JPH09306052A - 情報再生装置および情報再生方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】記録ドット列に対して直接トラッキングを行う
情報再生装置、方法において、複雑な探針駆動を行わず
にトラッキングを行えるようにする。 【解決手段】記録媒体表面に対向して近接配置された探
針を、記録媒体の表面を走査させて、記録媒体に記録ド
ット列として記録された情報を探針を用いて読み出す情
報再生装置において、探針は記録媒体と接触し得る稜を
有し、該稜が探針の走査方向に対して平行または垂直の
いずれにもならないように配置され、その情報再生方法
は、このように構成された探針を用い、情報の読み出し
に際して探針が記録ドットを検出する時間の間隔の変化
から、探針の移動方向の記録ドット列が並ぶ方向からの
ドリフト方向を検出し、その結果に基づいて探針位置を
走査方向に対して垂直方向にフィードバック制御し、記
録ドット列に対してトラッキングを行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プローブを有する
情報再生装置において、記録ドット列に対して直接トラ
ッキング制御を行うための情報再生装置および情報再生
方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】試料表面を原子的スケールの空間分解能
で観察することのできる、走査型プローブ顕微鏡が開発
されている。その代表的な、走査型トンネル顕微鏡（Ｓ
ＴＭ）は、探針と試料の距離を数ｎｍ以下に接近させた
ときに流れるトンネル電流を検出し、電子状態の分布を
含む表面像を構成する。また、走査型原子間力顕微鏡
（ＡＦＭ）は、弾性体に保持された探針を試料に数ｎｍ
以下に接近させたときに探針と試料表面とに働く原子間
力を検出し、凹凸情報を含む表面像を構成する。

【０００３】また、ＡＦＭ構成を基に、探針を導電性に
することによって試料に電圧を印加することができるよ
うにし、試料表面の凹凸と同時に導電性の分布を測定す
ることができるようにしたＡＦＭ／ＳＴＭが開発されて
いる（特開平３−２７７９０３号公報）。更に、探針に
磁性材料を用い、試料表面の磁気分布を測定する装置
や、探針を静電容量センサーとして用いて、試料表面の
静電容量分布を測定する装置などが開発されている。こ
れらの走査型プローブ顕微鏡を応用し、局所領域に記録
情報を書き込むことができる超高密度の記録再生装置が
考案されている。例えば、ＡＦＭ／ＳＴＭを応用すれ
ば、記録媒体上を探針にならわせ、電圧を印加すること
によって局所的に記録媒体の物理状態を変化させて記録
ドットを形成することができる。その一例として、電圧
印加により記録媒体に凹凸を形成する装置が特開平６−
９６７１４号公報に示されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記記録再生装置は、
通常先端の曲率半径が数十ｎｍ程度の鋭利な探針が用い
られている。鋭い探針を用いることにより、記録ドット
を数十ｎｍ程度と非常に小さくすることができ、高密度
の記録を達成している。ところが、図９に示されるよう
に、微小な記録ドットに対して鋭利な探針を用いて再生
を行うために、温度や振動などの外的擾乱の影響を受け
易く、探針の走査方向がドット列からドリフトしてい
き、再生が不安定となったり、或いはドット列から外れ
てしまうという問題が生じる。

【０００５】そのため、記録ドット列に対して直接トラ
ッキングを行う方法が特開平４−２１２７３７号公報に
示されている。これは、探針を走査方向に対して垂直な
方向に一定の周波数で振動させ、走査方向と記録ドット
列方向とのずれに応じて変調された信号を検出し、トラ
ッキングを行う方法である。しかし、この方法において
も、駆動素子を走査周波数よりも速く振動させることが
必要となり、探針を走査させる駆動素子の変位速度は、
素子に固有の共振周波数で規定されていることから、高
速走査には対応しにくいという問題がある。

