JPH09258455A - 露光用パタ−ン板 - Google Patents
露光用パタ−ン板Info
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- JPH09258455A JPH09258455A JP6796496A JP6796496A JPH09258455A JP H09258455 A JPH09258455 A JP H09258455A JP 6796496 A JP6796496 A JP 6796496A JP 6796496 A JP6796496 A JP 6796496A JP H09258455 A JPH09258455 A JP H09258455A
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- JP
- Japan
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- exposure pattern
- exposure
- pattern plate
- temperature
- heater
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Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 この発明は温度変化により膨張、収縮を起こ
して位置決め状態がずれるのを防止した露光用パタ−ン
板をを提供することを目的とする。 【解決手段】 鉄帯２に所定のパタ−ン３ａを転写する
際に、この鉄帯の両面に対向して配置される上記所定の
パタ−ンが形成された露光用パタ−ン板３において、上
記露光用パタ−ン板には、露光用パタ−ン板を加熱する
ためのヒ−タ２２と、露光時と非露光時との温度変化を
調整するために、その露光用パタ−ン板の温度を検出し
て上記ヒ−タ２２への通電を制御するサ−モッスタット
２３からなる温度制御手段２１が設けられていることを
特徴とする。
して位置決め状態がずれるのを防止した露光用パタ−ン
板をを提供することを目的とする。 【解決手段】 鉄帯２に所定のパタ−ン３ａを転写する
際に、この鉄帯の両面に対向して配置される上記所定の
パタ−ンが形成された露光用パタ−ン板３において、上
記露光用パタ−ン板には、露光用パタ−ン板を加熱する
ためのヒ−タ２２と、露光時と非露光時との温度変化を
調整するために、その露光用パタ−ン板の温度を検出し
て上記ヒ−タ２２への通電を制御するサ−モッスタット
２３からなる温度制御手段２１が設けられていることを
特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はたとえばブラウン
管のシャドウマスクをエッチング処理する際に用いられ
る露光用パタ−ン板に関する。
管のシャドウマスクをエッチング処理する際に用いられ
る露光用パタ−ン板に関する。
【０００２】
【従来の技術】ブラウン管のシャドウマスクを製造する
際、シャドウマスクパタ−ンが形成された露光用パタ−
ン板を非処理体としての鉄帯の両面に対向させて配置
し、この状態で露光によるエッチング処理を行うこと
で、上記鉄帯にパタ−ンを転写するということが行われ
ている。
際、シャドウマスクパタ−ンが形成された露光用パタ−
ン板を非処理体としての鉄帯の両面に対向させて配置
し、この状態で露光によるエッチング処理を行うこと
で、上記鉄帯にパタ−ンを転写するということが行われ
ている。
【０００３】露光用パタ−ン板を鉄帯の両面に対向させ
て配置し、上記鉄帯を両面から露光によりエッチングす
ることで、エッチング形状の内周面がテ−パ状となりに
くいために形状精度の向上が計れるということや生産性
の向上が計れるという利点を有する。
て配置し、上記鉄帯を両面から露光によりエッチングす
ることで、エッチング形状の内周面がテ−パ状となりに
くいために形状精度の向上が計れるということや生産性
