JPH09245746A

JPH09245746A - マイクロ波放電光源装置

Info

Publication number: JPH09245746A
Application number: JP5278096A
Authority: JP
Inventors: Akira Hochi; 保知　　昌; Mamoru Takeda; 守竹田
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1996-03-11
Filing date: 1996-03-11
Publication date: 1997-09-19
Anticipated expiration: 2016-03-11
Also published as: JP3173362B2

Abstract

(57)【要約】【課題】従来のマイクロ波放電光源装置は、マイクロ
波共振空洞内に無電極放電ランプを配設し、給電口を介
してマイクロ波エネルギーを供給していたため、給電口
のスロット間で気中放電が起きるといった問題点を有し
ていた。【解決手段】両端部がマイクロ波反射終端をなし、か
つ少なくとも一部が導電性光透過部材からなるマイクロ
波導波管１２により、マイクロ波発振器によって励振さ
れたマイクロ波を伝播する。伝播されたマイクロ波によ
って放電発光する充填物を内部に封入した無電極放電ラ
ンプ１１をマイクロ波導波管１２内部に設け、放電開始
前ではなく安定放電時に、ＶＳＷＲが２以下になるよう
に無電極ランプ１１と前記励振部との距離を定めた構成
とする。これにより、マイクロ波共振空洞を不要とし
た、マイクロ波放電光源装置を提供する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、高エネルギー光出
力の照明に利用されるマイクロ波放電光源装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、高圧放電ランプ、特にメタルハラ
イドランプは、高効率、高演色性という特性から、ハロ
ゲンランプに変わる高出力点光源として、液晶ビデオプ
ロジェクター用光源などへの応用が進められている。ま
た、その高演色性という特性から、ハイビジョン中継に
対応したスポーツ照明や博物館・美術館の施設照明など
への展開も進められている。

【０００３】中でも、マイクロ波放電光源装置は、有電
極アーク放電ランプ装置に比して、電磁エネルギーを充
填物に結合しやすく、放電発光のための充填物から水銀
を省くことが容易であるという利点を持つ。また、放電
空間内部に電極を持たないため、電極蒸発によるバルブ
内壁の黒化が発生しない。これによりランプ寿命を大幅
に伸ばすことが可能となる。

【０００４】以下に従来のマイクロ波放電光源装置の例
として、図７に特公昭５９−２３６１３号公報に開示さ
れているものを示す。図７において、７１は可電離媒体
を封入した無電極放電ランプ、７２は無電極放電ランプ
を囲みマイクロ波および無電極ランプからの光に対して
不透明で回転放物面形状を有する反射板、７３は反射板
７２の開口面を覆いマイクロ波に対して不透明でかつ光
に対して実質的に透過させる金属網よりなる光透過体で
ある。光透過体７３と反射板７２によりマイクロ波共振
空洞７４を形成している。なお、７６は共振空洞７４内
に設けられた給電口、７５はマイクロ波を励振し、マイ
クロ波共振空洞７４に給電口７６を介して供給されるマ
イクロ波を伝播するマイクロ波発振器およびマイクロ波
導波管である。給電口７６を介してマイクロ波共振空洞
７４に内に供給されるマイクロ波エネルギーは、マイク
ロ波共振空洞壁面で反射しながら共振マイクロ波電磁場
を形成する。無電極放電ランプ７１はマイクロ波電磁場
のエネルギーを吸収する事によって放電を持続する。こ
の放電によって発生した光が反射板７２により反射さ
れ、光透過体７３を通過して照明光として用いられる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、両端部に壁面を有するマイクロ波共振空
洞内に無電極放電ランプを配設し、給電口を介してマイ
クロ波エネルギーを供給しているので、無電極放電ラン
プの放電開始前後でマイクロ波空洞内部のマイクロ波励
振電磁場の共振条件が大きく変化する。

【０００６】それは、放電開始前には無電極放電ランプ
部分は、おおよそ空気と変わらぬ誘電率を持った誘電体
とみなせるが、放電開始後、特に安定高圧放電時はラン
プ内部のガスの電離が進み導体として振る舞うためであ
る。

