JPH09262783A - ハンドリング用ロボット - Google Patents
ハンドリング用ロボットInfo
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- JPH09262783A JPH09262783A JP7603896A JP7603896A JPH09262783A JP H09262783 A JPH09262783 A JP H09262783A JP 7603896 A JP7603896 A JP 7603896A JP 7603896 A JP7603896 A JP 7603896A JP H09262783 A JPH09262783 A JP H09262783A
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- Japan
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- carrier
- link
- links
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- ring
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 搬送台とリンクとの連結部での発塵個所及び
ガタの発生を少なくする。 【解決手段】 少なくとも２個のリング状ボス１０ａ，
１０ｂを同心状で、かつそれぞれ独立して回転するよう
にして回転中心の軸方向に位置をずらせて設け、この各
リング状ボスのそれぞれにアーム７ａ，７ｂを設けると
共に、この各アームにリンクを連結し、両リンクの先端
に搬送台を連結し、上記各リング状ボスのそれぞれに独
立した駆動源を連結したハンドリング用ロボットにおい
て、上記両リンク２０ａ，２０ｂのうちの一方のリンク
２０ａと搬送台２１を一体構造にし、他方のリンク２０
ｂを搬送台と回転節２２を介して連結した構成となって
いる。
ガタの発生を少なくする。 【解決手段】 少なくとも２個のリング状ボス１０ａ，
１０ｂを同心状で、かつそれぞれ独立して回転するよう
にして回転中心の軸方向に位置をずらせて設け、この各
リング状ボスのそれぞれにアーム７ａ，７ｂを設けると
共に、この各アームにリンクを連結し、両リンクの先端
に搬送台を連結し、上記各リング状ボスのそれぞれに独
立した駆動源を連結したハンドリング用ロボットにおい
て、上記両リンク２０ａ，２０ｂのうちの一方のリンク
２０ａと搬送台２１を一体構造にし、他方のリンク２０
ｂを搬送台と回転節２２を介して連結した構成となって
いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置
や、ＬＣＤ製造装置等のように、１つのトランスファチ
ャンバの周囲に複数のステーションとなるプロセスチャ
ンバを配設し、各プロセスチャンバにて加工処理される
ウエハ等の薄板状のワークを、クリーン状態で、あるい
は真空（低圧）状態でトランスファチャンバを経由し
て、このトランスファチャンバに設けたハンドリング用
ロボットにて、１つのプロセスチャンバから他のプロセ
スチャンバへ搬送するようにしたマルチチャンバタイプ
の製造装置における上記ハンドリング用ロボットに関す
るものである。
や、ＬＣＤ製造装置等のように、１つのトランスファチ
ャンバの周囲に複数のステーションとなるプロセスチャ
ンバを配設し、各プロセスチャンバにて加工処理される
ウエハ等の薄板状のワークを、クリーン状態で、あるい
は真空（低圧）状態でトランスファチャンバを経由し
て、このトランスファチャンバに設けたハンドリング用
ロボットにて、１つのプロセスチャンバから他のプロセ
スチャンバへ搬送するようにしたマルチチャンバタイプ
の製造装置における上記ハンドリング用ロボットに関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】マルチチャンバタイプの半導体製造装置
は図１に示すようになっていて、トランスファチャンバ