の向上が計れるという利点を有する。
【０００４】その一方、一対の露光用パタ−ン板を高精
度に位置決めしないと、鉄帯の両面に形成されたパタ−
ンにずれが生じて不良品の発生を招くということにな
る。最近では、ＣＤＴ（Color Display Tube）やＣＰＴ
（Color Picture Tube）などの生産性に対応させるため
に±２．５μｍ以内という高精度が要求されている。
度に位置決めしないと、鉄帯の両面に形成されたパタ−
ンにずれが生じて不良品の発生を招くということにな
る。最近では、ＣＤＴ（Color Display Tube）やＣＰＴ
（Color Picture Tube）などの生産性に対応させるため
に±２．５μｍ以内という高精度が要求されている。
【０００５】ところで、鉄帯に露光用パタ−ン板に形成
されたパタ−ンを転写するには、上記鉄帯の両面に対向
して配置された露光用パタ−ン板を、紫外線ランプなど
の光源から出力される露光用光で照射し、エッチングす
るということが行われている。そのため、露光用パタ−
ン板は、露光用光が照射されると温度上昇により熱膨張
し、非照射時には収縮するということを繰り返すから、
その繰り返しによって鉄帯の両面に高精度に位置決め配
置された上記一対の露光用パタ−ン板が位置ずれを起こ
すということがあり、その結果、鉄帯の両面に形成され
るエッチングパタ−ンがずれ、エッチング精度の低下を
招くということがあった。
されたパタ−ンを転写するには、上記鉄帯の両面に対向
して配置された露光用パタ−ン板を、紫外線ランプなど
の光源から出力される露光用光で照射し、エッチングす
るということが行われている。そのため、露光用パタ−
ン板は、露光用光が照射されると温度上昇により熱膨張
し、非照射時には収縮するということを繰り返すから、
その繰り返しによって鉄帯の両面に高精度に位置決め配
置された上記一対の露光用パタ−ン板が位置ずれを起こ
すということがあり、その結果、鉄帯の両面に形成され
るエッチングパタ−ンがずれ、エッチング精度の低下を
招くということがあった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このように、鉄帯の両
面に対向して配置される露光用パタ−ン板は、露光時に
光源からの露光用光によって照射されることで熱膨張
し、非照射時には収縮するから、それを繰り返すことで
上記露光用パタ−ン板が位置ずれを起こすということが
あった。
面に対向して配置される露光用パタ−ン板は、露光時に
光源からの露光用光によって照射されることで熱膨張
し、非照射時には収縮するから、それを繰り返すことで
上記露光用パタ−ン板が位置ずれを起こすということが
あった。
【０００７】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、露光用光の照射と非照射
が繰り返されても、膨張や収縮を繰り返して位置決め精
度が低下することがないようにした露光用パタ−ン板を
提供することにある。
で、その目的とするところは、露光用光の照射と非照射
が繰り返されても、膨張や収縮を繰り返して位置決め精
度が低下することがないようにした露光用パタ−ン板を
提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、被処
理体に所定のパタ−ンを転写する際に、この被処理体の
両面に対向して配置される上記所定のパタ−ンが形成さ
れた露光用パタ−ン板において、上記露光用パタ−ン板
には、露光時と非露光時との温度変化を調整するための
温度制御手段が設けられていることを特徴とする。
理体に所定のパタ−ンを転写する際に、この被処理体の
両面に対向して配置される上記所定のパタ−ンが形成さ
れた露光用パタ−ン板において、上記露光用パタ−ン板
には、露光時と非露光時との温度変化を調整するための
温度制御手段が設けられていることを特徴とする。
