JPH09298441A - 弾性表面波変換器及び弾性表面波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 変換効率がよく不要反射が少ない弾性表面波
変換器及び低損失で不要応答の少ない弾性表面波装置を
得ることを目的とする。 【解決手段】 電極指の基本単位となる部分配列とし
て、励起される弾性表面波の波長λ₀ に対し弾性表面波
の伝搬方向に沿って長さλ₀ の配列周期をもって複数回
反復して配置し、かつ、幅がλ₀ ／８の正電極指３と第
１の負電極指４と、幅がλ₀ ／４の第２の負電極指５と
を有し、上記正電極指３の中心位置と上記第１の負電極
指４の中心位置との間の距離Ｌ１がλ₀ ／４である弾性
表面波変換器において、上記正電極指３の中心位置と上
記第２の負電極指５の中心位置との間の距離Ｌ２を（３
／８＋δ）λ₀ とし、上記δを０．００３ないし０．０
２６の値とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、移動体通信装置
の高周波回路などに用いられる弾性表面波変換器及び弾
性表面波装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１４は例えばアイ・イー・イー・イー
・ウルトラソニックス・シンポジウム・プロシーディン
グス、第７９から８９頁、１９８９年（1989 IEEE Ultr
asonics Symposium Proceedings pp.79-89）に示された
従来のこの種の弾性表面波変換器の構成を示したもので
ある。図において、１は第１のブスバー、２は第２のブ
スバー、３は正電極指、４は第１の負電極指、５は第２
の負電極指であり、第１及び第２のブスバー１及び２
と、第１のブスバー１に接続された正電極指３と、第２
のブスバー２に接続された第１及び第２の負電極指４及
び５はいずれも弾性表面波を伝搬する基板に形成されて
いる。

【０００３】また、正電極指３と、上記正電極指３の図
中右側に配置された第１の負電極指４と、上記正電極指
３の図中左側に配置された第２の負電極指５が、３本１
組となって電極指の部分配列の基本単位をなしており、
該部分配列の基本単位は、励起される弾性表面波の波長
λ₀ に対し弾性表面波の伝搬方向に沿って長さλ₀ の配
列周期をもって複数回反復して配置されている。正電極
指３の幅Ｗ１と、第１の負電極指４の幅Ｗ２はいずれも
λ₀ ／８であり、第２の負電極指５の幅Ｗ３はλ₀ ／４
の値を有している。また、正電極指３の中心位置と第１
の負電極指４の中心位置との間の距離Ｌ１はλ₀ ／４に
設定されており、さらに、正電極指３の中心位置と第２
の負電極指５の中心位置との間の距離Ｌ２は３λ₀ ／８
に設定されている。

【０００４】次に動作について説明する。第１のブスバ
ー１と第２のブスバー２との間に電気信号による高周波
電圧を加えると、正電極指３と負電極指４及び５との間
に電界が生じ、この電界により、図示しない基板上に弾
性表面波が励振される。逆に、基板上を伝搬する弾性表
面波が電極指に入射すると、正電極指３と負電極指４及
び５との間に高周波電圧が生じ、第１のブスバー１と第
２のブスバー２との間から電気信号が受信される。

【０００５】このように、図１４に示す構成は、電気信
号を弾性表面波に変換器したり、弾性表面波を電気信号
に変換する所謂弾性表面波変換器として動作する。電極
指の部分配列の基本単位は、長さλ₀ の周期で配列され
ているので、生じる電界もλ₀ の周期となる。したがっ
て、弾性表面波の波長がλ₀ と等しくなる中心周波数の
近傍において、弾性表面波変換器の変換効率は最も大き
くなり、通常この周波数帯で動作させる。

【０００６】図１５は図１４に示した構成のうち電極指
の部分配列の１つの基本単位とその図中右側に隣接する
第２の負電極指５とを拡大して示した図である。第１の
ブスバー１と第２のブスバー２との間に電圧を加えたと
きに生じる電界の様子を図中矢印で示す。このとき、正
電極指３の図中右側と左側にそれぞれ反対向きの電界が
生じる。したがって、この電界により励振される弾性表
面波の励振中心は、図中Ａ’で示すように、おおよそ正
電極指３の中心位置となる。

【０００７】この励振中心から励振した弾性表面波は、
両側にある第２の負電極指５によって、その一部が反射
する。通常、この種の弾性表面波変換器に用いられる材
料において、反射した弾性表面波の位相は、入射した波
の位相に対し９０°遅れる。すなわち、電極指をアルミ
ニウムにし、基板を水晶（ＳｉＯ₂）、ニオブ酸リチウ
ム（ＬｉＮｂＯ₃）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａ
Ｏ₃）などにした場合、弾性表面波に対する音響インピ
ーダンスが電極指のない部分より電極指のある部分の方
が低くなり、弾性表面波がインピーダンスの低い部分か
ら高い部分に入射した場合、反射波の位相は変化しない
が、インピーダンスの高い部分から低い部分に入射した
場合には、反射波の位相が反転し（１８０゜遅れる）、
このため、まず、電極指の端部に入射する弾性表面波は
位相が１８０゜遅れる。

【０００８】電極指の中心を基準と考えた場合には、電
極指の端部から中心までの距離の往復分の９０゜（１／
４波長）位相が進むので、合計した位相は９０゜遅れ
る。逆に、電極指の内部から電極指のない部分に進む弾
性表面波の反射波は位相が変化しないので、電極指の中
心を基準と考えると、反射波の位相は９０゜遅れること
になるので、全体としてやはり９０゜の位相遅れとな
る。この反射の反射中心は、図１５にＢで示すように、
第２の負電極指５の中心位置である。

【０００９】なお、正電極指３と第１の負電極４との中
心間隔Ｌ１はλ₀ ／４であるが、これは、所謂ダブル電
極の電極指間隔と同一であり、それぞれの電極指による
反射は互いに打ち消し合う。すなわち、正電極指３と第
１の負電極４は、反射には寄与しないものとして差し支
えない。

【００１０】励振中心から図中左側に励振した弾性表面
波は、図中左側にある第２の負電極５によってその一部
が反射する。反射した波は、再び励振中心の方向に伝搬
し、励振中心から直接右側に励振する弾性表面波と足し
合わさって図中右側に伝搬する。このとき、励振中心と
正電極指３の中心位置が一致していると仮定すると、励
振中心Ａ’で励振し左側の第２の負電極５によって反射
され再び励振中心に戻ってくるまでの遅延位相は次のよ
うになる。

【００１１】すなわち、正電極指３から図中左側にある
第２の負電極５にまでの中心間距離Ｌ２は３λ₀ ／８で
あるので、この間の往復の位相遅れは３／８×３６０°
×２となり２７０°である。また、第２の負電極５の中
心での反射において弾性表面波の位相は上述したように
９０°遅れる。したがって、往復分の位相と反射の位相
を合わせると３６０°の位相遅れとなる。これは、励振
した弾性表面波の位相と同位相になることを意味してい
る。したがって、励振中心で励振し直接図中右側に伝搬
する弾性表面波と、励振中心から図中左側に励振し左側
の第２の負電極５で反射し再び励振中心に戻る弾性表面
波とは、同相で足し合い強め合って、さらに図中右側に
伝搬する。

【００１２】一方、励振中心の位置から右側に励振した
弾性表面波は、図中右側にある第２の負電極５によって
その一部が反射し、再び励振中心の方向に伝搬して、励
振中心から直接図中左側に励振した弾性表面波と足し合
わさって左側に伝搬する。このとき、励振中心から励振
し図中右側の第２の負電極５によって反射して再び励振
中心に戻ってくるまでの遅延位相は次のようになる。

【００１３】すなわち、正電極指３から図中右側にある
第２の負電極５までの中心間距離は、λ₀ から中心間距
離Ｌ２を差し引いた５λ₀ ／８である。この間の往復の
位相遅れは５／８×３６０°×２となり４５０°であ
る。したがって、往復分の位相と反射の位相９０°を合
わせると５４０°の位相遅れとなる。これは、励振した
弾性表面波の位相と丁度逆の位相であることを意味して
いる。したがって、励振中心で励振し直接図中左側に伝
搬する弾性表面波と、励振中心から図中右側に励振し右
側の第２の負電極５で反射して再び励振中心に戻る弾性
表面波とは、逆相で打ち消し合うため、弱め合って図中
左側に伝搬する。

【００１４】以上のように、図１４及び図１５に示した
この種の弾性表面波変換器では、励振した弾性表面波の
うち、図中左右に伝搬する弾性表面波の強度が異なる。
このため、全体としては、弾性表面波を順方向である図
中右側に強く励振し、逆方向である図中左側にはあまり
励振しない、所謂一方向性の性質を有する弾性表面波変
換器が得られる。したがって、順方向に対して変換効率
がよく損失の少ない弾性表面波変換器が得られる。

【００１５】以上は弾性表面波が励振するときについて
説明したが、弾性表面波を受信して電気信号に変換する
場合も同様に、右側から入射した弾性表面波は効率よく
受信され、左側から入射する弾性表面波はほとんど受信
されない。したがって、受信の場合にも順方向に対して
変換効率がよく損失が少ない。

【００１６】なお、基板の材料、切断面や伝搬の方向、
さらには電極指の材料や形状によっては、上述した第２
の負電極指５における反射での位相遅れが−９０°と反
転する場合がある。このとき、図１４及び図１５に示し
た構成では、図中左側が順方向、図中右側が逆方向にそ
れぞれ変化する。しかし、この場合も一方向性の性質を
有することに変わりはない。

