JPH09252243A - 検出スイッチ - Google Patents
検出スイッチInfo
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- JPH09252243A JPH09252243A JP8060865A JP6086596A JPH09252243A JP H09252243 A JPH09252243 A JP H09252243A JP 8060865 A JP8060865 A JP 8060865A JP 6086596 A JP6086596 A JP 6086596A JP H09252243 A JPH09252243 A JP H09252243A
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- threshold
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- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の異なる状態を正確にかつ容易に検出す
ることができるとともに、使用環境に応じてしきい値お
よび安定検出レベルを適切に設定することができる検出
スイッチを提供することである。 【解決手段】 感度設定制御部６は、２回の感度設定処
理において得られた第１のしきい値および第２のしきい
値をそれぞれ第１のしきい値データおよび第２のしきい
値データとしてレジスタ８，９に格納する。比較部４
は、受光量データと第１のしきい値データとの比較およ
び受光量データと第２のしきい値データとの比較を時分
割で行い、それらの比較結果を出力部５を介して出力端
子２６Ａ，２６Ｂにそれぞれ第１の検出信号ＤＥＴ１お
よび第２の検出信号ＤＥＴ２として出力する。
ることができるとともに、使用環境に応じてしきい値お
よび安定検出レベルを適切に設定することができる検出
スイッチを提供することである。 【解決手段】 感度設定制御部６は、２回の感度設定処
理において得られた第１のしきい値および第２のしきい
値をそれぞれ第１のしきい値データおよび第２のしきい
値データとしてレジスタ８，９に格納する。比較部４
は、受光量データと第１のしきい値データとの比較およ
び受光量データと第２のしきい値データとの比較を時分
割で行い、それらの比較結果を出力部５を介して出力端
子２６Ａ，２６Ｂにそれぞれ第１の検出信号ＤＥＴ１お
よび第２の検出信号ＤＥＴ２として出力する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、物体の有無、形
状、寸法等を検出する検出スイッチに関する。
状、寸法等を検出する検出スイッチに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、工場の生産ライン等で移動す
る物体の有無を検出するために、光電スイッチ、近接ス
イッチ、超音波スイッチ等の検出スイッチが用いられて
いる。例えば、光電スイッチは、物体の搬送経路に光を
投射し、物体からの反射光または透過光の有無を検出す
ることにより、物体の有無を判定するものである。
る物体の有無を検出するために、光電スイッチ、近接ス
イッチ、超音波スイッチ等の検出スイッチが用いられて
いる。例えば、光電スイッチは、物体の搬送経路に光を
投射し、物体からの反射光または透過光の有無を検出す
ることにより、物体の有無を判定するものである。
【０００３】透過型の光電スイッチでは、被検出物体が
検知領域に存在しない場合に、投光部から投射された光
が受光部に入光する。この場合、受光部での受光量のレ
ベルが所定のしきい値以下の場合に被検出物体が存在す
ると判定される。一方、反射型の光電スイッチでは、被
検出物体が検知領域に存在する場合に、投光部から投射
された光が物体により反射され、その反射光が受光部に
入光する。この場合、受光部での受光量のレベルが所定
のしきい値を越えたときに被検出物体が存在すると判定
される。光電スイッチの感度は上記のしきい値（動作レ
ベル）を変化させることにより調整される。
検知領域に存在しない場合に、投光部から投射された光
が受光部に入光する。この場合、受光部での受光量のレ
ベルが所定のしきい値以下の場合に被検出物体が存在す
ると判定される。一方、反射型の光電スイッチでは、被
検出物体が検知領域に存在する場合に、投光部から投射
された光が物体により反射され、その反射光が受光部に
入光する。この場合、受光部での受光量のレベルが所定
のしきい値を越えたときに被検出物体が存在すると判定
される。光電スイッチの感度は上記のしきい値（動作レ
ベル）を変化させることにより調整される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のような光電スイ
ッチを用いて被検出物体の２つの部分を検出する場合を
考える。例えば、図１０（ａ）に示す被検出物体２００
の本体部２０１およびその本体部２０１に付されたマー
ク２０２を検出するものとする。マーク２０２は本体部
２０１とは異なる色または反射率を有する。
ッチを用いて被検出物体の２つの部分を検出する場合を
考える。例えば、図１０（ａ）に示す被検出物体２００
の本体部２０１およびその本体部２０１に付されたマー
ク２０２を検出するものとする。マーク２０２は本体部
２０１とは異なる色または反射率を有する。
【０００５】このような場合、図１０（ｂ）に示すよう
に、２つの光電スイッチ５０１ａ，５０１ｂを準備し、
それらの光電スイッチ５０１ａ，５０１ｂのセンサヘッ
ド部５０２ａ，５０２ｂを測定位置に配列する。そし
て、一方の光電スイッチ５０１ａのしきい値ＴＨ１を本
体部２０１を検出可能な値に設定し、他方の光電スイッ
チ５０１ｂのしきい値ＴＨ２をマーク２０２を検出可能
な値に設定する。
に、２つの光電スイッチ５０１ａ，５０１ｂを準備し、
それらの光電スイッチ５０１ａ，５０１ｂのセンサヘッ
ド部５０２ａ，５０２ｂを測定位置に配列する。そし
て、一方の光電スイッチ５０１ａのしきい値ＴＨ１を本
体部２０１を検出可能な値に設定し、他方の光電スイッ
チ５０１ｂのしきい値ＴＨ２をマーク２０２を検出可能
な値に設定する。
