JPH09283599A - 基板移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 処理用キャリアの導入及び導出をより効率良
く行う。 【解決手段】 第１及び第２ポジション１７，１８にわ
たって水平移動可能な搬送キャリアテーブル２６と、第
２及び第３ポジション１８，１９にわたって水平移動可
能な処理キャリアテーブル３６と、第３及び第４ポジシ
ョン１９，２０わたって水平移動及び上下動可能なフォ
ークテーブル４０とを設け、第２ポジション１８に押上
げ機構３３等を配置して基板導入装置１２を構成した。
そして、第１ポジション１７に搬送用キャリア２を、第
３ポジション１９に処理用キャリア３をそれぞれ搬入す
る一方、第４ポジション２０から基板Ｂを納めた処理用
キャリア３をピックアップするようにした。また、処理
キャリアテーブル３６に切欠部３６ａを形成し、処理キ
ャリアテーブル３６とフォークテーブル４０を同一ポジ
ションに重複配置してフォークテーブル４０の上昇に伴
い処理用キャリア３を受け渡すようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板や液晶
ガラス基板等の基板を、当該基板を収納するキャリア間
で移し換えながら処理装置本体に対して搬入、あるいは
搬出するための基板移載装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、各種処理液をそれぞれ貯留し
た複数の処理槽にわたって基板を順次浸漬することによ
り基板に所定の処理を施すようにした基板処理装置は知
られている。この種の装置では、一般に多数の基板が一
つのキャリア（搬送用キャリア）に収納されて処理装置
の基板導入部に搬入され、ここで耐薬品性に優れた専用
のキャリア（処理用キャリア）に移し換えられる。そし
て、この処理用キャリアが、ハンドリング装置によって
処理槽へ導入されるようになってる。

【０００３】このような基板の移し換え作業は基板導入
部に設置された移載装置により自動的に行われる。例え
ば、この種の装置として、連続する第１及び第２のポジ
ションにわたってスライド可能な第１テーブルと、第２
のポジションとこれに隣設される第３のポジションにわ
たってスライド可能な第２テーブルとを有し、第２ポジ
ションに基板を移し換えるための移し換え機構を備えた
装置が知られている（特公平６−９５５４８号公報）。

【０００４】この装置では、先ず、第１及び第２テーブ
ルがそれぞれ第１及び第３のポジションにセットされ、
基板を収納した搬送用キャリアが第１テーブル上に、空
の処理用キャリアが第２テーブル上にそれぞれ搬入、載
置される。そして、第１テーブルが第２のポジションに
移動させられ、移し換え機構により搬送用キャリアから
基板のみが取り出された後、当該キャリアが第１テーブ
ルと一体に第１のポジションにリセットされるととも
に、第２テーブルが第２のポジションに移動させられ
る。そして、移し換え機構に保持された基板が第２テー
ブル上の処理用キャリアに収納された後、第２テーブル
が第３のポジションにリセットされ、この第３のポジシ
ョンから処理用キャリアがピックアップされて処理槽側
へと導入されるようになっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
装置では、上述のように、空の処理用キャリアが第２テ
ーブルに搬入されるため、処理用キャリアがピックアッ
プされて処理槽側へ導入されるまでは、次の処理用キャ
リアへの基板の移し換え作業を行うことができない。そ
のため、処理用キャリアがピックアップされてから次の
処理用キャリアが第３のポジションにセットされるまで
に比較的時間がかかる。

【０００６】そのため、処理用キャリアの処理槽側への
導入が比較的短い時間間隔（ピッチ）で行われるような
場合には、次の処理用キャリアが第３のポジションにセ
ットされるまでの間、ハンドリング装置を第３のポジシ
ョンで待機させることが必要となる場合もあり、このよ
うな場合には処理効率が損なわれることになる。

【０００７】そこで、処理用キャリアをより短時間で第
３のポジションにセットすべく各可動部の可動速度を高
めることも考えられるが、基板の取り扱いを慎重に行う
観点から充分に速度を高めることができない場合もあ
り、従って、構造的により効率良く処理用キャリアを導
入できるようにすることが望まれる。また、このような
基板の導入時のみならず処理後の基板の導出時にも同様
の問題がある。

