JPH09283579A - 検査用照明装置及び検査装置 - Google Patents
検査用照明装置及び検査装置Info
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- JPH09283579A JPH09283579A JP8942996A JP8942996A JPH09283579A JP H09283579 A JPH09283579 A JP H09283579A JP 8942996 A JP8942996 A JP 8942996A JP 8942996 A JP8942996 A JP 8942996A JP H09283579 A JPH09283579 A JP H09283579A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 正常形状のバンプとバンプ形状を実質的に喪
失した不良バンプとの区別を容易に行うことができ、バ
ンプ形状の自動検査を可能とし得る検査用照明装置を提
供する。 【解決手段】 基板の平坦面から突出するバンプの突出
状態を検査する検査用照明装置であって、該バンプが形
成された基板が配設される空間部が設けられた環状の枠
体２２と、ハロゲン化金属ランプを用いた光源に一端が
連結された複数本の光ファイバ２８から成り、且つ光フ
ァイバ２８の各々の他端が枠体２２の底面に分散して設
けられた光ファイバ束２６と、光ファイバ束２６を介し
て枠体の底面から下方に向けて射出される光源からの照
射光を反射し、枠体２２の空間部に配設される基板の平
坦面に対して１０〜２０°の角度で照射光を射出する反
射面３０が形成された反射鏡部３２とを具備することを
特徴とする。
失した不良バンプとの区別を容易に行うことができ、バ
ンプ形状の自動検査を可能とし得る検査用照明装置を提
供する。 【解決手段】 基板の平坦面から突出するバンプの突出
状態を検査する検査用照明装置であって、該バンプが形
成された基板が配設される空間部が設けられた環状の枠
体２２と、ハロゲン化金属ランプを用いた光源に一端が
連結された複数本の光ファイバ２８から成り、且つ光フ
ァイバ２８の各々の他端が枠体２２の底面に分散して設
けられた光ファイバ束２６と、光ファイバ束２６を介し
て枠体の底面から下方に向けて射出される光源からの照
射光を反射し、枠体２２の空間部に配設される基板の平
坦面に対して１０〜２０°の角度で照射光を射出する反
射面３０が形成された反射鏡部３２とを具備することを
特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は検査用照明装置及び
検査装置に関し、更に詳細には、基板面等の平坦面から
突出するバンプの突出状態を検査する検査用照明装置及
びこの検査用照明装置を使用した検査装置に関する。
検査装置に関し、更に詳細には、基板面等の平坦面から
突出するバンプの突出状態を検査する検査用照明装置及
びこの検査用照明装置を使用した検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置に使用される回路基板等の基
板には、図６に示す基板１０が使用されている。この基
板１０は、樹脂製基板１２の略中央部に半導体素子を搭
載する搭載穴１４が形成され、搭載穴１４周囲の基板面
には、搭載穴１４を囲むように、多数の外部接続端子と
してのバンプ１６、１６・・が基板１２の平坦面から突
出して設けられている。かかるバンプ１６は、はんだボ
ールを溶融して形成されたものであり、図７に示す様
に、正常形状のバンプ１６に比較してバンプ形状を実質
的に喪失した不良バンプ１６′が存在することがある。
かかる不良バンプ１６′が存在すると、得られた半導体
装置を実装基板に実装した場合、実装基板のパッドに接
続されないバンプが発生し、最終的に得られた製品の故
障原因ともなる。このため、半導体装置等に用いる基板
においては、不良バンプ１６′が存在するか否かを検査
することが必要である。ところで、この検査を、図７に
示す如く、基板１０の平坦面に対して垂直方向からの照
射光で照明しつつ、拡大レンズ１８が先端に設けられた
カメラ装置２０によって試みた。
板には、図６に示す基板１０が使用されている。この基
板１０は、樹脂製基板１２の略中央部に半導体素子を搭
載する搭載穴１４が形成され、搭載穴１４周囲の基板面
には、搭載穴１４を囲むように、多数の外部接続端子と
してのバンプ１６、１６・・が基板１２の平坦面から突
出して設けられている。かかるバンプ１６は、はんだボ
ールを溶融して形成されたものであり、図７に示す様
に、正常形状のバンプ１６に比較してバンプ形状を実質
