JPH10111214A - 液晶表示パネルの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 テレビカメラの作動距離を廉価な手段により
大きく変更することにある。 【解決手段】 液晶表示パネルの検査装置は、検査すべ
き液晶表示パネルを配置する測定ステージと、該測定ス
テージに配置された液晶表示パネルを撮像するテレビカ
メラと、該テレビカメラを支持する支持手段とを含む。
支持手段は、テレビカメラの光軸の方向へ伸びる第１の
軸線の方向におけるテレビカメラの位置を粗調整する第
１のステージと、第１の軸線の方向におけるテレビカメ
ラの位置を少なくとも微調整する第２のステージとを備
える。これにより、テレビカメラの作動距離を廉価な手
段により大きく変更することができ、大きさが大きく異
なる各種の液晶表示パネルの検査に共通に用いることが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルの検査
装置に関し、特に種類が異なる複数種類の液晶パネルの
検査に共通に用いることができる検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネルの欠陥は、点欠陥、線欠
陥、班欠陥、色度欠陥等、多種多様に存在することが知
られている。これらの欠陥は、液晶表示パネルを駆動さ
せてその液晶表示パネルからの光を利用して検査され
る。

【０００３】この種の検査は、一般に、測定ステージ上
の駆動されている液晶表示パネルを作業者が目視する目
視検査、または、測定ステージ上の駆動されている液晶
表示パネルをテレビカメラで撮影すなわち撮像し、その
テレビカメラの出力信号をコンピュータで処理する自動
検査により行われる。目視検査および自動検査のいずれ
の場合も、大きさが異なる複数種類の液晶表示パネルを
同じ装置で検査し得ることが望ましい。この場合、検査
ステージ特にチャックおよび検査のためのプローブユニ
ットが検査すべき液晶表示パネルの種類に応じて交換さ
れる。

【０００４】テレビカメラを用いる自動検査において
は、種類特に大きさが異なる液晶表示パネルに変更する
と、テレビカメラの作動距離（たとえば、視野の大き
さ）を変更しなければならい。このため、従来の自動検
査装置では、光軸方向におけるテレビカメラの位置を微
調整する微調整ステージにより、テレビカメラの作動距
離を変更している。

【０００５】しかし、テレビカメラの作動距離は、液晶
表示パネルの寸法が１インチ変化すると、ほぼ１００ｍ
ｍ変化する。このため、作動距離を微調整ステージによ
り変更する従来の自動検査装置では、微調整ステージに
よる調整可能距離が大きくなりすぎ、その結果テレビカ
メラの移動位置および移動に時間がかかり、また装置が
高価になる。

【０００６】

【解決しようとする課題】本発明の目的は、テレビカメ
ラの作動距離を廉価な手段により大きく変更することに
ある。

【０００７】

【解決手段、作用、効果】本発明の検査装置は、検査す
べき液晶表示パネルを配置する測定ステージと、該測定
ステージに配置された液晶表示パネルを撮像するテレビ
カメラと、該テレビカメラを支持する支持手段とを含
む。支持手段は、テレビカメラの光軸の方向へ伸びる第
１の軸線の方向におけるテレビカメラの位置を粗調整す
る第１のステージと、第１の軸線の方向におけるテレビ
カメラの位置を少なくとも微調整する第２のステージと
を備える。

【０００８】好ましい実施例においては、粗調整用の第
１のステージが微調整用の第２のステージに支持されて
いる。しかし、好ましい他の実施例においては、微調整
用の第２のステージが粗調整用の第１のステージに支持
されている。いずれの場合も、第１の軸線方向における
テレビカメラの位置を、第１のステージにより大きく変
更することができ、第２のステージにより微細に調整す
ることができる。

【０００９】本発明によれば、第２ステージによる調整
可能距離を大きくすることなく、第１の軸線方向におけ
るテレビカメラの位置を、大きく変更することができる
し、微細に調整することができるから、テレビカメラの
作動距離を廉価な手段により大きく変更することがで
き、したがって大きさが大きく異なる各種の液晶表示パ
ネルの検査に共通に用いることができる。

【００１０】好ましい実施例においては、第２のステー
ジは、さらに、第１の軸線と交差する仮想的な面内にお
いて互いに交差する第２および第３の軸線に関するテレ
ビカメラの位置を微調整する。第２および第３の軸線に
関するテレビカメラの位置の微調整は、第２および第３
の軸線方向におけるテレビカメラの位置を微調整するこ
とにより行うようにしてもよいし、第２および第３の軸
線の周りのテレビカメラの角度的回転位置を微調整する
ことにより行うようにしてもよい。