【０００８】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたものであり、処理用キャリアの導入及び導出をより
効率良く行うことができる基板移載装置を提供すること
を目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、次のような構成をとる。請求項１に記載の発
明に係る基板移載装置は、基板処理装置の基板導入部に
設けられ、搬送用キャリアに収納された処理前の基板を
処理用キャリアへ移し換えるように構成された基板移載
装置において、処理前の基板を収納した搬送用キャリア
が搬入される第１のポジションと第１のポジションに隣
設される第２のポジションとにわたって移動可能に設け
られる搬送用キャリア支持用の第１テーブルと、少なく
とも第２のポジションと第２のポジションに隣設され、
空の処理用キャリアが搬入される第３のポジションとに
わたって移動可能に設けられる処理用キャリア支持用の
第２テーブルと、第４のポジションに設けられ、処理工
程へ導入する処理前の基板を収納した処理用キャリアを
支持する第３テーブルと、上記第２のポジションに配設
され、搬送用キャリアに収納された基板を処理用キャリ
アに移し換えるための移し換え手段と、基板を収納した
処理用キャリアを第２テーブルから第３テーブルに移載
するキャリア移載手段とを備えてなるものである。

【００１０】請求項２に記載の発明に係る基板移載装置
は、基板処理装置の基板導出部に設けられ、処理用キャ
リアに収納された処理後の基板を搬送用キャリアへ移し
換えるように構成された基板移載装置において、空の搬
送用キャリアが搬入される第１のポジションと第１のポ
ジションに隣設される第２のポジションにわたって移動
可能に設けられる搬送用キャリア支持用の第１テーブル
と、少なくとも第２のポジションと第２のポジションに
隣設され、空の処理用キャリアが搬出される第３のポジ
ションとにわたって移動可能に設けられる処理用キャリ
ア支持用の第２テーブルと、第４のポジションに設けら
れ、処理工程から導出される処理後の基板を収納した処
理用キャリアを支持する第３テーブルと、上記第２のポ
ジションに配設され、処理用キャリアに収納された基板
を搬送用キャリアに移し換えるための移し換え手段と、
基板を収納した処理用キャリアを第３テーブルから第２
テーブルに移載するキャリア移載手段とを備えてなるも
のである。

【００１１】請求項３に記載の発明に係る基板移載装置
は、請求項１又は２記載の基板移載装置において、第３
テーブルを第３及び第４のポジションにわたって移動可
能に設けたものである。

【００１２】請求項４に記載の発明に係る基板移載装置
は、請求項１乃至３のいずれかに記載の基板移載装置に
おいて、キャリア移載手段を、第２テーブル及び第３テ
ーブルを相対的に上下動させる作動手段と、上記第２テ
ーブル又は第３テーブルのいずれか一方のキャリアの載
置部分に形成され、第２テーブルと第３テーブルを同一
ポジションに配置した状態で、第２テーブルと第３テー
ブルの相対的な上下動を可能とする切欠部とから構成し
たものである。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を用いて説明する。

【００１４】図１は、本願発明に係る基板移載装置が適
用される基板処理装置を概略的に示している。この装置
は、基板として半導体ウエハを複数種類の処理液に浸漬
することにより基板に所定の表面処理を施す装置であっ
て、同図に示すように基板処理装置本体１０とこれに付
設される基板導入装置１２及び基板導出装置（図示せ
ず）とを備えている。本発明に係る基板移載装置は、基
板導入装置１２及び基板導出装置として基板処理装置本
体１０に付設されている。

【００１５】上記基板処理装置本体１０は、処理液を貯
留する複数の処理槽１４と、基板を移送するハンドリン
グ装置１５とから構成されており、各処理槽１４は一列
に並列配置され、ハンドリング装置１５は処理槽１４の
配列方向（図１では左右方向）に移動可能に設けられて
いる。ハンドリング装置１５は、左右方向に複数設けら
れており、各ハンドリング装置１５は、連続して配置さ
れる所定数の処理槽１４を作業エリアとし、このエリア
内で往復移動しながら基板を順次搬送しながら各処理槽
１４に浸漬するように構成されている。

【００１６】上記基板導入装置１２は、同図に示すよう
に第１〜第４ポジション１７〜２０を有して構成されて
いる。第１ポジション１７は、処理前の基板を収納した
搬送用キャリア２を搬入するとともに、基板が移し換え
られた後の空の搬送用キャリア２を搬出するポジション
で、第２ポジション１８は、第１ポジション１７に搬入
された搬送用キャリアから基板を取出して処理用キャリ
ア３に移し換えるためのポジションで、第３ポジション
１９は空の処理用キャリア３を搬入するためのポジショ
ンで、第４ポジション２０は、基板を収納した処理用キ
ャリア３を上記ハンドリング装置１５によりピックアッ
プして基板処理装置本体１０に導入するためのピックア
ップポジションである。

