JPH09295833A - フロートガラス基板の平坦化方法 - Google Patents
フロートガラス基板の平坦化方法Info
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- JPH09295833A JPH09295833A JP10733196A JP10733196A JPH09295833A JP H09295833 A JPH09295833 A JP H09295833A JP 10733196 A JP10733196 A JP 10733196A JP 10733196 A JP10733196 A JP 10733196A JP H09295833 A JPH09295833 A JP H09295833A
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- Japan
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- glass substrate
- float glass
- polishing
- float
- molten metal
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C15/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
- C03C15/02—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching for making a smooth surface
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- Organic Chemistry (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】トップスペックによるガラス研磨面の傷を防止
する。 【解決手段】フロート法により成板されたガラス基板の
表面に存在する微小な異物を、フッ化水素酸水溶液、又
は２価のクロムイオンを含む酸性水溶液に浸漬して除去
した後に表面を研磨する。
する。 【解決手段】フロート法により成板されたガラス基板の
表面に存在する微小な異物を、フッ化水素酸水溶液、又
は２価のクロムイオンを含む酸性水溶液に浸漬して除去
した後に表面を研磨する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フロートガラス基
板の平坦化方法に関するものである。
板の平坦化方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】現在ガラス基板の主要な製造方法はフロ
ート法である。 これは、溶融金属浴と呼ばれる溶融金属
錫を満たした浴面上に溶融ガラスを連続的に流してガラ
スリボンを形成し、このガラスリボンを溶融金属浴面に
沿って浮かしながら前進させて成板するため、 ガラスリ
ボンの上面側には溶融金属浴の錫によるトップスペック
が避けられない。トップスペックとは、 溶融金属浴から
蒸発した錫成分が浴上部に凝縮し、 凝縮物又はこの凝縮
物が金属状態に還元されたものがガラス素地上に小粒と
して落下してガラスリボンの上面に数μ〜数１０μの異
物が生じたものである。また、 溶融錫と接するガラスリ
ボンの下面側にも、錫又は錫化合物からなるボトムスペ
ックが発生する。
ート法である。 これは、溶融金属浴と呼ばれる溶融金属
錫を満たした浴面上に溶融ガラスを連続的に流してガラ
スリボンを形成し、このガラスリボンを溶融金属浴面に
沿って浮かしながら前進させて成板するため、 ガラスリ
ボンの上面側には溶融金属浴の錫によるトップスペック
が避けられない。トップスペックとは、 溶融金属浴から
蒸発した錫成分が浴上部に凝縮し、 凝縮物又はこの凝縮
物が金属状態に還元されたものがガラス素地上に小粒と
して落下してガラスリボンの上面に数μ〜数１０μの異
物が生じたものである。また、 溶融錫と接するガラスリ
ボンの下面側にも、錫又は錫化合物からなるボトムスペ
ックが発生する。
【０００３】フロート法によるガラス基板を利用上必要
とされる平坦性を確保するために成板後研磨する場合、
トップスペックが研磨作業中にガラスより離脱し、研磨
剤中に混入してガラス表面を傷つけ、研磨後に表面に残
る傷は重大な欠陥となる。
とされる平坦性を確保するために成板後研磨する場合、
トップスペックが研磨作業中にガラスより離脱し、研磨
剤中に混入してガラス表面を傷つけ、研磨後に表面に残
る傷は重大な欠陥となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかるフロ
ートガラス基板のトップスペックによるガラス研磨面の
傷を防止したフロートガラス基板の平坦化方法を提供す
るものである。
ートガラス基板のトップスペックによるガラス研磨面の
傷を防止したフロートガラス基板の平坦化方法を提供す
るものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、溶融金
