JPH09288066A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
表面欠陥検査装置Info
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- JPH09288066A JPH09288066A JP8102763A JP10276396A JPH09288066A JP H09288066 A JPH09288066 A JP H09288066A JP 8102763 A JP8102763 A JP 8102763A JP 10276396 A JP10276396 A JP 10276396A JP H09288066 A JPH09288066 A JP H09288066A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 色ものの多品種生産に係る被検査物の表面欠
陥の検査ができる表面欠陥検査装置を提供する。 【解決手段】 光線を被検査物４に当ててその反射光を
ＣＣＤカメラ３３で捕らえ、得られた画像出力データを
オートゲインコントロール（ＡＧＣ）回路３７に導入す
ることにより、全ての色の出力を一定電圧レベルまで引
き上げ、色差に起因する出力電圧差をキャンセルして得
られる出力電圧データもしくは微分、積分処理した出力
電圧データを中央処理装置３４に導入して全色統一のし
きい値と比較して判定することにより、被検査物４の表
面欠陥部分の異常出力を発見し、出力装置３６に出力す
る表面欠陥検査装置。
陥の検査ができる表面欠陥検査装置を提供する。 【解決手段】 光線を被検査物４に当ててその反射光を
ＣＣＤカメラ３３で捕らえ、得られた画像出力データを
オートゲインコントロール（ＡＧＣ）回路３７に導入す
ることにより、全ての色の出力を一定電圧レベルまで引
き上げ、色差に起因する出力電圧差をキャンセルして得
られる出力電圧データもしくは微分、積分処理した出力
電圧データを中央処理装置３４に導入して全色統一のし
きい値と比較して判定することにより、被検査物４の表
面欠陥部分の異常出力を発見し、出力装置３６に出力す
る表面欠陥検査装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、従来、例えば様々
な色の装飾用シート等の被検査物の表面のスジ、ブツと
いった欠陥を目視で検査していたものを、ＣＣＤカメラ
を用いて、様々な色の被検査物の表面形状欠陥を検出す
る表面欠陥検査装置に関するものである。
な色の装飾用シート等の被検査物の表面のスジ、ブツと
いった欠陥を目視で検査していたものを、ＣＣＤカメラ
を用いて、様々な色の被検査物の表面形状欠陥を検出す
る表面欠陥検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来技術】従来より、被検査物に光を当てて表面の凹
凸を捕らえるという外観検査法が行われており、例え
ば、特開平５−２９６９４１号公報には、その反射光を
ＣＣＤカメラで捕らえ、光量の変化に基づき検査対象物
の欠陥を検出する機構を有する表面欠陥検査装置が開示
されている。
凸を捕らえるという外観検査法が行われており、例え
ば、特開平５−２９６９４１号公報には、その反射光を
ＣＣＤカメラで捕らえ、光量の変化に基づき検査対象物
の欠陥を検出する機構を有する表面欠陥検査装置が開示
されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
如き従来の方法は、同一色の製品には効果的であるが、
異なる色の製品を多く持つ多品種製品群に適用して、同
じしきい値に基づいて判断すると、製品の色により検査
結果が異なり、色によって検査結果が甘くなったり、厳
しくなったりするため、誤検出を免れることができなか
った。即ち、一様に同じしきい値を設定すると、ある色
では良品部分を不良品として認識したり、またある色で
は不良品部分を良品として認識するという問題が発生す
ることになる。
如き従来の方法は、同一色の製品には効果的であるが、
異なる色の製品を多く持つ多品種製品群に適用して、同
