JPH09297231A - 導波路型光分波器及びその製造方法 - Google Patents
導波路型光分波器及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH09297231A JPH09297231A JP10906196A JP10906196A JPH09297231A JP H09297231 A JPH09297231 A JP H09297231A JP 10906196 A JP10906196 A JP 10906196A JP 10906196 A JP10906196 A JP 10906196A JP H09297231 A JPH09297231 A JP H09297231A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- waveguide
- optical waveguide
- stripe
- wavelength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来は、波長毎に異なる方向に回折される光
のパワーを、すべて導くことは困難であり、伝搬損失も
大きい。また、非常に接近した波長の光を分離するとき
は、損失が大きくなり、製造も困難である。 【解決手段】 光分波器は、ＩｎＰ基板１０上に形成さ
れたストライプ状光導波路１１と、そのストライプ状光
導波路１１の側面に一端が連接するように形成されたｎ
本のテーパ状光導波路１２１〜１２ｎと、ストライプ状
光導波路１１の各テーパ状光導波路１２１〜１２ｎの接
続領域にそれぞれ設けられた斜め回折格子１３１〜１３
ｎとから構成されている。ストライプ状光導波路１１に
導かれた波長多重光信号は、斜め回折格子１３１〜１３
ｎにより、対応する光の波長が回折されて光パワーの殆
どすべてがテーパ状光導波路１２１〜１２ｎに導入され
る。
のパワーを、すべて導くことは困難であり、伝搬損失も
大きい。また、非常に接近した波長の光を分離するとき
は、損失が大きくなり、製造も困難である。 【解決手段】 光分波器は、ＩｎＰ基板１０上に形成さ
れたストライプ状光導波路１１と、そのストライプ状光
導波路１１の側面に一端が連接するように形成されたｎ
本のテーパ状光導波路１２１〜１２ｎと、ストライプ状
光導波路１１の各テーパ状光導波路１２１〜１２ｎの接
続領域にそれぞれ設けられた斜め回折格子１３１〜１３
ｎとから構成されている。ストライプ状光導波路１１に
導かれた波長多重光信号は、斜め回折格子１３１〜１３
ｎにより、対応する光の波長が回折されて光パワーの殆
どすべてがテーパ状光導波路１２１〜１２ｎに導入され
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は導波路型光分波器に
係り、特に光波長多重された光信号波を波長毎に分離す
る、光集積回路素子として用いる導波路型光分波器及び
その製造方法に関する。
係り、特に光波長多重された光信号波を波長毎に分離す
る、光集積回路素子として用いる導波路型光分波器及び
その製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光通信では、波長の異なる複数の光信号
を１本の光ファイバで伝搬する波長分割多重伝送（ＷＤ
Ｍ）技術が用いられる。この波長多重伝送方式において
は、受信装置内で光波長多重された光信号波を波長毎に
分離する光分波器が必要となる。従来の光分波器として
は、半導体素子と集積できる小型で安定な、図４に示す
ような導波路型光分波器が知られている（特開昭６２−
１８９４０６号公報）。
を１本の光ファイバで伝搬する波長分割多重伝送（ＷＤ
Ｍ）技術が用いられる。この波長多重伝送方式において
は、受信装置内で光波長多重された光信号波を波長毎に
分離する光分波器が必要となる。従来の光分波器として
は、半導体素子と集積できる小型で安定な、図４に示す
ような導波路型光分波器が知られている（特開昭６２−
１８９４０６号公報）。
【０００３】図４の斜視図に示すように、この従来の導
波路型光分波器は、シリコン（Ｓｉ）基板２０上に二酸
化シリコン（ＳｉＯ２）によるバッファ層２６が形成さ
れ、更にその上に入射用単一モード光導波路２１と、こ
の入射用単一モード光導波路２１に対しそれぞれ異なる
角度を持つ出射用光導波路２２、２３及び２４とが形成
されている。更に、入射用単一モード光導波路２１と、
この入射用単一モード光導波路２１と出射用光導波路２