【００１７】図２及び図３は、基板導入装置１２の構成
をより具体的に示している。これらの図に示すように、
第１ポジション１７には搬送用キャリア２を載置するた
めの搬送キャリアテーブル２６が設けられている。搬送
キャリアテーブル２６には、搬送用キャリア２を載置す
るための載置部が前後方向（左右方向と平面上で直交す
る方向）２箇所に設けられており、これらの各載置部に
搬送用キャリア２を位置決めするための突起２６ａと、
後述する押上板３４の挿通孔となる開口部２６ｂとがそ
れぞれ形成されている。

【００１８】搬送用キャリア２は、同図に示すように多
数の基板Ｂを前後方向に起立姿勢で並べて収納するよう
に構成されており、図外の搬送用ロボットやオペレータ
により基板導入装置１２の側方からキャリアテーブル２
６上に搬入、載置されるとともに、基板Ｂが取出された
後は上記搬送用ロボット等により搬送キャリアテーブル
２６から搬出されるようになっている。なお、搬送用キ
ャリア２は搬送用ロボット等により基板導入装置１２の
前方側に搬入、搬出される（図１の白抜き矢印に示
す）。

【００１９】上記搬送キャリアテーブル２６は、図３に
示すように支持部材２７を介して基板導入装置１２に設
けられた左右方向のガイド２８にスライド自在に装着さ
れるとともに、基板導入装置１２に取付けられたエアー
シリンダ２９のロッド２９ａに接続されている。これに
よりエアーシリンダ２９へのエア圧の給排切換えに応じ
て、搬送キャリアテーブル２６が上記ガイド２８に沿っ
て第１ポジション１７及び第２ポジション１８にわたっ
て水平移動するように構成されている。

【００２０】第２ポジション１８には、上記搬送用キャ
リア２に収納された基板Ｂを上方に押上げるための押上
げ機構３３と、これによって押上げられた基板Ｂを保持
するチャック機構３５とが設けられ、これら押上げ機構
３３及びチャック機構３５により移し換え手段が構成さ
れている。

【００２１】上記押上げ機構３３は、上面に基板Ｂを保
持するための多数の保持溝を有する前後一対の押上板３
４と、こらの押上板３４を上下動させるためのボールね
じ機構等からなる図外の昇降駆動機構とから構成されて
いる。押上板３４は、上記搬送キャリアテーブル２６の
搬送用キャリア２の設置間隔に対応して設けられてお
り、上記昇降駆動機構の作動により、搬送キャリアテー
ブル２６及び後記処理キャリアテーブル３６より下方の
退避位置（図３に示す位置）と、搬送キャリアテーブル
２６及び後記処理キャリアテーブル３６より上方に突出
する押上げ位置とにわたって上下動するように構成され
ている。

【００２２】上記チャック機構３５は、上記押上げ機構
３３の上方において上記各押上板３４に対応して設けら
れる前後一対のチャック３１と、これらのチャック３１
を開閉するための開閉駆動機構とから構成されている。

【００２３】上記チャック３１は、対向面にそれぞれ基
板Ｂを保持するための多数の保持溝を有した左右一対の
保持板３２を有しており、これらの保持板３２がそれぞ
れ基板導入装置１２の前後側板間に回転自在に支持され
た左右一対の支持軸３２ａに固着された構成となってい
る。

【００２４】開閉駆動機構は、駆動源としてのエアーシ
リンダ３０と、詳しく図示していないが、エアーシリン
ダ３０のロッドに連結されて上記各支持軸３２ａを互い
に反対方向に回転させるためのリンク機構とから構成さ
れており、エアーシリンダ３０へのエア圧の給排切換え
に応じて支持軸３２ａを正逆回転させ、これによって上
記保持板３２を揺動させてチャック３１を開閉するよう
に構成されている。

【００２５】第３ポジション１９には、処理用キャリア
３を載置するための処理キャリアテーブル３６が設けら
れている。処理キャリアテーブル３６には、図４に示す
ように、処理用キャリア３を載置するための載置部が前
後２箇所に設けられており、これらの各載置部に処理用
キャリア３を位置決めするための突起３６ａが設けられ
るとともに、第４ポジション２０に向かって開放する方
形状の切欠部３６ｂが形成されている。

