JPH09297027A - 圧電振動角速度計のパッケージ - Google Patents

圧電振動角速度計のパッケージ

Info

Publication number
JPH09297027A
JPH09297027A JP8113912A JP11391296A JPH09297027A JP H09297027 A JPH09297027 A JP H09297027A JP 8113912 A JP8113912 A JP 8113912A JP 11391296 A JP11391296 A JP 11391296A JP H09297027 A JPH09297027 A JP H09297027A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
vibrator
case
small
attached
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8113912A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshitaka Sango
貴敬 三五
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP8113912A priority Critical patent/JPH09297027A/ja
Publication of JPH09297027A publication Critical patent/JPH09297027A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 振動子が外部環境の影響を受けにくくし、S
/N及び測定分解能が高い圧電振動角速度計を提供す
る。 【解決手段】 圧電振動角速度計のパッケージを、振動
子を内包する小ケースと、この小ケースと処理回路とを
内包する大ケースとの二重構造にすることによって、電
磁ノイズ、温度湿度の変化の影響を遮断或いは軽減す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、航空機,船舶,自動車
のナビゲーションシステムやカメラの手振れ補正装置等
に用いられる圧電振動角速度計に関し、詳しくはこのよ
うな圧電振動角速度計のパッケージに関する。
【0002】
【従来の技術】圧電振動角速度計は、小型の振動子をそ
の共振周波数で励振駆動させ、該振動子が長軸廻りに回
転したときに生じるコリオリ力を検出することによっ
て、回転の角速度を測定するものである。従って、この
ような圧電振動型の角速度計は、、光ファイバー型や回
転コマ型に比べ、小型化軽量化に適しており、屋外で使
用されることも多い。
【0003】従来の圧電振動角速度計のパッケージは、
振動子と処理回路とが載置された基板と、該振動子と処
理回路とを内包するように取り付けられたカバーとを有
していた。カバーは通常、アルミニウム等の金属で作製
されており、これにより、外部環境、例えば圧電振動角
速度計の周囲にある他の電気回路から発生する電磁ノイ
ズの影響を低下させていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
圧電振動角速度計のパッケージは、振動子と処理回路と
を併せてカバーで覆っていたので、処理回路から放射さ
れる電磁波が直接振動子に伝わってしまう。そして、伝
達された電磁ノイズは、振動子が発生するノイズとして
再び処理回路に入力され、処理回路中の増幅回路によっ
て増幅されることになる。従って、処理回路の出力、す
なわち圧電振動角速度計の出力に含まれるノイズも増加
するので、圧電振動角速度計のS/Nが低下し、角速度
の分解能が低下するという問題が生じる。
【0005】又、外部の電磁ノイズと、温度変化、湿度
変化という外部環境の変化の影響もある。外界の温度変
化により、振動子や台座基板が膨張収縮を起こすと、振
動子の振動状態に変化をもたらし、圧電振動角速度計の
特性が変わってしまうという問題がある。さらに、外界
の湿度変化は、振動子を固定している接着剤の機械的性
質を変化させ、振動子の振動状態に変化をもたらす。
【0006】これらの問題は、圧電振動角速度計が屋外
で使用される場合には特に発生しやすい。本発明は、振
動子が処理回路からの電磁波や外界からの電磁波その他
の変動因子の影響を受けにくくすることにより、S/N
及び分解能が高い圧電振動角速度計を提供することを目
的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に、本発明の請求項1に係る発明は、振動子を載置す
る基板と、前記振動子を内包するように前記基板に取り
付けられたカバーとから成る小ケース、及び前記小ケ
ースと前記振動子に連結された処理回路とを載置する台
座基板と、前記小ケースと前記処理回路とを内包するよ
うに前記台座基板に取りけられたカバーとから成る大ケ
ース、の二重構造のケースから構成され圧電振動角速度
計のパッケージである。
【0008】又、本発明の請求項2に係る発明は、振
動子を載置する基板と、前記振動子子を内包するように
前記基板に取り付けられたカバーとから成る小ケース、
前記小ケースを載置する、前記振動子に電気的に接続
された処理回路を有する中間基板、及び、前記中間基
板を載置するケース部材と、前記小ケースと前記中間基
板とを内包するように前記ケース部材に取り付けられた
カバーとから成る大ケース、の二重構造のケースから構
成された圧電振動角速度計のパッケージである。
【0009】
【発明の実施の形態】本発明は、従来の一つのケースか
ら成る圧電振動角速度計のパッケージを小ケースと大ケ
ースとを用いた二重構造にすることによって、振動子が
処理回路からの電磁波の影響を受けにくくし、且つ外部
環境の変化の影響をも受けにくくした。
【0010】図1は本発明の第1実施例に係るパッケー
ジの構造を示す概略透視図である。小ケース1は、振動
子3を載置する基板1aと、振動子3を内包するように
基板1aに取り付けられた小カバー1bとから成る。大
ケース2は、基板1aと処理回路4とを載置する台座基
板2aと、基板1a及び処理回路4を内包するように台
座基板2aに取り付けられた大カバー2bとから成る。
カバーの材質は、電磁シールドの観点から、導電性のあ
る金属例えばアルミニウムが多用されるが、その他にも
炭素繊維で強化されたプラスティック等がある。
【0011】図2は、本発明第1実施例の二重構造のパ
ッケージを組立てる一方法を示す透視図である。最初
に、振動子3を載置する基板1aが台座基板2aに取り
付けられる。基板1aには、5つの端子5a,5b,5