１の周囲に、複数のプロセスチャンバステーション２
ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅと、外部に対してワークの
受け渡しを行うワーク受け渡しステーション３とが配設
されており、トランスファチャンバ１内は常時真空装置
にて真空状態が保たれている。
は図１に示すようになっていて、トランスファチャンバ
１の周囲に、複数のプロセスチャンバステーション２
ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅと、外部に対してワークの
受け渡しを行うワーク受け渡しステーション３とが配設
されており、トランスファチャンバ１内は常時真空装置
にて真空状態が保たれている。
【０００３】そして上記トランスファチャンバ１は図２
に示すようになっていて、これの中心部にハンドリング
用ロボットＡが旋回可能に備えてあり、周壁で、かつ各
ステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ及びワーク
受け渡しステーション３に対向する仕切り壁５には各ス
テーションへのワークの出入口となるゲート６が設けて
ある。このゲート６はトランスファチャンバ１の内側に
各ゲート６に対向して設けられた図示しない開閉扉にて
開閉されるようになっている。
に示すようになっていて、これの中心部にハンドリング
用ロボットＡが旋回可能に備えてあり、周壁で、かつ各
ステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ及びワーク
受け渡しステーション３に対向する仕切り壁５には各ス
テーションへのワークの出入口となるゲート６が設けて
ある。このゲート６はトランスファチャンバ１の内側に
各ゲート６に対向して設けられた図示しない開閉扉にて
開閉されるようになっている。
【０００４】従来の上記ハンドリング用ロボットＡはい
わゆるフロッグレッグ式のものが用いられていて、その
構成は図２及び図３に示すようになっている。
わゆるフロッグレッグ式のものが用いられていて、その
構成は図２及び図３に示すようになっている。
【０００５】回転中心に対して同長の２本のアーム７
ａ，７ｂがそれぞれ回転可能に設けられている。８は搬
送台であり、この各搬送台８の基部に、同長の２本のリ
ンク９ａ，９ｂの一端が連結されている。この両リンク
９ａ，９ｂの一端は搬送台８に対してフロッグレッグ式
の搬送台姿勢規制機構Ｂを介して連結されており、両リ
ンク９ａ，９ｂは搬送台８に対して完全に対称方向に回
転するようになっている。そして各搬送台８に連結した
一対のリンクのうちの一方のリンクは一対のアームのう
ちの一方のアームに、他方のリンクは他方のアームにそ
れぞれ連結されている。
ａ，７ｂがそれぞれ回転可能に設けられている。８は搬
送台であり、この各搬送台８の基部に、同長の２本のリ
ンク９ａ，９ｂの一端が連結されている。この両リンク
９ａ，９ｂの一端は搬送台８に対してフロッグレッグ式
の搬送台姿勢規制機構Ｂを介して連結されており、両リ
ンク９ａ，９ｂは搬送台８に対して完全に対称方向に回
転するようになっている。そして各搬送台８に連結した
一対のリンクのうちの一方のリンクは一対のアームのう
ちの一方のアームに、他方のリンクは他方のアームにそ
れぞれ連結されている。
【０００６】図３は上記フロッグレッグ式の搬送台姿勢
規制機構Ｂを示すもので、搬送台８に連結される一対の
リンク９ａ，９ｂの先端部は図３（ａ）に示すように互
いに噛合う歯車９ｃ，９ｃからなる歯車構成により結合
されており、搬送台８に対するリンク９ａ，９ｂの姿勢
角θＲ，θＬが常に同じになるようにしている。これに
より、搬送台８は常にトランスファチャンバ１の半径方
向に向けられると共に、半径方向へ動作される。上記リ
ンク９ａ，９ｂの連結は歯車によることなく、図３
（ｂ）に示すようにたすき掛けしたベルト９ｄになって
いるものもある。
規制機構Ｂを示すもので、搬送台８に連結される一対の
リンク９ａ，９ｂの先端部は図３（ａ）に示すように互