的に喪失した不良バンプ１６′が存在することがある。
かかる不良バンプ１６′が存在すると、得られた半導体
装置を実装基板に実装した場合、実装基板のパッドに接
続されないバンプが発生し、最終的に得られた製品の故
障原因ともなる。このため、半導体装置等に用いる基板
においては、不良バンプ１６′が存在するか否かを検査
することが必要である。ところで、この検査を、図７に
示す如く、基板１０の平坦面に対して垂直方向からの照
射光で照明しつつ、拡大レンズ１８が先端に設けられた
カメラ装置２０によって試みた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】図７に示す検査装置で
は、カメラ装置２０で取り込まれた画像を肉眼によって
検査し、不良バンプ１６′の存在の有無を検査する場合
は問題ないが、近年、半導体素子の高密度化等の進展に
伴って基板１０に設けられる外部接続端子としてのバン
プ１６の数が著しく増加し、肉眼での検査が困難となっ
てきた。このため、本発明者等は、コンピュータを利用
した画像処理によって自動検査できないか検討したとこ
ろ、図７に示す従来の検査装置では、自動検査が困難で
あることが判明した。つまり、図７に示す検査装置でカ
メラ装置２０によって取り込まれた画像をコンピュータ
で画像処理すると、図８に示す如く、正常形状のバンプ
１６の画像と不良バンプ１６′の画像との区別ができな
いからである。そこで、本発明の課題は、正常形状のバ
ンプとバンプ形状を実質的に喪失した不良バンプとの区
別を容易に行うことができ、バンプ形状の自動検査を可
能とし得る手段を提供することにある。
は、カメラ装置２０で取り込まれた画像を肉眼によって
検査し、不良バンプ１６′の存在の有無を検査する場合
は問題ないが、近年、半導体素子の高密度化等の進展に
伴って基板１０に設けられる外部接続端子としてのバン
プ１６の数が著しく増加し、肉眼での検査が困難となっ
てきた。このため、本発明者等は、コンピュータを利用
した画像処理によって自動検査できないか検討したとこ
ろ、図７に示す従来の検査装置では、自動検査が困難で
あることが判明した。つまり、図７に示す検査装置でカ
メラ装置２０によって取り込まれた画像をコンピュータ
で画像処理すると、図８に示す如く、正常形状のバンプ
１６の画像と不良バンプ１６′の画像との区別ができな
いからである。そこで、本発明の課題は、正常形状のバ
ンプとバンプ形状を実質的に喪失した不良バンプとの区
別を容易に行うことができ、バンプ形状の自動検査を可
能とし得る手段を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、前記課題
を解決すべく検討したところ、基板１０に対して略平行
の照射光で基板１０を照射すると、正常形状のバンプ１
６の画像が明確に現れ、他方、バンプ形状を実質的に喪
失した不良バンプ１６′の画像が消失するという知見を
得た。本発明者等は、かかる知見を基にして更に検討を
重ねた結果、検査対象である基板１０に対して実質的に
平行の照射光を基板１０に照射して得た検査画像と、基
板１０と同一パターンでバンプが形成され且つ良品であ
る比較対象としての基板の平坦面に対して垂直方向から
の照射光を基板１０に照射して得た比較画像とを比較す
ることによって、不良バンプ１６′を検出し得ることを
見出し、本発明に到達した。
を解決すべく検討したところ、基板１０に対して略平行
の照射光で基板１０を照射すると、正常形状のバンプ１
６の画像が明確に現れ、他方、バンプ形状を実質的に喪
失した不良バンプ１６′の画像が消失するという知見を
得た。本発明者等は、かかる知見を基にして更に検討を
重ねた結果、検査対象である基板１０に対して実質的に
平行の照射光を基板１０に照射して得た検査画像と、基
板１０と同一パターンでバンプが形成され且つ良品であ
る比較対象としての基板の平坦面に対して垂直方向から
の照射光を基板１０に照射して得た比較画像とを比較す
ることによって、不良バンプ１６′を検出し得ることを
見出し、本発明に到達した。
【０００５】すなわち、本発明は、基板面等の平坦面か
ら突出するバンプの突出状態を検査する検査用照明装置
であって、該バンプが形成された基板等の検査対象が配
設される空間部が設けられた枠体と、光源に一端が連結
された複数本の光ファイバから成り、且つ前記光ファイ
バの各々の他端が前記枠体の底面に分散して設けられた
光ファイバ束と、前記光ファイバ束を介して枠体の底面
から下方に向けて射出される光源からの照射光を反射
し、枠体の空間部に配設される検査対象の平坦面に対し
て実質的に平行な照射光を射出する反射面が形成された
反射鏡部とを具備することを特徴とする検査用照明装置