【０００６】そこで、本発明は、上記従来のものにおけ
る課題を解決し、記録ドット列に対して直接トラッキン
グを行うことができる情報再生装置および情報再生方法
において、複雑な探針駆動を行わずにトラッキングを行
えるようにした情報再生装置および情報再生方法を提供
することを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、情報再生装置および情報再生方法をつぎ
のように構成したものである。すなわち、本発明の情報
再生装置は、記録媒体表面に対向して近接配置された探
針を、該記録媒体の表面を走査させて、該記録媒体に記
録ドット列として記録された情報を前記探針を用いて読
み出す情報再生装置において、前記探針は前記記録媒体
と接触し得る稜を有し、該稜が探針の走査方向に対して
平行または垂直のいずれにもならないように配置されて
いることを特徴としている。また、本発明の情報再生方
法は、上記装置における探針を用い、前記情報の読み出
しに際して前記探針が記録ドットを検出する時間の間隔
の変化から、探針の移動方向の記録ドット列が並ぶ方向
からのドリフト方向を検出し、その結果に基づいて探針
位置を走査方向に対して垂直方向にフィードバック制御
し、前記記録ドット列に対してトラッキングを行うこと
を特徴としている。本発明においては、前記した記録ド
ット列に対するトラッキングを、記録ドット列として記
録された情報に対し、前記探針が検出する記録信号の、
検出時間の間隔の変化から、探針の移動方向の記録ドッ
ト列が並ぶ方向からのドリフト方向を検出するドリフト
検出手段と、ドリフト検出手段が検出したドリフト方向
に基づいて探針位置を走査方向に対して垂直方向にフィ
ードバック制御をすることによって、記録ドット列に対
してトラッキングを行う制御手段とにより行うように構
成することができる。このとき、前記稜と探針の走査方
向がなす角度は、４５°よりも小さい値をとるように設
定することができる。また、前記稜を走査方向に垂直な
方向へ射影した長さは、走査方向に沿った記録ドット列
と、前記記録ドット列に隣合う記録ドット列との間隔を
越えないように設定することができる。一方、前記稜を
走査方向に平行な方向へ射影した長さは、走査方向に沿
った記録ドット列の記録ドットの間隔を越えないように
設定することができる。

【０００８】

【発明の実施の形態】つぎに、本発明の内容を図に基づ
いて具体的に説明する。図３に示すように、探針は先端
部の稜が走査方向に対して角度θだけ傾けて斜めに配置
される。記録ドットが、この先端のどの部分を通過して
も信号検出可能であり、鋭利な先端を持つ探針に比べ
て、信号検出可能な領域を広くとることができる。ここ
で、走査方向をＸ、走査方向に垂直な方向をＹで表す。
また、連続して形成されたドット列を与える。探針にド
リフトがない場合は、図４で示されるように、信号の検
出時刻をｔ_iで表すと、検出される信号の時間間隔（ｔ _i
−ｔ_i-1）は一定の間隔δｔである。ところが、探針が
Ｙ方向にドリフトすれば、検出される信号の時間間隔
は、ドリフトがない場合に本来検出されるべき時間の間
隔（δｔ）よりも短くなる。逆に、−Ｙ方向にドリフト
すれば、検出される信号の間隔は、δｔよりも長くな
る。

【０００９】このように、信号が検出される時間の間隔
の変化から、探針の走査方向に垂直な方向ヘのドリフト
を検出することができる。また、ドリフト方向の情報を
走査方向に垂直な方向の探針位置にフィードバックすれ
ばトラッキングを行うことができる。従って、トラッキ
ングに要する探針移動速さは、高々ドリフト速さ程度で
よいので、走査の速さを越えずに実施することができ
る。このとき、探針先端部の綾が走査方向となす角度θ
は、０°（平行）と９０°（垂直）以外は任意にとるこ
とができる。ただし、θを小さくすればドリフト量に対
する信号検出時間の変化の割合を大きくすることができ
るので、ドリフト検出の感度を高くすることができる。
特に、走査方向の感度を走査方向に垂直な方向の感度よ
りも小さくするには、θは、少なくとも４５°よりも小
さくする必要がある。また、探針が同時に隣合った複数
の記録信号を検出することがないようにするために、探
針先端部の稜を走査方向に垂直な方向への射影した長さ
が、走査方向に沿った記録ドット列と、前記記録ドット
列に隣合う記録ドット列との間隔を越えないようにする
ことが必要であり、探針先端部の稜を走査方向に平行な
方向へ射影した長さは、走査方向に沿った記録ドット列
の記録ドットの間隔を越えないようにすることが必要で
ある。

