JPH09280886A - 静電容量型センサのデジタル演算回路 - Google Patents
静電容量型センサのデジタル演算回路Info
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- JPH09280886A JPH09280886A JP9076096A JP9076096A JPH09280886A JP H09280886 A JPH09280886 A JP H09280886A JP 9076096 A JP9076096 A JP 9076096A JP 9076096 A JP9076096 A JP 9076096A JP H09280886 A JPH09280886 A JP H09280886A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】カウンタ90が電極固定のセンサキャパシタ1
5を用いた発振回路10の出力周波数f4を入力し設定
数を計える迄の間に、カウンタ80が被測定圧力にて容
量変化するセンサキャパシタ25を用いた発振回路20
の出力周波数f3を入力し計数した数と、カウンタ80
の設定数との差に対応する数のパルス出力Poutを測
定結果とし、発振回路40の定周波出力f2にて出力す
るセンサ回路で、高価な部品を使わずにゼロ点とゲイン
の調整を独立化する等の機能向上を計る。 【解決方法】カウンタ90の設定数の計数終了時にカウ
ンタ80の入力をf3からゲイン設定用発振回路30の
出力f1の分周周波数f1’に切換え、カウンタ80の
設定数までの前記差の数を計えさせ、この差数の計数期
間のf2をPoutとする。f1とf2の比はゲイン抵
抗GRで可変でき、このゲイン調整はカウンタ80,9
0の設定数の調整(ゼロ点調整)と独立である。
5を用いた発振回路10の出力周波数f4を入力し設定
数を計える迄の間に、カウンタ80が被測定圧力にて容
量変化するセンサキャパシタ25を用いた発振回路20
の出力周波数f3を入力し計数した数と、カウンタ80
の設定数との差に対応する数のパルス出力Poutを測
定結果とし、発振回路40の定周波出力f2にて出力す
るセンサ回路で、高価な部品を使わずにゼロ点とゲイン
の調整を独立化する等の機能向上を計る。 【解決方法】カウンタ90の設定数の計数終了時にカウ
ンタ80の入力をf3からゲイン設定用発振回路30の
出力f1の分周周波数f1’に切換え、カウンタ80の
設定数までの前記差の数を計えさせ、この差数の計数期
間のf2をPoutとする。f1とf2の比はゲイン抵
抗GRで可変でき、このゲイン調整はカウンタ80,9
0の設定数の調整(ゼロ点調整)と独立である。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えばFC発振
形流量計、ガスメータ、水道メータなどの圧力センサな
どとして用いられ、検出する圧力,変位などの被検出物
理量の変化に応じて静電容量が変化する静電容量型セン
サにおける、静電容量の変化を発振周波数の変化として
取出し、デジタル演算によって被検出物理量を測定する
演算回路であって、特に高価な部品を用いることなく、
同一の被検出物理量に対する測定出力のゲイン調整,出
力分解能の切換え,絶対値測定と相対値測定の切換え等
を容易に行えるようにした演算回路としての静電容量型
センサのデジタル演算回路に関する。
形流量計、ガスメータ、水道メータなどの圧力センサな
どとして用いられ、検出する圧力,変位などの被検出物
理量の変化に応じて静電容量が変化する静電容量型セン
サにおける、静電容量の変化を発振周波数の変化として
取出し、デジタル演算によって被検出物理量を測定する
演算回路であって、特に高価な部品を用いることなく、
同一の被検出物理量に対する測定出力のゲイン調整,出
力分解能の切換え,絶対値測定と相対値測定の切換え等
を容易に行えるようにした演算回路としての静電容量型
センサのデジタル演算回路に関する。
【0002】なお以下各図において同一の符号は同一も
しくは相当部分を示す。
しくは相当部分を示す。
【0003】
【従来の技術】図10,図11はこの種の静電容量型セ
ンサの異なる構造例を示す模式図である。この両図にお
いて21は圧力等の物理量に応じて変位するダイヤフラ
ム、22はダイヤフラム21の変位によって変位する可
動電極、11は固定電極である。そして固定電極11の
1枚の可動電極22は可動電極22の変位によって静電
容量が変化する可動センサキャパシタ25を構成し、固
定電極11の2枚は固定センサキャパシタ15を構成し
ている。
ンサの異なる構造例を示す模式図である。この両図にお
いて21は圧力等の物理量に応じて変位するダイヤフラ
ム、22はダイヤフラム21の変位によって変位する可
動電極、11は固定電極である。そして固定電極11の
1枚の可動電極22は可動電極22の変位によって静電
容量が変化する可動センサキャパシタ25を構成し、固
定電極11の2枚は固定センサキャパシタ15を構成し
ている。
【0004】なお、図10は可動電極22を1枚,固定
電極11を3枚使用して、固定センサキャパシタ15と
可動センサキャパシタ25で夫々2枚づつ電極を使用し
たセンサ構成を示し、図11は可動電極22を1毎,固
定電極11を2枚使用して、固定電極11の1枚を固定
センサキャパシタ15と可動センサキャパシタ25で共
有するようにしたセンサ構成を示す。
電極11を3枚使用して、固定センサキャパシタ15と
可動センサキャパシタ25で夫々2枚づつ電極を使用し
たセンサ構成を示し、図11は可動電極22を1毎,固
定電極11を2枚使用して、固定電極11の1枚を固定
センサキャパシタ15と可動センサキャパシタ25で共
有するようにしたセンサ構成を示す。
【0005】次に20は可動センサキャパシタ25の静
電容量の電気信号への変換手段として設けられた可動セ
ンサキャパシタ用の発振回路(以下可動C用発振回路と
いう)で、検出静電容量が発振回路の回路定数として組
込まれ、その容量値の変化により発振周波数が変化する
発振回路である。また、10は温度や湿度などの環境変
化に対する出力誤差の補償用に固定センサキャパシタ1
5に対して、可動センサキャパシタ25と同様に設けら
れた固定センサキャパシタ用の発振回路(以下固定C用
発振回路という)である。
電容量の電気信号への変換手段として設けられた可動セ
ンサキャパシタ用の発振回路(以下可動C用発振回路と
いう)で、検出静電容量が発振回路の回路定数として組
込まれ、その容量値の変化により発振周波数が変化する
発振回路である。また、10は温度や湿度などの環境変
化に対する出力誤差の補償用に固定センサキャパシタ1
5に対して、可動センサキャパシタ25と同様に設けら
れた固定センサキャパシタ用の発振回路(以下固定C用
発振回路という)である。
【0006】このような静電容量型センサでは固定C用
発振回路10の出力周波数と可動C用発振回路20の出
力周波数をカウンタで計数した値を演算し、デジタル値
で出力する方法が一般的に用いられている。図9は上述
の静電容量型センサを用いた従来の圧力検出回路の構成
例を示すブロック図である。次にこの図9により従来構
成の演算の一例を説明する。
発振回路10の出力周波数と可動C用発振回路20の出
力周波数をカウンタで計数した値を演算し、デジタル値
で出力する方法が一般的に用いられている。図9は上述
の静電容量型センサを用いた従来の圧力検出回路の構成
例を示すブロック図である。次にこの図9により従来構
成の演算の一例を説明する。
【0007】なお、図9の回路は大気圧を基準圧力(被
測定圧力=0)として被測定圧力をパルス数の形で、パ
ルス出力Poutとして出力する回路である。なお、同
図において40はパルス出力Poutを出力するため
に、回路部品で構成された固定周波数f2の出力用発振
回路、100はこの周波数f2の外部への出力路を開閉
するゲート、60は可動C用発振回路20の出力周波数
f3又は出力用発振回路40の出力周波数f2を切換え
出力するデータ切換回路である。
測定圧力=0)として被測定圧力をパルス数の形で、パ
ルス出力Poutとして出力する回路である。なお、同
図において40はパルス出力Poutを出力するため
に、回路部品で構成された固定周波数f2の出力用発振
回路、100はこの周波数f2の外部への出力路を開閉
するゲート、60は可動C用発振回路20の出力周波数
f3又は出力用発振回路40の出力周波数f2を切換え
出力するデータ切換回路である。
【0008】80はデータ切換回路60の切換出力周波
数をカウントするアップカウンタ(アップカウンタAと
も略記する)、82は外部から入力されるカウント設定
値を、アップカウンタA(80)へのカウント(アッ
プ)設定値(例えばnAとする)として記憶する不揮発
メモリ、90は所定のカウント(アップ)設定値(例え
ばN1)が設定され、固定C用発振回路10の周波数f
4をカウントするアップカウンタ(アップカウンタBと
も略記する)である。
数をカウントするアップカウンタ(アップカウンタAと
も略記する)、82は外部から入力されるカウント設定
値を、アップカウンタA(80)へのカウント(アッ
プ)設定値(例えばnAとする)として記憶する不揮発
メモリ、90は所定のカウント(アップ)設定値(例え
ばN1)が設定され、固定C用発振回路10の周波数f
4をカウントするアップカウンタ(アップカウンタBと
も略記する)である。
【0009】また、110はアップカウンタA(80)
及びアップカウンタB(90)のカウントアップ(計数
満了)のタイミングを検知すると共に、固定C用発振回
路10,可動C用発振回路20,出力用発振回路40,
データ切換回路60,ゲート100等への動作のタイミ
ングを与えるタイミング回路である。次に述べる演算動
作では可動センサキャパシタ25への圧力を大気圧(つ
まり被測定圧力=0)としたとき、アップカウンタAが
カウントアップ(計数満了)する時間(nA/f3)と
