JPH09286481A

JPH09286481A - 基板洗浄用フレームマガジン

Info

Publication number: JPH09286481A
Application number: JP8098333A
Authority: JP
Inventors: Tomohide Tokumaru; 知秀徳丸; Ken Yamagishi; 建山岸
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1996-04-19
Filing date: 1996-04-19
Publication date: 1997-11-04

Abstract

(57)【要約】【課題】効率良くしかも確実にＢＧＡ基板等を洗浄す
ることが出来、水切れも十分で、しかも次の工程に於て
ＢＧＡ基板等の供給治具としても利用可能な基板洗浄用
フレームマガジンを提供する。【解決手段】基板洗浄用フレームマガジン１００は、
底に相当する部分が開放されている。この開放部分には
下方支承手段２３，２４が配置されており、洗浄される
基板３１は、下がこの下方支承手段で支承される。底に
相当する部分が開放されているので、洗浄槽４１からの
引き上げの際、水切れ、特に縦溝２１に存在する洗浄液
の下降、滴下が円滑になる。側面支承手段１１，１２に
は、収容された各基板の間に相当する位置に洗浄液の通
過窓２２が形成されている。洗浄槽４１内に噴出された
洗浄液は、この通過窓から渦を巻きながら各基板の間に
流入し、夫々の基板を十分に洗浄する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は基板洗浄用フレーム
マガジンに関し、特に、半田ボール取着後にＢＧＡ基板
に残るフラックスの洗浄に好適な基板洗浄用フレームマ
ガジンに関する。（ＢＧＡ基板＝ボールグリッドアレイ
型の半導体パッケージ用基板。）

【０００２】

【従来の技術】ＢＧＡ基板は、リードフレーム部品と同
様に、複数のパッケージが短冊状に連設されている。そ
の下面側にフラックスを塗布し、半田ボールを付けた後
にリフローを通し、次いでフラックスを除去する為の洗
浄が行なわれる。

【０００３】従来この洗浄は、キャリヤ型治具、例えば
図８（Ａ）に示すような板金製の治具ａに、ＢＧＡ基板
ｂを保持して実施していた。

【０００４】しかしこの方式では、ＢＧＡ基板ｂをキャ
リヤａに取り付けたり、取り外したりするという作業が
必要であり、これが自動化へのネックの一つになってい
た。この対策として、例えば図８（Ｂ）に示すようなフ
レームマガジンｃを使用することが考えられる。これを
使用すれば、リフローのあと、これにＢＧＡ基板ｂを一
度収納するだけで、洗浄、乾燥を行なうことが出来、更
にその儘、部品供給用の治具として、次の工程でのＢＧ
Ａ基板ｂの自動供給にも利用することが出来る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし上記従来のフレ
ームマガジンｃは、元々、保管用の治具としてしか考え
られていなかった。この為、単に入口、出口が設けられ
ている、といった程度の構造のものであって、例えば側
面が板で目隠しされているなど、内部への洗浄液の流通
は全く考慮されておらず、洗浄の完全性、効率何れの面
でも洗浄作業には不向きというものであった。

【０００６】またＢＧＡ基板ｂは、図９に示すように、
その側面ｄがフレームマガジンｃの溝ｅに挿し込まれて
保持されるが、このような従来のフレームマガジンｃで
洗浄を行なうと、洗浄後に、この溝ｅに洗浄水が残存す
る、即ち水切れが悪いという問題もあった。

【０００７】このように、従来のフレームマガジンｃ
は、コスト、自動化の可能性等に於てキャリヤ型治具ａ
よりは有利であるものの、洗浄の完全性、水切れなどに
於ては未だ不十分なものであった（図１０参照）。

【０００８】本発明の目的は、上記従来のフレームマガ
ジンの欠点を解消し、効率良くしかも確実にＢＧＡ基板
等を洗浄することが出来、水切れも十分で、更に次の工
程に於てもＢＧＡ基板等の供給治具として利用可能な基
板洗浄用フレームマガジンを提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的達成のため請求
項１の発明では、底に相当する部分が開放され、処理対
象基板の下を支承する下方支承手段が前記開放部分に配
置されている。

【００１０】また請求項２の発明では、底に相当する部
分が開放され、処理対象基板の下を支承する下方支承手
段が前記開放部分に配置され、前記処理対象基板の側面
を支承する側面支承手段の、夫々の処理対象基板の間に
相当する位置に、洗浄液を通過させる通過窓が形成され
ている。

【００１１】本発明基板洗浄用フレームマガジンは、底
に相当する部分が開放されている。この開放部分には下
方支承手段が配置されており、洗浄される基板は、その
下がこの下方支承手段で支承される。

【００１２】底に相当する部分が開放されているので、
洗浄槽からの引き上げの際の水切れ、特に基板を支承す
る縦溝部分に存在した洗浄液の下降、滴下が円滑に行な
われる。