【０００７】これら従来例では一般に、放電開始前にマ
イクロ波共振空洞の電場が最大となる点、即ちマイクロ
波空洞共振器のモードによって定まる定在波の電場の腹
となる部分に無電極放電ランプを配設する。しかし、放
電開始後は無電極放電ランプ内部の電離プラズマにより
この放電ランプ部分が導体として振る舞い電場の節とな
るため、空洞共振器のモードは大きく乱される。それに
伴って、無電極放電ランプの放電開始後に給電口周辺が
電場の定在波の腹となろうとして強い表面電流が生じ
る。そのため、給電口周辺での表面電流に対する電気的
抵抗によるマイクロ波エネルギーの損失が起きるという
問題点や、給電口のスロット間で気中放電が起きるとい
う問題点を有していた。

【０００８】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、マイクロ波空洞をなくすことで、無電極放電ランプ
の安定放電点灯状態において電場が集中するマイクロ波
給電口を不要とした、マイクロ波放電光源装置を提供す
ることを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に第１の発明におけるマイクロ波放電光源装置は、両端
部がマイクロ波に対して電気的に短絡された反射終端を
なし、かつ少なくとも一部がマイクロ波を遮断し光を透
過させることができる導電性光透過部材からなるマイク
ロ波導波管により、マイクロ波発振器によって励振され
たマイクロ波を伝播し、伝播されたマイクロ波によって
放電発光する充填物を内部に封入した無電極放電ランプ
をマイクロ波導波管内部に設け、かつ放電開始前ではな
く安定放電時にインピーダンス整合が得られ、ＶＳＷＲ
が十分に小さくなるように、前記励振部と前記無電極放
電ランプの距離を定めた構成を有している。

【００１０】次に、第２の発明におけるマイクロ波放電
光源装置は、第１の発明におけるマイクロ波放電光源装
置の無電極放電ランプから出た光を有効に利用するため
に、光を反射させる部材からなる放物面形状の第２のマ
イクロ波導波管による反射鏡を設け、マイクロ波を遮断
し光を透過させることができる導電性光透過性部材を前
記第２のマイクロ波導波管の開口端部を電気的に短絡す
るように設け、かつ前記第２のマイクロ波導波管の放物
面の焦点近傍に無電極放電ランプを設けた構成を有して
いる。

【００１１】また、第３の発明におけるマイクロ波放電
光源装置は第１の発明におけるマイクロ波放電光源装置
の無電極放電ランプから出た光を有効に利用するため
に、導電性光透過部材からなるマイクロ波導波管の外周
囲に放物面形状の光反射性部材からなる反射鏡を設けた
構成を有している。

【００１２】

【発明の実施の形態】

（実施の形態１）以下、本発明の第１の実施の形態につ
いて、図１から図３を参照しながら説明する。図１にお
いて、１１はマイクロ波によって放電発光する可電離媒
体を充填した球形の石英ガラスからなる無電極放電ラン
プであり、石英ガラス製の支持棒により支持されてい
る。１２はマイクロ波に対して不透明でかつ光に対して
実質的に透過させる金属網の導電性光透過部材からなる
マイクロ波導波管部である。１３は通常の金属導体から
なるマイクロ波導波管である。１４はマイクロ波を励振
するためのマグネトロンであり、マイクロ波導波管１３
内部に発振アンテナ１５が設けられている。高電圧電源
よりマグネトロン１４に高電圧を加えることでマイクロ
波導波管１２、１３の内部にマイクロ波が発振され、そ
の伝播したマイクロ波により無電極放電ランプ１１内部
の可電離媒体が放電を起こし発光する。放電による発光
はマイクロ波導波管１２の金属網を通じて外部に取り出
される。

【００１３】マイクロ波導波管１２、および１３はとも
にアルミニウムや銅のような電気抵抗の低い導体からな
り、矩形ＴＥ₁₀モードでマイクロ波を伝播するように断
面形状が定められている。安定放電時の無電極放電ラン
プ１１のプラズマの負荷インピーダンスと発振アンテナ
１１から伝播するマイクロ波の入力インピーダンスが整
合してＶＳＷＲ（電圧定在波比）が２以下になるよう
に、無電極放電ランプ１１と発振アンテナ１５の距離を
定めている。さらに好適には、ＶＳＷＲが１．５以下に
なるように前記距離が設定される。この無電極放電ラン
プ１１と発振アンテナ１５の距離は、無電極放電ランプ
１１の負荷インピーダンスによって変化するため、一意
的に定めることはできない。無電極放電ランプ内部の封
入物質や封入量の変化によって、点灯時の放電プラズマ
の特性が変われば、それに伴って変化する。