属浴面上に溶融ガラスを連続的に流してガラスリボンを
形成し、このガラスリボンを溶融金属浴面に沿って前進
させて成板されたフロートガラス基板の表面に存在する
微小な異物を除去した後に該表面を研磨することを特徴
とするフロートガラス基板の平坦化方法を提供するもの
である。
属浴面上に溶融ガラスを連続的に流してガラスリボンを
形成し、このガラスリボンを溶融金属浴面に沿って前進
させて成板されたフロートガラス基板の表面に存在する
微小な異物を除去した後に該表面を研磨することを特徴
とするフロートガラス基板の平坦化方法を提供するもの
である。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明は、トップスペックを予め
除去した後、研磨を行うことにより、研磨面の傷を防止
するものである。トップスペックの除去は、フッ化水素
酸水溶液にフロートガラス基板を浸漬してトップスペッ
ク周辺のガラスを溶解する（以下、方法１という）、又
は、Ｃｒ2+を含む酸性水溶液にフロートガラス基板を浸
漬し、Ｃｒ2+の還元反応を利用してトップスペック自体
を酸で溶解する（以下、方法２という）ことによって行
う。
除去した後、研磨を行うことにより、研磨面の傷を防止
するものである。トップスペックの除去は、フッ化水素
酸水溶液にフロートガラス基板を浸漬してトップスペッ
ク周辺のガラスを溶解する（以下、方法１という）、又
は、Ｃｒ2+を含む酸性水溶液にフロートガラス基板を浸
漬し、Ｃｒ2+の還元反応を利用してトップスペック自体
を酸で溶解する（以下、方法２という）ことによって行
う。
【０００７】方法１では、反応物を溶解するためフッ化
水素酸に酸を添加するのが好ましく、たとえば、３ｗｔ
％ＨＦと３ｗｔ％Ｈ2 ＳＯ4 の１対１水溶液が挙げられ
る。この場合、液温２８℃でガラスの溶解速度は毎分約
０．５μであり、１５分程度ですべてのトップスペック
を除去できる。
水素酸に酸を添加するのが好ましく、たとえば、３ｗｔ
％ＨＦと３ｗｔ％Ｈ2 ＳＯ4 の１対１水溶液が挙げられ
る。この場合、液温２８℃でガラスの溶解速度は毎分約
０．５μであり、１５分程度ですべてのトップスペック
を除去できる。
【０００８】方法２では、Ｃｒ2+の空気酸化を防ぐた
め、イオン交換膜を用いた電解反応によって安定化を図
るのがよい。具体的には、希塩酸中で形成されたＣｒ2+
／Ｃｒ3+レドックス系を含む槽とレドックス系を含まな
い希硫酸溶液の槽を陽イオン交換膜で分離し、両槽に炭
素電極を挿入し、レドックス槽電極に負、希硫酸槽の電
極に正の電荷を印加した電解槽を用いて、レドックス系
槽にトップスペック（およびボトムスペック）を有する
フロートガラス基板を浸漬し、トップスペック等を除去
するのが好ましい。
め、イオン交換膜を用いた電解反応によって安定化を図
るのがよい。具体的には、希塩酸中で形成されたＣｒ2+
／Ｃｒ3+レドックス系を含む槽とレドックス系を含まな
い希硫酸溶液の槽を陽イオン交換膜で分離し、両槽に炭
素電極を挿入し、レドックス槽電極に負、希硫酸槽の電
極に正の電荷を印加した電解槽を用いて、レドックス系
槽にトップスペック（およびボトムスペック）を有する
フロートガラス基板を浸漬し、トップスペック等を除去
するのが好ましい。
【０００９】
［実施例１］３ｗｔ％ＨＦと３ｗｔ％Ｈ２ＳＯ４の１対
１水溶液に、１．１ｍｍ厚、３０ｃｍ角のフロートガラ
ス基板を浸漬した。液温は２８℃、浸漬時間は１５分と
した。このガラス３０枚をオスカー型研磨機で１分間研
磨した。研磨剤は酸化セリウムで循環使用した。研磨表
面の傷は、高輝度光源下で目視により検査し、ガラス面
上に傷が認められない場合をＡ、１個認められる場合を
Ｂ、２個以上認められる場合をＣとすると、浸漬処理せ
ずに研磨したものでは、Ａが８枚、Ｂが１０枚、Ｃが１
２枚であったのにたいし、上記浸漬処理をした後に研磨
したものでは、Ａが１９枚、Ｂが６枚、Ｃが５枚であっ
た。このことから、上記浸漬処理により明らかに表面の
傷が減少した。
１水溶液に、１．１ｍｍ厚、３０ｃｍ角のフロートガラ
ス基板を浸漬した。液温は２８℃、浸漬時間は１５分と
した。このガラス３０枚をオスカー型研磨機で１分間研
磨した。研磨剤は酸化セリウムで循環使用した。研磨表
面の傷は、高輝度光源下で目視により検査し、ガラス面
上に傷が認められない場合をＡ、１個認められる場合を
Ｂ、２個以上認められる場合をＣとすると、浸漬処理せ
ずに研磨したものでは、Ａが８枚、Ｂが１０枚、Ｃが１
２枚であったのにたいし、上記浸漬処理をした後に研磨
したものでは、Ａが１９枚、Ｂが６枚、Ｃが５枚であっ
た。このことから、上記浸漬処理により明らかに表面の
傷が減少した。
【００１０】［実施例２］金属クロムを６Ｎ塩酸と６Ｎ
硫酸の１対１水溶液に５ｗｔ％の濃度で溶解し、１．１
ｍｍ厚、３０ｃｍ角のフロートガラス基板を浸漬した。
液温は５０℃、浸漬時間は３分とした。このガラス３０
枚をオスカー型研磨機で１分間研磨した。研磨剤は酸化
セリウムで循環使用した。研磨表面の傷は、高輝度光源
下で目視により検査し、ガラス面上に傷が認められない
場合をＡ、１個認められる場合をＢ、２個以上認められ