２、２３及び２４とのそれぞれの一端が一か所で交差し
た光導波路交差部２７を有して形成されている。この光
導波路交差部２７の側面には、反射形回折格子２５が形
成されている。
波路型光分波器は、シリコン（Ｓｉ）基板２０上に二酸
化シリコン（ＳｉＯ２）によるバッファ層２６が形成さ
れ、更にその上に入射用単一モード光導波路２１と、こ
の入射用単一モード光導波路２１に対しそれぞれ異なる
角度を持つ出射用光導波路２２、２３及び２４とが形成
されている。更に、入射用単一モード光導波路２１と、
この入射用単一モード光導波路２１と出射用光導波路２
２、２３及び２４とのそれぞれの一端が一か所で交差し
た光導波路交差部２７を有して形成されている。この光
導波路交差部２７の側面には、反射形回折格子２５が形
成されている。
【０００４】入射用単一モード光導波路２１中に導かれ
た３波長多重信号光は、反射形回折格子２５により、波
長毎に異なる方向に回折されて出射用光導波炉２２、２
３及び２４にそれぞれ導かれて取り出される。
た３波長多重信号光は、反射形回折格子２５により、波
長毎に異なる方向に回折されて出射用光導波炉２２、２
３及び２４にそれぞれ導かれて取り出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、上記の従来
の導波路型光分波器では、波長毎に異なる方向に回折さ
れる光のパワーを、分岐テーパ状光導波路である出射用
光導波路２２、２３及び２４の各々にすべて導くことは
困難であり、伝搬損失も大きい。また、分離できる光の
波長間隔が分岐出射用光導波路２２、２３及び２４間の
角度及び長さで制限され、非常に接近した波長の光を分
離するときは、分離角度が小さくなるので、出射用光導
波路２２、２３及び２４を長くしなければならず、損失
が大きくなるという欠点がある。更に、光導波路交差部
２７の側面に反射形回折格子２５を形成することは、実
際には非常に困難である。
の導波路型光分波器では、波長毎に異なる方向に回折さ
れる光のパワーを、分岐テーパ状光導波路である出射用
光導波路２２、２３及び２４の各々にすべて導くことは
困難であり、伝搬損失も大きい。また、分離できる光の
波長間隔が分岐出射用光導波路２２、２３及び２４間の
角度及び長さで制限され、非常に接近した波長の光を分
離するときは、分離角度が小さくなるので、出射用光導
波路２２、２３及び２４を長くしなければならず、損失
が大きくなるという欠点がある。更に、光導波路交差部
２７の側面に反射形回折格子２５を形成することは、実
際には非常に困難である。
【０００６】本発明は以上の点に鑑みなされたもので、
波長多重光信号を低損失で分波し得る導波路型光分波器
及びその製造方法を提供することを目的とする。
波長多重光信号を低損失で分波し得る導波路型光分波器
及びその製造方法を提供することを目的とする。
【０００７】また、本発明の他の目的は、非常に接近し
た波長の光を低損失で分波し得る導波路型光分波器及び
その製造方法を提供することにある。
た波長の光を低損失で分波し得る導波路型光分波器及び
その製造方法を提供することにある。
【０００８】更に、本発明の他の目的は、製造が容易な
導波路型光分波器及びその製造方法を提供することにあ
る。
導波路型光分波器及びその製造方法を提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
め、本発明の導波路型光分波器は波長多重光信号が入力
される平面基板上に形成されたストライプ状光導波路
と、ストライプ状光導波路の側面に一端が連接するよう
に、平面基板上に形成された複数のテーパ状光導波路
と、ストライプ状光導波路の複数のテーパ状光導波路と
の接続領域にそれぞれに形成された、少なくともピッチ
及び傾斜角度の一方が互いに異なる斜め回折格子とを有
する構成としたものである。
め、本発明の導波路型光分波器は波長多重光信号が入力
される平面基板上に形成されたストライプ状光導波路
と、ストライプ状光導波路の側面に一端が連接するよう
に、平面基板上に形成された複数のテーパ状光導波路
と、ストライプ状光導波路の複数のテーパ状光導波路と
の接続領域にそれぞれに形成された、少なくともピッチ
及び傾斜角度の一方が互いに異なる斜め回折格子とを有
する構成としたものである。
【００１０】また、本発明の導波路型光分波器の製造方
法は、上記の目的を達成するため、平面基板上に光導波
路となるべき材質の膜を成長する第１の工程と、この膜
を加工してストライプ状光導波路と、そのストライプ状
光導波路の側面に一端が連接する複数のテーパ状光導波
