JPH09243427A - 吸入空気流量測定装置用センサ - Google Patents
吸入空気流量測定装置用センサInfo
- Publication number
- JPH09243427A JPH09243427A JP8075369A JP7536996A JPH09243427A JP H09243427 A JPH09243427 A JP H09243427A JP 8075369 A JP8075369 A JP 8075369A JP 7536996 A JP7536996 A JP 7536996A JP H09243427 A JPH09243427 A JP H09243427A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- film
- sensitive resistor
- nichrome
- intake air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 吸入空気流量測定装置用センサにおいて、金
属膜上に容易にパターンを形成できるようにすることを
課題とする。 【解決手段】 吸入空気流量測定装置用センサにおい
て、電気的絶縁を有するセラミック基板17上にニクロム
膜及びニッケル膜が任意の順序で形成され、ニクロム膜
及びニッケル膜にエッチング又は微細ビームにより同時
にパターンが形成されたことを構成とする。なお、ニッ
ケル膜の厚みをニッケル膜及びニクロム膜の合計の厚み
の１／２以上で、使用範囲を１００°Ｃから３５０°Ｃ
とすることができる。
属膜上に容易にパターンを形成できるようにすることを
課題とする。 【解決手段】 吸入空気流量測定装置用センサにおい
て、電気的絶縁を有するセラミック基板17上にニクロム
膜及びニッケル膜が任意の順序で形成され、ニクロム膜
及びニッケル膜にエッチング又は微細ビームにより同時
にパターンが形成されたことを構成とする。なお、ニッ
ケル膜の厚みをニッケル膜及びニクロム膜の合計の厚み
の１／２以上で、使用範囲を１００°Ｃから３５０°Ｃ
とすることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、吸入空気流量測定
装置用センサに係り、特に、車両用内燃機関の吸入空気
量を検出する空気流量測定装置に用いられるセンサに関
する。
装置用センサに係り、特に、車両用内燃機関の吸入空気
量を検出する空気流量測定装置に用いられるセンサに関
する。
【０００２】
【従来の技術】吸入空気流量測定装置は、吸入空気の流
れの中に感温抵抗体（センサ）を設置し、この感温抵抗
体に制御された発熱用電流を供給して感温抵抗体の温度
を一定に維持させ、感温抵抗体に流す電流値から吸入空
気量を検出するように構成されている。この場合、吸入
空気によって感温抵抗体が奪われる熱量に相当する電力
が感温抵抗体へ常時供給され、感温抵抗体の温度が一定
に維持されている。
れの中に感温抵抗体（センサ）を設置し、この感温抵抗
体に制御された発熱用電流を供給して感温抵抗体の温度
を一定に維持させ、感温抵抗体に流す電流値から吸入空
気量を検出するように構成されている。この場合、吸入
空気によって感温抵抗体が奪われる熱量に相当する電力
が感温抵抗体へ常時供給され、感温抵抗体の温度が一定
に維持されている。
【０００３】図４は、従来の吸入空気流量測定装置用セ
ンサを示す（例えば特開平５−７２２２１号公報参
照）。プリント基板１上にヒータ用感温抵抗体２、温度
補償用感温抵抗体３及び検出回路４が形成され、ヒータ
用感温抵抗体２及び温度補償用感温抵抗体３は検出回路
４に接続されている。ヒータ用感温抵抗体２及び温度補
償用感温抵抗体３は、例えば厚み0.15mmの長方形のアル
ミナ基板上に白金膜を形成し、白金膜に微細ビーム（例
えばレーザ）又はエッチングによりパターンを形成する
ことにより製作される。ヒータ用感温抵抗体２に電流が
流されて、ヒータ用感温抵抗体２は加熱され、ここに気
流が接触するとヒータ用感温抵抗体２の熱が奪われ、こ
の温度変化にともなうヒータ用感温抵抗体２の抵抗値変
化が検出回路４によって検出される。温度補償用感温抵
抗体３によって空気の温度が測定され、空気の温度の違
いによる風速の誤差が補正される。ヒータ用感温抵抗体
