JPH09283821A - レーザガス循環装置を具備するレーザ発振器 - Google Patents
レーザガス循環装置を具備するレーザ発振器Info
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- JPH09283821A JPH09283821A JP11550496A JP11550496A JPH09283821A JP H09283821 A JPH09283821 A JP H09283821A JP 11550496 A JP11550496 A JP 11550496A JP 11550496 A JP11550496 A JP 11550496A JP H09283821 A JPH09283821 A JP H09283821A
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Abstract
(57)【要約】
【解決手段】 レーザガス通路８内にファン１４を設け
てあり、このファンをレーザガス通路８の外部の駆動モ
ータ１５によって回転駆動できるようにしている。上記
レーザガス通路８のハウジングと回転軸１６との間にシ
ール手段３０を設けてあり、レーザガスが外部に漏洩し
ないようにしている。本発明では、上記シール手段の外
側に該シール手段を囲む密閉室２４を形成し、かつ該密
閉室内に上記レーザガス通路８内の圧力よりも高い不活
性ガスを供給している。 【効果】 万一、シール手段３０のシール性能が低下し
ても、上記密閉室内の圧力がレーザガス通路８内の圧力
よりも高くなっているので、密閉室内の不活性ガスがレ
ーザガス通路８内に漏洩することになり、毒性や腐食性
を有するレーザガスが密閉室側に漏洩するのを確実に防
止することができる。
てあり、このファンをレーザガス通路８の外部の駆動モ
ータ１５によって回転駆動できるようにしている。上記
レーザガス通路８のハウジングと回転軸１６との間にシ
ール手段３０を設けてあり、レーザガスが外部に漏洩し
ないようにしている。本発明では、上記シール手段の外
側に該シール手段を囲む密閉室２４を形成し、かつ該密
閉室内に上記レーザガス通路８内の圧力よりも高い不活
性ガスを供給している。 【効果】 万一、シール手段３０のシール性能が低下し
ても、上記密閉室内の圧力がレーザガス通路８内の圧力
よりも高くなっているので、密閉室内の不活性ガスがレ
ーザガス通路８内に漏洩することになり、毒性や腐食性
を有するレーザガスが密閉室側に漏洩するのを確実に防
止することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ発振器に関し、よ
り詳しくは、レーザガス循環装置を具備したレーザ発振
器の改良に関する。
り詳しくは、レーザガス循環装置を具備したレーザ発振
器の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来一般に、レーザガス循環装置を具備
するレーザ発振器として、レーザ発振器の電極間にレー
ザガスを供給するレーザガス通路と、このレーザガス通
路内に設けたファンと、上記レーザガス通路のハウジン
グを貫通させてファンに連結した回転軸と、上記ハウジ
ングの外部に設けられて上記回転軸を回転駆動する駆動
モータと、上記ハウジングと回転軸との間をシールする
シール手段とを備えたものが知られている（特開平７−
８３１５３号公報）。
するレーザ発振器として、レーザ発振器の電極間にレー
ザガスを供給するレーザガス通路と、このレーザガス通
路内に設けたファンと、上記レーザガス通路のハウジン
グを貫通させてファンに連結した回転軸と、上記ハウジ
ングの外部に設けられて上記回転軸を回転駆動する駆動
モータと、上記ハウジングと回転軸との間をシールする
シール手段とを備えたものが知られている（特開平７−
８３１５３号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記シ
ール手段を設けても長年の使用や製造誤差等の原因によ
りレーザガスが駆動モータ側に漏洩することがある。す
ると、レーザガスは毒性や腐食性を有しているので危険
であり、またこれが駆動モータ側に漏れると各部を腐食
させて耐久性を低下させていた。本発明はそのような事
情に鑑み、レーザガスが駆動モータ側に漏洩することを