いに噛合う歯車９ｃ，９ｃからなる歯車構成により結合
されており、搬送台８に対するリンク９ａ，９ｂの姿勢
角θＲ，θＬが常に同じになるようにしている。これに
より、搬送台８は常にトランスファチャンバ１の半径方
向に向けられると共に、半径方向へ動作される。上記リ
ンク９ａ，９ｂの連結は歯車によることなく、図３
（ｂ）に示すようにたすき掛けしたベルト９ｄになって
いるものもある。
【０００７】図４は上記両アーム７ａ，７ｂをそれぞれ
独立して回転するための機構を示すものである。各アー
ム７ａ，７ｂの基部はそれぞれリング状になっていて、
この各リング状ボス１０ａ，１０ｂは回転中心に対して
同軸状にしてトランスファチャンバ１のフレーム１ａに
対して回転自在に支持されている。
独立して回転するための機構を示すものである。各アー
ム７ａ，７ｂの基部はそれぞれリング状になっていて、
この各リング状ボス１０ａ，１０ｂは回転中心に対して
同軸状にしてトランスファチャンバ１のフレーム１ａに
対して回転自在に支持されている。
【０００８】一方両リング状ボス１０ａ，１０ｂの内側
には円板状ボス１１ａ，１１ｂがそれぞれに対向されて
同じ同心状に配置されており、この各対向するリング状
ボスと円板状ボスとがマグネットカップリング１２ａ，
１２ｂにて回転方向に係脱自在に連結されている。
には円板状ボス１１ａ，１１ｂがそれぞれに対向されて
同じ同心状に配置されており、この各対向するリング状
ボスと円板状ボスとがマグネットカップリング１２ａ，
１２ｂにて回転方向に係脱自在に連結されている。
【０００９】上記各円板状ボス１１ａ，１１ｂのそれぞ
れの回転軸１３ａ，１３ｂは同心状に配置されていて、
このそれぞれの回転軸１３ａ，１３ｂはトランスファチ
ャンバ１のフレーム１ａに同心状にして軸方向に位置を
ずらせて支持されたモータユニット１４ａ，１４ｂの出
力部に連結されている。
れの回転軸１３ａ，１３ｂは同心状に配置されていて、
このそれぞれの回転軸１３ａ，１３ｂはトランスファチ
ャンバ１のフレーム１ａに同心状にして軸方向に位置を
ずらせて支持されたモータユニット１４ａ，１４ｂの出
力部に連結されている。
【００１０】上記モータユニット１４ａ，１４ｂは、例
えばＡＣサーボモータを用いたモータ１５と、ハーモニ
ックドライブ（商品名）を用いた減速機１６が一体状に
結合されていて、各減速機１６，１６の出力部が上記各
回転軸１３ａ，１３ｂの基端に連結されている。
えばＡＣサーボモータを用いたモータ１５と、ハーモニ
ックドライブ（商品名）を用いた減速機１６が一体状に
結合されていて、各減速機１６，１６の出力部が上記各
回転軸１３ａ，１３ｂの基端に連結されている。
【００１１】アーム７ａ，７ｂが位置されるトランスフ
ァチャンバ１内は真空状態に維持されることから、この
アーム回転機構のリング状ボス１０ａ，１０ｂと円板状
ボス１１ａ，１１ｂとの間に密閉用の隔壁１７が設けて
ある。
ァチャンバ１内は真空状態に維持されることから、この
アーム回転機構のリング状ボス１０ａ，１０ｂと円板状
ボス１１ａ，１１ｂとの間に密閉用の隔壁１７が設けて
ある。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】上記半導体製造装置な
どのクリーンルーム用、あるいは真空（低圧）用として
用いられるハンドリング用ロボットにあっては、被搬送
物にゴミや塵が付着しないようにした低発塵性のものが
求められる。
どのクリーンルーム用、あるいは真空（低圧）用として
用いられるハンドリング用ロボットにあっては、被搬送
物にゴミや塵が付着しないようにした低発塵性のものが
求められる。
【００１３】ところが上記した従来のハンドリング用ロ
ボットにあっては、各ステーション２ａ〜２ｅ内にゲー
ト６を通って出入りする搬送台８が一対のアーム７ａ，
７ｂに対して回転節を２個有するフロッグレッグ式の搬
送台姿勢規制機構Ｂを介して連結されているため、この
搬送台姿勢規制機構Ｂを構成する歯車伝達機構やベルト
伝達機構の部分が発塵個所となって、ここからゴミや塵
が発生するという問題があった。またこの部分にガタが