【０００９】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、上記温度制御手段は、上記露光用パタ−ン板のパタ
−ンが形成されていない部分に設けられたヒ−タと、上
記露光用パタ−ン板の温度を検出して上記ヒ−タへの通
電を制御する検出手段とを具備したことを特徴とする。
て、上記温度制御手段は、上記露光用パタ−ン板のパタ
−ンが形成されていない部分に設けられたヒ−タと、上
記露光用パタ−ン板の温度を検出して上記ヒ−タへの通
電を制御する検出手段とを具備したことを特徴とする。
【００１０】請求項３の発明は、請求項２の発明におい
て、上記検出手段は、サ−モスタットまたはサ−ミスタ
であることを特徴とする。請求項１の発明によれば、露
光用パタ−ン板に、露光時と非露光時との温度変化をな
くすための温度制御手段を設けたことで、上記露光用パ
タ−ン板が膨張と収縮を繰り返すのが防止されるから、
その位置決め精度が低下するということも防止される。
て、上記検出手段は、サ−モスタットまたはサ−ミスタ
であることを特徴とする。請求項１の発明によれば、露
光用パタ−ン板に、露光時と非露光時との温度変化をな
くすための温度制御手段を設けたことで、上記露光用パ
タ−ン板が膨張と収縮を繰り返すのが防止されるから、
その位置決め精度が低下するということも防止される。
【００１１】請求項２の発明によれば、温度制御手段
を、露光用パタ−ン板に設けられたヒ−タと、このヒ−
タへの通電を制御する検出手段とから構成したことで、
上記露光用パタ−ン板を所定温度に維持することができ
る。請求項３の発明によれば、検出手段がサ−モスタッ
トであるため、露光用ガラス基板の温度検出と温度制御
とを同時に行うことができる。
を、露光用パタ−ン板に設けられたヒ−タと、このヒ−
タへの通電を制御する検出手段とから構成したことで、
上記露光用パタ−ン板を所定温度に維持することができ
る。請求項３の発明によれば、検出手段がサ−モスタッ
トであるため、露光用ガラス基板の温度検出と温度制御
とを同時に行うことができる。
【００１２】
【発明の実施形態】以下、この発明の一実施形態を図面
を参照して説明する。図２はこの発明のガラス製の一対
の露光用パタ−ン板３が用いられたシャドウマスク用露
光装置であって、この露光装置はアンワインダ−部１を
有する。このアンワインダ−部１にはロ−ル状に巻回さ
れ予めレジスト２ａが塗布された鉄帯２が収容されてい
る。
を参照して説明する。図２はこの発明のガラス製の一対
の露光用パタ−ン板３が用いられたシャドウマスク用露
光装置であって、この露光装置はアンワインダ−部１を
有する。このアンワインダ−部１にはロ−ル状に巻回さ
れ予めレジスト２ａが塗布された鉄帯２が収容されてい
る。
【００１３】上記アンワインダ−部１から導出された鉄
帯２はフレ−ム５内に導入され、このフレ−ム５内で後
述するように露光処理されてからワインダ−部８で巻き
取られるようになっている。
帯２はフレ−ム５内に導入され、このフレ−ム５内で後
述するように露光処理されてからワインダ−部８で巻き
取られるようになっている。
【００１４】上記フレ−ム５内には、フレ−ム５内に導
入された鉄帯２の上下両面に対向して上記一対の露光用
パタ−ン板３が配置されている。この一対の露光用パタ
−ン板３には、同一形状のブラウン管シャドウマスクの
パタ−ン３ａが形成されている。
入された鉄帯２の上下両面に対向して上記一対の露光用
パタ−ン板３が配置されている。この一対の露光用パタ
−ン板３には、同一形状のブラウン管シャドウマスクの
パタ−ン３ａが形成されている。
【００１５】上記鉄帯２の上記フレ−ム５内に位置する
部分は、上記露光用パタ−ン板３を介して光源としての
紫外線ランプ６からの紫外線Ｌによって照射される。そ
れによって、上記鉄帯２の両面には上記露光用パタ−ン
板３に形成されたパタ−ンが転写させることになる。
部分は、上記露光用パタ−ン板３を介して光源としての
紫外線ランプ６からの紫外線Ｌによって照射される。そ