【００１４】またさらに好適には、無電極放電ランプ１
１はマイクロ波導波管１２の終端部から１／４管内波長
離れた距離に球の中心部がくるように、石英ガラスから
なる支持棒により支持される。放電開始前にはマイクロ
波導波管１２の終端部近傍には、前記終端部を節とする
マイクロ波定在波が生じている。前記終端部からマイク
ロ波導波管のモードによって定まる管内波長の１／４離
れた位置に無電極放電ランプ１１を設けられる事によ
り、放電始動前にマイクロ波電場の腹部に無電極放電ラ
ンプ１１が位置する事になり始動が容易になる。また１
／４管内波長の奇数倍離れた位置もまたマイクロ波電場
の腹部にあたるので、同様の効果が得られる。

【００１５】以上の説明を、図２と図８を参照しながら
もう少し詳しく説明する。図２は本実施の形態によるマ
イクロ波放電光源装置の無電極放電ランプとその周辺の
マイクロ波導波管の横断面の概略図である。図８は従来
のマイクロ波放電光源装置の無電極放電ランプとその周
辺のマイクロ波空洞、マイクロ波導波管の横断面の概略
図である。図２と図８ともに、（ａ）は無電極放電ラン
プ点灯前の、（ｂ）は無電極放電ランプ点灯後安定放電
時のマイクロ波導波管中央部でのマイクロ波定在波電場
の強度分布をそれぞれ示している。

【００１６】図８に示すような従来のマイクロ波空洞の
内部に無電極放電ランプを設けた構成からなるマイクロ
波放電光源装置では、図８（ａ）に示すように、マイク
ロ波空洞８４の大きさをマイクロ波導波管８２の１／２
管内波長（またはその整数倍）にして、放電開始前に無
電極放電ランプ８１を定在波電場８３の腹部（即ちマイ
クロ波空洞の壁より１／４管内波長またはその奇数倍の
位置）に設けていた。

【００１７】しかしながら、無電極放電ランプが点灯し
放電が安定した後には、マイクロ波定在波電場８３は図
８（ｂ）に示すように無電極放電ランプ８１の位置が定
在波電場８３の節部となるように変化する。これは、無
電極放電ランプ内部のプラズマが導電体として振舞い、
表面電流が流れるためである。そのため、そこから１／
４管内波長（またはその奇数倍）離れた位置にあるマイ
クロ波空洞の給電口８５部分の電場が強くなり、給電口
８５を形成するスロット間で空中放電が生じたり、給電
口８５の周辺に大きな表面電流が流れマイクロ波の損失
が増大したりする。

【００１８】一方本実施の形態の構成によれば、図２
（ａ）に示すように、不点灯時にはマイクロ波導波管２
２内部の定在波電場２３の腹部（すなわち導波管の端部
より１／４管内波長離れた位置またはその奇数倍離れた
位置）に無電極放電ランプ２１が置かれている。点灯開
始前の定在波電場２３の強度は無電極放電ランプ２１内
部のプラズマの放電を開始させるのに十分であればよ
い。次に図２（ｂ）に示すように、無電極放電ランプ点
灯後の放電が安定している時は、発振器より伝播したマ
イクロ波は負荷である無電極放電ランプとインピーダン
ス整合することにより、プラズマにおいてエネルギー消
費されて、反射波が十分に小さくなるように構成されて
いる。この構成では給電口を持たないため、無電極放電
ランプ点灯後の負荷インピーダンスの変化による定在波
分布の変化に対して気中放電やマイクロ波損失の増大と
いった問題を生じない。

【００１９】すなわち、本構成によれば、マイクロ波共
振空洞を用いずに、マイクロ波導波管を伝播してきたマ
イクロ波を無電極放電ランプに直接結合させることが可
能となる。

【００２０】次に、図３は図１で例示したマイクロ波放
電光源装置のマイクロ波導波管の途中にコーナー部を設
けた構成を示す。マグネトロン３４から発振されたマイ
クロ波はマイクロ波導波管３３を通して伝播し、コーナ
ー部３５で進行方向を９０°変化する。その後光透過性
部材からなるマイクロ波導波管３２に伝播する。このマ
イクロ波により、マイクロ波導波管３２内に設けられた
無電極放電ランプ３１内部の可電離媒体が励起され発光
する。無電極放電ランプ３１から生じた放射光は、マイ
クロ波導波管３２を通して外部に取り出される。先の例
と同様にマグネトロン３４の発振アンテナと無電極放電
ランプ３１の距離は、入力と負荷のインピーダンス整合
が得られ、ＶＳＷＲが十分に小さくなるように定められ
る。