生じやすく、ガタによる位置決め精度不良の問題もあっ
た。
ボットにあっては、各ステーション２ａ〜２ｅ内にゲー
ト６を通って出入りする搬送台８が一対のアーム７ａ，
７ｂに対して回転節を２個有するフロッグレッグ式の搬
送台姿勢規制機構Ｂを介して連結されているため、この
搬送台姿勢規制機構Ｂを構成する歯車伝達機構やベルト
伝達機構の部分が発塵個所となって、ここからゴミや塵
が発生するという問題があった。またこの部分にガタが
生じやすく、ガタによる位置決め精度不良の問題もあっ
た。
【００１４】本発明は上記のことにかんがみなされたも
ので、搬送台とアームとの連結部での発塵個所を減らす
ことができる共に、この部分のガタの発生を最小限にす
ることができるようにしたハンドリング用ロボットを提
供することを目的とするものである。
ので、搬送台とアームとの連結部での発塵個所を減らす
ことができる共に、この部分のガタの発生を最小限にす
ることができるようにしたハンドリング用ロボットを提
供することを目的とするものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るハンドリング用ロボットは、少なくと
も２個のリング状ボスを同心状で、かつそれぞれ独立し
て回転するようにして回転中心の軸方向に位置をずらせ
て設け、この各リング状ボスのそれぞれにアームを設け
ると共に、この各アームにリンクを連結し、両リンクの
先端に搬送台を連結し、上記各リング状ボスのそれぞれ
に独立した駆動源を連結したハンドリング用ロボットに
おいて、上記両リンクのうちの一方のリンクと搬送台を
一体構造にし、他方のリンクを搬送台と回転節を介して
連結した構成となっている。
に、本発明に係るハンドリング用ロボットは、少なくと
も２個のリング状ボスを同心状で、かつそれぞれ独立し
て回転するようにして回転中心の軸方向に位置をずらせ
て設け、この各リング状ボスのそれぞれにアームを設け
ると共に、この各アームにリンクを連結し、両リンクの
先端に搬送台を連結し、上記各リング状ボスのそれぞれ
に独立した駆動源を連結したハンドリング用ロボットに
おいて、上記両リンクのうちの一方のリンクと搬送台を
一体構造にし、他方のリンクを搬送台と回転節を介して
連結した構成となっている。
【００１６】
【作 用】両リング状ボスを互いに逆回転させ、これ
らに設けたアームが互いに近付く方向に回転することに
より、この両アームに連結されたリンクを介して搬送台
がトランスファチャンバよりステーションへ向けて突出
動し、またアームが互いに離れる方向に回転することに
より搬送台は没入動される。
らに設けたアームが互いに近付く方向に回転することに
より、この両アームに連結されたリンクを介して搬送台
がトランスファチャンバよりステーションへ向けて突出
動し、またアームが互いに離れる方向に回転することに
より搬送台は没入動される。
【００１７】このとき、搬送台は一方のリンクと一体構
造となっているので、出没動の際の姿勢は一定とはなら
ず、上記一方のリンクの姿勢に追随した姿勢となる軌跡
を描いて移動する。従ってこの搬送台をゲートを通る所
定の軌跡をたどって出没動させるように両アームの回転
角を制御する。
造となっているので、出没動の際の姿勢は一定とはなら
ず、上記一方のリンクの姿勢に追随した姿勢となる軌跡
を描いて移動する。従ってこの搬送台をゲートを通る所
定の軌跡をたどって出没動させるように両アームの回転
角を制御する。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、搬送台とリンクとの連
結が１つの回転節にて行われることにより、搬送台とリ
ンクとの連結部における発塵個所が減少されて、搬送台
とリンクとの連結部における発塵頻度を著しく減少する
ことができる。また、回転節が１つ減ることにより、回
転節で生じるガタの発生を最小限にすることができる。
結が１つの回転節にて行われることにより、搬送台とリ
ンクとの連結部における発塵個所が減少されて、搬送台
とリンクとの連結部における発塵頻度を著しく減少する