じしきい値に基づいて判断すると、製品の色により検査
結果が異なり、色によって検査結果が甘くなったり、厳
しくなったりするため、誤検出を免れることができなか
った。即ち、一様に同じしきい値を設定すると、ある色
では良品部分を不良品として認識したり、またある色で
は不良品部分を良品として認識するという問題が発生す
ることになる。
【０００４】そこで、本発明者らはＣＣＤカメラの捕ら
える出力データが、被検査物の色により異なる理由を追
求したところ、被検査物の色と出力電圧との間に、一定
の関があることをつきとめた。つまり、光学的に、ＣＣ
Ｄカメラからの出力電圧と製品の色との間には明確な相
関関係が成立していることが明確となった。
える出力データが、被検査物の色により異なる理由を追
求したところ、被検査物の色と出力電圧との間に、一定
の関があることをつきとめた。つまり、光学的に、ＣＣ
Ｄカメラからの出力電圧と製品の色との間には明確な相
関関係が成立していることが明確となった。
【０００５】本発明は、上記の如き知見に基づいて、従
来の問題点を解消し、色ものの多品種生産に係る被検査
物の表面欠陥の検査ができる表面欠陥検査装置を提供す
ることを目的としてなされたものである。
来の問題点を解消し、色ものの多品種生産に係る被検査
物の表面欠陥の検査ができる表面欠陥検査装置を提供す
ることを目的としてなされたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１および２に記載
の発明において、被検査物の表面欠陥とは、例えば、同
一厚みのシート状被検査物表面に山形又は谷形の連続し
たいわゆるスジ状欠陥がある状態や、一部が盛り上がっ
たいわゆるブツ状欠陥がある状態をいう。
の発明において、被検査物の表面欠陥とは、例えば、同
一厚みのシート状被検査物表面に山形又は谷形の連続し
たいわゆるスジ状欠陥がある状態や、一部が盛り上がっ
たいわゆるブツ状欠陥がある状態をいう。
【０００７】請求項１および２に記載の発明におけるし
きい値とは、良品サンプルの平均出力電圧値にオフセッ
ト値を上乗せしたものであり、良品サンプルの平均出力
電圧値および不良品サンプルの異常出力電圧値から適宜
求められる。しきい値としては、上限値もしくは下限
値、あるいは上限値と下限値の両方を設定することがで
きる。
きい値とは、良品サンプルの平均出力電圧値にオフセッ
ト値を上乗せしたものであり、良品サンプルの平均出力
電圧値および不良品サンプルの異常出力電圧値から適宜
求められる。しきい値としては、上限値もしくは下限
値、あるいは上限値と下限値の両方を設定することがで
きる。
【０００８】まず、本願の請求項１に記載の発明（以
下、本発明１という）について説明する。本発明１は、
光線を被検査物に当てて、その透過光もしくは反射光を
ＣＣＤカメラで捕らえ、得られた画像信号を変換した出
力電圧もしくは更に微分、積分処理された出力電圧を中
央処理装置に導入して、上記中央処理装置内で外部入力
装置から送信される被検査物の各色に対応したしきい値
と上記出力電圧とを比較することにより、被検査物の表
面欠陥部分の異常出力を発見し、出力装置に出力する表
面欠陥検査装置において、上記しきい値を特定の関係式
から色毎に求めることを特徴とするものである。
下、本発明１という）について説明する。本発明１は、
光線を被検査物に当てて、その透過光もしくは反射光を
ＣＣＤカメラで捕らえ、得られた画像信号を変換した出
力電圧もしくは更に微分、積分処理された出力電圧を中
央処理装置に導入して、上記中央処理装置内で外部入力
装置から送信される被検査物の各色に対応したしきい値
と上記出力電圧とを比較することにより、被検査物の表
面欠陥部分の異常出力を発見し、出力装置に出力する表
面欠陥検査装置において、上記しきい値を特定の関係式
から色毎に求めることを特徴とするものである。
【０００９】本発明１では、ＣＣＤカメラからの画像信
号から得られる被検査物の出力電圧について、以下のよ
うな関係があることが確認された。 Ｖ＝ｋΣ＋ａ ・・・（１）
号から得られる被検査物の出力電圧について、以下のよ
うな関係があることが確認された。 Ｖ＝ｋΣ＋ａ ・・・（１）
