JPH09281089A - 管検査方法及び管内検査装置 - Google Patents

管検査方法及び管内検査装置

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JPH09281089A
JPH09281089A JP8090772A JP9077296A JPH09281089A JP H09281089 A JPH09281089 A JP H09281089A JP 8090772 A JP8090772 A JP 8090772A JP 9077296 A JP9077296 A JP 9077296A JP H09281089 A JPH09281089 A JP H09281089A
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JP
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pipe
circumferential direction
ultrasonic
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wave
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JP8090772A
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Takashi Kikuta
隆 菊田
Takao Nishizawa
隆夫 西澤
Masahiko Hirao
雅彦 平尾
Hirotsugu Ogi
博次 荻
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Osaka Gas Co Ltd
Original Assignee
Osaka Gas Co Ltd
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Publication date
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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    • G01N29/04Analysing solids
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00Indexing codes associated with group G01N29/00
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Abstract

(57)【要約】 【課題】電磁超音波を用いて比較的内径の大きな管に対
しても十分な検査効率が得られる管検査技術の提供 【解決手段】電磁超音波プローブ20によって管周方向
に伝播する超音波を励起するとともにこの電磁超音波プ
ローブ20を軸方向に走査することにより管の全領域を
粗検査し、異常箇所が見つかった場合管径方向に伝播す
る超音波を励起するとともに管周方向に走査することに
よりその異常箇所の周方向領域を精密検査する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、管体を軸方向及び
周方向に沿って移動しながら超音波により管体を検査す
る管検査方法及びその方法を実施する管内検査装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】上述した技術は、例えば、特開平5-8778
0 号公報から知られており、そこでは管の内径に適合さ
せた磁石とコイルを用いて管周方向全域にわたってロー
レンツ力による超音波を励起し、管体に存在する欠陥の
検出及び管厚の測定といった検査を行っている。さら
に、その際、検査精度を向上させるために超音波共鳴法
を採用している。超音波共鳴法は、それ自体は公知であ
るので詳しくは説明しないが、コイルに流す高周波電流
を掃引することにより、励起された超音波と、管体を伝
播して境界面、例えば底面で反射して戻ってくる反射超
音波とが共鳴する共鳴周波数が算定される。管体を伝播
する超音波の速度が一定とすれば、この共鳴周波数の変
動から管厚の変化又は欠陥とみなされる管体中の境界面
の存在が導かれる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の管検査
技術を、ガス等のパイプラインに用いられている比較的