c,5d及び5eが設けられており、これらは、振動子
3の5つの電極と処理回路4とを接続するためのもので
ある。一方、台座基板2aには、処理回路4のターミナ
ル6a,6b,6c,6d及び6eが設けられており、
端子5a,5b,5c,5d及び5eは、それぞれター
ミナル6a,6b,6c,6d及び6eに電気的に接続
される。又、台座基板2aには、処理回路4と圧電振動
角速度計が組み込まれる装置とを電気的に接続するため
の外部端子7a,7b,7c及び7dが取り付けられ
る。尚、図2では、端子5a,5b,5c,5d及び5
eは、基板1aの下面から突き出しているが、これらの
端子は下面以外にも、基板1aと処理回路4との空間的
配置に応じて適切な場所を選ぶことができる。
【0012】次に、基板1aに小カバー1bが取り付け
られる。基板1aへの小カバー1bの取り付けは、ネジ
を用いて取り外し可能としてもよいし、接着剤を用いて
もよい。最後に、基板1aと小カバー1bから成る小ケ
ース1と処理回路4とを載置した台座基板2aへ大カバ
ー2bが取り付けられる。この取り付けは、ネジを用い
て取り外し可能としてもよいし、接着剤を用いてもよ
い。これにより、大ケース2が組立られ、本発明のパッ
ケージが完成する。小ケース1及び大ケース2は共通の
アースに接続されている。
【0013】尚、基板1aの下面には、外部からの機械
的な振動を吸収するための防振材(図示せず)が取り付
けられている。小カバー1bの内面には、外界の温度湿
度変化の影響を低減するための断熱材(図示せず)が張
り着けられている。同様に、台座基板2aの下面には、
防振材(図示せず)が取り付けられ、大カバー2bの内
面には、断熱材(図示せず)が張り着けられている。
【0014】本発明のパッケージをより一層堅牢な構造
とするために、台座基板2aを、箱型ケースに嵌め込ん
でもよい。図3は本発明の第2実施例に係るパッケージ
の構造を示す概略透視図である。小ケース1は、振動子
3を載置する基板1aと、振動子3を内包するように基
板1aに取り付けられた小カバー1bとから成る。大ケ
ース9は、中間基板8を載置するケース部材9aと、小
ケース1と中間基板8とを内包するようにケース部材9
aに取り付けられた大カバー9bとから成る。中間基板
8は小ケース1を載置するとともに、中間基板8の下面
には、絶縁性の回路用基板を介して処理回路4(図3で
は図示せず)が取り付けられている。
【0015】図4は、本発明第2実施例の二重構造のパ
ッケージを組立てる一方法を示す透視図である。最初
に、振動子3を載置する基板1aが中間基板8に取り付
けられる。基板1aには、5つの端子5a,5b,5
c,5d及び5eが設けられており、これらは、振動子
3の5つの電極と処理回路4とを接続するためのもので
ある。一方、中間基板8には、処理回路4のターミナル
6a,6b,6c,6d及び6eが設けられており、端
子5a,5b,5c,5d及び5eは、それぞれターミ
ナル6a,6b,6c,6d及び6eに電気的に接続さ
れる。
【0016】次に、基板1aに小カバー1bが取り付け
られる。基板1aへの小カバー1bの取り付けは、ネジ
を用いて取り外し可能としてもよいし、接着剤を用いて
もよい。続いて、中間基板8がケース部材9aに取り付
けられる。中間基板8に設けられた外部端子7a,7
b,7c及び7dは、圧電振動角速度計が組み込まれる
装置の入力端子(図示せず)に電気的に接続される。
尚、図4では、端子5a,5b,5c,5d及び5e
は、基板1aの下面から突き出しているが、これらの端
子は下面以外にも、基板1aと処理回路4との空間的配
置に応じて適切な場所を選ぶことができる。
【0017】最後に、中間基板8を載置したケース部材
9aへ大カバー9bが取り付けられる。この取り付け
は、ネジを用いて取り外し可能としてもよいし、接着剤
を用いてもよい。これにより、大ケース9が組立られ、
本発明のパッケージが完成する。小ケース1及び大ケー
ス9は共通のアースに接続されている。尚、基板1aの
下面には、外部からの機械的な振動を吸収するするため
の防振材(図示せず)が取り付けられている。小カバー
1bの内面には、外界の温度変化の影響を低減するため
の断熱材(図示せず)が張り着けられている。同様に、
ケース部材9aの下面には、防振材(図示せず)が取り
付けられ、大カバー9bの内面には、断熱材(図示せ
ず)が張り着けられている。以上詳細に説明した、本発
明による二重構造のパッケージは、第1に、外部の電磁
波の振動子への影響を大ケースと小ケースとにより二重
に低減できる。特に、パルス状のノイズを放射する可能
性の高いパソコン等のデジタル回路や、電磁放射ノイズ
を発生するモータ等の付近で圧電振動角速度計を使用す
る場合には有効である。第2に、処理回路4から放射さ
れる電磁ノイズの振動子への影響を小ケースにより低減
できる。又、温度、湿度、汚染等の外部環境が振動子へ
及ぼす影響も大ケースと小ケースとにより二重に遮蔽で
きるので、従来の一重のパッケージに比べて、振動子を
安定状態に保つことができ、角速度を高精度に測定でき
る。さらに、基板1a、台座基板2a及びケース部材9
aは防振材を有するので、外界からの振動が振動子に及
ぼす影響も大きく低減でき、従来のパッケージに比べ
て、振動子を安定状態に保つことができ、角速度測定の
誤差を低減できる。
【0018】
【発明の効果】以上の通り、本発明の二重構造のパッケ
ージは、外部の電磁波の振動子への影響を低減でき、
又、温度、湿度、汚染等の外部環境が振動子へ及ぼす影
響も低減でき、さらに、外界からの振動が振動子に及ぼ
す影響も大きく低減できる。又、処理回路から放射され
る電磁ノイズの振動子への影響も低減できる。従って、
角速度測定の分解能を向上させ、角速度測定の誤差を低
減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例による、圧電振動角速度計
のパッケージの構造を示す概略透視図である。
【図2】本発明の第1実施例による、二重構造のパッケ
ージを組立てる一方法を示す透視図である。
【図3】本発明の第2実施例による、圧電振動角速度計
のパッケージの構造を示す概略透視図である。
【図4】本発明の第2実施例による、二重構造のパッケ
ージを組立てる一方法を示す透視図である。
【符号の説明】
1・・・・・・小ケース 1a・・・・・基板 1b・・・・・小カバー 2、9・・・・大ケース 2a・・・・・台座基板 2b、9b・・大カバー 3・・・・・・振動子 4・・・・・・処理回路 5a〜5e・・端子 6a〜6e・・ターミナル 7a〜7d・・外部端子 8・・・・・・中間基板 9a・・・・・ケース部材