【００２１】マイクロ波導波管の伝播方向に光を取り出
そうとする時に、本構成をとることで、装置の奥行きを
浅くする事が可能になる。これは、装置の取付け空間の
奥行きが狭く、制限される場合などに有効な構成であ
る。

【００２２】また、図４は図１で例示したマイクロ波放
電光源装置の金属網部のマイクロ波導波管部分を発振部
と異なるモードとするためマイクロ波導波管の途中にテ
ーパー部を設けた構造としたものである。マグネトロン
４４から発振されたマイクロ波はマイクロ波導波管４３
に矩形ＴＥ₁₀モードで伝播していく。このマイクロ波は
テーパー部４５を通して円筒ＴＥ₁₀モードに変換され光
透過性部材からなる円筒マイクロ波導波管４２に伝播さ
れる。このマイクロ波により、無電極放電ランプ４１内
部の可電離媒体がプラズマをなし、放射光が取り出され
る。この構成を取る事により、例えば矩形ＴＥ₁₀モード
から円筒ＴＥ10モードへの変換が可能となる。本構成
は、無電極放電ランプからの放射光を取り出すための金
属網部分が円筒形である事が望ましい時や、マイクロ波
発振手段周辺と無電極放電ランプ周辺の導波管形状やモ
ードを変化させたい時に有効である。

【００２３】なお、以上の説明では、マイクロ波導波管
を矩形および円筒のＴＥ₁₀モードで構成した例で説明し
たが、その他のモードのマイクロ波導波管で構成しても
同様に実施可能である。

【００２４】また、コーナー部で矩形導波管から円筒導
波管に変換するといった、図３、図４で例示した方法を
あわせ持つ構成を取ることも無論可能である。

【００２５】以上のように本実施の形態によれば、マイ
クロ波共振空洞およびそれを形成するための空洞壁と給
電口を設けずに、プラズマの負荷インピーダンスが発振
器からの入力インピーダンスと整合して反射波が生じな
いように、無電極放電ランプをマイクロ波導波管内部に
設けることで、安定放電時に強い電場が生じようとする
給電口を不要にし、マイクロ波の損失を低減し、給電口
によるマイクロ波導波管内部での気中放電を防止したマ
イクロ波放電光源装置を得る事ができる。

【００２６】（実施の形態２）次に本発明の第２の実施
の形態について、図５を参照しながら説明する。

【００２７】図５において、５１はマイクロ波によって
放電発光する充填物を封入した石英ガラスからなる球形
の無電極放電ランプであり、石英ガラス製の棒により支
持されている。５６は通常の金属導体からなる第１のマ
イクロ波導波管である。５２は内壁が放物面形状の光反
射性の金属導体からなる第２のマイクロ波導波管による
反射鏡である。第１のマイクロ波導波管５６と第２のマ
イクロ波導波管５２は接合部５５で接合される。５３は
マイクロ波に対して不透明でかつ光に対して実質的に透
過させる金属網からなる導電性光透過性部材であり、マ
イクロ波導波管５２の開口端部を短絡するように設けら
れている。５４はマイクロ波を励振するためのマグネト
ロンであり、マイクロ波導波管５２、５６を通じて伝播
したマイクロ波により無電極放電ランプ５１内部の充填
物が放電を起こし発光する。

【００２８】無電極放電ランプ５１は、反射鏡の焦点部
分に設けられている。無電極放電ランプより生じた放射
光の内、開口部から直接放射されないものは、第２のマ
イクロ波導波管５２の内壁により反射され、マイクロ波
導波管５２に設けられた金属網５３を通じて外部に平行
光として取り出される。

【００２９】また、結合部５５手前のマイクロ波導波管
５６の途中にコーナー部を設けて光射出方向を変化させ
たり、テーパー部を設ける事で結合部５５の断面形状を
変化させる事が可能である。

【００３０】以上のように本実施の形態によれば、マイ
クロ波の損失を低減し、マイクロ波導波管内部での給電
口による気中放電を防止できる第１の実施の形態の効果
に加えて、無電極放電ランプから生じた放射光を平行光
として取り出す事ができ、より有効に利用できる。