アップカウンタBがカウントアップする時間(T1=N
1/f4)とが等しくなるように、予め固定C用発振回
路10内の図外の発振時定数調整用の抵抗により周波数
f4を調整して置き、次に可動センサキャパシタ25に
容量増加側の、(正の)被測定圧力を印加するものとす
る。
及びアップカウンタB(90)のカウントアップ(計数
満了)のタイミングを検知すると共に、固定C用発振回
路10,可動C用発振回路20,出力用発振回路40,
データ切換回路60,ゲート100等への動作のタイミ
ングを与えるタイミング回路である。次に述べる演算動
作では可動センサキャパシタ25への圧力を大気圧(つ
まり被測定圧力=0)としたとき、アップカウンタAが
カウントアップ(計数満了)する時間(nA/f3)と
アップカウンタBがカウントアップする時間(T1=N
1/f4)とが等しくなるように、予め固定C用発振回
路10内の図外の発振時定数調整用の抵抗により周波数
f4を調整して置き、次に可動センサキャパシタ25に
容量増加側の、(正の)被測定圧力を印加するものとす
る。
【0010】即ち、タイミング回路110のタイミング
出力により、圧力によって変化しない固定センサキャパ
シタ15の容量値に応じて発振周波数を変化する固定C
用発振回路10の発振周波数f4を入力とするアップカ
ウンタB(90)と、圧力により変化する可動センサキ
ャパシタ25の容量値に応じて発振周波数を変化する可
動C用発振回路20の出力周波数f3を入力とするカウ
ンタA(80)を、同時にカウント開始させ、アップカ
ウンタB(90)が所定のカウント数N1をカウント終
了したタイミングで、アップカウンタA(80)の入力
をデータ切換回路60により発振周波数固定の出力用発
振回路40の出力周波数f2に切換え、カウンタAの計
数を継続させると同時に、ゲート100を介しf2をセ
ンサ外部へ出力し、アップカウンタA(80)が所定数
nAのカウントを終了したタイミングで、f2のセンサ
外部への出力を停止する。
出力により、圧力によって変化しない固定センサキャパ
シタ15の容量値に応じて発振周波数を変化する固定C
用発振回路10の発振周波数f4を入力とするアップカ
ウンタB(90)と、圧力により変化する可動センサキ
ャパシタ25の容量値に応じて発振周波数を変化する可
動C用発振回路20の出力周波数f3を入力とするカウ
ンタA(80)を、同時にカウント開始させ、アップカ
ウンタB(90)が所定のカウント数N1をカウント終
了したタイミングで、アップカウンタA(80)の入力
をデータ切換回路60により発振周波数固定の出力用発
振回路40の出力周波数f2に切換え、カウンタAの計
数を継続させると同時に、ゲート100を介しf2をセ
ンサ外部へ出力し、アップカウンタA(80)が所定数
nAのカウントを終了したタイミングで、f2のセンサ
外部への出力を停止する。
【0011】このとき外部に出力されたf2のパルス数
(つまり可動センサキャパシタ25の温度,湿度等の、
圧力以外の条件に基づく発振周波数の変化の影響を除く
ために設けた固定センサキャパシタ15側のアップカウ
ンタB90が設定値N1をカンウトアップする時間(T
1=N1/f4)内に、アップカウンタAが設定値nA
より数え足りなかったパルス数)としてのパルス出力P
outは被測定圧力に比例する。
(つまり可動センサキャパシタ25の温度,湿度等の、
圧力以外の条件に基づく発振周波数の変化の影響を除く
ために設けた固定センサキャパシタ15側のアップカウ
ンタB90が設定値N1をカンウトアップする時間(T
1=N1/f4)内に、アップカウンタAが設定値nA
より数え足りなかったパルス数)としてのパルス出力P
outは被測定圧力に比例する。
【0012】また、他の演算方法として、予め被測定圧
力を大気圧とした条件における固定C用発振回路10の
周波数f4と可動C用発振回路20の周波数f3とを等
しく調整して置き、アップカウンタA及びアップカウン
タBの2つのカウンタの代りに1つのアップダウンカウ
ンタを使用し、固定センサキャパシタ15に対応する周
波数f4で所定時間アップカウントした後、可動センサ
キャパシタ25に対応する周波数f3で同じく所定時間
ダウンカウントすることで、そのカウント数の差を出力
データとする方法がある。この演算方法と比較した場合
の図9の演算方法の利点は、アップダウンカウンタを使
わない回路構成とすることで、ロジックのゲート数が減
少することと、測定時間が短くできることで、消費電力
が低くできることがあげられる。
力を大気圧とした条件における固定C用発振回路10の
周波数f4と可動C用発振回路20の周波数f3とを等
しく調整して置き、アップカウンタA及びアップカウン
タBの2つのカウンタの代りに1つのアップダウンカウ
ンタを使用し、固定センサキャパシタ15に対応する周
波数f4で所定時間アップカウントした後、可動センサ
キャパシタ25に対応する周波数f3で同じく所定時間
ダウンカウントすることで、そのカウント数の差を出力
データとする方法がある。この演算方法と比較した場合
の図9の演算方法の利点は、アップダウンカウンタを使
わない回路構成とすることで、ロジックのゲート数が減
少することと、測定時間が短くできることで、消費電力
が低くできることがあげられる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】図9の回路で得られる
パルス出力値Poutは、アップカウンタB(90)の
動作時間T1内のアップカウンタA(80)のカウント
数と、アップカウンタA(80)の設定カウント数との
差となり、もしもアップカウンタA(80)の設定カウ
ント数を、複数個のセンサに対し固定値とした場合に
は、センサ個々のダイヤフラムの圧力に対する動作量の
ばらつきにより、圧力に対する出力値の傾きが変動す
る。これを、圧力の絶対値に対する所定の出力値にする
ためには、図9ではアップカウンタA(80)の設定カ
ウント数を不揮発のメモリ82に記憶する構成とし、こ
のメモリ82の値とアップカウンタB(90)の動作時
間T1を適当な値にすることによりゲインを調整し、出
力値の傾きが希望の値となるようにしている。
パルス出力値Poutは、アップカウンタB(90)の
動作時間T1内のアップカウンタA(80)のカウント
数と、アップカウンタA(80)の設定カウント数との
差となり、もしもアップカウンタA(80)の設定カウ
ント数を、複数個のセンサに対し固定値とした場合に
は、センサ個々のダイヤフラムの圧力に対する動作量の
ばらつきにより、圧力に対する出力値の傾きが変動す
る。これを、圧力の絶対値に対する所定の出力値にする
ためには、図9ではアップカウンタA(80)の設定カ
ウント数を不揮発のメモリ82に記憶する構成とし、こ
のメモリ82の値とアップカウンタB(90)の動作時
間T1を適当な値にすることによりゲインを調整し、出
力値の傾きが希望の値となるようにしている。
【0014】このように、図9の回路には不揮発のデー
タ記憶素子が必要でコスト高になる、可動センサキャパ
シタ25と固定センサキャパシタ15の両値に対する出
力のゼロ点調整と上記ゲイン調整が相関することから、
合わせこみの調整作業が必要である、などの問題があっ
た。また、従来の構成で、微小な圧力変化が検出できる
ように高分解能化するためには、検出容量に対する発振
周波数の測定時間を長くする必要があり、圧力フルスケ
ールが同じとすると出力するデータ数が増えるのでデー
タの出力時間も長くなる。従って、高分解能化には消費
電力の増加が問題となるほか、高分解能化した場合に、
センサキャパシタに対する発振周波数の変動による誤差
が増加する可能性がある。
タ記憶素子が必要でコスト高になる、可動センサキャパ
シタ25と固定センサキャパシタ15の両値に対する出
力のゼロ点調整と上記ゲイン調整が相関することから、
合わせこみの調整作業が必要である、などの問題があっ
た。また、従来の構成で、微小な圧力変化が検出できる
ように高分解能化するためには、検出容量に対する発振
周波数の測定時間を長くする必要があり、圧力フルスケ
ールが同じとすると出力するデータ数が増えるのでデー
タの出力時間も長くなる。従って、高分解能化には消費
電力の増加が問題となるほか、高分解能化した場合に、
センサキャパシタに対する発振周波数の変動による誤差
が増加する可能性がある。
【0015】本発明は上記の問題を解消し、不揮発のデ
ータ記憶素子などを使わずに、ゼロ点調整とゲイン調整
が個別に調整でき、また、消費電力を極力抑えて高分解
能化した静電容量型センサのデジタル演算回路を提供す
ることを課題とする。
ータ記憶素子などを使わずに、ゼロ点調整とゲイン調整
が個別に調整でき、また、消費電力を極力抑えて高分解
能化した静電容量型センサのデジタル演算回路を提供す
ることを課題とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
めに、請求項1のデジタル演算回路は、被検出物理量
(圧力など)に基づく電極の変位によって静電容量が変
化する可動センサキャパシタ(25)を用いて発振周波
数(f3)を変化する可動キャパシタ用発振回路(2
0)と、可動センサキャパシタに対応し電極が固定され
て設けられ、被検出物理量によっては静電容量が変化し
ない固定センサキャパシタ(15)を用いて発振周波数
(f4)を変化する固定キャパシタ用発振回路(10)
と、回路部品で構成され、発振周波数(f1)を可変で
きるゲイン設定用発振回路(30)と、同じく回路部品
で構成された発振周波数(f2)が固定の出力用発振回
路(40)とを備え、予め被検出物理量を基準値(大気
圧など)とした条件で、固定キャパシタ用発振回路の出
力周波数が第1の設定数(N1)だけ計数される時間
を、可動キャパシタ用発振回路の出力周波数が第2の設
定数(N2+N3,但しこの条件時はN3=0)だけ計
数される時間に等しくてなり、さらに被検出物理量のも