【００１１】さらに、液晶表示パネルからの光をテレビ
カメラに向ける光路変更手段と、該光路変更手段を支持
する第２の支持手段とを含むことができる。これによ
り、測定ステージの軸線方向における検査装置の寸法を
小さくすることができる。

【００１２】第２の支持手段は、光路変更手段が液晶表
示パネルからの光をテレビカメラに向ける第１の位置
と、光路変更手段が前記液晶表示パネルと第１の位置と
の間の光路の外となる第２の位置とに選択的に変位可能
に、光路変更手段を支持する。これにより、光路変更手
段が第１の位置に配置されていると、液晶表示パネルか
らの光はテレビカメラに向けられ、光路変更手段が第２
の位置へ移されると、測定ステージに配置された液晶表
示パネルを目視することができる。その結果、自動検査
装置であるにもかかわらず、自動検査のための機器に影
響されることなく液晶表示パネルを目視することがで
き、したがって人手による目視検査とテレビカメラを用
いる自動検査とを選択的に行うことができる。

【００１３】さらに、液晶表示パネルをテレビカメラと
異なる角度で撮像する斜角カメラを含み、テレビカメラ
の支持手段は、さらに、斜角カメラの光軸方向へ伸びる
第４の軸線の方向における斜角カメラの位置を少なくと
も微調整する第３のステージを備えることができる。こ
れにより、液晶表示パネルをテレビカメラと異なる角度
から検査をすることができる。

【００１４】好ましい他の実施例においては、第３のス
テージは、さらに、第４の軸線と交差する仮想的な面内
において互いに交差する第５および第６の軸線に関する
斜角カメラの位置を微調整する。第５および第６の軸線
に関する斜角カメラの位置の微調整は、第５および第６
の軸線方向における斜角カメラの位置を微調整すること
により行うようにしてもよいし、第５および第６の軸線
の周りの斜角カメラの角度的回転位置を微調整すること
により行うようにしてもよい。

【００１５】液晶表示パネルからの光をテレビカメラに
向ける光路変更手段を介して液晶表示パネルを斜角カメ
ラにより撮像することができる。これにより、テレビカ
メラを測定ステージの上方に設ける必要がなく、したが
って従来の装置に比べ、測定ステージの軸線方向におけ
る検査装置の寸法を小さくすることができる。

【００１６】好ましい実施例において、測定ステージは
液晶表示パネルを傾斜させた状態に受ける受け部を有
し、光路変更手段は受け部から該受け部上の液晶表示パ
ネルに対し垂直の方向へ離れた箇所に配置されている。
これにより、受け部上の液晶表示パネルをその液晶表示
パネルに対し垂直の方向から目視することができるか
ら、測定ステージに配置された液晶表示パネルを容易に
かつ正しく目視することができる。

【００１７】好ましい実施例においては、第２の支持手
段はテレビカメラによる撮像範囲を覆うカバーを含み、
光路変更手段はカバーの内側に配置されており、カバー
は前記光路変更手段を第１の位置と第２の位置とに選択
的に移すべく変位可能である。この場合、カバーを、検
査装置の筐体にヒンジにより結合してもよいし、検査装
置の筐体に移動可能に結合させてもよく、さらにはカバ
ーは検査装置の筐体に取り外し可能に結合してもよい。

【００１８】好ましい実施例においては、測定ステージ
は、液晶表示パネルを水平の状態または傾斜した状態に
受ける受け部を有する。また、光路変更手段は、液晶表
示パネルからの光の光路を水平方向へ変更するように、
本体部に配置される。

【００１９】

【発明の実施の形態】図１〜図３を参照するに、検査装
置１０は、液晶表示パネル１２を検査する本体部１４
と、液晶表示パネル１２を本体部１４に配置しかつ本体
部１４から取り除くローダ部１６と、本体部１４に配置
された液晶表示パネル１２を自動的に検査するテスタ部
１８とを含む。図示の例では、ローダ部１６は本体部１
４の右側に配置されており、テスタ部１８は本体部１４
の左側に配置されている。しかし、本体部１４、ローダ
部１６およびテスタ部１８の位置関係は、適宜決定する
ことができる。

