JPH0929634A - 研磨ベルトのドレス装置 - Google Patents
研磨ベルトのドレス装置Info
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- JPH0929634A JPH0929634A JP7177360A JP17736095A JPH0929634A JP H0929634 A JPH0929634 A JP H0929634A JP 7177360 A JP7177360 A JP 7177360A JP 17736095 A JP17736095 A JP 17736095A JP H0929634 A JPH0929634 A JP H0929634A
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- dressing
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 狭い場所で簡単な段取りにより容易かつ短時
間にドレスできる研磨ベルトのドレス装置を得ること。 【解決手段】 ドライブホイール３及びコンタクトホイ
ール４の軸と直交する方向に移動可能なドレス装置６を
設けた。
間にドレスできる研磨ベルトのドレス装置を得ること。 【解決手段】 ドライブホイール３及びコンタクトホイ
ール４の軸と直交する方向に移動可能なドレス装置６を
設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、鋼、ステンレス、
チタンなどの金属板の表面を研磨する研磨ベルトのドレ
ス装置に関するものである。
チタンなどの金属板の表面を研磨する研磨ベルトのドレ
ス装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】鋼、ステンレス、チタンなどの金属板の
表面の傷取りや仕上げのため、研磨ベルトにより研磨し
ている。しかしながら、研磨ベルトの特性として、使用
開始時は先端が尖鋭な砥粒が多数存在して表面粗度が著
しいが、時間の経過と共に尖鋭な砥粒の先端部が破砕さ
れて研磨面の粗度が変化する。このため、金属板の表面
研磨（最近ではＲmax １μｍ以下の粗度を要求されるこ
とがある）を行う場合、使用開始初期に尖鋭な砥粒によ
って金属板の表面に傷がつき易く、後工程においてこれ
を除去できないことがある。
表面の傷取りや仕上げのため、研磨ベルトにより研磨し
ている。しかしながら、研磨ベルトの特性として、使用
開始時は先端が尖鋭な砥粒が多数存在して表面粗度が著
しいが、時間の経過と共に尖鋭な砥粒の先端部が破砕さ
れて研磨面の粗度が変化する。このため、金属板の表面
研磨（最近ではＲmax １μｍ以下の粗度を要求されるこ
とがある）を行う場合、使用開始初期に尖鋭な砥粒によ
って金属板の表面に傷がつき易く、後工程においてこれ
を除去できないことがある。
【０００３】このようなことから、従来、新らしい研磨
ベルトの使用にあたっては、通常、研磨する金属板とは
別の金属板の表面を所定時間研磨し、尖鋭な砥粒の先端
を破砕して表面の粗度を平均化し（以下これをドレスと
いう）、そののちこのドレスされた研磨ベルトにより金
属板の表面を研磨するようにしている。
ベルトの使用にあたっては、通常、研磨する金属板とは
別の金属板の表面を所定時間研磨し、尖鋭な砥粒の先端
を破砕して表面の粗度を平均化し（以下これをドレスと
いう）、そののちこのドレスされた研磨ベルトにより金
属板の表面を研磨するようにしている。
【０００４】このため、図３に示すように、研磨する金
属板１の横に所定の距離を隔てて別の金属板１ａ（以下
ドレス用金属板という）を配設すると共に、研磨ベルト
を備えた研磨装置２を左右に移動可能に構成する。そし
て、先ず、ドレス用金属板１ａの上に研磨装置２を移動
して下降させ、ドレス用金属板１ａの表面を研磨して研
磨ベルトをドレスし、ある時間経過して表面が所定の粗
度になったときは研磨を中止して研磨装置２を上昇さ
せ、ついで、研磨装置２を研磨する金属板１の上まで移
動して下降させ、この金属板１の表面をドレスした研磨
ベルトで研磨するようにしている。
属板１の横に所定の距離を隔てて別の金属板１ａ（以下
ドレス用金属板という）を配設すると共に、研磨ベルト
を備えた研磨装置２を左右に移動可能に構成する。そし
て、先ず、ドレス用金属板１ａの上に研磨装置２を移動
して下降させ、ドレス用金属板１ａの表面を研磨して研
磨ベルトをドレスし、ある時間経過して表面が所定の粗
度になったときは研磨を中止して研磨装置２を上昇さ
せ、ついで、研磨装置２を研磨する金属板１の上まで移
動して下降させ、この金属板１の表面をドレスした研磨
ベルトで研磨するようにしている。
【０００５】従来、例えばＡＺ＃６０の砥粒を有する研
磨ベルトにより、金属板１の表面をＲmax ３０μｍ程度
になるように研磨するためには、一般に、ドレス用金属
板１ａの表面を１００ｍ程度研磨してドレスしなければ
ならず、その時間は８〜１０分程度であった。同様に、
ＡＺ＃８０の砥粒を有する研磨ベルトにより、金属板１
