JPH09293685A5 - - Google Patents

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JPH09293685A5 JP1997059983A JP5998397A JPH09293685A5 JP H09293685 A5 JPH09293685 A5 JP H09293685A5 JP 1997059983 A JP1997059983 A JP 1997059983A JP 5998397 A JP5998397 A JP 5998397A JP H09293685 A5 JPH09293685 A5 JP H09293685A5
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3264879B2 (ja) * 1997-11-28 2002-03-11 東京エレクトロン株式会社 基板処理システム、インターフェイス装置、および基板搬送方法
US6811040B2 (en) * 2001-07-16 2004-11-02 Rohm And Haas Company Wafer holding apparatus
KR20030087285A (ko) * 2002-05-08 2003-11-14 동부전자 주식회사 반도체 공정 장비의 링형 보트 탑 커버
JP2007329476A (ja) * 2006-06-02 2007-12-20 Rohm & Haas Electronic Materials Llc フィレット半径結合部を有する装置
TWI361469B (en) * 2007-03-09 2012-04-01 Rohm & Haas Elect Mat Chemical vapor deposited silicon carbide articles
KR101035552B1 (ko) * 2011-03-24 2011-05-23 (주)상아프론테크 솔라웨이퍼 카세트
JP2015070046A (ja) * 2013-09-27 2015-04-13 株式会社日立国際電気 基板保持具

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS492549B1 (enrdf_load_html_response) * 1968-12-14 1974-01-21
JPH0770494B2 (ja) * 1986-10-15 1995-07-31 東海高熱工業株式会社 半導体製造用ウエハ−ボ−トの製法
JPH0777989B2 (ja) * 1989-01-25 1995-08-23 同和鉱業株式会社 セラミックスと金属の接合体の製造法
JPH04300262A (ja) * 1991-03-28 1992-10-23 Shin Etsu Chem Co Ltd 炭化珪素質治具
JP2815075B2 (ja) * 1992-03-25 1998-10-27 日本碍子 株式会社 セラミックス接合体及びその製造方法
JP3348936B2 (ja) * 1993-10-21 2002-11-20 東京エレクトロン株式会社 縦型熱処理装置
JP2984169B2 (ja) * 1993-06-16 1999-11-29 東芝セラミックス株式会社 セラミックス接合用コンパウンド及びセラミック接合体
JP3650423B2 (ja) * 1994-09-30 2005-05-18 東芝セラミックス株式会社 ウエハボート

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