にある。ここで、枠体の空間部に載置される検査対象の
平坦面に対して１０〜２０°の角度で照射光を射出する
反射鏡を反射鏡部に設けることによって、隣接するバン
プに因る影の影響を可及的に少なくできる。尚、本発明
においていう「実質的に平行な照射光」とは、検査対象
の平坦面に対して０〜２０°の角度で照射される照射光
をいう。
ら突出するバンプの突出状態を検査する検査用照明装置
であって、該バンプが形成された基板等の検査対象が配
設される空間部が設けられた枠体と、光源に一端が連結
された複数本の光ファイバから成り、且つ前記光ファイ
バの各々の他端が前記枠体の底面に分散して設けられた
光ファイバ束と、前記光ファイバ束を介して枠体の底面
から下方に向けて射出される光源からの照射光を反射
し、枠体の空間部に配設される検査対象の平坦面に対し
て実質的に平行な照射光を射出する反射面が形成された
反射鏡部とを具備することを特徴とする検査用照明装置
にある。ここで、枠体の空間部に載置される検査対象の
平坦面に対して１０〜２０°の角度で照射光を射出する
反射鏡を反射鏡部に設けることによって、隣接するバン
プに因る影の影響を可及的に少なくできる。尚、本発明
においていう「実質的に平行な照射光」とは、検査対象
の平坦面に対して０〜２０°の角度で照射される照射光
をいう。
【０００６】また、本発明は、基板面等の平坦面から突
出するバンプの突出状態を検査する検査装置であって、
前述した検査用照明装置を使用し、検査対象のバンプ形
成面の検査画像を取り込む第１の取込手段と、前記検査
対象と同一パターンでバンプが形成され且つ良品である
比較対象の平坦面に対して略垂直に照射光を射出する照
明装置を使用し、前記比較対象のバンプ形成面の比較画
像を取り込む第２の取込手段と、前記第１及び第２の取
込手段で取り込まれた検査画像と比較画像とを比較し、
バンプが実質的に欠如している箇所の有無を検出する検
出手段とを具備することを特徴とする検査装置にある。
かかる本発明において、比較対象の平坦面に対して略垂
直に照射光を射出する照明装置としては、比較対象が配
設される空間部が設けられた枠体と、光源に一端が連結
された複数本の光ファイバから成り、且つ前記光ファイ
バの各々の他端が前記枠体の底面に分散して設けられた
光ファイバ束とを備え、前記光源からの照射光が光ファ
イバ束を介して枠体の底面から同軸落射される照明装置
を好適に使用できる。
出するバンプの突出状態を検査する検査装置であって、
前述した検査用照明装置を使用し、検査対象のバンプ形
成面の検査画像を取り込む第１の取込手段と、前記検査
対象と同一パターンでバンプが形成され且つ良品である
比較対象の平坦面に対して略垂直に照射光を射出する照
明装置を使用し、前記比較対象のバンプ形成面の比較画
像を取り込む第２の取込手段と、前記第１及び第２の取
込手段で取り込まれた検査画像と比較画像とを比較し、
バンプが実質的に欠如している箇所の有無を検出する検
出手段とを具備することを特徴とする検査装置にある。
かかる本発明において、比較対象の平坦面に対して略垂
直に照射光を射出する照明装置としては、比較対象が配
設される空間部が設けられた枠体と、光源に一端が連結
された複数本の光ファイバから成り、且つ前記光ファイ
バの各々の他端が前記枠体の底面に分散して設けられた
光ファイバ束とを備え、前記光源からの照射光が光ファ
イバ束を介して枠体の底面から同軸落射される照明装置
を好適に使用できる。
【０００７】これら本発明においては、枠体を環状体す
ることによって、光ファイバ束を容易に枠体内に配設す
ることができ、枠体底面の略全面から均一な照射光を同
軸落射できる。また、光源をハロゲン化金属ランプとす
ることによって、強力な照射光を光ファイバ束を介して
検査対象に照射でき、正常形状のバンプ画像を更に一層
明確とすることができる。
ることによって、光ファイバ束を容易に枠体内に配設す
ることができ、枠体底面の略全面から均一な照射光を同
軸落射できる。また、光源をハロゲン化金属ランプとす
ることによって、強力な照射光を光ファイバ束を介して
検査対象に照射でき、正常形状のバンプ画像を更に一層
明確とすることができる。
【０００８】本発明において用いる検査用照明装置によ
れば、基板１０の様に、薄い検査対象であっても、枠体
の空間部に配設された基板１０の平坦面に対して実質的
に平行な照射光を基板１０の全周から安定して照射でき
る。このため、正常形状のバンプ１６では、所定高さで
反射された反射光が、画像の取込手段として用いられる
カメラ装置のレンズに入射するため、得られた検査画像
では、バンプ１６の画像には、ドーナツ状の明部が形成
される。これに対し、バンプ形状を実質的に喪失した不
