JPH09261975A - 静電フィルムアクチュエータ - Google Patents
静電フィルムアクチュエータInfo
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- JPH09261975A JPH09261975A JP6770296A JP6770296A JPH09261975A JP H09261975 A JPH09261975 A JP H09261975A JP 6770296 A JP6770296 A JP 6770296A JP 6770296 A JP6770296 A JP 6770296A JP H09261975 A JPH09261975 A JP H09261975A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 静電フィルムアクチュエータの駆動に用いら
れる電極の配置を工夫することにより、移動子・固定子
として用いられる電極部材の絶縁耐電圧を向上し、ま
た、製造コストの低減化及びフィルムの薄型化、電極配
置間隔の微細化を図り得る静電フィルムアクチュエータ
を提供する。 【解決手段】 第１部材と第２部材とも絶縁部材中に所
定ピッチの複数相の電極を埋め込んで構成される静電フ
ィルムアクチュエータにおいて、少なくとも一方の前記
部材２０に各相ごとに一つの平行帯状電極群２２，２
３，２４を形成し、この電極群２２，２３，２４を所定
の間隔Ｄをもって分散して配置する。
れる電極の配置を工夫することにより、移動子・固定子
として用いられる電極部材の絶縁耐電圧を向上し、ま
た、製造コストの低減化及びフィルムの薄型化、電極配
置間隔の微細化を図り得る静電フィルムアクチュエータ
を提供する。 【解決手段】 第１部材と第２部材とも絶縁部材中に所
定ピッチの複数相の電極を埋め込んで構成される静電フ
ィルムアクチュエータにおいて、少なくとも一方の前記
部材２０に各相ごとに一つの平行帯状電極群２２，２
３，２４を形成し、この電極群２２，２３，２４を所定
の間隔Ｄをもって分散して配置する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄型のフィルムを
利用した静電フィルムアクチュエータに関するものであ
る。
利用した静電フィルムアクチュエータに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、このような分野の先行技術として
は、例えば、以下に示すようなものがあった。静電フィ
ルムアクチュエータは、図６に示すように、第１部材と
第２部材と呼ばれる３相構造の電極を、各相が交互に並
ぶように配置された等ピッチの平行帯状電極を埋め込ん
だ絶縁部材のフィルム１からなり、それをそれぞれの帯
状電極が平行になるように重ね合わせることにより構成
されていた。
は、例えば、以下に示すようなものがあった。静電フィ
ルムアクチュエータは、図６に示すように、第１部材と
第２部材と呼ばれる３相構造の電極を、各相が交互に並
ぶように配置された等ピッチの平行帯状電極を埋め込ん
だ絶縁部材のフィルム１からなり、それをそれぞれの帯
状電極が平行になるように重ね合わせることにより構成
されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の静電フィルムアクチュエータは、以下のような
問題点があった。 （１）従来の静電フィルムアクチュエータの発生力の上
限は、その電極サイズ及び形状が一定であるならば、第
１部材及び第２部材の絶縁耐電圧によって定まる。しか
し、図６に示すような、従来の３相の電極が互いに交互
に並ぶように配置する電極構造では、第１部材及び第２
部材内の平行帯状電極において、隣接する電極が異なる
相の電極であるため、隣接電極間に高い電位差が生じ、
これらの場所において絶縁破壊を起こし易い。そのため
に、フィルムの絶縁耐電圧を高くすることが難しく、静
電フィルムアクチュエータの性能向上の妨げとなってい
る。
た従来の静電フィルムアクチュエータは、以下のような
問題点があった。 （１）従来の静電フィルムアクチュエータの発生力の上
限は、その電極サイズ及び形状が一定であるならば、第
１部材及び第２部材の絶縁耐電圧によって定まる。しか
し、図６に示すような、従来の３相の電極が互いに交互
に並ぶように配置する電極構造では、第１部材及び第２
部材内の平行帯状電極において、隣接する電極が異なる