内径の大きくかつ長大な管に適用しようとすれば、磁石
やコイルを大きな内径が適合させなければならず、その
結果装置が大型化し、装置の移動に大きな動力が必要と
なるばかりか、特に湾曲部分においてその移動は困難を
ともない、検査効率の低下が避けられない。本発明の目
的は、電磁超音波を用いて比較的内径の大きな管に対し
ても十分な検査効率が得られる管検査方法及びその方法
を実施する管内検査装置を提供することである。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記目的を解決するた
め、本発明による管検査方法では、電磁超音波ユニット
により管周方向に伝播するように励起された第1超音波
を用いて管軸方向に走査し、管周方向から得られた受信
信号により管の異常箇所を監視する。この方法では、電
磁超音波ユニットによって超音波を励起させた箇所から
管周方向に伝播する第1超音波によって管周方向の全域
にわたって減厚部等の異常箇所が検査される。これは、
減厚部や割れなどの超音波物性上の不連続部(音響イン
ピーダンスの段差)が存在すると、そこで超音波が反射
されることを利用して、この反射された超音波の監視に
より異常箇所のチェックが可能となる。つまり、管体の
一箇所で励起された超音波がその管周方向全域の検査を
行うのである。さらに、この超音波の励起を行う電磁超
音波ユニットを軸方向に走査していくことにより管体の
全領域の検査を短時間で行うことが可能となる。管体の
全内周面を螺旋状に走査していくより、時間的に節約す
ることが可能となる。しかも、電磁超音波法を利用して
いるので、超音波の励起と受信が非接触で行なわれ、圧
電振動子を用いた接触式の超音波法に比べ、高い走査速
度での不安定な接触状態によって生じる信号のふらつき
は少なく、検査時間の短縮化にも貢献する。
【0005】さらに、検査品質を向上させるため、本発
明による好適な実施形態の1つでは、前記電磁超音波ユ
ニットにより管径方向に伝播するように励起された第2
超音波を用いて管周方向に走査し、管径方向から得られ
た受信信号により管の異常箇所を監視する。つまり、管
の超音波探傷などでよく用いられているような探傷プロ
ーブを管に対して相対的に螺旋方向に走査させて同種の
超音波でもって全域を検査するのではなく、管周方向に
伝播することにより広い領域をカバーする第1超音波と
管径方向に伝播することで比較的狭い領域を精密にカバ
ーする第2超音波を適切に使い分けることで効率の良い
検査を実現している。
【0006】特にこの方法における好ましい実施の形態
は、管周方向の1箇所から管周方向全領域を大まかに検
査し、異常箇所が見い出された場合のみ、第2超音波を
用いて精密に問題となった管周方向の領域を検査してい
くことである。例えば、局部的に減厚部生じている場
合、そこで反射される第1超音波を検出することで何ら
かの異常の存在を認め、その管周方向全域を第2超音波
で精密に走査していくことで、減厚部の周方向長さや分
布状態などを確認することができる。
【0007】前述した第1と第2の2種類の超音波を励
起するために種々の方法が考えられるが、1つの好適な
実施形態としては、電磁超音波ユニットが周波数可変式
の高周波発信器とこの高周波発信器からの励磁信号によ
って管体内に超音波を励起させる電磁超音波プローブを
備え、管厚にほぼ等しい波長をもつ高周波で周方向に伝
播する第1超音波を励起させ、管厚の数分の1から数十
分の1の波長をもつ高周波で管径方向に伝播する第2超
音波を励起させることが提案される。さらに、波長の長
い超音波は減衰も少ないので長い領域を検査するのに適
しているし、波長の短い超音波は小さな異常箇所を検査
するのに適している。もちろん、第1超音波を励起させ
る電磁超音波プローブと第2超音波を励起させる電磁超
音波をそれぞれ独立させて準備し、電気的に切り換えて
もよい。
【0008】本発明による好適な実施形態として提案さ
れたように、管厚にほぼ等しい波長をもつ高周波で励起
された第1超音波は主に板波として管体内を伝播する
が、この場合異常箇所箇所から反射されるいわゆる反射
エコーの振幅を評価する反射振幅評価法或いは管体を一
周して戻ってくるいわゆる透過エコーの振幅を評価する
透過振幅評価法を用いると、それ自体は、良く知られて
技術であり、低いコストで実現することが可能である。
もちろん必要に応じて、両方の評価法で行うことも信頼
性の高い検査のためには有効である。さらに、管径方向
に伝播する第2超音波による異常箇所の診断は、超音波
共鳴法で算定された反射境界層の位置のチェックによっ
て行われるならば、より精度の高い検査が可能となる。
