インク室１内のインク（不図示）をノズル２より噴
出させることができる。

【００３５】次に本発明の製造方法を説明する。

【００３６】まず、ノズル２を形成した金属製のプレー
ト７と、インク室１及びインク通路（不図示）を形成し
た金属製のプレート８と、金属製の振動板１０とをそれ
ぞれガラス等の接合材６で接合してヘッド基板３を作製
する。

【００３７】次に、図２（Ａ）に示すように、このヘッ
ド基板３の振動板１０上に、接合層９を塗布して、スリ
ットを形成していない圧電素子プレート４を接合する。
具体的には、接合層９としてガラスペーストを塗布後、
圧電素子プレート４を熱接合するか、あるいは接合層９
としてエポキシ系接着剤またはシランカップリング剤と
金属系カップリング剤の混合剤を塗布後、圧電素子プレ
ート４を接合する。

【００３８】なお、上記圧電素子プレート４は、上述し
た圧電材料からなるセラミックスグリーンシートを１層
又は複数層積層した後、焼成したものである。

【００３９】次に、図２（Ｂ）に示すように、この圧電
素子プレート４の表面に、各インク室１間の部分を除い
て樹脂等のマスキング１１を施す。そして、サンドブラ
スト法、ドライエッチング法、又はビームエッチング法
等により、圧電素子プレート４におけるマスキング１１
を施していないインク室１間の部分を除去する。なお、
この工程では、少なくともインク室間１の部分における
圧電素子を除去すればよく、この部分の接合層９は残っ
ていても良い。

【００４０】その後、マスキング１１を除去すれば、図
２（Ｃ）に示すように、インク室１上に形成した駆動部
４ａと連結部４ｂから成り、各駆動部４ａ間にスリット
４ｃを有する櫛歯状の圧電素子プレート４を得ることが
できる。

【００４１】その後、駆動用電極５を圧電素子プレート
４の駆動部４ａごとに形成すれば良い。

【００４２】以上のような製造方法により、圧電素子プ
レート４の駆動部４ａをインク室１上に正確に位置決め
することができ、個々独立した変位を生ぜしめるととも
に、隣接したインク室１との相互干渉を少なくすること
ができる。また、上記製造方法によれば、インク室１間
のピッチを小さくしても、各駆動部４ａを正確にインク
室１上に形成できるため、インク室１及びノズル２の高
集積化が可能になり、その結果、高解像度のインクジェ
ットヘッドが得られることとなる。

【００４３】次に、本発明の他のインクジェットヘッド
の製造方法を説明する。

【００４４】図３（Ａ）に示すように、ヘッド基板３の
振動板１０上に、隣接したインク室１間の部分にマスキ
ング１２を形成する。この状態で、振動板１０の表面に
ＣＶＤ法等の成膜手段で圧電材料を成膜し、その後マス
キング１２を除去することによって、マスキング１２部
分には圧電材料が成膜されないため、図３（Ｂ）に示す
ような櫛歯状の圧電素子プレート４を形成することがで
きる。そのため、圧電素子プレート４の駆動部４ａを正
確にインク室１上に形成することができる。

【００４５】

【実施例】まず、１２００ｄｐｉに対応できるようなピ
ッチでノズル２を形成した厚み５００μｍのステンレス
製のプレート７と、インク通路部とインク室１を形成し
たステンレス製のプレート８と、厚みｔ₁が１０μｍの
ステンレス製の振動板１０とを、それぞれ融点６５０℃
のガラスにより接合してヘッド基板３を作製した。

【００４６】次に、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を
主成分とする厚み３０μｍのセラミックスグリーンシー
トを金型により板状に打ち抜いた。その後、このグリー
ンシートを焼成し、圧電素子プレート４を作製した。な
お、このとき、反りを防ぐために、重りをのせて脱バイ
ンダー及び焼成を行った。

【００４７】次に、図２（Ａ）に示すように、ヘッド基
板３の振動板１０上に、融点が５００℃以下の低融点ガ
ラスを印刷して接合層９とし、乾燥後、上記圧電素子プ
レート４を重ね合わせ、重りをのせて約５００℃で約５
分間の熱処理を行い、両者を接合させた。