【００２６】処理用キャリア３は、基板処理装置本体１
０での処理に用いられる処理専用のケースであって、構
造的には上記搬送用キャリア２同様に多数の基板Ｂを前
後方向に起立姿勢で並べて収納するように構成されてい
るが、耐化学薬品性（耐侵食性）に優れた材料等を用い
て構成されており、この点において搬送用キャリア２と
異なった構成となっている。なお、処理用キャリア３
は、図外の搬送用ロボットやオペレータにより空の状態
で基板導入装置１２の前方（図１の白抜き矢印に示す）
から処理キャリアテーブル３６上に搬入、載置されるよ
うになっている。

【００２７】上記処理キャリアテーブル３６は、図３に
示すように支持部材３７を介して上記ガイド２８にスラ
イド自在に装着されるとともに、基板導入装置１２に取
付けられたエアーシリンダ３８のロッド３８ａに接続さ
れている。これによりエアーシリンダ３８へのエア圧の
給排切換えに応じて、上記ガイド２８に沿って第３ポジ
ション１９及び第２ポジション１８にわたって水平移動
するように構成されている。

【００２８】第４ポジション２０には、基板Ｂを収納し
た処理用キャリア３を載置するためのフォークテーブル
４０が設けられている。フォークテーブル４０は、図４
に示すように前後に独立した一対の単位テーブル４０ａ
からなり、これらの各単位テーブル４０ａが連結部材４
１を介して一体に連結された構造となっている。各単位
テーブル４０ａは、同図に示すように、上記処理キャリ
アテーブル３６に形成された切欠部３６ｂよりもやや小
さめの方形状に形成されており、その上面には処理用キ
ャリア３を位置決めするための突起４０ｂが形成されて
いる。

【００２９】フォークテーブル４０は、図３に示すよう
に上記連結部材４１を介して支持部材４２に取付けられ
た上下方向のガイド４４にスライド自在に装着されると
ともに、支持部材４２に取付けられたエアーシリンダ４
５のロッド４５ａに接続されている。これによりエアー
シリンダ４５へのエア圧の給排切換えに応じてフォーク
テーブル４０が上記ガイド４４に沿って同図に示す下降
端位置と所定の上昇端位置とにわたって上下動するよう
に構成されている。

【００３０】また、上記支持部材４２は、上記ガイド２
８にスライド自在に装着されるとともに、基板導入装置
１２に取付けられたエアーシリンダ４６のロッド４６ａ
に接続されている。これによりエアーシリンダ４６への
エア圧の給排切換えに応じて、フォークテーブル４０が
上記ガイド２８に沿って第４ポジション２０及び第３ポ
ジション１９にわたって水平移動するように構成されて
いる。

【００３１】ところで、第４ポジション２０は、上述の
ようにハンドリング装置１５による処理用キャリア３の
ピックアップポジションであって、処理動作時には、第
４ポジション２０のフォークテーブル４０上に載置され
た処理用キャリア３がハンドリング装置１５によりピッ
クアップされて基板処理装置本体１０側へ導入されるよ
うになっている。上記ハンドリング装置１５には、図１
及び図３に示すように開閉可能なハンド部材２２ａを備
えたアーム２２がその本体１５ａに設けられており、こ
の本体１５ａが上下動可能となっている。ピックアップ
時には、上記本体１５ａが第４ポジション２０にセット
され、本体１５の上下動及びハンド部材２２ａの開閉に
応じて処理用キャリア３の被係合部にハンド部材２２ａ
を係合させて処理用キャリア３をピックアップするよう
に構成されている。

【００３２】次に、以上のように構成された基板処理装
置の作用効果について図５及び図６を用いて説明する。
上記基板処理装置が稼働されると、先ず、図３に示す初
期状態、すなわち搬送キャリアテーブル２６、処理キャ
リアテーブル３６及びフォークテーブル４０がそれぞれ
第１ポジション１７、第３ポジション１９及び第４ポジ
ション２０にセットされるとともに、押上げ機構３３の
押上板３４が退避位置に、チャック機構３５のチャック
３１が開状態にそれぞれセットされる。そして、図外の
搬送用ロボットやオペレータより基板Ｂを収納した搬送
用キャリア２が搬送キャリアテーブル２６に、空の処理
用キャリア３が処理キャリアテーブル３６にそれぞれ搬
入、載置される。

