JPH09314491A - ロボットアーム - Google Patents
ロボットアームInfo
- Publication number
- JPH09314491A JPH09314491A JP13551096A JP13551096A JPH09314491A JP H09314491 A JPH09314491 A JP H09314491A JP 13551096 A JP13551096 A JP 13551096A JP 13551096 A JP13551096 A JP 13551096A JP H09314491 A JPH09314491 A JP H09314491A
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- Japan
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- arm
- robot arm
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 重量を軽減して搬送時間を短縮し、クリーン
ルーム内におけるゴミの発生を極めて少なくすることの
できるロボットアームを提供すること。 【解決手段】 ロボットアームの第１アーム部及び第２
アーム部の枠体７は、マグネシウム合金で形成されてい
る。マグネシウム合金層１１の表面上には亜鉛置換層１
２が皮膜され、亜鉛置換層１２上には無電解銅メッキ層
１３が皮膜され、無電解銅メッキ層１３上には無電解メ
ッキ処理によるＮｉ−Ｐ層１４、Ｎｉ−Ｂ層１５が順次
皮膜されている。この構成により重量が軽減されるとと
もに、耐食性、耐摩耗性のあるメッキ層が強固に密着さ
れる。
ルーム内におけるゴミの発生を極めて少なくすることの
できるロボットアームを提供すること。 【解決手段】 ロボットアームの第１アーム部及び第２
アーム部の枠体７は、マグネシウム合金で形成されてい
る。マグネシウム合金層１１の表面上には亜鉛置換層１
２が皮膜され、亜鉛置換層１２上には無電解銅メッキ層
１３が皮膜され、無電解銅メッキ層１３上には無電解メ
ッキ処理によるＮｉ−Ｐ層１４、Ｎｉ−Ｂ層１５が順次
皮膜されている。この構成により重量が軽減されるとと
もに、耐食性、耐摩耗性のあるメッキ層が強固に密着さ
れる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体等の薄型
基板を搬送するロボットのロボットアームに関し、さら
に、クリーンルーム内で稼働されるロボットアームの改
良に関する。
基板を搬送するロボットのロボットアームに関し、さら
に、クリーンルーム内で稼働されるロボットアームの改
良に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体等を製造するにあたっては、半導
体等は種々の工程を経て製造され、特にゴミ等を嫌う半
導体等に対して、それぞれの工程での作業はクリーンル
ーム内に設置される機械によって行なわれる。そのた
め、半導体等の薄型基板を搬送するロボットも当然なが
らクリーンルーム内に設置され、種々に改良されるロボ
ットもゴミ発生の対策が含まれている。また、薄型基板
の搬送においては、ゴミの発生対策と共に搬送時間の短
縮が求められ、システムの改良やロボットそのものの見
直しが検討されていた。
体等は種々の工程を経て製造され、特にゴミ等を嫌う半
導体等に対して、それぞれの工程での作業はクリーンル
ーム内に設置される機械によって行なわれる。そのた
め、半導体等の薄型基板を搬送するロボットも当然なが
らクリーンルーム内に設置され、種々に改良されるロボ
ットもゴミ発生の対策が含まれている。また、薄型基板
の搬送においては、ゴミの発生対策と共に搬送時間の短
縮が求められ、システムの改良やロボットそのものの見
直しが検討されていた。
【０００３】従来のロボットは、駆動部とロボットアー
ムを備えて構成され、該ロボットアームは駆動部に直接
連結される第１アーム部と、第１アーム部に駆動連結さ