ことができる。また、回転節が１つ減ることにより、回
転節で生じるガタの発生を最小限にすることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図５以下に
基づいて説明する。なおこの本発明の実施の態様の説明
において上記した従来の構造と図一のものは同一の符号
を付して説明を省略する。
基づいて説明する。なおこの本発明の実施の態様の説明
において上記した従来の構造と図一のものは同一の符号
を付して説明を省略する。
【００２０】各リング状ボス１０ａ，１０ｂに、これら
の半径方向に突設された第１，第２のアーム７ａ，７ｂ
の先端に第１，第２のリンク２０ａ，２０ｂの基端が回
転自在に連結されている。そしてこの両リンク２０ａ，
２０ｂの一方のリンク２０ａの先端が搬送台２１と一体
構造になっており、他方のリンク２０ｂの先端がこの搬
送台２１に回転節２２にて回転自在に連結されている。
の半径方向に突設された第１，第２のアーム７ａ，７ｂ
の先端に第１，第２のリンク２０ａ，２０ｂの基端が回
転自在に連結されている。そしてこの両リンク２０ａ，
２０ｂの一方のリンク２０ａの先端が搬送台２１と一体
構造になっており、他方のリンク２０ｂの先端がこの搬
送台２１に回転節２２にて回転自在に連結されている。
【００２１】上記リング状ボス１０ａ，１０ｂを回転す
るための構成は図４で示すものと同じになっていて、そ
れぞれの回転角はモータユニットにて任意に制御できる
ようになっている。
るための構成は図４で示すものと同じになっていて、そ
れぞれの回転角はモータユニットにて任意に制御できる
ようになっている。
【００２２】この構成において、両リング状ボス１０
ａ，１０ｂを、両アーム７ａ，７ｂが互いに近付く方向
に回転することにより、この両アーム７ａ，７ｂとリン
ク２０ａ，２０ｂの作用より搬送台２１が押し出され
て、トランスファチャンバ１内よりゲート６を通って１
つのステーション内に突入される。
ａ，１０ｂを、両アーム７ａ，７ｂが互いに近付く方向
に回転することにより、この両アーム７ａ，７ｂとリン
ク２０ａ，２０ｂの作用より搬送台２１が押し出され
て、トランスファチャンバ１内よりゲート６を通って１
つのステーション内に突入される。
【００２３】そしてこの状態から、両リング状ボス１０
ａ，１０ｂを、両アーム７ａ，７ｂが互いに離間する方
向に回転することより、搬送台２１はトランスファチャ
ンバ１内に没入動され、この動作によって搬送台２１に
載置されたウエハ２３がトランスファチャンバ１とステ
ーション間にわたって受け渡し搬送される。
ａ，１０ｂを、両アーム７ａ，７ｂが互いに離間する方
向に回転することより、搬送台２１はトランスファチャ
ンバ１内に没入動され、この動作によって搬送台２１に
載置されたウエハ２３がトランスファチャンバ１とステ
ーション間にわたって受け渡し搬送される。
【００２４】このとき、搬送台２１は一方のリンク２０
ａと一体構造になっていることにより、この出没する間
の搬送台２１の姿勢は上記リンク２０ａの姿勢となる。
このことから、搬送台２１を図５で示す最没入位置Ｓ1
と最突出位置Ｓ2 にわたって往復動させるための両アー
ム７ａ，７ｂの基準位置からの回転角θ1 ，θ2 は変え
てある。すなわち、両アーム７ａ，７ｂのそれぞれのあ
る基準位置からの回転角θ1 ，θ2 は、搬送台２１がト
ランスファチャンバ１内に最没入位置Ｓ1 からゲート６
を通って１つのステーション内の所定の位置となる最突
出位置Ｓ2 になる軌跡をたどって移動するような回転角
となるようにモータユニットを制御する。
ａと一体構造になっていることにより、この出没する間
の搬送台２１の姿勢は上記リンク２０ａの姿勢となる。
このことから、搬送台２１を図５で示す最没入位置Ｓ1
と最突出位置Ｓ2 にわたって往復動させるための両アー
ム７ａ，７ｂの基準位置からの回転角θ1 ，θ2 は変え
てある。すなわち、両アーム７ａ，７ｂのそれぞれのあ
る基準位置からの回転角θ1 ，θ2 は、搬送台２１がト
ランスファチャンバ１内に最没入位置Ｓ1 からゲート６