【００１７】また、この種の一方向性の弾性表面波変換
器では、順方向から入射する弾性表面波に対して不要反
射が少ない特長がある。このため、この弾性表面波変換
器を用いると、一方向性を有さない弾性表面波変換器を
用いる場合に比べて、不要応答であるトリプル・トラン
ジット・エコー(Triple Transit Echo) が小さい弾性表
面波装置が得られる。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の弾性表面波変換器において、以上のような性質が得
られるのは、いずれも弾性表面波の励振中心と反射中心
との間の距離が３λ₀ ／８になっているためである。こ
の距離を弾性表面波の位相差に換算すると１３５°にな
る。しかし、実際には、図１５に示すように、正電極指
３の図中右側と左側の電極指間の形状が異なるため、矢
印で示すように、正電極指３の両側に生じる電界は対称
とはならない。よって、この電界により励振される弾性
表面波の励振中心は、図中にＡで示すように、正電極指
３の中心位置とは一致せずに、左側にずれてしまう。し
たがって、真の弾性表面波の励振中心Ａと反射中心Ｂと
の間の位相差は１３５°より小さくなってしまう。

【００１９】このため、順方向における反射波と励振波
の位相が一致せず、両者がうまく足し合わされない。ま
た、逆方向における反射波と励振波の位相が反転せず、
両者がうまく打ち消し合わない。この結果、良好な一方
向性が得られず、変換損失が増大したり、順方向から入
射する弾性表面波の不要反射が増大したりする問題があ
る。このように、従来のこの種の弾性表面波変換器で
は、励振中心と反射中心との位相差が１３５°とならず
方向性が劣化するため、損失が増大したり、不要反射が
増大する問題があった。

【００２０】この発明は上述した従来例に係る問題点を
解消するためになされたもので、変換効率がよく不要反
射が少ない弾性表面波変換器を得ることを目的とする。
また、低損失で不要応答の少ない弾性表面波装置を得る
ことを目的とする。

【００２１】

【課題を解決するための手段】この発明に係る弾性表面
波変換器は、弾性表面波を伝搬する基板に形成された第
１及び第２のブスバーと、上記基板に形成され上記第１
のブスバーに接続された複数本の正電極指と、上記基板
に形成され上記第２のブスバーに接続された複数本の負
電極指とを有し、上記正電極指と上記負電極指からなる
電極指の基本単位となる部分配列として、励起される弾
性表面波の波長λ₀ に対し弾性表面波の伝搬方向に沿っ
て長さλ₀ の配列周期をもって複数回反復して配置さ
れ、かつ、幅がλ₀ ／８の正電極指と、該正電極指の一
側に隣り合うように配置される幅がλ₀ ／８の第１の負
電極指と、上記正電極指に対して上記第１の負電極指と
は反対側に配置される幅がλ₀ ／４の第２の負電極指と
を備え、上記正電極指の中心位置と上記第１の負電極指
の中心位置との間の距離をλ₀ ／４とした弾性表面波変
換器において、上記正電極指の中心位置と上記第２の負
電極指の中心位置との間の距離を３λ₀ ／８よりもδλ
₀ （δは距離変化量）大きくしたことを特徴とするもの
である。

【００２２】また、上記距離変化量δは、０．００３な
いし０．０２６の値を有することを特徴とするものであ
る。

【００２３】また、他の発明に係る弾性表面波変換器
は、弾性表面波を伝搬する基板に形成された第１及び第
２のブスバーと、上記基板に形成され上記第１のブスバ
ーに接続された複数本の正電極指と、上記基板に形成さ
れ上記第２のブスバーに接続された複数本の負電極指と
を有し、上記正電極指と上記負電極指からなる電極指の
基本単位となる部分配列として、励起される弾性表面波
の波長λ₀ に対し弾性表面波の伝搬方向に沿って長さλ
₀ の配列周期をもって複数回反復して配置され、かつ、
上記正電極指と、上記正電極指の一側に隣り合うように
配置される第１の負電極指と、上記正電極指に対して上
記第１の負電極指とは反対側に配置される幅がλ₀ ／４
の第２の負電極指とを備え、上記正電極指の中心位置と
上記第１の負電極指の中心位置との間の距離が概λ₀ ／
４である弾性表面波変換器において、上記正電極指の中
心位置と上記第２の負電極指の中心位置との間の距離を
３λ₀ ／８とし、上記正電極指の幅及び上記第１の負電
極指の幅をともにλ₀ ／８よりもελ₀ （εは幅変化
量）小さくしたことを特徴とするものである。

【００２４】また、上記幅変化量εは、０．０１１ない
し０．０８１の値を有することを特徴とするものであ
る。

【００２５】また、上記電極指の基本単位となる他の部
分配列として、上記正電極指に換えて上記基板に形成さ
れ上記第２のブスバーに接続された第３の負電極指を備
えたことを特徴とするものである。

【００２６】また、上記電極指の基本単位となる他の部
分配列として、上記第２の負電極指を幅がλ₀ ／８の２
本の負電極指に分割し、上記分割した２本の負電極指の
中心間距離をλ₀ ／４としたことを特徴とするものであ
る。

【００２７】また、さらに他の発明に係る弾性表面波変
換器は、弾性表面波を伝搬する基板に形成された第１及
び第２のブスバーと、上記基板に形成され上記第１のブ
スバーに接続された複数本の正電極指と、上記基板に形
成され上記第２のブスバーに接続された複数本の負電極
指とを有し、上記正電極指と上記負電極指からなる電極
指の基本単位となる部分配列として、励起される弾性表
面波の波長λ₀ に対し弾性表面波の伝搬方向に沿って長
さλ₀ の配列周期をもって複数回反復して配置され、か
つ、上記正電極指と、上記正電極指の一側に隣り合うよ
うに配置される第１の負電極指と、上記正電極指に対し
て上記第１の負電極指とは反対側に配置される幅がλ₀
／４の第２の負電極指とを備え、上記正電極指の中心位
置と上記第１の負電極指の中心位置との間の距離がλ₀
／４である弾性表面波変換器において、上記第２の負電
極指のうちの少なくとも一部を幅がλ₀ ／８の２本の負
電極指に分割し、該分割した２本の負電極指の中心間距
離をλ₀ ／８ないしλ₀ ／４としたことを特徴とするも
のである。

【００２８】また、さらに他の発明に係る弾性表面波変
換器は、弾性表面波を伝搬する基板に形成された第１及
び第２のブスバーと、上記基板に形成され上記第１のブ
スバーに接続された複数本の正電極指と、上記基板に形
成され上記第２のブスバーに接続された複数本の負電極
指とを有し、上記正電極指と上記負電極指からなる電極
指の基本単位となる部分配列として、励起される弾性表
面波の波長λ₀ に対し弾性表面波の伝搬方向に沿って長
さλ₀ の配列周期をもって複数回反復して配置され、か
つ、上記正電極指と、上記正電極指の一側に隣り合うよ
うに配置される第１の負電極指と、上記正電極指に対し
て上記第１の負電極指とは反対側に配置される幅がλ₀
／４の第２の負電極指とを備え、上記正電極指の中心位
置と上記第１の負電極指の中心位置との間の距離がλ₀
／４である弾性表面波変換器において、上記第２の負電
極指のうちの少なくとも一部を幅がλ₀ ／８の２本の負
電極指に分割し、該分割した２本の負電極指の中心間距
離をλ₀ ／４ないし３λ₀／８としたことを特徴とする
ものである。

【００２９】また、上記電極指の基本単位となる部分配
列のうちの少なくとも一部の部分配列における上記分割
した２本の負電極指の中心間距離は、他の部分配列にお
ける上記分割した２本の負電極指の中心間距離と異なら
せることを特徴とするものである。

【００３０】また、この発明に係る弾性表面波装置は、
上記記載の弾性表面波変換器からなる第１及び第２の弾
性表面波変換器を有し、該第１と第２の弾性表面波変換
器を、互いに方向性が対向するように配置し、かつ、一
方の弾性表面波変換器を入力変換器とすると共に、他方
の弾性表面波変換器を出力変換器とすることを特徴とす
るものである。

【００３１】さらに、他の発明に係る弾性表面波装置
は、上記記載の弾性表面波変換器からなる第１及び第２
の弾性表面波変換器を有し、該第１と第２の弾性表面波
変換器を、互いに方向性が対向するように配置し、か
つ、電気的に並列または直列に接続し、上記第１と第２
の弾性表面波変換器の間に配置される第３の弾性表面波
変換器をさらに備え、上記第１及び第２の弾性表面波変
換器と上記第３の弾性表面波変換器とのうちの一方を入
力変換器とすると共に、他方を出力変換器とすることを
特徴とするものである。

【００３２】

【発明の実施の形態】

実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１に係る弾
性表面波変換器を示す構成図である。図１において、１
は第１のブスバー、２は第２のブスバー、３は正電極
指、４は第１の負電極指、５は第２の負電極指であり、
第１及び第２のブスバー１及び２と、第１のブスバー１
に接続された正電極指３と、第２のブスバー２に接続さ
れた第１及び第２の負電極指４及び５はいずれも弾性表
面波を伝搬する基板（図示せず）に形成されている。

【００３３】また、正電極指３と、上記正電極指３の図
中右側に隣り合うように配置された第１の負電極指４
と、上記正電極指３の図中左側に隣り合うように配置さ
れた第２の負電極指５とが、３本１組となって電極指の
基本単位となる部分配列をなしており、この電極指の部
分配列の基本単位は、励起される弾性表面波の波長λ₀
に対し、弾性表面波の伝搬方向に沿って長さλ₀ の配列
周期をもって複数回反復して配置されている。正電極指
３の幅Ｗ１と第１の負電極指４の幅Ｗ２はいずれもλ₀
／８であり、第２の負電極指５の幅Ｗ３はλ₀ ／４の値
を有している。また、正電極指３の中心位置と第１の負
電極指４の中心位置との間の距離Ｌ１をλ₀ ／４として
いる。以上の構成は、図１４に示した従来の例の構成と
同様である。しかしながら、図１に示す実施の形態１で
は、従来例とは異なり、正電極指３の中心位置と第２の
負電極指５の中心位置との間の距離Ｌ２を、３λ₀ ／８
より０．０１５λ₀ だけ大きい０．３９０λ₀ としてい
る。