相の電極であるため、隣接電極間に高い電位差が生じ、
これらの場所において絶縁破壊を起こし易い。そのため
に、フィルムの絶縁耐電圧を高くすることが難しく、静
電フィルムアクチュエータの性能向上の妨げとなってい
る。
【０００４】（２）３相以上の複数相の電極を各相が交
互に並ぶように配置する場合、例えば、図６に示すよう
に、フィルム１にα相、β相、γ相を有する場合、電極
の立体配線部２が生じる。つまり、平面的な配線では全
ての相を配線することは不可能である。そのため、例え
ば、電極の立体配線部２は、図７に示すように、フィル
ム１上の電極Ｂは電極の立体配線部２でスルーホール３
を介して、裏面配線を行う必要がある。このように、こ
れらの電極構造の生成のためにはスルーホール３等を用
いた立体的な配線が不可欠となり、電極フィルムの製造
コストを増加させることになる。
互に並ぶように配置する場合、例えば、図６に示すよう
に、フィルム１にα相、β相、γ相を有する場合、電極
の立体配線部２が生じる。つまり、平面的な配線では全
ての相を配線することは不可能である。そのため、例え
ば、電極の立体配線部２は、図７に示すように、フィル
ム１上の電極Ｂは電極の立体配線部２でスルーホール３
を介して、裏面配線を行う必要がある。このように、こ
れらの電極構造の生成のためにはスルーホール３等を用
いた立体的な配線が不可欠となり、電極フィルムの製造
コストを増加させることになる。
【０００５】（３）従来の静電フィルムアクチュエータ
は、第１部材及び第２部材を薄型のフィルムを用いて製
作し、それらを多数積層することにより、大きな力・体
積比を実現し易いという特長を持つが、この利点を有効
に生かすためには、フィルムの厚みはできるだけ薄いこ
とが望ましい。しかし、立体配線により、上記のような
３相構造の電極を製造した場合、フィルムの電極構造を
複層構造とせざるを得ず、フィルムの厚みを抑制するこ
とが難しい。
は、第１部材及び第２部材を薄型のフィルムを用いて製
作し、それらを多数積層することにより、大きな力・体
積比を実現し易いという特長を持つが、この利点を有効
に生かすためには、フィルムの厚みはできるだけ薄いこ
とが望ましい。しかし、立体配線により、上記のような
３相構造の電極を製造した場合、フィルムの電極構造を
複層構造とせざるを得ず、フィルムの厚みを抑制するこ
とが難しい。
【０００６】（４）また、平行帯状電極内における各電
極の配置ピッチも静電フィルムアクチュエータの性能に
影響を及ぼし、一般に電極配置ピッチを微細化した方が
静電フィルムアクチュエータの性能は向上する。しか
し、スルーホールを用いて配線を行う場合、スルーホー
ルの存在がネックとなり、電極の配置ピッチを微細化す
ることが難しい。
極の配置ピッチも静電フィルムアクチュエータの性能に
影響を及ぼし、一般に電極配置ピッチを微細化した方が
静電フィルムアクチュエータの性能は向上する。しか
し、スルーホールを用いて配線を行う場合、スルーホー
ルの存在がネックとなり、電極の配置ピッチを微細化す
ることが難しい。
【０００７】本発明は、静電フィルムアクチュエータの
駆動に用いられる電極の配置を工夫することにより、移
動子・固定子として用いられる電極部材の絶縁耐電圧を
向上し、また、製造コストの低減化及びフィルムの薄型
化、電極配置間隔の微細化を図り得る静電フィルムアク
チュエータを提供することを目的とするものである。
駆動に用いられる電極の配置を工夫することにより、移
動子・固定子として用いられる電極部材の絶縁耐電圧を
向上し、また、製造コストの低減化及びフィルムの薄型
化、電極配置間隔の微細化を図り得る静電フィルムアク
チュエータを提供することを目的とするものである。
【０００８】
〔１〕第１部材と第２部材とも絶縁部材中に所定ピッチ
の複数相の電極を埋め込んで構成される静電フィルムア
クチュエータにおいて、少なくとも一方の前記部材に、
各相ごとに一つの平行帯状電極群を形成し、この電極群
を所定の間隔をもって分散して配置するようにしたもの
である。
の複数相の電極を埋め込んで構成される静電フィルムア
クチュエータにおいて、少なくとも一方の前記部材に、
各相ごとに一つの平行帯状電極群を形成し、この電極群
を所定の間隔をもって分散して配置するようにしたもの
である。
【０００９】このように、第１部材と第２部材とを具備
し、それらの第１部材と第２部材は、絶縁部材中に所定
ピッチで配置された電極を埋め込んだ静電フィルムアク
チュエータにおいて、第１部材及び第２部材において配