【００２０】本体部１４は、アングル材のような複数の
鋼材と、該鋼材に複数のねじ部材により取り付けられて
内部空間を外部空間から区画する複数のパネルとにより
形成されたフレームすなわち筐体２０を備える。本体部
１４内には、測定ステージ２２と、検査用のプローブユ
ニット２４と、液晶表示パネル１２からの光２６の光路
を変更する光路変更手段２８とが配置されている。

【００２１】筐体２０の前面上部には、図示しない開口
が形成されており、この開口を介して測定ステージ２２
および液晶表示パネル１２を目視することができる。前
記開口は筐体２０に蝶着された一対の扉（図示せず）に
より両開き式に開放可能に閉鎖されている。

【００２２】測定ステージ２２は、液晶表示パネル１２
をほぼ水平の状態に支持する上向きの受け部３０を有す
る。受け部３０の位置は、三次元的に（図示の例では、
前後、左右および上下の３方向へ）調整可能である。受
け部３０は、また、受け部３０上の液晶表示パネル１２
と垂直の軸線（測定ステージの軸線であり、図示の例で
は、上下方向へ伸びる軸線）の周りの回転角度を調整可
能である。

【００２３】プローブユニット２４は、測定ステージ２
２の受け部３０の上側に配置されており、また液晶表示
パネル１２の端子に当接される検査用の複数のプローブ
を備えており、さらに測定ステージ２２上の液晶表示パ
ネル１２を開口側から目視するための矩形の開口を有す
る。

【００２４】図３に示すように、光路変更手段２８は、
測定ステージ２２上の液晶表示パネル１２からの光２６
をテスタ部１８の上部に向けてほぼ水平に指向させるよ
うに、取付金具のような適宜な手段により筐体２０の内
側に変位不能に組み付けられている。光路変更手段２８
は、光２６の光路を９０度変更する。

【００２５】図示の例では、測定ステージ２２上の液晶
表示パネル１２に垂直の軸線に対する光路変更手段２８
の傾斜角度は、４５度であるが、他の角度であってもよ
く、したがって光路変更手段２８に対する光２６の入射
角および反射角は４５度以外の角度であってもよい。ま
た光路変更手段２８は、図示の例では反射鏡であるが、
プリズムのような他の手段であってもよい。

【００２６】ローダ部１６は、カセット設置台３２と、
架台３４と、該架台に左右方向へ移動可能に受けられた
ロボット３６とを備える。カセット設置台３２は、複数
の液晶表示パネルを収容した複数のカセット３８を上面
に受ける。ロボット３６は、検査のたびに、検査すべき
液晶表示パネルをカセット設置台３２上の適宜なカセッ
ト３８から取り出して測定ステージ２２に搬送し、検査
の終了した液晶表示パネルを測定ステージ２２から受け
取ってカセット設置台３２上の所定のカセット３８に移
すまたは戻す。

【００２７】テスタ部１８は、本体部１４と同様に、複
数の鋼材と、該鋼材に取り付けられて内部空間を外部空
間から区画する複数のパネルとにより形成されたフレー
ムすなわち筐体により形成されている。テスタ部１８内
の上部には、テレビカメラ４０と、カメラステージ４２
とが配置されている。

【００２８】カメラステージ４２は、テレビカメラ４０
の光軸の方向へ伸びる第１の軸線の方向におけるテレビ
カメラ４０の位置を粗調整する第１のステージ４４と、
第１の軸線の方向におけるテレビカメラ４０の位置を微
調整するとともに、第１の軸線と交差する仮想的な面内
において互いに交差する第２および第３の軸線に関する
テレビカメラ４０の位置を微調整する第２のステージ４
６とを備える。

【００２９】第１のステージ４４は、第１の軸線の方向
へ伸びるガイドと、該ガイドに第１の軸線方向へ移動可
能に支持されかつテレビカメラ４０を支持するスライダ
と、該スライダを第１の軸線に沿って移動させる駆動機
構とにより構成することができる。駆動機構としては、
エアーシリンダ、油圧シリンダ、スクリュージャッキを
用いることができるし、電動機、歯車およびラックを備
えた一般的な駆動機構を用いることができる。

【００３０】第２のステージ４６は、測定ステージ２２
と同様に、第１，第２および第３の軸線方向におけるテ
レビカメラ４０の位置を微調整するＸ，Ｙ，Ｚステージ
と、カメラステージ４２の軸線（Ｚ軸線であり、図示の
例では、上下方向へ伸びる軸線）の周りのテレビカメラ
４０の回転位置を微調整するθステージとにより構成す
ることができる。