良バンプ１６′は、正常形状のバンプ１６よりも全体形
状が平坦化されているため、不良バンプ１６′で反射さ
れた反射光は、カメラ装置のレンズに入射し難いため、
検査画像では、不良バンプ１６′の画像が消失する。他
方、検査対象と同一パターンでバンプが形成され且つ良
品である比較対象の平坦面に対して略垂直に照射光を照
射する照明装置を使用して得た比較画像では、全バンプ
が現れる。従って、検査対象の平坦面に対して実質的に
平行な照射光を照射する検査用照明装置を使用して得た
検査画像と、比較対象の平坦面に対して略垂直に照射光
を照射する照明装置を使用して得た比較画像とを比較す
ると、バンプ形状を実質的に喪失した不良バンプ１６′
を検出できる。
れば、基板１０の様に、薄い検査対象であっても、枠体
の空間部に配設された基板１０の平坦面に対して実質的
に平行な照射光を基板１０の全周から安定して照射でき
る。このため、正常形状のバンプ１６では、所定高さで
反射された反射光が、画像の取込手段として用いられる
カメラ装置のレンズに入射するため、得られた検査画像
では、バンプ１６の画像には、ドーナツ状の明部が形成
される。これに対し、バンプ形状を実質的に喪失した不
良バンプ１６′は、正常形状のバンプ１６よりも全体形
状が平坦化されているため、不良バンプ１６′で反射さ
れた反射光は、カメラ装置のレンズに入射し難いため、
検査画像では、不良バンプ１６′の画像が消失する。他
方、検査対象と同一パターンでバンプが形成され且つ良
品である比較対象の平坦面に対して略垂直に照射光を照
射する照明装置を使用して得た比較画像では、全バンプ
が現れる。従って、検査対象の平坦面に対して実質的に
平行な照射光を照射する検査用照明装置を使用して得た
検査画像と、比較対象の平坦面に対して略垂直に照射光
を照射する照明装置を使用して得た比較画像とを比較す
ると、バンプ形状を実質的に喪失した不良バンプ１６′
を検出できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明を図面によって更に詳細に
説明する。図１は、本発明に係る検査用照明装置の正面
図であって、検査対象であるバンプが形成された基板１
０が中心部に配設される空間部２１が設けられた環状の
枠体２２内に、ハロゲン化金属ランプが用いられた光源
２４に一端が連結された光ファイバから成る光ファイバ
束２６が配設されている。かかる光ファイバ束２６を構
成する光ファイバは、図２に示す様に、枠体２２内に層
状に光ファイバ２８、２８・・が配設されており、光フ
ァイバ２８の他端が枠体２２の底面に分散して設けられ
ている。しかも、光ファイバ２８の各他端は、光源２４
からの照射光を枠体２２の底面から下方に向けて射出さ
れるように、光ファイバ２８の端面が枠体２２の底面に
設けられている。このため、枠体２２の底面全面から照
射光が下方に向けて射出される。
説明する。図１は、本発明に係る検査用照明装置の正面
図であって、検査対象であるバンプが形成された基板１
０が中心部に配設される空間部２１が設けられた環状の
枠体２２内に、ハロゲン化金属ランプが用いられた光源
２４に一端が連結された光ファイバから成る光ファイバ
束２６が配設されている。かかる光ファイバ束２６を構
成する光ファイバは、図２に示す様に、枠体２２内に層
状に光ファイバ２８、２８・・が配設されており、光フ
ァイバ２８の他端が枠体２２の底面に分散して設けられ
ている。しかも、光ファイバ２８の各他端は、光源２４
からの照射光を枠体２２の底面から下方に向けて射出さ
れるように、光ファイバ２８の端面が枠体２２の底面に
設けられている。このため、枠体２２の底面全面から照
射光が下方に向けて射出される。
【００１０】本発明の検査用照明装置には、枠体２２の
下方に、図２に示す様に、光ファイバ２８、２８・・の
各端面から枠体２２の底面下方に向けて射出される照射
光を反射し、枠体２２の空間部２１に配設される基板１
０の平坦面に対して実質的に平行、具体的には０〜２０
°の角度で照射光を基板１０に射出する反射面３０を具
備する反射鏡部３２が設けられている。かかる反射鏡部
３２の反射面３０の傾斜角αは、反射面３０で反射した
照射光の基板１０に対する角度（図３に示す角度β）が
０〜２０°となるように調整する。また、反射鏡部３２
は、枠体２２に固着してもよく、取り外し可能に設けて
もよい。この様に、基板１０の平坦面に対して実質的に
平行な照射光（角度βが０〜２０°）が基板１０に照射
された場合、図３に示す様に、正常形状のバンプ１６の
所定部位（バンプ１６の頂部近傍）に入射された照射光
の反射光のみがカメラ装置２０に入射され、その他の部