れによって、上記鉄帯２の両面には上記露光用パタ−ン
板３に形成されたパタ−ンが転写させることになる。
【００１６】上記一対の露光用パタ−ン板３は高精度に
位置決めされる。つまり、一対の露光用パタ−ン板３に
は図４（ａ）、（ｂ）に示す認識マ−クＭ1 、Ｍ2 が形
成されていて、これら認識マ−クＭ1 、Ｍ2 を一対のＣ
ＣＤカメラ９で撮像して位置ずれが認識される。一対の
露光用パタ−ン板３に形成されたパタ−ン３ａが一致し
た場合には、上記ＣＣＤカメラ９から見る認識マ−クＭ
1 、Ｍ2 は図４（ｃ）に示すように重なることになる。
位置決めされる。つまり、一対の露光用パタ−ン板３に
は図４（ａ）、（ｂ）に示す認識マ−クＭ1 、Ｍ2 が形
成されていて、これら認識マ−クＭ1 、Ｍ2 を一対のＣ
ＣＤカメラ９で撮像して位置ずれが認識される。一対の
露光用パタ−ン板３に形成されたパタ−ン３ａが一致し
た場合には、上記ＣＣＤカメラ９から見る認識マ−クＭ
1 、Ｍ2 は図４（ｃ）に示すように重なることになる。
【００１７】上記ＣＣＤカメラ９からの出力は画像処理
装置１１に入力され、この画像処理装置１１からの出力
は、一対の露光用パタ−ン板３のうちの一方を上下左右
方向に駆動する図示しない補正駆動部に入力されるよう
になっている。したがって、上記画像処理装置１１がＣ
ＣＤカメラ９からの画像信号を処理すると、その処理結
果に基づいて上記補正駆動部が駆動され、一方の露光用
パタ−ン板３を他方の露光用パタ−ン板３に対して高精
度に位置決めするようになっている。
装置１１に入力され、この画像処理装置１１からの出力
は、一対の露光用パタ−ン板３のうちの一方を上下左右
方向に駆動する図示しない補正駆動部に入力されるよう
になっている。したがって、上記画像処理装置１１がＣ
ＣＤカメラ９からの画像信号を処理すると、その処理結
果に基づいて上記補正駆動部が駆動され、一方の露光用
パタ−ン板３を他方の露光用パタ−ン板３に対して高精
度に位置決めするようになっている。
【００１８】上記一対の露光用パタ−ン板３には図１に
示すように温度制御手段２１が設けられている。この温
度制御手段２１は上記露光用パタ−ン板３のパタ−ン３
ａが形成されていない部分である、一対のパタ−ン３ａ
の周辺部に沿って設けられた、ニクロム線などのヒ−タ
２２と、上記露光用パタ−ン板３の一対のパタ−ン３ａ
間の部分である幅方向中央部分に設けられ、その部分の
温度を検出する検出手段としての温度センサである、複
数のサ−モスタット２３とから構成されている。
示すように温度制御手段２１が設けられている。この温
度制御手段２１は上記露光用パタ−ン板３のパタ−ン３
ａが形成されていない部分である、一対のパタ−ン３ａ
の周辺部に沿って設けられた、ニクロム線などのヒ−タ
２２と、上記露光用パタ−ン板３の一対のパタ−ン３ａ
間の部分である幅方向中央部分に設けられ、その部分の
温度を検出する検出手段としての温度センサである、複
数のサ−モスタット２３とから構成されている。
【００１９】この実施形態では、３つのサ−モスタット
２３が幅方向と直交する前後方向に沿って所定間隔で設
けられている。それによって、露光用パタ−ン板３の前
後方向のサ−モスタット２３が設けられた三箇所の温度
がそれぞれ所定の温度に達したときに、上記ヒ−タ２２
への通電が遮断されるようになっている。
２３が幅方向と直交する前後方向に沿って所定間隔で設
けられている。それによって、露光用パタ−ン板３の前
後方向のサ−モスタット２３が設けられた三箇所の温度
がそれぞれ所定の温度に達したときに、上記ヒ−タ２２
への通電が遮断されるようになっている。
【００２０】上記ヒ−タ２２は上記サ−モスタット２３
を介して電源２４に接続されている。各サ−モスタット
２３は上記ヒ−タ２２への通電を制御して上記露光用パ
タ−ン板３の温度を制御するようになっている。
を介して電源２４に接続されている。各サ−モスタット
２３は上記ヒ−タ２２への通電を制御して上記露光用パ