れる第２アーム部と、薄型基板を吸着し前記第２アーム
部に駆動連結されるハンドアームと、を備え、薄型基板
を直線的に移動できるように構成されている。そして、
ロボットアームを構成する前記第１アーム部、前記第２
アーム部はアルミニウム合金で形成されいた。アルミニ
ウム合金は、引張強さや耐食性が優れていて、アルミニ
ウムの比重も２．７１と比較的軽いため、各種に使用さ
れている。
ムを備えて構成され、該ロボットアームは駆動部に直接
連結される第１アーム部と、第１アーム部に駆動連結さ
れる第２アーム部と、薄型基板を吸着し前記第２アーム
部に駆動連結されるハンドアームと、を備え、薄型基板
を直線的に移動できるように構成されている。そして、
ロボットアームを構成する前記第１アーム部、前記第２
アーム部はアルミニウム合金で形成されいた。アルミニ
ウム合金は、引張強さや耐食性が優れていて、アルミニ
ウムの比重も２．７１と比較的軽いため、各種に使用さ
れている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、搬送時間の短
縮がさらに求められると、従来のアルミニウム合金で形
成されているアーム部でもその重量をさらに軽くし、軽
くすることによって、アーム部の動作速度を向上するよ
う検討がなされるようになってきた。特に、ロボットを
大型化する場合、重量軽減はさらに重要視される。ま
た、アルミニウム合金は熱伝導度が１３０Ｗ／ｍ℃あ
り、モータから発生する熱を吸収しにくい。そのため、
モータに掛かる負荷が大きくなりモータの寿命を早める
とともに搬送時間の短縮を妨げてしまう。さらに、アル
ミニウムやアルミニウム合金は切削性が必ずしもよくな
く、そのためコストが高くなり、アルミニウム合金より
切削性のよい材料が同時に求められていた。
縮がさらに求められると、従来のアルミニウム合金で形
成されているアーム部でもその重量をさらに軽くし、軽
くすることによって、アーム部の動作速度を向上するよ
う検討がなされるようになってきた。特に、ロボットを
大型化する場合、重量軽減はさらに重要視される。ま
た、アルミニウム合金は熱伝導度が１３０Ｗ／ｍ℃あ
り、モータから発生する熱を吸収しにくい。そのため、
モータに掛かる負荷が大きくなりモータの寿命を早める
とともに搬送時間の短縮を妨げてしまう。さらに、アル
ミニウムやアルミニウム合金は切削性が必ずしもよくな
く、そのためコストが高くなり、アルミニウム合金より
切削性のよい材料が同時に求められていた。
【０００５】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、搬送時間を短縮するためにロボットアームやロボ
ットアームを可動する部位の重量を軽減するとともに、
コストを低減し、クリーンルーム内でのゴミの発生を少
なくできるロボットアームを提供することを目的とす
る。
あり、搬送時間を短縮するためにロボットアームやロボ
ットアームを可動する部位の重量を軽減するとともに、
コストを低減し、クリーンルーム内でのゴミの発生を少
なくできるロボットアームを提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明にかかわるロボ
ットアームでは、上記の課題を解決するために以下のよ
うに構成するものである。すなわち、ワークを吸着し直
線的に搬送するために、少なくとも１個のアーム部を有
して駆動されるロボットのロボットアームであって、少
なくとも前記アーム部がマグネシウム合金を含んで形成
されることを特徴とするものである。
ットアームでは、上記の課題を解決するために以下のよ
うに構成するものである。すなわち、ワークを吸着し直
線的に搬送するために、少なくとも１個のアーム部を有
して駆動されるロボットのロボットアームであって、少
なくとも前記アーム部がマグネシウム合金を含んで形成
されることを特徴とするものである。
【０００７】また、少なくとも前記アーム部が、マグネ
シウム合金層と、前記マグネシウム合金層の表面上に形
成される薄膜状の亜鉛置換層と、前記亜鉛置換層の表面
