JPH0929980A - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ノズル層を構成する樹脂が液室にバリを発生
するのを防ぐ。 【構成】 吐出エネルギー発生素子を有する基板１に液
流路パターン部分と液室の下半部の形状を有する液室パ
ターン部分からなる第１のレジストパターン２を設け、
これに、液室の上半部の形状を有する第２のレジストパ
ターン３を積層し、第２のレジストパターン３の上に載
置された天板４と基板１の間の空間部Ｖ₁に樹脂７ａを
注入して硬化させたうえで第１、第２のレジストパター
ン２，３を除去する。樹脂７ａを注入する前に、天板４
と第２のレジストパターン３の間の隙間５に充填材６を
充填しておくことでバリの発生を防ぐ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、微細な吐出孔（オ
リフィス）から記録液（インク）を小滴として吐出し記
録紙等に記録（印刷）を行なう液体噴射記録装置に用い
るインクジェット記録ヘッドの製造方法に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】微細な吐出孔（オリフィス）から記録液
（インク）を小滴として吐出し記録紙等に記録（印刷）
を行なう液体噴射記録装置のインクジェット記録ヘッド
は、一般的に、吐出エネルギー発生素子を有する基板
（ヒーターボード）と、記録液を流動させる液流路（ノ
ズル）や液室を形成するノズル層（液流路形成層）を積
層した積層構造を有する。

【０００３】ノズル層の製作には、まず、ガラスや金属
等の板材の表面に切削やエッチング等によって液流路等
を溝加工し、このように溝加工を施した板材を前記基板
に位置合わせしたうえで貼り合わせるか、あるいは、該
基板上に公知のリソグラフィ等によって液流路や液室の
形状を有するレジストパターンを設け、これを覆うよう
に樹脂層を塗布し、次いでレジストパターンを溶出する
ことによって液流路等を形成する等の方法があるが、ガ
ラスや金属の板材を溝加工する方法は切削によって液流
路の内壁が荒れたり、エッチング率がバラついて液流路
の流路抵抗が不均一になる傾向があり、製品の歩留りが
低い。他方、基板にレジストパターンを設けてこれを樹
脂層によって覆い、次いでレジストパターンを溶出する
ものは、液流路の形状が均一で量産性にもすぐれてお
り、加えて、製造工程において液流路にゴミ等が侵入す
るおそれもないため、インクジェット記録ヘッドの製造
コストを大幅に低減し、かつ、より一層の高性能化や高
速化さらにはマルチノズル化等にも容易に対応できるも
のとして大きく期待されている。

【０００４】図４および図５は一従来例によるインクジ
ェット記録ヘッドの製造工程を示すもので、図４の
（ａ）に示すように、吐出エネルギー発生素子１０１ａ
を有する基板１０１上に、ノズルや液室の形状を有する
レジストパターン１０２を製作し、その上に、同図の
（ｂ）に示すように、活性エネルギー線硬化性樹脂層１
０３を積層する。続いて同図の（ｃ）に示すように、ガ
ラス等の活性エネルギー線を透過する材料によって天板
１０４を製作して活性エネルギー線硬化性樹脂層１０３
に重ねる。天板１０４は、インク供給口１０４ａと液室
の上半部を構成する凹所１０４ｂを有し、凹所１０４ｂ
の内壁面には活性エネルギー線を遮断するマスキング
（遮光膜）が設けられている。

【０００５】続いて、図５の（ａ）に示すように、天板
１０４の外側から活性エネルギー線Ｌを照射して活性エ
ネルギー線硬化性樹脂層１０３を硬化させる。このと
き、斜線で示すように、天板１０４のマスキングによっ
て活性エネルギー線Ｌの一部分が遮光される。その結
果、マスキングの下に位置する活性エネルギー線硬化性
樹脂層１０３の不要部分は未硬化の状態で残される。

【０００６】最後に、図５の（ｂ）に示すように天板１
０４のインク供給口１０４ａから溶剤を導入してレジス
トパターン１０２と活性エネルギー線硬化性樹脂層１０
３の未硬化の不要部分を溶出し、ノズル１０５と液室１
０６を備えたインクジェット記録ヘッドが完成する。こ
のようにインクジェット記録ヘッドの製造工程の最後に
ノズル１０５や液室１０６を空洞化するものであるた
め、これらにゴミ等が侵入するおそれがない。