【００１０】

【実施例】以下に、本発明の実施例を説明する。 ［実施例１］図２に、本発明の実施例１における再生装
置に用いた探針の、上方及び側方から見た形状を示す。
探針は、４つの面で囲まれた、およそピラミッド形状を
している。ただし、４つの面は一点で交わらずに僅かに
ずれており、先端部で一軸方向に長い稜を形成してい
る。この探針は、図１に示されるように、支持部材とし
て用いた弾性体であるカンチレバーに保持されている。
図では、実際の長さの比率よりは強調した表現になって
いる。探針及びカンチレバーの製造方法は、米国特許第
５，２２１，４１５号明細書に示されている方法を応用
した。これは、半導体デバイス製造プロセス技術を使
い、単結晶シリコンの異方性エッチングを用いて探針形
状を形成し、窒化シリコンからなる探針及びカンチレバ
ーを一体成形する方法であり、フォトリソグラフィを使
ってパターニングした二酸化シリコンのマスクを被覆し
たシリコンウェハに、異方性エッチングにより探針の型
となる凹構造を形成する行程が含まれている。ここで、
マスク形状を長方形にすることによって、ピラミッドの
４つの面が一点で交わらずに、先端部に長方形の２辺の
長さの差に相当する長さを持つ綾を形成した。作成した
探針は、底辺の長さが約５μｍ、高さが約７μｍ、先端
部の稜の長さが約５０ｎｍであった。更に、導電性を持
たせるために探針及びカンチレバーの表面に、スパッタ
ー製膜によって約５０ｎｍの厚さにＰｔ膜を形成した。

【００１１】図７に実施例１における再生装置の主要部
の構成を示す。カンチレバー２はカンチレバー保持部３
に保持されている。探針１が記録媒体４に対向するよう
にカンチレバー保持部３を本体に固定した。この時、カ
ンチレバー２の長軸方向は、記録ドット列が並ぶ方向に
対して、垂直になるように配置した。従って、探針１の
先端部の綾は記録ドット列の並ぶ方向に対して、斜めに
配置されることになる。前記探針の先端部では、一様に
電流検出可能である。従って、探針が同時に隣合った２
つの記録信号を検出することがないようにするために
は、探針の先端部の綾の、走査方向に垂直な方向への射
影が、走査方向に沿った記録ドット列と、前記記録ドッ
ト列に隣合う記録ドット列との間隔を越えないことが必
要である。一方、探針の先端部の稜の、走査方向に平行
な方向への射影は、走査方向に沿った記録ドット列の記
録ドットの間隔を越えないことが必要である。

【００１２】本実施例では、記録媒体を変位させること
によって、探針を記録媒体に対して相対的に走査できる
ようにした。そのために、記録媒体４を積載した基板５
はホルダー６に固定し、ホルダー６の底部は変位機構７
に固定した。変位機構７は粗動機構８を介して本体に固
定した。ここで、変位機構７は円筒型圧電素子からな
り、変位素子駆動回路１３によって駆動され、基板５を
基板面に平行及び垂直な方向へ変位させることができ
る。記録媒体４を積載する基板５は導電性とし、記録媒
体４に電圧を印加するための一方の電極とした。基板５
は、石英ガラス基板の上に、Ｔｉを真空蒸着法によって
５ｎｍ堆積させ、更にその上にＡｕを３０ｎｍ同法によ
って蒸着したものを用いた。この基板上に、ＬＢ法によ
ってポリアミド酸を１０層累積し、次に加熱処理をし、
ポリイミドの薄膜を形成し記録媒体４とした。膜厚は約
５ｎｍであった。

【００１３】記録媒体４は、特開昭６３−１６１５５３
号公報に開示されているような電流電圧特性のスウィッ
チングにメモリー効果を有する有機化合物の累積膜であ
る。ポリイミド薄膜は、例えば数Ｖの電圧を数十μｓ以
下の時間、パルス的に印加することによって高抵抗状態
から低抵抗状態に遷移させることができる。

【００１４】本実施例で再生を行った記録ドットは、上
記のように作成された記録媒体に対して、予め、例えば
特開平０１−２４５４４５号公報に示されているような
走査型原子間力顕微鏡を応用した記録装置を用いて形成
された。記録用で用いた探針には、通常用いられる鋭利
な先端を持つものを用いた。記録時には、記録データは
２値化され、記録媒体上の座標で指定された記録点と対
応づけられたデータ列に変換される。ここで、記録点
は、一定間隔を持った格子状に設定された。この時、記
録点の間隔は十分な記録ドット間セパレーションを確保
するために６０ｎｍに設定した。探針が記録点に到達し
たとき、データがＯＮであれば、記録媒体に、波高値５
Ｖ、時間１μｓのパルス電圧を印加して記録を行った。
その結果、電圧印加部には周囲よりも低抵抗化した記録
ドットが格子点上に形成された。

