JPH09258157A - 液晶表示パネルの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 人手による目視検査とテレビカメラを用いる
自動検査とを選択的に行うことができるようにすること
にある。 【解決手段】 液晶表示パネルの検査装置は、液晶表示
パネルを配置する測定ステージと、該測定ステージに配
置された液晶表示パネルを撮像するテレビカメラと、液
晶表示パネルからの光を前記テレビカメラに向ける光路
変更手段と、光路変更手段を支持する支持手段とを含
む。支持手段は、光路変更手段を、該光路変更手段が液
晶表示パネルからの光をテレビカメラに向ける第１の位
置と、光路変更手段が液晶表示パネルと第１の位置との
間の光路の外となる第２の位置とに選択的に変位可能に
支持する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
検査装置に関し、特に自動検査と目視検査とに選択的に
使用することができる検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネルの欠陥は、点欠陥、線欠
陥、班欠陥、色度欠陥等、多種多様に存在することが知
られている。これらの欠陥は、液晶表示パネルを駆動さ
せてその液晶表示パネルからの光を利用して検査され
る。

【０００３】このような液晶表示パネルの検査装置に
は、測定ステージ上の駆動されている液晶表示パネルを
作業者が目視することにより検査する目視検査装置と、
測定ステージ上の駆動されている液晶表示パネルをテレ
ビカメラで撮影すなわち撮像し、そのテレビカメラの出
力信号をコンピュータで処理することにより検査する自
動検査装置とがある。

【０００４】人手による目視検査によれば、テレビカメ
ラを用いる自動検査に比べ高感度で検査することはでき
るが、検査基準があいまいであり、また検査能率が低
い。これに対し、テレビカメラを用いる自動検査は、検
査能率は高いが、点欠陥、斑欠陥等、一部の欠陥につい
てそれが実際に欠陥であるか否かについての判定が困難
な場合が多い。

【０００５】それゆえに、テレビカメラを用いる自動検
査において欠陥であるか否かの判定が困難な場合に、人
手による目視検査をすることが好ましい。しかし、従来
の自動検査装置では、テレビカメラおよびその支持手段
等、自動検査のための機器が測定ステージ上の液晶表示
パネルの目視を妨げ、したがって装置の構造上から目視
検査が困難である。

【０００６】

【解決しようとする課題】本発明の目的は、人手による
目視検査とテレビカメラを用いる自動検査とを選択的に
行うことができるようにすることにある。

【０００７】

【解決手段、作用、効果】本発明の液晶表示パネルの検
査装置は、液晶表示パネルを配置する測定ステージと、
該測定ステージに配置された液晶表示パネルを撮像する
テレビカメラと、前記液晶表示パネルからの光を前記テ
レビカメラに向ける光路変更手段と、前記光路変更手段
を支持する支持手段とを含む。前記支持手段は、前記光
路変更手段を、該光路変更手段が前記液晶表示パネルか
らの光を前記テレビカメラに向ける第１の位置と、前記
光路変更手段が前記液晶表示パネルと前記第１の位置と
の間の光路の外となる第２の位置とに選択的に変位可能
に支持する。

【０００８】自動検査をするとき、光路変更手段は第１
の位置に配置されて液晶表示パネルからの光をテレビカ
メラに向ける。これにより、測定ステージに配置された
液晶表示パネルをテレビカメラにより光路変更手段を介
して撮影すなわち撮像することができる。これに対し、
目視検査をするとき、光路変更手段は第２の位置へ移さ
れる。これにより、測定ステージに配置された液晶表示
パネルを目視することができる。

【０００９】本発明によれば、測定ステージに配置され
た液晶表示パネルからの光をテレビカメラに向ける第１
の位置と、その液晶表示パネルと第１の位置との間の光
路の外の第２の位置とに選択的に移すことができる光路
変更手段を備えたから、自動検査のための機器に影響さ
れることなく液晶表示パネルを目視することができ、し
たがって人手による目視検査とテレビカメラを用いる自
動検査とを選択的に行うことができる。