確実に防止することができるレーザガス循環装置を具備
するレーザ発振器を提供するものである。
ール手段を設けても長年の使用や製造誤差等の原因によ
りレーザガスが駆動モータ側に漏洩することがある。す
ると、レーザガスは毒性や腐食性を有しているので危険
であり、またこれが駆動モータ側に漏れると各部を腐食
させて耐久性を低下させていた。本発明はそのような事
情に鑑み、レーザガスが駆動モータ側に漏洩することを
確実に防止することができるレーザガス循環装置を具備
するレーザ発振器を提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は上述し
たレーザガス循環装置を具備するレーザ発振器におい
て、上記シール手段の外側に該シール手段を囲む密封室
を形成し、かつ該密封室内に上記レーザガス通路内の圧
力よりも高い不活性ガスを供給したものである。
たレーザガス循環装置を具備するレーザ発振器におい
て、上記シール手段の外側に該シール手段を囲む密封室
を形成し、かつ該密封室内に上記レーザガス通路内の圧
力よりも高い不活性ガスを供給したものである。
【０００５】
【作用】上述した構成によれば、万一、シール手段のシ
ール性能が低下した場合であっても、上記密閉室内の圧
力がレーザガス通路内の圧力よりも高くなっているの
で、密閉室内の不活性ガスがレーザガス通路内に漏洩す
ることになる。したがって、レーザガス通路内のレーザ
ガスが密閉室側に漏洩するのを確実に防止することがで
きる。
ール性能が低下した場合であっても、上記密閉室内の圧
力がレーザガス通路内の圧力よりも高くなっているの
で、密閉室内の不活性ガスがレーザガス通路内に漏洩す
ることになる。したがって、レーザガス通路内のレーザ
ガスが密閉室側に漏洩するのを確実に防止することがで
きる。
【０００６】
【実施例】以下図示実施例について本発明を説明する
と、レーザ発振器としてのＴＥレーザ発振器１は、全体
として概略箱型に形成されたケース２内の下方位置に設
けたレーザチューブ３と、このレーザチューブ３内にレ
ーザガスを供給するレーザガス循環装置４とを備えてい
る。上記レーザチューブ３は、その一端にレーザチュー
ブ３内で励起されたレーザ光を反射する反射ミラー５を
備えるとともに、他端に上記レーザ光を反射するととも
にそのレーザ光を透過させる出力ミラー６とを備えてい
る。上記反射ミラー５と出力ミラー６とはレーザチュー
ブ３の軸線上に対向させて設けてあり、これら一対のミ
ラー５、６で共振されたレーザ光を上記出力ミラー６か
ら左方側にむけて放射させることができるようになって
いる。また、上記レーザチューブ３の両側部には、一対
の電極７（一方は図示せず）を対向させて設けている。
これら一対の電極７は図示しない電源回路に接続してあ
り、レーザチューブ３内にレーザガスを流通させた状態
で一対の電極７間に高電圧を印加することにより、一対
の電極７間で放電を行なわせてレーザガスを励起するこ
とができるようになっている。
と、レーザ発振器としてのＴＥレーザ発振器１は、全体
として概略箱型に形成されたケース２内の下方位置に設
けたレーザチューブ３と、このレーザチューブ３内にレ
ーザガスを供給するレーザガス循環装置４とを備えてい
る。上記レーザチューブ３は、その一端にレーザチュー
ブ３内で励起されたレーザ光を反射する反射ミラー５を
備えるとともに、他端に上記レーザ光を反射するととも
にそのレーザ光を透過させる出力ミラー６とを備えてい
る。上記反射ミラー５と出力ミラー６とはレーザチュー
ブ３の軸線上に対向させて設けてあり、これら一対のミ
ラー５、６で共振されたレーザ光を上記出力ミラー６か
ら左方側にむけて放射させることができるようになって
いる。また、上記レーザチューブ３の両側部には、一対
の電極７（一方は図示せず）を対向させて設けている。
これら一対の電極７は図示しない電源回路に接続してあ
り、レーザチューブ３内にレーザガスを流通させた状態
で一対の電極７間に高電圧を印加することにより、一対
の電極７間で放電を行なわせてレーザガスを励起するこ
とができるようになっている。
【０００７】次に、上記レーザガス循環装置４は、レー
ザチューブ３の電極７間にレーザガスを供給するための
レーザガス通路８を備えている。このレーザガス通路８
はレーザチューブ３の両端に接続されてレーザガスを供