【００１０】式（１）中の各記号の意味は以下の通りで
ある。 Ｖ：被検査物の出力電圧（単位：ボルト） ｋ：比例定数 Σ：全光線の総和（光源の分光エネルギー分布×製品色
の分光反射率×ＣＣＤの相対感度） ａ：Ｖ切片
ある。 Ｖ：被検査物の出力電圧（単位：ボルト） ｋ：比例定数 Σ：全光線の総和（光源の分光エネルギー分布×製品色
の分光反射率×ＣＣＤの相対感度） ａ：Ｖ切片
【００１１】図１は、式（１）中のΣの例としての、蛍
光灯光源からの照射光、および蛍光灯の白フィルムでの
反射光の各波長における分光エネルギー分布、更には各
波長におけるＣＣＤカメラの相対感度を図示したもので
ある。図２は、ＣＣＤカメラで実際に測定した、様々な
色の被検査物の出力電圧Ｖと、各色の全光線の総和Σと
の関係を示したものである。
光灯光源からの照射光、および蛍光灯の白フィルムでの
反射光の各波長における分光エネルギー分布、更には各
波長におけるＣＣＤカメラの相対感度を図示したもので
ある。図２は、ＣＣＤカメラで実際に測定した、様々な
色の被検査物の出力電圧Ｖと、各色の全光線の総和Σと
の関係を示したものである。
【００１２】上記Σは、前述の通り、製品色の分光反射
率、つまり色の要素をパラメーターとして含むものであ
って、光学的に、ＣＣＤカメラからの画像信号から得ら
れる被検査物の出力電圧と色との間には明確な相関関係
が成立し、色の違いによる検査結果への影響は、これに
由来していることが明確となった。
率、つまり色の要素をパラメーターとして含むものであ
って、光学的に、ＣＣＤカメラからの画像信号から得ら
れる被検査物の出力電圧と色との間には明確な相関関係
が成立し、色の違いによる検査結果への影響は、これに
由来していることが明確となった。
【００１３】そこで、本発明１においては、被検査物の
色としきい値との間の関係式を明確にし、各色毎のしき
い値を簡単な測定と計算から容易に算出できるように
し、全ての色の被検査物の表面欠陥についてほぼ同じ精
度の検査を実施でき、被検査物の色による検査結果の違
いをなくすることができるものである。
色としきい値との間の関係式を明確にし、各色毎のしき
い値を簡単な測定と計算から容易に算出できるように
し、全ての色の被検査物の表面欠陥についてほぼ同じ精
度の検査を実施でき、被検査物の色による検査結果の違
いをなくすることができるものである。
【００１４】即ち、まず、ある数品種から上記（１）式
を予め求めておく。次に、ある条件において、基準とな
る色（例えば、白色）のΣと被検査物の色（例えば、赤
色）のΣを測定することにより、ある検査条件における
両出力電圧および出力電圧比が求められる。更に予め基
準となる色のしきい値を求めておき、それに上記出力電
圧比を掛け合わせることで、上記基準となる色のしきい
値とほぼ同一の精度を有する被検査物のしきい値を容易
に求めることができ、この結果、必要とする他の全ての
色のしきい値を容易に求めることができる。これを外部
入力装置に記憶させ、検査時に中央処理装置に被検査物
の色に対応したしきい値信号を送信することにより、目
的が達成されるものである。
を予め求めておく。次に、ある条件において、基準とな
る色（例えば、白色）のΣと被検査物の色（例えば、赤
色）のΣを測定することにより、ある検査条件における
両出力電圧および出力電圧比が求められる。更に予め基
準となる色のしきい値を求めておき、それに上記出力電
圧比を掛け合わせることで、上記基準となる色のしきい
値とほぼ同一の精度を有する被検査物のしきい値を容易
に求めることができ、この結果、必要とする他の全ての
色のしきい値を容易に求めることができる。これを外部
入力装置に記憶させ、検査時に中央処理装置に被検査物
の色に対応したしきい値信号を送信することにより、目
的が達成されるものである。
【００１５】また、出力電圧波形を微分処理もしくは積
分処理することにより、出力電圧波形の異常波形を際立
たせ、この際のしきい値と比較することにより、より効
果的に異常出力の検出が可能となる。
分処理することにより、出力電圧波形の異常波形を際立
たせ、この際のしきい値と比較することにより、より効