【０００７】ところがこのようにノズル層を活性エネル
ギー線硬化性樹脂によって製作する方法は、ノズル層の
材質を大幅に制約するものであり、このような材料の制
約は、インクジェット記録ヘッドの耐インク性等を向上
させたり、あるいはインクジェット記録ヘッドを低価格
化するうえで大きな障害となる。加えて、インクジェッ
ト記録ヘッドの印字を高速化するには液室を大容量化す
ることが要求されるが、液室の高さを高くするために活
性エネルギー線硬化性樹脂層を厚くすると、これをパタ
ーニングする際に、液室の形状を設計通りに形成するの
が困難であり、また、露光時間が長くなって新たなトラ
ブルを発生するおそれがある。

【０００８】そこで、吐出エネルギー発生素子を有する
基板上に液流路や液室の形状を有する第１のレジストパ
ターンを設け、さらにその上に、液室を高くするための
第２のレジストパターンを重ねたうえで天板を載置し、
天板と基板の間に形成された空間部に樹脂を注入してこ
れを硬化させ、最後に第１および第２のレジストパター
ンを溶出する方法が開発された。

【０００９】図６および図７はこのように第１、第２の
レジストパターンを重ねたうえで樹脂を注入するいわゆ
る注型法によって２個取りのインクジェット記録ヘッド
を製造する工程を説明するもので、まず、図６の（ａ）
に示すように、インクジェット記録ヘッド２個分の吐出
エネルギー発生素子を有する基板２０１の上に、公知の
感光性ドライフィルム等を用いて液流路パターン部分２
０２ａと液室下半部パターン部分２０２ｂからなる第１
のレジストパターン２０２を設け、その上に、同図の
（ｂ）に示すように、公知の印刷法等によって液室上半
部の形状を有する第２のレジストパターン２０３を積層
する。さらに、同図の（ｃ）に示すように、予めインク
供給口２０４ａ等の開口を形成した天板２０４を載置
し、該天板２０４と基板２０１の間に形成される空間部
Ｖ₀ に、同図の（ｄ）に示すように、樹脂２０５を注入
してこれを硬化させてインクジェット記録ヘッド２個取
りの積層体Ａ₀ を得る。続いて、図７の（ａ）に示すよ
うに、積層体Ａ₀ を中央で切断し、第１および第２のレ
ジストパターン２０２，２０３を溶剤によって溶出する
と、同図の（ｂ）に示すように空洞化された液流路２２
１と液室２２２を有するノズル層２２０が形成される。

【００１０】この方法を採用すれば、第２のレジストパ
ターンの厚さを厚くすることによって液室の高さを必要
なだけ高くすることができる。また、液室の形状は第２
のレジストパターンの形状通りであり、露光によってパ
ターニングする場合のようなトラブルを発生するおそれ
はない。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、図６の（ｄ）に示すように、基板２０
１に第１および第２のレジストパターン２０２，２０３
を設け、その上に天板２０４を重ねて空間部Ｖ₀ に樹脂
２０５を注入する工程で、第２のレジストパターン２０
３と天板２０４の間へ樹脂２０５の一部が侵入し、外部
へ張り出してバリＢを発生する。これは、天板２０４の
反りやうねり、および第２のレジストパターン２０３の
表面の凹凸や厚さの不均一に起因するもので、このよう
な理由で第２のレジストパターン２０３と天板２０４の
間に発生した隙間に毛管現象によって樹脂２０５の一部
分が侵入するためである。

【００１２】一般的にバリＢは極めて薄肉であるため、
液流路２２１や液室２２２を空洞化するときに第１、第
２のレジストパターン２０２，２０３を溶出する溶剤に
混入したり、完成されたインクジェット記録ヘッドを使
用中に剥離して、液流路２２１を詰まらせるゴミとなる
おそれがあり、また、剥離せずに液室２２２内に突出し
たままで残った場合はインクの流動を妨げる障害物とな
るため、インクのリフィル特性を著しく低下させる。さ
らに、第２のレジストパターン２０３の上面を塞ぐほど
大きく張り出したときは、レジストパターン２０２，２
０３を溶出するときの妨げになるおそれもある。