の表面をＲmax ２０μｍ程度に研磨するためには、やは
り１００ｍ程度の研磨と８〜１０分程度の時間を要し
た。
磨ベルトにより、金属板１の表面をＲmax ３０μｍ程度
になるように研磨するためには、一般に、ドレス用金属
板１ａの表面を１００ｍ程度研磨してドレスしなければ
ならず、その時間は８〜１０分程度であった。同様に、
ＡＺ＃８０の砥粒を有する研磨ベルトにより、金属板１
の表面をＲmax ２０μｍ程度に研磨するためには、やは
り１００ｍ程度の研磨と８〜１０分程度の時間を要し
た。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来、金
属板表面の研磨にあたっては、研磨を開始する前に、研
磨する金属板１とは別にドレス用金属板１ａを設置しな
ければならないので、広い占有面積が必要であるばかり
でなく、研磨装置２も左右に移動可能に構成しなければ
ならないので構造が複雑で高価になり、その上研磨作業
の段取りに多くの時間を要するなど、種々問題があっ
た。
属板表面の研磨にあたっては、研磨を開始する前に、研
磨する金属板１とは別にドレス用金属板１ａを設置しな
ければならないので、広い占有面積が必要であるばかり
でなく、研磨装置２も左右に移動可能に構成しなければ
ならないので構造が複雑で高価になり、その上研磨作業
の段取りに多くの時間を要するなど、種々問題があっ
た。
【０００７】本発明は、上記の課題を解決すべくなされ
たもので、狭い場所で簡単な段取りにより容易にドレス
することのできる研磨ベルトのドレス装置を得ることを
目的としたものである。
たもので、狭い場所で簡単な段取りにより容易にドレス
することのできる研磨ベルトのドレス装置を得ることを
目的としたものである。
【０００８】
（１）本発明に係る研磨ベルトのドレス装置は、ドライ
ブホイール及びコンタクトホイールの軸と直交する方向
に移動可能なドレス装置を設けたものである。 （２）また、上記（１）のドレス装置を、研磨ベルトに
近接して研磨装置に設けたものである。
ブホイール及びコンタクトホイールの軸と直交する方向
に移動可能なドレス装置を設けたものである。 （２）また、上記（１）のドレス装置を、研磨ベルトに
近接して研磨装置に設けたものである。
【０００９】（３）本発明に係る研磨ベルトのドレス装
置は、研磨装置とは別に、駆動ホイールと従動ホイール
とを有し研磨ベルトが掛けられる研磨ベルト駆動装置を
設けると共に、駆動ホイールと従動ホイールの軸と直交
する方向に移動可能なドレス装置を設けたものである。
置は、研磨装置とは別に、駆動ホイールと従動ホイール
とを有し研磨ベルトが掛けられる研磨ベルト駆動装置を
設けると共に、駆動ホイールと従動ホイールの軸と直交
する方向に移動可能なドレス装置を設けたものである。
【００１０】（４）また、上記（１）〜（３）の研磨ベ
ルトのドレス装置において、ドレス装置を、駆動ロール
と、従動ロールと、ドライブホイール及びコンタクトホ
イール又は駆動ホイール及び従動ホイールの軸と直交す
る方向に移動可能なコンタクトロールと、従動ロールに
巻かれコンタクトロールを経て駆動ロールに巻取られる
ドレスロールとによって構成したものである。
ルトのドレス装置において、ドレス装置を、駆動ロール
と、従動ロールと、ドライブホイール及びコンタクトホ
イール又は駆動ホイール及び従動ホイールの軸と直交す
る方向に移動可能なコンタクトロールと、従動ロールに
巻かれコンタクトロールを経て駆動ロールに巻取られる
ドレスロールとによって構成したものである。
【００１１】（５）さらに、上記（４）のドレス装置に
おいて、研磨ベルトの砥粒と同じか又は１番手粗い砥粒
のドレスロールを用いたものである。
おいて、研磨ベルトの砥粒と同じか又は１番手粗い砥粒
のドレスロールを用いたものである。
【００１２】（６）また、上記（１）〜（３）の研磨ベ
ルトのドレス装置において、ドレス装置を、ドライブホ
イール及びコンタクトホイール又は駆動ホイールと従動
ホイールの軸と直交する方向に移動可能な金属材料から
なるドレス部材で構成したものである。 （７）さらに、上記（６）のドレス部材の表面に、研磨
ベルトの砥粒より硬度の高い砥粒を付着させたものであ
る。
ルトのドレス装置において、ドレス装置を、ドライブホ
イール及びコンタクトホイール又は駆動ホイールと従動
ホイールの軸と直交する方向に移動可能な金属材料から
なるドレス部材で構成したものである。 （７）さらに、上記（６）のドレス部材の表面に、研磨
ベルトの砥粒より硬度の高い砥粒を付着させたものであ
る。
【００１３】
実施形態１ 図１は本発明の第１の実施形態の模式図である。図にお
いて、１は表面を研磨する金属板（被研磨材）、２は上
下に移動可能に構成された研磨装置で、ドライブホイー
ル３とコンタクトホイール４との間には、エンドレスの
研磨ベルト５が掛けられている。６はコンタクトホイー
ル４に隣接して研磨装置２に設けられたドレス装置で、
駆動ロール７、従動ロール８及びコンタクトロール９か
らなり、コンタクトロール９は例えば空気圧、油圧など
によって駆動されるシリンダ１０のアクチュエータに連