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 振動子を載置する基板と、前記振動子を
    内包するように前記基板に取り付けられたカバーとから
    成る小ケースと、 前記小ケースと前記振動子に電気的に接続された処理回
    路とを載置する台座基板と、前記小ケースと前記処理回
    路とを内包するように前記台座基板に取り付けられたカ
    バーとから成る大ケースと、 によって構成されたことを特徴とする、圧電振動角速度
    計のパッケージ。
  2. 【請求項2】 振動子を載置する基板と、前記振動子を
    内包するように前記基板に取り付けられたカバーとから
    成る小ケースと、 前記小ケースを載置する、前記振動子に電気的に接続さ
    れた処理回路を有する中間基板と、 前記中間基板を載置するケース部材と、前記小ケースと
    前記中間基板とを内包するように前記ケース部材に取り
    付けられたカバーとから成る大ケースと、 によって構成されたことを特徴とする、圧電振動角速度
    計のパッケージ。
JP8113912A 1996-05-08 1996-05-08 圧電振動角速度計のパッケージ Pending JPH09297027A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8113912A JPH09297027A (ja) 1996-05-08 1996-05-08 圧電振動角速度計のパッケージ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8113912A JPH09297027A (ja) 1996-05-08 1996-05-08 圧電振動角速度計のパッケージ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09297027A true JPH09297027A (ja) 1997-11-18