【００１３】本発明は、上記従来の技術の有する問題点
に鑑みてなされたものであり、レジストパターンを設け
た基板とこれに載置された天板の間の空間部に樹脂を注
入するいわゆる注型法によってノズル層（液流路形成
層）を製作する工程において、ノズル層の液室に前記樹
脂のバリが形成されるのを防ぎ、このようなバリによっ
てノズル詰まりを起したりインクのリフィル特性が劣化
するおそれのない高性能で安価なインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法を提供することを目的とするものであ
る。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、
液流路パターン部分および液室パターン部分からなるレ
ジストパターンを設けた基板と前記レジストパターンの
上に載置された天板との間に形成された空間部に樹脂を
注入し、該樹脂を硬化させたうえで前記レジストパター
ンを除去することで液流路と液室を有する液流路形成層
を製作する工程を有し、前記空間部に前記樹脂を注入す
る前に、前記天板と前記レジストパターンの間の隙間を
充填材によって塞いでおくことを特徴とする。

【００１５】レジストパターンと充填材を同じ溶剤によ
って除去する工程を有するとよい。

【００１６】

【作用】基板と天板との間の空間部に注入された樹脂を
硬化させ、レジストパターンを溶剤によって溶出するこ
とで液流路と液室を空洞化して液流路形成層を得る。レ
ジストパターンと天板の間には、天板の反りやうねり、
およびレジストパターンの表面の凹凸や厚さの不均一に
起因する隙間が形成されており、該隙間に樹脂が侵入す
ると液流路形成層の液室内にバリとなって突出し、レジ
ストパターンを溶出するときに溶剤中に混入したり、完
成されたインクジェット記録ヘッドを使用中に剥がれて
ノズル詰まりを起したりあるいはインクのリフィル特性
を劣化させるおそれがあるが、樹脂を注入する前に前記
隙間を充填材によって塞いでおくことで前記バリの発生
を防ぎ、これによるトラブルを回避する。

【００１７】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。

【００１８】図１および図２は一実施例によってインク
ジェット記録ヘッドを製造する工程を説明するもので、
図１の（ａ）に示すように、インクジェット記録ヘッド
２個分の吐出エネルギー発生素子を有する基板１の上
に、液流路の形状を有する液流路パターン部分２ａと液
室の下半部の形状を有する液室パターン部分２ｂからな
る第１のレジストパターン２を設け、その上に、同図の
（ｂ）に示すように液室の上半部の形状を有する液室パ
ターン部分である第２のレジストパターン３を積層す
る。

【００１９】第１のレジストパターン２を製作する方法
は、以下に示すものの中から適宜選択する。

【００２０】（１） 感光性ドライフィルムを用いてい
わゆるドライフィルムの画像形成プロセスに従ってレジ
ストパターン２を形成する。

【００２１】（２） 基板１上に所望の厚さの溶剤可溶
性ポリマー層およびフォトレジスト層を順に積層し、該
フォトレジスト層のパターン形成後、溶剤可溶性ポリマ
ー層を選択的に除去する。

【００２２】（３） 樹脂を印刷する。

【００２３】（１）の方法における感光性ドライフィル
ムとしては、ポジ型のものもネガ型のものも用いること
ができるが、例えばポジ型ドライフィルムであれば、活
性エネルギー線照射によって現像液に可溶化するポジ型
ドライフィルム、またネガ型ドライフィルムであれば、
光重合型であるが塩化メチレンあるいは強アルカリで溶
解あるいは剥離除去し得るネガ型ドライフィルムが適し
ている。

【００２４】ポジ型ドライフィルムとしては、具体的に
は、例えば「ＯＺＡＴＥＣ Ｒ２２５」（商品名、ヘキ
ストジャパン（株））等、またネガ型ドライフィルムと
しては、「ＯＺＡＴＥＣ Ｔシリーズ」（商品名、ヘキ
ストジャパン（株））、「ＰＨＯＴＥＣ ＰＨＴシリー
ズ」（商品名、日立化成工業（株））、「ＲＩＳＴＯ
Ｎ」（商品名、デュ・ポン・ド・ネモアース・Ｃｏ）等
が用いられる。