【００３４】次に動作について説明する。第１のブスバ
ー１と第２のブスバー２との間に電気信号による高周波
電圧を加えると、正電極指３と、負電極指４及び５との
間に電界が生じ、この電界により、図示しない基板上に
弾性表面波が励振される。逆に、該基板上を伝搬する弾
性表面波が電極指に入射すると、正電極指３と、負電極
指４及び５との間に高周波電圧が生じ、第１のブスバー
１と第２のブスバー２との間から電気信号が受信され
る。電極指の基本単位は長さλ₀ の周期で配列されてい
るので、電界もλ₀ の周期で生じる。このため、弾性表
面波の波長がλ₀ と等しくなる中心周波数の近傍におい
て、弾性表面波変換器の変換効率は最も大きくなり、通
常この周波数帯で動作させる。

【００３５】図２は図１に示した構成のうち１つの電極
指の部分配列の基本単位と図中その右側に隣接する第２
の負電極指５とを拡大して示した図である。第１のブス
バー１と第２のブスバー２との間に電圧を加えると、図
２に矢印で示すように、正電極指３の図中右側と左側に
それぞれ反対向きの電界が生じる。したがって、この電
界により励振される弾性表面波の励振中心は、正電極指
３の中心位置Ａ’に近い位置となる。

【００３６】しかし、正電極指３の図中右側と左側の電
極指間の形状が異なるため、図中矢印で示すように、正
電極指３の両側に生じる電界は対称にはならない。した
がって、この電界により励振される弾性表面波の励振中
心は、正電極指３の中心位置Ａ’とは一致せず、図中Ａ
で示す位置になる。

【００３７】励振中心Ａから励振した弾性表面波は、そ
の両側にある第２の負電極指５によって、その一部が反
射する。第２の負電極指５において反射した弾性表面波
の位相は、入射した波の位相に対して通常９０°遅れと
なる。この反射における反射中心は、図２にＢで示すよ
うに、第２の負電極指５の中心位置である。

【００３８】なお、正電極指３と第１の負電極４とは中
心間隔Ｌ１はλ₀ ／４であるので、これは所謂ダブル電
極の電極指間隔と同一であり、それぞれの電極指による
反射波は互いに打ち消し合う。すなわち、正電極指３と
第１の負電極４は反射には寄与しないものとして差し支
えない。反射に寄与する電極指は第２の負電極指５だけ
である。

【００３９】図３は正電極指３の中心位置と第２の負電
極指５の中心位置との間の距離Ｌ２を変化したときに励
振中心の位置がどのように変化するかを示したものであ
る。図において、横軸は、距離Ｌ２を３λ₀ ／８からδ
×λ₀ だけ大きくし、（３／８＋δ）λ₀ としたときの
距離変化量δを表している。縦軸は、反射中心である図
中左側の第２の負電極指５の中心位置Ｂから弾性表面波
の真の励振中心の位置Ａまでの距離を、弾性表面波の遅
延位相θ（単位、度）として表したものである。

【００４０】この図３は例えばアイ・イー・イー・イー
・ウルトラソニックス・シンポジウム・プロシーディン
グス、第４１３から４１６頁、１９７２年（197２ IEEE
Ultrasonics Symposium Proceedings pp.413-416) に
示されている方法を基にして計算したものである。すな
わち、まず、電極指上に生じる電荷の位置分布を、電気
的な境界条件を満たすように数値的に求める。次に、こ
の電荷分布によって弾性表面波が励振するので、電荷分
布の基本波成分を取り出し、基本波の波形の山の位置を
求めて励振中心とした。

【００４１】図３から距離変化量δが０のときは、反射
中心と励振中心との位相差θは１３１．２°であり、１
３５°からずれている。しかし、距離変化量δを０．０
１５とすると、位相差θは丁度１３５°になる。本実施
の形態１では、正電極指３の中心位置と第２の負電極指
５の中心位置との間の距離Ｌ２を３λ₀ ／８より０．０
１５λ₀ だけ大きくしているので、反射中心と励振中心
との位相差は丁度１３５°となる。この様子は図２に示
されている。

【００４２】図２において、励振中心Ａから図中左側に
励振した弾性表面波は、左側にある第２の負電極５の中
心Ｂによってその一部が反射する。反射した波は、再び
励振中心の方向に伝搬し、励振中心Ａから直接右側に励
振した弾性表面波と足し合わさって右側に伝搬する。

【００４３】このとき、励振中心Ａと左側の第２の負電
極５の中心位置Ｂとの位相差は従来例とは異なり、丁度
１３５°となっている。よって、励振中心から励振し左
側の第２の負電極５によって反射して再び励振中心に戻
ってくるまでの遅延位相は、励振中心から左側にある第
２の負電極５の中心位置までの往復の２７０°と、第２
の負電極５での反射の位相遅れ９０°とを合わせた３６
０°となる。すなわち、励振中心で励振し直接右側に伝
搬する弾性表面波と、励振中心から左側に励振し左側の
第２の負電極５で反射して再び励振中心に戻る弾性表面
波とは、正確に同相で重なり、強め合って右側に伝搬す
る。

【００４４】一方、励振中心Ａから図中右側に励振した
弾性表面波は、図中右側にある第２の負電極５の中心Ｂ
によってその一部が反射し、再び励振中心の方向に伝搬
して、励振中心から直接図中左側に励振した弾性表面波
と足し合わさって左側に伝搬する。

【００４５】このとき、励振中心Ａと右側の第２の負電
極５の中心位置Ｂとの位相差は従来例とは異なり、丁度
２２５°となっている。よって、励振中心から励振し右
側の第２の負電極５によって反射して再び励振中心に戻
ってくるまでの遅延位相は、励振中心から右側にある第
２の負電極５の中心位置までの往復の４５０°と、第２
の負電極５での反射の位相遅れ９０°とを合わせた５４
０°となる。すなわち、励振中心で励振し直接左側に伝
搬する弾性表面波と、励振中心から右側に励振し右側の
第２の負電極５で反射して再び励振中心に戻る弾性表面
波とは、正確に逆相で重なり、打ち消し合って左側に伝
搬する。

【００４６】以上のように、図１及び図２に示した実施
の形態１に係る弾性表面波変換器では、図中右方向に伝
搬する励振波と反射波とは正確に同相で重なり、図中左
方向に伝搬する励振波と反射波とは正確に逆相で重な
る。このため、弾性表面波の励振中心と反射中心との位
相差が１３５°からずれるのを補正することができ、良
好な一方向性が得られ、順方向に対して低損失な弾性表
面波変換器が得られる。また、良好な一方向性が得られ
るので、順方向から入射した弾性表面波の反射を小さく
でき、不要反射が少ない弾性表面波変換器が得られる。

【００４７】なお、図３から分かるように、距離移動量
δの値を０．０１５としたとき、反射中心と励振中心と
の位相差θは丁度１３５°になるが、良好な一方向性を
得るために、必要な位相差θの範囲は１３５°に対して
±３°以内程度と考えられる。図から、θが１３５°±
３°となる距離移動量δの範囲は、０．００３から０．
０２６までである。すなわち、正電極指３の中心位置と
第２の負電極指５の中心位置との間の距離Ｌ２を（３／
８＋δ）λ₀ としたとき、距離移動量δを０．００３な
いし０．０２６の範囲とすればよいことが分かる。した
がって、距離Ｌ２を０．３７８λ₀ ないし０．４０１λ
₀ の範囲とすれば、良好な一方向性が得られる。

【００４８】また、基板の材料、切断面や伝搬の方向、
さらには電極指の材料や形状によっては、第２の負電極
指５での反射の位相遅れが９０°ではなく、−９０°と
なる場合がある。この場合には、弾性表面波変換器の図
中左側が順方向、図中右側が逆方向となり、方向性が逆
転する。しかし、このときも、正電極指３の中心位置と
第２の負電極指５の中心位置との間の距離Ｌ２を上述し
た値にすることにより、同様にこの実施の形態１による
効果が得られる。

【００４９】実施の形態２．次に、図４はこの発明の実
施の形態２に係る弾性表面波変換器を示す構成図であ
る。図４において、１は第１のブスバー、２は第２のブ
スバー、３は正電極指、４は第１の負電極指、５は第２
の負電極指であり、第１及び第２のブスバー１及び２
と、第１のブスバー１に接続された正電極指３と、第２
のブスバー２に接続された第１及び第２の負電極指４及
び５はいずれも弾性表面波を伝搬する基板に形成されて
いる。

【００５０】また、正電極指３と、上記正電極指３の右
側に配置された第１の負電極指４と、上記正電極指３の
左側に配置された第２の負電極指５とが、３本１組とな
って電極指の基本単位となる部分配列をなしており、上
記電極指の部分配列の基本単位は、弾性表面波の伝搬方
向に沿って長さλ₀ の配列周期をもって複数回反復して
配置されている。第２の負電極指５の幅Ｗ３はλ₀ ／４
としている。さらに、正電極指３の中心位置と第１の負
電極指４の中心位置との間の距離Ｌ１をλ₀ ／４とし、
正電極指３の中心位置と第２の負電極指５の中心位置と
の間の距離Ｌ２を３λ₀ ／８としている。以上の構成
は、図１４に示した従来例の構成と同様である。しかし
ながら、図４に示す実施の形態２では、従来例とは異な
り、正電極指３の幅Ｗ１と第１の負電極指４の幅Ｗ２と
をいずれもλ₀ ／８より０．０５０λ₀だけ小さい０．
０７５λ₀ としている。