上に形成される薄膜状の無電解銅メッキ層と、前記銅メ
ッキ層の表面上に形成される薄膜状の無電解ニッケルメ
ッキ層と、を含んで形成されることを特徴とするもので
あれば良い。
シウム合金層と、前記マグネシウム合金層の表面上に形
成される薄膜状の亜鉛置換層と、前記亜鉛置換層の表面
上に形成される薄膜状の無電解銅メッキ層と、前記銅メ
ッキ層の表面上に形成される薄膜状の無電解ニッケルメ
ッキ層と、を含んで形成されることを特徴とするもので
あれば良い。
【０００８】また、前記無電解ニッケルメッキ層が、薄
膜状のＮｉ−Ｐ層と前記Ｎｉ−Ｐ層の表面上に形成され
る薄膜状のＮｉ−Ｂ層と、の２層で形成されることを特
徴とするものであればなお良い。
膜状のＮｉ−Ｐ層と前記Ｎｉ−Ｐ層の表面上に形成され
る薄膜状のＮｉ−Ｂ層と、の２層で形成されることを特
徴とするものであればなお良い。
【０００９】さらに、少なくとも前記アーム部が、マグ
ネシウム合金層と、前記マグネシウム合金層の表面上に
形成される薄膜状の亜鉛置換層と、前記亜鉛置換層の表
面上に形成される薄膜状の銅メッキ層と前記銅メッキ層
の表面上に形成される薄膜状の無電解銅メッキ層と、前
記無電解銅メッキ層の表面上に形成される無電解ニッケ
ルメッキ層と、を含んで形成されることを特徴とするも
のであってもよい。
ネシウム合金層と、前記マグネシウム合金層の表面上に
形成される薄膜状の亜鉛置換層と、前記亜鉛置換層の表
面上に形成される薄膜状の銅メッキ層と前記銅メッキ層
の表面上に形成される薄膜状の無電解銅メッキ層と、前
記無電解銅メッキ層の表面上に形成される無電解ニッケ
ルメッキ層と、を含んで形成されることを特徴とするも
のであってもよい。
【００１０】また、このロボットアームは、ワークを吸
着し直線的に搬送するために、少なくとも１個のアーム
部を有して駆動されるロボットのロボットアームであっ
て、少なくとも前記アーム部がマグネシウム合金を含ん
で形成され、前記アーム部の枠体内の一部に補強リブが
配設されることを特徴とするものである。
着し直線的に搬送するために、少なくとも１個のアーム
部を有して駆動されるロボットのロボットアームであっ
て、少なくとも前記アーム部がマグネシウム合金を含ん
で形成され、前記アーム部の枠体内の一部に補強リブが
配設されることを特徴とするものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面に基づいて説明する。
図面に基づいて説明する。
【００１２】図１は、ロボットアームの断面図を示すも
のであり、ロボットアーム１は駆動部２から連結される
第１アーム部３と、第１アーム部３に連結される第２ア
ーム部４と、第２アーム部４に連結されるハンドアーム
５とを備えて構成されている。そしてハンドアーム５は
薄型基板Ｗを吸着し、薄型基板Ｗを直線的に移動するよ
うに第１アーム部３、第２アーム部４内に配設されるプ
ーリＰ及びベルトＢ等によって駆動される。
のであり、ロボットアーム１は駆動部２から連結される
第１アーム部３と、第１アーム部３に連結される第２ア
ーム部４と、第２アーム部４に連結されるハンドアーム
５とを備えて構成されている。そしてハンドアーム５は
薄型基板Ｗを吸着し、薄型基板Ｗを直線的に移動するよ
うに第１アーム部３、第２アーム部４内に配設されるプ
ーリＰ及びベルトＢ等によって駆動される。
【００１３】図２は、第１アーム部３または第２アーム
部４の枠体７の断面図を示すものであり、中空状の枠体
７は外周部に下方に向かって突起部８ａが形成され、幅
方向の中央部に下方に向かって補強リブ８ｂが形成され
る上部枠体８と、外周部に上方に向かって突起部９ａが
形成され、補強リブ８ｂの位置に対応するように上方に
向かって補強リブ９ｂが形成される下部枠体９と、から
なり、上部枠体８の下面と下部枠体９の上面とが当接さ
れて、補強リブ８ｂと補強リブ９ｂがボルトで固着され
ている。なお、補強リブ８ｂ、９ｂは、図１における長
手方向に対して、略中央部に長尺状に形成され、補強リ
ブ９ｂのボルトが配設される位置はボルトが下方から挿