路とを形成する第２の工程と、ストライプ状光導波路の
複数のテーパ状光導波路との接続領域に、少なくともピ
ッチ及び傾斜角度の一方が互いに異なる斜め回折格子を
形成する第３の工程とを含むことを特徴とする。
法は、上記の目的を達成するため、平面基板上に光導波
路となるべき材質の膜を成長する第１の工程と、この膜
を加工してストライプ状光導波路と、そのストライプ状
光導波路の側面に一端が連接する複数のテーパ状光導波
路とを形成する第２の工程と、ストライプ状光導波路の
複数のテーパ状光導波路との接続領域に、少なくともピ
ッチ及び傾斜角度の一方が互いに異なる斜め回折格子を
形成する第３の工程とを含むことを特徴とする。
【００１１】本発明では、ストライプ状光導波路に導か
れた波長多重光信号は、斜め回折格子により、その回折
格子のピッチ及び傾斜角度で決まる波数ベクトルに対応
する光の波長が回折されてテーパ状光導波路に導入され
る。ここで、斜め回折格子は少なくともピッチ及び傾斜
角度の一方が互いに異なる複数設けられているため、斜
め回折格子のそれぞれにおいて、対応する波長の光が回
折されて光パワーの殆どすべてがテーパ状光導波路に導
入される。また、本発明では、斜め回折格子はストライ
プ状光導波路の平面である接続領域に形成できる。
れた波長多重光信号は、斜め回折格子により、その回折
格子のピッチ及び傾斜角度で決まる波数ベクトルに対応
する光の波長が回折されてテーパ状光導波路に導入され
る。ここで、斜め回折格子は少なくともピッチ及び傾斜
角度の一方が互いに異なる複数設けられているため、斜
め回折格子のそれぞれにおいて、対応する波長の光が回
折されて光パワーの殆どすべてがテーパ状光導波路に導
入される。また、本発明では、斜め回折格子はストライ
プ状光導波路の平面である接続領域に形成できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面と共に説明する。図１は本発明になる導波路型光
分波器の一実施の形態の斜視図を示す。この実施の形態
の導波路型光分波器は、長波長帯半導体レーザとのモノ
リシック集積化を行うためにＩｎＰ基板１０が用いら
れ、そのＩｎＰ基板１０上に形成されたストライプ状光
導波路１１と、そのストライプ状光導波路１１の側面に
一端が連接するように形成されたｎ本のテーパ状光導波
路１２１〜１２ｎと、ストライプ状光導波路１１の各テ
ーパ状光導波路１２１〜１２ｎの接続領域にそれぞれ設
けられた斜め回折格子１３１〜１３ｎとから構成されて
いる。斜め回折格子１３１、１３２、．．．、１３
ｎは、互いに異なるピッチΛ１、Λ２、．．．、Λ
ｎ（ここでは、Λ１＜Λ２＜．．．＜Λｎ）に形成され
ている。
て図面と共に説明する。図１は本発明になる導波路型光
分波器の一実施の形態の斜視図を示す。この実施の形態
の導波路型光分波器は、長波長帯半導体レーザとのモノ
リシック集積化を行うためにＩｎＰ基板１０が用いら
れ、そのＩｎＰ基板１０上に形成されたストライプ状光
導波路１１と、そのストライプ状光導波路１１の側面に
一端が連接するように形成されたｎ本のテーパ状光導波
路１２１〜１２ｎと、ストライプ状光導波路１１の各テ
ーパ状光導波路１２１〜１２ｎの接続領域にそれぞれ設
けられた斜め回折格子１３１〜１３ｎとから構成されて
いる。斜め回折格子１３１、１３２、．．．、１３
ｎは、互いに異なるピッチΛ１、Λ２、．．．、Λ
ｎ（ここでは、Λ１＜Λ２＜．．．＜Λｎ）に形成され
ている。
【００１３】次に、この実施の形態の動作について図１
及び図２を併せ参照して説明する。互いに異なる波長λ
１〜λｎの光が波長分割多重された波長多重光信号がス
トライプ状光導波路１１の一端に導かれ、斜め回折格子
１３１〜１３ｎの領域を通過しながらストライプ状光導
波路１１の他端に向かって伝搬していく。このとき、斜
め回折格子１３１〜１３ｎの波数ベクトルと位相整合条
件を満足する光信号が回折されてテーパ状光導波路１２
１〜１２ｎに導かれこれより導出される。
及び図２を併せ参照して説明する。互いに異なる波長λ
１〜λｎの光が波長分割多重された波長多重光信号がス
トライプ状光導波路１１の一端に導かれ、斜め回折格子
１３１〜１３ｎの領域を通過しながらストライプ状光導
波路１１の他端に向かって伝搬していく。このとき、斜
め回折格子１３１〜１３ｎの波数ベクトルと位相整合条
件を満足する光信号が回折されてテーパ状光導波路１２
１〜１２ｎに導かれこれより導出される。
【００１４】ここで、回折格子の波数ベクトルは回折格