推定される管厚より短い位置に反射境界層が検出された
場合、減厚部或いは割れが存在していると判断すること
ができるが、これ検査は肉厚測定と同様に行うことがで
きる。超音波共鳴法自体は古くから知られているが、共
鳴状態の同位相の多重エコーを受信することで変換効率
の悪い電磁超音波プローブでも十分な感度を得ることが
でき、高い精度の検査が可能となる。
【0009】上述した管検査方法を実施する本発明によ
る管内検査装置は、管体を検査するため管体内を軸方向
及び周方向に沿って走行可能な管内走行台車を備えてお
り、この管内走行台車には電磁超音波ユニットが搭載さ
れ、かつ電磁超音波ユニットは、管周方向に伝播するよ
うに励起された第1超音波を用いて管軸方向に走査する
ことにより管周方向から得られた受信信号により管の管
周方向の異常箇所を監視する管周方向検査モードと、管
径方向に伝播するように励起された第2超音波を用いて
管周方向に走査し、管径方向から得られた受信信号によ
り管の管周方向の異常箇所を監視する管径方向検査モー
ドとで動作する。この構成では、管周方向に伝播する第
1超音波と管径方向に伝播する第2超音波を作り出す電
磁超音波ユニットは、軸方向及び周方向に沿って走行可
能な管内走行台車に搭載されていることによって管内の
自由な位置から2種類の伝播方向の異なる超音波を用い
て検査を行うことができるので、走査に自由性が極めて
高く、種々の走査方法を行うことができる。
【0010】特に好ましい実施形態として、管内走行台
車を管軸方向に走行させるとともに第1超音波を励起さ
せて管周方向の全領域を検査し(これは管周方向検査モ
ードの1つの実施の形態である)、もし異常箇所が検知
されて場合、管内走行台車を周方向に沿って走行させて
異常箇所を含む管周領域を第2超音波を励起させて順次
検査していく(これは管径方向検査モードの1つの実施
の形態である)ことが提案される。これにより、管内走
行台車は管体の全内面の検査のためにを管体の全内面走
行する必要がなく、通常は軸方向走行だけで、異常箇所
が検知されたときだけ周方向に走行すればよい。このこ
とは、検査時間の短縮化に貢献する。
【0011】電磁的に管体中に超音波を励起するために
は、強力な磁石を必要とするが、本発明の好適な実施形
態では、管内走行台車には走行輪を管面に磁気吸着させ
る磁石を備えており、この磁石の磁界をローレンツ力に
よる超音波の励起に利用する。これにより、電磁超音波
にとって重要な課題である強力な磁石の配置スペースや
コストの問題が容易に解決することができる。
【0012】第1超音波として板波を、そして第2超音
波として縦波を利用する場合、電磁超音波ユニットは、
1つの縦波用電磁超音波プローブと可変周波数式の高周
波発信器を備え、縦波用電磁超音波プローブに管厚とほ
ぼ等しいか或いはそれを越える波長をもつ励磁高周波を
供給することにより板波を励起することも本発明の好適
な実施形態の1つとして提案される。このことは、複数
のプローブを用意することに比べ、電磁著音波ユニット
のコンパクト化に貢献する。もちろん、そのような制約
がない場合、縦波と横波の専用の電磁超音波プローブを
用いることができるが、その際も高周波発信器や、評価
系のエレクトロニクスは共通化することは可能である。
本発明のその他の特徴及び利点は、以下図面を用いた実
施の形態の説明により明らかになるだろう。
【0013】
【発明の実施の形態】図1と図2は本発明による探管検
査方法を実施する管内検査装置の構成要素である管内走
行台車10の側面図であり、図1では管内を軸方向に走
行する状態が示されており、図2では管内を周方向に走
行する状態が示されている。軸方向に延びている車体1
1の前側領域には前輪12が、後ろ側領域には後輪13
が配置されている。前輪12を駆動するために前輪駆動
機構14が設けられているが、この前輪駆動機構14は
前輪走行用モータ14aとこの前輪走行用モータ14a
からの動力を前輪12に伝達する伝動機構14bから構
成されている。同様に後輪13を駆動するためにギヤ式
の後輪駆動機構15が設けられているが、この後輪駆動
機構15は後輪走行用モータ15aとこの後輪走行用モ
ータ15aからの動力を後輪13に伝達するギヤ式の伝
動機構15bから構成されている。
【0014】図2に示すように、前輪駆動機構14は前
輪12とともに台車上下方向の軸Y周りで回転可能であ
り、この目的のために前輪操舵機構16が備えられてい
る。同様に、後輪13も後輪操舵機構17によって台車
上下方向の軸Y周りで回転可能である。前輪・後輪操舵
機構16と17は、それぞれ操舵モータ16aと17a
