JPH09306414A - 走査型電子顕微鏡を備えた電子ビーム露光装置 - Google Patents
走査型電子顕微鏡を備えた電子ビーム露光装置Info
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- JPH09306414A JPH09306414A JP8120443A JP12044396A JPH09306414A JP H09306414 A JPH09306414 A JP H09306414A JP 8120443 A JP8120443 A JP 8120443A JP 12044396 A JP12044396 A JP 12044396A JP H09306414 A JPH09306414 A JP H09306414A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/12—Manufacture of electrodes or electrode systems of photo-emissive cathodes; of secondary-emission electrodes
-
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
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- H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
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- H01J2237/30472—Controlling the beam
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 偏向アンプの動作確認を速やかに行うことが
できるとともに装置構成が簡略化された走査型電子顕微
鏡を備えた電子ビーム露光装置を実現する。 【解決手段】 走査型顕微鏡または電子ビーム露光装置
のいずれかとして選択的に使用される走査型電子顕微鏡
を備えた電子ビーム露光装置であって、装置全体の動作
を制御する主制御部と、電子ビーム露光装置として使用
されるときに主制御部から送られる制御信号に応じて電
子ビームの偏向状態を制御するための駆動信号を出力す
る偏向アンプを備えるコラム制御部と、電子顕微鏡を構
成する２次電子検出器の検出信号および偏向アンプ出力
を選択的に入力し、いずれかをデジタル信号に変換する
Ａ／Ｄコンバータと、該Ａ／Ｄコンバータ出力を蓄積す
る画像メモリとを備えた画像記録部と、を有し、主制御
部は画像メモリ出力により偏向アンプ出力を確認するこ
とを特徴とする。
できるとともに装置構成が簡略化された走査型電子顕微
鏡を備えた電子ビーム露光装置を実現する。 【解決手段】 走査型顕微鏡または電子ビーム露光装置
のいずれかとして選択的に使用される走査型電子顕微鏡
を備えた電子ビーム露光装置であって、装置全体の動作
を制御する主制御部と、電子ビーム露光装置として使用
されるときに主制御部から送られる制御信号に応じて電
子ビームの偏向状態を制御するための駆動信号を出力す
る偏向アンプを備えるコラム制御部と、電子顕微鏡を構
成する２次電子検出器の検出信号および偏向アンプ出力
を選択的に入力し、いずれかをデジタル信号に変換する
Ａ／Ｄコンバータと、該Ａ／Ｄコンバータ出力を蓄積す
る画像メモリとを備えた画像記録部と、を有し、主制御
部は画像メモリ出力により偏向アンプ出力を確認するこ
とを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電子ビーム露光装置
に関し、特に、走査型電子顕微鏡（以下、ＳＥＭ：Scan
ning Electron Microscopy と称する）を備えた電子ビ
ーム露光装置に関する。
に関し、特に、走査型電子顕微鏡（以下、ＳＥＭ：Scan
ning Electron Microscopy と称する）を備えた電子ビ
ーム露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、電子ビーム露光装置においては、
露光用に設けられた電子銃より発射される電子ビームを
ＳＥＭの走査用の光源として用いることが行われてい
る。ＳＥＭの機能は露光前に露光用レンズの焦点や電子
ビームの光軸を露光用レンズの光軸に合わせる等の光学
的な調整に使用されており、ＳＥＭの機能は電子ビーム
による露光が行われるときには停止状態とされる。
露光用に設けられた電子銃より発射される電子ビームを
ＳＥＭの走査用の光源として用いることが行われてい
る。ＳＥＭの機能は露光前に露光用レンズの焦点や電子