【００２５】もちろん、これらの市販材料のみならず、
ポジティブに作用する樹脂組成物、例えばナフキノンジ
アド誘導体とノボラック型フェノール樹脂を主体とする
樹脂組成物、ＰＭＥＲ−ＡＲ９００（東京応化工業
（株））、及びネガティブに作用する樹脂組成物、例え
ばアクリルエステルを反応基とするアクリルオリゴマー
と熱可塑性高分子化合物および増感剤を主体とする組成
物、あるいはポリチオールとポリエン化合物および増感
剤とから成る組成物等を用いることができる。

【００２６】（２）の方法における溶剤可溶性ポリマー
としては、それを溶解する溶剤が存在し、コーティング
によって被膜を形成し得る高分子化合物であればいずれ
でもよい。ここで用い得るフォトレジスト層としては、
典型的にはノボラック型フェノール樹脂とナフトキノン
ジアジドから成るポジ型液状フォトレジスト、ポリビニ
ルシンナメートから成るネガ型液状フォトレジスト、環
化ゴムとビスアジドから成るネガ型液状フォトレジス
ト、ネガ型感光性ドライフィルム、熱硬化型および紫外
線硬化型のインキ等が挙げられる。

【００２７】（３）の印刷法に用いる材料としては、例
えば蒸発乾燥型、熱硬化型あるいは紫外線硬化型等のそ
れぞれの乾燥方式で用いられている平板インキ、スクリ
ーンインキならびに転写型の樹脂等が用いられる。

【００２８】以上に挙げた材料群の中で、加工精度や除
去の容易性あるいは作業性等の面からみて、（１）の感
光性ドライフィルムを用いる方法が好ましく、その中で
もポジ型ドライフィルムを用いるのが特に好ましい。す
なわち、ポジ型感光性材料は、例えば解像度がネガ型の
感光性材料よりも優れており、レリーフパターンが垂直
かつ平滑な側壁面を持ち、また、テーパ型ないし逆テー
パ型の断面形状が容易につくれるという多くの長所を持
ち、液流路を形づくる上で最適である。また、レリーフ
パターンを現像液や有機溶剤で溶解除去できる等の長所
も有しており、本発明におけるレジストパターン形成材
料として好適である。特に、例えば先に挙げたナフキノ
ンジアジドとノボラック型フェノール樹脂を用いたポジ
型感光性材料では、弱アルカリ水溶液あるいはアルコー
ルで完全溶解できるので、吐出エネルギー発生素子の損
傷を何ら与えることがなく、かつ後工程での除去もきわ
めて速やかである。このようなポジ型感光性材料の中で
も、ドライフィルム状のものは、１０〜１００μｍの厚
膜のものが得られる点で、最も好ましい材料である。

【００２９】第２のレジストパターン３は、第１のレジ
ストパターン２の液室パターン部分２ｂ上に積層され、
第２のレジストパターン３の厚さに第１のレジストパタ
ーン２の液室パターン部分２ｂの厚さを加えたものが各
インクジェット記録ヘッドの液室の必要高さに一致する
ように構成されている。

【００３０】第２のレジストパターン３は、一般に市販
されているアクリル系やエポキシ系の樹脂等を用い印刷
法やディスペンス等によって製作される。例えば、上記
樹脂としては、ＭＡ−８３０、Ｍ−８５Ｋ（太陽インキ
製造（株）製）、ＷＲ−５２０Ｂ（（株）アサヒ化学研
究所）等のインキがある。

【００３１】次いで、図１の（ｃ）に示すように、第２
のレジストパターン３上に予めインク供給口４ａを形成
した天板４が位置合わせして載置される。

【００３２】このように第２のレジストパターン３上に
天板４を載置したとき、天板４の反りやうねり等、ある
いは第２のレジストパターン３の厚さの不均一部や第２
のレジストパターン３の上面の凹凸のためにわずかな隙
間５が生じる。そこで、同図の（ｄ）に示すように隙間
５に充填材６を充填する。その方法は以下の通りであ
る。