位、例えばバンプ１６の頂部に照射された照射光の反射
光はカメラ装置２０に入射されることなく通過する。こ
のため、得られた検査画像のバンプ１６の画像には、図
４に示す様に、ドーナツ状の明部Ａが形成される。
下方に、図２に示す様に、光ファイバ２８、２８・・の
各端面から枠体２２の底面下方に向けて射出される照射
光を反射し、枠体２２の空間部２１に配設される基板１
０の平坦面に対して実質的に平行、具体的には０〜２０
°の角度で照射光を基板１０に射出する反射面３０を具
備する反射鏡部３２が設けられている。かかる反射鏡部
３２の反射面３０の傾斜角αは、反射面３０で反射した
照射光の基板１０に対する角度（図３に示す角度β）が
０〜２０°となるように調整する。また、反射鏡部３２
は、枠体２２に固着してもよく、取り外し可能に設けて
もよい。この様に、基板１０の平坦面に対して実質的に
平行な照射光（角度βが０〜２０°）が基板１０に照射
された場合、図３に示す様に、正常形状のバンプ１６の
所定部位（バンプ１６の頂部近傍）に入射された照射光
の反射光のみがカメラ装置２０に入射され、その他の部
位、例えばバンプ１６の頂部に照射された照射光の反射
光はカメラ装置２０に入射されることなく通過する。こ
のため、得られた検査画像のバンプ１６の画像には、図
４に示す様に、ドーナツ状の明部Ａが形成される。
【００１１】一方、バンプ形状を実質的に喪失した不良
バンプ１６′は、正常形状のバンプ１６に比較して全体
的に平坦化されている。このため、基板１０の平坦面に
実質的に平行な照射光が照射された場合、不良バンプ１
６′の表面で反射された反射光は、カメラ装置２０に入
射されず、その結果、得られた検査画像においては、図
４に示す様に、不良バンプ１６′の画像が消失する。こ
こで、照射光の基板１０の平坦面に対する角度βが２０
°よりも大きくなると、不良バンプ１６′の表面で反射
された反射光がカメラ装置２０に入射され易くなる。一
方、角度βが０°に近づくに従い、隣接するバンプ１６
の影の影響を受け易くなる傾向にあるため、角度βは１
０〜２０°が好ましい。尚、最適な角度βは、バンプ１
６の高さや形状等で変わるため、反射鏡部３２の反射面
３０の傾斜角αを変更して角度βの最適角を実験的に求
めておくことが好ましい。
バンプ１６′は、正常形状のバンプ１６に比較して全体
的に平坦化されている。このため、基板１０の平坦面に
実質的に平行な照射光が照射された場合、不良バンプ１
６′の表面で反射された反射光は、カメラ装置２０に入
射されず、その結果、得られた検査画像においては、図
４に示す様に、不良バンプ１６′の画像が消失する。こ
こで、照射光の基板１０の平坦面に対する角度βが２０
°よりも大きくなると、不良バンプ１６′の表面で反射
された反射光がカメラ装置２０に入射され易くなる。一
方、角度βが０°に近づくに従い、隣接するバンプ１６
の影の影響を受け易くなる傾向にあるため、角度βは１
０〜２０°が好ましい。尚、最適な角度βは、バンプ１
６の高さや形状等で変わるため、反射鏡部３２の反射面
３０の傾斜角αを変更して角度βの最適角を実験的に求
めておくことが好ましい。
【００１２】この様に、図１〜図２に示す検査用照明装
置を使用し、基板１０の平坦面に対して実質的に平行な
照射光を照射して得られた検査画像と、検査対象の基板
１０と同一パターンでバンプが形成され且つ良品である
比較対象の基板を使用し、比較対象の基板の平坦面に対
して略垂直に照射光を照射する照明装置を使用して得ら
れた比較画像とを用い、両画像を比較して不良バンプ１
６′を検出する。つまり、比較画像においては、比較対
象の基板に形成された全バンプが現れるが、図４に示す
検査画像では、不良バンプ１６′は消失している。従っ
て、検査画像と比較画像とを比較し、両画像に現れてい
るものは正常形状のバンプ１６であり、比較画像に現れ
ているものの、図４に示す検査画像に消失しているもの
は不良バンプ１６′であると判断される。尚、比較画像
と検査画像との取り込みの際には、同一カメラ装置で撮
影することにより、カメラ装置のレンズに因る収差等の
影響を可及的に少なくできる。
置を使用し、基板１０の平坦面に対して実質的に平行な
照射光を照射して得られた検査画像と、検査対象の基板
１０と同一パターンでバンプが形成され且つ良品である
比較対象の基板を使用し、比較対象の基板の平坦面に対
して略垂直に照射光を照射する照明装置を使用して得ら
れた比較画像とを用い、両画像を比較して不良バンプ１
６′を検出する。つまり、比較画像においては、比較対
象の基板に形成された全バンプが現れるが、図４に示す
検査画像では、不良バンプ１６′は消失している。従っ
て、検査画像と比較画像とを比較し、両画像に現れてい