ビームの光軸を露光用レンズの光軸に合わせる等の光学
的な調整に使用されており、ＳＥＭの機能は電子ビーム
による露光が行われるときには停止状態とされる。
【０００３】図３はこの種の電子ビーム露光装置の従来
例の構成を示すブロック図である。
例の構成を示すブロック図である。
【０００４】図３に示す従来例は、コラム１０９内に収
容される各部を制御する制御系と、ＳＥＭ画像を確認す
るための表示器１０２から構成されている。
容される各部を制御する制御系と、ＳＥＭ画像を確認す
るための表示器１０２から構成されている。
【０００５】コラム１０９内には、電子銃１１０、コン
デンサレンズ１１１、電子銃１１０からの電子ビームを
ステージ１１６上のウェハ１１７（またはマスク）上で
所定のパターンを描くように偏向する偏向コイル１１
３、対物レンズ１１４およびステージ１１６上のウェハ
１１７に電子銃１１０からの電子ビームを照射すること
により発生する２次電子を検出する２次電子検出器１１
５が収容されており、また、コラム１０９内を真空排気
するポンプ１１８が設けられている。
デンサレンズ１１１、電子銃１１０からの電子ビームを
ステージ１１６上のウェハ１１７（またはマスク）上で
所定のパターンを描くように偏向する偏向コイル１１
３、対物レンズ１１４およびステージ１１６上のウェハ
１１７に電子銃１１０からの電子ビームを照射すること
により発生する２次電子を検出する２次電子検出器１１
５が収容されており、また、コラム１０９内を真空排気
するポンプ１１８が設けられている。
【０００６】制御系は、制御コンピュータ１０１と、コ
ラム制御部１０３と、真空制御部１０４と、ステージ制
御部１０５とおよび画像記録部１０７から構成されてい
る。
ラム制御部１０３と、真空制御部１０４と、ステージ制
御部１０５とおよび画像記録部１０７から構成されてい
る。
【０００７】上記の各制御部への指示はすべて制御コン
ピュータ１０１から送信されるもので、以下に各動作時
における制御動作について説明する。
ピュータ１０１から送信されるもので、以下に各動作時
における制御動作について説明する。
【０００８】露光動作時において、コラム制御部１０３
は、露光時における電子銃１１０の電子ビームの出射状
態や偏向コイル１１３による偏向状態およびコンデンサ
レンズ１１１と対物レンズ１１４による合焦状態を制御
することにより露光動作を制御する。
は、露光時における電子銃１１０の電子ビームの出射状
態や偏向コイル１１３による偏向状態およびコンデンサ
レンズ１１１と対物レンズ１１４による合焦状態を制御
することにより露光動作を制御する。
【０００９】真空制御部１０４はポンプ１１８の駆動制
御を行い、コラム１０９内を一定の真空度に保つ。
御を行い、コラム１０９内を一定の真空度に保つ。
【００１０】ステージ制御部１０５は、露光時およびＳ
ＥＭ記録時において、ステージ１１６の移動（ＸＹおよ
び回転等）制御を行い、ステージ１１６を所定の位置に
移動させる。
ＥＭ記録時において、ステージ１１６の移動（ＸＹおよ
び回転等）制御を行い、ステージ１１６を所定の位置に
移動させる。
【００１１】ＳＥＭ動作を行う場合には、露光動作時と
同様の走査制御信号がコラム制御部１０３からコラム内
の各部に送られて走査制御が行われる。この走査制御信
号は画像記録部１０７へも送られ、画像記録部１０７で
は走査制御信号が示す個々の走査位置における２次電子
検出器１１５の出力から走査画像を示す信号を生成し、
表示器１０２へ出力して走査画像を表示させる。
同様の走査制御信号がコラム制御部１０３からコラム内
の各部に送られて走査制御が行われる。この走査制御信
号は画像記録部１０７へも送られ、画像記録部１０７で
は走査制御信号が示す個々の走査位置における２次電子
検出器１１５の出力から走査画像を示す信号を生成し、
表示器１０２へ出力して走査画像を表示させる。
【００１２】図４はコラム制御部１０３および画像記録
部１０７の構成を詳細に示すブロック図である。
部１０７の構成を詳細に示すブロック図である。
【００１３】図４には、主に走査系の構成を示したもの
であり、コラム制御部１０３内の電子銃１１０の出射状
態を制御する部分、コンデンサレンズ１１１および対物
レンズ１１４の焦点距離制御を行う部分については省略
している。上述したように、ＳＥＭの機能は電子ビーム
による露光が行われるときには停止状態とされるため、
電子ビーム露光をおよびＳＥＭ動作を行うためのコラム
制御部１０３とＳＥＭ動作を行う際に必要となる画像記
録部１０７は図４に示すように独立の構成とされてい
た。
であり、コラム制御部１０３内の電子銃１１０の出射状
態を制御する部分、コンデンサレンズ１１１および対物
レンズ１１４の焦点距離制御を行う部分については省略
している。上述したように、ＳＥＭの機能は電子ビーム