子のピッチ及び傾斜角度で決まる。ある波長の入射光の
波長に対して、位相整合条件さえ満足すれば、この入射
光の波長に対応するテーパ状光導波路１２１〜１２ｎへ
の光の回折が生じる。すなわち、斜め回折格子１３１〜
１３ｎのピッチと傾斜角度で一義的に決定される波長の
み位相整合条件を満足し回折が生じる。
子のピッチ及び傾斜角度で決まる。ある波長の入射光の
波長に対して、位相整合条件さえ満足すれば、この入射
光の波長に対応するテーパ状光導波路１２１〜１２ｎへ
の光の回折が生じる。すなわち、斜め回折格子１３１〜
１３ｎのピッチと傾斜角度で一義的に決定される波長の
み位相整合条件を満足し回折が生じる。
【００１５】図２に示すように、斜め回折格子１３１〜
１３ｎの伝搬定数βの入射光に対するベクトルβ１ｉ〜
βｎｉと、波数ベクトル２π／Λ１〜２π／Λｎとから
回折ベクトルβ１ｄ〜βｎｄが決まり、これにより決定
される波長λ１〜λｎのみが回折してテーパ状光導波路
１２１〜１２ｎへ導かれて取り出される。
１３ｎの伝搬定数βの入射光に対するベクトルβ１ｉ〜
βｎｉと、波数ベクトル２π／Λ１〜２π／Λｎとから
回折ベクトルβ１ｄ〜βｎｄが決まり、これにより決定
される波長λ１〜λｎのみが回折してテーパ状光導波路
１２１〜１２ｎへ導かれて取り出される。
【００１６】このようにして、波長多重光信号は、波長
毎に異なる斜め回折格子１３１〜１３ｎの領域でそれぞ
れテーパ状光導波路１２１〜１２ｎへ回折されることに
より分波されるため、各波長に対応する回折光の光パワ
ーを殆どすべて対応するテーパ状光導波路１２１〜１２
ｎに導くことができるので、伝搬損失が極めて小さく、
また、分離できる波長の間隔が回折格子ベクトルで決め
られるため、設計の自由度が大きい。更に、斜め回折格
子１３１〜１３ｎの回折効率の波長特性により、非常に
鋭い波長選択性を得ることができる。
毎に異なる斜め回折格子１３１〜１３ｎの領域でそれぞ
れテーパ状光導波路１２１〜１２ｎへ回折されることに
より分波されるため、各波長に対応する回折光の光パワ
ーを殆どすべて対応するテーパ状光導波路１２１〜１２
ｎに導くことができるので、伝搬損失が極めて小さく、
また、分離できる波長の間隔が回折格子ベクトルで決め
られるため、設計の自由度が大きい。更に、斜め回折格
子１３１〜１３ｎの回折効率の波長特性により、非常に
鋭い波長選択性を得ることができる。
【００１７】次に、本発明になる導波路型光分波器の製
造方法の実施の形態について説明する。図３は本発明製
造方法の一実施の形態の各工程説明図を示す。まず、同
図（ａ）に示すように、ＩｎＰ基板１０上にＩｎＧａＡ
ｓＰ四元層１５を０．２μｍ成長する。次に、同図
（ｂ）に示すように、通常のフォトリソグラフィーとエ
ッチングによりＩｎＧａＡｓＰ四元層１５を加工して、
２μｍ幅のストライプ状光導波路１１と、そのストライ
プ状光導波路１１の側面に隣接する３つのテーパ状光導
波路１２1、１２2及び１２3を形成する（すなわち、こ
こではｎ＝３の場合）。
造方法の実施の形態について説明する。図３は本発明製
造方法の一実施の形態の各工程説明図を示す。まず、同
図（ａ）に示すように、ＩｎＰ基板１０上にＩｎＧａＡ
ｓＰ四元層１５を０．２μｍ成長する。次に、同図
（ｂ）に示すように、通常のフォトリソグラフィーとエ
ッチングによりＩｎＧａＡｓＰ四元層１５を加工して、
２μｍ幅のストライプ状光導波路１１と、そのストライ
プ状光導波路１１の側面に隣接する３つのテーパ状光導
波路１２1、１２2及び１２3を形成する（すなわち、こ
こではｎ＝３の場合）。
【００１８】続いて、同図（ｃ）に示すように、電子ビ
ーム露光技術等を用いてストライプ状光導波路１１のテ
ーパ状光導波路１２1、１２2及び１２3との接続領域
に、同一の傾斜角度で、かつ、異なるピッチΛ1、Λ2及
びΛ3を有する斜め回折格子１３1、１３2及び１３3を形
成する。これにより、図１及び図２と共に説明した実施
の形態の導波路型光分波器が完成する。この実施の形態
では、斜め回折格子１３1、１３2及び１３3がストライ
プ状光導波路１１の平面上に形成されるため、側面に形
成する場合にくらべて容易に形成することができる。
ーム露光技術等を用いてストライプ状光導波路１１のテ
ーパ状光導波路１２1、１２2及び１２3との接続領域
に、同一の傾斜角度で、かつ、異なるピッチΛ1、Λ2及
びΛ3を有する斜め回折格子１３1、１３2及び１３3を形
成する。これにより、図１及び図２と共に説明した実施
の形態の導波路型光分波器が完成する。この実施の形態