【００１０】前記測定ステージは前記液晶表示パネルを
傾斜させた状態に受ける受け部を有し、前記光路変更手
段は前記受け部から該受け部上の液晶表示パネルに対し
垂直の方向へ離れた箇所に配置されていることが好まし
い。これにより、受け部上の液晶表示パネルをその液晶
表示パネルに対し垂直の方向から目視することができる
から、測定ステージに配置された液晶表示パネルを容易
にかつ正しく目視することができる。

【００１１】好ましい実施例においては、前記支持手段
は前記テレビカメラによる撮像範囲を覆うカバーを含
み、前記光路変更手段は前記カバーの内側に配置されて
おり、前記カバーは前記光路変更手段を第１の位置と前
記第２の位置とに選択的に移すべく変位可能である。こ
の場合、前記カバーを、検査装置の筐体にヒンジにより
結合してもよいし、検査装置の筐体に移動可能に結合さ
せてもよく、さらにはカバーは検査装置の筐体に取り外
し可能に結合してもよい。

【００１２】好ましい他の実施例においては、前記支持
手段は前記テレビカメラによる撮像範囲を覆うカバーで
あって前記測定ステージを目視する開口を有するカバー
と、前記開口を開閉する蓋とを含み、前記光路変更手段
は前記蓋の内側に配置されており、前記蓋は前記光路変
更手段を前記第１の位置と前記第２の位置とに選択的に
移すべく変位可能である。この場合、前記蓋を、カバー
にヒンジにより結合してもよいし、検査装置のカバーに
移動可能に結合してもよく、さらには検査装置のカバー
に取り外し可能に結合してもよい。

【００１３】

【発明の実施の形態】図１〜図４を参照するに、検査装
置１０は、液晶表示パネル１２を検査する本体部１４
と、液晶表示パネル１２を本体部１４に配置しかつ本体
部１４から取り除くローダ部１６と、本体部１４に配置
された液晶表示パネル１２を自動的に検査するテスター
部１８とを含む。ローダ部１６は本体部１４の後側に配
置されており、テスター部１８は本体部１４の左側に配
置されている。

【００１４】本体部１４は、アングル材のような複数の
鋼材と、該鋼材に複数のねじ部材により取り付けられて
内部空間を外部空間から区画する複数のパネルとにより
形成されたフレームすなわち筐体２０を備える。本体部
１４内には、測定ステージ２２と検査用のプローブユニ
ット２４とが配置されている。筐体２０の前側上部は傾
斜した傾斜部２６とされており、傾斜部２６は測定ステ
ージ２２およびプローブユニット２４の配置位置に対応
する箇所に開口２８を有する。

【００１５】測定ステージ２２は、液晶表示パネル１２
を水平線および鉛直線に対し斜めに支持するように、斜
め上向きの受け部２２ａを有する。受け部２２ａは、筐
体２０の傾斜部２６と平行である。したがって、液晶表
示パネル１２は前方および上方に向く状態に支持され
る。受け部２２ａの位置は、三次元的に調整可能であ
る。受け部２２ａの位置の調整の方向は、傾斜部２６と
平行の面内の互いに直交する２つの軸線の方向と、測定
ステージ２２の上面に対し直交する軸線の方向とであ
る。受け部２２ａは、また、受け部２２ａ上の液晶表示
パネル１２と垂直の軸線の周りの回転角度を調整可能で
ある。

【００１６】プローブユニット２４は、測定ステージ２
２の受け部２２ａに対し開口２８の側に配置されてお
り、また液晶表示パネル１２の端子に当接される検査用
の複数のプローブを備えており、さらに測定ステージ２
２上の液晶表示パネル１２を開口側から目視するための
矩形の開口を有する。

【００１７】開口２８は、測定ステージ２２およびプロ
ーブユニット２４より大きい面積を有しており、また筐
体２０の一部であるベースプレート３０に形成されてい
る。開口２８は、筐体２０内を外部から遮光する箱状の
シールドカバー３２により開閉可能に閉鎖されている。
カバー３２は、図示の例では、上部において１以上のヒ
ンジ３４により筐体２０に枢軸運動可能に組み付けられ
ている。しかし、カバー３２を図１において、左端部、
右端部、下部、斜め上部、斜め下部等、他の部位におい
て筐体２０に蝶着してもよい。