【０００６】図１１（ａ）は光電スイッチ５０１ａにお
ける受光量および検出信号を示す波形図であり、図１１
（ｂ）は光電スイッチ５０１ｂにおける受光量および検
出信号を示す波形図である。
ける受光量および検出信号を示す波形図であり、図１１
（ｂ）は光電スイッチ５０１ｂにおける受光量および検
出信号を示す波形図である。
【０００７】本例では、光電スイッチ５０１ｂのしきい
値ＴＨ２を光電スイッチ５０１ａのしきい値ＴＨ１より
も高く設定している。これにより、光電スイッチ５０１
ａにおいては、図１１（ａ）に示すように、被検出物体
２００の本体部２０１が検知領域に存在するときに検出
信号がオンする。一方、光電スイッチ５０１ｂにおいて
は、図１１（ｂ）に示すように、被検出物体２００のマ
ーク２０２が検知領域に存在するときに検出信号がオン
する。したがって、光電スイッチ５０１ａの検出信号に
より被検出物体２００の本体部２０１を測定することが
でき、光電スイッチ５０１ｂの検出信号により被検出物
体２００のマーク２０２を測定することができる。
値ＴＨ２を光電スイッチ５０１ａのしきい値ＴＨ１より
も高く設定している。これにより、光電スイッチ５０１
ａにおいては、図１１（ａ）に示すように、被検出物体
２００の本体部２０１が検知領域に存在するときに検出
信号がオンする。一方、光電スイッチ５０１ｂにおいて
は、図１１（ｂ）に示すように、被検出物体２００のマ
ーク２０２が検知領域に存在するときに検出信号がオン
する。したがって、光電スイッチ５０１ａの検出信号に
より被検出物体２００の本体部２０１を測定することが
でき、光電スイッチ５０１ｂの検出信号により被検出物
体２００のマーク２０２を測定することができる。
【０００８】上記のように、しきい値の異なる２つの光
電スイッチ５０１ａ，５０１ｂを用いることにより異な
る状態（色、反射率）を有する２つの部分を検出するこ
とが可能となる。しかしながら、２つのセンサヘッド部
５０２ａ，５０２ｂの検知領域を正確に一致させること
は困難であるため、光電スイッチ５０１ａにより検出さ
れる本体部２０１と光電スイッチ５０１ｂにより検出さ
れるマーク２０２との間に位置ずれが生じる可能性があ
る。また、２つのセンサヘッド部５０２ａ，５０２ｂか
ら投射される光が互いに干渉し合う可能性が高い。した
がって、複数の光電スイッチを用いて複数の異なる状態
を正確に検出することは困難である。
電スイッチ５０１ａ，５０１ｂを用いることにより異な
る状態（色、反射率）を有する２つの部分を検出するこ
とが可能となる。しかしながら、２つのセンサヘッド部
５０２ａ，５０２ｂの検知領域を正確に一致させること
は困難であるため、光電スイッチ５０１ａにより検出さ
れる本体部２０１と光電スイッチ５０１ｂにより検出さ
れるマーク２０２との間に位置ずれが生じる可能性があ
る。また、２つのセンサヘッド部５０２ａ，５０２ｂか
ら投射される光が互いに干渉し合う可能性が高い。した
がって、複数の光電スイッチを用いて複数の異なる状態
を正確に検出することは困難である。
【０００９】ところで、このような光電スイッチでは、
光軸のずれ、投光面または受光面の汚れ、投光部の発光
素子の特性劣化等により受光量のレベルが低下すること
がある。したがって、センサヘッド部の受光部への入光
時の受光量のレベルは、図１２に示すように、所定の安
定入光レベルよりも高いことが望ましい。ただし、受光
量のレベルがしきい値よりも高い場合には、検出動作を
行うことができる。以下、しきい値と安定入光レベルと
の間の領域を非安定領域と呼ぶ。
光軸のずれ、投光面または受光面の汚れ、投光部の発光
素子の特性劣化等により受光量のレベルが低下すること
がある。したがって、センサヘッド部の受光部への入光
時の受光量のレベルは、図１２に示すように、所定の安
定入光レベルよりも高いことが望ましい。ただし、受光
量のレベルがしきい値よりも高い場合には、検出動作を
行うことができる。以下、しきい値と安定入光レベルと
の間の領域を非安定領域と呼ぶ。
【００１０】しかしながら、入光時の受光量のレベルが
非安定領域にある状態を長く放置すると、いずれは入光
時の受光量のレベルがしきい値よりも低下し、誤動作に
つながる。そこで、受光量のレベルを安定入光レベルと
比較して入光時の受光量のレベルが安定入光レベルより
も低下した場合にその旨を警報として作業者に知らせる
機能を有する光電スイッチが開発されている。
非安定領域にある状態を長く放置すると、いずれは入光
時の受光量のレベルがしきい値よりも低下し、誤動作に
つながる。そこで、受光量のレベルを安定入光レベルと
比較して入光時の受光量のレベルが安定入光レベルより
も低下した場合にその旨を警報として作業者に知らせる
機能を有する光電スイッチが開発されている。
【００１１】このような光電スイッチでは、しきい値を
高く設定した場合には、それに伴って安定入光レベルも
上昇し、しきい値を低く設定した場合には、それに伴っ
て安定入光レベルも下降する。
高く設定した場合には、それに伴って安定入光レベルも
上昇し、しきい値を低く設定した場合には、それに伴っ
て安定入光レベルも下降する。
【００１２】しかしながら、光電スイッチの使用環境に
応じて、しきい値とは無関係に安定入光レベルを高くま
たは低く設定したい場合が生じる。このような場合で
も、従来の光電スイッチでは、しきい値に伴って安定入
光レベルも変化するため、使用環境に応じてしきい値お
よび安定入光レベルを適切に設定することができないと
いう問題があった。
応じて、しきい値とは無関係に安定入光レベルを高くま
たは低く設定したい場合が生じる。このような場合で
も、従来の光電スイッチでは、しきい値に伴って安定入
光レベルも変化するため、使用環境に応じてしきい値お
よび安定入光レベルを適切に設定することができないと
いう問題があった。
【００１３】本発明の目的は、複数の異なる状態を正確
にかつ容易に検出することができる検出スイッチを提供
することである。本発明の他の目的は、使用環境に応じ
てしきい値および安定検出レベルを適切に設定すること
ができる光電スイッチを提供することである。
にかつ容易に検出することができる検出スイッチを提供
することである。本発明の他の目的は、使用環境に応じ
てしきい値および安定検出レベルを適切に設定すること