【００３３】各キャリア２，３の搬入が完了すると、搬
送キャリアテーブル２６が第２ポジション１８に移動さ
せられ、図５（ａ）に示すように、上記押上げ機構３３
及びチャック機構３５が作動される。詳しくは、先ず、
搬送キャリアテーブル２６の開口部２６ｂ及び搬送用キ
ャリア２の底部に形成された図外の開口部を介して押上
板３４が押上げ位置に移動させられ、これにより搬送用
キャリア２内の基板Ｂが上方に押し上げられる。そし
て、押上板３４が押上げ位置に達すると、チャック３１
が閉じられ、これにより基板Ｂが第２ポジション１８の
上方に保持される。

【００３４】チャック機構３５によって基板Ｂが保持さ
れると、押上板３４が退避位置にリセットされ、さらに
搬送キャリアテーブル２６が第１ポジション１７にリセ
ットされる。これにより搬送用キャリア２からの基板Ｂ
の取出しが完了し、空になった搬送用キャリア２は第１
ポジション１７にセットされた後、上記搬送用ロボット
やオペレータにより外部に搬出される。

【００３５】搬送キャリアテーブル２６が第１ポジショ
ン１７にリセットされると、これに同期して、図５
（ｂ）に示すように処理キャリアテーブル３６及びフォ
ークテーブル４０がそれぞれ第２ポジション１８及び第
３ポジション１９に移動させられ、第２ポジション１８
において、上述のような基板Ｂの取出し動作と逆の動作
が行われることによりチャック機構３５に保持されてい
る基板Ｂが図５（ｃ）に示すように処理用キャリア３内
に収納される。

【００３６】すなわち、押上板３４が処理キャリアテー
ブル３６の切欠部３６ｂ及び処理用キャリア３の底部に
形成された図外の開口部を介して押上げ位置に上昇させ
られて基板Ｂを下方から支持した後、上記チャック３１
が開かれる。そして、押上板３４が退避位置にリセット
され、これによって基板Ｂが処理用キャリア３内に収納
される。

【００３７】処理用キャリア３内に基板Ｂが収納される
と、次いで処理キャリアテーブル３６が第３ポジション
１９にリセットされる。このとき、第３ポジション１９
には既にフォークテーブル４０がセットされているた
め、第３ポジション１９に処理キャリアテーブル３６が
リセットされると、処理キャリアテーブル３６の切欠部
３６ｂにフォークテーブル４０の各単位テーブル４０ａ
が介在した状態で第３ポジション１９に処理キャリアテ
ーブル３６とフォークテーブル４０とが重複セットされ
る。

【００３８】第３ポジション１９に処理キャリアテーブ
ル３６がリセットされると上記フォークテーブル４０が
上昇端位置まで上昇させられ、これにより図６（ｄ）に
示すように処理用キャリア３がフォークテーブル４０に
支持されたて処理キャリアテーブル３６から持上げられ
る。その後、フォークテーブル４０が第４ポジション２
０にリセットされるとともに、下降端位置に移動させら
れることにより、図６（ｅ）に示すように基板Ｂを収納
した処理用キャリア３が第４ポジション２０にセットさ
れ、ハンドリング装置１５によるピックアップ待機状態
となる。

【００３９】ところで、このように処理キャリアテーブ
ル３６上の処理用キャリア３がフォークテーブル４０に
受け渡されている最中、第１ポジション１７において
は、搬送キャリアテーブル２６に次の搬送用キャリア２
が搬入、載置されており、上述のように処理キャリアテ
ーブル３６上の処理用キャリア３がフォークテーブル４
０に受け渡されると、即座に次の処理用キャリア３が処
理キャリアテーブル３６に搬入、載置され、図５（ａ）
〜図５（ｃ）及び図６（ｄ）に示す基板Ｂの移し換え動
作が行われる。このとき、フォークテーブル４０には処
理用キャリア３が載置されているので、フォークテーブ
ル４０は第４ポジション２０に保持される。

【００４０】こうして次の処理用キャリア３への基板Ｂ
の移し換えが完了し、当該処理用キャリア３を載置した
処理キャリアテーブル３６が第３ポジション１９にリセ
ットされ、これによって基板処理装置本体１０への導入
が可能な２つの処理用キャリア３が第４ポジション２０
及び第３ポジション１９にそれぞれセットされると、上
記基板処理装置本体１０のハンドリング装置１５が作動
され、第４ポジション２０にある処理用キャリア３がピ
ックアップされて基板処理装置本体１０に導入されると
ともに、ピックアップ後は、フォークテーブル４０が図
５（ｃ）及び、図６（ｄ），（ｅ）に示すように（つま
り図４の白抜き矢印→→→に示すように）作動
されることにより処理キャリアテーブル３６上の処理用
キャリア３がフォークテーブル４０に受け渡されて第４
ポジション２０にセットされる。