【００１８】カバー３２は、光路変更手段３６を支持し
ている。光路変更手段３６は、測定ステージ２２上の液
晶表示パネル１２からの光３８をテスター部１８の上部
に向けてほぼ水平に指向させるように、カバー３２の内
側に変位不能に組み付けられている。光路変更手段３６
は、光３８の光路を９０度変更する。図示の例では、光
路変更手段３６は、測定ステージ２２上の液晶表示パネ
ル１２に垂直の軸線に対し４５度傾斜する反射鏡である
が、プリズムのような他の手段であってもよい。

【００１９】テスター部１８の上部には、カメラステー
ジ４０が配置されている。カメラステージ４０は、テレ
ビカメラ４２をその光軸がほぼ水平となる姿勢に支持す
る取付部４０ａを有する。カメラステージ４０の取付部
４０ａの位置は、前後、左右および上下の３方向へ、す
なわち三次元的に調整可能である。テレビカメラ４２
は、その光軸が光路変更手段３６による反射光の軸線と
一致するように、光路変更手段３６から測定ステージ２
２上の液晶表示パネルと平行の水平方向へ離れた箇所に
横向きに支持されている。取付部４０ａは、また、テレ
ビカメラ４２の光軸の周りの回転角度を調整可能であ
る。

【００２０】図示してはいないが、ローダ部１６には液
晶表示パネルの装填機構が配置されており、傾斜部２６
の内側には装填機構および測定ステージ２２に対して液
晶表示パネルの受け渡しをする受渡し機構が配置されて
いる。液晶表示パネル１２は、検査に先だって、装填機
構から受渡し機構に移され、受渡し機構により測定ステ
ージ２２に配置される。また、検査を終了した液晶表示
パネル１２は、受渡し機構により測定ステージ２２から
取り除かれ、受渡し機構から装填機構に移される。

【００２１】自動検査時、筐体２０の開口２８は、図１
および図２に実線で示しかつ図４に２点鎖線で示すよう
に、カバー３２により閉鎖されている。このため、光路
変更手段３６は、図１および図２に破線で示しかつ図４
に実線で示すように、測定ステージ２２に配置された液
晶表示パネル１２からの光３８をテレビカメラ４２に向
けて指向させる第１の位置に移動されており、またその
液晶表示パネル１２の像をテレビカメラ４２に反射させ
ている。

【００２２】上記の状態で、液晶表示パネル１２が駆動
され、テレビカメラ４２が光路変更手段３６を介して液
晶表示パネル１２を撮像する。テレビカメラ４２の出力
信号は、図示しない処理回路において液晶表示パネル１
２の良否の判定に用いられる。自動検査時、開口２８が
カバー３２により閉鎖されているから、外部の光が筐体
２０内へ入ることがなく、したがって液晶表示パネル１
２をテレビカメラ４２により正しく撮像することができ
る。

【００２３】目視検査時、カバー３２が図２において２
点鎖線で示しかつ図３に実線で示すようにヒンジ３４の
枢軸線の周りに回転されて、筐体２０の開口２８が開放
される。これにより、光路変更手段３６が液晶表示パネ
ル１２から光路変更手段３６への入射光路から外れた第
２の位置へ移動されるから、測定ステージ２２上の液晶
表示パネル１２を開口２８から肉眼で目視し、検査する
ことができる。カバー３２は、液晶表示パネル１２を目
視することを妨げない位置に図示しない適宜なストッパ
により解除可能に維持される。

【００２４】人手による目視検査は、テレビカメラを用
いる自動検査において欠陥であるか否かの判定が困難な
場合に行ってもよいし、それ以外の場合、たとえば検査
すべき液晶表示パネルが少ない場合に行ってもよい。後
者の場合、液晶表示パネル１２を人手により、測定ステ
ージ２２に配置し、測定ステージ２２から取り除いても
よい。また、目視検査により不良と判断された液晶表示
パネルを、ローダ部１６の装填機構を利用することな
く、人手により測定ステージ２２または受渡し機構から
取り除いてもよい。

【００２５】検査装置１０によれば、開口２８が筐体２
０の前面上方に形成されており、また液晶表示パネル１
２が水平線および鉛直線に対し傾斜した姿勢にすなわち
開口２８と対向する姿勢に支持されるから、液晶表示パ
ネル１２を検査装置１０の正面において斜め上方から目
視することができ、したがって液晶表示パネル１２を容
易にかつ正しく目視することができる。