及びウオームギヤを含むギヤ伝動機構16bと17bと
から構成されている。前輪12は、車軸12aとこの車
軸の両端に取り付けられた一対の鋼製輪体12bとから
なり、車軸12aを磁石で構成することで、輪体12b
は鉄管や鋼管の内周面に磁気吸着する。後輪13も同様
に磁石である車軸13aと鋼製輪体13bとからなる。
このことにより、この管内走行台車10は傾斜した管内
や管内を周方向に一周することも可能である。さらにこ
の管内走行台車10には、走行に関する各種のデータを
検出するために、例えば、前輪操舵角センサー18a、
後輪操舵角センサー18b、駆動速度を検出する走行速
度センサー18c、重力方向に対する姿勢を検出するロ
ーリングセンサー18dなどのセンサー群18が設けら
れている。
【0015】前輪駆動機構14の下端部で一対の輪体1
2bの間に電磁超音波プローブ20が取り付けられてい
る。図3に示されたこの電磁超音波プローブ20の模式
図を使って、電磁超音波プローブ20による超音波励起
の原理を以下に簡単に説明する;車軸12aは左輪体1
2b側をN極、右輪体12b側をS極として配置されて
いるので、管体2に軸方向の磁界23が発生する。超音
波プローブ20にはコイルが配置されており、この状態
でこのコイルに高周波電流を流すと渦電流24が管周方
向に流れ、管径方向にローレンツ力25が発生し、管径
方向に伝播する縦波超音波が発生する。検出には、逆の
プロセスを経てコイルに生じる誘起電圧が利用される。
コイルに供給する高周波電流の周波数を低くして、縦波
超音波の波長を管厚と同じか或いはそれより大きくする
と、管体自体が振動する板波が生じる。もちろん、縦波
伝播方向を管径方向より所定角度だけ傾けることにより
板波を発生させることも可能であり、板波の励起法に関
しては、事情に応じて選択すればよく、本発明はその方
法を限定するものではない。管径方向に伝播する縦波超
音波を用いた検査では、反射法より、共鳴法が効果的で
ある。この共鳴法では、超音波プローブ20のコイルに
流す高周波電流の周波数を掃引しつつ、この誘起電圧が
最大となる周波数を検出する管体中の超音波音速が既知
の場合、厚み共鳴する共鳴周波数を測定すれば、管厚値
を正確に得ることができる。減厚しておれば、共鳴周波
数が大きくなる。管体内部に超音波を反射する欠陥が存
在していると、同様に共鳴周波数が変化するため欠陥を
検出することができる。もちろん、反射法で十分な精度
で反射エコーを検出できる場合、反射法を利用すること
も可能である。また、コイルと磁界の方向を所定の位置
に設定すれば、横波超音波を励起することも可能であ
り、本発明は、縦波超音波に限定されるわけではない。
【0016】本発明による管内検査装置を含む検査シス
テムの制御ブロック図が図4に示されている。このシス
テムの中核を構成する端末マイコン100は、管内走行
台車1に設けられた各種センサーからなるセンサー群1
8からの信号を受け取り、前輪12と後輪13の駆動の
ための走行用モータ14aと15aにドライバー101
を介して動作信号を出力するとともに、前輪12と後輪
13の操舵のための操舵用モータ16aと17aにドラ
イバー102を介して動作信号を出力する。さらに端末
マイコン100は、電磁超音波プローブ20を動作させ
るため、ドライバー31を介して動作信号を可変周波数
型高周波発信器(RF発信器)32に送り、高周波発信
器32で生成された所定の周波数の高周波が増幅器33
を通って電磁超音波プローブ20のコイルに供給され、
管体に超音波を励起する。所定の伝播経路を経て戻って
きた超音波は電磁超音波プローブ20のコイルによって
検出され、この検出信号は増幅器41、バンドパスフィ
ルタ(B. P. F)42、さらにA/D変換器を経て端
末マイコン100に送られる。
【0017】端末マイコン100には、基本的にはプロ
グラムによって作り出される3つの主要な機能を果たす
手段、つまり管内走行台車を図1で示すように軸方向に
走行させる軸方向走行モードと図2で示すように径方向
に走行させる径方向走行モードとを切り換える走行モー
ド切換手段19と、管周方向に伝播する板波等の第1超
音波で検査を行う管周方向検査モードと管径方向に伝播
する縦波等の第2超音波で検査を行う管径方向検査モー
ドとを切り換える検査モード切換手段30と、検出され
た信号を超音波共鳴法や付加的に反射振幅法を用いて評
価する欠陥評価手段40が備えられている。このことか
ら、いわゆる電磁超音波ユニットは、超音波プローブ2
0、磁石としての車軸12a、超音波プローブ20と端
末マイコン100の間の信号線に介装された各種デバイ