による露光が行われるときには停止状態とされるため、
電子ビーム露光をおよびＳＥＭ動作を行うためのコラム
制御部１０３とＳＥＭ動作を行う際に必要となる画像記
録部１０７は図４に示すように独立の構成とされてい
た。
【００１４】画像記録部１０７は、２次電子検出器１１
５の出力をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータ３
０７と、Ａ／Ｄコンバータ３０７出力を一時的に蓄積す
る画像メモリと３０４、画像メモリ３０４に蓄積された
画像データを所定量毎にＲＦ信号またはビデオ信号等の
映像信号に変換する画像変換装置３０３から構成されて
いる。
５の出力をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータ３
０７と、Ａ／Ｄコンバータ３０７出力を一時的に蓄積す
る画像メモリと３０４、画像メモリ３０４に蓄積された
画像データを所定量毎にＲＦ信号またはビデオ信号等の
映像信号に変換する画像変換装置３０３から構成されて
いる。
【００１５】コラム制御部１０３は、データバス３０５
を介して制御コンピュータ１０１からの制御信号を受け
取るデータジェネレータ３０６と、データジェネレータ
３０６出力をアナログ信号に変換するＤ／Ａコンバータ
３０８と、Ｄ／Ａコンバータ３０８を増幅して偏向コイ
ル１１３の駆動信号を生成する偏向アンプ３０９が設け
られている。また、偏向アンプ３０９の動作確認を行う
際に必要とされ、偏向アンプ３０９の出力をデジタル信
号に変換してデータバス３０５へ送出するＡ／Ｄコンバ
ータ３１０が設けられている。制御コンピュータ１０１
はデータバス３０５を介してＡ／Ｄコンバータ３１０出
力に示される偏向アンプ３０９出力を確認し、データジ
ェネレータ３０６に設定したデジタル値に応じた値が出
力されているか、出力レベルが適性であるか、直線性を
満たしているか、等を確認する。
を介して制御コンピュータ１０１からの制御信号を受け
取るデータジェネレータ３０６と、データジェネレータ
３０６出力をアナログ信号に変換するＤ／Ａコンバータ
３０８と、Ｄ／Ａコンバータ３０８を増幅して偏向コイ
ル１１３の駆動信号を生成する偏向アンプ３０９が設け
られている。また、偏向アンプ３０９の動作確認を行う
際に必要とされ、偏向アンプ３０９の出力をデジタル信
号に変換してデータバス３０５へ送出するＡ／Ｄコンバ
ータ３１０が設けられている。制御コンピュータ１０１
はデータバス３０５を介してＡ／Ｄコンバータ３１０出
力に示される偏向アンプ３０９出力を確認し、データジ
ェネレータ３０６に設定したデジタル値に応じた値が出
力されているか、出力レベルが適性であるか、直線性を
満たしているか、等を確認する。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】上述したような偏向ア
ンプ３０９の動作の確認は電子ビーム露光の精度を一定
に保つために所定露光回数毎または所定露光時間毎等に
度々行われるが、従来は上記のように、データジェネレ
ータ３０６に設定した値に応じた値がＡ／Ｄコンバータ
３１０から出力されるかを確認する構成である。動作確
認はデータジェネレータ３０６の設定値を変化させて行
われるが、Ａ／Ｄコンバータ３１０による変換を待って
次の設定値による確認を行う構成であるため、確認に時
間がかかるという問題点がある。
ンプ３０９の動作の確認は電子ビーム露光の精度を一定
に保つために所定露光回数毎または所定露光時間毎等に
度々行われるが、従来は上記のように、データジェネレ
ータ３０６に設定した値に応じた値がＡ／Ｄコンバータ
３１０から出力されるかを確認する構成である。動作確
認はデータジェネレータ３０６の設定値を変化させて行
われるが、Ａ／Ｄコンバータ３１０による変換を待って
次の設定値による確認を行う構成であるため、確認に時
間がかかるという問題点がある。
【００１７】また、コラム制御部１０３と画像記録部１
０７とは独立の構成とされることから同じ機能であるＡ
／Ｄコンバータが各部にそれぞれ独立に設けられてお
り、装置構成が必要以上に複雑化していた。
０７とは独立の構成とされることから同じ機能であるＡ
／Ｄコンバータが各部にそれぞれ独立に設けられてお
り、装置構成が必要以上に複雑化していた。
【００１８】本発明は上述したような従来の技術が有す
る問題点に鑑みてなされたものであって、偏向アンプの
動作確認を速やかに行うことができるとともに装置構成
が簡略化された走査型電子顕微鏡を備えた電子ビーム露
光装置を実現することを目的とする。
る問題点に鑑みてなされたものであって、偏向アンプの
動作確認を速やかに行うことができるとともに装置構成
が簡略化された走査型電子顕微鏡を備えた電子ビーム露