【００３１】さらに好適には、第１のマイクロ波導波管
５６と第２のマイクロ波導波管５２の接合部５５の断面
部に石英ガラスにダイクロイックコートを施したような
低誘電損失の誘電体からなる反射板を設ける事で、より
放射光の回収効率を上げる事が可能となる。また、その
反射板は平面であっても十分に有用であるが、第２のマ
イクロ波導波管５２のなす放物面を補う形状とする事
で、より平行光の回収効率を上げる事ができる。

【００３２】なお、本実施の形態において、反射鏡をな
すマイクロ波導波管の材料を、金属導体としたもので例
示したが、内側が石英ガラスにダイクロイックコートを
施したような低誘電損失の誘電体材料からなり、外側に
開口部に用いられている金属網のような、マイクロ波に
対して不透明な導電性光透過部材を重ね合わせた部材で
構成する事も可能である。反射鏡にこういった部材を用
いる事で不要な赤外線の前面への反射を防止する事が可
能になるといった効果が得られる。

【００３３】（実施の形態３）次に本発明の第３の実施
の形態について、図６を参照しながら説明する。

【００３４】図６において、６１はマイクロ波によって
放電発光する充填物を封入した球形の石英ガラスからな
る無電極放電ランプであり、石英ガラス製の支持棒で支
持されている。６２はマイクロ波に対して不透明でかつ
光に対して実質的に透過させる金属網よりなる導電性光
透過部材からなるマイクロ波導波管部である。６３は通
常の金属導体からなるマイクロ波導波管である。６４は
マイクロ波を励振するためのマグネトロンであり、マイ
クロ波導波管６３内部に発振アンテナが設けられてい
る。６５は内壁が放物面形状の反射鏡であり、無電極放
電ランプ６１は、反射鏡６５の焦点部分に設けられてい
る。

【００３５】本実施の形態のように、金属網からなる導
電性光透過部材の外側に反射鏡を設けた構成とする事に
より、第１の実施の形態と同様の効果が得られるばかり
でなく、不必要な方向へ向かう放射光の回収効率を改善
し、望ましい平行光線を得る事ができる。これによって
無電極放電ランプからの放射光の利用効率が改善でき
る。

【００３６】なお、第２の実施の形態と同様に、マイク
ロ波導波管の内部に反射鏡の回転放物面を補間するよう
に、石英ガラスにダイクロイックコートを施したような
低誘電損失の誘電体からなる反射板を設ける事で、より
放射光の回収効率を上げる事が可能となる。またその反
射板は平面であっても十分に有用であるが、放物面形状
とする事で、より平行光線の回収効率を上げる事ができ
る。

【００３７】なお、以上の第１から第３の実施の形態で
は、無電極放電ランプを球形で構成した例で説明した
が、円筒形状の被包体で構成しても、放物面鏡の形状を
回転形状型から長尺形状型に変える事で同様に実施可能
である。また、マイクロ波発振器についても特にマグネ
トロンに限るものではなく、半導体素子を用いたマイク
ロ波発振手段でも実施可能である。

【００３８】

【発明の効果】以上のように本発明は、両端部がマイク
ロ波に対して電気的に短絡された反射終端をなし、かつ
少なくとも一部がマイクロ波を遮断し光を透過させるこ
とができる導電性光透過部材からなるマイクロ波導波管
により、マイクロ波発振器によって励振されたマイクロ
波を伝播し、伝播されたマイクロ波によって放電発光す
る充填物を内部に封入した無電極放電ランプをマイクロ
波導波管内部に設け、前記無電極ランプと前記励振部と
の距離を安定放電時にインピーダンス整合が取れるよう
にマイクロ波導波管の形状を定めた構成とすることによ
り、マイクロ波共振空洞および給電口を不要にし、マイ
クロ波の損失を低減し、給電口によるマイクロ波導波管
内部での気中放電を防止することができる優れたマイク
ロ波無電極放電光源装置を実現できるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１におけるマイクロ波放電
光源装置の一部切り欠き斜視図