結されており、矢印ａ，ｂ方向に移動しうるように構成
されている。そして、従動ロール８には、研磨ベルト５
とほぼ同じ幅で研磨ベルト５の砥粒と同じか一番手粗い
砥粒が付着された研磨ロール１１（以下ドレスロールと
いう）が巻かれており、このドレスロール１１はコンタ
クトロール８を経て駆動ロール７に巻取られるようにな
っている。
いて、１は表面を研磨する金属板（被研磨材）、２は上
下に移動可能に構成された研磨装置で、ドライブホイー
ル３とコンタクトホイール４との間には、エンドレスの
研磨ベルト５が掛けられている。６はコンタクトホイー
ル４に隣接して研磨装置２に設けられたドレス装置で、
駆動ロール７、従動ロール８及びコンタクトロール９か
らなり、コンタクトロール９は例えば空気圧、油圧など
によって駆動されるシリンダ１０のアクチュエータに連
結されており、矢印ａ，ｂ方向に移動しうるように構成
されている。そして、従動ロール８には、研磨ベルト５
とほぼ同じ幅で研磨ベルト５の砥粒と同じか一番手粗い
砥粒が付着された研磨ロール１１（以下ドレスロールと
いう）が巻かれており、このドレスロール１１はコンタ
クトロール８を経て駆動ロール７に巻取られるようにな
っている。
【００１４】上記のように構成した本実施形態において
は、研磨装置１を上昇させて研磨する金属板１から離
し、ドライブホイール３を駆動して研磨ベルト５を矢印
方向に駆動すると共に、シリンダ１０によりコンタクト
ロール９を矢印ａ方向に前進させてドレスロール１１を
研磨ベルト５に圧着し、駆動ロール７を駆動してドレス
ロール１１を研磨ベルト５の速度に比べてきわめて遅い
速度で移動させ、研磨ベルト５の研磨面をドレスする。
は、研磨装置１を上昇させて研磨する金属板１から離
し、ドライブホイール３を駆動して研磨ベルト５を矢印
方向に駆動すると共に、シリンダ１０によりコンタクト
ロール９を矢印ａ方向に前進させてドレスロール１１を
研磨ベルト５に圧着し、駆動ロール７を駆動してドレス
ロール１１を研磨ベルト５の速度に比べてきわめて遅い
速度で移動させ、研磨ベルト５の研磨面をドレスする。
【００１５】所定の時間経過したときは、シリンダ１０
によりコンタクトロール９を矢印ｂ方向に移動させてド
レスロール１１を研磨ベルト５から引き離し、ドレスロ
ール１１を若干巻き取って新らしい砥粒面をコンタクト
ロール９上に位置させ、駆動ロール７を停止する。そし
て、研磨装置２を下降させて金属板１の表面に接触さ
せ、ドライブホイール３を駆動してドレスされた研磨ベ
ルトにより研磨する。
によりコンタクトロール９を矢印ｂ方向に移動させてド
レスロール１１を研磨ベルト５から引き離し、ドレスロ
ール１１を若干巻き取って新らしい砥粒面をコンタクト
ロール９上に位置させ、駆動ロール７を停止する。そし
て、研磨装置２を下降させて金属板１の表面に接触さ
せ、ドライブホイール３を駆動してドレスされた研磨ベ
ルトにより研磨する。
【００１６】（実施例）本実施形態の実施例は、次の通
りである。 研磨装置 研磨ベルト長 ２，１００ｍｍ 研磨ベルト幅 １５０ｍｍ 研磨ベルトの速度 １，３００ｍ／ｍｉｎ 砥粒 ＡＺ＃８０ 研磨部の厚み １，０３３μｍ 研磨部の平均荒さ（Ｒａ） ６．６１μｍ ドレス装置 ドレスロールの幅 ５０ｍｍ ドレスロールの速度 ６ｍ／ｍｉｎ コンタクトロールの接触圧 １．０ＨＰ／inch 砥粒 ＡＺ＃８０ 上記のドレス装置６により、研磨ベルト５の表面を１５
秒ごとに場所を変えて０．５分間及び１分間それぞれド
レスした。試験結果を表１に示す。
りである。 研磨装置 研磨ベルト長 ２，１００ｍｍ 研磨ベルト幅 １５０ｍｍ 研磨ベルトの速度 １，３００ｍ／ｍｉｎ 砥粒 ＡＺ＃８０ 研磨部の厚み １，０３３μｍ 研磨部の平均荒さ（Ｒａ） ６．６１μｍ ドレス装置 ドレスロールの幅 ５０ｍｍ ドレスロールの速度 ６ｍ／ｍｉｎ コンタクトロールの接触圧 １．０ＨＰ／inch 砥粒 ＡＺ＃８０ 上記のドレス装置６により、研磨ベルト５の表面を１５
秒ごとに場所を変えて０．５分間及び１分間それぞれド
レスした。試験結果を表１に示す。
【００１７】
【表１】
【００１８】表１から明らかなように、本実施例によれ
ば、研磨ベルト５の平均荒さＲａは０．５分で３．０５
μｍ、１分で２．２５μｍになり、短時間で所望の研磨
面を形成することができた。なお、ドレスロール１１の
砥粒に研磨ベルト５の砥粒より粗いものを使用すれば、
この時間をさらに短縮することができる。
ば、研磨ベルト５の平均荒さＲａは０．５分で３．０５
μｍ、１分で２．２５μｍになり、短時間で所望の研磨
面を形成することができた。なお、ドレスロール１１の
砥粒に研磨ベルト５の砥粒より粗いものを使用すれば、
この時間をさらに短縮することができる。
【００１９】実施形態２ 図２は本発明の第２の実施形態の模式図である。なお、
第１の実施形態と同じ部分にはこれと同じ符号を付し、
説明を省略する。６ａは本実施形態に係るドレス装置で
ある。１２はステンレス板、鉄板等の金属板からなり、
研磨ベルト５の幅とほぼ同じ長さのドレス部材で、ホル
ダ１３に保持されており、ホルダ１３はシリンダ１０の