置された各電極を、少なくとも一方の前記部材に同一相
ごとに一つの平行帯状電極群として集合させ、複数の電
極群を所定の十分な間隔をもって配置することにより、
第１部材及び第２部材内部における絶縁破壊を抑制し、
また、フィルムの製造の簡易化を図ることができる。
し、それらの第１部材と第２部材は、絶縁部材中に所定
ピッチで配置された電極を埋め込んだ静電フィルムアク
チュエータにおいて、第１部材及び第２部材において配
置された各電極を、少なくとも一方の前記部材に同一相
ごとに一つの平行帯状電極群として集合させ、複数の電
極群を所定の十分な間隔をもって配置することにより、
第１部材及び第２部材内部における絶縁破壊を抑制し、
また、フィルムの製造の簡易化を図ることができる。
【００１０】したがって、電極の製造における立体配線
の必要性はなくなり、平面的な配線のみで電極の製造が
可能となり、フィルムの製造コストの低減、電極の微細
化、フィルムの薄型化を図ることができる。また、各相
の電極群内において、隣接電極間には全て等しい電圧が
印加されるため絶縁破壊の恐れはなくなる。唯一、電極
群同士が隣接する場所において、高い電位差が生じるた
め絶縁破壊を起こす可能性があるが、各電極群の配置間
隔を十分に広くとることで、これらの場所における絶縁
破壊を抑制することができる。これにより、第１部材及
び第２部材の絶縁耐電圧を高めることが可能である。
の必要性はなくなり、平面的な配線のみで電極の製造が
可能となり、フィルムの製造コストの低減、電極の微細
化、フィルムの薄型化を図ることができる。また、各相
の電極群内において、隣接電極間には全て等しい電圧が
印加されるため絶縁破壊の恐れはなくなる。唯一、電極
群同士が隣接する場所において、高い電位差が生じるた
め絶縁破壊を起こす可能性があるが、各電極群の配置間
隔を十分に広くとることで、これらの場所における絶縁
破壊を抑制することができる。これにより、第１部材及
び第２部材の絶縁耐電圧を高めることが可能である。
【００１１】〔２〕上記〔１〕記載の静電フィルムアク
チュエータにおいて、前記第２部材に各相ごとに一つの
平行帯状電極群を形成し、この電極群に３相交流を印加
し、前記第１部材に所定ピッチの平行帯状電極を形成
し、この電極に前記３相交流の３倍の周波数を有する単
相交流を印加するようにしたものである。したがって、
より電気的な耐久性が向上した高性能の多相静電フィル
ムアクチュエータを得ることができる。
チュエータにおいて、前記第２部材に各相ごとに一つの
平行帯状電極群を形成し、この電極群に３相交流を印加
し、前記第１部材に所定ピッチの平行帯状電極を形成
し、この電極に前記３相交流の３倍の周波数を有する単
相交流を印加するようにしたものである。したがって、
より電気的な耐久性が向上した高性能の多相静電フィル
ムアクチュエータを得ることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の実施例
を示す静電フィルムアクチュエータの電極構造を示す平
面図、図２はその静電フィルムアクチュエータの第１部
材と第２部材の平面図であり、図２（ａ）はその第１部
材の平面図、図２（ｂ）はその第２部材の平面図であ
る。また、図３はその静電フィルムアクチュエータの斜
視図、図４はその静電フィルムアクチュエータへの電圧
印加例を示す図、図５はその静電フィルムアクチュエー
タへの印加電圧パターン例を示す図であり、図５（ａ）
はその第２部材への印加電圧、図５（ｂ）はその第１部
材への印加電圧を示している。
を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の実施例
を示す静電フィルムアクチュエータの電極構造を示す平
面図、図２はその静電フィルムアクチュエータの第１部
材と第２部材の平面図であり、図２（ａ）はその第１部
材の平面図、図２（ｂ）はその第２部材の平面図であ
る。また、図３はその静電フィルムアクチュエータの斜
視図、図４はその静電フィルムアクチュエータへの電圧
印加例を示す図、図５はその静電フィルムアクチュエー
タへの印加電圧パターン例を示す図であり、図５（ａ）
はその第２部材への印加電圧、図５（ｂ）はその第１部
材への印加電圧を示している。
【００１３】これらの図に示すように、第１部材１０
は、絶縁性フィルム１１内に所定のピッチｐで形成され
た平行帯状電極１２が埋め込まれている。ここで、ピッ
チｐは、例えば４５０μｍである。第２部材２０は、絶
縁性のフィルム２１内に、α相電極２２、β相電極２