【００３１】テレビカメラ４０は、その光軸がほぼ水平
となるように第１のステージ４４に組み付けられてお
り、また光路変更手段２８による反射光の軸線と一致す
るように、光路変更手段２８から測定ステージ２２上の
液晶表示パネル１２と平行の水平方向へ離れた箇所に横
向きに配置されている。

【００３２】図示の例では、粗調整用の第１のステージ
４４を微調整用の第２のステージ４６に支持させている
が、微調整用の第２のステージ４６を粗調整用の第１の
ステージ４４に支持させてもよい。この場合、第２のス
テージ４６は第１のステージ４４のスライダに組み付け
られ、テレビカメラ４０は第２のステージ４６に組み付
けられる。

【００３３】検査時、筐体２０内が外部の光から遮断さ
れた状態で、測定ステージ２２上の液晶表示パネル１２
が駆動される。これにより、液晶表示パネル１２からの
光２６は光路変更手段２８により反射されてテレビカメ
ラ４０に向けて指向されており、液晶表示パネル１２の
像は光路変更手段２８によりテレビカメラ４０に反射さ
れている。

【００３４】上記の状態で、テレビカメラ４０が駆動中
の液晶表示パネル１２を光路変更手段２８を介して撮影
すなわち撮像する。テレビカメラ４０の出力信号は、図
示しない処理回路において液晶表示パネル１２の良否の
判定に用いられる。検査時、外部の光が筐体２０内へ入
ることを防止すると、液晶表示パネル１２をテレビカメ
ラ４０により正しく撮像することができる。

【００３５】大きさがそれまでの液晶表示パネルと異な
る液晶表示パネルを検査するとき、検査ステージ２２の
受け部３０を形成するチャックおよび検査のためのプロ
ーブユニット２４が新たな液晶パネルに適合するチャッ
クおよびプローブユニットに交換され、新たな液晶表示
パネルがローダ部１６により検査ステージ２２に配置さ
れる。また、第１のステージ４４が駆動されて、第１の
軸線方向におけるテレビカメラ４０の位置が新たな液晶
表示パネルの大きさに応じて図１および図２に２点鎖線
で示すように大きく変更され、テレビカメラ４０の位置
が第２のステージ４６により微細に調整される。

【００３６】上記により、テレビカメラ４０の作動距離
が粗調整され、新たな液晶表示パネルに対するテレビカ
メラ４０の位置が第２のステージ４６により微調整され
る。このため、検査装置１０によれば、テレビカメラの
作動距離を廉価な手段により短時間で大きく変更するこ
とができ、したがって大きさが大きく異なる各種の液晶
表示パネルの検査に共通に用いることができる。

【００３７】また、検査装置１０によれば、液晶表示パ
ネル１２からの光２６の光路を光路変更手段２８により
水平方向へ変更するから、テレビカメラ４０を測定ステ
ージ２２の上方に設ける必要がなく、したがってテレビ
カメラを測定ステージの上方に設けた装置に比べ、装置
の高さ寸法が小さくなる。

【００３８】上記の実施例においては、液晶表示パネル
１２を測定ステージ２２にほぼ水平の状態に受けるが、
液晶表示パネルを測定ステージ２２に傾斜した状態に受
けるようにしてもよい。そのような検査装置の一実施例
を図４，図５および図６に示す。

【００３９】図４，図５および図６に示す検査装置５０
においては、ローダ部１６を本体部１４の後側に配置
し、テスタ部１８を本体部１４の左側に配置している。
このため、図４〜図６においては、ローダ部１６を省略
している。筐体２０の前側上部は傾斜した傾斜部５２と
されており、傾斜部５２は測定ステージ２２およびプロ
ーブユニット２４の配置位置に対応する箇所に開口を有
する。プローブユニット２４は、測定ステージ２２の受
け部３０に対し傾斜部５２の開口の側に配置されてい
る。

【００４０】測定ステージ２２およびプローブユニット
２４は、液晶表示パネル１２を受け部３０で水平線およ
び鉛直線に対し斜めに受けるように、傾斜されている。
受け部３０も、筐体２０の傾斜部５２と平行となるよう
に、斜め上向きとされている。このため、測定ステージ
２２の軸線は、水平線および鉛直線に対し角度を有す
る。したがって、液晶表示パネル１２は前方および上方
に向く状態に測定ステージ２２に配置される。