るものは正常形状のバンプ１６であり、比較画像に現れ
ているものの、図４に示す検査画像に消失しているもの
は不良バンプ１６′であると判断される。尚、比較画像
と検査画像との取り込みの際には、同一カメラ装置で撮
影することにより、カメラ装置のレンズに因る収差等の
影響を可及的に少なくできる。
【００１３】かかる不良バンプ１６′の検出は、図５に
示す検査装置で行うことができる。図５の検査装置で
は、カメラ装置２０（第１の取込手段）から取り込まれ
た検査画像はマイクロプロセッシングユニット（ＭＰ
Ｕ）に送られ、ＲＡＭやハードディスクから成る第２の
記憶手段の第１メモリに書き込みされる。更に、予めカ
メラ装置２０〔第２の取込手段（第１の取込手段と兼
用）〕から取り込まれた比較画像は、同様にマイクロプ
ロセッシングユニット（ＭＰＵ）に送られ、第２の記憶
手段の第２メモリに書き込みされる。次いで、第２の記
憶手段の各メモリに書き込まれた検査画像と比較画像と
は、ＲＯＭやハードディスクから成る第１の記憶手段に
予め記憶されているパターンマッチングプログラム等の
検査プログラムをＭＰＵ（検出手段）に呼び込み、第２
の記憶手段の第１メモリに書き込まれた検査画像と、第
２メモリに書き込まれた比較画像とを比較し、検査結果
をＣＲＴやプリンタに表示する。その後、基板１０を順
次交換してカメラ装置２０で取り込んだ検査画像に、第
２の記憶手段の第１メモリの内容を更新しつつ、第２メ
モリに書き込まれた比較画像と比較して検査を行う。こ
の様な、図５に示す検査装置は、半導体装置の製造ライ
ンに組み込み、不良バンプが存在する基板を製造ライン
から取り除くようにしてもよく、キーボードによって、
検査結果の出力様式等を入力可能としてもよい。
示す検査装置で行うことができる。図５の検査装置で
は、カメラ装置２０（第１の取込手段）から取り込まれ
た検査画像はマイクロプロセッシングユニット（ＭＰ
Ｕ）に送られ、ＲＡＭやハードディスクから成る第２の
記憶手段の第１メモリに書き込みされる。更に、予めカ
メラ装置２０〔第２の取込手段（第１の取込手段と兼
用）〕から取り込まれた比較画像は、同様にマイクロプ
ロセッシングユニット（ＭＰＵ）に送られ、第２の記憶
手段の第２メモリに書き込みされる。次いで、第２の記
憶手段の各メモリに書き込まれた検査画像と比較画像と
は、ＲＯＭやハードディスクから成る第１の記憶手段に
予め記憶されているパターンマッチングプログラム等の
検査プログラムをＭＰＵ（検出手段）に呼び込み、第２
の記憶手段の第１メモリに書き込まれた検査画像と、第
２メモリに書き込まれた比較画像とを比較し、検査結果
をＣＲＴやプリンタに表示する。その後、基板１０を順
次交換してカメラ装置２０で取り込んだ検査画像に、第
２の記憶手段の第１メモリの内容を更新しつつ、第２メ
モリに書き込まれた比較画像と比較して検査を行う。こ
の様な、図５に示す検査装置は、半導体装置の製造ライ
ンに組み込み、不良バンプが存在する基板を製造ライン
から取り除くようにしてもよく、キーボードによって、
検査結果の出力様式等を入力可能としてもよい。
【００１４】ここで、比較画像を得るための照明装置と
しては、比較対象の基板が配設される空間部が設けられ
た枠体と、ハロゲン化金属ランプが使用された光源に一
端が連結された複数本の光ファイバから成り、且つこれ
ら光ファイバの各々の他端が枠体の底面に分散して設け
られた光ファイバ束とから成り、光源からの照射光が光
ファイバ束を介して枠体の底面から同軸落射される照明
装置を好適に使用できる。かかる照明装置は、図２に示
す照明装置の反射鏡部３２を撤去することによって兼用
できるため、図１〜図２に示す検査用照明装置におい
て、反射鏡部３２を枠体２２に取り外し可能に装着する
ことが好ましい。尚、図２に示す照明装置及び／又は基
板１０の平坦面に対して略垂直に照射光を照射する照明
装置を構成する枠体は、三角形、四角形等の多角形であ
ってもよい。
しては、比較対象の基板が配設される空間部が設けられ
た枠体と、ハロゲン化金属ランプが使用された光源に一
端が連結された複数本の光ファイバから成り、且つこれ
ら光ファイバの各々の他端が枠体の底面に分散して設け
られた光ファイバ束とから成り、光源からの照射光が光
ファイバ束を介して枠体の底面から同軸落射される照明
装置を好適に使用できる。かかる照明装置は、図２に示
す照明装置の反射鏡部３２を撤去することによって兼用
できるため、図１〜図２に示す検査用照明装置におい
て、反射鏡部３２を枠体２２に取り外し可能に装着する
ことが好ましい。尚、図２に示す照明装置及び／又は基
板１０の平坦面に対して略垂直に照射光を照射する照明
装置を構成する枠体は、三角形、四角形等の多角形であ