給する接続通路９、１０と、レーザチューブ３の中央に
接続されてレーザガスをレーザチューブ３内から排出す
る接続通路１１と、さらにそれら接続通路９、１０と接
続通路１１を接続する接続通路１２から構成してある。
これにより両側の接続通路９、１０を介してレーザチュ
ーブ３の左右に供給されたレーザガスは、一対の電極７
間をそれの左右から中央へ向かって流通し、さらに一対
の電極７の中央部から接続通路１１内に排出された後、
接続通路１２を流通して再び両側の接続通路９、１０に
循環されるようになる。上記接続通路１２の両端には、
レーザガスを冷却する熱交換器１３を設けてあり、この
熱交換器１３でレーザガスを冷却してレーザ光線の出力
の低下を防止している。そして、冷却したレーザガスを
接続通路１２の中央部に設けたファン１４により両側の
接続通路９、１０を介して再びレーザチューブ３内に供
給するようにしている。
ザチューブ３の電極７間にレーザガスを供給するための
レーザガス通路８を備えている。このレーザガス通路８
はレーザチューブ３の両端に接続されてレーザガスを供
給する接続通路９、１０と、レーザチューブ３の中央に
接続されてレーザガスをレーザチューブ３内から排出す
る接続通路１１と、さらにそれら接続通路９、１０と接
続通路１１を接続する接続通路１２から構成してある。
これにより両側の接続通路９、１０を介してレーザチュ
ーブ３の左右に供給されたレーザガスは、一対の電極７
間をそれの左右から中央へ向かって流通し、さらに一対
の電極７の中央部から接続通路１１内に排出された後、
接続通路１２を流通して再び両側の接続通路９、１０に
循環されるようになる。上記接続通路１２の両端には、
レーザガスを冷却する熱交換器１３を設けてあり、この
熱交換器１３でレーザガスを冷却してレーザ光線の出力
の低下を防止している。そして、冷却したレーザガスを
接続通路１２の中央部に設けたファン１４により両側の
接続通路９、１０を介して再びレーザチューブ３内に供
給するようにしている。
【０００８】然して、上記ファン１４は接続通路１２内
の軸方向中央に配置してあり、このファン１４に駆動モ
ータ１５の回転軸１６を連結している。上記駆動モータ
１５は、図２に示すように、概略円筒状の筒状部材１７
と、この筒状部材１７の一端開口部に複数のボルト１８
を介して取付けた肉厚のカバー１９と、筒状部材１７の
他端開口に複数のボルト２１を介して取付けたカバー２
２とからなるハウジング２３を備えており、その内部を
密閉室２４とするとともに、上記カバー１９を複数のボ
ルト２５により気密を保ってケース２に一体に取付けて
いる。このとき、上記カバー１９は接続通路１２内に臨
んでおり、したがって該カバー１９は接続通路１２の一
部を、つまりレーザガス通路８のハウジングの一部を構
成している。また上記駆動モータ１５は、上記回転軸１
６に設けたローター２６と筒状部材１７に設けたステー
ター２７とを備えており、上記回転軸１６は両カバー１
９、２２に軸受２８、２９を介してそれぞれ回転自在に
軸支している。上記回転軸１６は、カバー１９を回転自
在に貫通して上記密閉室２４からレーザガス通路８内に
突出しており、その突出端に上記ファン１４を取付けて
いる。そして上記軸受２８よりもレーザガス通路８側
に、カバー１９と回転軸１６との間をシールするシール
手段３０を設け、該シール手段３０によりレーザガス通
路８内のレーザガスが密閉室２４内に漏洩しないように
している。
の軸方向中央に配置してあり、このファン１４に駆動モ
ータ１５の回転軸１６を連結している。上記駆動モータ
１５は、図２に示すように、概略円筒状の筒状部材１７
と、この筒状部材１７の一端開口部に複数のボルト１８
を介して取付けた肉厚のカバー１９と、筒状部材１７の
他端開口に複数のボルト２１を介して取付けたカバー２
２とからなるハウジング２３を備えており、その内部を
密閉室２４とするとともに、上記カバー１９を複数のボ
ルト２５により気密を保ってケース２に一体に取付けて
いる。このとき、上記カバー１９は接続通路１２内に臨
んでおり、したがって該カバー１９は接続通路１２の一
部を、つまりレーザガス通路８のハウジングの一部を構
成している。また上記駆動モータ１５は、上記回転軸１
６に設けたローター２６と筒状部材１７に設けたステー
ター２７とを備えており、上記回転軸１６は両カバー１
９、２２に軸受２８、２９を介してそれぞれ回転自在に