タ−ン板３の温度を制御するようになっている。
【００２１】すなわち、上記露光用パタ−ン板３は、鉄
帯２を露光するために紫外線ランプ６からの紫外線Ｌに
よって照射される露光時には約６０℃〜７０℃に温度上
昇するものの、上記紫外線Ｌによって照射されない非露
光時には温度が低下し、その非露光時間が長ければ長い
程、温度低下が大きくなる。
帯２を露光するために紫外線ランプ６からの紫外線Ｌに
よって照射される露光時には約６０℃〜７０℃に温度上
昇するものの、上記紫外線Ｌによって照射されない非露
光時には温度が低下し、その非露光時間が長ければ長い
程、温度低下が大きくなる。
【００２２】上記露光用パタ−ン板３の温度変化が大き
いと、その膨張と収縮も大きくなり、それが繰り返され
ることで、上記補正駆動部による位置決め状態が損なわ
れることがある。
いと、その膨張と収縮も大きくなり、それが繰り返され
ることで、上記補正駆動部による位置決め状態が損なわ
れることがある。
【００２３】したがって、上記サ−モスタット２３は上
記露光用パタ−ン板３の温度変化が大きくならないよ
う、具体的には露光用パタ−ン板３の温度が６０℃〜７
０℃に維持されるよう上記ヒ−タ２２への通電を制御す
るようになっている。
記露光用パタ−ン板３の温度変化が大きくならないよ
う、具体的には露光用パタ−ン板３の温度が６０℃〜７
０℃に維持されるよう上記ヒ−タ２２への通電を制御す
るようになっている。
【００２４】上記構成の露光用パタ−ン板３が用いられ
たシャドウマスク用露光装置によれば、鉄帯２がアンワ
インダ−部１からフレ−ム５へ送り込まれると、紫外線
ランプ６が点灯されて紫外線Ｌが一対の位置決めされた
露光用パタ−ン板３を介して上記鉄帯２を照射する。
たシャドウマスク用露光装置によれば、鉄帯２がアンワ
インダ−部１からフレ−ム５へ送り込まれると、紫外線
ランプ６が点灯されて紫外線Ｌが一対の位置決めされた
露光用パタ−ン板３を介して上記鉄帯２を照射する。
【００２５】それによって、上記露光用パタ−ン板３に
形成されたパタ−ン３ａが上記鉄帯２に転写されるか
ら、この鉄帯２には上記パタ−ン３ａと同じ形状のエッ
チングがなされることになる。
形成されたパタ−ン３ａが上記鉄帯２に転写されるか
ら、この鉄帯２には上記パタ−ン３ａと同じ形状のエッ
チングがなされることになる。
【００２６】上記鉄帯２のフレ−ム５内の部分にエッチ
ングがなされると、上記紫外線ランプ６が消灯されると
ともに鉄帯２がワインダ−部８によって所定寸法巻き取
られ、新たな部分がフレ−ム５内に位置決めされる。鉄
帯２が位置決めされると、紫外線ランプ６が再度点灯さ
れて上述した露光によるエッチングが繰り返される。
ングがなされると、上記紫外線ランプ６が消灯されると
ともに鉄帯２がワインダ−部８によって所定寸法巻き取
られ、新たな部分がフレ−ム５内に位置決めされる。鉄
帯２が位置決めされると、紫外線ランプ６が再度点灯さ
れて上述した露光によるエッチングが繰り返される。
【００２７】このように、紫外線ランプ６を点灯した
り、消灯したりして鉄帯２へのエッチングを繰り返す
と、紫外線Ｌによる上記露光用パタ−ン板３への入熱が
一定しないため、この露光用パタ−ン３は膨張や収縮を
繰り返すことになる。
り、消灯したりして鉄帯２へのエッチングを繰り返す
と、紫外線Ｌによる上記露光用パタ−ン板３への入熱が
一定しないため、この露光用パタ−ン３は膨張や収縮を
繰り返すことになる。
【００２８】しかしながら、上記露光用パタ−ン板３に
は、この露光用パタ−ン板３の温度を検出するサ−モス
タット２３が設けられ、その検出温度に応じてヒ−タ２
２への通電を制御することで、上記露光用パタ−ン板３
の温度を一定に維持する。
は、この露光用パタ−ン板３の温度を検出するサ−モス
タット２３が設けられ、その検出温度に応じてヒ−タ２
２への通電を制御することで、上記露光用パタ−ン板３
の温度を一定に維持する。
【００２９】たとえば、紫外線ランプ６の消灯時間が長