【図２】（ａ）本発明の実施の形態１におけるマイクロ
波放電光源装置の無電極放電ランプ点灯前の横断面の概
略図（ｂ）無電極放電ランプ安定点灯後の横断面の概略図

【図３】マイクロ波導波管の途中にコーナー部を設けた
本発明の実施の形態１におけるマイクロ波放電光源装置
の一部切り欠き斜視図

【図４】マイクロ波導波管の途中にテーパー部を設けた
本発明の実施の形態１におけるマイクロ波放電光源装置
の一部切り欠き斜視図

【図５】本発明の実施の形態２におけるマイクロ波放電
光源装置の一部切り欠き斜視図

【図６】本発明の実施の形態３におけるマイクロ波放電
光源装置の一部切り欠き斜視図

【図７】従来例におけるマイクロ波放電光源装置の一部
切り欠き斜視図

【図８】（ａ）従来例におけるマイクロ波放電光源装置
の無電極放電ランプ点灯前の横断面の概略図（ｂ）無電極放電ランプ安定点灯後の横断面の概略図

【符号の説明】

１１，２１，３１，４１，５１，６１，８１無電極放
電ランプ１２，３２，４２，６２導電性光透過部材からなるマ
イクロ波導波管５３導電性光透過部材からなるマイクロ波導波管開口
短絡部５２，６５反射鏡１３，２３，３３，４３，５６，６３，８２マイクロ
波導波管１４，３４，４４，５４，６４マグネトロン２３，８３マイクロ波定在波電場の強度分布

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】マイクロ波発振器と、前記マイクロ波発振
器によって励振されたマイクロ波を伝播し、かつ両端部
がマイクロ波に対して電気的に短絡された反射終端をな
し、かつその少なくとも一部がマイクロ波を遮断し光を
透過させることができる導電性光透過部材からなるマイ
クロ波導波管と、前記マイクロ波導波管によって伝播さ
れたマイクロ波によって放電発光する充填物を内部に封
入した無電極放電ランプを有し、前記励振部と前記無電
極放電ランプを前記マイクロ波導波管内部に設け、かつ
安定放電時にＶＳＷＲが２以下となるように前記励振部
と前記無電極放電ランプの距離を定めたことを特徴とす
るマイクロ波放電光源装置。
【請求項２】一方の反射終端の近傍に前記マイクロ波発
振器の励振部を設け、かつ逆側の反射終端から管内波長
の１／４の奇数倍の距離に無電極放電ランプを設けたこ
とを特徴とする請求項１記載のマイクロ波放電光源装
置。
【請求項３】無電極放電ランプの被包体が概略球状もし
くは概略円筒状であることを特徴とする請求項１記載の
マイクロ波放電光源装置。
【請求項４】マイクロ波発振器と無電極放電ランプの間
のマイクロ波導波管の少なくとも一部にコーナー部を設
けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の
マイクロ波放電光源装置。
【請求項５】マイクロ波発振器と無電極放電ランプの間
のマイクロ波導波管の少なくとも一部にテーパー部を設
けて、前記マイクロ波発振器周辺と前記無電極放電ラン
プ周辺の前記マイクロ波導波管の断面形状を異なるもの
としたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載
のマイクロ波放電光源装置。
【請求項６】マイクロ波発振器によって励振されたマイ
クロ波を伝播する第１のマイクロ波導波管と、光を反射
させる部材からなる放物面形状の第２のマイクロ波導波
管による反射鏡と、マイクロ波を遮断し光を透過させる
ことができる導電性光透過性部材を有し、前記第１のマ
イクロ波導波管から前記第２のマイクロ波導波管にマイ
クロ波が伝播するように接合し、かつ前記第２のマイク
ロ波導波管の開口端部をマイクロ波に対して電気的に短
絡するように前記導電性光透過部材を設け、かつ前記第
２のマイクロ波導波管の放物面の焦点近傍に無電極放電
ランプを設け、前記反射鏡により反射された光を前記導
電性光透過性部材より取り出すようにする事を特徴とす
る請求項１〜５のいずれかに記載のマイクロ波放電光源
装置。
【請求項７】マイクロ波発振器からマイクロ波を伝播す
る第１のマイクロ波導波管と放物面形状の第２のマイク
ロ波導波管との接合部の断面部分に、誘電体からなる反
射部材を設けたことを特徴とする請求項６記載のマイク
ロ波放電光源装置。
【請求項８】導電性光透過部材からなるマイクロ波導波
管の外周囲に放物面形状の光反射性部材からなる反射鏡
を設け、無電極放電ランプを前記反射鏡の焦点に設けた
ことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のマイ
クロ波放電光源装置。
【請求項９】導電性光透過部材からなるマイクロ波導波
管の外周囲の光反射性部材からなる反射鏡の放物面をマ
イクロ波導波管内部へ延在した場所に誘電体からなる第
２の反射鏡を設けた事を特徴とする請求項８記載のマイ
クロ波放電光源装置。