果的に異常出力の検出が可能となる。
【００１６】次に、本願の請求項２に記載の発明（以
下、本発明２という）について説明する。本発明２は、
光線を被検査物に当てて、その透過光もしくは反射光を
ＣＣＤカメラで捕らえ、得られた画像信号を変換した出
力電圧もしくは更に微分、積分処理された出力電圧を、
オートゲインコントロール回路に導入することにより全
ての色の出力電圧を自動的に一定電圧レベルまで引き上
げ、色間差に起因する出力電圧差をキャンセルした出力
電圧となし、中央処理装置に導入してしきい値と比較し
て判定することにより、被検査物の表面欠陥部分の異常
出力を発見し、出力装置に出力する表面欠陥検査装置で
ある。
下、本発明２という）について説明する。本発明２は、
光線を被検査物に当てて、その透過光もしくは反射光を
ＣＣＤカメラで捕らえ、得られた画像信号を変換した出
力電圧もしくは更に微分、積分処理された出力電圧を、
オートゲインコントロール回路に導入することにより全
ての色の出力電圧を自動的に一定電圧レベルまで引き上
げ、色間差に起因する出力電圧差をキャンセルした出力
電圧となし、中央処理装置に導入してしきい値と比較し
て判定することにより、被検査物の表面欠陥部分の異常
出力を発見し、出力装置に出力する表面欠陥検査装置で
ある。
【００１７】本発明２は、全ての色の被検査物の表面欠
陥について、同じしきい値を用いて検査を実施できるよ
うにしたものであり、オートゲインコントロール回路
（以下、「ＡＧＣ回路」とする）を用いることで、全て
の色特有の平均出力電圧を一定値に自動的に引き上げ、
色の要素を消去して被検査物の表面欠陥を検出すること
ができるようにしたものである。即ち、ＡＧＣ回路に
て、どの被検査物の出力電圧も一定電圧レベル（例え
ば、３ボルト）まで引き上げることにより色の要素を消
去した出力電圧にすることができるので、この出力電圧
データを中央処理装置にて色の要素とは全く関係のない
全色統一のしきい値に基づいて被検査物の表面欠陥を判
定することができるのである。
陥について、同じしきい値を用いて検査を実施できるよ
うにしたものであり、オートゲインコントロール回路
（以下、「ＡＧＣ回路」とする）を用いることで、全て
の色特有の平均出力電圧を一定値に自動的に引き上げ、
色の要素を消去して被検査物の表面欠陥を検出すること
ができるようにしたものである。即ち、ＡＧＣ回路に
て、どの被検査物の出力電圧も一定電圧レベル（例え
ば、３ボルト）まで引き上げることにより色の要素を消
去した出力電圧にすることができるので、この出力電圧
データを中央処理装置にて色の要素とは全く関係のない
全色統一のしきい値に基づいて被検査物の表面欠陥を判
定することができるのである。
【００１８】また、本発明１と同様に、一定電圧レベル
までオートゲインされた出力電圧を微分処理もしくは積
分処理することにより、出力電圧波形の異常波形を際立
たせ、しきい値と比較することにより、より効果的に異
常出力の検出が可能となる。
までオートゲインされた出力電圧を微分処理もしくは積
分処理することにより、出力電圧波形の異常波形を際立
たせ、しきい値と比較することにより、より効果的に異
常出力の検出が可能となる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図面を
参照して説明する。被検査物として軟質塩化ビニル樹脂
製のカラーフィルムを用いた。軟質塩化ビニル樹脂製カラーフィルムの作成 塩化ビニル樹脂１００重量部、可塑剤としてジオクチル
フタレート２０重量部、安定剤としてＢａ−Ｚｎ系安定
剤５重量部、各種顔料１５重量部および有機溶剤６０重
量部からなる軟質塩化ビニル樹脂ゾルを工程紙上に塗布
乾燥し、加熱溶融することにより様々な色の軟質塩化ビ
ニル樹脂製カラーフィルム（厚み１００μｍ）を得た。
参照して説明する。被検査物として軟質塩化ビニル樹脂
製のカラーフィルムを用いた。軟質塩化ビニル樹脂製カラーフィルムの作成 塩化ビニル樹脂１００重量部、可塑剤としてジオクチル
フタレート２０重量部、安定剤としてＢａ−Ｚｎ系安定
剤５重量部、各種顔料１５重量部および有機溶剤６０重
量部からなる軟質塩化ビニル樹脂ゾルを工程紙上に塗布