くなり、露光用パタ−ン板３の温度が低下すると、上記
ヒ−タ２２に通電し、上記露光用パタ−ン板３を紫外線
Ｌによって照射されているときとほぼ同じ温度に維持す
ることになる。
くなり、露光用パタ−ン板３の温度が低下すると、上記
ヒ−タ２２に通電し、上記露光用パタ−ン板３を紫外線
Ｌによって照射されているときとほぼ同じ温度に維持す
ることになる。
【００３０】したがって、上記露光用パタ−ン板３は、
最初に位置決めされたあとでは、温度変化による収縮と
膨張を繰り返すことがなくなるから、位置決め状態にず
れが生じるようなこともなくなる。
最初に位置決めされたあとでは、温度変化による収縮と
膨張を繰り返すことがなくなるから、位置決め状態にず
れが生じるようなこともなくなる。
【００３１】一対の露光用パタ−ン板３の位置決め精度
にずれが生じることがなければ、鉄帯２へのエッチング
精度が低下するということがないばかりか、所定の時間
ごとに上記露光用パタ−ン板３の位置決めをし直すとい
うこともせずにすむから、生産性の向上を計ることもで
きる。
にずれが生じることがなければ、鉄帯２へのエッチング
精度が低下するということがないばかりか、所定の時間
ごとに上記露光用パタ−ン板３の位置決めをし直すとい
うこともせずにすむから、生産性の向上を計ることもで
きる。
【００３２】この発明は上記一実施形態に限定されず、
種々変形可能である。たとえば、上記一実施形態では露
光用パタ−ン板の温度を検出制御するためにサ−モスタ
ットを用いたが、それに代わり、サ−ミスタを用い、こ
のサ−ミスタの温度変化に応じた抵抗値の変化を利用し
てヒ−タへ流れる電流を制御するようにしてもよく、要
は露光用パタ−ン板の温度を検出し、その検出に基づい
て上記露光用パタ−ン板の温度を所定値に維持できれば
よい。
種々変形可能である。たとえば、上記一実施形態では露
光用パタ−ン板の温度を検出制御するためにサ−モスタ
ットを用いたが、それに代わり、サ−ミスタを用い、こ
のサ−ミスタの温度変化に応じた抵抗値の変化を利用し
てヒ−タへ流れる電流を制御するようにしてもよく、要
は露光用パタ−ン板の温度を検出し、その検出に基づい
て上記露光用パタ−ン板の温度を所定値に維持できれば
よい。
【００３３】また、検出手段としてサ−モスタットある
いはサ−ミスタを用いる場合、これらを露光用パタ−ン
板に複数個設けてもよいが、１つであってもなんら差支
えない。
いはサ−ミスタを用いる場合、これらを露光用パタ−ン
板に複数個設けてもよいが、１つであってもなんら差支
えない。
【００３４】
【発明の効果】以上述べたように請求項１の発明によれ
ば、露光用パタ−ン板に、露光時と非露光時との温度変
化を調整するための温度制御手段を設けるようにしたか
ら、上記露光用パタ−ン板は露光時と非露光時とで紫外
線の照射度合が異なっても、上記温度制御手段によって
ほぼ一定温度に維持される。
ば、露光用パタ−ン板に、露光時と非露光時との温度変
化を調整するための温度制御手段を設けるようにしたか
ら、上記露光用パタ−ン板は露光時と非露光時とで紫外
線の照射度合が異なっても、上記温度制御手段によって
ほぼ一定温度に維持される。
【００３５】そのため、露光用パタ−ン板は、膨張と収
縮を繰り返して高精度に位置決めされた状態からずれ動
くということがほとんどないから、その位置決め精度が
低下するのが防止される。
縮を繰り返して高精度に位置決めされた状態からずれ動
くということがほとんどないから、その位置決め精度が
低下するのが防止される。
【００３６】請求項２の発明によれば、温度制御手段
を、露光用パタ−ン板に設けられたヒ−タと、このヒ−
タへの通電を制御する検出手段とから構成したことで、
上記露光用パタ−ン板を所定温度に維持し、膨張や収縮
の発生をなくすことができる。
を、露光用パタ−ン板に設けられたヒ−タと、このヒ−
タへの通電を制御する検出手段とから構成したことで、
上記露光用パタ−ン板を所定温度に維持し、膨張や収縮
の発生をなくすことができる。