軸支している。上記回転軸１６は、カバー１９を回転自
在に貫通して上記密閉室２４からレーザガス通路８内に
突出しており、その突出端に上記ファン１４を取付けて
いる。そして上記軸受２８よりもレーザガス通路８側
に、カバー１９と回転軸１６との間をシールするシール
手段３０を設け、該シール手段３０によりレーザガス通
路８内のレーザガスが密閉室２４内に漏洩しないように
している。
【０００９】上記シール手段３０は、図３に示すよう
に、２つのリップシール３１、３１から構成してあり、
各リップシール３１、３１を回転軸１６の軸方向に直列
に重合させて配置し、かつカバー１９に形成した段部と
該カバー１９にボルト３２で固定したホルダ３３とによ
って挟持固定している。上記各リップシール３１は、断
面方形に形成されたリング状の本体部３１ａと、この本
体部３１ａの内周側の下端部から上方に湾曲して伸びる
リップ部３１ｂと、上記本体部３１ａの外周側に形成し
た環状溝３１ｃとを備えており、上記リップ部３１ｂの
先端部を回転軸１６の外周に気密を保って取付けたブッ
シュ３４の外周面に接触させ、また上記環状溝３１ｃ内
に環状のＯリング３５を収容することにより、本体部３
１ａとカバー１９との間の気密を保持させている。上記
リップシール３１の素材としては、カーボングラファイ
トを充填したＰＴＦＥ、或はエコノールポリエステルを
充填したＰＴＦＥ等、耐摩耗性に富んだ素材を使用する
のが好ましい。また本実施例では、上記シール手段３０
を２つのリップシール３１から構成しているが、これに
限定されるものではなく、例えばリップシール３１を一
つ配設したり、或は３つ配設してもよい。
に、２つのリップシール３１、３１から構成してあり、
各リップシール３１、３１を回転軸１６の軸方向に直列
に重合させて配置し、かつカバー１９に形成した段部と
該カバー１９にボルト３２で固定したホルダ３３とによ
って挟持固定している。上記各リップシール３１は、断
面方形に形成されたリング状の本体部３１ａと、この本
体部３１ａの内周側の下端部から上方に湾曲して伸びる
リップ部３１ｂと、上記本体部３１ａの外周側に形成し
た環状溝３１ｃとを備えており、上記リップ部３１ｂの
先端部を回転軸１６の外周に気密を保って取付けたブッ
シュ３４の外周面に接触させ、また上記環状溝３１ｃ内
に環状のＯリング３５を収容することにより、本体部３
１ａとカバー１９との間の気密を保持させている。上記
リップシール３１の素材としては、カーボングラファイ
トを充填したＰＴＦＥ、或はエコノールポリエステルを
充填したＰＴＦＥ等、耐摩耗性に富んだ素材を使用する
のが好ましい。また本実施例では、上記シール手段３０
を２つのリップシール３１から構成しているが、これに
限定されるものではなく、例えばリップシール３１を一
つ配設したり、或は３つ配設してもよい。
【００１０】図１に示すように、上記密閉室２４内には
供給通路３７を介して図示しない供給源より不活性ガス
を供給し、密閉室２４内の圧力をレーザガス通路８内の
圧力よりも高く設定している。したがって、上記密閉室
２４内に供給した不活性ガスがレーザガス通路８側に漏
洩することがあっても、レーザガス通路８内のレーザガ
スが密閉室２４側に漏洩することはない。上記不活性ガ
スは、レーザガスの一成分である不活性ガスと同一であ
ることが望ましい。例えばレーザガスがクリプトン（Ｋ
ｒ）、フッ素（Ｆ2 ）、ヘリウム（Ｈｅ）から構成され
ている場合には、上記不活性ガスとしてヘリウムを供給
することが好ましい。次に、上記供給通路３７にはその
内部の圧力を検出して制御装置３８に入力する圧力セン
サ３９と、供給通路３７内の圧力変動を吸収するサージ
タンク４０と、このサージタンク４０よりも供給源側で
供給通路３７を開閉する開閉弁４１を設けてあり、上記
開閉弁４１は制御装置３８によって開閉制御することが
できるようにしている。また、上記接続通路１３にはそ
の内部の圧力を検出する圧力センサ４２と、この接続通
路１３のレーザガスを外部に排出する排気通路４３とを
設けてあり、この排気通路４３にこれを開閉する開閉弁
４４が設けている。上記開閉弁４１は、供給通路３７す
なわち密閉室２４内の圧力とレーザガス通路８内の圧力
との圧力差が所定範囲内に保たれている際には閉鎖され
ており、この圧力差が所定値以下となった際に開放され
て密閉室２４内にヘリウムガスを供給するようになって