【００４８】なお、ここで使用した接合層９を成す低融
点ガラスの硬化後のヤング率は８０ＧＰａ、接合層９の
厚みｔ₂は１０μm とした。

【００４９】次に、図２（Ｂ）に示すように、圧電素子
プレート４の上に樹脂のマスキング１１を施し、サンド
ブラスト法またはドライエッチング法によりインク室１
間の部分を除去することによって、図２（Ｃ）に示す形
状の圧電素子プレート４とした。

【００５０】その後、駆動用電極５を圧電素子４の駆動
部４ａに印刷等の方法で形成し、焼き付けることによっ
て、本発明のインクジェットヘッドを作製した。

【００５１】以上のようにして作製したインクジェット
ヘッドは、良好に作動し、１２００ｄｐｉの高解像度を
得られることが確認された。また、ヘッド基板３が金属
で形成されることから、取り扱いが容易になり、製造工
程の簡略化と歩留まり向上によるコストダウンを図るこ
とができた。

【００５２】実験例１次に、上記インクジェットヘッドにおいて、接合層９の
ヤング率を変化させる実験を行った。

【００５３】図１のインク室１に対応する振動板１０及
び駆動部４ａの幅（図面の左右方向）は２６０μｍ、長
さ（図面の奥行き方向）は３ｍｍとし、振動板１０の厚
みｔ₁は２０μｍ、接合層９の厚みｔ₂は２０μｍ、Ｐ
ＺＴからなる圧電素子プレート４の厚みｔ₃は３０μｍ
とした。

【００５４】また、接合層９として、表１に示すように
硬化後のヤング率が１０〜１２０ＧＰａの範囲の接合材
を用いた。

【００５５】各インクジェットヘッドに、振動板１０の
変位量が０．１μｍとなるように圧電素子プレート４の
駆動部４ａに電圧を印加し、その際に駆動部４ａに生じ
る最大応力を求めた。なお、応力値を実測することはで
きないため、コンピュータシュミレーションによって算
出した。

【００５６】結果は表１に示す通り、接合層９のヤング
率を高くするほど、振動板１０及び駆動部４ａが変形し
にくくなることから、一定の変位量を得るために駆動部
４ａに生じる応力が大きくなる傾向がある。また、一般
的なＰＺＴの強度は１１ＭＰａ程度であることから、接
合層９のヤング率が１００ＧＰａを超えると、ＰＺＴか
らなる圧電素子プレート４の駆動部４ａが破損する恐れ
があることがわかる。

【００５７】したがって、圧電素子プレート４の破損を
防止するには、接合層９のヤング率を１００ＧＰａ以下
とすれば良い。

【００５８】

【表１】

【００５９】実験例２次に、上記と同様にして、圧電素子プレート４の駆動部
４ａへの印加電圧を３０Ｖとした時の、振動板１０の変
位量を測定した。

【００６０】結果を表２に示すように、ヤング率が３０
ＧＰａ未満と低い場合は、駆動部４ａの変形が伝達され
にくいため振動板１０の変位量が小さくなり、一方ヤン
グ率が１００ＧＰａを超えると、振動板１０が拘束され
て変位量が小さくなることがわかる。

【００６１】したがって、駆動部４ａの変形を良好に振
動板１０に伝達するためには、接合層９のヤング率を３
０〜１００ＧＰａの範囲とすれば良い。

【００６２】

【表２】

【００６３】実験例３次に、接合層９のヤング率を５０ＧＰａに固定し、厚み
ｔ₂を表３に示すように種々に変化させた。それぞれ、
振動板１０の変位量が０．１μｍとなるように、圧電素
子プレート４の駆動部４ａに電圧を印加し、その際に駆
動部４ａに生じる応力を実験例１と同様にして求めた。

【００６４】結果を表３に示すように、接合層９の厚み
ｔ₂が大きいほど、振動板１０が変位しにくくなること
から、一定の変位量を得るために、駆動部４ａに生じる
応力が大きくなる傾向がある。また、一般的なＰＺＴの
強度は１１ＭＰａ程度であることから、接合層９の厚み
ｔ₂が３０μｍを超えると、ＰＺＴからなる圧電素子プ
レート４の駆動部４ａが破損する恐れがあることがわか
る。