【００１５】次に、再生動作について説明する。本実施
例では、記録ドットは記録媒体上に局所的な導電性の変
化として記録されており、記録ドット部はその周りの部
分よりも導電性が高くなっている。そこで、探針１と電
極基板５との間に電圧印加回路１４によって数百ｍＶ〜
数Ｖの直流バイアス電圧を加え、電流信号検出回路１５
で記録媒体４に流れる電流を検出することによって記録
ドットを検出した。まず、粗動機構８を駆動して探針１
を記録媒体４に接触させる。このとき、探針１は先端部
の綾全体で記録媒体に接触する。次に、制御部１１が変
位機構駆動回路１３に対し、変位機構７を駆動させ、探
針１に記録面上を走査させる。このとき、電流信号検出
回路１５が局所的に走査線上の前後の部分よりの大きな
電流を検出すれば、記録ドット（ＯＮ）として認識され
る。また、制御部１１は記録ドット位置を基準として、
前後の記録点の位置を予測し、記録点近傍において電流
が検出されない場合は記録ドットがないものとし、ＯＦ
Ｆとして認識する。検出された電流信号は電流信号検出
回路１５において、電流信号が電圧信号に変換され増幅
され、更にＤＣ成分及び高周波ノイズはカットし、信号
成分の周波数帯域の信号のみ抽出し、ドリフト検出部１
６に出力される。

【００１６】次に、トラッキングを行うための制御方法
について説明する。検出される電流信号は、探針の先端
部の稜の中央部を記録ドットが通過した時刻をピークに
分布する。ここでは、ピークでの時刻を信号検出時刻と
した。走査方向をＸ、走査方向に垂直な方向をＹで表
す。探針がＹ方向にドリフトすれば、検出される信号の
時間間隔は、ドリフトがない場合に本来検出されるべき
時間の間隔δｔよりも短くなる（図５）。逆に、−Ｙ方
向にドリフトすれば、検出される信号の間隔は、ドリフ
トがない場合に本来観測されるべき時間の間隔δｔより
も長くなる（図６）。このように、信号が検出される時
間の間隔の変化から、探針の走査方向に垂直な方向ヘの
ドリフト方向を検出することができる。検出したドリフ
ト方向の結果を探針位置の制御にフィードバックさせる
ことによってトラッキングを行うことができる。

【００１７】ここまでは、走査速度に対するドリフトは
走査方向に垂直な方向のドリフトだけを考えたが、走査
方向に平行な方向にも同等に発生する。＋Ｘ方向にドリ
フトが起こった場合、記録ドットの検出時間はドリフト
がない場合に本来観測されるべき時間の間隔よりも短く
なる。即ち、検出時間の間隔の変化に及ぼす影響は、−
Ｙ方向のドリフトが起こった場合と同等である。逆に−
Ｘ方向にドリフトが起こった場合は、＋Ｙ方向のドリフ
トが起こった場合と同等の影響を及ぼす。ところで、探
針先端部の稜が走査方向（Ｘ）となす角度θを小さくな
るように探針を配置すれば、ドリフト量に対する信号検
出時間の変化を大きくすることができるので、ドリフト
検出の感度を高くすることができる。走査方向の感度を
走査方向に垂直な方向の感度よりも小さくするには、θ
は少なくとも４５°よりも小さくする必要がある。従っ
て、θを４５°よりも十分小さくとればＸ方向のドリフ
トの影響はＹ方向のドリフトの影響に対して相対的に無
視することができる。

【００１８】次に、トラッキング動作について説明す
る。本実施例では、θ〜２０°に設定し、検出信号の時
間間隔の変化を、すべてＹ方向のドリフトの影響に繰り
込むことにした。

【００１９】まず、ドリフト検出部１６は、電流信号検
出回路１５が局所的に走査線上の前後の部分よりの大き
な電流を検出したときに、記録ドット（ＯＮ）からの信
号として認識するようにした。このとき、ある時間長だ
け規定レベルを越えた信号のみ記録ドットとして認識
し、それ以下の時間長の信号はノイズと判断させた。次
に、ドリフト検出部１６は、ＯＮ信号が検出される時刻
から、記録ドットが検出される時間間隔を求め、その時
間間隔の変化から、探針が記録ドット列からずれる方向
を決定し、この結果を、制御部１１に出力し、更にフィ
ードバック制御回路１２に出力するようにした。フィー
ドバック制御回路１２はずれ方向とは反対の方向に探針
が移動するように変位機構駆動回路１３を制御するよう
にした。このようにして、探針位置制御を行ったとこ
ろ、ラスター走査における１ライン走査の範囲でのトラ
ッキングが可能であった。