乾燥し、加熱溶融することにより様々な色の軟質塩化ビ
ニル樹脂製カラーフィルム（厚み１００μｍ）を得た。
【００２０】表面欠陥フィルムの作成 次いで、表面に欠陥のない白色およびダークブルーの軟
質塩化ビニル樹脂フィルムの表面に、目視で表面欠陥と
して認識されるようなカッターによる疵および熱ローラ
ーによる加圧スジを形成することによって表面欠陥フィ
ルムを作成した。
質塩化ビニル樹脂フィルムの表面に、目視で表面欠陥と
して認識されるようなカッターによる疵および熱ローラ
ーによる加圧スジを形成することによって表面欠陥フィ
ルムを作成した。
【００２１】実施例１ 表面欠陥検査装置として使用したものを図３に示す。こ
の表面欠陥検査装置１は、被検査物２が通されたロール
１１の幅方向と平行に、蛍光灯光源１２が配置されてい
る。蛍光灯光源１２からの照射光を被検査物２に当て、
その入射角と直角をなす方向に反射する反射光を捕らえ
るようにＣＣＤカメラ１３が配置されている。
の表面欠陥検査装置１は、被検査物２が通されたロール
１１の幅方向と平行に、蛍光灯光源１２が配置されてい
る。蛍光灯光源１２からの照射光を被検査物２に当て、
その入射角と直角をなす方向に反射する反射光を捕らえ
るようにＣＣＤカメラ１３が配置されている。
【００２２】ＣＣＤカメラ１３は中央処理装置１４に連
結されており、ＣＣＤカメラ１３からの出力電圧を中央
処理装置１４に導入することができるようになってい
る。１５はしきい値が入力される外部入力装置であり、
中央処理装置１４と連結されており、入力されたしきい
値を中央処理装置１４に送信することができるようにな
っている。
結されており、ＣＣＤカメラ１３からの出力電圧を中央
処理装置１４に導入することができるようになってい
る。１５はしきい値が入力される外部入力装置であり、
中央処理装置１４と連結されており、入力されたしきい
値を中央処理装置１４に送信することができるようにな
っている。
【００２３】上記しきい値とＣＣＤカメラからの出力電
圧とを比較することで表面欠陥部分の異常出力を確認す
る。中央処理装置１４には、出力装置１６が連結されて
おり、被検査物２の表面欠陥部分の異常出力を出力する
ことができるようになっている。
圧とを比較することで表面欠陥部分の異常出力を確認す
る。中央処理装置１４には、出力装置１６が連結されて
おり、被検査物２の表面欠陥部分の異常出力を出力する
ことができるようになっている。
【００２４】図３に示す装置１を用いて、被検査物とし
ての種々の色のフィルムに対して蛍光灯光源１２から光
線を当ててその反射光をＣＣＤカメラ１３で捕らえ、得
られた出力電圧（Ｖ）と全光線の総和（Σ）との関係を
算出したところ、図２に示す通りとなった。この関係を
前述の式（１）に当てはめると、 Ｖ＝０．００４４×Σ＋０．６２ ・・・（２） という関係となる。このときの試験範囲内でのΣの、最
大値は白色フィルムの２０８．３であり、最小値はダー
クブルーフィルムの１２．２であった。
ての種々の色のフィルムに対して蛍光灯光源１２から光
線を当ててその反射光をＣＣＤカメラ１３で捕らえ、得
られた出力電圧（Ｖ）と全光線の総和（Σ）との関係を
算出したところ、図２に示す通りとなった。この関係を
前述の式（１）に当てはめると、 Ｖ＝０．００４４×Σ＋０．６２ ・・・（２） という関係となる。このときの試験範囲内でのΣの、最
大値は白色フィルムの２０８．３であり、最小値はダー
クブルーフィルムの１２．２であった。
【００２５】そして、実際の白色フィルムにおいて、良
品サンプルと欠陥サンプルの出力電圧から決定した上限
のしきい値を５ボルトとしたとき、それに対応するダー
クブルーフィルムの上限のしきい値を計算すると、 ５：Ｘ ＝ （０．００４４×２０８．３＋０．６
２）：（０．００４４×１２．２＋０．６２） Ｘ ＝ ２．１９（ボルト）となる。 これと同様にして、その他の色のしきい値を計算して、
外部入力装置１５に入力した。
品サンプルと欠陥サンプルの出力電圧から決定した上限
のしきい値を５ボルトとしたとき、それに対応するダー
クブルーフィルムの上限のしきい値を計算すると、 ５：Ｘ ＝ （０．００４４×２０８．３＋０．６