【００６５】したがって、圧電素子プレート４の破損を
防止するには、接合層９の厚みｔ₂を３０μｍ以下とす
れば良い。

【００６６】

【表３】

【００６７】実験例４次に、実験例３と同様にして、圧電素子４への印加電圧
を３０Ｖとした時の、振動板１０の変位量を測定した。

【００６８】結果を表４に示すように、厚みｔ₂が３０
μｍを超えると、圧電素子プレート４の駆動部４ａの変
形が伝達されにくくなるため、振動板１０の変位量が小
さくなることがわかる。

【００６９】したがって、接合層９の厚みｔ₂は３０μ
ｍ以下とすれば良い。

【００７０】

【表４】

【００７１】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、複数の
インク室と、該インク室に連通するノズルと、各インク
室に圧力を加えるための振動板とを備えたインクジェッ
トヘッドにおいて、上記各部材を金属材で形成するとと
もに、金属製の振動板の外側に、硬化後のヤング率が３
０〜１００ＧＰａで厚み３０μｍ以下の接合層を介して
圧電素子を接合し、該圧電素子上に駆動用電極を形成し
たことによって、インク室及びノズルの高集積化を図る
ことができる。また圧電素子の変形を振動板に良好に伝
達できることから応答性に優れ、低電圧で大きな応力が
生じることなく駆動させることができる。

【００７２】その結果、１０００ｄｐｉを超える高解像
度が得られ、使用時に振動部が破損する恐れがなく、低
電圧で高速駆動が可能な、高性能のインクジェットヘッ
ドを得ることができる。

【００７３】また、本発明によれば、複数のインク室
と、該インク室に連通するノズルと、各インク室に圧力
を加えるための振動板とを備えたインクジェットヘッド
において、上記振動板の外側に接合層を介して板状の圧
電素子を接合した後、該圧電素子における隣合うインク
室間の部分を除去してスリットを形成する工程から製造
することによって、各部材が金属からなるため取り扱い
が容易で、製造歩留まりを大幅に向上させることができ
る。また、各インク室上に正確に圧電素子を形成できる
ため、インク室の高集積化に対応でき、高解像度のイン
クジェットヘッドを容易に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のインクジェットヘッドを示す一部破断
斜視図である。

【図２】（Ａ）〜（Ｃ）は本発明のインクジェットヘッ
ドの製造方法を説明するための斜視図である。

【図３】（Ａ）（Ｂ）は本発明のインクジェットヘッド
の製造方法を説明するための斜視図である。

【図４】（Ａ）（Ｂ）は従来のインクジェットヘッドを
示す概略断面図である。

【符号の説明】

１：インク室２：ノズル３：ヘッド基板４：圧電素子４ａ：駆動部４ｂ：連結部４ｃ：スリット５：駆動用電極６：接合材７：プレート８：プレート９：接合層１０：振動板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数のインク室と、該インク室に連通する
ノズルと、各インク室に圧力を加えるための振動板とを
備えたインクジェットヘッドにおいて、上記各部材を金
属材で形成するとともに、振動板の外側に、硬化後のヤ
ング率が３０〜１００ＧＰａで厚み３０μｍ以下の接合
層を介して圧電素子を接合し、該圧電素子上に駆動用電
極を形成してなるインクジェットヘッド。
【請求項２】上記振動板の厚みが３０μｍ以下で、かつ
圧電素子の厚みが５０μｍ以下であることを特徴とする
請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】上記各振動板に接合された圧電素子は、一
体的に形成した板状体であり、かつ隣合うインク室間に
はスリットを有することを特徴とする請求項１記載のイ
ンクジェットヘッド。
【請求項４】複数のインク室と、該インク室に連通する
ノズルと、各インク室に圧力を加えるための振動板とを
備えたインクジェットヘッドにおいて、上記振動板の外
側に接合層を介して板状の圧電素子を接合した後、該圧
電素子における隣合うインク室間の部分をブラスト法又
はエッチング法により除去してスリットを形成する工程
からなるインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】複数のインク室と、該インク室に連通する
ノズルと、各インク室に圧力を加えるための振動板とを
備えたインクジェットヘッドにおいて、上記振動板の外
側に、インク室に対応する部分のみに圧電素子を成膜に
より形成する工程からなるなるインクジェットヘッドの
製造方法。