いる。他方、上記開閉弁４４は通常は閉鎖されており、
レーザガスを交換する際に開放されるようになってい
る。また、開閉弁４４は、レーザガス通路８内の圧力が
所定値を越えた際に上記制御装置３８によって開放され
るようになっている。本実施例では、上記制御装置３８
は、上記圧力センサ３９と圧力センサ４２とから入力さ
れる測定値により、密閉室２４内の圧力Ｐ１をレーザガ
ス通路８内の圧力Ｐ２に対してＰ１≧Ｐ２＋０．５ｋｇ
ｆ／ｃｍ2 に維持しており、この状態となったら開閉弁
４１を閉鎖するようになっている。そして以後は圧力セ
ンサ３９と圧力センサ４２からの圧力を監視してＰ１≦
Ｐ２＋０．１ｋｇｆ／ｃｍ2 となったら、上記開閉弁４
１を開放してＰ１≧Ｐ２＋０．５ｋｇｆ／ｃｍ2 の状態
に復帰させるようになっている。
供給通路３７を介して図示しない供給源より不活性ガス
を供給し、密閉室２４内の圧力をレーザガス通路８内の
圧力よりも高く設定している。したがって、上記密閉室
２４内に供給した不活性ガスがレーザガス通路８側に漏
洩することがあっても、レーザガス通路８内のレーザガ
スが密閉室２４側に漏洩することはない。上記不活性ガ
スは、レーザガスの一成分である不活性ガスと同一であ
ることが望ましい。例えばレーザガスがクリプトン（Ｋ
ｒ）、フッ素（Ｆ2 ）、ヘリウム（Ｈｅ）から構成され
ている場合には、上記不活性ガスとしてヘリウムを供給
することが好ましい。次に、上記供給通路３７にはその
内部の圧力を検出して制御装置３８に入力する圧力セン
サ３９と、供給通路３７内の圧力変動を吸収するサージ
タンク４０と、このサージタンク４０よりも供給源側で
供給通路３７を開閉する開閉弁４１を設けてあり、上記
開閉弁４１は制御装置３８によって開閉制御することが
できるようにしている。また、上記接続通路１３にはそ
の内部の圧力を検出する圧力センサ４２と、この接続通
路１３のレーザガスを外部に排出する排気通路４３とを
設けてあり、この排気通路４３にこれを開閉する開閉弁
４４が設けている。上記開閉弁４１は、供給通路３７す
なわち密閉室２４内の圧力とレーザガス通路８内の圧力
との圧力差が所定範囲内に保たれている際には閉鎖され
ており、この圧力差が所定値以下となった際に開放され
て密閉室２４内にヘリウムガスを供給するようになって
いる。他方、上記開閉弁４４は通常は閉鎖されており、
レーザガスを交換する際に開放されるようになってい
る。また、開閉弁４４は、レーザガス通路８内の圧力が
所定値を越えた際に上記制御装置３８によって開放され
るようになっている。本実施例では、上記制御装置３８
は、上記圧力センサ３９と圧力センサ４２とから入力さ
れる測定値により、密閉室２４内の圧力Ｐ１をレーザガ
ス通路８内の圧力Ｐ２に対してＰ１≧Ｐ２＋０．５ｋｇ
ｆ／ｃｍ2 に維持しており、この状態となったら開閉弁
４１を閉鎖するようになっている。そして以後は圧力セ
ンサ３９と圧力センサ４２からの圧力を監視してＰ１≦
Ｐ２＋０．１ｋｇｆ／ｃｍ2 となったら、上記開閉弁４
１を開放してＰ１≧Ｐ２＋０．５ｋｇｆ／ｃｍ2 の状態
に復帰させるようになっている。
【００１１】以上の構成によれば、レーザガス通路８内
よりも駆動モータ１５側の密閉室２４内の圧力を高く維
持することができるので、万一、上記リップ部３１ｂの
摩耗等によりシール性が低下した場合には、密閉室２４
内のヘリウムガスがレーザガス通路８内に漏洩するよう
になる。その結果、レーザガス通路８内のレーザガスが
密閉室２４側に漏洩することが防止できるので、軸受３
０、３１や駆動モータ１５等がレーザガス、特に腐食性
を有するフッ素と触れることがなく、それらの腐食を防
止することができる。なお一例として、シール手段３０
を介してレーザガス通路８内に漏洩するヘリウムガスの
漏洩量が０．００２５ｃｃ／ｓｅｃ以下であれば、その
影響を無視できることが判明している。
よりも駆動モータ１５側の密閉室２４内の圧力を高く維
持することができるので、万一、上記リップ部３１ｂの
摩耗等によりシール性が低下した場合には、密閉室２４
内のヘリウムガスがレーザガス通路８内に漏洩するよう
になる。その結果、レーザガス通路８内のレーザガスが
密閉室２４側に漏洩することが防止できるので、軸受３
０、３１や駆動モータ１５等がレーザガス、特に腐食性
を有するフッ素と触れることがなく、それらの腐食を防