ス、及び欠陥評価手段40から構成されている。従っ
て、管内検査装置は、この電磁超音波ユニットと、管内
走行台車1と、端末マイコン100とからなると理解さ
れる。端末マイコン100は、光ファイバー150など
の通信ケーブルや無線により相互コミュニケーション可
能にホストマイコン200と連結されている。このホス
トマイコン200は、通常地上の配置されており、複数
管内検査装置と相互コミュニケーション可能であり、管
内検査装置の各動作の制御や、管内検査装置から送られ
てきたデータの処理及び管理を行う。この目的のため、
ホストマイコン200には、検査データ等の表示のため
のモニター201、検査データ等の管理・格納のための
外部記憶装置202、検査データ等のハードコピーのた
めのプリンター203、及び管内検査装置の操作等のた
めのキーボード204が接続されている。
【0018】上述した管検査システムにおいて採用され
る代表的な2つの制御を説明する;第1は、図5のフロ
ーチャートに示されたもので、電磁超音波プローブ20
によって管周方向に伝播する超音波を励起するとともに
この電磁超音波プローブ20を軸方向に走査することに
より管の全領域を粗検査し、異常箇所が見つかった場合
管径方向に伝播する超音波を励起するとともに管周方向
に走査することによりその異常箇所の周方向領域を精密
検査する方法である。まず、必要の場合操舵モータ16
aと17aを用いて前輪12と後輪13を図1に示す姿
勢にした状態でモータ14aと15aを駆動することに
より管内走行台車10を軸方向に走行させる(#2)。
同時に、電磁超音波プローブ20によって第1超音波、
ここでは管周方向に伝播する板波を励起して、図6に示
すように、周方向検査を行う(#4)。欠陥(特に減厚
部)検出は、励起された板波の反射エコー又は透過エコ
ー或いはその両方を評価することにより行われる(#
6)。欠陥検出のチェック過程で(#8)、欠陥が検出
されない場合、さらに既に管内走行台車10が前もって
設定された所定の軸方向距離を走行が完了しているかど
うかをチェックし(#11)、所定距離走行完了の場
合、検査を終了し、走行途中である場合#4に戻り、軸
方向に走査しながらの周方向検査を続ける。#8で欠陥
が検出された場合、走行モータ14aと15aの駆動を
停止し、管内走行台車10の軸方向走行を停止させる
(#10)。同時に、第1超音波の励起も停止する(#
12)。続いて、操舵モータ16aと17aを用いて前
輪12と後輪13を図2に示す姿勢に操舵するとともに
走行モータ14aと15aを駆動駆動することにより管
内走行台車10を周方向に走行させる(#14)。同時
に、電磁超音波プローブ20によって管径方向に伝播す
る第2超音波、ここでは縦波を励起して、図7に示すよ
うに、管径方向検査を行う(#16)。前述した超音波
共鳴法を用いて管周方向全域にわたり検出信号を評価す
ることでその肉厚を求め、欠陥と見なされる減厚部の分
布を調べる(#18)。管内を一周走行したかどうかを
チェックし(#20)、まだ未走行領域が残っている限
り、#16に戻り、管径方向検査を続ける。管内を一周
走行すると、第2超音波の励起を停止する(#22)と
ともに、走行モータ14aと15aの駆動を停止し、管
内走行台車10の周方向走行を停止させ(#24)、#
2に戻り、管内走行台車10の軸方向走行を開始する。
このようにして、粗検査と精密検査の組み合わせで、効
率のよい管検査を実現している。
【0019】他の1つは、図8のフローチャートに示さ
れたもので、電磁超音波プローブ20によって管周方向
に伝播する超音波を励起するとともに、この電磁超音波
プローブ20を軸方向に走査することにより管の全領域
を粗検査することは先の方法と同じであるが、異常箇所
が見つかった場合、その異常箇所の周方向距離を算定
し、その異常箇所の領域に移動した後異常箇所の領域だ
けを管径方向に伝播する超音波を用いて精密検査する方
法である。この方法の場合、図5のフローチャートと比
較して、#2から#12までは同じであるため、ここで
の説明は省略する。#14では、管周方向に伝播する板
波の異常箇所からの反射エコーにより、以上箇所の管周
方向位置を算定する。この算定された距離に基づいて管
内走行台車10を異常箇所まで走行し(#16)、管径
方向に伝播する縦波を励起して、管径方向検査を行う
(#18)。前述した超音波共鳴法を用いてその検出信
号を評価し、肉厚を求める(#20)。同じ管周方向に
複数の異常箇所が存在していた場合は、異常箇所の残り
をチェックし(#22)、残っている場合再び次の異常
箇所まで走行する(#16)。すべての異常箇所の管径