【００４１】そして、処理キャリアテーブル３６には、
次の基板Ｂを収納するための処理用キャリア３が搬入、
載置され、図５（ａ）〜図５（ｃ）及び図６（ｄ）に示
すように基板Ｂの移し換え動作が行われ、以後、第４ポ
ジション２０にセットされた処理用キャリア３のピック
アップ動作に応じて、このような動作が繰り返し行われ
ることにより、基板導入装置１２から順次基板処理装置
本体１０に処理用キャリア３が導入される。

【００４２】以上説明にしたように、上記実施形態の基
板処理装置によれば、処理用キャリア３のピックアップ
ポジションとなる第４ポジション２０に導入可能な処理
用キャリア３を保持した状態で次の処理用キャリア３の
準備、つまり搬送用キャリア２から次の処理用キャリア
３への基板Ｂの移し換え作業を行うことができるため、
第４ポジション２０の処理用キャリア３がピックアップ
されてから次の処理用キャリア３の導入準備が完了する
までの時間、すなわち処理用キャリア３の導入ピッチを
効果的に短縮することができる。そのため、ピックアッ
プポジションの処理用キャリアが処理装置本体に導入さ
れなければ次の処理用キャリアの準備動作に移ることが
できない従来のこの種の装置と比較すると、基板処理装
置本体１０での基板Ｂの処理能力に合わせたより短いピ
ッチでの処理用キャリア３の導入が可能であり、そのた
め基板Ｂの処理効率をより高めることができる。

【００４３】また、上記実施形態の基板処理装置によれ
ば、ハンドリング装置１５の動作位置とは無関係に空の
処理用キャリア３を第３ポジション１９に導入すること
ができるという利点もある。

【００４４】すなわち、従来のこの種の装置では、処理
用キャリアがピックアップされた後、当該ピックアップ
ポジションにセットされたテーブルに対して空の処理用
キャリアが搬入、載置される、つまり、処理用キャリア
搬送用のロボットの可動領域とハンドリング装置の可動
領域とが重複しているため、ハンドリング装置が完全に
処理装置本体側へ移動する前に処理用キャリア搬送用の
ロボットが作動するとハンドリング装置とキャリア搬送
用のロボットが干渉する虞がある。また、オペレータの
人手によって処理用キャリアを搬送する場合は作業に危
険を伴う虞れがある。そのため、これを回避するための
ハンドリング装置の駆動系の制御、あるいはその他の対
策が要求されていた。しかし、上記実施形態の装置によ
れば、処理用キャリア３の搬入と処理用キャリア３のピ
ックアップとがそれぞれ別のポジションに対して行われ
るため、ハンドリング装置１５と処理用キャリア搬送用
のロボットとの干渉を構造的に回避することができ、そ
のため従来のような駆動系の制御を不要にしながら、ハ
ンドリング装置１５と処理用キャリア搬送用のロボット
との干渉を確実に回避することができ、また、オペレー
タの安全も確保できる。

【００４５】なお、上記の基板処理装置は、本発明にか
かる基板移載装置が適用される基板処理装置の一例であ
って、基板処理装置本体１０や基板導入装置１２の具体
的な構造等は、被処理基板の種類や処理内容等に応じて
本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

【００４６】例えば、上記基板導入装置１２では、処理
キャリアテーブル３６が第２ポジション１８と第３ポジ
ション１９との間で移動可能とされ、またフォークテー
ブル４０が第３ポジション１９と第４ポジション２０と
の間で移動可能とされているが、フォークテーブル４０
を第４ポジション２０に固定的に設けて上下動だけを行
わせるようにし、処理キャリアテーブル３６を第２ポジ
ション１８〜第４ポジション２０にわたって移動させる
ように構成しても構わない。但し、この場合には処理キ
ャリアテーブル３６の移動量が大きくなるので、処理用
キャリア３の受渡しをより迅速に行って次の処理用キャ
リア３の準備動作を開始するといった点からは上記実施
形態のようにフォークテーブル４０を移動可能に設ける
方が望ましい。