光装置を実現することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】本発明の走査型電子顕微
鏡を備えた電子ビーム露光装置は、電子ビームを出射す
る電子銃が共通とされる走査型電子顕微鏡および電子ビ
ーム露光装置であり、走査型顕微鏡または電子ビーム露
光装置のいずれかとして選択的に使用される走査型電子
顕微鏡を備えた電子ビーム露光装置であって、装置全体
の動作を制御する主制御部と、電子ビーム露光装置とし
て使用されるときに前記主制御部から送られる制御信号
に応じて電子ビームの偏向状態を制御するための駆動信
号を出力する偏向アンプを備えるコラム制御部と、電子
顕微鏡を構成する２次電子検出器の検出信号および前記
偏向アンプ出力を選択的に入力し、いずれかをデジタル
信号に変換するＡ／Ｄコンバータと、該Ａ／Ｄコンバー
タ出力を蓄積する画像メモリとを備えた画像記録部と、
を有し、前記主制御部は前記画像メモリ出力により前記
偏向アンプ出力を確認することを特徴とする。
鏡を備えた電子ビーム露光装置は、電子ビームを出射す
る電子銃が共通とされる走査型電子顕微鏡および電子ビ
ーム露光装置であり、走査型顕微鏡または電子ビーム露
光装置のいずれかとして選択的に使用される走査型電子
顕微鏡を備えた電子ビーム露光装置であって、装置全体
の動作を制御する主制御部と、電子ビーム露光装置とし
て使用されるときに前記主制御部から送られる制御信号
に応じて電子ビームの偏向状態を制御するための駆動信
号を出力する偏向アンプを備えるコラム制御部と、電子
顕微鏡を構成する２次電子検出器の検出信号および前記
偏向アンプ出力を選択的に入力し、いずれかをデジタル
信号に変換するＡ／Ｄコンバータと、該Ａ／Ｄコンバー
タ出力を蓄積する画像メモリとを備えた画像記録部と、
を有し、前記主制御部は前記画像メモリ出力により前記
偏向アンプ出力を確認することを特徴とする。
【００２０】「作用」上記のように構成される本発明に
おいては、偏向アンプの出力が画像メモリに蓄積される
ので、Ａ／Ｄコンバータの変換時間が過ぎていれば、偏
向アンプの出力を変化させることができ、偏向アンプの
動作確認に要する時間が短縮される。
おいては、偏向アンプの出力が画像メモリに蓄積される
ので、Ａ／Ｄコンバータの変換時間が過ぎていれば、偏
向アンプの出力を変化させることができ、偏向アンプの
動作確認に要する時間が短縮される。
【００２１】また、偏向アンプの動作確認に使用される
上記の画像メモリおよびＡ／Ｄコンバータは従来電子顕
微鏡動作時にのみ使用されていた画像記録部が用いられ
ているので、装置構成が簡略化されたものとなってい
る。
上記の画像メモリおよびＡ／Ｄコンバータは従来電子顕
微鏡動作時にのみ使用されていた画像記録部が用いられ
ているので、装置構成が簡略化されたものとなってい
る。
【００２２】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施例について図
面を参照して説明する。図１は本発明の一実施例の構成
を示すブロック図である。
面を参照して説明する。図１は本発明の一実施例の構成
を示すブロック図である。
【００２３】本実施例は図３に示した実施例における制
御コンピュータ１０１、コラム制御部１０３および画像
記録部１０７の構成を変えて制御コンピュータ４０１
（主制御部）、コラム制御部４０３および画像記録部４
０７としたものである。この他の構成および動作は図３
に示した実施例と同様であるために図３と同じ符号を付
して説明は省略する。
御コンピュータ１０１、コラム制御部１０３および画像
記録部１０７の構成を変えて制御コンピュータ４０１
（主制御部）、コラム制御部４０３および画像記録部４
０７としたものである。この他の構成および動作は図３
に示した実施例と同様であるために図３と同じ符号を付
して説明は省略する。
【００２４】本実施例における制御コンピュータ４０
１、コラム制御部４０３および画像記録部４０７につい
て図２を参照して説明する。
１、コラム制御部４０３および画像記録部４０７につい
て図２を参照して説明する。
【００２５】本実施例におけるコラム制御部４０３は、
データジェネレータ２０６、Ｄ／Ａコンバータ２０８お
よび偏向アンプ２０９から構成され、画像記録部４０７
は、画像変換装置２０３、画像メモリ２０４、Ａ／Ｄコ
ンバータ２０７および切換スイッチ２１０，２１１から
構成されている。
データジェネレータ２０６、Ｄ／Ａコンバータ２０８お
よび偏向アンプ２０９から構成され、画像記録部４０７
は、画像変換装置２０３、画像メモリ２０４、Ａ／Ｄコ
ンバータ２０７および切換スイッチ２１０，２１１から
構成されている。
【００２６】コラム制御部４０３を構成する各部の動作