ができる光電スイッチを提供することである。
【００１４】
【課題を解決するための手段および発明の効果】第１の
発明に係る検出スイッチは、被検出物体の有無に基づく
検出量を出力する検出手段と、複数のしきい値をそれぞ
れ独立に設定する設定手段と、検出手段により得られた
検出量を設定手段により設定された複数のしきい値とそ
れぞれ比較して複数のしきい値に対応する複数の検出結
果を出力する比較手段とを備えたものである。
発明に係る検出スイッチは、被検出物体の有無に基づく
検出量を出力する検出手段と、複数のしきい値をそれぞ
れ独立に設定する設定手段と、検出手段により得られた
検出量を設定手段により設定された複数のしきい値とそ
れぞれ比較して複数のしきい値に対応する複数の検出結
果を出力する比較手段とを備えたものである。
【００１５】第２の発明に係る検出スイッチは、第１の
発明に係る検出スイッチの構成において、設定手段が設
定時に検出手段により得られた検出時および非検出時の
検出量に基づいてしきい値を設定する自動設定手段を含
み、設定手段により設定された複数のしきい値をそれぞ
れ独立に調整する調整手段をさらに備えたものである。
発明に係る検出スイッチの構成において、設定手段が設
定時に検出手段により得られた検出時および非検出時の
検出量に基づいてしきい値を設定する自動設定手段を含
み、設定手段により設定された複数のしきい値をそれぞ
れ独立に調整する調整手段をさらに備えたものである。
【００１６】第１および第２の発明に係る検出スイッチ
においては、検出手段により得られた検出量を設定手段
により設定された複数のしきい値とそれぞれ比較するこ
とにより複数の検出結果が出力される。作業者は、設定
手段により被検出物体に応じた複数のしきい値をそれぞ
れ独立に設定することができる。したがって、複数の異
なる状態を正確にかつ容易に検出することができる。ま
た、使用環境に応じて複数のしきい値のいずれかを安定
検出レベルとして設定することができる。したがって、
検出スイッチが不安定な状態にあることを容易に知るこ
とができる。
においては、検出手段により得られた検出量を設定手段
により設定された複数のしきい値とそれぞれ比較するこ
とにより複数の検出結果が出力される。作業者は、設定
手段により被検出物体に応じた複数のしきい値をそれぞ
れ独立に設定することができる。したがって、複数の異
なる状態を正確にかつ容易に検出することができる。ま
た、使用環境に応じて複数のしきい値のいずれかを安定
検出レベルとして設定することができる。したがって、
検出スイッチが不安定な状態にあることを容易に知るこ
とができる。
【００１７】特に、第２の発明に係る検出スイッチにお
いては、設定手段により設定された複数のしきい値が調
整手段によりそれぞれ独立に調整可能となる。したがっ
て、作業者は、予め設定された各しきい値を使用環境に
応じて微調整することができる。
いては、設定手段により設定された複数のしきい値が調
整手段によりそれぞれ独立に調整可能となる。したがっ
て、作業者は、予め設定された各しきい値を使用環境に
応じて微調整することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施例にお
ける光電スイッチの構成を示すブロック図である。
ける光電スイッチの構成を示すブロック図である。
【００１９】図１の光電スイッチ１００は、ゲートアレ
イからなる処理部１およびＣＰＵ（中央演算処理装置）
からなる制御部２を備える。処理部１は、タイミング制
御部３、比較部４、出力部５、感度設定制御部６、受光
量データ用レジスタ７、第１のしきい値データ用レジス
タ８、第２のしきい値データ用レジスタ９および送受信
レジスタ１０を含む。
イからなる処理部１およびＣＰＵ（中央演算処理装置）
からなる制御部２を備える。処理部１は、タイミング制
御部３、比較部４、出力部５、感度設定制御部６、受光
量データ用レジスタ７、第１のしきい値データ用レジス
タ８、第２のしきい値データ用レジスタ９および送受信
レジスタ１０を含む。
【００２０】処理部１には、駆動回路１１、発光素子１
２、受光素子１３、増幅器１４およびＡ／Ｄ変換器（ア
ナログ・デジタル変換器）１５が接続されている。発光
素子１２および受光素子１３には光ファイバを通してセ
ンサヘッド部（図示せず）が接続される。
２、受光素子１３、増幅器１４およびＡ／Ｄ変換器（ア
ナログ・デジタル変換器）１５が接続されている。発光
素子１２および受光素子１３には光ファイバを通してセ
ンサヘッド部（図示せず）が接続される。
【００２１】タイミング制御部３は、駆動回路１１を介
して発光素子１２の投光タイミングを制御する。駆動回
路１１が発光素子１２を駆動すると、発光素子１２から
光ファイバ（図示せず）を介して光が検知領域に投射さ
れる。センサヘッド部が透過型の場合には、検知領域に
物体が存在しないときに、発光素子１２から投射された
光が受光素子１３で受光される。一方、センサヘッド部
が反射型の場合には、検知領域に物体が存在するとき
に、物体からの反射光が受光素子１３で受光される。
して発光素子１２の投光タイミングを制御する。駆動回
路１１が発光素子１２を駆動すると、発光素子１２から
光ファイバ（図示せず）を介して光が検知領域に投射さ
れる。センサヘッド部が透過型の場合には、検知領域に
物体が存在しないときに、発光素子１２から投射された
光が受光素子１３で受光される。一方、センサヘッド部
が反射型の場合には、検知領域に物体が存在するとき
に、物体からの反射光が受光素子１３で受光される。
【００２２】受光素子１３の出力信号は増幅器１４によ
り増幅された後、Ａ／Ｄ変換器１５に与えられる。Ａ／
Ｄ変換器１５は、増幅器１４の出力信号をデジタル信号
に変換し、受光量データとして処理部１に与える。この
受光量データは処理部１のレジスタ７に格納される。
り増幅された後、Ａ／Ｄ変換器１５に与えられる。Ａ／
Ｄ変換器１５は、増幅器１４の出力信号をデジタル信号
に変換し、受光量データとして処理部１に与える。この
受光量データは処理部１のレジスタ７に格納される。
【００２３】感度設定制御部６は、感度設定時に所定の
方法で感度設定処理を行い、しきい値を自動的に設定す