を通って１つのステーション内の所定の位置となる最突
出位置Ｓ2 になる軌跡をたどって移動するような回転角
となるようにモータユニットを制御する。
【００２５】このときの上記両アーム７ａ，７ｂのある
基準位置からの回転角θ1 ，θ2 の制御方法を図６に示
す記号に基づいて説明する。図６において、ハンドリン
グ用ロボットの旋回中心を０1 、各アーム７ａ，７ｂと
リンク２０ａ，２０ｂの連結点を０2 ，０3 、一方のリ
ンク２０ｂと搬送台２１との連結点を０4 、搬送台２１
の中心を０5 とし各アーム７ａ，７ｂ及びリンク２０
ａ，２０ｂのそれぞれの長さ０1 −０2 、０1 −０3 、
０2 −０4 、０3 −０4 が同長のＬ、一方のリンク２０
ｂと搬送台２１との連結点０4 と搬送台２１の中心０5
の距離をＬh 、搬送台２１と一体のリンク２０ａに対す
る搬送台２１の姿勢角をθh としたときに、搬送台２１
の中心０5 をハンドリング用ロボットの旋回中心０1 か
ら距離ｘ、基準位置から角度θに移動するための両アー
ム７ａ，７ｂの回転角θ1 ，θ2 は次式で求める。
基準位置からの回転角θ1 ，θ2 の制御方法を図６に示
す記号に基づいて説明する。図６において、ハンドリン
グ用ロボットの旋回中心を０1 、各アーム７ａ，７ｂと
リンク２０ａ，２０ｂの連結点を０2 ，０3 、一方のリ
ンク２０ｂと搬送台２１との連結点を０4 、搬送台２１
の中心を０5 とし各アーム７ａ，７ｂ及びリンク２０
ａ，２０ｂのそれぞれの長さ０1 −０2 、０1 −０3 、
０2 −０4 、０3 −０4 が同長のＬ、一方のリンク２０
ｂと搬送台２１との連結点０4 と搬送台２１の中心０5
の距離をＬh 、搬送台２１と一体のリンク２０ａに対す
る搬送台２１の姿勢角をθh としたときに、搬送台２１
の中心０5 をハンドリング用ロボットの旋回中心０1 か
ら距離ｘ、基準位置から角度θに移動するための両アー
ム７ａ，７ｂの回転角θ1 ，θ2 は次式で求める。
【００２６】
【式１】
【００２７】搬送台２１がトランスファチャンバ１内か
らステーション内の所定の位置のｘにわたって突出動す
る場合、各アーム７ａ，７ｂの回転角θ1 ，θ2 が上記
のようになるようにモータユニットを制御する。
らステーション内の所定の位置のｘにわたって突出動す
る場合、各アーム７ａ，７ｂの回転角θ1 ，θ2 が上記
のようになるようにモータユニットを制御する。
【００２８】搬送台２１を没入動した状態で両アーム７
ａ，７ｂを同一方向に回転することにより搬送台２１は
トランスファチャンバ１内で旋回動作されて他のステー
ションに対向される。
ａ，７ｂを同一方向に回転することにより搬送台２１は
トランスファチャンバ１内で旋回動作されて他のステー
ションに対向される。
【００２９】上記実施例では搬送台２１と一方のリンク
２０ａとを一体構造にした例を示したが、これに限るも
のではなく、搬送台２１と、これと一体にするリンク２
０ａとを別構造にし、ボルト等の固着手段にて一体に結
合するようにしてもよい。
２０ａとを一体構造にした例を示したが、これに限るも
のではなく、搬送台２１と、これと一体にするリンク２
０ａとを別構造にし、ボルト等の固着手段にて一体に結
合するようにしてもよい。
【００３０】上記したように、搬送台２１とリンク２０
ａ，２０ｂとの連結が１つの回転節２２にて行われるこ
とにより、図２，図３にて示す、搬送台姿勢規制機構Ｂ
のように２つの回転節を有し、しかも歯車結合あるいは
ベルト結合のものに対して発塵頻度は著しく低くなる。
また、回転節が１つ減少されることにより、回転節にて
生じるガタの影響を小さくすることができる。
ａ，２０ｂとの連結が１つの回転節２２にて行われるこ
とにより、図２，図３にて示す、搬送台姿勢規制機構Ｂ
のように２つの回転節を有し、しかも歯車結合あるいは
ベルト結合のものに対して発塵頻度は著しく低くなる。
また、回転節が１つ減少されることにより、回転節にて
生じるガタの影響を小さくすることができる。
【図１】マルチチャンバタイプの製造装置の一例である
半導体製造装置の概略的な平面図である。