【００５１】次に動作について説明する。第１のブスバ
ー１と第２のブスバー２との間に電気信号による高周波
電圧を加えると、正電極指３と負電極指４及び５との間
に電界が生じ、この電界により、図示しない基板上に弾
性表面波が励振される。逆に、基板上を伝搬する弾性表
面波が電極指に入射すると、正電極指３と負電極指４及
び５との間に高周波電圧が生じ、第１のブスバー１と第
２のブスバー２との間から電気信号が受信される。電界
はλ₀ の周期で生じるので、弾性表面波の波長がλ₀ と
等しくなる中心周波数の近傍において、弾性表面波変換
器の変換効率が最も大きくなる。

【００５２】図５は図４に示した構成のうち１つの電極
指の部分配列の基本単位と図中その右側に隣接する第２
の負電極指５とを拡大して示した図である。第１のブス
バー１と第２のブスバー２との間に電圧を加えると、図
５に矢印で示すように、正電極指３の図中右側と左側に
それぞれ反対向きの電界が生じる。

【００５３】図６はこの電界による励振中心の位置Ａを
図３と同様の方法で求めたものである。図において、横
軸は、正電極指３の幅Ｗ１と、第１の負電極指４の幅Ｗ
２をいずれもλ₀ ／８からε×λ₀ （εは幅変化量）だ
け小さくし、（１／８−ε）λ₀ としたときの電極指の
幅変化量εを表している。縦軸は、図３と同様に、反射
中心である図中左側の第２の負電極指５の中心位置Ｂか
ら弾性表面波の励振中心位置Ａまでの距離を、弾性表面
波の遅延位相の値θとして示したものである。

【００５４】図６から幅変化量εが０のときは反射中心
と励振中心との位相差θは１３１．２°であり、１３５
°からずれている。しかし、幅変化量εを０．０５０と
すると、位相差θは丁度１３５°になる。本実施の形態
２では、正電極指３の幅Ｗ１と、第１の負電極指４の幅
Ｗ２をともにλ₀ ／８より０．０５０λ₀ だけ小さくし
ているので、反射中心と励振中心との位相差は丁度１３
５°となる。

【００５５】このため、本実施の形態２でも、実施の形
態１と同様に、図５に示すように、図中右方向に伝搬す
る励振波と反射波とは正確に同相で重なり、図中左方向
に伝搬する励振波と反射波とは正確に逆相で重なる。こ
のため、弾性表面波の励振中心と反射中心との位相差が
１３５°からずれるのを補正することができ、良好な一
方向性が得られ、順方向に対して低損失な弾性表面波変
換器が得られる。また、良好な一方向性が得られるの
で、順方向から入射した弾性表面波に対する反射を小さ
くでき、不要反射が少ない弾性表面波変換器が得られ
る。

【００５６】なお、この実施の形態２においても、正電
極指３と第１の負電極４との中心間隔はλ₀ ／４として
いるので、それぞれの電極指による反射波は互いに打ち
消し合う。すなわち、正電極指３と第１の負電極４とは
反射には寄与しないとして良い。

【００５７】また、図６から分かるように、幅変化量ε
の値を０．０５０としたとき、反射中心と励振中心との
位相差θは丁度１３５°になるが、良好な一方向性を得
るために必要な位相差θの範囲は１３５°±３°以内程
度である。図６から、幅変化量εの範囲を０．０１１か
ら０．０８１までとすれば、位相差θを１３５°±３°
以内とできる。よって、正電極指３の幅Ｗ１と、第１の
負電極指４の幅Ｗ２をともに（１／８−ε）λ₀ とした
とき、幅変化量εを上述した値とすればよく、すなわ
ち、Ｗ１、Ｗ２をともに０．０４４λ₀ ないし０．１１
４λ₀ の範囲とすれば、良好な一方向性が得られる。

【００５８】また、基板の材料、切断面や伝搬の方向、
さらには電極指の材料や形状によっては、第２の負電極
指５における反射での位相遅れが９０°ではなく、−９
０°となることがあるが、この場合も方向性が逆転する
だけであり、正電極指３の幅Ｗ１と、第１の負電極指４
の幅Ｗ２を上述した値にすることにより、同様にこの実
施の形態２の効果が得られる。

【００５９】実施の形態３．次に、図７はこの発明の実
施の形態３に係る弾性表面波変換器を示す構成図であ
る。図７において、１は第１のブスバー、２は第２のブ
スバー、３は正電極指、４は第１の負電極指、５は第２
の負電極指、６は第３の負電極指であり、第１及び第２
のブスバー１及び２と、第１のブスバー１に接続された
正電極指３と、第２のブスバー２に接続された第１ない
し第３の負電極指４〜６はいずれも弾性表面波を伝搬す
る基板（図示せず）に形成されている。

【００６０】また、図中Ｔ１で示す左側の電極指の部分
配列においては、正電極指３と、該正電極指３の図中右
側に配置された第１の負電極指４と、該正電極指３の図
中左側に配置された第２の負電極指５が、３本１組とな
って電極指の部分配列の基本単位をなしており、この電
極指の基本単位となる部分配列は、励起される弾性表面
波の波長λ₀ に対し、弾性表面波の伝搬方向に沿って長
さλ₀ の配列周期をもって複数回反復して配置されてい
る。正電極指３の幅Ｗ１と第１の負電極指４の幅Ｗ２は
いずれもλ₀ ／８であり、第２の負電極指５の幅はλ₀
／４の値を有している。正電極指３の中心位置と第１の
負電極指４の中心位置との間の距離はλ₀ ／４としてお
り、さらに、正電極指３の中心位置と第２の負電極指５
の中心位置との間の距離Ｌ２を、３λ₀ ／８より０．０
１５λ₀ だけ大きい０．３９０λ₀ としている。また、
図中Ｔ２で示す右側の部分配列においては、部分配列Ｔ
１に対して、正電極指３の換わりに、第３の負電極指６
を配置した構成としている。

【００６１】次に動作について説明する。部分配列Ｔ１
においては、正電極指３の中心位置と第２の負電極指５
の中心位置との間の距離Ｌ２を、３λ₀ ／８より０．０
１５λ₀ だけ大きくしているので、実施の形態１と同様
に、反射中心と励振中心との位相差が１３５°となり、
良好な一方向性が得られる。また、部分配列Ｔ２におい
ては、正電極指３を第３の負電極指６に置き換えたた
め、正電極指３が存在せず、負電極指４、５、６のみが
存在する。このとき、第１のブスバー１と、第２のブス
バー２の間に電気信号による高周波電圧を加えても、部
分配列Ｔ２では電極指の間に電界が生じず、弾性表面波
が励振しない。

【００６２】したがって、弾性表面波変換器に、部分配
列Ｔ１とＴ２をそれぞれ設け、これらを所要の分布を付
けて配置することにより、弾性表面波変換器中の弾性表
面波の励振分布に重み付けをつけることができる。この
重み付けの形状によって、種々の周波数特性を得ること
ができる。したがって、所要の周波数特性を有し、変換
効率が良く不要反射の少ない弾性表面波変換器が得られ
る。

【００６３】なお、本実施の形態３では、正電極指３の
中心位置と第２の負電極指５の中心位置との間の距離Ｌ
２を０．３９０λ₀ としているが、これに限らず距離Ｌ
２を０．３７８λ₀ ないし０．４０１λ₀ の範囲として
も、実施の形態１と同様にこの発明の効果が得られる。
また、Ｌ２を３λ₀ ／８のままとし、正電極指３の幅Ｗ
１と第１の負電極指４の幅Ｗ２とを、ともに０．０４４
λ₀ ないし０．１１４λ₀ の範囲に換えても、実施の形
態２と同様にこの発明の効果が得られる。

【００６４】実施の形態４．次に、図８はこの発明の実
施の形態４に係る弾性表面波変換器を示す構成図であ
る。図８において、１は第１のブスバー、２は第２のブ
スバー、３は正電極指、４は第１の負電極指、５は第２
の負電極指、７は２つに分割した負電極指であり、第１
及び第２のブスバー１及び２と、第１のブスバー１に接
続された正電極指３と、第２のブスバー２に接続された
第１及び第２の負電極指４及び５と、２つに分割した負
電極指７はいずれも弾性表面波を伝搬する基板に形成さ
れている。

【００６５】図中Ｒ１で示す左側の部分配列において
は、正電極指３と、上記正電極指３の右側に配置された
第１の負電極指４と、上記正電極指３の左側に配置され
た第２の負電極指５が、３本１組となって電極指の部分
配列の基本単位をなしており、この部分配列の基本単位
は、長さλ₀ の配列周期をもって複数回反復して配置さ
れている。正電極指３の幅Ｗ１と第１の負電極指４の幅
Ｗ２はいずれもλ₀ ／８であり、第２の負電極指５の幅
はλ₀ ／４の値を有している。正電極指３の中心位置と
第１の負電極指４の中心位置との間の距離はλ₀ ／４と
しており、さらに、正電極指３の中心位置と第２の負電
極指５の中心位置との間の距離Ｌ２を、３λ₀ ／８より
０．０１５λ₀ だけ大きい０．３９０λ₀ としている。