る。この感度設定制御部６は、例えば、受光量データの
最大値および最小値に基づいてその最大値と最小値との
間にしきい値を設定する。本実施例の光電スイッチ１０
０では、２回の感度設定処理において得られた第１のし
きい値ＴＨ１および第２のしきい値ＴＨ２がそれぞれ第
１のしきい値データおよび第２のしきい値データとして
それぞれレジスタ８，９に格納される。送受信レジスタ
１０には、制御部２または他の光電スイッチに対して送
受信する送受信データが一時的に格納される。
方法で感度設定処理を行い、しきい値を自動的に設定す
る。この感度設定制御部６は、例えば、受光量データの
最大値および最小値に基づいてその最大値と最小値との
間にしきい値を設定する。本実施例の光電スイッチ１０
０では、２回の感度設定処理において得られた第１のし
きい値ＴＨ１および第２のしきい値ＴＨ２がそれぞれ第
１のしきい値データおよび第２のしきい値データとして
それぞれレジスタ８，９に格納される。送受信レジスタ
１０には、制御部２または他の光電スイッチに対して送
受信する送受信データが一時的に格納される。
【００２４】比較部４は、受光量データと第１のしきい
値データとの比較および受光量データと第２のしきい値
データとの比較を時分割で行い、それらの比較結果を出
力部５を介して出力端子２６Ａ，２６Ｂにそれぞれ第１
の検出信号ＤＥＴ１および第２の検出信号ＤＥＴ２とし
て出力する。これらの第１および第２の検出信号ＤＥＴ
１，ＤＥＴ２は、プログラマブルコントローラ、表示装
置等の外部機器に与えられる。
値データとの比較および受光量データと第２のしきい値
データとの比較を時分割で行い、それらの比較結果を出
力部５を介して出力端子２６Ａ，２６Ｂにそれぞれ第１
の検出信号ＤＥＴ１および第２の検出信号ＤＥＴ２とし
て出力する。これらの第１および第２の検出信号ＤＥＴ
１，ＤＥＴ２は、プログラマブルコントローラ、表示装
置等の外部機器に与えられる。
【００２５】第１および第２の検出信号ＤＥＴ１，ＤＥ
Ｔ２が入光時にオンするか遮光時にオンするかは、図示
しない切り換えスイッチにより切り換えることができ
る。以下の説明では、第１および第２の検出信号ＤＥＴ
１，ＤＥＴ２は、入光時にオンし、遮光時にオフするも
のとなる。
Ｔ２が入光時にオンするか遮光時にオンするかは、図示
しない切り換えスイッチにより切り換えることができ
る。以下の説明では、第１および第２の検出信号ＤＥＴ
１，ＤＥＴ２は、入光時にオンし、遮光時にオフするも
のとなる。
【００２６】この光電スイッチ１００は、第１のしきい
値データおよび第２のしきい値データにそれぞれ対応す
る２つのチャンネル“Ａ”，“Ｂ”を有する。処理部１
には、チャンネル“Ａ”，“Ｂ”における検出結果およ
び感度設定状態を表示するＬＥＤ部１６および他の光電
スイッチを接続するためのコネクタ１７が接続されてい
る。
値データおよび第２のしきい値データにそれぞれ対応す
る２つのチャンネル“Ａ”，“Ｂ”を有する。処理部１
には、チャンネル“Ａ”，“Ｂ”における検出結果およ
び感度設定状態を表示するＬＥＤ部１６および他の光電
スイッチを接続するためのコネクタ１７が接続されてい
る。
【００２７】一方、制御部２には、感度設定スイッチ１
８、アップスイッチ１９、ダウンスイッチ２０およびモ
ードスイッチ２１が接続されている。感度設定スイッチ
１８を押すと、図１の感度設定制御部６によりしきい値
が自動的に設定される。アップスイッチ１９およびダウ
ンスイッチ２０は、感度設定制御部６により設定された
しきい値を微調整するために用いられる。モードスイッ
チ２１は、主として後述するＬＣＤ部２３の表示モード
を切り換えるために用いられる。
８、アップスイッチ１９、ダウンスイッチ２０およびモ
ードスイッチ２１が接続されている。感度設定スイッチ
１８を押すと、図１の感度設定制御部６によりしきい値
が自動的に設定される。アップスイッチ１９およびダウ
ンスイッチ２０は、感度設定制御部６により設定された
しきい値を微調整するために用いられる。モードスイッ
チ２１は、主として後述するＬＣＤ部２３の表示モード
を切り換えるために用いられる。
【００２８】また、制御部２には、光電スイッチ１００
の第１および第２のしきい値データおよびチャンネルを
記憶するＥＥＰＲＯＭ（電気的に消去および書き込み可
能なリードオンリメモリ）２２が接続されている。
の第１および第２のしきい値データおよびチャンネルを
記憶するＥＥＰＲＯＭ（電気的に消去および書き込み可
能なリードオンリメモリ）２２が接続されている。
【００２９】さらに、この制御部２には、当該光電スイ
ッチ１００の受光量データ、第１のしきい値データおよ
び第２のしきい値データならびに他の光電スイッチの受
光量データおよびしきい値データをデジタル的に数値表
示するためのＬＣＤ部（液晶表示部）２３が接続されて
いる。ＬＣＤ部２３には、赤のバックライト２４および
緑のバックライト２５が設けられている。このＬＣＤ部
２３は、表示チャンネルにおける検出信号がオンのとき
に、バックライト２４が点灯することにより赤の表示を
行い、表示チャンネルにおける検出信号がオフのとき
に、バックライト２５が点灯することにより緑の表示を
行う。
ッチ１００の受光量データ、第１のしきい値データおよ
び第２のしきい値データならびに他の光電スイッチの受
光量データおよびしきい値データをデジタル的に数値表
示するためのＬＣＤ部（液晶表示部）２３が接続されて
いる。ＬＣＤ部２３には、赤のバックライト２４および
緑のバックライト２５が設けられている。このＬＣＤ部
２３は、表示チャンネルにおける検出信号がオンのとき
に、バックライト２４が点灯することにより赤の表示を
行い、表示チャンネルにおける検出信号がオフのとき
に、バックライト２５が点灯することにより緑の表示を
行う。
【００３０】本実施例では、タイミング制御部３、駆動
回路１１、発光素子１２、受光素子１３、増幅器１４、
Ａ／Ｄ変換器１５が検出手段を構成し、感度設定制御部
６および感度設定スイッチ１８が設定手段を構成する。
また、比較部４および出力部５が比較手段を構成し、ア
ップスイッチ１９、ダウンスイッチ２０および制御部２
が調整手段を構成する。なお、受光量が検出量に相当す
る。
回路１１、発光素子１２、受光素子１３、増幅器１４、