アクチュエータに連結され、矢印ａ，ｂ方向に移動す
る。
第１の実施形態と同じ部分にはこれと同じ符号を付し、
説明を省略する。６ａは本実施形態に係るドレス装置で
ある。１２はステンレス板、鉄板等の金属板からなり、
研磨ベルト５の幅とほぼ同じ長さのドレス部材で、ホル
ダ１３に保持されており、ホルダ１３はシリンダ１０の
アクチュエータに連結され、矢印ａ，ｂ方向に移動す
る。
【００２０】本実施形態においても、第１の実施形態の
場合と同様に研磨ベルト５を矢印方向に駆動し、ドレス
部材１２を矢印ａ方向に前進させて研磨ベルト５に圧着
し、その表面をドレスする。そして所定の時間経過した
ときはドレス部材１２を矢印ｂ方向に移動させて研磨ベ
ルト５から引き離す。これにより、研磨ベルト５の表面
を所望の研磨面にドレスすることができる。
場合と同様に研磨ベルト５を矢印方向に駆動し、ドレス
部材１２を矢印ａ方向に前進させて研磨ベルト５に圧着
し、その表面をドレスする。そして所定の時間経過した
ときはドレス部材１２を矢印ｂ方向に移動させて研磨ベ
ルト５から引き離す。これにより、研磨ベルト５の表面
を所望の研磨面にドレスすることができる。
【００２１】（実施例）本実施形態の実施例は、次の通
りである。 研磨装置 研磨ベルト長 ２，１００ｍｍ 研磨ベルト幅 １５０ｍｍ 研磨ベルトの速度 １，３００ｍ／ｍｉｎ 砥粒 ＡＺ＃８０ 研磨部の厚み １，０３３μｍ 研磨部の平均荒さ（Ｒａ） ６．６１μｍ ドレス装置 ドレス部材の材質 Ｓ４５Ｃ ドレス部材の大きさ 幅１００ｍｍ×高さ５０ｍｍ ドレス部材の送り速度 ６ｍ／ｍｉｎ ドス部材の接触圧 １．０ＨＰ／inch 上記のドレス装置６ａにより、研磨ベルト５の表面を３
０秒ごとに場所を変えて、１分、２分、３分及び４．５
分間それぞれドレスした、試験結果を表２に示す。
りである。 研磨装置 研磨ベルト長 ２，１００ｍｍ 研磨ベルト幅 １５０ｍｍ 研磨ベルトの速度 １，３００ｍ／ｍｉｎ 砥粒 ＡＺ＃８０ 研磨部の厚み １，０３３μｍ 研磨部の平均荒さ（Ｒａ） ６．６１μｍ ドレス装置 ドレス部材の材質 Ｓ４５Ｃ ドレス部材の大きさ 幅１００ｍｍ×高さ５０ｍｍ ドレス部材の送り速度 ６ｍ／ｍｉｎ ドス部材の接触圧 １．０ＨＰ／inch 上記のドレス装置６ａにより、研磨ベルト５の表面を３
０秒ごとに場所を変えて、１分、２分、３分及び４．５
分間それぞれドレスした、試験結果を表２に示す。
【００２２】
【表２】
【００２３】表２から明らかなように、本実施例によれ
ば、Ｒａは１分で５．１４μｍ、２分で３．９４μｍ、
３分で３．９６μｍ、４．５分で３．７６μｍとなり、
ほぼ所望の研磨面が得られた。なお、本実施によれば、
２分以上ドレスしてもあまり大きな変化はなく、また、
第１の実施形態に比べてドレスに時間がかかり、ドレス
結果も第１の実施形態に及ばなかった。
ば、Ｒａは１分で５．１４μｍ、２分で３．９４μｍ、
３分で３．９６μｍ、４．５分で３．７６μｍとなり、
ほぼ所望の研磨面が得られた。なお、本実施によれば、
２分以上ドレスしてもあまり大きな変化はなく、また、
第１の実施形態に比べてドレスに時間がかかり、ドレス
結果も第１の実施形態に及ばなかった。
【００２４】なお、ドレス部材１２が研磨ベルト５に圧
接される高さ範囲は１５〜２０ｍｍ程度なので、ドレス
部材１２を上下方向に移動又は首振り可能に構成するこ
とにより、ドレス部材１２の高さを高くすれば、１つの
ドレス部材１２で研磨部材１２を１０回以上ドレスする
ことができる。
接される高さ範囲は１５〜２０ｍｍ程度なので、ドレス
部材１２を上下方向に移動又は首振り可能に構成するこ
とにより、ドレス部材１２の高さを高くすれば、１つの
ドレス部材１２で研磨部材１２を１０回以上ドレスする
ことができる。
【００２５】実施形態３ 実施形態２では、ドレス装置６ａを金属板からなるドレ
ス部材１２で構成した場合を示したが、本実施形態は、
鉄板、鋼材製の網等の表面に、例えばダイヤモンド砥粒
の如く研磨ベルト５の砥粒の硬度より高い硬度の砥粒を
電着法等により付着させたドレス部材１２ａを使用した
ものである。
ス部材１２で構成した場合を示したが、本実施形態は、
鉄板、鋼材製の網等の表面に、例えばダイヤモンド砥粒
の如く研磨ベルト５の砥粒の硬度より高い硬度の砥粒を
電着法等により付着させたドレス部材１２ａを使用した
ものである。
【００２６】（実施例）本実施形態の実施例は、次の通
りである。 研磨装置 研磨ベルト長 ２，１００ｍｍ 研磨ベルト幅 １５０ｍｍ 研磨ベルトの速度 １，３００ｍ／ｍｉｎ 砥粒 ＡＺ＃８０ ドレス装置 ドレス部材の材質 鉄板の表面にダイヤモンド ＃１００を電着 ドレス部材の大きさ 幅１００ｍｍ×高さ５０ｍｍ ドレス部材の接触圧 １．０ＨＰ／inch 上記により３０秒間ドレスしたところ、所望の研磨面が
得られた。
りである。 研磨装置 研磨ベルト長 ２，１００ｍｍ 研磨ベルト幅 １５０ｍｍ 研磨ベルトの速度 １，３００ｍ／ｍｉｎ 砥粒 ＡＺ＃８０ ドレス装置 ドレス部材の材質 鉄板の表面にダイヤモンド ＃１００を電着 ドレス部材の大きさ 幅１００ｍｍ×高さ５０ｍｍ ドレス部材の接触圧 １．０ＨＰ／inch 上記により３０秒間ドレスしたところ、所望の研磨面が