とで固定キャパシタ用発振回路の出力周波数が第1の設
定数だけ計数される間、又はこれと等しい時間に計数さ
れた可動キャパシタ用発振回路の出力周波数の計数値
(N2)と第2の設定数との差の数(N3)だけ、ゲイ
ン設定用発振回路の出力周波数が計数される間、又はこ
れと等しい時間に出力用発振回路の出力周波数を被検出
物理量の測定結果(パルス出力Pout)として外部に
出力する手段(アップカウンタ80,90、データ切換
回路60、タイミング回路110、ゲート100など)
を備え、ゲイン設定用発振回路の出力周波数と出力用発
振回路の出力周波数との比率を(ゲイン抵抗GRを介
し)変化させることにより、被検出物理量に対する測定
結果のゲインを調整し得るようにする。
めに、請求項1のデジタル演算回路は、被検出物理量
(圧力など)に基づく電極の変位によって静電容量が変
化する可動センサキャパシタ(25)を用いて発振周波
数(f3)を変化する可動キャパシタ用発振回路(2
0)と、可動センサキャパシタに対応し電極が固定され
て設けられ、被検出物理量によっては静電容量が変化し
ない固定センサキャパシタ(15)を用いて発振周波数
(f4)を変化する固定キャパシタ用発振回路(10)
と、回路部品で構成され、発振周波数(f1)を可変で
きるゲイン設定用発振回路(30)と、同じく回路部品
で構成された発振周波数(f2)が固定の出力用発振回
路(40)とを備え、予め被検出物理量を基準値(大気
圧など)とした条件で、固定キャパシタ用発振回路の出
力周波数が第1の設定数(N1)だけ計数される時間
を、可動キャパシタ用発振回路の出力周波数が第2の設
定数(N2+N3,但しこの条件時はN3=0)だけ計
数される時間に等しくてなり、さらに被検出物理量のも
とで固定キャパシタ用発振回路の出力周波数が第1の設
定数だけ計数される間、又はこれと等しい時間に計数さ
れた可動キャパシタ用発振回路の出力周波数の計数値
(N2)と第2の設定数との差の数(N3)だけ、ゲイ
ン設定用発振回路の出力周波数が計数される間、又はこ
れと等しい時間に出力用発振回路の出力周波数を被検出
物理量の測定結果(パルス出力Pout)として外部に
出力する手段(アップカウンタ80,90、データ切換
回路60、タイミング回路110、ゲート100など)
を備え、ゲイン設定用発振回路の出力周波数と出力用発
振回路の出力周波数との比率を(ゲイン抵抗GRを介
し)変化させることにより、被検出物理量に対する測定
結果のゲインを調整し得るようにする。
【0017】また請求項2の演算回路は、請求項1に記
載の演算回路において、第1の設定数と第2の設定数と
を同倍率で切換える第1の切換手段(カウント数切換回
路85,95、動作モード切換回路130など)を備
え、被検出物理量に対する測定結果の分解能を切換え得
るようにする。また請求項3の演算回路は、請求項2に
記載の演算回路において、ゲイン設定用発振回路の出力
周波数を第1の切換手段による切換え倍率と等しい倍率
に切換える第2の切換手段(分周回路50,動作モード
切換回路130など)を備え、測定結果の分解能を切換
え前と同じにし得るようにする。
載の演算回路において、第1の設定数と第2の設定数と
を同倍率で切換える第1の切換手段(カウント数切換回
路85,95、動作モード切換回路130など)を備
え、被検出物理量に対する測定結果の分解能を切換え得
るようにする。また請求項3の演算回路は、請求項2に
記載の演算回路において、ゲイン設定用発振回路の出力
周波数を第1の切換手段による切換え倍率と等しい倍率
に切換える第2の切換手段(分周回路50,動作モード
切換回路130など)を備え、測定結果の分解能を切換
え前と同じにし得るようにする。
【0018】また請求項4の演算回路は、請求項1に記
載の演算回路において、所定の測定指令の入力に基づ
き、固定キャパシタ用発振回路の出力周波数が第1の設
定数だけ計数される間、又はこれと等しい時間に計数さ
れた可動キャパシタ用発振回路の出力周波数の計数値
(N2,以下ベース計数値という)を記憶する記憶手段
(データラッチ比較回路120)と、以後の前記測定指
令の入力毎に、固定キャパシタ用発振回路の出力周波数
が第1の設定数だけ計数される間、又はこれと等しい時
間に計数された可動キャパシタ用発振回路の出力周波数
の計数値(N2+N3’)と、前記ベース計数値との差
の数(N3’)を前記の差の数に置換える手段(データ
ラッチ比較回路120、タイミング回路110,データ
切換回路60,アップダウンカウンタ70など)とを備
え、被検出物理量の相対値を測定するようにする。
載の演算回路において、所定の測定指令の入力に基づ
き、固定キャパシタ用発振回路の出力周波数が第1の設
定数だけ計数される間、又はこれと等しい時間に計数さ
れた可動キャパシタ用発振回路の出力周波数の計数値
(N2,以下ベース計数値という)を記憶する記憶手段
(データラッチ比較回路120)と、以後の前記測定指
令の入力毎に、固定キャパシタ用発振回路の出力周波数
が第1の設定数だけ計数される間、又はこれと等しい時
間に計数された可動キャパシタ用発振回路の出力周波数
の計数値(N2+N3’)と、前記ベース計数値との差
の数(N3’)を前記の差の数に置換える手段(データ
ラッチ比較回路120、タイミング回路110,データ
切換回路60,アップダウンカウンタ70など)とを備
え、被検出物理量の相対値を測定するようにする。
【0019】また請求項5の演算回路は、請求項4に記
載の演算回路において、前記所定の測定指令が電源(V
dd)の通電中における外部からの1ビットの制御信号
(Cont)の立上り又は立下りによって与えられるよ
うにする。また請求項6の演算回路は、請求項2又は3
に記載の演算回路において、前記第1の切換手段の切換
えが、電源の通電開始時における外部からの1ビットの
制御信号(Cont)のデジタル値によって指定される
ようにする。
載の演算回路において、前記所定の測定指令が電源(V
dd)の通電中における外部からの1ビットの制御信号
(Cont)の立上り又は立下りによって与えられるよ
うにする。また請求項6の演算回路は、請求項2又は3
に記載の演算回路において、前記第1の切換手段の切換
えが、電源の通電開始時における外部からの1ビットの
制御信号(Cont)のデジタル値によって指定される
ようにする。
【0020】本発明の作用は次の如くである。即ち固定
センサキャパシタ用と可動センサキャパシタ用との2組
の発振回路10,20とは別に、被測定圧力に比例した
パルス数を生成するための回路部品により構成した2組
の発振回路30,40を設け(発振回路30が1回路追
加となる)、2組の発振回路10,20の出力の演算に
よる被測定圧力に相当するパルス数が測定された後に、
その測定結果のパルス数出力Poutのゲインを、2組
の発振回路30と40の出力周波数の比率により変化さ
せるようにする。
センサキャパシタ用と可動センサキャパシタ用との2組
の発振回路10,20とは別に、被測定圧力に比例した
パルス数を生成するための回路部品により構成した2組
の発振回路30,40を設け(発振回路30が1回路追
加となる)、2組の発振回路10,20の出力の演算に
よる被測定圧力に相当するパルス数が測定された後に、
その測定結果のパルス数出力Poutのゲインを、2組
の発振回路30と40の出力周波数の比率により変化さ
せるようにする。
【0021】また、測定結果のパルス数出力の分解能に
ついて、通常の分解能と高分解能の切換えを可能とし、
高分解能が必要な時のみ分解能を切換えて測定可能な構
成とし、高分解能化した場合に圧力相対値の測定が可能
な方式にすると共に、高分解能化した場合の出力ゲイン
を変えずに、2組の発振回路10,20の出力で行う演
算の時間のみを拡大可能な構成とする。なお上記“圧力
相対値”とは、ある時点から連続して圧力測定を行う場
合の測定値の、最初に測定した測定値との差を指す。
ついて、通常の分解能と高分解能の切換えを可能とし、
高分解能が必要な時のみ分解能を切換えて測定可能な構
成とし、高分解能化した場合に圧力相対値の測定が可能
な方式にすると共に、高分解能化した場合の出力ゲイン
を変えずに、2組の発振回路10,20の出力で行う演
算の時間のみを拡大可能な構成とする。なお上記“圧力
相対値”とは、ある時点から連続して圧力測定を行う場
合の測定値の、最初に測定した測定値との差を指す。
【0022】
【発明の実施の形態】本発明の総合的な構成を示すブロ
ック図は図1であり、実施例1〜5の機能を全て搭載集
約した例である。機能個々の説明については、以下の実
施例1〜5で図を参照して説明する。また、実施例1〜
5の構成中のアップカウンタ80,90は、ダウンカウ
ンタによっても構成可能であり、同等の効果が得られ
る。
ック図は図1であり、実施例1〜5の機能を全て搭載集
約した例である。機能個々の説明については、以下の実
施例1〜5で図を参照して説明する。また、実施例1〜
5の構成中のアップカウンタ80,90は、ダウンカウ
ンタによっても構成可能であり、同等の効果が得られ
る。
【0023】(実施例1)図2は請求項1に関わる発明
の一実施例(実施例1とする)としての構成を示すブロ
ック回路図で、図9に対応するものである。図2におい
ては図9に対し不揮発メモリ82が削除され、ゲイン設
定用発振回路30が新設されている。そして出力用発振
回路40の出力周波数f2はゲート100を介して外部
のみに出力され、データ切換回路60にはゲイン設定用
発振回路30の出力周波数f1が、可動C用発振回路2
0の出力周波数f3と共に、被切換入力として与えられ
るように構成されている。また、タイミング回路110
はゲイン設定用発振回路30に対しても動作のタイミン
グを与える。
の一実施例(実施例1とする)としての構成を示すブロ
ック回路図で、図9に対応するものである。図2におい
ては図9に対し不揮発メモリ82が削除され、ゲイン設
定用発振回路30が新設されている。そして出力用発振