２）：（０．００４４×１２．２＋０．６２） Ｘ ＝ ２．１９（ボルト）となる。 これと同様にして、その他の色のしきい値を計算して、
外部入力装置１５に入力した。
【００２６】被検査物として、上記各色の表面欠陥フィ
ルムに対して蛍光灯光源１２から光線を当ててその反射
光をＣＣＤカメラ１３で捕らえ、得られた出力電圧（ボ
ルト）を、中央処理装置１４にて、外部入力装置１５か
ら送信されるフィルムの各色に対応したしきい値に基づ
いて判定して、フィルムの表面欠陥部分の異常出力を出
力装置に出力した。これにより、上記各色のフィルムの
表面欠陥は、全て表面欠陥として認識されていることが
確認された。
ルムに対して蛍光灯光源１２から光線を当ててその反射
光をＣＣＤカメラ１３で捕らえ、得られた出力電圧（ボ
ルト）を、中央処理装置１４にて、外部入力装置１５か
ら送信されるフィルムの各色に対応したしきい値に基づ
いて判定して、フィルムの表面欠陥部分の異常出力を出
力装置に出力した。これにより、上記各色のフィルムの
表面欠陥は、全て表面欠陥として認識されていることが
確認された。
【００２７】実施例２ 表面欠陥検査装置として使用したものを図４に示す。こ
の表面欠陥検査装置３は、被検査物４が通されたロール
３１の幅方向と平行に、蛍光灯光源３２が配置されてい
る。蛍光灯光源３２からの照射光を被検査物４に当て、
その入射角と直角をなす方向に反射する反射光を捕らえ
るようにＣＣＤカメラ３３が配置されている。
の表面欠陥検査装置３は、被検査物４が通されたロール
３１の幅方向と平行に、蛍光灯光源３２が配置されてい
る。蛍光灯光源３２からの照射光を被検査物４に当て、
その入射角と直角をなす方向に反射する反射光を捕らえ
るようにＣＣＤカメラ３３が配置されている。
【００２８】ＣＣＤカメラ３３から得られた画像出力デ
ータは、ＡＧＣ回路３７を経て中央処理装置３４に連結
されており、ＣＣＤカメラ３３からの出力をＡＧＣ回路
３７を経ることにより全ての色に対して一定電圧（この
場合は３ボルト）まで引き上げた後、中央処理装置３４
に導入することができるようになっている。
ータは、ＡＧＣ回路３７を経て中央処理装置３４に連結
されており、ＣＣＤカメラ３３からの出力をＡＧＣ回路
３７を経ることにより全ての色に対して一定電圧（この
場合は３ボルト）まで引き上げた後、中央処理装置３４
に導入することができるようになっている。
【００２９】中央処理装置３４には、出力装置３６が連
結されており、被検査物４の表面欠陥部分の異常出力を
出力することができるようになっている。ＡＧＣ回路と
して、全ての色の出力電圧が一定電圧レベルである３ボ
ルトとなるようなものを用いた。
結されており、被検査物４の表面欠陥部分の異常出力を
出力することができるようになっている。ＡＧＣ回路と
して、全ての色の出力電圧が一定電圧レベルである３ボ
ルトとなるようなものを用いた。
【００３０】図４に示すように、被検査物としての白色
とダークブルーの間の各色のフィルム４に対して蛍光灯
光源３２から光線を当ててその反射光をＣＣＤカメラ３
３で捕らえ、得られた出力電圧（ボルト）を、ＡＧＣ回
路３７を経て中央処理装置３４に導入した。
とダークブルーの間の各色のフィルム４に対して蛍光灯
光源３２から光線を当ててその反射光をＣＣＤカメラ３
３で捕らえ、得られた出力電圧（ボルト）を、ＡＧＣ回
路３７を経て中央処理装置３４に導入した。
【００３１】ＡＧＣ回路にて、全ての色の出力を３ボル
トまで引き上げて、色間差に起因する出力電圧差をキャ
ンセルした出力となし、この出力を中央処理装置３４に
導入して、しきい値（良品サンプルと欠陥サンプルの出
力電圧から決定した上限のしきい値、この場合は５ボル
ト）に基づいて判定し、フィルムの表面欠陥部分の異常
出力を出力装置に出力した。
トまで引き上げて、色間差に起因する出力電圧差をキャ
ンセルした出力となし、この出力を中央処理装置３４に
導入して、しきい値（良品サンプルと欠陥サンプルの出
力電圧から決定した上限のしきい値、この場合は５ボル
ト）に基づいて判定し、フィルムの表面欠陥部分の異常
出力を出力装置に出力した。