【００６６】また、図中Ｒ２で示す右側の部分配列にお
いては、部分配列Ｒ１に対して、第２の負電極指５に置
き換えて、２つの分割した負電極指７を設けるととも
に、上記２つの分割した負電極指７の幅をそれぞれλ₀
／８とし、さらに、隣り合う２つの分割した負電極指７
の中心間距離Ｌ３をλ₀ ／４としている。

【００６７】次に動作について説明する。部分配列Ｒ１
においては、正電極指３の中心位置と第２の負電極指５
の中心位置との間の距離Ｌ２を、３λ₀ ／８より０．０
１５λ₀ だけ大きくしているので、実施の形態１と同様
に、反射中心と励振中心との位相差が１３５°となり、
良好な一方向性が得られる。また、部分配列Ｒ２におい
ては、第２の負電極指５を２つに分割し、これら２つの
分割した負電極指７の中心間距離Ｌ３をλ₀ ／４として
いる。このため、２つの電極指で反射した波が打ち消し
合い、反射が生じなくなる。

【００６８】したがって、弾性表面波変換器に、部分配
列Ｒ１とＲ２をそれぞれ設け、これらを所要の分布を付
けて配置することにより、弾性表面波変換器中の弾性表
面波の反射分布に重み付けをつけることができる。この
種の一方向性の弾性表面波変換器においては、弾性表面
波の反射分布が一様であると、順方向から入射した弾性
表面波の不要反射が０になる周波数は１つの周波数だけ
に限られてしまう。不要反射をある周波数帯にわたって
小さくするには反射分布に重み付けを施す必要がある。
本実施の形態４では、上記の方法で反射分布に所要の重
み付けをつけることができるので、これにより、広帯域
にわたって不要反射の少ない、変換効率の良い弾性表面
波変換器が得られる。

【００６９】なお、本実施の形態４では、正電極指３の
中心位置と第２の負電極指５の中心位置との間の距離Ｌ
２を０．３９０λ₀ としているが、これに限らずＬ２を
０．３７８λ₀ ないし０．４０１λ₀ の範囲としても同
様な効果が得られる。さらに。Ｌ２を３λ₀ ／８のまま
とし、正電極指３の幅Ｗ１と第１の負電極指４の幅Ｗ２
とをともに０．０４４λ₀ ないし０．１１４λ₀ の範囲
で換えても同様な効果が得られる。

【００７０】実施の形態５．次に、図９はこの発明の実
施の形態５に係る弾性表面波変換器を示す構成図であ
る。図９において、１は第１のブスバー、２は第２のブ
スバー、３は正電極指、４は第１の負電極指、５は第２
の負電極指、７は２つに分割した負電極指であり、第１
及び第２のブスバー１及び２と、第１のブスバー１に接
続された正電極指３と、第２のブスバー２に接続された
第１及び第２と２つに分割した負電極指４、５、７はい
ずれも弾性表面波を伝搬する基板に形成されている。

【００７１】図中Ｒ１で示す左側の部分配列において
は、正電極指３と、上記正電極指３の右側に配置された
第１の負電極指４と、上記正電極指３の左側に配置され
た第２の負電極指５が、３本１組となって電極指の部分
配列の基本単位をなしており、この部分配列の基本単位
は長さλ₀ の配列周期をもって複数回反復して配置され
ている。正電極指３の幅Ｗ１と第１の負電極指４の幅Ｗ
２はいずれもλ₀ ／８であり、第２の負電極指５の幅は
λ₀ ／４の値を有している。さらに、正電極指３の中心
位置と第１の負電極指４の中心位置との間の距離Ｌ１を
λ₀ ／４とし、正電極指３の中心位置と第２の負電極指
５の中心位置との間の距離Ｌ２を０．３９０λ₀ として
いる。

【００７２】また、図中Ｒ２で示す右側の部分配列にお
いては、部分配列Ｒ１に対して、第２の負電極指５に置
き換えて、２つの分割した負電極指７を設けるととも
に、上記２つの分割した負電極指７の幅をそれぞれλ₀
／８とし、隣り合う２つの分割した負電極指７の中心間
距離Ｌ３をλ₀ ／４としている。さらに、図中Ｒ３で示
す中央の部分配列においては、部分配列Ｒ２に対して、
隣り合う２つの分割した負電極指７の中心間距離Ｌ３を
３λ₀ ／１６と置き換えている。

【００７３】次に動作について説明する。部分配列Ｒ１
においては、第２の負電極指５により弾性表面波の反射
が生じる。また、部分配列Ｒ２においては、２つの分割
した負電極指７の中心間距離Ｌ３をλ₀ ／４としている
ので、実施の形態４に示したものと同様に、弾性表面波
の反射が生じない。さらに、部分配列Ｒ３においては、
２つの分割した負電極指７の中心間距離Ｌ３を、λ₀ ／
８より大きくλ₀ ／４より小さい、３λ₀ ／１６として
いる。

【００７４】このとき、部分配列Ｒ３においては、２つ
に分割した負電極指７による弾性表面波の反射量は、部
分配列Ｒ１における反射量と、部分配列Ｒ２における反
射量との中間的な値となる。この理由を以下に示す。
今、２つに分割した負電極指７の１本当たりの反射量を
ρとする。このとき、２つの分割した負電極指７を合わ
せた全体の反射量Γは、それぞれの反射量を反射波の位
相を考慮して足し合わせることにより得られ、２つの分
割した負電極指７の中心間距離Ｌ３に対して次式のよう
になる。 Γ＝ρ・ｅｘｐ（ｊ２πＬ₃／λ₀）＋ρ・ｅｘｐ（−ｊ２πＬ₃／λ₀） ＝２ρ・ｃｏｓ（２πＬ₃／λ₀）

【００７５】図１０に中心間距離Ｌ３を変化したときに
上式から求めた反射量Γの相対値を示す。図から分かる
ように、中心間距離Ｌ３をλ₀ ／８から大きくしていく
と、反射量Γは単調に減少していき、中心間距離Ｌ３を
λ₀ ／４としたところで０となる。なお、中心間距離Ｌ
３をλ₀ ／８としたときは丁度２つの負電極指７が密着
した状態となり、部分配列Ｒ１における第２の負電極指
５と同じ状態になる。

【００７６】このように、部分配列Ｒ３においては反射
量が、部分配列Ｒ１とＲ２における反射量との中間的な
値となることが分かる。中心間距離Ｌ３は３λ₀ ／１６
に限らず、λ₀ ／８からλ₀ ／４まで連続的に変化させ
ることができるので、反射量Γも連続的に変化させるこ
とができる。

【００７７】したがって、弾性表面波変換器に、中心間
距離Ｌ３の異なる部分を所要の分布を付けて配置するこ
とにより、弾性表面波変換器中の弾性表面波の反射分布
に、よりきめ細かい重み付けをつけることができ、これ
により、広帯域にわたってより不要反射の少ない、変換
効率の良い弾性表面波変換器が得られる。

【００７８】なお、本実施の形態５では、部分配列Ｒ１
において、正電極指３の中心位置と第２の負電極指５の
中心位置との間の距離Ｌ２を０．３９０λ₀ としている
が、これに限らず、該距離Ｌ２を従来例と同様に３λ₀
／８しても構わない。このときも、２つの分割した負電
極指７の中心間距離Ｌ３の値がλ₀ ／８ないしλ₀ ／４
の部分を設けることにより、反射量Γを細かく設定でき
るので、従来例に比べ変換効率が良く、不要反射の少な
い弾性表面波変換器が得られる。

【００７９】また、本実施の形態５では、中心間距離Ｌ
３の異なる２つの部分配列Ｒ２、Ｒ３を設けているが、
これに限らず、中心間距離Ｌ３の値をλ₀ ／８ないしλ
₀ ／４として、弾性表面波変換器内で全て同一にしても
構わない。このときも、第２の電極指５を分割しない場
合に比べて、反射量Γの自由度を大きく設定できるの
で、従来例に比べ変換効率が良く不要反射の少ない弾性
表面波変換器が得られる。

【００８０】実施の形態６．次に、図１１はこの発明の
実施の形態６に係る弾性表面波変換器を示す構成図であ
る。図１１において、１は第１のブスバー、２は第２の
ブスバー、３は正電極指、４は第１の負電極指、５は第
２の負電極指、７は２つに分割した負電極指であり、第
１及び第２のブスバー１及び２と、第１のブスバー１に
接続された正電極指３と、第２のブスバー２に接続され
た第１及び第２の負電極指４及び５と、２つに分割した
負電極指７はいずれも弾性表面波を伝搬する基板に形成
されている。

【００８１】図中Ｒ１で示す左側の部分配列において
は、正電極指３と、上記正電極指３の右側に配置された
第１の負電極指４と、上記正電極指３の左側に配置され
た第２の負電極指５が、３本１組となって電極指の部分
配列の基本単位をなしており、上記基本単位は長さλ₀
の配列周期をもって複数回反復して配置されている。正
電極指３の幅Ｗ１と、第１の負電極指４の幅Ｗ２はいず
れもλ₀ ／８であり、第２の負電極指５の幅Ｗ３はλ₀
／４の値を有している。さらに、正電極指３の中心位置
と第１の負電極指４の中心位置との間の距離Ｌ１をλ₀
／４とし、正電極指３の中心位置と第２の負電極指５の
中心位置との間の距離Ｌ２を０．３９０λ₀ としてい
る。

【００８２】また、図中Ｒ２で示す中央の部分配列にお
いては、部分配列Ｒ１に対して、第２の負電極指５に置
き換えて２つの分割した負電極指７を設けるとともに、
上記２つの分割した負電極指７の幅をそれぞれλ₀ ／８
とし、隣り合う２つの分割した負電極指７の中心間距離
Ｌ３を３λ₀ ／１６としている。さらに、図中Ｒ３で示
す右側の部分配列においては、部分配列Ｒ２に対して、
２つの分割した負電極指７の中心間距離Ｌ３の値を５λ
₀ ／１６と置き換えている。