る場合をＣとすると、浸漬処理せずに研磨したもので
は、Ａが８枚、Ｂが１０枚、Ｃが１２枚であったのに対
し、上記浸漬処理をした後に研磨したものでは、Ａが１
８枚、Ｂが６枚、Ｃが６枚であった。このことから、上
記浸漬処理により明らかに表面の傷が減少した。
硫酸の１対１水溶液に５ｗｔ％の濃度で溶解し、１．１
ｍｍ厚、３０ｃｍ角のフロートガラス基板を浸漬した。
液温は５０℃、浸漬時間は３分とした。このガラス３０
枚をオスカー型研磨機で１分間研磨した。研磨剤は酸化
セリウムで循環使用した。研磨表面の傷は、高輝度光源
下で目視により検査し、ガラス面上に傷が認められない
場合をＡ、１個認められる場合をＢ、２個以上認められ
る場合をＣとすると、浸漬処理せずに研磨したもので
は、Ａが８枚、Ｂが１０枚、Ｃが１２枚であったのに対
し、上記浸漬処理をした後に研磨したものでは、Ａが１
８枚、Ｂが６枚、Ｃが６枚であった。このことから、上
記浸漬処理により明らかに表面の傷が減少した。
【００１１】
【発明の効果】本発明によれば、トップスペックが予め
除去されているため、研磨剤中への混入がなく、トップ
スペックによってガラス表面が傷つくことがない。
除去されているため、研磨剤中への混入がなく、トップ
スペックによってガラス表面が傷つくことがない。
Claims (3)
- 【請求項１】溶融金属浴面上に溶融ガラスを連続的に流
してガラスリボンを形成し、このガラスリボンを溶融金
属浴面に沿って前進させて成板されたフロートガラス基
板の表面に存在する微小な異物を除去した後、前記フロ
ートガラス基板表面を研磨することを特徴とするフロー
トガラス基板の平坦化方法。 - 【請求項２】フッ化水素酸水溶液にフロートガラス基板
を浸漬することにより、 前記微小な異物を除去すること
を特徴とする請求項１のフロートガラス基板の平坦化方
法。 - 【請求項３】２価のクロムイオンを含む酸性水溶液にフ
ロートガラス基板を浸漬することにより、 前記微小な異
物を除去することを特徴とする請求項１のフロートガラ
ス基板の平坦化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10733196A JPH09295833A (ja) | 1996-04-26 | 1996-04-26 | フロートガラス基板の平坦化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10733196A JPH09295833A (ja) | 1996-04-26 | 1996-04-26 | フロートガラス基板の平坦化方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09295833A true JPH09295833A (ja) | 1997-11-18 |
Family
ID=14456349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10733196A Pending JPH09295833A (ja) | 1996-04-26 | 1996-04-26 | フロートガラス基板の平坦化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09295833A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102004045666A1 (de) * | 2004-09-18 | 2006-04-06 | Schott Ag | Gefloatetes Spezialglas sowie Verfahren zu seiner Herstellung |
| EP1803690A1 (en) * | 2005-10-06 | 2007-07-04 | Nippon Sheet Glass Company Limited | Method and apparatus for manufacturing float glass |
| DE102006003878A1 (de) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Schott Ag | Verfahren zum Verbessern der Oberflächenqualität von gefloatetem Flachglas |
| US7691279B2 (en) | 2003-03-27 | 2010-04-06 | Hoya Corporation | Method of producing a glass substrate for a mask blank and method of producing a mask blank |
| US7767929B2 (en) | 2003-02-04 | 2010-08-03 | Asahi Glass Company, Limited | Method for removing foreign matter on glass substrate surface |