【００３３】天板４のインク供給口４ａ等の開口部から
ディスペンサー等により以下に示す特性を持つ材料を選
定し、隙間５を埋めるように充填する。

【００３４】（１） 充分な流動性が有り隙間５を埋め
られかつ第２のレジストパターン３からはみ出さない。

【００３５】（２） 液流路形成層であるノズル層を構
成する樹脂を注入硬化後除去できる。

【００３６】（３） ノズル層を構成する樹脂と混じり
合ってその硬化を妨げるおそれがない。

【００３７】（４） 作業性が良いこと。

【００３８】例えば、ＴＣ−５６４−Ｓ−ＳＮ（サンノ
プコ（株）製、粘度５６０００ｃｐｓ）、ＭＡ−８３
０、Ｍ−８５Ｋ（太陽インキ（株）製）、一般工作用澱
粉糊（流動性のあるもの）を用いることができるが、こ
れに限定されるものではない。

【００３９】次に、注入した充填材６を乾燥あるいは硬
化させる。具体的には、常温、加熱乾燥、赤外線乾燥、
紫外線硬化等が挙げられ、選定する材料により適正条件
を決める。例えば、ＴＣ−５６４−Ｓ−ＳＮの硬化は、
常温の場合６時間程度、６０℃の場合３０分で乾燥す
る。

【００４０】続いて、図２の（ａ）に示すように、前記
基板１と前記天板４の間の空間部Ｖ₁ に硬化性の樹脂７
ａが注入される。これは、同図の（ｂ）に別の断面で示
すように、天板４の両側縁に配設された樹脂供給穴４ｂ
を用いて行なわれる。樹脂７ａは毛管現象によって前記
空間部Ｖ₁ すべてに充填され、ノズル層７を形成する。
このとき、第２のレジストパターン３と天板４の間の隙
間５は充填材６によって塞がれているため、従来例のよ
うなバリが生じるおそれはない。

【００４１】樹脂７ａを硬化させたのち、同図の（ｃ）
に示すように、ダイシングソー等の公知の方法によって
各インクジェット記録ヘッドＥ₁ に切り離す。次いで、
同図の（ｄ）に示すように、第１、第２のレジストパタ
ーン２，３および充填材６をアルカリ水溶液や有機溶剤
等の溶剤である除去液により除去する。充填材６は、ノ
ズル層７を構成する樹脂７ａの硬化後に予め除去してお
いてもよい。

【００４２】なお、第１、第２のレジストパターン２，
３と充填材６をすべて別々の溶液にて順次除去すること
もできるが、それぞれの材料を適当に選定することによ
り同一溶液を用いて同時に除去することが可能である。

【００４３】第１、第２のレジストパターン２，３と充
填材６を除去すると、第１のレジストパターン２の液流
路パターン部分２ａを除去することで空洞化された液流
路８と、第１のレジストパターン２の液室パターン部分
２ｂと第２のレジストパターン３を除去することで空洞
化された液室９を有するノズル層７が形成される。液室
９は、第１のレジストパターンの液室パターン部分２ｂ
の厚さと第２のレジストパターン３の厚さを加えたもの
に等しい高さを有し、天板４のインク供給口４ａに開口
する。

【００４４】２個取りのインクジェット記録ヘッドをダ
イシングソー等によって各インクジェット記録ヘッドＥ
₁ に切り離したときの切断面は、図３に示すように、各
液流路８が開口するオリフィス面１０を構成する。イン
ク供給口４ａから液室９に供給されたインクは、各液流
路８に充填され、吐出エネルギー発生素子によって吐出
エネルギーが与えられるとオリフィス面１０のオリフィ
ス１０ａから液滴として吐出される。

【００４５】本実施例は、前述のように、基板上に第
１，第２のレジストパターンを設けその上に天板を載置
して天板と基板の間の空間部にノズル層を構成する樹脂
を注入するいわゆる注型法によってノズル層を製作する
に際して、レジストパターンと天板の間の隙間を充填材
によって塞いでおき、ノズル層を構成する樹脂が前記隙
間に侵入してバリを形成するのを防ぎ、このようなバリ
が完成したインクジェット記録ヘッドを使用中にインク
のリフィル特性を劣化させたり、剥れてゴミとなってイ
ンクに混入しノズル詰まりを発生したり、あるいはイン
クジェット記録ヘッドの製造工程においてレジストパタ
ーンを溶出して液室等を空洞化する作業の邪魔になる等
のトラブルを回避するものである。