回路40の出力周波数f2はゲート100を介して外部
のみに出力され、データ切換回路60にはゲイン設定用
発振回路30の出力周波数f1が、可動C用発振回路2
0の出力周波数f3と共に、被切換入力として与えられ
るように構成されている。また、タイミング回路110
はゲイン設定用発振回路30に対しても動作のタイミン
グを与える。
【0024】図2の発振回路構成において、可動センサ
キャパシタ25と固定センサキャパシタ15は、圧力セ
ンサで構成される容量であり、圧力によっては変化しな
い固定センサキャパシタ15には、RC発振回路である
固定C用発振回路10が接続され、固定C用発振回路1
0からは周波数信号f4が出力される。また、図は示し
ていないが固定センサキャパシタ15に対する発振周波
数f4は、固定C用発振回路10内の調整用抵抗の値を
変化させることで可調整とする。
キャパシタ25と固定センサキャパシタ15は、圧力セ
ンサで構成される容量であり、圧力によっては変化しな
い固定センサキャパシタ15には、RC発振回路である
固定C用発振回路10が接続され、固定C用発振回路1
0からは周波数信号f4が出力される。また、図は示し
ていないが固定センサキャパシタ15に対する発振周波
数f4は、固定C用発振回路10内の調整用抵抗の値を
変化させることで可調整とする。
【0025】圧力により変化する可動センサキャパシタ
25には、上記と同様のRC発振回路である可動C用発
振回路20が接続され、可動C用発振回路20からは周
波数信号f3が出力される。可動C用発振回路20では
抵抗値は固定であり、可動センサキャパシタ25に対す
る発振周波数は、可動センサキャパシタ25の容量のみ
で変化する。
25には、上記と同様のRC発振回路である可動C用発
振回路20が接続され、可動C用発振回路20からは周
波数信号f3が出力される。可動C用発振回路20では
抵抗値は固定であり、可動センサキャパシタ25に対す
る発振周波数は、可動センサキャパシタ25の容量のみ
で変化する。
【0026】出力用発振回路40とゲイン設定用発振回
路30は、回路構成としては、可動C用発振回路20及
び固定C用発振回路10と同様であり、発振周波数を決
定する抵抗・コンデンサは、汎用の回路部品で構成し、
出力用発振回路40からは周波数信号f2が出力され、
ゲイン設定用発振回路30からは周波数信号f1が出力
される。また、出力用発振回路40の発振周波数は固定
であり、ゲイン設定用発振回路30の発振周波数は、ゲ
イン抵抗GRの値を変化させることで可変としている。
路30は、回路構成としては、可動C用発振回路20及
び固定C用発振回路10と同様であり、発振周波数を決
定する抵抗・コンデンサは、汎用の回路部品で構成し、
出力用発振回路40からは周波数信号f2が出力され、
ゲイン設定用発振回路30からは周波数信号f1が出力
される。また、出力用発振回路40の発振周波数は固定
であり、ゲイン設定用発振回路30の発振周波数は、ゲ
イン抵抗GRの値を変化させることで可変としている。
【0027】図3は図2(及び後述の図4,図5)の動
作説明用のタイムチャートである。次に図3を参照しつ
つ、図2の発振回路以外の構成及び圧力測定時の回路動
作を説明する。なお、この場合も可動センサキャパシタ
25の印加圧力を大気圧とした(被測定圧力=0の)条
件で、アップカウンタB(90)がそのカウント設定値
(この例ではN1)まで固定C用発振回路10の出力周
波数f4をカウントする時間と、アップカウンタA(8
0)がそのカウント設定値(この例ではN2+N3、但
し被測定圧力=0のときN3=0)まで可動C用発振回
路20の出力周波数f3をカウントする時間とが等しく
なるように、固定C用発振回路10内の抵抗によりその
出力周波数f4を調整しておくものとする。
作説明用のタイムチャートである。次に図3を参照しつ
つ、図2の発振回路以外の構成及び圧力測定時の回路動
作を説明する。なお、この場合も可動センサキャパシタ
25の印加圧力を大気圧とした(被測定圧力=0の)条
件で、アップカウンタB(90)がそのカウント設定値
(この例ではN1)まで固定C用発振回路10の出力周
波数f4をカウントする時間と、アップカウンタA(8
0)がそのカウント設定値(この例ではN2+N3、但
し被測定圧力=0のときN3=0)まで可動C用発振回
路20の出力周波数f3をカウントする時間とが等しく
なるように、固定C用発振回路10内の抵抗によりその
出力周波数f4を調整しておくものとする。
【0028】上記、固定C用発振回路10の出力周波数
f4は、アップカウンタB(90)に入力され、アップ
カウンタB(90)は予め設定された数値(図3,N
1)となるまでカウントし、カウント終了時にタイミン
グ信号T1をタイミング回路110に出力する。測定開
始時にはタイミング回路110のカイミング制御によっ
て、可動C用発振回路20の出力f3が、データ切換回
路60を介してアップカウンタA(80)に入力され、
上記のアップカウンタB(90)のカウント開始と同時
にアップカウンタA(80)もカウントを開始し、アッ
プカウンタA(80)の入力は、上記タイミング信号T
1がタイミング回路110に送出された時点で、タイミ
ング回路110の制御によってデータ切換回路60を介
しゲイン設定用発振回路30の出力周波数f1に切換え
られる。
f4は、アップカウンタB(90)に入力され、アップ
カウンタB(90)は予め設定された数値(図3,N
1)となるまでカウントし、カウント終了時にタイミン
グ信号T1をタイミング回路110に出力する。測定開
始時にはタイミング回路110のカイミング制御によっ
て、可動C用発振回路20の出力f3が、データ切換回
路60を介してアップカウンタA(80)に入力され、
上記のアップカウンタB(90)のカウント開始と同時
にアップカウンタA(80)もカウントを開始し、アッ
プカウンタA(80)の入力は、上記タイミング信号T
1がタイミング回路110に送出された時点で、タイミ
ング回路110の制御によってデータ切換回路60を介
しゲイン設定用発振回路30の出力周波数f1に切換え
られる。
【0029】タイミング信号T1の送出以降は、アップ
カウンタA(80)がゲイン設定用発振回路30の出力
周波数f1を予め設定された数値(図3,N2+N3)
となるまでカウントし、カウント終了時にタイミング信
号T5をタイミング回路110に出力する。また、タイ
ミング信号T1送出からT5送出までの間は、タイミン
グ回路110がゲート100にタイミング信号T8を与
えることによってゲート100が開き、出力用発振回路
40からの出力f2をパルス出力Poutとしてセンサ
外部へ送出する。
カウンタA(80)がゲイン設定用発振回路30の出力
周波数f1を予め設定された数値(図3,N2+N3)
となるまでカウントし、カウント終了時にタイミング信
号T5をタイミング回路110に出力する。また、タイ
ミング信号T1送出からT5送出までの間は、タイミン
グ回路110がゲート100にタイミング信号T8を与
えることによってゲート100が開き、出力用発振回路
40からの出力f2をパルス出力Poutとしてセンサ
外部へ送出する。
【0030】この実施例1では、図3のアップカウンタ
B(90)の総カウント数N1の数をカウントする時間
と、アップカウンタA(80)の総カウント数N2+N
3の数をカウントする時間が同一であった(つまりN3
=0)場合には得られる出力が0となり、f3の周波数
が、正の被測定圧力の印加による可動センサキャパシタ
25の容量値の増加により低くなった場合に、アップカ
ウンタAがゲイン設定用発振回路30の出力周波数f1
のパルスの数N3をカウントする時間内の、出力用発振
回路40の出力周波数f2のパルスの数N4が出力値と
して送出される。従って、N1とN2の演算で得られた
N3の数に対し、ゲイン設定用発振回路30の出力周波
数f1を変化させることでN3をカウントする時間が変
化し、N4の数はN3に比例して変化することになり、
出力ゲインはf1の周波数を変化させることで調整可能
となる。
B(90)の総カウント数N1の数をカウントする時間
と、アップカウンタA(80)の総カウント数N2+N
3の数をカウントする時間が同一であった(つまりN3
=0)場合には得られる出力が0となり、f3の周波数
が、正の被測定圧力の印加による可動センサキャパシタ
25の容量値の増加により低くなった場合に、アップカ
ウンタAがゲイン設定用発振回路30の出力周波数f1
のパルスの数N3をカウントする時間内の、出力用発振
回路40の出力周波数f2のパルスの数N4が出力値と
して送出される。従って、N1とN2の演算で得られた
N3の数に対し、ゲイン設定用発振回路30の出力周波
数f1を変化させることでN3をカウントする時間が変
化し、N4の数はN3に比例して変化することになり、
出力ゲインはf1の周波数を変化させることで調整可能
となる。
【0031】(実施例2)図4は請求項2に関わる発明
の一実施例(実施例2とする)としての構成を示すブロ
ック回路図である。図4での基本的な構成・演算方法は
図2と同じであるが、構成の異なる点は、アップカウン
タA(80)のカウント数切換回路85と、アップカウ
ンタB(90)のカウント数切換回路95と、外部から
の制御信号Contに応じてカウント数切換回路85,
95に夫々モード切換信号M2,M1を与える動作モー
ド切換回路130を付加したことである。
の一実施例(実施例2とする)としての構成を示すブロ
ック回路図である。図4での基本的な構成・演算方法は
図2と同じであるが、構成の異なる点は、アップカウン
タA(80)のカウント数切換回路85と、アップカウ
ンタB(90)のカウント数切換回路95と、外部から
の制御信号Contに応じてカウント数切換回路85,
95に夫々モード切換信号M2,M1を与える動作モー
ド切換回路130を付加したことである。
【0032】以下に図3を参照しつつ図4の回路動作を