半導体製造装置の概略的な平面図である。
【図２】トランスファチャンバと従来のハンドリング用
ロボットの関係を示す分解斜視図である。
ロボットの関係を示す分解斜視図である。
【図３】（ａ），（ｂ）は搬送台姿勢規制機構を示す説
明図である。
明図である。
【図４】アーム回転機構を示す断面図である。
【図５】本発明の実施例を示す平面図である。
【図６】搬送台に対するアーム、リンクの寸法及び回転
角を示す説明図である。
角を示す説明図である。
Ａ…ハンドリング用ロボット Ｂ…搬送台姿勢規制機構 １…トランスファチャンバ ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ…プロセスチャンバステ
ーション ３…ワーク受け渡しステーション ５…仕切り壁 ６…ゲート ７ａ，７ｂ…アーム ８，２１…搬送台 ９ａ，９ｂ，２１ａ，２１ｂ…リンク ９ｃ…歯車 ９ｄ…ベルト １０ａ，１０ｂ…リング状ボス １１ａ，１１ｂ…円板状ボス １２ａ，１２ｂ…マグネットカップリング １４ａ，１４ｂ…モータユニット ２２…回転節 ２３…ウエハ
ーション ３…ワーク受け渡しステーション ５…仕切り壁 ６…ゲート ７ａ，７ｂ…アーム ８，２１…搬送台 ９ａ，９ｂ，２１ａ，２１ｂ…リンク ９ｃ…歯車 ９ｄ…ベルト １０ａ，１０ｂ…リング状ボス １１ａ，１１ｂ…円板状ボス １２ａ，１２ｂ…マグネットカップリング １４ａ，１４ｂ…モータユニット ２２…回転節 ２３…ウエハ
Claims (1)
- 【請求項１】 少なくとも２個のリング状ボスを同心状
で、かつそれぞれ独立して回転するようにして回転中心
の軸方向に位置をずらせて設け、この各リング状ボスの
それぞれにアームを設けると共に、この各アームにリン
クを連結し、両リンクの先端に搬送台を連結し、上記各
リング状ボスのそれぞれに独立した駆動源を連結したハ
ンドリング用ロボットにおいて、 上記両リンクのうちの一方のリンクと搬送台を一体構造
にし、他方のリンクを搬送台と回転節を介して連結した
ことを特徴とするハンドリング用ロボット。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7603896A JPH09262783A (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | ハンドリング用ロボット |
| TW086100930A TW349897B (en) | 1996-02-02 | 1997-01-28 | Operational robot |
| EP97901792A EP0913237A1 (en) | 1996-02-02 | 1997-01-30 | Robot for handling |
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| JP7603896A JPH09262783A (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | ハンドリング用ロボット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09262783A true JPH09262783A (ja) | 1997-10-07 |
Family
ID=13593647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7603896A Pending JPH09262783A (ja) | 1996-02-02 | 1996-03-29 | ハンドリング用ロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09262783A (ja) |
-
1996
- 1996-03-29 JP JP7603896A patent/JPH09262783A/ja active Pending
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