は図４に示したデータジェネレータ３０６、Ｄ／Ａコン
バータ３０８および偏向アンプ３０９と同様であるが、
本実施例においては、データジェネレータ２０６出力が
画像記録部４０３の画像メモリへ出力され、さらに偏向
アンプ２０９出力が偏向コイル１１３へ出力されるとと
もに切換スイッチ２１０へ出力され、図２に示した従来
例におけるコラム制御部１０３に設けられていたＡ／Ｄ
コンバータは廃止されている。
は図４に示したデータジェネレータ３０６、Ｄ／Ａコン
バータ３０８および偏向アンプ３０９と同様であるが、
本実施例においては、データジェネレータ２０６出力が
画像記録部４０３の画像メモリへ出力され、さらに偏向
アンプ２０９出力が偏向コイル１１３へ出力されるとと
もに切換スイッチ２１０へ出力され、図２に示した従来
例におけるコラム制御部１０３に設けられていたＡ／Ｄ
コンバータは廃止されている。
【００２７】画像記録部４０３に設けられた切換スイッ
チ２１０は２次電子検出器１１５出力と偏向アンプ２０
９出力を選択的に切り換えてこれらのいずれかをＡ／Ｄ
コンバータ２０７へ出力する。また、切換スイッチ２１
１は画像メモリ２０４出力を画像変換装置２０３または
データバス２０５のいずれかへ選択的に出力させる。
チ２１０は２次電子検出器１１５出力と偏向アンプ２０
９出力を選択的に切り換えてこれらのいずれかをＡ／Ｄ
コンバータ２０７へ出力する。また、切換スイッチ２１
１は画像メモリ２０４出力を画像変換装置２０３または
データバス２０５のいずれかへ選択的に出力させる。
【００２８】切換スイッチ２１０，２１１の切換動作
は、制御コンピュータ４０１が出力する制御信号（不図
示）によって制御されるもので、制御コンピュータ４０
１は、ＳＥＭ動作時には２次電子検出器１１５出力を切
換スイッチ２１０に選択させ、画像メモリ２０４出力に
ついては画像変換装置２０３へ出力させる。また、偏向
アンプ２０９の動作確認時には偏向アンプ２０９出力を
切換スイッチ２１０に選択させ、画像メモリ２０４出力
についてはデータバス２０５へ出力させる。
は、制御コンピュータ４０１が出力する制御信号（不図
示）によって制御されるもので、制御コンピュータ４０
１は、ＳＥＭ動作時には２次電子検出器１１５出力を切
換スイッチ２１０に選択させ、画像メモリ２０４出力に
ついては画像変換装置２０３へ出力させる。また、偏向
アンプ２０９の動作確認時には偏向アンプ２０９出力を
切換スイッチ２１０に選択させ、画像メモリ２０４出力
についてはデータバス２０５へ出力させる。
【００２９】ＳＥＭ動作時において、画像メモリ２０４
は従来の場合と同様にＡ／Ｄコンバータ２０７によりデ
ジタル信号に変換された２次電子検出器１１５出力を一
時的に蓄積し、切換スイッチ２１１を介して該蓄積デー
タを所定量毎に画像変換装置２０３へ出力する。これに
より、ＲＦ信号またはビデオ信号等に変換された映像信
号による表示が表示器１０２にて行われる。
は従来の場合と同様にＡ／Ｄコンバータ２０７によりデ
ジタル信号に変換された２次電子検出器１１５出力を一
時的に蓄積し、切換スイッチ２１１を介して該蓄積デー
タを所定量毎に画像変換装置２０３へ出力する。これに
より、ＲＦ信号またはビデオ信号等に変換された映像信
号による表示が表示器１０２にて行われる。
【００３０】偏向アンプ２０９の動作確認時において、
画像メモリ２０４にはデータジェネレータ２０６の出力
および切換スイッチ２１０を介してＡ／Ｄコンバータ２
０７に入力され、デジタル変換された偏向アンプ２０９
出力が入力される。画像メモリ２０４はデータジェネレ
ータ２０６出力をアドレス信号として偏向アンプ２０９
出力を蓄積する。制御コンピュータ４０１は画像メモリ
２０４と不図示のアドレスバスを介して接続されてお
り、先にデータジェネレータ２０６へ制御信号として送
ったデータをアドレスデータとして画像メモリ２０４へ
送ることにより、偏向アンプ２０９の出力状態を示す信
号をデータバスを介して受取り、その動作を確認する。
画像メモリ２０４にはデータジェネレータ２０６の出力
および切換スイッチ２１０を介してＡ／Ｄコンバータ２
０７に入力され、デジタル変換された偏向アンプ２０９
出力が入力される。画像メモリ２０４はデータジェネレ
ータ２０６出力をアドレス信号として偏向アンプ２０９
出力を蓄積する。制御コンピュータ４０１は画像メモリ
２０４と不図示のアドレスバスを介して接続されてお
り、先にデータジェネレータ２０６へ制御信号として送
ったデータをアドレスデータとして画像メモリ２０４へ
送ることにより、偏向アンプ２０９の出力状態を示す信
号をデータバスを介して受取り、その動作を確認する。
【００３１】
【発明の効果】本発明は以上説明したように、従来電子
顕微鏡動作時にのみ使用されていた画像記録部の画像メ