では、斜め回折格子１３1、１３2及び１３3がストライ
プ状光導波路１１の平面上に形成されるため、側面に形
成する場合にくらべて容易に形成することができる。
【００１９】なお、図３（ｂ）に示した素子に対して、
同図（ｄ）に示すように、電子ビーム露光技術等を用い
てストライプ状光導波路１１のテーパ状光導波路１
２1、１２2及び１２3との接続領域に、同一のピッチ
で、かつ、異なる傾斜角度を有する斜め回折格子１
６1、１６2及び１６3を形成するようにしてもよい。こ
の分波器も図２と共に説明したと同じ原理で分波効果を
得ることができる。
同図（ｄ）に示すように、電子ビーム露光技術等を用い
てストライプ状光導波路１１のテーパ状光導波路１
２1、１２2及び１２3との接続領域に、同一のピッチ
で、かつ、異なる傾斜角度を有する斜め回折格子１
６1、１６2及び１６3を形成するようにしてもよい。こ
の分波器も図２と共に説明したと同じ原理で分波効果を
得ることができる。
【００２０】
【実施例】図３（ｂ）〜（ｄ）に示すテーパ状光導波路
１２1〜１２3は、単一モードで、かつ、低損失で伝搬で
きるようにするため、その入射端と出射端の幅を各々５
μｍと１μｍとし、長さは１００μｍに設計される。ま
た、分波する光の波長間隔を２ｎｍとすると、図３
（ｃ）に示す斜め回折格子１３1〜１３3それぞれの差は
約５Åである。波長１．３μｍ帯の光に対して、斜め回
折格子１３1、１３2及び１３3のピッチはそれぞれ約３
１００Å、３１０５Å、３１１０Åで、波長１．５μｍ
帯の光に対しては、斜め回折格子１３1、１３2及び１３
3のピッチはそれぞれ約３５７０Å、３５７５Å、３５
８５Åである。
１２1〜１２3は、単一モードで、かつ、低損失で伝搬で
きるようにするため、その入射端と出射端の幅を各々５
μｍと１μｍとし、長さは１００μｍに設計される。ま
た、分波する光の波長間隔を２ｎｍとすると、図３
（ｃ）に示す斜め回折格子１３1〜１３3それぞれの差は
約５Åである。波長１．３μｍ帯の光に対して、斜め回
折格子１３1、１３2及び１３3のピッチはそれぞれ約３
１００Å、３１０５Å、３１１０Åで、波長１．５μｍ
帯の光に対しては、斜め回折格子１３1、１３2及び１３
3のピッチはそれぞれ約３５７０Å、３５７５Å、３５
８５Åである。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ストライプ状光導波路に導かれた波長多重光信号は、複
数の斜め回折格子により、対応する光の波長が回折され
て光パワーの殆どすべてがテーパ状光導波路に導入され
るようにしたため、低損失で、かつ、非常に鋭い波長選
択性により分波できる。更に、本発明によれば、分離で
きる波長の間隔が回折格子ベクトルで決められるため、
設計の自由度を大きくできる。
ストライプ状光導波路に導かれた波長多重光信号は、複
数の斜め回折格子により、対応する光の波長が回折され
て光パワーの殆どすべてがテーパ状光導波路に導入され
るようにしたため、低損失で、かつ、非常に鋭い波長選
択性により分波できる。更に、本発明によれば、分離で
きる波長の間隔が回折格子ベクトルで決められるため、
設計の自由度を大きくできる。
【００２２】また、本発明によれば、斜め回折格子を平
面上に形成するため、側面に形成する従来装置に比し、
構成及び製造が容易にできる。以上より本発明によれ
ば、波長多重分割信号の受信回路に適用して特に好適で
ある。
面上に形成するため、側面に形成する従来装置に比し、
構成及び製造が容易にできる。以上より本発明によれ
ば、波長多重分割信号の受信回路に適用して特に好適で
ある。
【図１】本発明の一実施の形態の斜視図である。
【図２】図１における波数ベクトルの説明図である。
【図３】本発明方法の一実施の形態の各工程説明図であ
る。
る。
【図４】従来の一例の斜視図である。
１０ 基板 １１ ストライプ状光導波路 １２1〜１２n テーパ状光導波路 １３1〜１３n、１６1〜１６3 斜め回折格子 Λ1〜Λn ピッチ λ1〜λ n 波長
Claims (5)
- 【請求項１】 波長多重光信号が入力される平面基板上
に形成されたストライプ状光導波路と、 前記ストライプ状光導波路の側面に一端が連接するよう
に、前記平面基板上に形成された複数のテーパ状光導波
路と、 前記ストライプ状光導波路の前記複数のテーパ状光導波
路との接続領域にそれぞれに形成された、少なくともピ
ッチ及び傾斜角度の一方が互いに異なる斜め回折格子と
を有することを特徴とする導波路型光分波器。 - 【請求項２】 前記複数の斜め回折格子は、互いに傾斜