ってもよい。
【００１５】また、比較画像では、図８に示す画像と略
同一形状の画像が得られるため、バンプ１６の画像から
バンプ１６の中心位置を測定できる。このため、測定し
たバンプ１６の中心位置と、バンプ１６の中心位置の設
計値とを比較し、両者の位置差が大きい場合には、バン
プ１６が大きな位置ずれを起こしているものと判断され
る。かかるバンプ１６を具備する基板１０を実装基板に
実装すると、大きな位置ずれを起こしたバンプ１６は、
実装基板のパッドに接続されず、接続不良を惹起するお
それがある。尚、どの程度の位置ずれを起こした場合
に、接続不良等の問題を惹起するかは予め実験によって
求めておくことが好ましい。
同一形状の画像が得られるため、バンプ１６の画像から
バンプ１６の中心位置を測定できる。このため、測定し
たバンプ１６の中心位置と、バンプ１６の中心位置の設
計値とを比較し、両者の位置差が大きい場合には、バン
プ１６が大きな位置ずれを起こしているものと判断され
る。かかるバンプ１６を具備する基板１０を実装基板に
実装すると、大きな位置ずれを起こしたバンプ１６は、
実装基板のパッドに接続されず、接続不良を惹起するお
それがある。尚、どの程度の位置ずれを起こした場合
に、接続不良等の問題を惹起するかは予め実験によって
求めておくことが好ましい。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、バンプ形状を実質的に
喪失した不良バンプの存在の有無を検出できるため、不
良バンプに起因するトラブルを未然に防止できる。
喪失した不良バンプの存在の有無を検出できるため、不
良バンプに起因するトラブルを未然に防止できる。
【図１】本発明に係る検査用照明装置の正面図を示す。
【図２】図１に示す検査用照明装置の部分断面図を示
す。
す。
【図３】図１〜図２に示す検査用照明装置を使用した場
合を説明するための説明図である。
合を説明するための説明図である。
【図４】図１〜図２に示す検査用照明装置を使用した場
合に、得られる画像を説明するための説明図である。
合に、得られる画像を説明するための説明図である。
【図５】本発明に係る検査装置の概略を説明するための
ブロック図である。
ブロック図である。
【図６】半導体装置に用いられる基板の一例を示す正面
図である。
図である。
【図７】基板の平坦面に対して略垂直に照射光を照射し
た場合を説明するための説明図である。
た場合を説明するための説明図である。
【図８】基板の平坦面に対して略垂直に照射光を照射し
た場合に、得られる画像を説明するための説明図であ
る。
た場合に、得られる画像を説明するための説明図であ
る。
１０ 基板 １６ 正常形状のバンプ １６′バンプ形状を実質的に喪失した不良バンプ ２０ カメラ装置（取込手段） ２１ 空間部 ２２ 枠体 ２４ 光源（ハロゲン化金属ランプ） ２６ 光ファイバ束 ２８ 光ファイバ ３０ 反射面 ３２ 反射鏡部 α 反射面３０の傾斜角 β 照射光の基板１０の平坦面に対する角度
Claims (8)
- 【請求項１】 基板面等の平坦面から突出するバンプの
突出状態を検査する検査用照明装置であって、 該バンプが形成された基板等の検査対象が配設される空
間部が設けられた枠体と、 光源に一端が連結された複数本の光ファイバから成り、
且つ前記光ファイバの各々の他端が前記枠体の底面に分
散して設けられた光ファイバ束と、 前記光ファイバ束を介して枠体の底面から下方に向けて
射出される光源からの照射光を反射し、枠体の空間部に
配設される検査対象の平坦面に対して実質的に平行な照
射光を射出する反射面が形成された反射鏡部とを具備す
ることを特徴とする検査用照明装置。 - 【請求項２】 枠体が環状体である請求項１記載の検査
用照明装置。 - 【請求項３】 枠体の空間部に載置される検査対象の平
坦面に対して１０〜２０°の角度で照射光を射出する反
射鏡が、反射鏡部に設けられている請求項１又は請求項
２記載の検査用照明装置。 - 【請求項４】 光源がハロゲン化金属ランプである請求
項１〜３のいずれか一項記載の検査用照明装置。 - 【請求項５】 基板面等の平坦面から突出するバンプの
突出状態を検査する検査装置であって、 請求項１記載の検査用照明装置を使用し、検査対象のバ
ンプ形成面の検査画像を取り込む第１の取込手段と、 前記検査対象と同一パターンでバンプが形成され且つ良
品である比較対象の平坦面に対して略垂直に照射光を射
出する照明装置を使用し、前記比較対象のバンプ形成面
の比較画像を取り込む第２の取込手段と、 前記第１及び第２の取込手段で取り込まれた検査画像と
比較画像とを比較し、バンプが実質的に欠如している箇