【００３２】実施例１で作成した上記各色のフィルムに
ついて測定したところ、上記各色のフィルムの表面欠陥
は、全て表面欠陥として認識されていることが確認され
た。
ついて測定したところ、上記各色のフィルムの表面欠陥
は、全て表面欠陥として認識されていることが確認され
た。
【００３３】
【発明の効果】本発明１の表面欠陥検査装置は、上記の
如き構成を有しているので、例えば、装飾用シート等の
ように様々な色品種を要求される製品の表面欠陥の検出
において、各色のしきい値を簡単に求めることができ、
色に関係なく同一レベルの表面欠陥検査ができるものと
なっている。また、本発明２の表面欠陥検査装置は、上
記の如き構成とされているので、例えば、装飾用シート
等の様々な色品種を要求される製品の表面欠陥の検出に
おいて、各色毎にしきい値を測定し、色毎に変更するこ
となく、ただ１つのしきい値で色に関係なく同一レベル
の表面欠陥検査ができるものとなっている。
如き構成を有しているので、例えば、装飾用シート等の
ように様々な色品種を要求される製品の表面欠陥の検出
において、各色のしきい値を簡単に求めることができ、
色に関係なく同一レベルの表面欠陥検査ができるものと
なっている。また、本発明２の表面欠陥検査装置は、上
記の如き構成とされているので、例えば、装飾用シート
等の様々な色品種を要求される製品の表面欠陥の検出に
おいて、各色毎にしきい値を測定し、色毎に変更するこ
となく、ただ１つのしきい値で色に関係なく同一レベル
の表面欠陥検査ができるものとなっている。
【図１】式（１）中のΣの例としての、蛍光灯光源から
の照射光および白フィルムでの反射光の各波長における
分光エネルギー分布、および各波長におけるＣＣＤの相
対感度を図示したグラフである。
の照射光および白フィルムでの反射光の各波長における
分光エネルギー分布、および各波長におけるＣＣＤの相
対感度を図示したグラフである。
【図２】ＣＣＤカメラで実際に測定した様々な色の被検
査物の出力電圧（Ｖ）と、各色の反射による全光線の総
和（Σ）との関係を示したグラフである。
査物の出力電圧（Ｖ）と、各色の反射による全光線の総
和（Σ）との関係を示したグラフである。
【図３】実施例１で使用した表面欠陥検査用の装置、及
び表面欠陥検査装置を説明する模式図である。
び表面欠陥検査装置を説明する模式図である。
【図４】実施例２で使用した表面欠陥検査用の装置、及
び表面欠陥検査装置を説明する模式図である。
び表面欠陥検査装置を説明する模式図である。
１，３ 装置 ２，４ 被検査物 １１，３１ ローラ １２，３２ 蛍光灯光源 １３，３３ ＣＣＤカメラ １４，３４ 中央処理装置 １５ 外部入力装置 １６，３６ 出力装置 ３７ ＡＧＣ回路
Claims (2)
- 【請求項１】 光線を被検査物に当てて、その透過光も
しくは反射光をＣＣＤカメラで捕らえ、得られた画像信
号を変換した出力電圧もしくは更に微分、積分処理され
た出力電圧を中央処理装置に導入して、上記中央処理装
置内で外部入力装置から送信される被検査物の各色に対
応したしきい値と上記出力電圧とを比較することによ
り、被検査物の表面欠陥部分の異常出力を発見し、出力
装置に出力する表面欠陥検査装置において、 上記しきい値を設定する際に、予め各色と出力電圧との
関係を下式（１） Ｖ＝ｋΣ＋ａ ・・・（１） 〔但し、Ｖ：被検査物の出力電圧、ｋ：比例定数、Σ：
全光線の総和（光源の分光エネルギー分布×被検査物の
色の分光反射率×ＣＣＤの相対感度）、ａ：Ｖ切片をそ
れぞれ示す〕から求めておき、更にこれに基準となる色
の出力電圧と、被検査物の色の出力電圧との相対比を乗
ずることにより、全ての色のしきい値を個々に設定する
ことを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 【請求項２】 光線を被検査物に当てて、その透過光も
しくは反射光をＣＣＤカメラで捕らえ、得られた画像信
号を変換した出力電圧もしくは更に微分、積分処理され
た出力電圧を、オートゲインコントロール回路に導入す
ることにより全ての色の出力電圧を自動的に一定電圧レ
ベルまで引き上げて色間差に起因する出力電圧差をキャ