【００２０】［実施例２］実施例２では、探針を記録媒
体に非接触にした状態で記録ドットを検出した場合につ
いて示す。記録媒体にはｎ型Ｓｉ基板を用い、Ｓｉ基板
上に探針を接近させて電圧印加を行って酸化による局所
的な凸構造を形成し、これを記録ドットとした。この方
法に関しては、特開平４−３２１９５５号公報に詳述さ
れている。本実施例で再生を行った記録ドットは、予め
格子上に設定した記録点上に形成した。このとき、走査
方向には８０ｎｍの間隔で記録点を設定し、曲率半径が
２０ｎｍ程度の鋭利な探針を用いて、約３０ｎｍの大き
さを持つ記録ドット列を形成した。以上のように形成さ
れた記録ドットに対して再生を行った。

【００２１】図８に実施例２における再生装置の主要部
の構成を示す。本実施例では、凹凸信号の検出は、走査
型原子間力顕微鏡の原理に従い、探針１が受ける原子間
力の変化をカンチレバー２の変位として検出した。

【００２２】本実施例における再生装置が、実施例１に
おける再生装置と異なるところは、電流を検出する機構
の変わりに、カンチレバーの変位を検出する機構が加わ
ったことであり、他の構成については同様である。そこ
で、実施例１における再生装置と共通する部分には同じ
記号を用いた。

【００２３】カンチレバー２の変位検出には、レーザー
光による光てこ方を用いた。この方法では、カンチレバ
ー２の背面にレーザー光を照射し、反射光の反射角の偏
位を計測する。そのために、レーザー発光素子９及びレ
ーザー受光素子１０を本体に固定し、レーザー発光素子
から射出されるレーザー光は、探針１を保持するカンチ
レバー２の自由端近傍に照射し、反射光がレーザー受光
素子１０に入射するようにした。レーザー受光素子１０
にはフォトダイオードからなる二分割センサーを用い
た。探針１が記録媒体４との相互作用によって力を受け
ると、弾性体であるカンチレバー２は探針１が受ける力
に応じて変位し、同時に反射レーザー光の反射角が偏位
する。レーザー受光素子１０によって検出された信号
は、偏位信号検出回路１７に送られ、カンチレバー２の
変位を計測する。

【００２４】次に、再生動作に付いて説明する。まず、
粗動機構８を駆動して探針１を記録媒体４に接近させ
る。次に、変位機構駆動回路１３は変位信号を受けて変
位機構７をＺ駆動し、探針１は先端部の稜が一様に記録
媒体４から約２ｎｍの距離を保つように帰還制御させ
る。実際には、カンチレバー２の変位が一定になるよう
に、基板５の位置が帰還制御されている。次に、変位機
構駆動回路１３は変位機構７に基板５面に水平に変位さ
せ、探針１に記録媒体４上を走査させる。記録ドットで
ある凸構造上では、探針１と記録媒体４との距離は接近
するので引力は増大し、カンチレバー２の先端は記録媒
体４に引き込まれる方向に微小変位する。一方、凹構造
では引力は減少し、カンチレバー２の先端は記録媒体４
から遠ざかる方向に微小変位する。凹凸情報は、カンチ
レバー２の変位が一定になるように基板５の位置を制御
するための帰還制御信号から得た。

【００２５】本実施例では、探針が検出する信号は凹凸
信号であるが、第１の実施例における電流信号を凹凸信
号に置き換えることによって同様にドリフト検出を行う
ことができ、探針を記録ドット列に対してトラッキング
を行うことができる。従って、凹構造を有する記録ドッ
トに対しても同様の制御手段でトラッキングを行うこと
が可能である。上記実施例では、原子間力を検出して再
生を行う手段を用いたが、カンチレバーが検出する力
は、探針と記録媒体との相互作用によって生じる力であ
れば検出可能である。例えば、探針と対向電極の間に、
電圧を印加する手段を用いて探針にかかる静電力を検出
することもできる。また、探針を磁性材料で構成するな
どして記録媒体に対して磁界を作用する手段を設けれ
ば、探針にかかる磁気力を検出することも可能である。
また、本実施例では非接触モードで再生を行ったが、接
触モードでの再生でも同様に実施することができる。ま
た、探針の保持部材に非弾性材料を用いて、電流を検出
するようにしたＳＴＭ構成をもつ再生装置においても、
同様のトラッキング動作を行うことができる。このよう
に、本発明の再生装置は、走査型プローブ顕微鏡構成の
再生装置一般に実施することができる。