モリおよびＡ／Ｄコンバータを偏向アンプの動作確認に
用いることにより、偏向アンプの動作確認を速やかに行
うことができるとともに装置構成を簡略化することがで
きる効果がある。
顕微鏡動作時にのみ使用されていた画像記録部の画像メ
モリおよびＡ／Ｄコンバータを偏向アンプの動作確認に
用いることにより、偏向アンプの動作確認を速やかに行
うことができるとともに装置構成を簡略化することがで
きる効果がある。
【００３２】上記のように構成される本発明の要点とし
て、画像メモリを利用することで特別なハードウェアを
追加することなく、実際の露光やＳＥＭ動作と同等の速
度で変更アンプを動作させての動作確認が可能となった
ことが挙げられる。従来のものでは、Ａ／Ｄコンバータ
の出力をコンピュータが読み取る時間だけ偏向アンプは
その動作を停止する必要があり、動作速度が低下し、実
動作速度での確認を行うことができなかった。本発明で
は上記のように画像メモリを利用することで動作確認に
要する時間が短縮されたものとなっている。
て、画像メモリを利用することで特別なハードウェアを
追加することなく、実際の露光やＳＥＭ動作と同等の速
度で変更アンプを動作させての動作確認が可能となった
ことが挙げられる。従来のものでは、Ａ／Ｄコンバータ
の出力をコンピュータが読み取る時間だけ偏向アンプは
その動作を停止する必要があり、動作速度が低下し、実
動作速度での確認を行うことができなかった。本発明で
は上記のように画像メモリを利用することで動作確認に
要する時間が短縮されたものとなっている。
【図１】本発明の一実施例の構成を示すブロック図であ
る。
る。
【図２】図１中のコラム制御部４０３および画像記録部
４０７の構成を詳細に示すブロック図である。
４０７の構成を詳細に示すブロック図である。
【図３】従来例の構成を示すブロック図である。
【図４】図３中のコラム制御部１０３および画像記録部
１０７の構成を詳細に示すブロック図である。
１０７の構成を詳細に示すブロック図である。
１０２ 表示器 １０４ 真空制御部 １０５ ステージ制御部 １０９ コラム １１０ 電子銃 １１１ コンデンサレンズ １１３ 偏向コイル １１４ 対物レンズ １１５ ２次電子検出器 １１６ ステージ １１７ ウェハ ２０３ 画像変換装置 ２０４ 画像メモリ ２０６ データジェネレータ ２０７ Ａ／Ｄコンバータ ２０８ Ｄ／Ａコンバータ ２０９ 偏向アンプ ２１０，２１１ 切換スイッチ ４０１ 制御コンピュータ ４０３ コラム制御部 ４０７ 画像記録部
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成８年１１月１５日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】図４は、主に走査系の構成を示したもので
あり、コラム制御部１０３内の電子銃１１０の出射状態
を制御する部分、コンデンサレンズ１１１および対物レ
ンズ１１４の焦点距離制御を行う部分については省略し
ている。上述したように、ＳＥＭの機能は電子ビームに
よる露光が行われるときには停止状態とされるため、電
子ビーム露光およびＳＥＭ動作を行うためのコラム制御
部１０３とＳＥＭ動作を行う際に必要となる画像記録部
１０７は図４に示すように独立の構成とされていた。
あり、コラム制御部１０３内の電子銃１１０の出射状態
を制御する部分、コンデンサレンズ１１１および対物レ
ンズ１１４の焦点距離制御を行う部分については省略し
ている。上述したように、ＳＥＭの機能は電子ビームに
よる露光が行われるときには停止状態とされるため、電
子ビーム露光およびＳＥＭ動作を行うためのコラム制御
部１０３とＳＥＭ動作を行う際に必要となる画像記録部
１０７は図４に示すように独立の構成とされていた。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１４】画像記録部１０７は、２次電子検出器１１
５の出力をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータ３
０７と、Ａ／Ｄコンバータ３０７出力を一時的に蓄積す
る画像メモリ３０４と、画像メモリ３０４に蓄積された
画像データを所定量毎にＲＦ信号またはビデオ信号等の
映像信号に変換する画像変換装置３０３から構成されて
いる。
５の出力をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータ３
０７と、Ａ／Ｄコンバータ３０７出力を一時的に蓄積す
る画像メモリ３０４と、画像メモリ３０４に蓄積された
画像データを所定量毎にＲＦ信号またはビデオ信号等の
映像信号に変換する画像変換装置３０３から構成されて