【００２６】図５〜図７を参照するに、検査装置５０
は、筐体２０の傾斜部２６に平行に伸びる一対のレール
５２を設け、カバー３２をレール５２に移動可能に支持
させている。図示の例では、レール５２は、開口２８を
カバー３２により開閉することができるように、傾斜部
２６を上下方向に間隔をおいて左右方向へ伸びる。しか
し、レール５２は、開口２８をカバー３２により開閉す
ることができる限り、上下方向、斜め上下方向等、他の
方向へ伸びていてもよい。

【００２７】自動検査時、カバー３２は、図５に示すよ
うに、筐体２０の開口２８を閉鎖する位置に移動され
る。このため、光路変更手段３６は、測定ステージに配
置された液晶表示パネル１２からの光をテレビカメラ４
２に向けて指向させる第１の位置に移動されており、ま
たその液晶表示パネル１２の像をテレビカメラ４２に反
射させている。

【００２８】目視検査時、カバー３２は、図７に示すよ
うに、筐体２０の開口２８を開放する位置に移動され
る。これにより、光路変更手段３６が液晶表示パネル１
２から光路変更手段３６への入射光路から外れた第２の
位置へ移動されるから、測定ス光ージ２２上の液晶表示
パネル１２を開口２８から肉眼で目視し、検査すること
ができる。

【００２９】図８〜図１１を参照するに、検査装置６０
は、矩形の小さい窓穴すなわち開口６２をカバー３２に
形成し、開口６２を開放可能に閉鎖する矩形の蓋６４を
ヒンジ６６によりカバー３２に取り付け、光路変更手段
３６を蓋６４の内側に変位不能に取り付け、カバー３２
を筐体２０の開口を閉鎖するように取り外し可能に筐体
２０に取り付けている。

【００３０】カバー３２の開口６２は測定ステージ２２
上の液晶表示パネル１２を目視可能の位置に形成されて
おり、光路変更手段３６は、開口６２が蓋６４により閉
鎖しているとき、測定ステージ２２上の液晶表示パネル
１２の像をテレビカメラ４２に反射するように蓋６４に
取り付けられている。図示の例では、蓋６４は、右端部
においてカバー３２に蝶着されている。しかし、蓋６４
を他の部位においてカバー３２に蝶着してもよい。カバ
ー３２は、ヒンジ６６と共同して開口６２を閉鎖した状
態に解除可能に維持する止め具６８を有する。

【００３１】自動検査時、蓋６４は、図８および図９に
示すように、カバー３２の開口６２を閉鎖する位置に配
置される。このため、光路変更手段３６は、測定ステー
ジに配置された液晶表示パネル１２からの光をテレビカ
メラ４２に向けて指向させる第１の位置に移動されてお
り、またその液晶表示パネル１２の像をテレビカメラ４
２に反射させている。

【００３２】目視検査時、カバー３２は、図１０および
図１１に示すように、蓋６４の開口６２を開放する位置
に変位される。これにより、光路変更手段３６が液晶表
示パネル１２から光路変更手段３６への入射光路から外
れた第２の位置へ移動されるから、測定ステージ上の液
晶表示パネル１２を開口６２から肉眼で目視し、検査す
ることができる。

【００３３】上記の実施例のように、カバー３２または
蓋６４を筐体２０またはカバー３２に取り外し不能に組
み付ける代わりに、カバー３２または蓋６４を筐体２０
またはカバー３２に取り外し可能に組み付けてもよい。

【００３４】図１２〜図１４に示す検査装置７０は、蓋
６４に一対の把手７２を設け、蓋６４をカバー３２に取
り外し可能に組み付けている。このため、光路変更手段
３６は、図１２および図１３に示すようにカバー３２の
開口６２を閉鎖するように蓋６４をカバー３２に組み付
けることにより第１の位置に移動され、図１４に示すよ
うに開口６２を開放するように蓋６４をカバー３２から
外すことにより第２の位置に移動される。