説明する。実施例1での図3,N3の数は、ダイヤフラ
ムが圧力に対して変位する量などのセンサ構造に起因す
る誤差により異なるが、センサ構造による誤差の平均
で、N3の数とN4の数がおよそ同じになるか、N3が
多少大きくなるようN1(つまりアップカウンタBのカ
ウント設定値)とN2+N3(つまりアップカウンタA
のカウント設定値)の数を設定し、その数は固定であ
る。
説明する。実施例1での図3,N3の数は、ダイヤフラ
ムが圧力に対して変位する量などのセンサ構造に起因す
る誤差により異なるが、センサ構造による誤差の平均
で、N3の数とN4の数がおよそ同じになるか、N3が
多少大きくなるようN1(つまりアップカウンタBのカ
ウント設定値)とN2+N3(つまりアップカウンタA
のカウント設定値)の数を設定し、その数は固定であ
る。
【0033】他方、この実施例2では図3でのN1の数
をアップカウンタB(90)のカウント数切換回路9
5,N2+N3の数をアップカウンタA(80)のカウ
ント数切換回路85により、各種の倍率で変更できるよ
うに構成し、動作モード切換回路130は、外部からの
制御信号Contあるいはセンサ内部の動作設定信号に
より、N1の数とN2+N3の数が同倍率で切替わるよ
うにカウント数切換回路85,95の倍率を切換える。
をアップカウンタB(90)のカウント数切換回路9
5,N2+N3の数をアップカウンタA(80)のカウ
ント数切換回路85により、各種の倍率で変更できるよ
うに構成し、動作モード切換回路130は、外部からの
制御信号Contあるいはセンサ内部の動作設定信号に
より、N1の数とN2+N3の数が同倍率で切替わるよ
うにカウント数切換回路85,95の倍率を切換える。
【0034】N1の数とN2+N3の数が同倍率で切替
わることにより、N3はその倍率で変化し、N3とN4
は比例関係なのでN4も同じ倍率で変化することにな
る。この構成にすることにより、例えば圧力に対する出
力値を2倍にする(分離能を2倍にする)場合には、N
1の数とN2+N3の数が夫々2倍となるよう動作モー
ドを切換えれば良く、分解能を切換えて測定したい場合
は、動作モード切換回路130に対して与える制御信号
Contを切換えれば良い。
わることにより、N3はその倍率で変化し、N3とN4
は比例関係なのでN4も同じ倍率で変化することにな
る。この構成にすることにより、例えば圧力に対する出
力値を2倍にする(分離能を2倍にする)場合には、N
1の数とN2+N3の数が夫々2倍となるよう動作モー
ドを切換えれば良く、分解能を切換えて測定したい場合
は、動作モード切換回路130に対して与える制御信号
Contを切換えれば良い。
【0035】(実施例3)図5は請求項3に関わる発明
の一実施例(実施例3とする)としての構成を示すブロ
ック回路図である。この図5での基本的な構成・演算方
法は図4と同じであるが、構成の異なる点は、ゲイン設
定用発振回路30とデータ切換回路60の間に、入力周
波数f1を出力周波数f1’に分周する分周回路50を
付加したことである。なお、分周回路50の分周比は動
作モード切換回路130からのモード切換信号M4によ
って切換えられる。
の一実施例(実施例3とする)としての構成を示すブロ
ック回路図である。この図5での基本的な構成・演算方
法は図4と同じであるが、構成の異なる点は、ゲイン設
定用発振回路30とデータ切換回路60の間に、入力周
波数f1を出力周波数f1’に分周する分周回路50を
付加したことである。なお、分周回路50の分周比は動
作モード切換回路130からのモード切換信号M4によ
って切換えられる。
【0036】次に図3を参照しつつ図5の回路動作を説
明する。図4での分解能の切換えにより、例えば図3に
てN1の数とN2+N3の数を夫々2倍とすれば、圧力
に対する出力値N4は2倍となり、分解能は2倍とする
ことができる。このようにN1の数とN2+N3の数を
夫々2倍したものに対して、ゲイン設定用発振回路30
の出力f1の周波数を2倍とし、出力ゲインを1/2と
すれば、被検出圧力に対する出力値は以前と同様とする
ことができる。
明する。図4での分解能の切換えにより、例えば図3に
てN1の数とN2+N3の数を夫々2倍とすれば、圧力
に対する出力値N4は2倍となり、分解能は2倍とする
ことができる。このようにN1の数とN2+N3の数を
夫々2倍したものに対して、ゲイン設定用発振回路30
の出力f1の周波数を2倍とし、出力ゲインを1/2と
すれば、被検出圧力に対する出力値は以前と同様とする
ことができる。
【0037】このようにした場合、出力の分解能を変え
ずにアップカウンタAとB(80と90)のカウント数
を増加させる動作となり、1つ目の効果としてカウンタ
のカウント数増加により検出用発振器の発振周波数のジ
ッタ成分を平均化する効果が大きくなることと、2つ目
の効果としてN2及びN3の値は非同期の時間幅T1で
決められるため、ビットの境目で少なくとも1パルスの
誤差が発生するが、N3の値を大きくすることで上記の
1パルス分の誤差に対する時間幅T8の精度が高くなる
ことがあげられ、これらの効果により出力誤差を低減さ
せることができる(この動作を便宜上ジッタレス動作と
よぶ)。
ずにアップカウンタAとB(80と90)のカウント数
を増加させる動作となり、1つ目の効果としてカウンタ
のカウント数増加により検出用発振器の発振周波数のジ
ッタ成分を平均化する効果が大きくなることと、2つ目
の効果としてN2及びN3の値は非同期の時間幅T1で
決められるため、ビットの境目で少なくとも1パルスの
誤差が発生するが、N3の値を大きくすることで上記の
1パルス分の誤差に対する時間幅T8の精度が高くなる
ことがあげられ、これらの効果により出力誤差を低減さ
せることができる(この動作を便宜上ジッタレス動作と
よぶ)。
【0038】図5は上記のようなN1の数(即ちアップ
カウンタB(90)のカウント設定値)とN2+N3の
数(即ちアップカウンタA(80)のカウント設定値)
に対して、夫々カウント数切換回路95,85を介して
与える倍率と、ゲイン設定用発振回路30側から分周回
路50を介してアップカウンタA(80)に与える周波
数f1’の倍率を同倍率とする動作が切換え可能とした
ものである。
カウンタB(90)のカウント設定値)とN2+N3の
数(即ちアップカウンタA(80)のカウント設定値)
に対して、夫々カウント数切換回路95,85を介して
与える倍率と、ゲイン設定用発振回路30側から分周回
路50を介してアップカウンタA(80)に与える周波
数f1’の倍率を同倍率とする動作が切換え可能とした
ものである。
【0039】即ちゲイン設定用発振回路30の発振周波
数f1を決めている抵抗・コンデンサの定数を切換える
のは、発振周波数の精度の面で問題があるので、周波数
f1は図2の通常時の周波数のこの例では2倍で常時発
振するように設定し、分周回路50の分周比を1/2又
は1に切換え得るようにし、通常時の分周比は1/2と
なるようにする。従って通常時、ゲイン設定用発振回路
30から分周回路50を経てアップカウンタ80に入力
される周波数f1’は図2のf1と同じになる。
数f1を決めている抵抗・コンデンサの定数を切換える
のは、発振周波数の精度の面で問題があるので、周波数
f1は図2の通常時の周波数のこの例では2倍で常時発
振するように設定し、分周回路50の分周比を1/2又
は1に切換え得るようにし、通常時の分周比は1/2と
なるようにする。従って通常時、ゲイン設定用発振回路
30から分周回路50を経てアップカウンタ80に入力
される周波数f1’は図2のf1と同じになる。
【0040】そして実施例2のように高分解能とする場
合には、分周回路50の分周比を1/2(つまりf1’
=f1/2)としたまま、アップカウンタ90と80の
カウント設定値N1と(N2+N3)を共に2倍とす
る。また実施例3のようにジッタレス動作を行わせる場
合には、アップカウンタ90と80の前記のカウント設
定値N1と(N2+N3)を共に2倍とし、さらに分周
回路50の分周比を1(つまりf1=f1’)とする。
合には、分周回路50の分周比を1/2(つまりf1’
=f1/2)としたまま、アップカウンタ90と80の
カウント設定値N1と(N2+N3)を共に2倍とす
る。また実施例3のようにジッタレス動作を行わせる場
合には、アップカウンタ90と80の前記のカウント設
定値N1と(N2+N3)を共に2倍とし、さらに分周
回路50の分周比を1(つまりf1=f1’)とする。
【0041】(実施例4)図6は請求項4に関わる発明
の一実施例(実施例4とする)としての構成を示すブロ
ック回路図である。図6での基本的な構成・演算方法は
図2と同じであるが、構成の異なる点は、アップダウン
カウンタ70と、データラッチ比較回路120と、動作
モード切換回路130を付加したことである。
の一実施例(実施例4とする)としての構成を示すブロ
ック回路図である。図6での基本的な構成・演算方法は
図2と同じであるが、構成の異なる点は、アップダウン
カウンタ70と、データラッチ比較回路120と、動作
モード切換回路130を付加したことである。
【0042】なお、動作モード切換回路130は外部か
らの制御信号Contに応じて、データ切換回路60,
データラッチ比較回路120,タイミング回路110に
夫々モード切換信号M3,M5,M6を与える。また、
タイミング回路110はアップダウンカウンタ70及び
データラッチ比較回路120とも信号を授受し動作タイ
ミングの制御等を行う。
らの制御信号Contに応じて、データ切換回路60,
データラッチ比較回路120,タイミング回路110に
夫々モード切換信号M3,M5,M6を与える。また、
タイミング回路110はアップダウンカウンタ70及び
データラッチ比較回路120とも信号を授受し動作タイ
ミングの制御等を行う。
【0043】図7は図6の動作説明用のタイムチャート
である。図2では、センサ電源VddのON時のパワーオ