Ａ／Ｄ変換器１５が検出手段を構成し、感度設定制御部
６および感度設定スイッチ１８が設定手段を構成する。
また、比較部４および出力部５が比較手段を構成し、ア
ップスイッチ１９、ダウンスイッチ２０および制御部２
が調整手段を構成する。なお、受光量が検出量に相当す
る。
【００３１】次に、図２および図３を用いて図１の光電
スイッチ１００の動作の一例を説明する。ここでは、図
２（ａ）に示される被検出物体２００の本体部２０１お
よびその本体部２０１に付されたマーク２０２を検出す
るものとする。マーク２０２は、本体部２０１と異なる
色または反射率を有する。
スイッチ１００の動作の一例を説明する。ここでは、図
２（ａ）に示される被検出物体２００の本体部２０１お
よびその本体部２０１に付されたマーク２０２を検出す
るものとする。マーク２０２は、本体部２０１と異なる
色または反射率を有する。
【００３２】本例では、予め第１のしきい値ＴＨ１を被
検出物体２００の本体部２０１を検出可能な値に設定
し、第２のしきい値ＴＨ２をマーク２０２を検出可能な
値に設定する。すなわち、第２のしきい値ＴＨ２を第１
のしきい値ＴＨ１よりも高く設定する。そして、図２
（ｂ）に示すように、光電スイッチ１００のセンサヘッ
ド部１０１を測定位置に配置する。ここでは、センサヘ
ッド部１０１が反射型であるものとする。
検出物体２００の本体部２０１を検出可能な値に設定
し、第２のしきい値ＴＨ２をマーク２０２を検出可能な
値に設定する。すなわち、第２のしきい値ＴＨ２を第１
のしきい値ＴＨ１よりも高く設定する。そして、図２
（ｂ）に示すように、光電スイッチ１００のセンサヘッ
ド部１０１を測定位置に配置する。ここでは、センサヘ
ッド部１０１が反射型であるものとする。
【００３３】図３は図２の光電スイッチ１００における
受光量ならびに第１および第２の検出信号ＤＥＴ１，Ｄ
ＥＴ２を示す波形図である。図３に示すように、受光量
のレベルが第１のしきい値ＴＨ１を越えているときに第
１の検出信号ＤＥＴ１がオンし、受光量のレベルが第２
のしきい値ＴＨ２を越えているときに第２の検出信号Ｄ
ＥＴ２がオンする。したがって、第１の検出信号ＤＥＴ
１は、被検出物体２００の本体部２０１が検知領域に存
在するときにオンし、第２の検出信号ＤＥＴ２は、マー
ク２０２が検知領域に存在するときにオンする。
受光量ならびに第１および第２の検出信号ＤＥＴ１，Ｄ
ＥＴ２を示す波形図である。図３に示すように、受光量
のレベルが第１のしきい値ＴＨ１を越えているときに第
１の検出信号ＤＥＴ１がオンし、受光量のレベルが第２
のしきい値ＴＨ２を越えているときに第２の検出信号Ｄ
ＥＴ２がオンする。したがって、第１の検出信号ＤＥＴ
１は、被検出物体２００の本体部２０１が検知領域に存
在するときにオンし、第２の検出信号ＤＥＴ２は、マー
ク２０２が検知領域に存在するときにオンする。
【００３４】これにより、被検出物体２００の本体部２
０１およびマーク２０２を１つの光電スイッチ１００に
より検出することが可能となる。この場合、同じセンサ
ヘッド部１０１により本体部２０１およびマーク２０２
への投光および受光が行われるので、光電スイッチ１０
０により検出される本体部２０１とマーク２０２との間
に位置ずれが生じない。また、１つのセンサヘッド部１
０１により光が投射されるので、光の干渉の問題が生じ
ない。したがって、被検出物体２００の異なる２つの部
分を正確に測定することが可能となる。
０１およびマーク２０２を１つの光電スイッチ１００に
より検出することが可能となる。この場合、同じセンサ
ヘッド部１０１により本体部２０１およびマーク２０２
への投光および受光が行われるので、光電スイッチ１０
０により検出される本体部２０１とマーク２０２との間
に位置ずれが生じない。また、１つのセンサヘッド部１
０１により光が投射されるので、光の干渉の問題が生じ
ない。したがって、被検出物体２００の異なる２つの部
分を正確に測定することが可能となる。
【００３５】プログラマブルコントローラ等の外部機器
において、第１および第２の検出信号ＤＥＴ１，ＤＥＴ
２の論理和、論理積等の論理演算を行うこともできる。
次に、図４を用いて図１の光電スイッチ１００の動作の
他の例を説明する。図４は図１の光電スイッチ１００に
おける受光量を示す波形図である。
において、第１および第２の検出信号ＤＥＴ１，ＤＥＴ
２の論理和、論理積等の論理演算を行うこともできる。
次に、図４を用いて図１の光電スイッチ１００の動作の
他の例を説明する。図４は図１の光電スイッチ１００に
おける受光量を示す波形図である。
【００３６】本例では、第１のしきい値ＴＨ１を本来の
しきい値（入光レベル）として設定し、第２のしきい値
ＴＨ２を安定入光レベルとして設定する。この場合、第
１のしきい値ＴＨ１と第２のしきい値ＴＨ２との間の領
域が非安定領域となる。また、第１の検出信号ＤＥＴ１
が本来の検出信号として用いられ、第２の検出信号ＤＥ
Ｔ２は光電スイッチ１００の安定性を表示する安定性表
示信号として用いられる。
しきい値（入光レベル）として設定し、第２のしきい値
ＴＨ２を安定入光レベルとして設定する。この場合、第
１のしきい値ＴＨ１と第２のしきい値ＴＨ２との間の領
域が非安定領域となる。また、第１の検出信号ＤＥＴ１
が本来の検出信号として用いられ、第２の検出信号ＤＥ
Ｔ２は光電スイッチ１００の安定性を表示する安定性表
示信号として用いられる。
【００３７】受光量のレベルが第１のしきい値ＴＨ１を
越えているときに第１の検出信号ＤＥＴ１がオンし、受
光量のレベルが第２のしきい値ＴＨ２を越えているとき
に第２の検出信号ＤＥＴ２がオンする。光電スイッチ１
００が安定に動作しているときには、入光時に受光量の
レベルが第２のしきい値ＴＨ２を越える。
越えているときに第１の検出信号ＤＥＴ１がオンし、受
光量のレベルが第２のしきい値ＴＨ２を越えているとき
に第２の検出信号ＤＥＴ２がオンする。光電スイッチ１
００が安定に動作しているときには、入光時に受光量の
レベルが第２のしきい値ＴＨ２を越える。
【００３８】光軸のずれ、投光面または受光面の汚れ、
投光部の発光素子の特性劣化等により受光量のレベルが
低下すると、入光時でも受光量のレベルが第１のしきい
値ＴＨ１と第２のしきい値ＴＨ２との間の非安定領域ま