方向検査が完了すると、縦波の励起を停止し(#2
4)、元の周方向位置に戻り(#26)、再び管内走行
台車10の軸方向走行を開始する(#2)。
【図面の簡単な説明】
【図1】管体軸方向走行姿勢における管内走行台車の部
分断面側面図
【図2】管体周方向走行姿勢における管内走行台車の部
分断面側面図
【図3】電磁超音波プローブの原理を説明する模式図
【図4】管検査システムのブロック図
【図5】管検査システムの1つの制御フローチャート図
【図6】管周方向に伝播する第1超音波を用いた管検査
の模式図
【図7】管径方向に伝播する第2超音波を用いた管検査
の模式図
【図8】管検査システムの他の1つの制御フローチャー
ト図
【符号の説明】
10 管内走行台車 20 電磁超音波プローブ 19 走行モード切換手段 30 検査モード切換手段 40 欠陥評価手段

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】管体を軸方向及び周方向に沿って移動しな
    がら超音波により管体を検査する管検査方法において、 電磁超音波ユニットにより管周方向に伝播するように励
    起された第1超音波を用いて管軸方向に走査し、管周方
    向から得られた受信信号により管の異常箇所を監視する
    管検査方法。
  2. 【請求項2】前記電磁超音波ユニットにより管径方向に
    伝播するように励起された第2超音波を用いて管周方向
    に走査し、管径方向から得られた受信信号により管の異
    常箇所を監視する請求項1に記載の管検査方法。
  3. 【請求項3】前記管周方向の異常箇所が検知された場合
    前記電磁超音波ユニットにより管径方向に伝播するよう
    に励起された第2超音波を用いて管周方向に走査し、前
    記異常箇所の診断を行う請求項1に記載の管検査方法。
  4. 【請求項4】前記電磁超音波ユニットは、前記第1超音
    波を励起する管周方向検査モードと前記第2超音波を励
    起する管径方向検査モードのいずれか選択されたモード
    で動作可能な電磁超音波プローブを備えており、前記モ
    ードの選択は前記超音波プローブに供給される励磁周波
    数によって行われる請求項2又は3に記載の管検査方
    法。
  5. 【請求項5】前記第1超音波は板波であり、板波による
    前記管周方向異常箇所の監視は、透過振幅評価又は反射
    振幅評価或いはその両方の評価により行われる請求項1
    〜4のいずれか1項に記載の管検査方法。
  6. 【請求項6】前記第2超音波による異常箇所の診断は、
    超音波共鳴法で算定された反射境界層の位置のチェック
    によって行われる請求項1〜5のいずれか1項に記載の
    管検査方法。
  7. 【請求項7】管体を検査するため管体内を軸方向及び周
    方向に沿って走行可能な管内走行台車を備えた管内検査
    装置において、 前記管内走行台車に電磁超音波ユニットが搭載され、か
    つ前記電磁超音波ユニットは、管周方向に伝播するよう
    に励起された第1超音波を用いて管軸方向に走査するこ
    とにより管周方向から得られた受信信号により管の管周
    方向の異常箇所を監視する管周方向検査モードと、管径
    方向に伝播するように励起された第2超音波を用いて管
    周方向に走査し、管径方向から得られた受信信号により
    管の管周方向の異常箇所を監視する管径方向検査モード
    とで動作する管内検査装置。
  8. 【請求項8】前記管周方向検査モードにおいて前記管周
    方向の異常箇所が検知された場合、管径方向に伝播する
    ように励起された第2超音波を用いて管周方向に走査す
    ることで前記異常箇所の診断を行う管径方向検査モード
    とで動作する請求項7に記載の管内検査装置。
  9. 【請求項9】前記管内走行台車は走行輪体を管面に磁気
    付着させる磁石を備えており、前記電磁超音波ユニット
    は前記磁石による磁界を超音波の励起のために用いる請
    求項7又は8に記載の管内検査装置。
  10. 【請求項10】前記第1超音波は板波であり、前記第2
    超音波は縦波であり、前記電磁超音波ユニットは縦波励
    起用電磁超音波プローブを備えており、この電磁超音波
    プローブは管厚以上の波長をもつ励磁周波数が供給され
    ることで副次的に板波を発生させる請求項7〜9のいず
    れか1項に記載の管内検査装置。
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