【００８３】次に動作について説明する。部分配列Ｒ１
においては、第２の負電極指５により弾性表面波の反射
が生じる。また、部分配列Ｒ２においては、２つの分割
した負電極指７の中心間距離Ｌ３を３λ₀ ／１６として
いるので、図１０から分かるように、弾性表面波の反射
量が部分配列Ｒ１より小さい値となる。さらに、部分配
列Ｒ３においては、２つの分割した負電極指７の中心間
距離Ｌ３を、λ₀ ／４より大きく、３λ₀ ／８より小さ
い、５λ₀ ／１６としている。

【００８４】このとき、部分配列Ｒ３においては、分割
した負電極指７による弾性表面波の反射量Γは、図１０
より負の値を有することがわかる。反射量Γが負の値に
なるのは中心間距離Ｌ３がλ₀ ／４より大きい場合であ
り、中心間距離Ｌ３を３λ₀／８とすると、中心間距離
Ｌ３がλ₀ ／８の場合に対して符号が逆で絶対値が丁度
等しくなる。

【００８５】このように、２つの分割した負電極指７の
中心間距離Ｌ３としてλ₀ ／４ないし３λ₀ ／８の値を
用いることにより、負の反射量Γを得ることができ、弾
性表面波変換器中の弾性表面波の反射分布に、より自由
度の大きい重み付けをつけることができる。したがっ
て、広帯域にわたってより不要反射の少ない、変換効率
の良い弾性表面波変換器が得られる。

【００８６】なお、本実施の形態６では、部分配列Ｒ１
において、正電極指３の中心位置と第２の負電極指５の
中心位置との間の距離Ｌ２を０．３９０λ₀ としている
が、これに限らず、距離Ｌ２を、従来と同様に、３λ₀
／８しても構わない。このときも、２つの分割した負電
極指７の中心間距離Ｌ３の値がλ₀ ／４ないし３λ₀／
８の部分を設けることにより、反射量Γの自由度を大き
く設定できるので、従来例に比べ変換効率が良く不要反
射の少ない弾性表面波変換器が得られる。

【００８７】以上の実施の形態１ないし６では、第１の
ブスバー１に接続した電極指を正電極指とし、第２のブ
スバー２に接続した電極指を負電極指としているが、正
電極指と負電極指とは逆にしても良い。また、励振分布
や反射分布の重み付けによっては、１つの弾性表面波変
換器の中で、第１及び第２のブスバー１及び２それぞれ
に、場所により正電極指と負電極指が両方接続される場
合もある。このような構成を用いてもこの発明の効果が
得られる。

【００８８】実施の形態７．次に、図１２はこの発明の
実施の形態７に係る弾性表面波装置を示す構成図であ
る。図１２において、８は基板、９は第１の弾性表面波
変換器、１０は第２の弾性表面波変換器、１２は入力端
子、１３は出力端子であり、弾性表面波を伝搬する基板
８に形成された第１及び第２の弾性表面波変換器９及び
１０が互いに対向する位置に配置されており、第１の弾
性表面波変換器９には入力端子１２が、第２の弾性表面
波変換器１０には出力端子１３がそれぞれ接続されてい
る。

【００８９】上記第１の弾性表面波変換器９において
は、正電極指３と、上記正電極指３の右側に配置された
第１の負電極指４と、上記正電極指３の左側に配置され
た第２の負電極指５が、３本１組となって電極指の部分
配列の基本単位をなしており、該部分配列の基本単位は
長さλ₀の配列周期をもって複数回反復して配置されて
いる。正電極指３の幅と第１の負電極指４の幅はいずれ
もλ₀ ／８であり、第２の負電極指５の幅はλ₀ ／４の
値を有している。また、正電極指３の中心位置と第１の
負電極指４の中心位置との間の距離をλ₀ ／４とし、正
電極指３の中心位置と第２の負電極指５の中心位置との
間の距離を０．３９０λ₀ としている。これは図１に示
した弾性表面波変換器と同様の構成である。

【００９０】一方、上記第２の弾性表面波変換器１０に
おいては、正電極指３と、上記正電極指３の左側に配置
された第１の負電極指４と、上記正電極指３の右側に配
置された第２の負電極指５が、３本１組となって電極指
の部分配列の基本単位をなしており、その他は、第１の
弾性表面波変換器９と同様の構成としている。これは、
第１の弾性表面波変換器９を左右反対にした構成であ
る。

【００９１】次に動作について説明する。第１及び第２
の弾性表面波変換器９及び１０それぞれにおいては、実
施の形態１で示したものと同様に、弾性表面波の反射中
心と励振中心との位相差θが１３５°となるため、良好
な一方向性が得られ、変換効率が良く不要反射の小さい
弾性表面波変換器が得られる。

【００９２】また、左側に配置した第１の弾性表面波変
換器９の順方向は右側であり、右側に配置した第２の弾
性表面波変換器１０の順方向は左側となっている。この
ため、入力端子１２から入力した電気信号は第１の弾性
表面波変換器９において効率良く左側に伝搬する弾性表
面波に変換される。この弾性表面波は、第２の弾性表面
波変換器１０に到達し、効率よく電気信号に変換されて
出力端子１３から電気信号として受信される。このよう
に、本実施の形態７における弾性表面波装置では、通過
帯域において低損失な弾性表面波装置が得られる。

【００９３】さらに、第１及び第２の弾性表面波変換器
９及び１０それぞれにおいて、順方向から入射する弾性
表面波の不要反射が小さいため、第１の弾性表面波変換
器９と第２の弾性表面波変換器１０との間で、弾性表面
波の多重反射がほとんど生じない。このため、不要応答
であるトリプル・トランジット・エコーが少ない弾性表
面波装置が得られる。

【００９４】なお、本実施の形態７では、第１及び第２
の弾性表面波変換器９及び１０として、正電極指３の中
心位置と第２の負電極指５の中心位置との間の距離を
０．３９０λ₀ としたものを用いているが、これに限ら
ず、第１及び第２の弾性表面波変換器９及び１０とし
て、実施の形態１ないし６に示したいずれのものを用い
ても良く、この場合もこの実施の形態７の効果が得られ
る。

【００９５】実施の形態８．次に、図１３はこの発明の
実施の形態８に係る弾性表面波装置を示す構成図であ
る。図１３において、８は基板、９は第１の弾性表面波
変換器、１０は第２の弾性表面波変換器、１１は第３の
弾性表面波変換器、１２は入力端子、１３は出力端子で
あり、弾性表面波を伝搬する基板８に形成された第１及
び第２の弾性表面波変換器９及び１０は互いに対向する
位置に配置されており、これらの中間に、第３の弾性表
面波変換器１１を配置している。また、第１の弾性表面
波変換器９と第２の弾性表面波変換器１０とは電気的に
並列に接続され、かつ、入力端子１２に接続されてい
る。また、第３の弾性表面波変換器１１には出力端子１
３が接続されている。

【００９６】上記第１の弾性表面波変換器９において
は、正電極指３と、上記正電極指３の右側に配置された
第１の負電極指４と、上記正電極指３の左側に配置され
た第２の負電極指５が、３本１組となって電極指の部分
配列の基本単位をなしており、該部分配列の基本単位は
長さλ₀ の配列周期をもって複数回反復して配置されて
いる。正電極指３の幅と第１の負電極指４の幅はいずれ
もλ₀ ／８であり、第２の負電極指５の幅はλ₀ ／４の
値を有している。また、正電極指３の中心位置と第１の
負電極指４の中心位置との間の距離をλ₀ ／４とし、正
電極指３の中心位置と第２の負電極指５の中心位置との
間の距離を０．３９０λ₀ としている。これは図１に示
した弾性表面波変換器と同様の構成である。

【００９７】また、上記第２の弾性表面波変換器１０に
おいては、正電極指３と、上記正電極指３の左側に配置
された第１の負電極指４と、上記正電極指３の右側に配
置された第２の負電極指５が、３本１組となって電極指
の部分配列の基本単位をなしており、その他は、第１の
弾性表面波変換器９と同様の構成としている。これは、
第１の弾性表面波変換器９を左右反対にした構成であ
る。

【００９８】上記第３の弾性表面波変換器１１において
は、正電極指と負電極指とを２本づつ交互に配置したい
わゆるダブル電極の構成としている。したがって、第１
及び第２弾性表面波変換器９、１０とは異なり、双方向
性の特性を有している。

【００９９】次に動作について説明する。第１及び第２
の弾性表面波変換器９及び１０それぞれにおいては、実
施の形態１で示したものと同様に、弾性表面波の反射中
心と励振中心との位相差θが１３５°となるため、良好
な一方向性が得られ、変換効率が良く不要反射の小さい
弾性表面波変換器が得られる。

【０１００】図中左側に配置した第１の弾性表面波変換
器９の順方向は右側であり、図中右側に配置した第２の
弾性表面波変換器１０の順方向は左側となっている。ま
た、第１の弾性表面波変換器９と第２の弾性表面波変換
器１０とは、ともに入力端子１２に電気的に接続されて
いる。このため、入力端子１２から入力した電気信号
は、第１及び第２の弾性表面波変換器９及び１０におい
て、それぞれ効率良く中央側に伝搬する弾性表面波に変
換される。この弾性表面波は、第３の弾性表面波変換器
１１に到達する。第３の弾性表面波変換器１１は双方向
性の特性を有しているので、図中左右から同時に入射し
た弾性表面波は効率よく電気信号に変換され、出力端子
１３から取り出される。