【００４７】また、上記の装置では、処理キャリアテー
ブル３６とフォークテーブル４０を同一ポジションに重
複セットし、処理キャリアテーブル３６の切欠部３６ｂ
にフォークテーブル４０の各単位テーブル４０ａを介在
させた状態でフォークテーブル４０を上昇させ、これに
よって処理キャリアテーブル３６上の処理用キャリア３
をフォークテーブル４０で支持して持ち上げるようにキ
ャリア移載手段が構成されているが、キャリア移載手段
の構成はこれに限られず適宜構成するようにすればよ
い。例えば、キャリア移載手段として、第３ポジション
１９の処理キャリアテーブル３６から第４ポジション２
０のフォークテーブル４０に処理用キャリア３をクラン
プして移載するようなスカラ型のロボットを基板導入装
置１２の側方に設置するようにしても構わない。しか
し、上記実施形態のようなキャリア移載手段を採用すれ
ば比較的簡単な構成で処理キャリアテーブル３６−フォ
ークテーブル４０間での処理用キャリア３の受け渡しを
行うことができる点で有利である。

【００４８】さらに、上記実施形態では、２つの搬送用
キャリア２から２つの処理用キャリア３へ基板Ｂを移し
換えるように基板導入装置１２が構成されているが、勿
論、２つの搬送用キャリア２から１つの処理用キャリア
３へ基板Ｂを移し換えるような基板導入装置にも本願発
明は適用可能である。

【００４９】ところで、上記の基板処理装置において
は、基板導出装置について特に説明していないが、理装
置本体１０での処理が終了した基板Ｂは、処理用キャリ
ア３から搬送用キャリア２に再度移し換えられて次の処
理装置に搬出されることが多いため、例えば、基板搬出
装置として上記基板導入装置１２と同じ構造の装置を用
いることも可能である。この場合、上記図５（ａ）〜
（ｃ）及び図６（ｄ），（ｅ）の動作と逆の動作を行わ
せるようにすればよい。この基板搬出装置によれば、第
１ポジション１７〜第２ポジション１８において処理用
キャリア３から搬送用キャリア２への基板Ｂの移し換え
作業を行いながら、処理後の次の処理用キャリア３をフ
ォークテーブル４０に保持しておくことができるので、
基板処理装置本体１０からの処理用キャリア３の導出ピ
ッチを効果的に短縮することができる。従って、上記実
施形態の基板処理装置にこのような基板導出装置を採用
するようにすれば、基板処理装置での処理効率をさらに
高めることが可能となる。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、処理前の基板を収納した搬送用キャリアを第１
のポジションにセットした第１テーブルに、空の処理用
キャリアを第３のポジションにセットした第２テーブル
にそれぞれ搬入し、これらのテーブルを交互に第２のポ
ジションに移動させながら、移し換え手段により搬送用
キャリアに収納された処理前の基板を処理用キャリアに
移し換え、さらに基板収納後の処理用キャリアをキャリ
ア移載手段により第２テーブルから第４のポジションの
第３テーブルに移載、保持して処理工程への導入待機状
態とするように基板導入部に設けられる基板移載装置を
構成したので、基板を収納した処理用キャリアを第４の
ポジションに保持した状態のままで、第１、第２テーブ
ル及び移し換え手段を作動させて搬送用キャリアに収納
された処理前の基板を処理用キャリアへ移し換えること
ができる。そのため、従来のこの種の装置に比べて、処
理工程での基板の処理能力に合わせたより短いピッチで
の処理用キャリアの導入が可能となり、これにより基板
処理装置の処理効率を高めることができる。

【００５１】また、請求項２の発明によれば、処理用キ
ャリアを処理工程から第４のポジションの第３テーブル
に導出し、この処理キャリアをキャリア移載手段により
第３テーブルから第２テーブルに移載して、第２テーブ
ルと、空の搬送用キャリアが搬入された第１テーブルと
を交互に第２のポジションに移動させながら、移し換え
手段により処理用キャリアに収納されている処理後の基
板を搬送用キャリアに移し換えるように基板導出部の基
板移載装置を構成したので、第１、第２テーブル及び移
し換え手段により処理用キャリアから搬送用キャリアへ
の基板の移し換え動作中に、次の処理用キャリアを処理
工程から第４のポジションに導出して保持することがで
きる。そのため、従来のこの種の装置に比べて、処理工
程からの処理用キャリアの導出ピッチを効果的に短縮す
ることが可能となり、これにより基板処理装置の処理効
率を高めることができる。

【００５２】請求項３の発明によれば、請求項１又は２
に記載の基板移載装置において、上記第３テーブルを第
３及び第４のポジションにわたって移動可能に設けたの
で、第２テーブルと第３テーブルの相対的な移動によ
り、処理用キャリアの処理工程への導入及び導出をより
迅速に行うことが可能となる。