【００１３】側面支承手段には、収容された各基板の間
に相当する位置に洗浄液の通過窓が形成されている。洗
浄槽内に噴出された洗浄液は、この通過窓から渦を巻き
ながら各基板の間に流入する。従って夫々の基板が十分
に洗浄される。

【００１４】これにより、大量処理が可能であること
や、廉価であること、次工程で部品供給治具として利用
できることなどの、フレームマガジンの長所が遺憾なく
発揮されることになる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下本発明の詳細を図示実施の形
態例に基いて説明する。実施の形態の一例であるフレー
ムマガジン１００を図１〜図３に示す。フレームマガジ
ン１００はステンレス鋼、アルミニウム等で製作され
る。図１（Ａ）が正面、同（Ｂ）が平面、同（Ｃ）が右
側面を表わす。背面は正面と同じであり、左側面は右側
面と同じ、底面は平面と同じである。

【００１６】図２及び図３は図１を拡大したもので、図
２（Ａ）が正面（図１（Ａ））の右側の上半分を示し、
図３（Ａ）がその下半分を示す。図２（Ｂ）が平面（図
１（Ｂ））の右側部分、図２（Ｃ）が右側面（図１
（Ｃ））の上半分、図３（Ｃ）がその下半分を示す。

【００１７】図に於て１１及び１２は正面側及び背面側
の各側面板である。右側上下及び左側上下がスペーサ１
３〜１６で連結されており、所定の間隔をおいて対向し
ている。この側面板１１，１２が請求項にいう側面支承
手段にあたる。

【００１８】１７，１８は右側面側及び左側面側の各側
面板であり、上端及び下端は前記各スペーサ１３〜１６
に固定されている。

【００１９】正面側及び背面側の側面板１１，１２に
は、その相対向する内側の面に、相互に対を為すよう
に、２０組の縦溝２１が形成されている。各縦溝２１の
間には、上下に２個づつ並んだ長孔２２が穿設されてい
る。この長孔が請求項にいう通過孔にあたる。

【００２０】各側面板１１，１２，１７，１８は、縦に
長い箱型を為している。この箱型の底に相当する部分が
開放されている。即ち底に当たる部分が無く、代りに、
左右のスペーサ１４，１６にその両端が固定された支承
杆２３，２４がここに配置されている。この支承杆２
３，２４が請求項にいう下方支承手段にあたる。

【００２１】また２５は透孔で、ここに吊下用フック２
６の先端が挿通される。

【００２２】フレームマガジン１００を使用したＢＧＡ
基板３１の洗浄作業例を図４及び図５に示す。図４は正
面、図５は平面を表わす。半田ボール３２のリフローが
行なわれたＢＧＡ基板３１は、半田ボール３２が取着さ
れている面３３がノズル３４の方を向くように、フレー
ムマガジン１００の上側の開口から、対を為している夫
々の縦溝２１の間に、その側面３６が挿入される。

【００２３】フレームマガジン１００の底に当たる部分
には支承杆２３，２４が配置されている。挿入された各
ＢＧＡ基板３１は、その下端３５がこの支承杆２３，２
４で支えられる。

【００２４】ＢＧＡ基板３１を収容したフレームマガジ
ン１００は、その透孔２５に吊下用フック２６の先端が
挿通され、吊下されて洗浄槽４１内に沈められる。洗浄
槽４１内には、所定成分の各種洗浄液４２が、所定時間
づつ、順を追ってノズル３４から噴出される。

【００２５】正面側及び背面側の各側面板１１，１２に
は、長孔２２が穿設されており、噴出された洗浄液４２
の水流は、この長孔２２を通過して各ＢＧＡ基板３１の
間に進入し、例えば図５に示すように渦４３を巻く。こ
れで高い洗浄効果が得られる。

【００２６】最後に純水が供給され、洗浄が完了する
と、フレームマガジン１００は引き上げられる。フレー
ムマガジン１００の底に当たる部分は開放されている。
即ちＢＧＡ基板３１の最下端の部分３５には、水滴をそ
こに止まらせる部材が何も無い（厳密には支承杆２３，
２４が存在するが）。

【００２７】従ってフレームマガジン１００の引き上げ
に伴って、ＢＧＡ基板３１に付着していた水滴は、その
周りに残っている水滴を引き寄せつつ、ＢＧＡ基板の両
側面や縦溝２１を伝って速やかに下降する。そしてその
下端３５から洗浄槽４１に滴下する。

【００２８】なお、一層の水切りを促す為、洗浄槽４１
の上には空気ノズル４４が配置される。この空気ノズル
４４は、フレームマガジン１００の引き上げの際に、左
右に往復動をする。これでフレームマガジン１００とＢ
ＧＡ基板３１とに残った水滴を吹き飛ばす。

【００２９】変形例を図６、図７に示す。図６（Ａ）
は、長孔２２に代え、小さな孔５１を上下方向に穿設し
た例を表わす。これでも十分な洗浄効果がある。

【００３０】図６（Ｂ）は、長孔の向きを工夫した例を
表わし、この例では夫々の長孔５２がノズル３４の方に
向くように穿設されている。この方がフレームマガジン
１００の中に流入する洗浄液４２の流量が多くなる。勢
いも強まるから、一層の洗浄効果が期待できる。