得られた。
【００２７】実施形態４ 上述の各実施形態では、ドレス装置６，６ａを、研磨装
置２の研磨ベルト５に近接して設けた場合を示したが、
本実施形態においては、第１〜第３の実施形態で説明し
たドレス装置６，６ａの何れかを研磨装置２とは別に設
け、このドレス装置をドライブホイール３及びコンタク
トホイール４の軸と直交する方向に移動可能に設置した
ものである。
置２の研磨ベルト５に近接して設けた場合を示したが、
本実施形態においては、第１〜第３の実施形態で説明し
たドレス装置６，６ａの何れかを研磨装置２とは別に設
け、このドレス装置をドライブホイール３及びコンタク
トホイール４の軸と直交する方向に移動可能に設置した
ものである。
【００２８】上記のように構成した本実施形態におい
て、研磨ベルト５により被研磨材１を研磨するに先だっ
て、研磨ベルト５を駆動すると共に、ドレス装置６又は
６ａを研磨ベルト５側に前進させてドレスロール１１又
はドレス部材１２，１２ａを研磨ベルト５に圧着してド
レスし、所定の時間経過したときはドレス装置６又は６
ａを後退させて研磨装置２から離れた場所に移動し、研
磨ベルト５の表面をドレスするようにしたものである。
て、研磨ベルト５により被研磨材１を研磨するに先だっ
て、研磨ベルト５を駆動すると共に、ドレス装置６又は
６ａを研磨ベルト５側に前進させてドレスロール１１又
はドレス部材１２，１２ａを研磨ベルト５に圧着してド
レスし、所定の時間経過したときはドレス装置６又は６
ａを後退させて研磨装置２から離れた場所に移動し、研
磨ベルト５の表面をドレスするようにしたものである。
【００２９】実施形態５ 本実施形態は、研磨装置２から離れた場所に、研磨装置
２とほぼ同様の駆動ホイールと従動ホイールからなる研
磨ベルト駆動装置を設けると共に、これと一体的に又は
これと分離して第１〜第３の実施で説明したドレス装置
６，６ａを設けたものである。
２とほぼ同様の駆動ホイールと従動ホイールからなる研
磨ベルト駆動装置を設けると共に、これと一体的に又は
これと分離して第１〜第３の実施で説明したドレス装置
６，６ａを設けたものである。
【００３０】本実施形態においては、研磨ベルト５を先
ず研磨ベルト駆動装置に掛けてドレス装置６又は６ａに
よりその研磨面をドレスし、しかるのち研磨装置２のド
ライブホイール３とコンタクトホイール４の間にドレス
済みの研磨ベルト５を掛けて被研磨材料１を研磨するよ
うにしたものである。本実施形態においては、例えば、
研磨装置２により被研磨材１を研磨している間（手あき
時間）に新しい研磨ベルト５をドレスしてストックして
おき、研磨装置２の研磨ベルト５の研磨機能が低下した
ときはドレス済みの新しい研磨ベルト５と交換すればよ
いので、作業能率を大幅に向上することができる。
ず研磨ベルト駆動装置に掛けてドレス装置６又は６ａに
よりその研磨面をドレスし、しかるのち研磨装置２のド
ライブホイール３とコンタクトホイール４の間にドレス
済みの研磨ベルト５を掛けて被研磨材料１を研磨するよ
うにしたものである。本実施形態においては、例えば、
研磨装置２により被研磨材１を研磨している間（手あき
時間）に新しい研磨ベルト５をドレスしてストックして
おき、研磨装置２の研磨ベルト５の研磨機能が低下した
ときはドレス済みの新しい研磨ベルト５と交換すればよ
いので、作業能率を大幅に向上することができる。
【００３１】上記の説明では、ドレス装置６，６ａのド
レスロール１１又はドレス部材１２，１２ａを研磨ベル
ト５の下方に圧着させる場合を示したが、コンタクトロ
ール９に掛けられたドレスロール１１又はドレス部材１
２，１２ａが研磨ベルト５に接触しうる位置であれば、
どこに圧着してもよい。また、ドレスロール１１又はド
レス部材１２，１２ａに研磨ベルト５の幅とほぼ同じ幅
のものを用いた場合を示したが、研磨ベルト５より幅の
狭いものを使用し、コンタクトロール９又はドレス部材
１２，１２ａをドライブホイール３及びコンタクトホイ
ール４の軸方向に移動しうるように構成してもよい。
レスロール１１又はドレス部材１２，１２ａを研磨ベル
ト５の下方に圧着させる場合を示したが、コンタクトロ
ール９に掛けられたドレスロール１１又はドレス部材１
２，１２ａが研磨ベルト５に接触しうる位置であれば、
どこに圧着してもよい。また、ドレスロール１１又はド
レス部材１２，１２ａに研磨ベルト５の幅とほぼ同じ幅
のものを用いた場合を示したが、研磨ベルト５より幅の
狭いものを使用し、コンタクトロール９又はドレス部材
１２，１２ａをドライブホイール３及びコンタクトホイ
ール４の軸方向に移動しうるように構成してもよい。
【００３２】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、次のような効果を得ることができる。 （１）ドライブホイール及びコンタクトホイールの軸と
直交する方向に移動可能なドレス装置を設け、ドレス装
置を研磨ベルトに圧着してその研磨面をドレスするよう
にしたので、ドレスのために広い場所を必要とせず、そ