【００５３】請求項４の発明によれば、請求項１乃至３
に記載の基板移載装置において、キャリア移載手段を、
第２テーブル及び第３テーブルを相対的に上下動させる
作動手段と、上記第２テーブル又は第３テーブルのいず
れか一方のキャリアの載置部分に形成され、第２テーブ
ルと第３テーブルを同一ポジションに配置した状態で、
第２テーブルと第３テーブルの相対的な上下動を可能と
する切欠部とから構成したので、比較的簡単な構成でキ
ャリア移載手段を構成することができ、装置の複雑化等
を回避することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板移載装置が適用される基板処
理装置を示す平面略図である。

【図２】上記基板処理装置の基板導入装置を示す斜視図
である。

【図３】上記基板導入装置の構成を示す断面図である。

【図４】処理キャリアテーブル及びフォークテーブルの
構成を示す斜視図である。

【図５】（ａ）〜（ｃ）は基板導入装置の動作説明図で
ある。

【図６】（ｄ），（ｅ）は基板導入装置の動作説明図で
ある。

【符号の説明】

２ 搬送用キャリア ３ 処理用キャリア １０ 基板処理装置本体 １２ 基板導入装置 １４ 処理槽 １５ ハンドリング装置 １７ 第１ポジション １８ 第２ポジション １９ 第３ポジション ２０ 第４ポジション ２２ アーム ２２ａ ハンド部材 ２６ 搬送キャリアテーブル ３１ チャック ３４ 押上板 ３３ 押上げ機構 ３５ チャック機構 ３６ 処理キャリアテーブル ４０ フォークテーブル ４０ａ、４０ｂ 単位テーブル Ｂ 基板

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板処理装置の基板導入部に設けられ、
   搬送用キャリアに収納された処理前の基板を処理用キャ
   リアへ移し換えるように構成された基板移載装置におい
   て、処理前の基板を収納した搬送用キャリアが搬入され
   る第１のポジションと第１のポジションに隣設される第
   ２のポジションとにわたって移動可能に設けられる搬送
   用キャリア支持用の第１テーブルと、少なくとも第２の
   ポジションと第２のポジションに隣設され、空の処理用
   キャリアが搬入される第３のポジションとにわたって移
   動可能に設けられる処理用キャリア支持用の第２テーブ
   ルと、第４のポジションに設けられ、処理工程へ導入す
   る処理前の基板を収納した処理用キャリアを支持する第
   ３テーブルと、上記第２のポジションに配設され、搬送
   用キャリアに収納された基板を処理用キャリアに移し換
   えるための移し換え手段と、基板を収納した処理用キャ
   リアを第２テーブルから第３テーブルに移載するキャリ
   ア移載手段とを備えてなることを特徴とする基板移載装
   置。
2. 【請求項２】 基板処理装置の基板導出部に設けられ、
   処理用キャリアに収納された処理後の基板を搬送用キャ
   リアへ移し換えるように構成された基板移載装置におい
   て、空の搬送用キャリアが搬入される第１のポジション
   と第１のポジションに隣設される第２のポジションとに
   わたって移動可能に設けられる搬送用キャリア支持用の
   第１テーブルと、少なくとも第２のポジションと第２の
   ポジションに隣設され、空の処理用キャリアが搬出され
   る第３のポジションとにわたって移動可能に設けられる
   処理用キャリア支持用の第２テーブルと、第４のポジシ
   ョンに設けられ、処理工程から導出される処理後の基板
   を収納した処理用キャリアを支持する第３テーブルと、
   上記第２のポジションに配設され、処理用キャリアに収
   納された基板を搬送用キャリアに移し換えるための移し
   換え手段と、基板を収納した処理用キャリアを第３テー
   ブルから第２テーブルに移載するキャリア移載手段とを
   備えてなることを特徴とする基板移載装置。
3. 【請求項３】 上記第３テーブルは、上記第３及び第４
   のポジションにわたって移動可能に設けられてなること
   を特徴とする請求項１又は２記載の基板移載装置。
4. 【請求項４】 上記キャリア移載手段は、上記第２テー
   ブル及び第３テーブルを相対的に上下動させる作動手段
   と、上記第２テーブル又は第３テーブルのいずれか一方
   のキャリアの載置部分に形成され、第２テーブルと第３
   テーブルを同一ポジションに配置した状態で、第２テー
   ブルと第３テーブルの相対的な上下動を可能とする切欠
   部とからなることを特徴とする請求項１乃至３のいずれ
   かに記載の基板移載装置。