ンリセット後から測定を開始し、測定・データ出力終了
後は、センサ自身により動作を停止する。つまり、測定
をする度に外部から電源VddをON/OFFして測定を
行う。これに対して図6では電源ON後の制御信号Co
ntのON/OFF毎に、先ず1回目の制御信号Con
tの立上りで1回目の測定データを記憶したのち、以後
の制御信号Contの立上り毎に1回目の測定データに
対する差(相対値)のデータを出力する。
である。図2では、センサ電源VddのON時のパワーオ
ンリセット後から測定を開始し、測定・データ出力終了
後は、センサ自身により動作を停止する。つまり、測定
をする度に外部から電源VddをON/OFFして測定を
行う。これに対して図6では電源ON後の制御信号Co
ntのON/OFF毎に、先ず1回目の制御信号Con
tの立上りで1回目の測定データを記憶したのち、以後
の制御信号Contの立上り毎に1回目の測定データに
対する差(相対値)のデータを出力する。
【0044】ここで相対値の測定を行うには、1回目に
測定したデータを記憶し、データを保持する必要があ
る。しかし、データの保持のために不揮発メモリを使う
ことは回路コストの増大となるため、本発明では図7
(a)のタイムチャートのように、相対値の測定時に限
り電源Vddを通電状態にしたまま電源Vddと別に設けた
制御信号Contの測定開始の信号(立上り信号)によ
り測定を開始し、1回目の測定データは揮発性メモリに
記憶して、2回目の測定以降に相対値の測定データを送
出する方式とした。
測定したデータを記憶し、データを保持する必要があ
る。しかし、データの保持のために不揮発メモリを使う
ことは回路コストの増大となるため、本発明では図7
(a)のタイムチャートのように、相対値の測定時に限
り電源Vddを通電状態にしたまま電源Vddと別に設けた
制御信号Contの測定開始の信号(立上り信号)によ
り測定を開始し、1回目の測定データは揮発性メモリに
記憶して、2回目の測定以降に相対値の測定データを送
出する方式とした。
【0045】よって、一度電源をOFFした場合は、相
対値の基準となるデータは消えるので、次の相対値測定
は再び電源をONした時点での1回目の測定値が基準と
なる。次に図7を参照しつつ図6の動作を説明する。電
源ON後の1回目の測定では、先ず電源VddのONによ
り、タイミング回路110によって固定C用発振回路1
0と可動C用発振回路20は同時に起動され、図2と同
様な通常の測定が開始されようとするが、引続いて制御
信号Contが立上ることによって、動作モード切換回
路130が相対値測定モードとするモード切換信号M
3,M5,M6を出力し、図6は相対値測定モードの動
作に切換わる。ここで図7(b)のタイムチャートのよ
うに、固定C用発振回路10の出力f4を入力したアッ
プカウンタB(90)は予め設定された数値N1となる
までカウントする。他方、アップカウンタA(80)は
アップカウンタB(90)のカウント開始と同時に可動
C用発振回路20の出力f3を入力してアップカウント
を開始し、やがてアップカウンタB(90)のカウント
終了により、アップカウンタB(90)から信号T1が
タイミング回路110に送られ、これによりタイミング
回路110が発振回路10と20の発振を停止すること
によってアップカウンタA(80)はカウントを停止す
る。
対値の基準となるデータは消えるので、次の相対値測定
は再び電源をONした時点での1回目の測定値が基準と
なる。次に図7を参照しつつ図6の動作を説明する。電
源ON後の1回目の測定では、先ず電源VddのONによ
り、タイミング回路110によって固定C用発振回路1
0と可動C用発振回路20は同時に起動され、図2と同
様な通常の測定が開始されようとするが、引続いて制御
信号Contが立上ることによって、動作モード切換回
路130が相対値測定モードとするモード切換信号M
3,M5,M6を出力し、図6は相対値測定モードの動
作に切換わる。ここで図7(b)のタイムチャートのよ
うに、固定C用発振回路10の出力f4を入力したアッ
プカウンタB(90)は予め設定された数値N1となる
までカウントする。他方、アップカウンタA(80)は
アップカウンタB(90)のカウント開始と同時に可動
C用発振回路20の出力f3を入力してアップカウント
を開始し、やがてアップカウンタB(90)のカウント
終了により、アップカウンタB(90)から信号T1が
タイミング回路110に送られ、これによりタイミング
回路110が発振回路10と20の発振を停止すること
によってアップカウンタA(80)はカウントを停止す
る。
【0046】ここでタイミング回路110はデータラッ
チ比較回路120へラッチ指令S1を出力する。そこで
データラッチ比較回路120はこの状態でのアップカウ
ンタA(80)のカウント数N2を記憶する。次に電源
ON状態のままで制御信号Contが立上る毎に行われ
る2回目以降の測定では、この制御信号Contの立上
りを入力する動作モード切換回路130からのモード切
換信号M3,M5,M6によって測定が開始される。そ
してこの場合、図7(c)のタイムチャートのように、
測定開始時の動作は1回目の測定と同様であるが、アッ
プカウンタA(80)のカウント数は、データラッチ比
較回路120により監視されており、カウント数が1回
目の測定で記憶したデータであるN2と一致した時点
で、データラッチ比較回路120から一致信号S2がタ
イミング回路110に送出される。
チ比較回路120へラッチ指令S1を出力する。そこで
データラッチ比較回路120はこの状態でのアップカウ
ンタA(80)のカウント数N2を記憶する。次に電源
ON状態のままで制御信号Contが立上る毎に行われ
る2回目以降の測定では、この制御信号Contの立上
りを入力する動作モード切換回路130からのモード切
換信号M3,M5,M6によって測定が開始される。そ
してこの場合、図7(c)のタイムチャートのように、
測定開始時の動作は1回目の測定と同様であるが、アッ
プカウンタA(80)のカウント数は、データラッチ比
較回路120により監視されており、カウント数が1回
目の測定で記憶したデータであるN2と一致した時点
で、データラッチ比較回路120から一致信号S2がタ
イミング回路110に送出される。
【0047】これによりタイミング回路110は信号T
6をデータ切換回路60に与えて、これまでアップカウ
ンタA(80)に入力されていた可動C用発振回路20
の出力周波数f3をアップダウンカウンタ70へ入力す
るように切換える。これによりアップダウンカウンタ7
0は、前記の一致信号S2が送出された後から、アップ
カウンタB(90)が設定値N1のカウントを終了して
信号T1をタイミング回路110へ送出するまでの間、
周波数f3をアップカウントする。
6をデータ切換回路60に与えて、これまでアップカウ
ンタA(80)に入力されていた可動C用発振回路20
の出力周波数f3をアップダウンカウンタ70へ入力す
るように切換える。これによりアップダウンカウンタ7
0は、前記の一致信号S2が送出された後から、アップ
カウンタB(90)が設定値N1のカウントを終了して
信号T1をタイミング回路110へ送出するまでの間、
周波数f3をアップカウントする。
【0048】アップダウンカウンタ70のこのアップカ
ウントの数N3’がN2との差となり、タイミング回路
110は信号T1の入力後は、データ切換回路60を介
し、ゲイン設定用発振回路30の出力周波数f1をアッ
プダウンカウンタ70に入力すると共に、このアップダ
ウンカウンタ70にモード切換信号MCを与えて、アッ
プダウンカウンタ70にダウンカウントを開始させる。
これによりアップダウンカウンタ70は、N3’の数を
ダウンカウントした時点で信号T7をタイミング回路1
10へ送出する。
ウントの数N3’がN2との差となり、タイミング回路
110は信号T1の入力後は、データ切換回路60を介
し、ゲイン設定用発振回路30の出力周波数f1をアッ
プダウンカウンタ70に入力すると共に、このアップダ
ウンカウンタ70にモード切換信号MCを与えて、アッ
プダウンカウンタ70にダウンカウントを開始させる。
これによりアップダウンカウンタ70は、N3’の数を
ダウンカウントした時点で信号T7をタイミング回路1
10へ送出する。
【0049】このようにしてタイミング回路110は信
号T1の入力時点から信号T7の入力時点までの間、信
号T8をゲート100に与えて、出力用発振回路40の
出力周波数f2をパルス出力Poutとして外部へ出力
させる。つまりパルス出力Poutはアップダウンカウ
ンタ70がf1をN3’の数だけダウンカウントする時
間内での、周波数f2のパルス数N4となる。
号T1の入力時点から信号T7の入力時点までの間、信
号T8をゲート100に与えて、出力用発振回路40の
出力周波数f2をパルス出力Poutとして外部へ出力
させる。つまりパルス出力Poutはアップダウンカウ
ンタ70がf1をN3’の数だけダウンカウントする時
間内での、周波数f2のパルス数N4となる。
【0050】ここで得られるパルス出力Poutは、測
定2回目以降に測定1回目より可動C用発振回路20の
出力周波数f3が低下した場合、つまり測定1回目より
も測定2回目以降に測定圧力が低下した場合の、圧力低
下量に対応した出力となり、時間的に変化する圧力の差
のみがデータとして出力されるため、分解能を高くした
場合でも出力のデータ量は少なくできる。
定2回目以降に測定1回目より可動C用発振回路20の
出力周波数f3が低下した場合、つまり測定1回目より
も測定2回目以降に測定圧力が低下した場合の、圧力低
下量に対応した出力となり、時間的に変化する圧力の差
のみがデータとして出力されるため、分解能を高くした
場合でも出力のデータ量は少なくできる。
【0051】(実施例5)図8は請求項5,6に関わる
発明を説明するためのタイムチャートである。このとき
のセンサ演算回路は、実施例1〜4までの機能を全て搭