入できるように凹状に形成されている。
部４の枠体７の断面図を示すものであり、中空状の枠体
７は外周部に下方に向かって突起部８ａが形成され、幅
方向の中央部に下方に向かって補強リブ８ｂが形成され
る上部枠体８と、外周部に上方に向かって突起部９ａが
形成され、補強リブ８ｂの位置に対応するように上方に
向かって補強リブ９ｂが形成される下部枠体９と、から
なり、上部枠体８の下面と下部枠体９の上面とが当接さ
れて、補強リブ８ｂと補強リブ９ｂがボルトで固着され
ている。なお、補強リブ８ｂ、９ｂは、図１における長
手方向に対して、略中央部に長尺状に形成され、補強リ
ブ９ｂのボルトが配設される位置はボルトが下方から挿
入できるように凹状に形成されている。
【００１４】枠体７は、基部がマグネシウム合金で形成
され、マグネシウム合金の表面上にメッキ処理が施され
る。そして、マグネシウム合金にメッキの密着性を向上
するために亜鉛置換処理、無電解銅メッキ処理を施すよ
うにしている。
され、マグネシウム合金の表面上にメッキ処理が施され
る。そして、マグネシウム合金にメッキの密着性を向上
するために亜鉛置換処理、無電解銅メッキ処理を施すよ
うにしている。
【００１５】マグネシウム合金は比重が１、７〜１、９
であり、アルミニウム合金に比べて３０％強低い。その
ため、重量が軽くなりワークを搬送するロボットアーム
に使用されれば、慣性力が小さくなり電力消費量も軽減
される。また、マグネシウムの熱伝導度は２０℃におい
て１５４Ｗ／ｍ℃でアルミニウムに比べて放電性がよい
ことから、モータから発生する熱が伝導されモータの負
荷が低減される。さらに、加工性もアルミニウム合金に
比べて有利であり、加工時間の短縮につながり加工コス
トが低減される。しかし、マグネシウム合金には腐食性
があり、そのまま使用すると酸化しやすくクリーンルー
ム内での使用は困難であるため、マグネシウム合金の表
面に耐食性や耐摩耗性のあるメッキ処理が施される。本
形態においてはメッキ処理は無電解メッキ処理によるニ
ッケルメッキが施される。しかし、マグネシウム合金に
直接ニッケルメッキ処理するには密着性が悪いため、無
電解処理による銅メッキ処理することによってニッケル
メッキを強固にする。
であり、アルミニウム合金に比べて３０％強低い。その
ため、重量が軽くなりワークを搬送するロボットアーム
に使用されれば、慣性力が小さくなり電力消費量も軽減
される。また、マグネシウムの熱伝導度は２０℃におい
て１５４Ｗ／ｍ℃でアルミニウムに比べて放電性がよい
ことから、モータから発生する熱が伝導されモータの負
荷が低減される。さらに、加工性もアルミニウム合金に
比べて有利であり、加工時間の短縮につながり加工コス
トが低減される。しかし、マグネシウム合金には腐食性
があり、そのまま使用すると酸化しやすくクリーンルー
ム内での使用は困難であるため、マグネシウム合金の表
面に耐食性や耐摩耗性のあるメッキ処理が施される。本
形態においてはメッキ処理は無電解メッキ処理によるニ
ッケルメッキが施される。しかし、マグネシウム合金に
直接ニッケルメッキ処理するには密着性が悪いため、無
電解処理による銅メッキ処理することによってニッケル
メッキを強固にする。
【００１６】詳細を図３により説明する。図３はは枠体
７の表面部の拡大図を示すものであり、基部のマグネシ
ウム合金層１１の表面には薄膜状の亜鉛置換層１２が皮
膜されている。亜鉛置換層を皮膜することにより表面の
粗いマグネシウム合金層の表面は滑らかにされ均一化さ
れる。そして、亜鉛置換層１２の表面上に薄膜状の無電
解銅メッキ層１３が皮膜される。銅メッキ層１３は数μ
の膜厚で無電解処理により形成され、この無電解銅メッ
キ層１３により表面をさらに均一にし次のニッケルメッ
キ層の密着性を強固にする。銅メッキ層１３の表面上に
は無電解ニッケルメッキ処理されるＮｉ−Ｐ層１４とＮ
ｉ−Ｂ層１５が皮膜されている。Ｎｉ−Ｐ層１４は数μ
の膜厚で耐食性・耐摩耗性に優れているので傷がつきに
くい。Ｎｉ−Ｐ層１４の表面上に皮膜されるＮｉ−Ｂ層
１５は、Ｎｉ−Ｐ層１４より厚めに形成され、表面を極