所の有無を検出する検出手段とを具備することを特徴と
する検査装置。 - 【請求項６】 比較対象の平坦面に対して略垂直に照射
光を射出する照明装置が、比較対象が配設される空間部
が設けられた枠体と、光源に一端が連結された複数本の
光ファイバから成り、且つ前記光ファイバの各々の他端
が前記枠体の底面に分散して設けられた光ファイバ束と
を備え、前記光源からの照射光が光ファイバ束を介して
枠体の底面から同軸落射される照明装置である請求項５
記載の検査装置。 - 【請求項７】 枠体が環状体である請求項６記載の検査
装置。 - 【請求項８】 光源がハロゲン化金属ランプである請求
項６又は請求項７記載の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8942996A JPH09283579A (ja) | 1996-04-11 | 1996-04-11 | 検査用照明装置及び検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8942996A JPH09283579A (ja) | 1996-04-11 | 1996-04-11 | 検査用照明装置及び検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09283579A true JPH09283579A (ja) | 1997-10-31 |
Family
ID=13970424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8942996A Pending JPH09283579A (ja) | 1996-04-11 | 1996-04-11 | 検査用照明装置及び検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09283579A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11205000A (ja) * | 1998-01-08 | 1999-07-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品観察装置および電子部品観察方法 |
| JP2002139440A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-17 | Ibiden Co Ltd | パターン検査用照明装置 |
| JP2005188991A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-14 | Nagoya Electric Works Co Ltd | 錐体状または錐台状のバンプの異常検知方法、錐体状または錐台状のバンプの異常検知装置 |
| CN111595866A (zh) * | 2020-07-10 | 2020-08-28 | 全成信电子（深圳）股份有限公司 | 基于光源投射成像快速检测pcb板油墨凸起的装置及方法 |
-
1996
- 1996-04-11 JP JP8942996A patent/JPH09283579A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11205000A (ja) * | 1998-01-08 | 1999-07-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品観察装置および電子部品観察方法 |
| JP2002139440A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-17 | Ibiden Co Ltd | パターン検査用照明装置 |
| JP2005188991A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-14 | Nagoya Electric Works Co Ltd | 錐体状または錐台状のバンプの異常検知方法、錐体状または錐台状のバンプの異常検知装置 |
| JP4606734B2 (ja) * | 2003-12-24 | 2011-01-05 | 名古屋電機工業株式会社 | 錐体状または錐台状のバンプの異常検知方法 |
| CN111595866A (zh) * | 2020-07-10 | 2020-08-28 | 全成信电子（深圳）股份有限公司 | 基于光源投射成像快速检测pcb板油墨凸起的装置及方法 |
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