の上簡単な段取りで容易かつきわめて短時間に研磨ベル
トをドレスすることができ、作業能率を大幅に向上する
ことができる。
によれば、次のような効果を得ることができる。 （１）ドライブホイール及びコンタクトホイールの軸と
直交する方向に移動可能なドレス装置を設け、ドレス装
置を研磨ベルトに圧着してその研磨面をドレスするよう
にしたので、ドレスのために広い場所を必要とせず、そ
の上簡単な段取りで容易かつきわめて短時間に研磨ベル
トをドレスすることができ、作業能率を大幅に向上する
ことができる。
【００３３】（２）ドレス装置を研磨ベルトに近接して
研磨装置に設けたので、構造が簡単で操作が容易であ
る。
研磨装置に設けたので、構造が簡単で操作が容易であ
る。
【００３４】（３）研磨装置とは別に、研磨ベルトが掛
けられる研磨ベルト駆動装置とドレス装置を設けたの
で、あらかじめ研磨ベルトをドレスし、また、ドレスし
た研磨ベルトをストックしておくこともできる。このた
め、被研磨材の研磨ラインにおいて研磨ベルトのドレス
時間を省略できるので、作業能率を大幅に向上すること
ができる。
けられる研磨ベルト駆動装置とドレス装置を設けたの
で、あらかじめ研磨ベルトをドレスし、また、ドレスし
た研磨ベルトをストックしておくこともできる。このた
め、被研磨材の研磨ラインにおいて研磨ベルトのドレス
時間を省略できるので、作業能率を大幅に向上すること
ができる。
【００３５】（４）ドレス装置を、駆動ロールと、従動
ロールと、ドライブホイール及びコンタクトホイールの
軸と直交する方向に移動可能なコンタクトロールと、従
動ロールに巻かれコンタクトロールを経て駆動ロールに
巻取られるドレスロールとによって構成したので、簡単
な構造で研磨ベルトの研磨面を容易かつ短時間でドレス
することができる。また、既存の研磨装置にも容易に設
置することができる。
ロールと、ドライブホイール及びコンタクトホイールの
軸と直交する方向に移動可能なコンタクトロールと、従
動ロールに巻かれコンタクトロールを経て駆動ロールに
巻取られるドレスロールとによって構成したので、簡単
な構造で研磨ベルトの研磨面を容易かつ短時間でドレス
することができる。また、既存の研磨装置にも容易に設
置することができる。
【００３６】（５）研磨ベルトの砥粒と同じか又は一番
手粗い砥粒のドレスロールを用いたので、研磨ベルトの
研磨面を短時間で確実にドレスすることができる。
手粗い砥粒のドレスロールを用いたので、研磨ベルトの
研磨面を短時間で確実にドレスすることができる。
【００３７】（６）ドレス装置を、ドライブホイール及
びコンタクトホイールの軸と直交する方向に移動可能な
金属材料からなるドレス部材で構成したので、きわめて
簡単な構造で研磨ベルトの研磨面を容易かつ確実にドレ
スすることができる。また、既存の研磨装置にも容易に
設置することができる。
びコンタクトホイールの軸と直交する方向に移動可能な
金属材料からなるドレス部材で構成したので、きわめて
簡単な構造で研磨ベルトの研磨面を容易かつ確実にドレ
スすることができる。また、既存の研磨装置にも容易に
設置することができる。
【００３８】（７）ドレス部材の表面に、研磨ベルトの
砥粒より硬度の高い砥粒を付着させたので、ドレス時間
をさらに短縮することができる。
砥粒より硬度の高い砥粒を付着させたので、ドレス時間
をさらに短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態の模式図である。
【図２】本発明の第２の実施形態の模式図である。
【図３】従来の研磨ベルトのドレス方法の説明図であ
る。
る。
１ 研磨する金属板 ２ 研磨装置 ３ ドライブホイール ４ コンタクトホイール ５ 研磨ベルト ６，６ａ ドレス装置 ７ 駆動ロール ８ 従動ロール ９ コンタクトロール １０ シリンダ １１ ドレスロール １２ ドレス部材 １３ ホルダ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成７年７月１９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１６】（実施例）本実施形態の実施例は、次の通
りである。 研磨装置 研磨ベルト長 ２，１００ｍｍ 研磨ベルト幅 １５０ｍｍ 研磨ベルトの速度 １，３００ｍ／ｍｉｎ 砥粒 ＡＺ＃８０ 研磨部の厚み １，０３３μｍ 研磨部の平均粗さ（Ｒａ） ６．６１μｍ ドレス装置 ドレスロールの幅 ５０ｍｍ ドレスロールの速度 ６ｍ／ｍｉｎ コンタクトロールの接触圧 １．０ＨＰ／inch 砥粒 ＡＺ＃８０ 上記のドレス装置６により、研磨ベルト５の表面を１５
秒ごとに場所を変えて０．５分間及び１分間それぞれド
レスした。試験結果を表１に示す。
りである。 研磨装置 研磨ベルト長 ２，１００ｍｍ 研磨ベルト幅 １５０ｍｍ 研磨ベルトの速度 １，３００ｍ／ｍｉｎ 砥粒 ＡＺ＃８０ 研磨部の厚み １，０３３μｍ 研磨部の平均粗さ（Ｒａ） ６．６１μｍ ドレス装置 ドレスロールの幅 ５０ｍｍ ドレスロールの速度 ６ｍ／ｍｉｎ コンタクトロールの接触圧 １．０ＨＰ／inch 砥粒 ＡＺ＃８０ 上記のドレス装置６により、研磨ベルト５の表面を１５