載した図1のブロック図の構成となる。動作モード切換
回路130はセンサ電源VddがONになり、図外の手段
によってパワーオンリセット信号が発せられ、リセット
の必要な各手段のリセットが行われると、その時点の制
御信号Contに応じて、次に述べる(a),(b),
(c)の何れの動作モードであるかを判別し、カウント
数切換回路95,カウント数切換回路85,データ切換
回路60,分周回路50,データラッチ比較回路12
0,タイミング回路110に夫々M1,M2,・・・M
6のモード切換信号を与えて、該当するモードの動作を
行わせる。
発明を説明するためのタイムチャートである。このとき
のセンサ演算回路は、実施例1〜4までの機能を全て搭
載した図1のブロック図の構成となる。動作モード切換
回路130はセンサ電源VddがONになり、図外の手段
によってパワーオンリセット信号が発せられ、リセット
の必要な各手段のリセットが行われると、その時点の制
御信号Contに応じて、次に述べる(a),(b),
(c)の何れの動作モードであるかを判別し、カウント
数切換回路95,カウント数切換回路85,データ切換
回路60,分周回路50,データラッチ比較回路12
0,タイミング回路110に夫々M1,M2,・・・M
6のモード切換信号を与えて、該当するモードの動作を
行わせる。
【0052】ここで動作モード切換回路130へ外部よ
り入力する制御信号Contの信号線は1本とし、この
制御信号Contにより切換え可能な動作モードは、下
表1及び図8に示す(a)(b)(c)の3つのモード
となる。
り入力する制御信号Contの信号線は1本とし、この
制御信号Contにより切換え可能な動作モードは、下
表1及び図8に示す(a)(b)(c)の3つのモード
となる。
【0053】
【表1】 即ち動作モード(a)は通常の動作モードであり、図8
(a)に示すように制御信号Contは常時Loレベル
とし、電源ONにより測定が開始される。このモードで
得られるパルス出力(出力データ)Poutは、表1に
示すように大気圧を0とする圧力の絶対値で、分解能は
通常の分解能である。なお測定は1回限りで、再度測定
を行うにはセンサ電源Vddを一旦OFFして再度ONす
る必要がある。このことは次の動作モード(b)も同様
である。
(a)に示すように制御信号Contは常時Loレベル
とし、電源ONにより測定が開始される。このモードで
得られるパルス出力(出力データ)Poutは、表1に
示すように大気圧を0とする圧力の絶対値で、分解能は
通常の分解能である。なお測定は1回限りで、再度測定
を行うにはセンサ電源Vddを一旦OFFして再度ONす
る必要がある。このことは次の動作モード(b)も同様
である。
【0054】動作モード(b)は高分解能の動作モード
であり、図8(b)に示すように制御信号Contは常
時Hiレベルとし、電源ONにより測定が開始される。
このモードで得られるパルス出力Poutは、表1に示
すように動作モード(a)と同様の絶対値で、分解能は
高分解能となる。動作モード(c)は動作モード(b)
と同じく高分解能の動作モードであるが、図8(c)に
示すように電源ONの直後は、この例では制御信号Co
ntがLoレベルのため、先ず動作モード(a)の通常
モードの動作が開始され、アップカウンタA,Bがカウ
ントを開始するが、この通常モードの計測が終わらぬ中
に制御信号がHiレベルに立上ることから動作モード
(c)の動作に切換えられ、アップカウンタA,Bに対
するカウント数切換回路85,95の設定倍率も高倍率
側(この例では2倍)に切換えられて測定が行われる。
そして以後はセンサ電源VddをONしたまま、制御信号
Contがその断続により立上がるたびに測定が行われ
る。このモードで得られるパルス出力Poutは、表1
に示すように実施例4で述べた圧力の相対値であり、分
解能は高分解能となる。このように、制御線1本で上記
の3つの動作モード(a),(b),(c)を切換え可
能とすることで、より汎用性の高い圧力センサとするこ
とができる。
であり、図8(b)に示すように制御信号Contは常
時Hiレベルとし、電源ONにより測定が開始される。
このモードで得られるパルス出力Poutは、表1に示
すように動作モード(a)と同様の絶対値で、分解能は
高分解能となる。動作モード(c)は動作モード(b)
と同じく高分解能の動作モードであるが、図8(c)に
示すように電源ONの直後は、この例では制御信号Co
ntがLoレベルのため、先ず動作モード(a)の通常
モードの動作が開始され、アップカウンタA,Bがカウ
ントを開始するが、この通常モードの計測が終わらぬ中
に制御信号がHiレベルに立上ることから動作モード
(c)の動作に切換えられ、アップカウンタA,Bに対
するカウント数切換回路85,95の設定倍率も高倍率
側(この例では2倍)に切換えられて測定が行われる。
そして以後はセンサ電源VddをONしたまま、制御信号
Contがその断続により立上がるたびに測定が行われ
る。このモードで得られるパルス出力Poutは、表1
に示すように実施例4で述べた圧力の相対値であり、分
解能は高分解能となる。このように、制御線1本で上記
の3つの動作モード(a),(b),(c)を切換え可
能とすることで、より汎用性の高い圧力センサとするこ
とができる。
【0055】
【発明の効果】請求項1に関わる発明によれば、検出容
量に対応する2組の固定C用発振回路10,可動C用発
振回路20とは別に、回路部品により構成した2組のゲ
イン設定用発振回路30,出力用発振回路40を設け、
測定した結果としてのパルス出力Poutのゲインを、
上記の発振回路30と40の出力周波数の比率により変
化させるようにしたので、出力ゲインの調整手段として
EEPROMのような不揮発性メモリを使う必要がな
く、ゼロ線の調整とゲインの調整を独立して行うことが
でき、また、アップダウンカウンタを使わないゲート数
の少ない構成にできるなど利点があり、安価で従来と同
等の性能を持つ圧力センサを得ることができる。
量に対応する2組の固定C用発振回路10,可動C用発
振回路20とは別に、回路部品により構成した2組のゲ
イン設定用発振回路30,出力用発振回路40を設け、
測定した結果としてのパルス出力Poutのゲインを、
上記の発振回路30と40の出力周波数の比率により変
化させるようにしたので、出力ゲインの調整手段として
EEPROMのような不揮発性メモリを使う必要がな
く、ゼロ線の調整とゲインの調整を独立して行うことが
でき、また、アップダウンカウンタを使わないゲート数
の少ない構成にできるなど利点があり、安価で従来と同
等の性能を持つ圧力センサを得ることができる。
【0056】また請求項2に関わる発明によれば、固定
C用発振回路10の出力周波数f4をカウントするアッ
プカウンタB(90)のカウント設定値と、可動C用発
振回路20の出力周波数f3及びゲイン設定用発振回路
30の出力周波数f1をカウントするアップカウンタA
(80)のカウント設定値とを高分解能測定時には共に
n倍(但しn>1)に切換え得るようにしたので、1つ
の圧力センサで通常の分解能と高分解能の切換えが可能
であり、汎用性の高い圧力センサとすることができ、ま
た、高分解能が必要な時のみ分解能を切換えて測定可能
とすることで、省電力化が可能となる。
C用発振回路10の出力周波数f4をカウントするアッ
プカウンタB(90)のカウント設定値と、可動C用発
振回路20の出力周波数f3及びゲイン設定用発振回路
30の出力周波数f1をカウントするアップカウンタA
(80)のカウント設定値とを高分解能測定時には共に
n倍(但しn>1)に切換え得るようにしたので、1つ
の圧力センサで通常の分解能と高分解能の切換えが可能
であり、汎用性の高い圧力センサとすることができ、ま
た、高分解能が必要な時のみ分解能を切換えて測定可能
とすることで、省電力化が可能となる。
【0057】また請求項3に関わる発明によれば、カッ
プカウンタB(90)とアップカウンタA(80)のカ
ウント数設定値を共にn倍として、検出容量に対応した
2組の発振回路10と20の出力周波数f4とf3で行
う演算の時間を拡大し、高分解能化した場合に、分周回
路50の分周比率を出力増大側に切換え、ゲイン設定用
発振回路30から分周回路50を経てアップカウンタA
(80)に入力される出力周波数f1’も通常時のn倍
として、パルス出力Poutのゲインを変えないように
することができる構成としたので、測定値の平均化率を
高くすることができ、高分解能化した場合のセンサキャ
パシタに対する発振周波数の変動による誤差を低減する
ことができ、出力が安定した圧力センサを得ることがで
きる。
プカウンタB(90)とアップカウンタA(80)のカ
ウント数設定値を共にn倍として、検出容量に対応した
2組の発振回路10と20の出力周波数f4とf3で行
う演算の時間を拡大し、高分解能化した場合に、分周回
路50の分周比率を出力増大側に切換え、ゲイン設定用
発振回路30から分周回路50を経てアップカウンタA
(80)に入力される出力周波数f1’も通常時のn倍
として、パルス出力Poutのゲインを変えないように
することができる構成としたので、測定値の平均化率を
高くすることができ、高分解能化した場合のセンサキャ
パシタに対する発振周波数の変動による誤差を低減する
ことができ、出力が安定した圧力センサを得ることがで
きる。
【0058】また請求項4に関わる発明によれば、1回
目の圧力測定でその値を記憶し、2回目以降の測定では
1回目の圧力測定値に対する圧力相対値の測定を行うよ
うにしたので、圧力の絶対値測定で高分解能化した場合
には出力するデータ量が増加するが、相対値測定とした
場合には時間的に変化した圧力差のみ出力されるため出
力するデータの量が少なくて済み、その分の消費電力を
低減することができる。また、出力するデータ量が減る
ため、例えばマイコンなどでのデータの読取やデータの
処理が容易となる。