【００４６】なお、本実施例は、第１のレジストパター
ンに液室の下半部を形成するための液室パターン部分を
設け、その上に液室の上半部を形成するための第２のレ
ジストパターンを積層するものであるが、第１のレジス
トパターンには液流路パターン部分のみを設け、第２の
レジストパターンによって液室の上半部と下半部すなわ
ち液室全体を形成する液室パターン部分を構成してもよ
い。

【００４７】このように液流路を形成するための液流路
パターン部分と液室を形成するための液室パターン部分
を有するレジストパターンを用いて基板と天板の間に樹
脂を注入するいわゆる注型法は、レジストパターンの液
室パターン部分を厚くすることで液室を任意の高さまで
高くすることが自在であり、従ってインクジェット記録
ヘッドの高速化や高容量化に極めて好適である。加え
て、ノズル層の材質を感光性樹脂等に限定する必要がな
いために、耐インク特性や耐熱性等の観点からノズル層
の材料を広範囲に選択できるうえに、露光や現像等の工
程が不要であり、従って、製造工程が簡単であるという
多くの利点を有し、インクジェット記録ヘッドの低価格
化と高性能化を大きく促進できる。本発明はこの方法に
おいてノズル層にバリを発生する不都合を解消し、より
一層高性能でしかも製造コストの低いインクジェット記
録ヘッドを実現するものである。

【００４８】本発明は、特に液体噴射記録方式の中で熱
エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記録を行な
う、いわゆるインクジェット記録方式の液体噴射記録ヘ
ッド（以下、『記録ヘッド』という。）、記録装置にお
いて、優れた効果をもたらすものである。

【００４９】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行なうものが好ましい。この記録方
式は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれ
にも適用可能である。

【００５０】この記録方式を簡単に説明すると、記録液
（インク）が保持されているシートや液流路に対応して
配置されている吐出エネルギー発生素子である電気熱変
換体に駆動回路より吐出信号を供給する、つまり、記録
情報に対応して記録液（インク）に核沸騰現象を越え、
膜沸騰現象を生じるような急速な温度上昇を与えるため
の少なくとも一つの駆動信号を印加することによって、
熱エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜
沸騰を生じさせる。このように記録液（インク）から電
気熱変換体に付与する駆動信号に一対一に対応した気泡
を形成できるため、特にオンデマンド型の記録法には有
効である。この気泡の成長、収縮により吐出口を介して
記録液（インク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を
形成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適
切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特に応答性に優
れた記録液（インク）の吐出が達成でき、より好まし
い。このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４
４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に
記載されているようなものが適している。なお、上記熱
作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３
１２４号明細書に記載されている条件を採用すると、さ
らに優れた記録を行なうことができる。

【００５１】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液流路、電気熱変換
体を組み合わせた構成（直線状液流路又は直角液流路）
の他に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書に開示されているように、熱
作用部が屈曲する領域に配置された構成を持つものにも
本発明は有効である。

【００５２】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出口とする構成を開
示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成
を有するものにおいても本発明は有効である。

【００５３】さらに、本発明が有効に利用される記録ヘ
ッドとしては、記録装置が記録可能である被記録媒体の
最大幅に対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッド
がある。このフルラインヘッドは、上述した明細書に開
示されているような記録ヘッドを複数組み合わせること
によってフルライン構成にしたものや、一体的に形成さ
れた一個のフルライン記録ヘッドであってもよい。

【００５４】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。

【００５５】また、記録ヘッドに対する回復手段や予備
的な補助手段を付加することは、記録装置を一層安定に
することができるので好ましいものである。これらを具
体的に挙げれば、記録ヘッドに対しての、キャッピング
手段、クリーニング手段、加圧または吸引手段、電気熱
変換体或はこれとは別の加熱素子、あるいはこれらの組
み合わせによる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行な
う予備吐出モード手段を付加することも安定した記録を
行なうために有効である。