秒ごとに場所を変えて０．５分間及び１分間それぞれド
レスした。試験結果を表１に示す。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１８】表１から明らかなように、本実施例によれ
ば、研磨ベルト５の平均粗さＲａは０．５分で３．０５
μｍ、１分で２．２５μｍになり、短時間で所望の研磨
面を形成することができた。なお、ドレスロール１１の
砥粒に研磨ベルト５の砥粒より粗いものを使用すれば、
この時間をさらに短縮することができる。
ば、研磨ベルト５の平均粗さＲａは０．５分で３．０５
μｍ、１分で２．２５μｍになり、短時間で所望の研磨
面を形成することができた。なお、ドレスロール１１の
砥粒に研磨ベルト５の砥粒より粗いものを使用すれば、
この時間をさらに短縮することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２１】（実施例）本実施形態の実施例は、次の通
りである。 研磨装置 研磨ベルト長 ２，１００ｍｍ 研磨ベルト幅 １５０ｍｍ 研磨ベルトの速度 １，３００ｍ／ｍｉｎ 砥粒 ＡＺ＃８０ 研磨部の厚み １，０３３μｍ 研磨部の平均粗さ（Ｒａ） ６．６１μｍ ドレス装置 ドレス部材の材質 Ｓ４５Ｃ ドレス部材の大きさ 幅１００ｍｍ×高さ５０ｍｍ ドレス部材の送り速度 ６ｍ／ｍｉｎ ドス部材の接触圧 １．０ＨＰ／inch 上記のドレス装置６ａにより、研磨ベルト５の表面を３
０秒ごとに場所を変えて、１分、２分、３分及び４．５
分間それぞれドレスした、試験結果を表２に示す。
りである。 研磨装置 研磨ベルト長 ２，１００ｍｍ 研磨ベルト幅 １５０ｍｍ 研磨ベルトの速度 １，３００ｍ／ｍｉｎ 砥粒 ＡＺ＃８０ 研磨部の厚み １，０３３μｍ 研磨部の平均粗さ（Ｒａ） ６．６１μｍ ドレス装置 ドレス部材の材質 Ｓ４５Ｃ ドレス部材の大きさ 幅１００ｍｍ×高さ５０ｍｍ ドレス部材の送り速度 ６ｍ／ｍｉｎ ドス部材の接触圧 １．０ＨＰ／inch 上記のドレス装置６ａにより、研磨ベルト５の表面を３
０秒ごとに場所を変えて、１分、２分、３分及び４．５
分間それぞれドレスした、試験結果を表２に示す。
Claims (7)
- 【請求項１】 研磨装置のドライブホイールとコンタク
トホイールの間に掛けられたエンドレスの研磨ベルトの
研磨面をドレスするドレス装置において、 前記ドライブホイール及びコンタクトホイールの軸と直
交する方向に移動可能なドレス装置を設けたことを特徴
とする研磨ベルトのドレス装置。 - 【請求項２】 ドレス装置を、研磨ベルトに近接して研
磨装置に設けたことを特徴とする請求項１記載の研磨ベ
ルトのドレス装置。 - 【請求項３】 研磨装置のドライブホイールとコンタク
トホイールの間に掛けられたエンドレスの研磨ベルトに
より被研磨材の表面を研磨する装置において、 前記研磨装置とは別に、駆動ホイールと従動ホイールと
を有し研磨ベルトが掛けられる研磨ベルト駆動装置を設
けると共に、前記駆動ホイールと従動ホイールの軸と直
交する方向に移動可能なドレス装置を設けたことを特徴
とする研磨ベルトのドレス装置。 - 【請求項４】 ドレス装置を、駆動ロールと、従動ロー
ルと、ドライブホイール及びコンタクトホイール又は駆
動ホイール及び従動ホイールの軸と直交する方向に移動
可能なコンタクトロールと、前記従動ロールに巻かれコ
ンタクトロールを経て駆動ロールに巻取られるドレスロ
ールとによって構成したことを特徴とする請求項１，２
又は３記載の研磨ベルトのドレス装置。 - 【請求項５】 研磨ベルトの砥粒と同じか又は１番手粗
い砥粒のドレスロールを用いたことを特徴とする請求項
４記載の研磨ベルトのドレス装置。 - 【請求項６】 ドレス装置を、ドライブホイール及びコ
ンタクトホイール又は駆動ホイール及び従動ホイールの
軸と直交する方向に移動可能な金属材料からなるドレス
部材で構成したことを特徴とする請求項１，２又は３記
載の研磨ベルトのドレス装置。 - 【請求項７】 ドレス部材の表面に、研磨ベルトの砥粒
より硬度の高い砥粒を付着させたことを特徴とする請求
項６記載の研磨ベルトのドレス装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7177360A JPH0929634A (ja) | 1995-07-13 | 1995-07-13 | 研磨ベルトのドレス装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7177360A JPH0929634A (ja) | 1995-07-13 | 1995-07-13 | 研磨ベルトのドレス装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0929634A true JPH0929634A (ja) | 1997-02-04 |
Family
ID=16029607