【００３７】請求項３の発明によれば、検出手段にサ−
モスタットまたはサ−ミスタを用いたことで、露光用パ
タ−ン板の温度変化の検出と、その温度変化に応じたヒ
−タへの通電制御とを同時に行うことができる。
モスタットまたはサ−ミスタを用いたことで、露光用パ
タ−ン板の温度変化の検出と、その温度変化に応じたヒ
−タへの通電制御とを同時に行うことができる。
【図１】この発明の一実施形態の露光用パタ−ン板の平
面図。
面図。
【図２】同じくシャドウマスク用露光装置の構成図。
【図３】同じくエッチング処理を示す説明図。
【図４】同じく露光用パタ−ン板に設けられた認識マ−
クの説明図。
クの説明図。
２…鉄帯（非処理体）、 ３…露光用パタ−ン板、 ３ａ…パタ−ン、 ２１…温度制御手段、 ２２…ヒ−タ、 ２３…サ−モスタット。
Claims (3)
- 【請求項１】 被処理体に所定のパタ−ンを転写する際
に、この被処理体の両面に対向して配置される上記所定
のパタ−ンが形成された露光用パタ−ン板において、 上記露光用パタ−ン板には、露光時と非露光時との温度
変化を調整するための温度制御手段が設けられているこ
とを特徴とする露光用パタ−ン板。 - 【請求項２】 上記温度制御手段は、上記露光用パタ−
ン板のパタ−ンが形成されていない部分に設けられたヒ
−タと、 上記露光用パタ−ン板の温度を検出して上記ヒ−タへの
通電を制御する検出手段とを具備したことを特徴とする
請求項１記載の露光用パタ−ン板。 - 【請求項３】 上記検出手段は、サ−モスタットまたは
サ−ミスタであることを特徴とする請求項２記載の露光
用パタ−ン板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6796496A JPH09258455A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 露光用パタ−ン板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6796496A JPH09258455A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 露光用パタ−ン板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09258455A true JPH09258455A (ja) | 1997-10-03 |
Family
ID=13360170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6796496A Pending JPH09258455A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 露光用パタ−ン板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09258455A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100572949B1 (ko) * | 2003-06-30 | 2006-04-28 | 가부시끼가이샤 도시바 | 가열 처리 장치의 온도 교정 방법, 현상 처리 장치의 조정방법, 및 반도체 장치의 제조 방법 |
-
1996
- 1996-03-25 JP JP6796496A patent/JPH09258455A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100572949B1 (ko) * | 2003-06-30 | 2006-04-28 | 가부시끼가이샤 도시바 | 가열 처리 장치의 온도 교정 방법, 현상 처리 장치의 조정방법, 및 반도체 장치의 제조 방법 |
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