Family

ID=14624309

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8113912A Pending JPH09297027A (ja) 1996-05-08 1996-05-08 圧電振動角速度計のパッケージ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09297027A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110077820A1 (en) * 2009-09-30 2011-03-31 Fujitsu Ten Limited Electronic control device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110077820A1 (en) * 2009-09-30 2011-03-31 Fujitsu Ten Limited Electronic control device
US8738223B2 (en) * 2009-09-30 2014-05-27 Fujitsu Ten Limited Electronic control device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3392959B2 (ja) 音叉形振動ジャイロ及びこれを用いたセンサシステム
US7234352B2 (en) Angular velocity senor
JP3969824B2 (ja) 角速度センサ
US5014554A (en) Angular rate sensor
US5531091A (en) Sensor with quartz tuning fork
US6194817B1 (en) Tuning-fork vibratory gyro
US6880399B1 (en) Angular velocity sensor
JP2002071353A (ja) 角速度測定装置
JPH09297027A (ja) 圧電振動角速度計のパッケージ
JPH08313265A (ja) 音叉形振動ジャイロ及びこれを用いたセンサシステム並びに音叉形振動ジャイロの調整方法
JPH0989570A (ja) 振動子の保護装置
CN113904651A (zh) 一种晶体振荡器及电子器件
JP2002250630A (ja) 振動子支持構造およびそれを用いた振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置
JP2016130642A (ja) 物理量センサー、電子機器および移動体
JP2019161525A (ja) 振動デバイス、電子機器および移動体
JP2019176224A (ja) 振動子、発振器、電子機器および移動体
JP2018105809A (ja) センサー素子、物理量センサー、電子機器および移動体
JPH06229764A (ja) 圧電振動ジャイロ装置
JPH09166447A (ja) 圧電振動ジャイロ
JP2006208131A (ja) 振動体及びこれを備えた角速度検出装置
JPH0482314A (ja) 厚みすべり水晶振動子
JP2005221437A (ja) 振動ジャイロ
JP2009162654A (ja) 電子部品装置
JPH11257967A (ja) 角速度センサ
JP2014178165A (ja) 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体