角度が同一で、かつ、前記入力波長多重光信号の波長に
応じて、ピッチが互いに異なる値に設定されていること
を特徴とする請求項１記載の導波路型光分波器。 - 【請求項３】 前記複数の斜め回折格子は、互いにピッ
チが同一で、かつ、前記入力波長多重光信号の波長に応
じて、前記ストライプ状光導波路の長手方向に対する傾
斜角度が互いに異なる値に設定されていることを特徴と
する請求項１記載の導波路型光分波器。 - 【請求項４】 前記テーパ状光導波路は、前記ストライ
プ状光導波路と接続された入射端の幅が、出射端の幅よ
りも狭く構成されていることを特徴とする請求項１記載
の導波路型光分波器。 - 【請求項５】 平面基板上に光導波路となるべき材質の
膜を成長する第１の工程と、 前記膜を加工してストライプ状光導波路と、そのストラ
イプ状光導波路の側面に一端が連接する複数のテーパ状
光導波路とを形成する第２の工程と、 前記ストライプ状光導波路の前記複数のテーパ状光導波
路との接続領域に、少なくともピッチ及び傾斜角度の一
方が互いに異なる斜め回折格子を形成する第３の工程と
を含むことを特徴とする導波路型光分波器の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10906196A JPH09297231A (ja) | 1996-04-30 | 1996-04-30 | 導波路型光分波器及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10906196A JPH09297231A (ja) | 1996-04-30 | 1996-04-30 | 導波路型光分波器及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09297231A true JPH09297231A (ja) | 1997-11-18 |
Family
ID=14500616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10906196A Pending JPH09297231A (ja) | 1996-04-30 | 1996-04-30 | 導波路型光分波器及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09297231A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100397320B1 (ko) * | 2000-10-05 | 2003-09-06 | 주식회사 에이티아이 | 광 모드 크기 변환기 |
| ES2206043A1 (es) * | 2002-10-17 | 2004-05-01 | Universidad De Cantabria | Dispositivo de interrogacion de transductores fotonicos basado en la medida del campo cercano de una red de difraccion inclinada en guia de onda optica. |
| JP2017161765A (ja) * | 2016-03-10 | 2017-09-14 | 富士通株式会社 | 光素子及び光生成装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62123411A (ja) * | 1985-11-25 | 1987-06-04 | Canon Inc | グレ−テイング光結合器 |
| JPH06174954A (ja) * | 1992-10-08 | 1994-06-24 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波路装置 |
-
1996
- 1996-04-30 JP JP10906196A patent/JPH09297231A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62123411A (ja) * | 1985-11-25 | 1987-06-04 | Canon Inc | グレ−テイング光結合器 |