| DE102010002731A1 (de) * | 2010-03-10 | 2011-09-15 | Schott Ag | Verfahren zur Entfernung von Rückständen auf Floatglasoberflächen |
| EP2371776A1 (en) | 2010-03-30 | 2011-10-05 | Linde Aktiengesellschaft | Method for producing flat glass |
| CN104870390A (zh) * | 2012-12-19 | 2015-08-26 | 旭硝子株式会社 | 玻璃基板表面的异物去除方法 |
| KR20160004275A (ko) | 2013-04-24 | 2016-01-12 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 플로트 판유리 제조 방법 |
| WO2016063046A1 (en) | 2014-10-21 | 2016-04-28 | Pilkington Group Limited | Glass treatment |
| KR20160046737A (ko) | 2014-10-21 | 2016-04-29 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 플로트 판유리의 제조 방법 및 플로트 판유리 |
-
1996
- 1996-04-26 JP JP10733196A patent/JPH09295833A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7767929B2 (en) | 2003-02-04 | 2010-08-03 | Asahi Glass Company, Limited | Method for removing foreign matter on glass substrate surface |
| US7691279B2 (en) | 2003-03-27 | 2010-04-06 | Hoya Corporation | Method of producing a glass substrate for a mask blank and method of producing a mask blank |
| DE102004045666B4 (de) * | 2004-09-18 | 2007-04-19 | Schott Ag | Gefloatetes Spezialglas sowie Verfahren zu seiner Herstellung |
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| DE102006003878B4 (de) * | 2006-01-27 | 2010-09-02 | Schott Ag | Verfahren zum Verbessern der Oberflächenqualität von gefloatetem Flachglas |
| DE102006003878A1 (de) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Schott Ag | Verfahren zum Verbessern der Oberflächenqualität von gefloatetem Flachglas |
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| EP2371776A1 (en) | 2010-03-30 | 2011-10-05 | Linde Aktiengesellschaft | Method for producing flat glass |
| CN104870390A (zh) * | 2012-12-19 | 2015-08-26 | 旭硝子株式会社 | 玻璃基板表面的异物去除方法 |
| KR20150099508A (ko) | 2012-12-19 | 2015-08-31 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 유리 기판 표면의 이물질 제거 방법 |
| KR20160004275A (ko) | 2013-04-24 | 2016-01-12 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 플로트 판유리 제조 방법 |
| WO2016063046A1 (en) | 2014-10-21 | 2016-04-28 | Pilkington Group Limited | Glass treatment |
| KR20160046737A (ko) | 2014-10-21 | 2016-04-29 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 플로트 판유리의 제조 방법 및 플로트 판유리 |
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