いる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２３】本実施例は図３に示した従来例における制
御コンピュータ１０１、コラム制御部１０３および画像
記録部１０７の構成を変えて制御コンピュータ４０１
（主制御部）、コラム制御部４０３および画像記録部４
０７としたものである。この他の構成および動作は図３
に示した従来例と同様であるために図３と同じ符号を付
して説明は省略する。
御コンピュータ１０１、コラム制御部１０３および画像
記録部１０７の構成を変えて制御コンピュータ４０１
（主制御部）、コラム制御部４０３および画像記録部４
０７としたものである。この他の構成および動作は図３
に示した従来例と同様であるために図３と同じ符号を付
して説明は省略する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２６】コラム制御部４０３を構成する各部の動作
は図４に示したデータジェネレータ３０６、Ｄ／Ａコン
バータ３０８および偏向アンプ３０９と同様であるが、
本実施例においては、データジェネレータ２０６出力が
画像記録部４０３の画像メモリへ出力され、さらに偏向
アンプ２０９出力が偏向コイル１１３へ出力されるとと
もに切換スイッチ２１０へ出力され、図４に示した従来
例におけるコラム制御部１０３に設けられていたＡ／Ｄ
コンバータは廃止されている。
は図４に示したデータジェネレータ３０６、Ｄ／Ａコン
バータ３０８および偏向アンプ３０９と同様であるが、
本実施例においては、データジェネレータ２０６出力が
画像記録部４０３の画像メモリへ出力され、さらに偏向
アンプ２０９出力が偏向コイル１１３へ出力されるとと
もに切換スイッチ２１０へ出力され、図４に示した従来
例におけるコラム制御部１０３に設けられていたＡ／Ｄ
コンバータは廃止されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３２】上記のように構成される本発明の要点とし
て、画像メモリを利用することで特別なハードウェアを
追加することなく、実際の露光やＳＥＭ動作と同等の速
度で偏向アンプを動作させての動作確認が可能となった
ことが挙げられる。従来のものでは、Ａ／Ｄコンバータ
の出力をコンピュータが読み取る時間だけ偏向アンプは
その動作を停止する必要があり、動作速度が低下し、実
動作速度での確認を行うことができなかった。本発明で
は上記のように画像メモリを利用することで動作確認に
要する時間が短縮されたものとなっている。
て、画像メモリを利用することで特別なハードウェアを
追加することなく、実際の露光やＳＥＭ動作と同等の速
度で偏向アンプを動作させての動作確認が可能となった
ことが挙げられる。従来のものでは、Ａ／Ｄコンバータ
の出力をコンピュータが読み取る時間だけ偏向アンプは
その動作を停止する必要があり、動作速度が低下し、実
動作速度での確認を行うことができなかった。本発明で
は上記のように画像メモリを利用することで動作確認に
要する時間が短縮されたものとなっている。
Claims (1)
- 【請求項１】 電子ビームを出射する電子銃が共通とさ
れる走査型電子顕微鏡および電子ビーム露光装置であ
り、走査型顕微鏡または電子ビーム露光装置のいずれか
として選択的に使用される走査型電子顕微鏡を備えた電
子ビーム露光装置であって、 装置全体の動作を制御する主制御部と、 電子ビーム露光装置として使用されるときに前記主制御
部から送られる制御信号に応じて電子ビームの偏向状態
を制御するための駆動信号を出力する偏向アンプを備え
るコラム制御部と、 電子顕微鏡を構成する２次電子検出器の検出信号および
前記偏向アンプ出力を選択的に入力し、いずれかをデジ
タル信号に変換するＡ／Ｄコンバータと、該Ａ／Ｄコン
バータ出力を蓄積する画像メモリとを備えた画像記録部
と、を有し、前記主制御部は前記画像メモリ出力により
前記偏向アンプ出力を確認することを特徴とする走査型
電子顕微鏡を備えた電子ビーム露光装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8120443A JPH09306414A (ja) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | 走査型電子顕微鏡を備えた電子ビーム露光装置 |
| DE19720228A DE19720228C2 (de) | 1996-05-15 | 1997-05-14 | Elektronenstrahl-Belichtungsvorrichtung mit einem Rasterelektronenmikroskop |
| KR1019970018701A KR100221919B1 (ko) | 1996-05-15 | 1997-05-15 | 주사형 전자현미경을 갖춘 전자빔 노광장치 |