【００５６】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録
ヘッドを一体的に構成したものか、複数個の組み合わせ
で構成したものかのいずれでもよいが、異なる色の複色
カラーまたは、混色によるフルカラーの少なくとも一つ
を備えた装置にも本発明は極めて有効である。

【００５７】本発明において、上述した各インクにたい
して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行する
ものである。

【００５８】さらに加えて、インクジェット記録装置の
形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の画像出
力端末として用いられるものの他、リーダ等と組み合わ
せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシミ
リ装置の形態を採るものであってもよい。

【００５９】以上説明した本発明の実施例においては、
インクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で
固化するインクであって、室温で軟化もしくは液体とな
るもの、或いは、インクジェットにおいて一般的に行な
われている温度調整の温度範囲である３０℃以上７０℃
以下の温度範囲で軟化もしくは液体となるものでもよ
い。すなわち、使用記録信号付与時にインクが液状をな
すものであればよい。加えて、積極的に熱エネルギーに
よる昇温をインクの固形状態から液体状態への態変化の
エネルギーとして使用せしめることで防止するか、また
は、インクの蒸発防止を目的として放置状態で固化する
インクを用いるかして、いずれにしても熱エネルギーの
記録信号に応じた付与によってインクが液化してインク
液状として吐出するものや記録媒体に到達する時点では
すでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギーによ
って初めて液化する性質のインク使用も本発明には適用
可能である。このような場合インクは、特開昭５４−５
６８４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報
に記載されるような、多孔質シート凹部または貫通孔に
液状または固形物として保持された状態で、電気熱変換
体に対して対向するような形態としてもよい。本発明に
おいては、上述した各インクに対して最も有効なもの
は、上述した膜沸騰方式を実行するものである。

【００６０】

【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、以下に記載するような効果を奏する。

【００６１】注型法によってノズル層（液流路形成層）
を製作する工程において、ノズル層を構成する樹脂が液
室内にバリを形成するのを防ぎ、このようなバリによっ
てノズル詰まりを起したりインクのリフィル特性が劣化
する等のトラブルを回避する。

【００６２】注型法によるノズル層の製作は、樹脂材料
を活性エネルギー線硬化性樹脂に限定する等の制約がな
いために材料コストを大幅に低減できるうえに露光や現
像等の複雑な工程を必要とせず、また、液室の高さを高
くすることも自在であり、従って、インクジェット記録
ヘッドの低価格化および高密度化や高速化を大きく促進
できるものである。このような注型法において前述のよ
うに液室内にバリを発生しやすい欠点を排除すること
で、より一層高性能でしかも安価なインクジェット記録
ヘッドを実現する。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施例によるインクジェット記録ヘッドの製
造方法の前半の工程を示すものである。

【図２】前記実施例によるインクジェット記録ヘッドの
製造方法の後半の工程を示すものである。

【図３】前記実施例によって製作されたインクジェット
記録ヘッドを示す斜視図である。

【図４】一従来例によるインクジェット記録ヘッドの製
造方法の前半の工程を示すものである。

【図５】前記従来例によるインクジェット記録ヘッドの
製造方法の後半の工程を示すものである。

【図６】別の従来例によるインクジェット記録ヘッドの
製造方法の前半の工程を示すものである。

【図７】前記別の従来例によるインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法の後半の工程を示すものである。

【符号の説明】

１ 基板 ２ 第１のレジストパターン ３ 第２のレジストパターン ４ 天板 ４ａ インク供給口 ５ 隙間 ６ 充填材 ７ ノズル層 ８ 液流路 ９ 液室 １０ オリフィス面

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液流路パターン部分および液室パターン
   部分からなるレジストパターンを設けた基板と前記レジ
   ストパターンの上に載置された天板との間に形成された
   空間部に樹脂を注入し、該樹脂を硬化させたうえで前記
   レジストパターンを除去することで液流路と液室を有す
   る液流路形成層を製作する工程を有し、前記空間部に前
   記樹脂を注入する前に、前記天板と前記レジストパター
   ンの間の隙間を充填材によって塞いでおくことを特徴と
   するインクジェット記録ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 レジストパターンと充填材を同じ溶剤に
   よって除去する工程を有する請求項１記載のインクジェ
   ット記録ヘッドの製造方法。