| JPH06174954A (ja) * | 1992-10-08 | 1994-06-24 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波路装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100397320B1 (ko) * | 2000-10-05 | 2003-09-06 | 주식회사 에이티아이 | 광 모드 크기 변환기 |
| ES2206043A1 (es) * | 2002-10-17 | 2004-05-01 | Universidad De Cantabria | Dispositivo de interrogacion de transductores fotonicos basado en la medida del campo cercano de una red de difraccion inclinada en guia de onda optica. |
| JP2017161765A (ja) * | 2016-03-10 | 2017-09-14 | 富士通株式会社 | 光素子及び光生成装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7209611B2 (en) | Transmitter photonic integrated circuit (TxPIC) chips utilizing compact wavelength selective combiners/decombiners | |
| US5355237A (en) | Wavelength-division multiplexed optical integrated circuit with vertical diffraction grating | |
| US7447403B2 (en) | Integrated etched multilayer grating based wavelength demultiplexer | |
| US7634165B2 (en) | Monolithic tunable lasers and reflectors | |
| JP5811273B2 (ja) | 光素子、光送信素子、光受信素子、ハイブリッドレーザ、光送信装置 | |
| JP6089077B1 (ja) | 導波路型光回折格子及び光波長フィルタ | |
| US5748811A (en) | Optical switch | |
| JP2858656B2 (ja) | 光波長合分波器 | |
| JP4832766B2 (ja) | 能動性／受動性のモノリシック集積化されたチャネル・フィルタ用の偏光スプリッタ | |
| US7801402B2 (en) | Receiver photonic integrated circuit (RxPIC) chip utilizing compact wavelength selective decombiners | |
| Pello et al. | Planar concave grating demultiplexers on an InP-membrane-on-silicon photonic platform | |
| JP2000171661A (ja) | アレイ導波路回折格子型光合分波器 | |
| US20030206694A1 (en) | Photonic multi-bandgap lightwave device and methods for manufacturing thereof | |
| JP3039491B2 (ja) | 光波長合分波器 | |
| JP4505313B2 (ja) | 光装置および光制御方法 | |
| JP3149979B2 (ja) | 光検出装置及び発光装置 | |
| JPH09297231A (ja) | 導波路型光分波器及びその製造方法 | |
| JP2000180641A (ja) | 光波長合分波装置 | |
| JPH11160555A (ja) | 光波長合分波器 | |
| JP2000199825A (ja) | 光回路素子および光集積回路 | |
| JPH1031121A (ja) | グレ−ティングを用いた導波路型の合分波器 | |
| WO2000048025A1 (en) | Optical components | |
| JPH10177114A (ja) | 光波長合分波器 | |
| JP2004004567A (ja) | 導波路光周波数ルータ及び該ルータ用の分布ブラッグ偏向器アレイを製作する方法 | |
| JP2004101861A (ja) | 波長タップ回路 |