【００４１】図４〜図６の実施例の場合、受け部３０の
位置は、傾斜部５２と平行の面内の互いに直交する２つ
の軸線の方向と、測定ステージ２２の上面に対し直交す
る軸線の方向とに三次元的に調整可能である。また、受
け部３０は、受け部３０上の液晶表示パネル１２と垂直
の軸線（測定ステージの軸線）の周りの回転角度を調整
可能である。

【００４２】傾斜部５２の開口は、測定ステージ２２お
よびプローブユニット２４より大きい面積を有してお
り、また筐体２０内を外部から遮光する箱状のシールド
カバー５４により開閉可能に閉鎖されている。カバー５
４は、図示の例では、上部において１以上のヒンジ５６
により筐体２０に枢軸運動可能に組み付けられている。
しかし、カバー５４を図４において、左端部、右端部、
下部、斜め上部、斜め下部等、他の部位において筐体２
０に蝶着してもよい。

【００４３】光路変更手段２８は、カバー５４に支持さ
れている。光路変更手段２８は、測定ステージ２２上の
液晶表示パネル１２からの光２６をテスタ部１８の上部
に向けてほぼ水平に指向させるように、カバー５４の内
側に変位不能に組み付けられている。光路変更手段２８
は、光２６の光路を９０度変更する。

【００４４】テスタ部１８は、本体部１４と同様に、筐
体の前側上部は傾斜した傾斜部５８とされており、傾斜
部５８はテレビカメラ４０およびカメラステージ４２の
配置位置に対応する箇所に開口を有し、その開口はテス
タ部１８内を外部から遮光する箱状のシールドカバー６
０により開閉可能に閉鎖されている。

【００４５】図示の例では、カバー６０は、１以上のヒ
ンジ６２によりテスタ部１８の筐体に枢軸運動可能に組
み付けられている。図示の例では、カバー６０を、カバ
ー５４から独立した別部材として形成しているが、カバ
ー５４と一体に形成してもよい。

【００４６】カメラステージ４２は、図５に示すよう
に、カメラステージ４２の軸線（Ｚ軸線）が水平線およ
び鉛直線に対し角度を有するように傾斜されている。こ
のため、テレビカメラ４０も傾斜されている。

【００４７】検査装置５０は、大きさがそれまでの液晶
表示パネルと異なる液晶表示パネルを検査する場合に
は、カバー５４を図６に実線で示すように移動させて対
応する開口を開放した状態で、検査装置１０と同様に、
受け部３０を形成するチャックおよび検査のためのプロ
ーブユニット２４の交換、ローダ部１６による新たな液
晶表示パネルの配置、第１のステージ４４によるテレビ
カメラ４０の位置の変更、および、第２のステージ４６
によるテレビカメラ４０の位置の微調整が行われる。

【００４８】自動検査時、本体部１４およびテスタ部１
８の開口は、それぞれ、図４および図５に実線で示しか
つ図６に破線で示すように、カバー５４および６０によ
り閉鎖されている。このため、光路変更手段２８は、測
定ステージ２２に配置された液晶表示パネル１２からの
光２６をテレビカメラ４０に向けて指向させる第１の位
置に移動されており、またその液晶表示パネル１２の像
をテレビカメラ４０に反射させている。この状態で、液
晶表示パネル１２が駆動され、テレビカメラ４０が光路
変更手段２８を介して液晶表示パネル１２を撮影すなわ
ち撮像する。

【００４９】目視検査時、カバー５４が図６において実
線で示すようにヒンジ５６の枢軸線の周りに回転され
て、傾斜部５２の開口が開放される。これにより、光路
変更手段２８が液晶表示パネル１２から光路変更手段２
８への入射光路から外れた第２の位置へ移動されるか
ら、測定ステージ２２上の液晶表示パネル１２を開口か
ら肉眼で目視し、検査することができる。カバー５４
は、液晶表示パネル１２を目視することを妨げない位置
に図示しない適宜なストッパにより解除可能に維持され
る。

【００５０】テレビカメラ４０を用いる自動検査は、検
査能率は高いが、点欠陥、斑欠陥等、一部の欠陥につい
てそれが実際に欠陥であるか否かについての判定が困難
な場合が多い。これに対し、人手による目視検査によれ
ば、テレビカメラ４０を用いる自動検査に比べ高感度で
検査することはできるが、検査基準があいまいであり、
また検査能率が低い。それゆえに、テレビカメラを用い
る自動検査において欠陥であるか否かの判定が困難な場
合に、人手による目視検査をすることが好ましい。