ンセルした出力電圧となし、中央処理装置に導入してし
きい値と比較して判定することにより、被検査物の表面
欠陥部分の異常出力を発見し、出力装置に出力する表面
欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10276396A JP3340312B2 (ja) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 表面欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10276396A JP3340312B2 (ja) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 表面欠陥検査装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002168936A Division JP2003035676A (ja) | 2002-06-10 | 2002-06-10 | 表面欠陥検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09288066A true JPH09288066A (ja) | 1997-11-04 |
| JP3340312B2 JP3340312B2 (ja) | 2002-11-05 |
Family
ID=14336237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10276396A Expired - Fee Related JP3340312B2 (ja) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 表面欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3340312B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009047940A1 (ja) * | 2007-10-12 | 2009-04-16 | Osaka Sangyo University | 異物検出装置、異物検出方法、及びコンピュータプログラム |
| JP2014089156A (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-15 | Toyota Motor Corp | 外観検査方法 |
| CN111007076A (zh) * | 2018-10-05 | 2020-04-14 | 柯尼卡美能达株式会社 | 图像检查装置、图像检查方法以及图像检查程序 |
-
1996
- 1996-04-24 JP JP10276396A patent/JP3340312B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009047940A1 (ja) * | 2007-10-12 | 2009-04-16 | Osaka Sangyo University | 異物検出装置、異物検出方法、及びコンピュータプログラム |
| JP2014089156A (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-15 | Toyota Motor Corp | 外観検査方法 |
| CN111007076A (zh) * | 2018-10-05 | 2020-04-14 | 柯尼卡美能达株式会社 | 图像检查装置、图像检查方法以及图像检查程序 |
| CN111007076B (zh) * | 2018-10-05 | 2022-08-23 | 柯尼卡美能达株式会社 | 图像检查装置、图像检查方法以及记录介质 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3340312B2 (ja) | 2002-11-05 |
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