【００３１】図７（Ａ）は支承杆２３，２４の位置を変
更したものである。この例では正面側或いは背面側の側
面板１１，１２の下端より上の位置に、支承杆２３，２
４が配置されている。

【００３２】水切りを良くするため、この例では各縦溝
２１の下端付近が切除（６２）されており、ここにＢＧ
Ａ基板３１の下端３５が覗いて、引き上げ時の水滴の滴
下を促進する。

【００３３】図７（Ｂ）は支承杆（下方支承手段）の形
状を変更したもので、この例では板状の下方支承手段６
３が下側から各スペーサに取着されており、これでＢＧ
Ａ基板３１の下端３５が支承される。

【００３４】なお実施の形態例では洗浄対象がＢＧＡ基
板３１であった。本発明の対象はこれに限られるもので
はない。他の種々の基板の洗浄に適用することが出来
る。

【００３５】また実施の形態例では、対を為す縦溝２１
でＢＧＡ基板３１の側面３６を支承した。側面支承手段
の形状は任意である。例えば縦溝２１の位置にＢＧＡ基
板３１の厚みに適合するＣチャンネルを対向して配置
し、この対向配置されたＣチャンネルにＢＧＡ基板３１
の側面３６を挿入し、保持させても良い。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明で
は、底に相当する部分を開放し、この開放部分に、処理
対象基板の下を支承する下方支承手段を配置した。

【００３７】従って、短時間で水切りが完了し、乾燥時
間の短縮、残存水分に起因する品質低下を防止すること
が出来る。また大量一括処理というフレームマガジンの
利点を遺憾なく発揮させることが出来る。

【００３８】またフレームマガジンなので、次の工程で
の部品供給手段としてもその儘利用することが出来る。
それ故、自動化が容易になる。治具のコストも低い。

【００３９】請求項２の発明では、底に相当する部分を
開放し、この開放部分に処理対象基板の下を支承する下
方支承手段を配置し、また前記処理対象基板の側面を支
承する各側面支承手段の間に、洗浄液を通過させる通過
窓を形成した。

【００４０】従って上記効果に加え、一層完璧な洗浄が
期待できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の一例を示し、（Ａ）は正
面図、（Ｂ）は平面図、（Ｃ）は右側面図。

【図２】図１を拡大して示し、（Ａ）は正面右側上半分
の拡大図、（Ｂ）は平面の右側部分の拡大図、（Ｃ）は
右側面上半分の拡大図。

【図３】図１を拡大して示し、（Ａ）は正面の右側下半
分の拡大図、（Ｂ）は右側面下半分の拡大図。

【図４】本発明に係るフレームマガジン１００による洗
浄作業の例を示す正面図。

【図５】本発明に係るフレームマガジン１００による洗
浄作業の例を示す平面図。

【図６】実施の形態の変形例を示し、（Ａ）は窓の形状
の変形例を示す正面図及び平面図（図示例は背面側の側
面板についてのもので上側が平面図）、（Ｂ）は通過窓
の向きについての変形例を示す平面図。

【図７】実施の形態の変形例を示し、（Ａ）は支承杆の
位置と正面側の側面板下端の形状の変形例を示す正面
図、（Ｂ）は支承板の形状の変形例を示す正面図。

【図８】従来例を示し、（Ａ）はキャリヤ型を示す正面
図、（Ｂ）はフレームマガジン型の一例を示す斜視図。

【図９】従来のフレームマガジンでの洗浄液の残存例を
示す正面図。

【図１０】キャリヤ型とフレームマガジン型について、
その長所と短所とを対比して示す線図。

【符号の説明】

３１…処理対象基板、２３，２４…下方支承手段、１
１，１２…側面支承手段、２２…通過窓

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】底に相当する部分が開放され、処理対象
基板の下を支承する下方支承手段が前記開放部分に配置
されていることを特徴とする基板洗浄用フレームマガジ
ン。
【請求項２】底に相当する部分が開放され、処理対象
基板の下を支承する下方支承手段が前記開放部分に配置
され、前記処理対象基板の側面を支承する側面支承手段
の、夫々の処理対象基板の間に相当する位置に、洗浄液
を通過させる通過窓が形成されていることを特徴とする
基板洗浄用フレームマガジン。
【請求項３】前記支承された基板の下端が前記処理対
象基板の側面を支承する側面支承手段の下方に於て露出
されていることを特徴とする請求項１記載の基板洗浄用
フレームマガジン。
【請求項４】前記支承された基板の下端が前記側面支
承手段の下方に於て露出されていることを特徴とする請
求項２記載の基板洗浄用フレームマガジン。
【請求項５】前記支承手段が前記側面支承手段の下端
より下方に配置され、前記基板の下端が前記側面支承手
段の下端より下方に位置し前記露出がされていることを
特徴とする請求項４記載の基板洗浄用フレームマガジ
ン。