【００３５】光路変更手段３６は、蓋６４がカバー３２
に組み付けられているとき、測定ステージに配置された
液晶表示パネル１２の像をテレビカメラ４２に反射して
いるが、蓋６４がカバー３２から外されていると、カバ
ー３２とともに移動される。カバー３２から外した蓋６
４は、筐体２０の横に置くことができる。

【００３６】本発明は、上記実施例に限定されない。た
とえば、光路変更手段３６をカバー３２または蓋６４に
取り付ける代わりに、光路変更手段３６を第１および第
２の位置に選択的に変位させる他の支持手段を筐体２０
に設けてもよい。また、光路変更手段３６による光路の
変更角度は９０度以外の角度であってもよいし、光路変
更手段３６による光の反射方向は水平方向以外の方向で
あってもよい。さらに、液晶表示パネル１２を傾斜した
状態に受けるように受け部２２ａを形成する代わりに、
液晶表示パネル１２を水平の状態に受けるように受け部
２２ａを形成してもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る検査装置の第１の実施例を示す正
面図である。

【図２】図１の検査装置の右側面図である。

【図３】図１の検査装置の開口を開放する位置にカバー
を変位させた状態を示す正面図である。

【図４】図１の検査装置を図２における矢印４方向から
見た図である。

【図５】本発明に係る検査装置の第２の実施例を示す正
面図である。

【図６】図５の検査装置の右側面図である。

【図７】図５の検査装置の開口を開放する位置にカバー
を変位させた状態を示す正面図である。

【図８】本発明に係る検査装置の第３の実施例を示す正
面図である。

【図９】図８の検査装置の右側面図である。

【図１０】図９の検査装置の開口を開放する位置に蓋を
変位させた状態を示す正面図である。

【図１１】図９の検査装置の開口を開放する位置に蓋を
変位させた状態を示す右側面図である。

【図１２】本発明に係る検査装置の第４の実施例を示す
正面図である。

【図１３】図１２の検査装置の右側面図である。

【図１４】図１２の検査装置の蓋をカバーから外した状
態を示す正面図である。

【符号の説明】

１０，５０，６０，７０， 検査装置 １２ 液晶表示パネル １４ 本体部 １６ ローダ部 １８ テスター部 ２０ 筐体 ２２ 測定ステージ ２４ 検査用のプローブユニット ２８ 筐体の開口 ３２ シールドカバー ３４ ヒンジ ３６ 光路変更手段 ３８ 液晶表示パネルからの光 ４０ カメラステージ ４２ テレビカメラ ５２ レール ６２ カバーの開口 ６４ 蓋 ６６ ヒンジ ７２ 把手

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液晶表示パネルを配置する測定ステージ
   と、該測定ステージに配置された液晶表示パネルを撮像
   するテレビカメラと、前記液晶表示パネルからの光を前
   記テレビカメラに向ける光路変更手段と、前記光路変更
   手段を支持する支持手段とを含み、前記支持手段は、前
   記光路変更手段を、該光路変更手段が前記液晶表示パネ
   ルからの光を前記テレビカメラに向ける第１の位置と、
   前記光路変更手段が前記液晶表示パネルと前記第１の位
   置との間の光路の外となる第２の位置とに選択的に変位
   可能に支持する、液晶表示パネルの検査装置。
2. 【請求項２】 前記測定ステージは前記液晶表示パネル
   を傾斜させた状態に受ける受け部を有し、前記第１の位
   置は前記受け部から該受け部上の液晶表示パネルに対し
   垂直の方向へ離れた箇所である、請求項１に記載の検査
   装置。
3. 【請求項３】 前記支持手段は、前記テレビカメラによ
   る撮像範囲を覆うカバーを含み、前記光路変更手段は前
   記カバーの内側に配置されており、前記カバーは前記光
   路変更手段を第１の位置と前記第２の位置とに選択的に
   移すべく変位可能である、請求項１または２に記載の検
   査装置。
4. 【請求項４】 前記支持手段は、前記テレビカメラによ
   る撮像範囲を覆うカバーであって前記測定ステージを目
   視する開口を有するカバーと、前記開口を開閉する蓋と
   を含み、前記光路変更手段は前記蓋の内側に配置されて
   おり、前記蓋は前記光路変更手段を前記第１の位置と前
   記第２の位置とに選択的に移すべく変位可能である、請
   求項１または２に記載の検査装置。