【００５１】しかし、従来の自動検査装置では、測定ス
テージの上方に配置されたテレビカメラおよびその支持
手段のような自動検査用機器が、また図１〜図３に示す
自動検査装置では、測定ステージの上方に配置された光
路変更手段２８およびその支持手段のような自動検査用
機器が測定ステージ上の液晶表示パネルの目視を妨げ、
したがって装置の構造上から目視検査が困難である。

【００５２】これに対し、検査装置５０によれば、開口
が筐体２０の前面上方に形成されており、また液晶表示
パネル１２が水平線および鉛直線に対し傾斜した姿勢に
すなわち開口と対向する姿勢に支持されるから、検査装
置１０により得られる作用、効果に加えて、液晶表示パ
ネル１２を検査装置１０の正面において斜め上方から目
視することができ、したがって液晶表示パネル１２を容
易にかつ正しく目視することができる。

【００５３】図７〜図９に示す検査装置７０は、さら
に、図１〜図３に示す検査装置１０に、液晶表示パネル
１２をテレビカメラ４０と異なる角度で撮像する斜角カ
メラ７２と、斜角カメラ７２の位置を微調整する第３の
ステージ７４とを設けている。第３のステージ７４は、
斜角カメラ７２の光軸方向へ伸びる第４の軸線の方向に
おける斜角カメラ７２の位置を微調整するとともに、第
４の軸線と交差する仮想的な面内において互いに交差す
る第５および第６の軸線に関する斜角カメラ７２の位置
を微調整する。

【００５４】第３のステージ７４は、第２のステージ４
６と同様に、第１，第２および第３の軸線方向における
斜角カメラ７２の位置を微調整するＸ，Ｙ，Ｚステージ
と、第３のステージ７４の軸線（Ｚ軸線）の周りの斜角
カメラ７４の回転位置を微調整するθステージとにより
構成することができる。図示の例では、微調整用の第２
および第３のステージ４６および７４が共通の粗調整用
の第１のステージ４４に支持されている。

【００５５】斜角カメラ７２は、その光軸がほぼ水平と
なりかつ光路変更手段２８を介して測定ステージ２２上
の液晶表示パネル１２を撮像するように、第３のステー
ジ７４に組み付けられている。斜角カメラ７２は、第４
の軸線方向における位置を第１のステージ４４によりテ
レビカメラ４０とともに大きく変更され、液晶表示パネ
ル１２に対する位置を第３のステージ７４により微細に
調整される。このため、斜角カメラ７２の作動距離を、
第１のステージ４４により粗調整することができるとと
もに、第３のステージ７４により微調整することができ
る。

【００５６】検査装置７０も、テレビカメラ４０および
斜角カメラ７２の作動距離を第１のステージ４４により
粗調整することができるとともに、新たな液晶表示パネ
ルに対するテレビカメラ４０および斜角カメラ７２の位
置をそれぞれ第２および第３のステージ４６および７４
により微調整することができるから、テレビカメラ４０
および斜角カメラ７２の作動距離を廉価な手段により短
時間で大きく変更することができ、したがって大きさが
大きく異なる各種の液晶表示パネル１２の検査に共通に
用いることができる。

【００５７】図１０〜図１２に示す検査装置８０は、さ
らに、図４〜図６に示す検査装置５０に、図７〜図９に
示す検査装置７０と同様の、液晶表示パネル１２をテレ
ビカメラ４０と異なる角度で撮像する斜角カメラ７２
と、斜角カメラ７２の位置を微調整する第３のステージ
７４とを設けている。検査装置８０も、自動検査と目視
検査とをすることができるとともに、テレビカメラ４０
および斜角カメラ７２の作動距離を廉価な手段により短
時間で大きく変更することができ、したがって大きさが
大きく異なる各種の液晶表示パネル１２の検査に共通に
用いることができる。

【００５８】検査装置７０によれば、検査装置１０によ
り得られる作用、効果に加えて、液晶表示パネル１２を
テレビカメラ４０と異なる角度から検査をすることがで
きる。また、検査装置８０によれば、検査装置１０，５
０および７０により得られる作用、効果を得ることがで
きる。