３、γ相電極２４の各相毎に一つの平行帯状電極群が埋
め込まれている。α相電極２２、β相電極２３、γ相電
極２４はそれぞれ所定のピッチｐで配置されており、各
相電極間は、〔ｍ＋（１／３）〕ｐの間隔Ｄを有してい
る。ここで、ｍは任意の正の整数であるが、電極内にお
ける絶縁破壊を防ぐために、ある程度大きい値をとるこ
とが望ましい。例えば、ｍは１５、間隔Ｄは６９００μ
ｍである。
は、絶縁性フィルム１１内に所定のピッチｐで形成され
た平行帯状電極１２が埋め込まれている。ここで、ピッ
チｐは、例えば４５０μｍである。第２部材２０は、絶
縁性のフィルム２１内に、α相電極２２、β相電極２
３、γ相電極２４の各相毎に一つの平行帯状電極群が埋
め込まれている。α相電極２２、β相電極２３、γ相電
極２４はそれぞれ所定のピッチｐで配置されており、各
相電極間は、〔ｍ＋（１／３）〕ｐの間隔Ｄを有してい
る。ここで、ｍは任意の正の整数であるが、電極内にお
ける絶縁破壊を防ぐために、ある程度大きい値をとるこ
とが望ましい。例えば、ｍは１５、間隔Ｄは６９００μ
ｍである。
【００１４】このように、各相ごとに一つの電極群を形
成し、その電極群を所定の間隔Ｄをもって分散して配置
するようにしている。そこで、図４および図５に示すよ
うに、第１部材１０の平行帯状電極１２にはＶ0 ｓｉｎ
（３ωｔ）を印加し、第２部材２０のα相電極２２には
Ｖ0 ｓｉｎ（ωｔ）、β相電極２３にはＶ0 ｓｉｎ〔ω
ｔ＋（２／３）π〕、γ相電極２４にはＶ0 ｓｉｎ〔ω
ｔ＋（４／３）π〕を印加するようにしている。
成し、その電極群を所定の間隔Ｄをもって分散して配置
するようにしている。そこで、図４および図５に示すよ
うに、第１部材１０の平行帯状電極１２にはＶ0 ｓｉｎ
（３ωｔ）を印加し、第２部材２０のα相電極２２には
Ｖ0 ｓｉｎ（ωｔ）、β相電極２３にはＶ0 ｓｉｎ〔ω
ｔ＋（２／３）π〕、γ相電極２４にはＶ0 ｓｉｎ〔ω
ｔ＋（４／３）π〕を印加するようにしている。
【００１５】つまり、第１部材１０と第２部材２０を図
３に示すように重ね合わせ、第２部材２０の３個の平行
帯状電極群２２，２３，２４に対しては、図５（ａ）に
示すような３相交流を、第１部材１０の平行帯状電極１
２に対しては、図５（ｂ）に示すような図５（ａ）の３
倍の周波数を持つ交流電圧を印加することにより、両者
間に発生する静電吸引力により、第１部材１０もしくは
第２部材２０が図３中に矢印で示す方向にリニアに駆動
される。
３に示すように重ね合わせ、第２部材２０の３個の平行
帯状電極群２２，２３，２４に対しては、図５（ａ）に
示すような３相交流を、第１部材１０の平行帯状電極１
２に対しては、図５（ｂ）に示すような図５（ａ）の３
倍の周波数を持つ交流電圧を印加することにより、両者
間に発生する静電吸引力により、第１部材１０もしくは
第２部材２０が図３中に矢印で示す方向にリニアに駆動
される。
【００１６】従来例で示したような、３相の電極が交互
に並ぶように配置された電極構造においては、隣接する
電極は異なる相の電極であるため、駆動時には隣接電極
間に高い電位差が生じ、隣接電極間で絶縁破壊を起こし
易い。そのために、フィルム全体の絶縁耐電圧も高くす
ることが難しい。本発明によれば、複数相の電極を各相
ごとに集合させ、集合させた各相の電極を互いに十分な
間隔Ｄをもって配置することにより、集合させた各相の
電極群内では、隣接電極間には等しい電圧が印加される
ため絶縁破壊の恐れはなく、それぞれの電極群を十分に
離して配置することで、移動子・固定子の各電極フィル
ムの絶縁耐電圧を高めることが容易である。
に並ぶように配置された電極構造においては、隣接する
電極は異なる相の電極であるため、駆動時には隣接電極
間に高い電位差が生じ、隣接電極間で絶縁破壊を起こし
易い。そのために、フィルム全体の絶縁耐電圧も高くす
ることが難しい。本発明によれば、複数相の電極を各相
ごとに集合させ、集合させた各相の電極を互いに十分な
間隔Ｄをもって配置することにより、集合させた各相の
電極群内では、隣接電極間には等しい電圧が印加される
ため絶縁破壊の恐れはなく、それぞれの電極群を十分に
離して配置することで、移動子・固定子の各電極フィル
ムの絶縁耐電圧を高めることが容易である。
【００１７】また、従来の電極構造は電極の製造に立体
的な配線を要し、通常は、複数層の構造を有するフィル
ム状基板とスルーホールとを用いて電極の配線が行われ
た。このような配線においては、スルーホールの存在が