でしか上昇しなくなる。この場合、第１の検出信号ＤＥ
Ｔ１がオンし、かつ第２の検出信号ＤＥＴ２がオフす
る。それにより、作業者は、受光量のレベルが非安定領
域にあることを知ることができ、光電スイッチ１００が
不安定状態にあることを認識することができる。
投光部の発光素子の特性劣化等により受光量のレベルが
低下すると、入光時でも受光量のレベルが第１のしきい
値ＴＨ１と第２のしきい値ＴＨ２との間の非安定領域ま
でしか上昇しなくなる。この場合、第１の検出信号ＤＥ
Ｔ１がオンし、かつ第２の検出信号ＤＥＴ２がオフす
る。それにより、作業者は、受光量のレベルが非安定領
域にあることを知ることができ、光電スイッチ１００が
不安定状態にあることを認識することができる。
【００３９】なお、第１のしきい値ＴＨ１を安定遮光レ
ベルとして設定し、第２のしきい値ＴＨ２を本来のしき
い値（遮光レベル）として設定してもよい。図５は本発
明の第２の実施例による光電スイッチの処理部の構成を
示すブロック図である。第２の実施例の光電スイッチの
他の部分の構成は図１に示される構成と同様である。
ベルとして設定し、第２のしきい値ＴＨ２を本来のしき
い値（遮光レベル）として設定してもよい。図５は本発
明の第２の実施例による光電スイッチの処理部の構成を
示すブロック図である。第２の実施例の光電スイッチの
他の部分の構成は図１に示される構成と同様である。
【００４０】図５の処理部１ａが図１の処理部１と異な
るのは、比較部４および出力部５の代わりにそれぞれ比
較部４ａおよび出力部５ａを含み、第３のしきい値デー
タ用レジスタ９ａをさらに含む点である。処理部１ａの
他の部分の構成は、処理部１の構成と同様である。
るのは、比較部４および出力部５の代わりにそれぞれ比
較部４ａおよび出力部５ａを含み、第３のしきい値デー
タ用レジスタ９ａをさらに含む点である。処理部１ａの
他の部分の構成は、処理部１の構成と同様である。
【００４１】本実施例では、３回の感度設定処理におい
て得られた第１のしきい値ＴＨ１、第２のしきい値ＴＨ
２および第３のしきい値ＴＨ３がそれぞれ第１のしきい
値データ、第２のしきい値データおよび第３のしきい値
データとしてそれぞれレジスタ８，９，９ａに格納され
る。
て得られた第１のしきい値ＴＨ１、第２のしきい値ＴＨ
２および第３のしきい値ＴＨ３がそれぞれ第１のしきい
値データ、第２のしきい値データおよび第３のしきい値
データとしてそれぞれレジスタ８，９，９ａに格納され
る。
【００４２】比較部４ａは、受光量データと第１のしき
い値データとの比較、受光量データと第２のしきい値デ
ータとの比較および受光量データと第３のしきい値デー
タとの比較を時分割で行い、それらの比較結果を出力部
５ａを介して出力端子２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃにそれぞ
れ第１の検出信号ＤＥＴ１、第２の検出信号ＤＥＴ２お
よび第３の検出信号ＤＥＴ３として出力する。
い値データとの比較、受光量データと第２のしきい値デ
ータとの比較および受光量データと第３のしきい値デー
タとの比較を時分割で行い、それらの比較結果を出力部
５ａを介して出力端子２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃにそれぞ
れ第１の検出信号ＤＥＴ１、第２の検出信号ＤＥＴ２お
よび第３の検出信号ＤＥＴ３として出力する。
【００４３】次に、図６および図７を用いて第２の実施
例の光電スイッチの動作の一例を説明する。ここでは、
図６に示す被検出物体３００の本体部３０１、およびそ
の本体部３０１に付された２つのマーク３０２，３０３
を検出するものとする。本体部３０１、マーク３０２お
よびマーク３０３はそれぞれ異なる色または反射率を有
する。
例の光電スイッチの動作の一例を説明する。ここでは、
図６に示す被検出物体３００の本体部３０１、およびそ
の本体部３０１に付された２つのマーク３０２，３０３
を検出するものとする。本体部３０１、マーク３０２お
よびマーク３０３はそれぞれ異なる色または反射率を有
する。
【００４４】本例では、予め第１のしきい値ＴＨ１を本
体部３０１を検出可能な値に設定し、第２のしきい値Ｔ
Ｈ２をマーク３０２を検出可能な値に設定し、第３のし
きい値ＴＨ３をマーク３０３を検出可能な値に設定す
る。すなわち、第１のしきい値ＴＨ１、第２のしきい値
ＴＨ２および第３のしきい値ＴＨ３をこの順に高くなる
ように設定する。
体部３０１を検出可能な値に設定し、第２のしきい値Ｔ
Ｈ２をマーク３０２を検出可能な値に設定し、第３のし
きい値ＴＨ３をマーク３０３を検出可能な値に設定す
る。すなわち、第１のしきい値ＴＨ１、第２のしきい値
ＴＨ２および第３のしきい値ＴＨ３をこの順に高くなる
ように設定する。
【００４５】図７は図６の被検出物体３００を測定した
場合における受光量ならびに第１、第２および第３の検
出信号ＤＥＴ１〜ＤＥＴ３を示す波形図である。図７に
示すように、受光量のレベルが第１のしきい値ＴＨ１を
越えているときに第１の検出信号ＤＥＴ１がオンし、受
光量のレベルが第２のしきい値ＴＨ２を越えているとき
に第２の検出信号ＤＥＴ２がオンし、受光量のレベルが
第３のしきい値ＴＨ３を越えているときに第３の検出信
号ＤＥＴ３がオンする。したがって、第１の検出信号Ｄ
ＥＴ１は被検出物体３００の本体部３０１が検知領域に
存在するときにオンし、第２の検出信号ＤＥＴ２はマー
ク３０２，３０３が検知領域に存在するときにオンし、
第３の検出信号ＤＥＴ３はマーク３０３が検知領域に存
在するときにオンする。
場合における受光量ならびに第１、第２および第３の検
出信号ＤＥＴ１〜ＤＥＴ３を示す波形図である。図７に
示すように、受光量のレベルが第１のしきい値ＴＨ１を
越えているときに第１の検出信号ＤＥＴ１がオンし、受
光量のレベルが第２のしきい値ＴＨ２を越えているとき
に第２の検出信号ＤＥＴ２がオンし、受光量のレベルが
第３のしきい値ＴＨ３を越えているときに第３の検出信
号ＤＥＴ３がオンする。したがって、第１の検出信号Ｄ
ＥＴ１は被検出物体３００の本体部３０１が検知領域に
存在するときにオンし、第２の検出信号ＤＥＴ２はマー
ク３０２，３０３が検知領域に存在するときにオンし、