止することができる。なお一例として、シール手段３０
を介してレーザガス通路８内に漏洩するヘリウムガスの
漏洩量が０．００２５ｃｃ／ｓｅｃ以下であれば、その
影響を無視できることが判明している。
【００１２】図４は本発明の他の実施例を示したもの
で、本実施例はＣＯ2 レーザ発振器１０１に本発明を適
用したものである。ＣＯ2 レーザ発振器１０１は従来既
に周知であるので、上述した第１実施例と同一若しくは
相当部材に第１実施例で用いた符合に１００を加えた番
号を付すことにより、具体的な説明は省略する。
で、本実施例はＣＯ2 レーザ発振器１０１に本発明を適
用したものである。ＣＯ2 レーザ発振器１０１は従来既
に周知であるので、上述した第１実施例と同一若しくは
相当部材に第１実施例で用いた符合に１００を加えた番
号を付すことにより、具体的な説明は省略する。
【００１３】なお、上記実施例ではいずれも駆動モータ
１５、１１５を接続通路１２、１１２のハウジングに直
接取付けるようにしているが、両者を分離して配置して
もよい。その場合には、上記シール手段３０、１３０の
外側に該シール手段３０、１３０を囲む密閉室を形成し
て、該密閉室内に上記レーザガス通路８、１０８内の圧
力よりも高い不活性ガスを供給すればよい。また、上記
実施例ではいずれもレーザ発振器１、１０１を構成する
レーザチューブ３、１０３内の電極７、１０７間に、該
レーザチューブに接続した外部のレーザガス通路８、１
０８からレーザガスを供給するようにしているが、本発
明はそのような構成に限定されるものではない。例え
ば、上述した特開平７−８３１５３号公報に開示されて
いるように、レーザ発振器を構成するハウジングを密封
した匡体から構成し、かつその内部にファンを設けたも
のにも本発明を適用することができる。この場合、レー
ザ発振器のハウジング内にレーザガス通路が形成される
ことになり、したがってレーザ発振器のハウジングは同
時にレーザガス通路のハウジングを兼ねることになる。
１５、１１５を接続通路１２、１１２のハウジングに直
接取付けるようにしているが、両者を分離して配置して
もよい。その場合には、上記シール手段３０、１３０の
外側に該シール手段３０、１３０を囲む密閉室を形成し
て、該密閉室内に上記レーザガス通路８、１０８内の圧
力よりも高い不活性ガスを供給すればよい。また、上記
実施例ではいずれもレーザ発振器１、１０１を構成する
レーザチューブ３、１０３内の電極７、１０７間に、該
レーザチューブに接続した外部のレーザガス通路８、１
０８からレーザガスを供給するようにしているが、本発
明はそのような構成に限定されるものではない。例え
ば、上述した特開平７−８３１５３号公報に開示されて
いるように、レーザ発振器を構成するハウジングを密封
した匡体から構成し、かつその内部にファンを設けたも
のにも本発明を適用することができる。この場合、レー
ザ発振器のハウジング内にレーザガス通路が形成される
ことになり、したがってレーザ発振器のハウジングは同
時にレーザガス通路のハウジングを兼ねることになる。
【００１３】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、軸受や
駆動モータにレーザガスが触れるのを防止することがで
きるので、それら軸受や駆動モータの腐食を防止して耐
久性を向上させることができるという効果が得られる。
駆動モータにレーザガスが触れるのを防止することがで
きるので、それら軸受や駆動モータの腐食を防止して耐
久性を向上させることができるという効果が得られる。
【図１】本発明の一実施例を示す配置図。
【図２】図１の要部の拡大断面図。
【図３】図２のシール手段３０の拡大断面図。
【図４】本発明の他の実施例を示す配置図。
１…ＴＥレーザ発振器 ４…レーザガス循環
装置 １４、１１４…ファン １５、１１５…駆動
モータ １６、１１６…回転軸 ２３、１２３…ハウ
ジング ２４、１２４…密閉室 ２８、２９、１２
８、１２９…軸受 ３０、１３０…シール手段 １０１…ＣＯ2 レー
ザ発振器
装置 １４、１１４…ファン １５、１１５…駆動
モータ １６、１１６…回転軸 ２３、１２３…ハウ
ジング ２４、１２４…密閉室 ２８、２９、１２
８、１２９…軸受 ３０、１３０…シール手段 １０１…ＣＯ2 レー
ザ発振器
Claims (4)
- 【請求項１】 レーザ発振器の電極間にレーザガスを供