【００５９】上記の実施例は、いずれも、光路変更手段
２８を備えているが、本発明は光路変更手段２８を備え
ていない装置にも適用することができる。また、光路変
更手段を用いる場合、光路変更手段２８による光路の変
更方向は、正確な水平方向とする代わりに、斜めとして
もよい。さらに、光路変更手段２８による光路の変更角
度は９０度以外の角度であってもよい。

【００６０】本発明は、上記実施例に限定されない。た
とえば、検査装置５０および８０において、光路変更手
段２８を支持するカバー５４を、筐体２０の傾斜部５２
に対し左右または上下の方向へ移動させるようにしても
よいし、筐体２０から取り外すようにしてもよい。ま
た、光路変更手段２８を光路変更手段２８をカバー５４
に取り付ける代わりに、光路変更手段３６を第１および
第２の位置に選択的に変位させる他の手段に支持させて
もよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る検査装置の第１の実施例を示す正
面図である。

【図２】図１の検査装置の左側面図である。

【図３】図１の検査装置の平面図である。

【図４】本発明に係る検査装置の第２の実施例を示す正
面図である。

【図５】図４の検査装置の左側面図である。

【図６】図４の検査装置の開口を開放する位置にカバー
を変位させた状態を示す右側面図である。

【図７】本発明に係る検査装置の第３の実施例を示す正
面図である。

【図８】図７の検査装置の左側面図である。

【図９】図７の検査装置の平面図である。

【図１０】本発明に係る検査装置の第４の実施例を示す
正面図である。

【図１１】図１０の検査装置の左側面図である。

【図１２】図１０の検査装置の右側面図である。

【符号の説明】

１０，５０，７０，８０ 検査装置 １２ 液晶表示パネル １４ 本体部 １６ ローダ部 １８ テスタ部 ２２ 測定ステージ ２４ 検査用のプローブユニット ２８ 光路変更手段 ４０ テレビカメラ ４２ カメラステージ ４４，４６，７４ 第１，第２，第３のステージ ５４ シールドカバー ７２ 斜角カメラ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液晶表示パネルを配置する測定ステージ
   と、該測定ステージに配置された液晶表示パネルを撮像
   するテレビカメラと、該テレビカメラを支持する支持手
   段とを含み、前記支持手段は、前記テレビカメラの光軸
   の方向へ伸びる第１の軸線の方向における前記テレビカ
   メラの位置を粗調整する第１のステージと、前記第１の
   軸線の方向における前記テレビカメラの位置を微調整す
   る第２のステージとを備える、液晶表示パネルの検査装
   置。
2. 【請求項２】 前記第２のステージは、さらに、前記第
   １の軸線と交差する仮想的な面内において互いに交差す
   る第２および第３の軸線に関する前記テレビカメラの位
   置を微調整する、請求項１に記載の検査装置。
3. 【請求項３】 さらに、前記液晶表示パネルからの光を
   前記テレビカメラに向ける光路変更手段と、該光路変更
   手段を支持する第２の支持手段とを含む、請求項１また
   は２に記載の検査装置。
4. 【請求項４】 さらに、前記第２の支持手段は、前記光
   路変更手段を、該光路変更手段が前記液晶表示パネルか
   らの光を前記テレビカメラに向ける第１の位置と、前記
   光路変更手段が前記液晶表示パネルと前記第１の位置と
   の間の光路の外となる第２の位置とに選択的に変位可能
   に支持する、請求項３に記載の検査装置。
5. 【請求項５】 さらに、前記液晶表示パネルを前記テレ
   ビカメラと異なる角度で撮像する斜角カメラを含み、前
   記テレビカメラのための前記支持手段は、さらに、前記
   斜角カメラの光軸の方向へ伸びる第４の軸線または前記
   第１の軸線の方向における前記斜角カメラの位置を微調
   整する第３のステージを備える、請求項１〜４のいずれ
   か１項に記載の検査装置。
6. 【請求項６】 前記第３のステージは、さらに、前記第
   ４の軸線と交差する仮想的な面内において互いに交差す
   る第５および第６の軸線に関する前記斜角カメラの位置
   を微調整する、請求項５に記載の検査装置。
7. 【請求項７】 斜角カメラは、前記液晶表示パネルから
   の光を前記テレビカメラに向ける光路変更手段を介して
   前記液晶表示パネルを撮像する、請求項５または６に記
   載の検査装置。