ネックとなり、電極の微細化が図り難く、また、フィル
ム内の電極も複数層の構造を有するため、フィルムの厚
みも大きなものとなる。これらは、静電フィルムアクチ
ュエータの出力向上を図る上で、非常に大きな問題とな
る。
的な配線を要し、通常は、複数層の構造を有するフィル
ム状基板とスルーホールとを用いて電極の配線が行われ
た。このような配線においては、スルーホールの存在が
ネックとなり、電極の微細化が図り難く、また、フィル
ム内の電極も複数層の構造を有するため、フィルムの厚
みも大きなものとなる。これらは、静電フィルムアクチ
ュエータの出力向上を図る上で、非常に大きな問題とな
る。
【００１８】本発明の電極配置によれば、平面的な配線
のみで電極を製造することが可能なため、スルーホール
を必要とせず、また、単層構造の電極を有するフィルム
基板により電極の製造を行うことが可能となるため、電
極の微細化やフィルムの薄型化が容易に行える。また、
同時に、フィルムの製造コストの低減も図ることができ
る。
のみで電極を製造することが可能なため、スルーホール
を必要とせず、また、単層構造の電極を有するフィルム
基板により電極の製造を行うことが可能となるため、電
極の微細化やフィルムの薄型化が容易に行える。また、
同時に、フィルムの製造コストの低減も図ることができ
る。
【００１９】なお、上記実施例では、平行帯状電極を平
板状のフィルムに配置した場合を示したが、静電フィル
ムアクチュエータとして、公知（例えば、本願発明者等
による特開平６−７８５６６号、特開平７−１９４１４
７号、特開平７−２７４５４０号参照）の円盤状の絶縁
体中に放射状に電極を配置する場合に適用することがで
きることは言うまでもない。
板状のフィルムに配置した場合を示したが、静電フィル
ムアクチュエータとして、公知（例えば、本願発明者等
による特開平６−７８５６６号、特開平７−１９４１４
７号、特開平７−２７４５４０号参照）の円盤状の絶縁
体中に放射状に電極を配置する場合に適用することがで
きることは言うまでもない。
【００２０】また、円筒状の絶縁体中に巻回状に電極を
配置する場合に適用することができることは言うまでも
ない。なお、本発明は上記実施例に限定されるものでは
なく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であ
り、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
配置する場合に適用することができることは言うまでも
ない。なお、本発明は上記実施例に限定されるものでは
なく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であ
り、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、フィルム状の移動子・
固定子を有する静電アクチュエータの多くの特長を保持
しつつ、さらに、次のような効果を得ることができる。 （１）請求項１記載の発明によれば、移動子・固定子と
なる第１部材及び第２部材の絶縁耐圧を、従来より大幅
に向上させ、静電フィルムアクチュエータの発生力の向
上や、電気的な耐久性の向上を図ることができる。
固定子を有する静電アクチュエータの多くの特長を保持
しつつ、さらに、次のような効果を得ることができる。 （１）請求項１記載の発明によれば、移動子・固定子と
なる第１部材及び第２部材の絶縁耐圧を、従来より大幅
に向上させ、静電フィルムアクチュエータの発生力の向
上や、電気的な耐久性の向上を図ることができる。
【００２２】また、第１部材及び第２部材の電極の製造
において、スルーホール等の機構を必要とせず、平面的
な配線により電極を形成することができるため、部材の
簡素化・薄型化、構成電極の配置ピッチの微細化、電極
フィルムの製造コストの低減化を図ることができる。 （２）請求項２記載の発明によれば、電気的な耐久性が
向上した高性能の多相静電フィルムアクチュエータを得
ることができる。
において、スルーホール等の機構を必要とせず、平面的
な配線により電極を形成することができるため、部材の
簡素化・薄型化、構成電極の配置ピッチの微細化、電極
フィルムの製造コストの低減化を図ることができる。 （２）請求項２記載の発明によれば、電気的な耐久性が
向上した高性能の多相静電フィルムアクチュエータを得
ることができる。
【図１】本発明の実施例を示す静電フィルムアクチュエ
ータの電極構造を示す平面図である。