第３の検出信号ＤＥＴ３はマーク３０３が検知領域に存
在するときにオンする。
【００４６】これにより、被検出物体３００の本体部３
０１およびマーク３０２，３０３を１つの光電スイッチ
により検出することが可能となる。次に、図８を用いて
第２の実施例の光電スイッチの動作の他の例を説明す
る。図８は第２の実施例の光電スイッチにおける受光量
を示す波形図である。
０１およびマーク３０２，３０３を１つの光電スイッチ
により検出することが可能となる。次に、図８を用いて
第２の実施例の光電スイッチの動作の他の例を説明す
る。図８は第２の実施例の光電スイッチにおける受光量
を示す波形図である。
【００４７】本例では、第１のしきい値ＴＨ２を本来の
しきい値として設定し、第２のしきい値ＴＨ２を安定入
光レベルとして設定し、第３のしきい値ＴＨ３を安定遮
光レベルとして設定する。この場合、第１のしきい値Ｔ
Ｈ１と第２のしきい値ＴＨ２との間の領域および第１の
しきい値ＴＨ１と第３のしきい値ＴＨ３との間の領域が
非安定領域となる。また、第１の検出信号ＤＥＴ１が本
来の検出信号として用いられ、第２の検出信号ＤＥＴ２
は光電スイッチの入光時の安定性を表示する安定性表示
信号として用いられ、第３の検出信号ＤＥＴ３は光電ス
イッチの遮光時の安定性を表示する安定性表示信号とし
て用いられる。
しきい値として設定し、第２のしきい値ＴＨ２を安定入
光レベルとして設定し、第３のしきい値ＴＨ３を安定遮
光レベルとして設定する。この場合、第１のしきい値Ｔ
Ｈ１と第２のしきい値ＴＨ２との間の領域および第１の
しきい値ＴＨ１と第３のしきい値ＴＨ３との間の領域が
非安定領域となる。また、第１の検出信号ＤＥＴ１が本
来の検出信号として用いられ、第２の検出信号ＤＥＴ２
は光電スイッチの入光時の安定性を表示する安定性表示
信号として用いられ、第３の検出信号ＤＥＴ３は光電ス
イッチの遮光時の安定性を表示する安定性表示信号とし
て用いられる。
【００４８】受光量のレベルが第１のしきい値ＴＨ１を
越えているときに第１の検出信号ＤＥＴ１がオンし、受
光量のレベルが第２のしきい値ＴＨ２を越えているとき
に第２の検出信号ＤＥＴ２がオンし、受光量のレベルが
第３のしきい値ＴＨ３を越えているときに第３の検出信
号ＤＥＴ３がオンする。
越えているときに第１の検出信号ＤＥＴ１がオンし、受
光量のレベルが第２のしきい値ＴＨ２を越えているとき
に第２の検出信号ＤＥＴ２がオンし、受光量のレベルが
第３のしきい値ＴＨ３を越えているときに第３の検出信
号ＤＥＴ３がオンする。
【００４９】入光時に受光量のレベルが第１のしきい値
ＴＨ１と第２のしきい値ＴＨ２との間の非安定領域まで
しか上昇しないと、第１の検出信号ＤＥＴ１がオンし、
かつ第２の検出信号ＤＥＴ２がオフする。それにより、
作業者は、入光時の受光量のレベルが非安定領域にある
ことを知ることができ、光電スイッチが不安定状態にあ
ることを認識することができる。
ＴＨ１と第２のしきい値ＴＨ２との間の非安定領域まで
しか上昇しないと、第１の検出信号ＤＥＴ１がオンし、
かつ第２の検出信号ＤＥＴ２がオフする。それにより、
作業者は、入光時の受光量のレベルが非安定領域にある
ことを知ることができ、光電スイッチが不安定状態にあ
ることを認識することができる。
【００５０】遮光時に受光量のレベルが第１のしきい値
ＴＨ１と第３のしきい値ＴＨ２との間の非安定領域まで
しか低下しないと、第１の検出信号ＤＥＴ１がオフし、
かつ第３の検出信号ＤＥＴ３がオンする。それにより、
作業者は、遮光時の受光量のレベルが非安定領域にある
ことを知ることができ、光電スイッチが不安定状態にあ
ることを認識することができる。
ＴＨ１と第３のしきい値ＴＨ２との間の非安定領域まで
しか低下しないと、第１の検出信号ＤＥＴ１がオフし、
かつ第３の検出信号ＤＥＴ３がオンする。それにより、
作業者は、遮光時の受光量のレベルが非安定領域にある
ことを知ることができ、光電スイッチが不安定状態にあ
ることを認識することができる。
【００５１】なお、上記第１および第２の実施例では、
比較部４，４ａおよび出力部５，５ａがそれぞれ１つず
つ設けられているが、検出信号の数に対応する比較部お
よび出力部を設けてもよい。例えば、図１の比較部４お
よび出力部５の代わりに、図９に示すように、第１の検
出信号ＤＥＴ１に対応する比較部４１および出力部５１
を設け、第２の検出信号ＤＥＴ２に対応する比較部４２
および出力部５２を設けてもよい。
比較部４，４ａおよび出力部５，５ａがそれぞれ１つず
つ設けられているが、検出信号の数に対応する比較部お
よび出力部を設けてもよい。例えば、図１の比較部４お
よび出力部５の代わりに、図９に示すように、第１の検
出信号ＤＥＴ１に対応する比較部４１および出力部５１
を設け、第２の検出信号ＤＥＴ２に対応する比較部４２
および出力部５２を設けてもよい。
【００５２】この場合、比較部４１は、受光量データと
第１のしきい値データとを比較し、その比較結果を出力
部５１を介して出力端子２６Ａに第１の検出信号ＤＥＴ
１として出力する。比較部４２は、受光量データと第２
のしきい値データとを比較し、その比較結果を出力部５
２を介して出力端子２６Ｂに第２の検出信号ＤＥＴ２と
して出力する。
第１のしきい値データとを比較し、その比較結果を出力
部５１を介して出力端子２６Ａに第１の検出信号ＤＥＴ
１として出力する。比較部４２は、受光量データと第２
のしきい値データとを比較し、その比較結果を出力部５
２を介して出力端子２６Ｂに第２の検出信号ＤＥＴ２と
して出力する。
【００５３】上記実施例では、本発明を光電スイッチに
適用した場合を説明したが、本発明は、近接スイッチ、
超音波スイッチ等の他の検出スイッチにも同様にして適
用することができる。
適用した場合を説明したが、本発明は、近接スイッチ、
超音波スイッチ等の他の検出スイッチにも同様にして適
用することができる。
【図１】本発明の第１の実施例における光電スイッチの
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図２】被検出物体の一例およびその被検出物体の測定
方法を示す図である。
方法を示す図である。
【図３】図２の被検出物体を測定した場合における受光