目の圧力測定でその値を記憶し、2回目以降の測定では
1回目の圧力測定値に対する圧力相対値の測定を行うよ
うにしたので、圧力の絶対値測定で高分解能化した場合
には出力するデータ量が増加するが、相対値測定とした
場合には時間的に変化した圧力差のみ出力されるため出
力するデータの量が少なくて済み、その分の消費電力を
低減することができる。また、出力するデータ量が減る
ため、例えばマイコンなどでのデータの読取やデータの
処理が容易となる。
【0059】また請求項5,6に関わる発明によれば、
1ビットの制御信号ContのLoレベル,Hiレベル
及び立上りを判別して、1つの圧力センサで絶対値,相
対値及び分解能の組合せを3通りに切換え可能としたの
で、汎用性の高い圧力センサを得ることができる。
1ビットの制御信号ContのLoレベル,Hiレベル
及び立上りを判別して、1つの圧力センサで絶対値,相
対値及び分解能の組合せを3通りに切換え可能としたの
で、汎用性の高い圧力センサを得ることができる。
【図1】請求項1ないし6に関わる発明の一実施例とし
ての構成を示すブロック回路図
ての構成を示すブロック回路図
【図2】請求項1に関わる発明の一実施例としての構成
を示すブロック回路図
を示すブロック回路図
【図3】図2,図4,図5の動作説明用のタイムチャー
ト
ト
【図4】請求項2に関わる発明の一実施例としての構成
を示すブロック回路図
を示すブロック回路図
【図5】請求項3に関わる発明の一実施例としての構成
を示すブロック回路図
を示すブロック回路図
【図6】請求項4に関わる発明の一実施例としての構成
を示すブロック回路図
を示すブロック回路図
【図7】図6の動作説明用のタイムチャート
【図8】請求項5,6に関わる発明の動作説明用のタイ
ムチャート
ムチャート
【図9】図2に対応する従来のブロック回路図
【図10】静電容量型圧力センサキャパシタの構造の一
例を示す模式図
例を示す模式図
【図11】静電容量型圧力センサキャパシタの構造の別
の例を示す模式図
の例を示す模式図
10 固定C用発振回路 15 固定センサキャパシタ 20 可動C用発振回路 25 可動センサキャパシタ 30 ゲイン設定用発振回路 40 出力用発振回路 50 分周回路 60 データ切換回路 70 アップダウンカウンタ 80 アップカウンタA 85 カウント数切換回路 90 アップカウンタB 95 カウント数切換回路 100 ゲート 110 タイミング回路 120 データラッチ比較回路 130 動作モード切換回路 f1 ゲイン設定用発振回路の出力周波数 f1’ 分周回路の出力周波数 f2 出力用発振回路の出力周波数 f3 可動C用発振回路の出力周波数 f4 固定C用発振回路の出力周波数 Pout パルス出力(出力データ) Cont 制御信号 Vdd センサ電源 GR ゲイン抵抗 M1〜M6,MC モード切換信号 T1〜T8 タイミング信号 S1 ラッチ指令 S2 一致信号
Claims (6)
- 【請求項1】被検出物理量に基づく電極の変位によって
静電容量が変化する可動センサキャパシタを用いて発振
周波数を変化する可動キャパシタ用発振回路と、 可動センサキャパシタに対応し電極が固定されて設けら
れ、被検出物理量によっては静電容量が変化しない固定
センサキャパシタを用いて発振周波数を変化する固定キ
ャパシタ用発振回路と、 回路部品で構成され、発振周波数を可変できるゲイン設
定用発振回路と、 同じく回路部品で構成された発振周波数が固定の出力用
発振回路とを備え、 予め被検出物理量を基準値とした条件で、固定キャパシ
タ用発振回路の出力周波数が第1の設定数だけ計数され
る時間を、可動キャパシタ用発振回路の出力周波数が第
2の設定数だけ計数される時間に等しくてなり、さらに
被検出物理量のもとで固定キャパシタ用発振回路の出力
周波数が第1の設定数だけ計数される間、又はこれと等
しい時間に計数された可動キャパシタ用発振回路の出力
周波数の計数値と第2の設定数との差の数だけ、ゲイン
設定用発振回路の出力周波数が計数される間、又はこれ
と等しい時間に出力用発振回路の出力周波数を被検出物
理量の測定結果として外部に出力する手段を備え、 ゲイン設定用発振回路の出力周波数と出力用発振回路の
出力周波数との比率を変化させることにより、被検出物
理量に対する測定結果のゲインを調整し得ることを特徴
とする静電容量型センサのデジタル演算回路。 - 【請求項2】請求項1に記載の演算回路において、 第1の設定数と第2の設定数とを同倍率で切換える第1
の切換手段を備え、 被検出物理量に対する測定結果の分解能を切換え得るこ
とを特徴とする静電容量型センサのデジタル演算回路。 - 【請求項3】請求項2に記載の演算回路において、 ゲイン設定用発振回路の出力周波数を第1の切換手段に
よる切換え倍率と等しい倍率に切換える第2の切換手段
を備え、測定結果の分解能を切換え前と同じにし得るこ
とを特徴とする静電容量型センサのデジタル演算回路。 - 【請求項4】請求項1に記載の演算回路において、 所定の測定指令の入力に基づき、固定キャパシタ用発振
回路の出力周波数が第1の設定数だけ計数される間、又
はこれと等しい時間に計数された可動キャパシタ用発振
回路の出力周波数の計数値(以下ベース計数値という)
を記憶する記憶手段と、 以後の前記測定指令の入力毎に、固定キャパシタ用発振
回路の出力周波数が第1の設定数だけ計数される間、又
はこれと等しい時間に計数された可動キャパシタ用発振
回路の出力周波数の計数値と、前記ベース計数値との差
の数を前記の差の数に置換える手段とを備え、被検出物
理量の相対値を測定することを特徴とする静電容量型セ
ンサのデジタル演算回路。 - 【請求項5】請求項4に記載の演算回路において、 前記所定の測定指令が電源の通電中における外部からの
1ビットの制御信号の立上り又は立下りによって与えら
れるようにしたことを特徴とする静電容量型センサのデ
ジタル演算回路。 - 【請求項6】請求項2又は3に記載の演算回路におい
て、 前記第1の切換手段の切換えが、電源の通電開始時にお
ける外部からの1ビットの制御信号のデジタル値によっ
て指定されるようにしたことを特徴とする静電容量型セ
ンサのデジタル演算回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9076096A JPH09280886A (ja) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | 静電容量型センサのデジタル演算回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9076096A JPH09280886A (ja) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | 静電容量型センサのデジタル演算回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09280886A true JPH09280886A (ja) | 1997-10-31 |
Family
ID=14007572
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9076096A Pending JPH09280886A (ja) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | 静電容量型センサのデジタル演算回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09280886A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001096815A1 (fr) * | 2000-06-14 | 2001-12-20 | Omron Corporation | Dispositif de transformation de la sortie d'un capteur |
CN100464160C (zh) * | 2006-01-12 | 2009-02-25 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种绝对式复合轴系光电轴角编码器 |
KR20160035144A (ko) * | 2014-09-22 | 2016-03-31 | 한국과학기술원 | 환경 정보 센서 회로 및 환경 정보 측정 장치 |
JPWO2018186022A1 (ja) * | 2017-04-03 | 2020-02-13 | ソニー株式会社 | センサ、入力装置および電子機器 |
-
1996
- 1996-04-12 JP JP9076096A patent/JPH09280886A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001096815A1 (fr) * | 2000-06-14 | 2001-12-20 | Omron Corporation | Dispositif de transformation de la sortie d'un capteur |
CN100464160C (zh) * | 2006-01-12 | 2009-02-25 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种绝对式复合轴系光电轴角编码器 |
KR20160035144A (ko) * | 2014-09-22 | 2016-03-31 | 한국과학기술원 | 환경 정보 센서 회로 및 환경 정보 측정 장치 |
JPWO2018186022A1 (ja) * | 2017-04-03 | 2020-02-13 | ソニー株式会社 | センサ、入力装置および電子機器 |
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