めて滑らかにするとともにアーム部の色合いを出すよう
にしている。
７の表面部の拡大図を示すものであり、基部のマグネシ
ウム合金層１１の表面には薄膜状の亜鉛置換層１２が皮
膜されている。亜鉛置換層を皮膜することにより表面の
粗いマグネシウム合金層の表面は滑らかにされ均一化さ
れる。そして、亜鉛置換層１２の表面上に薄膜状の無電
解銅メッキ層１３が皮膜される。銅メッキ層１３は数μ
の膜厚で無電解処理により形成され、この無電解銅メッ
キ層１３により表面をさらに均一にし次のニッケルメッ
キ層の密着性を強固にする。銅メッキ層１３の表面上に
は無電解ニッケルメッキ処理されるＮｉ−Ｐ層１４とＮ
ｉ−Ｂ層１５が皮膜されている。Ｎｉ−Ｐ層１４は数μ
の膜厚で耐食性・耐摩耗性に優れているので傷がつきに
くい。Ｎｉ−Ｐ層１４の表面上に皮膜されるＮｉ−Ｂ層
１５は、Ｎｉ−Ｐ層１４より厚めに形成され、表面を極
めて滑らかにするとともにアーム部の色合いを出すよう
にしている。
【００１７】なお、無電解ニッケルメッキの処理として
は、熱処理された枠体７に次亜りん酸塩が還元剤として
使用される。そして、前工程として枠体７をアルカリ脱
脂・電解脱脂・酸洗をして洗浄する。次にＮｉ−Ｐ合金
液及び水の入ったメッキ層に枠体７を投入し、液を攪拌
しながら加熱してメッキ処理を行なう。この処理後は皮
膜の硬度・耐摩耗性を向上するため熱処理を行ない、耐
食性を向上するためクロム酸処理を行なう。これによっ
て枠体７の外周表面にＮｉ−Ｐ合金層が形成される。ま
た、Ｎｉ−Ｂ層を形成する時もＮｉ−Ｐ合金液をＮｉ−
Ｂ合金液に変更するだけで処理は同様である。
は、熱処理された枠体７に次亜りん酸塩が還元剤として
使用される。そして、前工程として枠体７をアルカリ脱
脂・電解脱脂・酸洗をして洗浄する。次にＮｉ−Ｐ合金
液及び水の入ったメッキ層に枠体７を投入し、液を攪拌
しながら加熱してメッキ処理を行なう。この処理後は皮
膜の硬度・耐摩耗性を向上するため熱処理を行ない、耐
食性を向上するためクロム酸処理を行なう。これによっ
て枠体７の外周表面にＮｉ−Ｐ合金層が形成される。ま
た、Ｎｉ−Ｂ層を形成する時もＮｉ−Ｐ合金液をＮｉ−
Ｂ合金液に変更するだけで処理は同様である。
【００１８】上記のメッキ処理は第１アーム部３及び第
２アーム部４の枠体７全ての表面において行なわれるた
め、いずれの部分からも傷がつきにくく、傷から発生す
るゴミがなくなる。
２アーム部４の枠体７全ての表面において行なわれるた
め、いずれの部分からも傷がつきにくく、傷から発生す
るゴミがなくなる。
【００１９】なお、上記メッキ処理においては、亜鉛置
換層１２の表面上に電気分解による銅メッキ層を皮膜
し、電気分解による銅メッキ層の表面上に無電解による
銅メッキ層を形成してもよい。この２重の銅メッキ層を
形成することによって、無電解ニッケルメッキ層との反
応をよくして密着性を向上させることができる。
換層１２の表面上に電気分解による銅メッキ層を皮膜
し、電気分解による銅メッキ層の表面上に無電解による
銅メッキ層を形成してもよい。この２重の銅メッキ層を
形成することによって、無電解ニッケルメッキ層との反
応をよくして密着性を向上させることができる。
【００２０】なお、本形態ではロボットアームは第１ア
ーム、第２アーム、ハンドアームで構成されるもので説
明したが、これに限られるものではなく、クリーンルー
ム内で使用されるロボットのロボットアームであればど
のようなタイプのものでもよく、例えば、１個のハンド
アームでワークを直線状に移動させるものでもよい。さ
らに、ロボットアームに限らず、ロボットアームを可動
する部位において、マグネシウム合金を使用できる部品
であればどのようなものでもよい。但しこの場合におい
ても、マグネシウム合金にニッケルメッキ層を強固に形
成することが必要である。
ーム、第２アーム、ハンドアームで構成されるもので説
明したが、これに限られるものではなく、クリーンルー
ム内で使用されるロボットのロボットアームであればど
のようなタイプのものでもよく、例えば、１個のハンド