量ならびに第１および第２の検出信号を示す波形図であ
る。
量ならびに第１および第２の検出信号を示す波形図であ
る。
【図４】第１の実施例の光電スイッチの動作の他の例に
おける受光量を示す波形図である。
おける受光量を示す波形図である。
【図５】本発明の第２の実施例による光電スイッチの処
理部の構成を示すブロック図である。
理部の構成を示すブロック図である。
【図６】被検出物体の他の例を示す図である。
【図７】図６の被検出物体を測定した場合における受光
量ならびに第１、第２および第３の検出信号を示す波形
図である。
量ならびに第１、第２および第３の検出信号を示す波形
図である。
【図８】第２の実施例の光電スイッチの動作の他の例に
おける受光量を示す波形図である。
おける受光量を示す波形図である。
【図９】比較部および出力部の他の例を示すブロック図
である。
である。
【図１０】被検出物体の一例およびその被検出物体を従
来の光電スイッチにより測定する方法を示す図である。
来の光電スイッチにより測定する方法を示す図である。
【図１１】図１０の２つの光電スイッチにおける受光量
および検出信号を示す波形図である。
および検出信号を示す波形図である。
【図１２】受光量、しきい値および安定入光レベルの関
係を示す波形図である。
係を示す波形図である。
１，１ａ 処理部 ２ 制御部 ４，４ａ，４１，４２ 比較部 ５，５ａ，５１，５２ 出力部 ６ 感度設定制御部 ７，８，９，９ａ レジスタ １２ 発光素子 １３ 受光素子 １８ 感度設定スイッチ １９ アップスイッチ ２０ ダウンスイッチ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｖ 8/12 Ｈ０３Ｋ 17/945 Ｂ Ｈ０３Ｋ 17/945 Ｇ０１Ｖ 9/04 Ｊ
Claims (2)
- 【請求項１】 被検出物体の有無に基づく検出量を出力
する検出手段と、 複数のしきい値をそれぞれ独立に設定する設定手段と、 前記検出手段により得られた検出量を前記設定手段によ
り設定された前記複数のしきい値とそれぞれ比較して前
記複数のしきい値に対応する複数の検出結果を出力する
比較手段とを備えたことを特徴とする検出スイッチ。 - 【請求項２】 前記設定手段は、設定時に前記検出手段
により得られる検出時および非検出時の検出量に基づい
てしきい値を設定する自動設定手段を含み、 前記設定手段により設定された前記複数のしきい値をそ
れぞれ独立に調整する調整手段をさらに備えたことを特
徴とする請求項１記載の検出スイッチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8060865A JPH09252243A (ja) | 1996-03-18 | 1996-03-18 | 検出スイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8060865A JPH09252243A (ja) | 1996-03-18 | 1996-03-18 | 検出スイッチ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09252243A true JPH09252243A (ja) | 1997-09-22 |
Family
ID=13154719
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8060865A Pending JPH09252243A (ja) | 1996-03-18 | 1996-03-18 | 検出スイッチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09252243A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006194805A (ja) * | 2005-01-17 | 2006-07-27 | Keyence Corp | 放射温度計 |
| JP2008020284A (ja) * | 2006-07-12 | 2008-01-31 | Anritsu Sanki System Co Ltd | 収容品検査装置 |
| JP2009278069A (ja) * | 2008-04-17 | 2009-11-26 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置 |
| JP2020022091A (ja) * | 2018-08-01 | 2020-02-06 | オムロン株式会社 | 光電センサ |
-
1996
- 1996-03-18 JP JP8060865A patent/JPH09252243A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006194805A (ja) * | 2005-01-17 | 2006-07-27 | Keyence Corp | 放射温度計 |
| JP4589735B2 (ja) * | 2005-01-17 | 2010-12-01 | 株式会社キーエンス | 放射温度センサ |
| JP2008020284A (ja) * | 2006-07-12 | 2008-01-31 | Anritsu Sanki System Co Ltd | 収容品検査装置 |
| JP4494371B2 (ja) * | 2006-07-12 | 2010-06-30 | アンリツ産機システム株式会社 | 収容品検査装置 |
| JP2009278069A (ja) * | 2008-04-17 | 2009-11-26 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置 |
| JP2020022091A (ja) * | 2018-08-01 | 2020-02-06 | オムロン株式会社 | 光電センサ |
| WO2020026832A1 (ja) * | 2018-08-01 | 2020-02-06 | オムロン株式会社 | 光電センサ |
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