【００２６】

【発明の効果】以上のように、本発明の探針は記録媒体
と接触し得る稜を有し、該稜が探針の走査方向に対して
平行または垂直のいずれにもならないように配置して構
成されているので、鋭利な先端を持つ探針に比べて、信
号検出可能な領域を広くとることができ、信号検出が容
易であり、安定した記録情報の再生を行うことができ
る。また、本発明においては、記録ドットに直接トラッ
キングを行うことができるので、再生すべき記録媒体に
はトラッキング用のトラックを設ける必要がなく、再生
すべき情報は記録媒体に高密度で記録させておくことが
できる。また、本発明においては、通常の直線的走査を
行いながら記録ドットからのずれを検出できるので、ず
れ検出のための探針の複雑な動作が不要であり、走査が
安定する。また、本発明においては、１回の走査で記録
ドット列に直接トラッキングを行うことができるので、
記録ドットの検出に要する時間を短くすることができ、
再生を高速化することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の探針及びカンチレバーを示した図であ
る。

【図２】本発明における探針の形状を示した図である。

【図３】本発明の探針における走査方向に対する探針先
端の配置を示した図である。

【図４】本発明の探針による（ａ）信号波形、（ｂ）先
端配置と記録ドット通過位置の関係を示した図である。

【図５】本発明の探針による（ａ）信号波形、（ｂ）先
端配置と記録ドット通過位置の関係を示した図である。

【図６】本発明の探針による（ａ）信号波形、（ｂ）先
端配置と記録ドット通過位置の関係を示した図である。

【図７】実施例１における基本構成図である。

【図８】実施例２における基本構成図である。

【図９】記録ドット列からの探針の位置ずれを示した図
である。

【符号の説明】

１：探針 ２：カンチレバー ３：支持体 ４：記録媒体 ５：基板 ６：ホルダー ７：変位機構 ８：粗動機構 ９：レーザー発光素子 １０：レーザー受光素子

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】記録媒体表面に対向して近接配置された探
   針を、該記録媒体の表面を走査させて、該記録媒体に記
   録ドット列として記録された情報を前記探針を用いて読
   み出す情報再生装置において、前記探針は前記記録媒体
   と接触し得る稜を有し、該稜が探針の走査方向に対して
   平行または垂直のいずれにもならないように配置されて
   いることを特徴とする情報再生装置。
2. 【請求項２】前記情報再生装置は、前記探針が記録ドッ
   トを検出する時間の間隔の変化から、探針の移動方向の
   記録ドット列が並ぶ方向からのドリフト方向を検出する
   ドリフト検出手段と、前記ドリフト検出手段が検出する
   ドリフト方向に基いて探針位置を走査方向に対して垂直
   方向にフィードバック制御をすることによって、記録ド
   ット列に対してトラッキングを行う制御手段とを備えた
   ことを特徴とする請求項１に記載の情報再生装置。
3. 【請求項３】前記探針は、前記稜と探針の走査方向がな
   す角度が、４５°よりも小さいことを特徴とする請求項
   １または請求項２に記載の情報再生装置。
4. 【請求項４】前記探針は、前記稜を走査方向に垂直な方
   向へ射影した長さが、走査方向に沿った記録ドット列
   と、前記記録ドット列に隣合う記録ドット列との間隔を
   越えないことを特徴とする請求項１または請求項２に記
   載の情報再生装置。
5. 【請求項５】前記探針は、前記稜を走査方向に平行な方
   向へ射影した長さが、走査方向に沿った記録ドット列の
   記録ドットの間隔を越えないことを特徴とする請求項１
   または請求項２に記載の情報再生装置。
6. 【請求項６】記録媒体表面に対向して近接配置された探
   針を、該記録媒体の表面を走査させて、該記録媒体に記
   録ドット列として記録された情報を前記探針を用いて読
   み出す情報再生方法において、前記探針として前記記録
   媒体と接触し得る稜を有し、該稜が探針の走査方向に対
   して平行または垂直のいずれにもならないように配置さ
   れている探針を用い、前記情報の読み出しに際して前記
   探針が記録ドットを検出する時間の間隔の変化から、探
   針の移動方向の記録ドット列が並ぶ方向からのドリフト
   方向を検出し、その結果に基づいて探針位置を走査方向
   に対して垂直方向にフィードバック制御し、前記記録ド
   ット列に対してトラッキングを行うことを特徴とする情
   報再生方法。