【０１０１】なお、第１及び第２の弾性表面波変換器９
及び１０において、完全な一方向性が得られず、逆方向
にも弾性表面波が励振して損失となる場合がある。この
とき、順方向から入射する弾性表面波を受信する際も、
一部の電力が失われてしまう。しかし、本実施の形態８
においては、この損失の影響を受けるのは、弾性表面波
を励振するときだけである。したがって、弾性表面波を
励振するときと受信するときの両方で損失の影響を受け
る実施の形態７の場合に比べて、さらに低損失の弾性表
面波装置が得られる。

【０１０２】また、実施の形態７と同様に、第１及び第
２の弾性表面波変換器９及び１０それぞれにおいて、順
方向から入射する弾性表面波の不要反射が小さいため、
第１及び第２の弾性表面波変換器９及び１０と、第３の
弾性表面波変換器１１との間で、弾性表面波の多重反射
がほとんど生じない。このため、不要応答であるトリプ
ル・トランジット・エコーが少ない弾性表面波装置が得
られる。

【０１０３】なお、本実施の形態８では、第１及び第２
の弾性表面波変換器９及び１０を電気的に並列に接続し
ているが、電気的に直列に接続してもこの実施の形態８
の効果が得られる。また、第１及び第２の弾性表面波変
換器９及び１０として、正電極指３の中心位置と第２の
負電極指５の中心位置との間の距離を０．３９０λ₀ と
したものを用いているが、これに限らず、第１及び第２
の弾性表面波変換器９及び１０として、実施の形態１な
いし６に示したいずれのものを用いても良く、この場合
も実施の形態８の効果が得られる。

【０１０４】さらに、第１及び第２の弾性表面波変換器
９及び１０を入力変換器とし、第３の弾性表面波変換器
１１を出力変換器としているが、この入力と出力とを逆
転しても差し支えない。

【０１０５】以上の実施の形態７ないし８では、第１及
び第２の弾性表面波変換器９及び１０において、いずれ
も第１のブスバー１に入力端子１２及び出力端子１３を
接続しているが、これに限らず、第１及び第２の弾性表
面波変換器９及び１０のいずれか、または、両方におい
て、第２のブスバー２に入力端子１２及び出力端子１３
を接続しても構わない。

【０１０６】

【発明の効果】以上のように、この発明に係る弾性表面
波変換器によれば、弾性表面波を伝搬する基板に形成さ
れた第１及び第２のブスバーと、上記基板に形成され上
記第１のブスバーに接続された複数本の正電極指と、上
記基板に形成され上記第２のブスバーに接続された複数
本の負電極指とを有し、上記正電極指と上記負電極指か
らなる電極指の基本単位となる部分配列として、励起さ
れる弾性表面波の波長λ₀ に対し弾性表面波の伝搬方向
に沿って長さλ₀ の配列周期をもって複数回反復して配
置され、かつ、幅がλ₀ ／８の正電極指と、該正電極指
の一側に隣り合うように配置される幅がλ₀ ／８の第１
の負電極指と、上記正電極指に対して上記第１の負電極
指とは反対側に配置される幅がλ₀ ／４の第２の負電極
指とを備え、上記正電極指の中心位置と上記第１の負電
極指の中心位置との間の距離をλ₀／４とした弾性表面
波変換器において、上記正電極指の中心位置と上記第２
の負電極指の中心位置との間の距離を３λ₀ ／８よりも
δλ₀ （δは距離変化量）大きくしたので、弾性表面波
の励振中心と反射中心との位相差が１３５°からずれる
のを補正することができ、良好な一方向性を有する弾性
表面波変換器が得られるという効果がある。

【０１０７】また、上記距離変化量δを、０．００３な
いし０．０２６の値にすることにより、弾性表面波の励
振中心と反射中心との位相差を１３５°±３°以内にす
ることができ、良好な一方向性を有する弾性表面波変換
器が得られるという効果がある。

【０１０８】また、他の発明に係る弾性表面波変換器に
よれば、弾性表面波を伝搬する基板に形成された第１及
び第２のブスバーと、上記基板に形成され上記第１のブ
スバーに接続された複数本の正電極指と、上記基板に形
成され上記第２のブスバーに接続された複数本の負電極
指とを有し、上記正電極指と上記負電極指からなる電極
指の基本単位となる部分配列として、励起される弾性表
面波の波長λ₀ に対し弾性表面波の伝搬方向に沿って長
さλ₀ の配列周期をもって複数回反復して配置され、か
つ、上記正電極指と、上記正電極指の一側に隣り合うよ
うに配置される第１の負電極指と、上記正電極指に対し
て上記第１の負電極指とは反対側に配置される幅がλ₀
／４の第２の負電極指とを備え、上記正電極指の中心位
置と上記第１の負電極指の中心位置との間の距離が概λ
₀ ／４である弾性表面波変換器において、上記正電極指
の中心位置と上記第２の負電極指の中心位置との間の距
離を３λ₀ ／８とし、上記正電極指の幅及び上記第１の
負電極指の幅をともにλ₀／８よりもελ₀ （εは幅変
化量）小さくしたので、弾性表面波の励振中心と反射中
心との位相差が１３５°からずれるのを補正することが
でき、良好な一方向性を有する弾性表面波変換器が得ら
れるという効果がある。

【０１０９】また、上記幅変化量εを、０．０１１ない
し０．０８１の値とすることにより、弾性表面波の励振
中心と反射中心との位相差を１３５°±３°以内にする
ことができ、良好な一方向性を有する弾性表面波変換器
が得られるという効果がある。

【０１１０】また、上記電極指の基本単位となる他の部
分配列として、上記正電極指に換えて上記基板に形成さ
れ上記第２のブスバーに接続された第３の負電極指を備
えることにより、弾性表面波の励振強度を場所により変
化させることができ、種々の周波数特性を有する低損失
な弾性表面波変換器が得られるという効果がある。

【０１１１】また、上記電極指の基本単位となる他の部
分配列として、上記第２の負電極指を幅がλ₀ ／８の２
本の負電極指に分割し、上記分割した２本の負電極指の
中心間距離をλ₀ ／４とすることにより、弾性表面波の
反射量を場所により変化させることができ、広帯域にわ
たって不要反射の少ない低損失な弾性表面波変換器が得
られるという効果がある。

【０１１２】また、さらに他の発明に係る弾性表面波変
換器によれば、弾性表面波を伝搬する基板に形成された
第１及び第２のブスバーと、上記基板に形成され上記第
１のブスバーに接続された複数本の正電極指と、上記基
板に形成され上記第２のブスバーに接続された複数本の
負電極指とを有し、上記正電極指と上記負電極指からな
る電極指の基本単位となる部分配列として、励起される
弾性表面波の波長λ₀に対し弾性表面波の伝搬方向に沿
って長さλ₀ の配列周期をもって複数回反復して配置さ
れ、かつ、上記正電極指と、上記正電極指の一側に隣り
合うように配置される第１の負電極指と、上記正電極指
に対して上記第１の負電極指とは反対側に配置される幅
がλ₀ ／４の第２の負電極指とを備え、上記正電極指の
中心位置と上記第１の負電極指の中心位置との間の距離
がλ₀ ／４である弾性表面波変換器において、上記第２
の負電極指のうちの少なくとも一部を幅がλ₀ ／８の２
本の負電極指に分割し、該分割した２本の負電極指の中
心間距離をλ₀ ／８ないしλ₀ ／４とすることにより、
弾性表面波の反射量をきめ細かく調整することができ、
より不要反射の少ない低損失な弾性表面波変換器が得ら
れるという効果がある。

【０１１３】また、さらに他の発明に係る弾性表面波変
換器によれば、弾性表面波を伝搬する基板に形成された
第１及び第２のブスバーと、上記基板に形成され上記第
１のブスバーに接続された複数本の正電極指と、上記基
板に形成され上記第２のブスバーに接続された複数本の
負電極指とを有し、上記正電極指と上記負電極指からな
る電極指の基本単位となる部分配列として、励起される
弾性表面波の波長λ₀に対し弾性表面波の伝搬方向に沿
って長さλ₀ の配列周期をもって複数回反復して配置さ
れ、かつ、上記正電極指と、上記正電極指の一側に隣り
合うように配置される第１の負電極指と、上記正電極指
に対して上記第１の負電極指とは反対側に配置される幅
がλ₀ ／４の第２の負電極指とを備え、上記正電極指の
中心位置と上記第１の負電極指の中心位置との間の距離
がλ₀ ／４である弾性表面波変換器において、上記第２
の負電極指のうちの少なくとも一部を幅がλ₀ ／８の２
本の負電極指に分割し、該分割した２本の負電極指の中
心間距離をλ₀ ／４ないし３λ₀ ／８とすることによ
り、 弾性表面波の反射量が負となる場所をつくること
ができ、不要反射の少ない低損失な弾性表面波変換器が
得られるという効果がある。

【０１１４】また、上記電極指の基本単位となる部分配
列のうちの少なくとも一部の部分配列における上記分割
した２本の負電極指の中心間距離を、他の部分配列にお
ける上記分割した２本の負電極指の中心間距離と異なら
せることにより、弾性表面波の反射量の場所変化をきめ
細かく行うことができ、広帯域にわたってより不要反射
の少ない低損失な弾性表面波変換器が得られるという効
果がある。

【０１１５】また、この発明に係る弾性表面波装置によ
れば、上記記載の弾性表面波変換器からなる第１及び第
２の弾性表面波変換器を有し、該第１と第２の弾性表面
波変換器を、互いに方向性が対向するように配置し、か
つ、一方の弾性表面波変換器を入力変換器とすると共
に、他方の弾性表面波変換器を出力変換器とすることに
より、良好な一方向性を有する弾性表面波変換器を用い
ることにより、低損失で不要応答の少ない弾性表面波装
置が得られるという効果がある。