ータの電極構造を示す平面図である。
【図２】本発明の実施例を示す静電フィルムアクチュエ
ータの第１部材と第２部材の平面図である。
ータの第１部材と第２部材の平面図である。
【図３】本発明の実施例を示す静電フィルムアクチュエ
ータの斜視図である。
ータの斜視図である。
【図４】本発明の実施例を示す静電フィルムアクチュエ
ータへの電圧印加例を示す図である。
ータへの電圧印加例を示す図である。
【図５】本発明の実施例を示す静電フィルムアクチュエ
ータへの印加電圧パターン例を示す図である。
ータへの印加電圧パターン例を示す図である。
【図６】従来の静電フィルムアクチュエータの３相電極
の電極構造を示す平面図である。
の電極構造を示す平面図である。
【図７】従来の静電フィルムアクチュエータの電極の立
体配線部を示す断面図である。
体配線部を示す断面図である。
１０ 第１部材 １１，２１ 絶縁性フィルム １２ 平行帯状電極 ２０ 第２部材 ２２ α相電極 ２３ β相電極 ２４ γ相電極
Claims (2)
- 【請求項１】 第１部材と第２部材とも絶縁部材中に所
定ピッチの複数相の電極を埋め込んで構成される静電フ
ィルムアクチュエータにおいて、 少なくとも一方の前記部材に、各相ごとに一つの平行帯
状電極群を形成し、該電極群を所定の間隔をもって分散
して配置することを特徴とする静電フィルムアクチュエ
ータ。 - 【請求項２】 請求項１記載の静電フィルムアクチュエ
ータにおいて、前記第２部材に各相ごとに一つの平行帯
状電極群を形成し、該電極群に３相交流を印加し、前記
第１部材に所定ピッチの平行帯状電極を形成し、該電極
に前記３相交流の３倍の周波数を有する単相交流を印加
することを特徴とする静電フィルムアクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06770296A JP3545876B2 (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 静電フィルムアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06770296A JP3545876B2 (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 静電フィルムアクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09261975A true JPH09261975A (ja) | 1997-10-03 |
| JP3545876B2 JP3545876B2 (ja) | 2004-07-21 |
Family
ID=13352561
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06770296A Expired - Fee Related JP3545876B2 (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 静電フィルムアクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3545876B2 (ja) |
Cited By (6)
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| US6809848B2 (en) * | 2001-06-01 | 2004-10-26 | Agere Systems Inc. | MEMS device |
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-
1996
- 1996-03-25 JP JP06770296A patent/JP3545876B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| US11007105B2 (en) | 2013-03-15 | 2021-05-18 | Alterg, Inc. | Orthotic device drive system and method |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3545876B2 (ja) | 2004-07-21 |
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