アームでワークを直線状に移動させるものでもよい。さ
らに、ロボットアームに限らず、ロボットアームを可動
する部位において、マグネシウム合金を使用できる部品
であればどのようなものでもよい。但しこの場合におい
ても、マグネシウム合金にニッケルメッキ層を強固に形
成することが必要である。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、ワークを直線的に移動
するように構成されるロボットアームが、マグネシウム
合金により形成されるため、従来のアルミニウム合金で
形成されるロボットアームに比べて３０％強の重量が軽
減され、ロボットアームの動作速度を向上することがで
き搬送時間を短縮することができるとともに、モータの
負荷を軽減することによってモータの寿命を延ばし、さ
らに切削性に優れていることから加工コストも低減する
ことができる。
するように構成されるロボットアームが、マグネシウム
合金により形成されるため、従来のアルミニウム合金で
形成されるロボットアームに比べて３０％強の重量が軽
減され、ロボットアームの動作速度を向上することがで
き搬送時間を短縮することができるとともに、モータの
負荷を軽減することによってモータの寿命を延ばし、さ
らに切削性に優れていることから加工コストも低減する
ことができる。
【００２２】また、腐食性のあるマグネシウム合金に対
して、マグネシウム合金層の表面上に亜鉛置換層、無電
解銅メッキ層を形成し、その上に無電解のニッケルメッ
キ層を形成するため、耐食性、耐摩耗性に優れ、クリー
ンルーム内で最も嫌われるゴミの発生を極力少なくする
ことができるとともに、ニッケルメッキ層の密着性を強
固にできる。そのため、製造されるロボットアームは安
定した寿命を保つことができる。
して、マグネシウム合金層の表面上に亜鉛置換層、無電
解銅メッキ層を形成し、その上に無電解のニッケルメッ
キ層を形成するため、耐食性、耐摩耗性に優れ、クリー
ンルーム内で最も嫌われるゴミの発生を極力少なくする
ことができるとともに、ニッケルメッキ層の密着性を強
固にできる。そのため、製造されるロボットアームは安
定した寿命を保つことができる。
【００２３】さらに、無電解ニッケルメッキ層がＮｉ−
Ｐ層、Ｎｉ−Ｂ層の２重の層に形成されるため、表面を
極めて滑らかにすることができ、マグネシウム合金から
発生するゴミを防ぐことができ、しかも色合いを出すこ
とができる。
Ｐ層、Ｎｉ−Ｂ層の２重の層に形成されるため、表面を
極めて滑らかにすることができ、マグネシウム合金から
発生するゴミを防ぐことができ、しかも色合いを出すこ
とができる。
【００２４】また、マグネシウム合金で形成されるロボ
ットアームに補強リブを形成することにより、耐久性を
向上し、ロボットアームの寿命を延ばすことができる。
ットアームに補強リブを形成することにより、耐久性を
向上し、ロボットアームの寿命を延ばすことができる。
【図１】本発明の一実施の形態によるロボットアームの
概略断面図
概略断面図
【図２】図１におけるアーム部の枠体の断面図
【図３】図２におけるアーム部枠体の表面拡大図
１…ロボットアーム ３…第１アーム ４…第２アーム ５…ハンドアーム ７…枠体 ８…上部枠体 ８ｂ…補強リブ ９…下部枠体 ９ｂ…補強リブ １１…マグネシウム合金層 １２…亜鉛置換層 １３…無電解銅メッキ層 １４…Ｎｉ−Ｐ層 １５…Ｎｉ−Ｂ層
Claims (5)
- 【請求項１】 ワークを吸着し直線的に搬送するため
に、少なくとも１個のアーム部を有して駆動されるロボ
ットのロボットアームであって、 少なくとも前記アーム部がマグネシウム合金を含んで形
成されることを特徴とするロボットアーム。 - 【請求項２】 少なくとも前記アーム部が、マグネシウ
ム合金層と、前記マグネシウム合金層の表面上に形成さ
れる薄膜状の亜鉛置換層と、前記亜鉛置換層の表面上に
形成される薄膜状の無電解銅メッキ層と、前記銅メッキ
層の表面上に形成される薄膜状の無電解ニッケルメッキ
層と、を含んで形成されることを特徴とする請求項１記