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7177360A Withdrawn JPH0929634A (ja) | 1995-07-13 | 1995-07-13 | 研磨ベルトのドレス装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0929634A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998045090A1 (en) * | 1997-04-04 | 1998-10-15 | Obsidian, Inc. | Polishing media magazine for improved polishing |
| EP0885692A1 (de) * | 1997-06-17 | 1998-12-23 | Slawomir Bielas | Methode der Schleifband-Reinigung und Gerät für die Methode |
| US6482072B1 (en) | 2000-10-26 | 2002-11-19 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for providing and controlling delivery of a web of polishing material |
| US6561884B1 (en) | 2000-08-29 | 2003-05-13 | Applied Materials, Inc. | Web lift system for chemical mechanical planarization |
| US6659849B1 (en) * | 2000-11-03 | 2003-12-09 | Applied Materials Inc. | Platen with debris control for chemical mechanical planarization |
| KR100778741B1 (ko) * | 2001-12-17 | 2007-11-23 | 주식회사 포스코 | 스트립 그라인더의 연마밸트 에지부 연삭장치 |
| JP2011177842A (ja) * | 2010-03-02 | 2011-09-15 | Ebara Corp | 研磨装置及び研磨方法 |
-
1995
- 1995-07-13 JP JP7177360A patent/JPH0929634A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998045090A1 (en) * | 1997-04-04 | 1998-10-15 | Obsidian, Inc. | Polishing media magazine for improved polishing |
| EP0885692A1 (de) * | 1997-06-17 | 1998-12-23 | Slawomir Bielas | Methode der Schleifband-Reinigung und Gerät für die Methode |
| US6561884B1 (en) | 2000-08-29 | 2003-05-13 | Applied Materials, Inc. | Web lift system for chemical mechanical planarization |
| US6482072B1 (en) | 2000-10-26 | 2002-11-19 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for providing and controlling delivery of a web of polishing material |
| US6951511B2 (en) | 2000-10-26 | 2005-10-04 | Applied Materials Inc. | Platen with peripheral frame for supporting a web of polishing material in a chemical mechanical planarization system |
| US6659849B1 (en) * | 2000-11-03 | 2003-12-09 | Applied Materials Inc. | Platen with debris control for chemical mechanical planarization |
| KR100778741B1 (ko) * | 2001-12-17 | 2007-11-23 | 주식회사 포스코 | 스트립 그라인더의 연마밸트 에지부 연삭장치 |
| JP2011177842A (ja) * | 2010-03-02 | 2011-09-15 | Ebara Corp | 研磨装置及び研磨方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20021001 |