給するレーザガス通路と、このレーザガス通路内に設け
たファンと、上記レーザガス通路のハウジングを貫通さ
せてファンに連結した回転軸と、上記ハウジングの外部
に設けられて上記回転軸を回転駆動する駆動モータと、
上記ハウジングと回転軸との間をシールするシール手段
とを備えたレーザガス循環装置を具備するレーザ発振器
において、 上記シール手段の外側に該シール手段を囲む密閉室を形
成し、かつ該密閉室内に上記レーザガス通路内の圧力よ
りも高い不活性ガスを供給したことを特徴とするレーザ
ガス循環装置を具備するレーザ発振器。 - 【請求項２】 上記駆動モータのハウジングが上記密封
室を形成していることを特徴とする請求項１に記載のレ
ーザガス循環装置を具備するレーザ発振器。 - 【請求項３】 上記回転軸を回転自在に軸支する軸受が
上記シール手段の外側に配置され、該軸受が上記密封室
内に収容されていることを特徴とする請求項１又は請求
項２に記載のレーザガス循環装置を具備するレーザ発振
器。 - 【請求項４】 上記不活性ガスは、レーザガスの一成分
である不活性ガスと同一であることを特徴とする請求項
１ないし請求項３のいずれかに記載のレーザガス循環装
置を具備するレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11550496A JPH09283821A (ja) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | レーザガス循環装置を具備するレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11550496A JPH09283821A (ja) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | レーザガス循環装置を具備するレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09283821A true JPH09283821A (ja) | 1997-10-31 |
Family
ID=14664164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11550496A Withdrawn JPH09283821A (ja) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | レーザガス循環装置を具備するレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09283821A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004508681A (ja) * | 2000-09-05 | 2004-03-18 | アクセリス テクノロジーズ インコーポレーテッド | イオン注入機のための大量ガス送出システム |
| CN111326941A (zh) * | 2018-12-14 | 2020-06-23 | 住友重机械工业株式会社 | 气密装置 |
-
1996
- 1996-04-12 JP JP11550496A patent/JPH09283821A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004508681A (ja) * | 2000-09-05 | 2004-03-18 | アクセリス テクノロジーズ インコーポレーテッド | イオン注入機のための大量ガス送出システム |
| CN111326941A (zh) * | 2018-12-14 | 2020-06-23 | 住友重机械工业株式会社 | 气密装置 |
| KR20200073984A (ko) | 2018-12-14 | 2020-06-24 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 기밀장치 |
| CN111326941B (zh) * | 2018-12-14 | 2023-02-24 | 住友重机械工业株式会社 | 气密装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030701 |