【０１１６】さらに、他の発明に係る弾性表面波装置に
よれば、上記記載の弾性表面波変換器からなる第１及び
第２の弾性表面波変換器を有し、該第１と第２の弾性表
面波変換器を、互いに方向性が対向するように配置し、
かつ、電気的に並列または直列に接続し、上記第１と第
２の弾性表面波変換器の間に配置される第３の弾性表面
波変換器をさらに備え、上記第１及び第２の弾性表面波
変換器と上記第３の弾性表面波変換器とのうちの一方を
入力変換器とすると共に、他方を出力変換器とすること
により、逆方向に伝搬して損失となる弾性表面波の電力
を減少でき、より低損失な弾性表面波装置が得られると
いう効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１に係る弾性表面波変
換器を示す構成図である。

【図２】 この発明の実施の形態１に係る動作を説明す
るための部分拡大図である。

【図３】 この発明の実施の形態１に係る動作を説明す
るための特性図である。

【図４】 この発明の実施の形態２に係る弾性表面波変
換器を示す構成図である。

【図５】 この発明の実施の形態２に係る動作を説明す
るための部分拡大図である。

【図６】 この発明の実施の形態２に係る動作を説明す
るための特性図である。

【図７】 この発明の実施の形態３に係る弾性表面波変
換器を示す構成図である。

【図８】 この発明の実施の形態４に係る弾性表面波変
換器を示す構成図である。

【図９】 この発明の実施の形態５に係る弾性表面波変
換器を示す構成図である。

【図１０】 この発明の実施の形態５に係る動作を説明
するための特性図である。

【図１１】 この発明の実施の形態６に係る弾性表面波
変換器を示す構成図である。

【図１２】 この発明の実施の形態７に係る弾性表面波
装置を示す構成図である。

【図１３】 この発明の実施の形態８に係る弾性表面波
装置を示す構成図である。

【図１４】 従来例に係る弾性表面波変換器を示す構成
図である。

【図１５】 従来例に係る弾性表面波変換器の動作を説
明するための部分拡大図である。

【符号の説明】

１ 第１のブスバー、２ 第２のブスバー、３ 正電極
指、４ 第１の負電極指、５ 第２の負電極指、６ 第
３の負電極指、７ 分割した負電極指、８ 基板、９
第１の弾性表面波変換器、１０ 第２の弾性表面波変換
器、１１ 第３の弾性表面波変換器、１２ 入力端子、
１３ 出力端子。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木村 友則 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 亀山 俊平 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 弾性表面波を伝搬する基板に形成された
   第１及び第２のブスバーと、上記基板に形成され上記第
   １のブスバーに接続された複数本の正電極指と、上記基
   板に形成され上記第２のブスバーに接続された複数本の
   負電極指とを有し、上記正電極指と上記負電極指からな
   る電極指の基本単位となる部分配列として、励起される
   弾性表面波の波長λ₀ に対し弾性表面波の伝搬方向に沿
   って長さλ₀ の配列周期をもって複数回反復して配置さ
   れ、かつ、幅がλ₀ ／８の正電極指と、該正電極指の一
   側に隣り合うように配置される幅がλ₀ ／８の第１の負
   電極指と、上記正電極指に対して上記第１の負電極指と
   は反対側に配置される幅がλ₀ ／４の第２の負電極指と
   を備え、上記正電極指の中心位置と上記第１の負電極指
   の中心位置との間の距離をλ₀ ／４とした弾性表面波変
   換器において、上記正電極指の中心位置と上記第２の負
   電極指の中心位置との間の距離を３λ₀ ／８よりもδλ
   ₀ （δは距離変化量）大きくしたことを特徴とする弾性
   表面波変換器。
2. 【請求項２】 上記距離変化量δは、０．００３ないし
   ０．０２６の値を有することを特徴とする請求項１記載
   の弾性表面波変換器。
3. 【請求項３】 弾性表面波を伝搬する基板に形成された
   第１及び第２のブスバーと、上記基板に形成され上記第
   １のブスバーに接続された複数本の正電極指と、上記基
   板に形成され上記第２のブスバーに接続された複数本の
   負電極指とを有し、上記正電極指と上記負電極指からな
   る電極指の基本単位となる部分配列として、励起される
   弾性表面波の波長λ₀ に対し弾性表面波の伝搬方向に沿
   って長さλ₀ の配列周期をもって複数回反復して配置さ
   れ、かつ、上記正電極指と、上記正電極指の一側に隣り
   合うように配置される第１の負電極指と、上記正電極指
   に対して上記第１の負電極指とは反対側に配置される幅
   がλ₀ ／４の第２の負電極指とを備え、上記正電極指の
   中心位置と上記第１の負電極指の中心位置との間の距離
   が概λ₀ ／４である弾性表面波変換器において、上記正
   電極指の中心位置と上記第２の負電極指の中心位置との
   間の距離を３λ₀ ／８とし、上記正電極指の幅及び上記
   第１の負電極指の幅をともにλ₀ ／８よりもελ₀ （ε
   は幅変化量）小さくしたことを特徴とする弾性表面波変
   換器。
4. 【請求項４】 上記幅変化量εは、０．０１１ないし
   ０．０８１の値を有することを特徴とする請求項３記載
   の弾性表面波変換器。
5. 【請求項５】 上記電極指の基本単位となる他の部分配
   列として、上記正電極指に換えて上記基板に形成され上
   記第２のブスバーに接続された第３の負電極指を備えた
   ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の
   弾性表面波変換器。
6. 【請求項６】 上記電極指の基本単位となる他の部分配
   列として、上記第２の負電極指を幅がλ₀ ／８の２本の
   負電極指に分割し、上記分割した２本の負電極指の中心
   間距離をλ₀ ／４としたことを特徴とする請求項１ない
   し５のいずれかに記載の弾性表面波変換器。
7. 【請求項７】 弾性表面波を伝搬する基板に形成された
   第１及び第２のブスバーと、上記基板に形成され上記第
   １のブスバーに接続された複数本の正電極指と、上記基
   板に形成され上記第２のブスバーに接続された複数本の
   負電極指とを有し、上記正電極指と上記負電極指からな
   る電極指の基本単位となる部分配列として、励起される
   弾性表面波の波長λ₀ に対し弾性表面波の伝搬方向に沿
   って長さλ₀ の配列周期をもって複数回反復して配置さ
   れ、かつ、上記正電極指と、上記正電極指の一側に隣り
   合うように配置される第１の負電極指と、上記正電極指
   に対して上記第１の負電極指とは反対側に配置される幅
   がλ₀ ／４の第２の負電極指とを備え、上記正電極指の
   中心位置と上記第１の負電極指の中心位置との間の距離
   がλ₀ ／４である弾性表面波変換器において、上記第２
   の負電極指のうちの少なくとも一部を幅がλ₀ ／８の２
   本の負電極指に分割し、該分割した２本の負電極指の中
   心間距離をλ₀ ／８ないしλ₀ ／４としたことを特徴と
   する弾性表面波変換器。
8. 【請求項８】 弾性表面波を伝搬する基板に形成された
   第１及び第２のブスバーと、上記基板に形成され上記第
   １のブスバーに接続された複数本の正電極指と、上記基
   板に形成され上記第２のブスバーに接続された複数本の
   負電極指とを有し、上記正電極指と上記負電極指からな
   る電極指の基本単位となる部分配列として、励起される
   弾性表面波の波長λ₀ に対し弾性表面波の伝搬方向に沿
   って長さλ₀ の配列周期をもって複数回反復して配置さ
   れ、かつ、上記正電極指と、上記正電極指の一側に隣り
   合うように配置される第１の負電極指と、上記正電極指
   に対して上記第１の負電極指とは反対側に配置される幅
   がλ₀ ／４の第２の負電極指とを備え、上記正電極指の
   中心位置と上記第１の負電極指の中心位置との間の距離
   がλ₀ ／４である弾性表面波変換器において、上記第２
   の負電極指のうちの少なくとも一部を幅がλ₀ ／８の２
   本の負電極指に分割し、該分割した２本の負電極指の中
   心間距離をλ₀ ／４ないし３λ₀ ／８としたことを特徴
   とする弾性表面波変換器。
9. 【請求項９】 上記電極指の基本単位となる部分配列の
   うちの少なくとも一部の部分配列における上記分割した
   ２本の負電極指の中心間距離は、他の部分配列における
   上記分割した２本の負電極指の中心間距離と異ならせる
   ことを特徴とする請求項７または８記載の弾性表面波変
   換器。
10. 【請求項１０】 請求項１ないし９のいずれかに記載の
    弾性表面波変換器からなる第１及び第２の弾性表面波変
    換器を有し、該第１と第２の弾性表面波変換器を、互い
    に方向性が対向するように配置し、かつ、一方の弾性表
    面波変換器を入力変換器とすると共に、他方の弾性表面
    波変換器を出力変換器とすることを特徴とする弾性表面
    波装置。
11. 【請求項１１】 請求項１ないし９のいずれかに記載の
    弾性表面波変換器からなる第１及び第２の弾性表面波変
    換器を有し、該第１と第２の弾性表面波変換器を、互い
    に方向性が対向するように配置し、かつ、電気的に並列
    または直列に接続し、上記第１と第２の弾性表面波変換
    器の間に配置される第３の弾性表面波変換器をさらに備
    え、上記第１及び第２の弾性表面波変換器と上記第３の
    弾性表面波変換器とのうちの一方を入力変換器とすると
    共に、他方を出力変換器とすることを特徴とする弾性表
    面波装置。