| US08/856,581 US5910657A (en) | 1996-05-15 | 1997-05-15 | Electron beam exposure apparatus for scanning electron microscopy |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8120443A JPH09306414A (ja) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | 走査型電子顕微鏡を備えた電子ビーム露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09306414A true JPH09306414A (ja) | 1997-11-28 |
Family
ID=14786341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8120443A Withdrawn JPH09306414A (ja) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | 走査型電子顕微鏡を備えた電子ビーム露光装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5910657A (ja) |
| JP (1) | JPH09306414A (ja) |
| KR (1) | KR100221919B1 (ja) |
| DE (1) | DE19720228C2 (ja) |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR49798E (fr) * | 1972-12-14 | 1939-07-17 | Régulateur pour l'admission d'air additionnel aux moteurs à combustion interne | |
| EP0200893A1 (de) * | 1985-03-22 | 1986-11-12 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur Hervorhebung eines Objektbereichs auf einer vom Primärstrahl eines Rastermikroskops abgetasteten Probenfläche und Anordnungen zur Durchführung desselben |
| JPH0646550B2 (ja) * | 1985-08-19 | 1994-06-15 | 株式会社東芝 | 電子ビ−ム定位置照射制御方法および電子ビ−ム定位置照射制御装置 |
| JP2869827B2 (ja) * | 1991-09-17 | 1999-03-10 | 株式会社日立製作所 | 走査電子顕微鏡 |
| JP3230911B2 (ja) * | 1993-11-04 | 2001-11-19 | 株式会社日立製作所 | 走査電子顕微鏡及びその画像形成方法 |
| JP3201926B2 (ja) * | 1995-04-10 | 2001-08-27 | 株式会社日立製作所 | 走査電子顕微鏡 |
-
1996
- 1996-05-15 JP JP8120443A patent/JPH09306414A/ja not_active Withdrawn
-
1997
- 1997-05-14 DE DE19720228A patent/DE19720228C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-05-15 KR KR1019970018701A patent/KR100221919B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-05-15 US US08/856,581 patent/US5910657A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100221919B1 (ko) | 1999-09-15 |
| US5910657A (en) | 1999-06-08 |
| DE19720228A1 (de) | 1997-11-20 |
| KR970076969A (ko) | 1997-12-12 |
| DE19720228C2 (de) | 2002-06-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030805 |