載のロボットアーム。 - 【請求項３】 前記無電解ニッケルメッキ層が、薄膜状
のＮｉ−Ｐ層と前記Ｎｉ−Ｐ層の表面上に形成される薄
膜状のＮｉ−Ｂ層と、の２層で形成されることを特徴と
する請求項２記載のロボットアーム。 - 【請求項４】 少なくとも前記アーム部が、マグネシウ
ム合金層と、前記マグネシウム合金層の表面上に形成さ
れる薄膜状の亜鉛置換層と、前記亜鉛置換層の表面上に
形成される薄膜状の銅メッキ層と前記銅メッキ層の表面
上に形成される薄膜状の無電解銅メッキ層と、前記無電
解銅メッキ層の表面上に形成される無電解ニッケルメッ
キ層と、を含んで形成されることを特徴とする請求項１
記載のロボットアーム。 - 【請求項５】 ワークを吸着し直線的に搬送するため
に、少なくとも１個のアーム部を有して駆動されるロボ
ットのロボットアームであって、 少なくとも前記アーム部がマグネシウム合金を含んで形
成され、前記アーム部の枠体内の一部に補強リブが配設
されることを特徴とするロボットアーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13551096A JPH09314491A (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | ロボットアーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13551096A JPH09314491A (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | ロボットアーム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09314491A true JPH09314491A (ja) | 1997-12-09 |
Family
ID=15153454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13551096A Withdrawn JPH09314491A (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | ロボットアーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09314491A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004160568A (ja) * | 2002-11-11 | 2004-06-10 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | ロボットアーム |
| JP2013018058A (ja) * | 2011-07-07 | 2013-01-31 | Ulvac Japan Ltd | 搬送ロボット |
| JP2014180731A (ja) * | 2013-03-19 | 2014-09-29 | Yaskawa Electric Corp | ロボット |
-
1996
- 1996-05-29 JP JP13551096A patent/JPH09314491A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004160568A (ja) * | 2002-11-11 | 2004-06-10 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | ロボットアーム |
| JP2013018058A (ja) * | 2011-07-07 | 2013-01-31 | Ulvac Japan Ltd | 搬送ロボット |
| JP2014180731A (ja) * | 2013-03-19 | 2014-09-29 | Yaskawa Electric Corp | ロボット |
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