２及び温度補償用感温抵抗体３の出力信号が検出回路４
に入力され、風速に対応する検出信号が引き出しリード
５，６を通して出力される。
ンサを示す（例えば特開平５−７２２２１号公報参
照）。プリント基板１上にヒータ用感温抵抗体２、温度
補償用感温抵抗体３及び検出回路４が形成され、ヒータ
用感温抵抗体２及び温度補償用感温抵抗体３は検出回路
４に接続されている。ヒータ用感温抵抗体２及び温度補
償用感温抵抗体３は、例えば厚み0.15mmの長方形のアル
ミナ基板上に白金膜を形成し、白金膜に微細ビーム（例
えばレーザ）又はエッチングによりパターンを形成する
ことにより製作される。ヒータ用感温抵抗体２に電流が
流されて、ヒータ用感温抵抗体２は加熱され、ここに気
流が接触するとヒータ用感温抵抗体２の熱が奪われ、こ
の温度変化にともなうヒータ用感温抵抗体２の抵抗値変
化が検出回路４によって検出される。温度補償用感温抵
抗体３によって空気の温度が測定され、空気の温度の違
いによる風速の誤差が補正される。ヒータ用感温抵抗体
２及び温度補償用感温抵抗体３の出力信号が検出回路４
に入力され、風速に対応する検出信号が引き出しリード
５，６を通して出力される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のセンサは、アル
ミナ基板上に白金膜を形成し、微細ビーム又はエッチン
グによりパターンを形成していたが、白金膜は融点が高
く化学反応が起きにくいので、白金膜に微細ビーム又は
エッチングによりパターンを形成する場合の条件を満た
すことが困難であるという欠点があった。本発明は、吸
入空気流量測定装置用センサにおいて、金属膜上に容易
にパターンを形成できるようにすることを課題とする。
ミナ基板上に白金膜を形成し、微細ビーム又はエッチン
グによりパターンを形成していたが、白金膜は融点が高
く化学反応が起きにくいので、白金膜に微細ビーム又は
エッチングによりパターンを形成する場合の条件を満た
すことが困難であるという欠点があった。本発明は、吸
入空気流量測定装置用センサにおいて、金属膜上に容易
にパターンを形成できるようにすることを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、吸入空気流量
測定装置用センサにおいて、電気的絶縁を有するセラミ
ック基板上にニクロム膜及びニッケル膜が任意の順序で
形成され、ニクロム膜及びニッケル膜にエッチング又は
微細ビームにより同時にパターンが形成されたことを構
成とする。前記の構成において、ニッケル膜の厚みがニ
ッケル膜及びニクロム膜の合計の厚みの１／２以上で、
使用範囲を１００°Ｃから３５０°Ｃとされたものとす
ることができる。なお、本発明の吸入空気流量測定装置
用センサは、温度補償用及び流量検出用の双方に使用で
きる感温抵抗体である。
測定装置用センサにおいて、電気的絶縁を有するセラミ
ック基板上にニクロム膜及びニッケル膜が任意の順序で
形成され、ニクロム膜及びニッケル膜にエッチング又は
微細ビームにより同時にパターンが形成されたことを構
成とする。前記の構成において、ニッケル膜の厚みがニ
ッケル膜及びニクロム膜の合計の厚みの１／２以上で、
使用範囲を１００°Ｃから３５０°Ｃとされたものとす
ることができる。なお、本発明の吸入空気流量測定装置
用センサは、温度補償用及び流量検出用の双方に使用で
きる感温抵抗体である。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１は本発明の吸入空気流量測定
装置用センサの実施の形態を示す。プリント基板11上の
端部にアルミナ、窒化けい素等からなる電気的絶縁を有
するセラミック基板（以下セラミック基板と略す）17の
端部が固定され、プリント基板11上に検出回路14が形成
されている。セラミック基板17上にはヒータ用感温抵抗
体（流量センサ）12及び温度補償用感温抵抗体（温度セ
ンサ）13が形成され、ヒータ用感温抵抗体12及び温度補
償用感温抵抗体13は検出回路14に接続されている。図１
の平面図において、ヒータ用感温抵抗体12は温度補償用
感温抵抗体13の半分の大きさ（幅は同じで長さが半分）
である。従来例と同様に、ヒータ用感温抵抗体12に電流
が流され、加熱される。ここに気流が接触するとヒータ
用感温抵抗体12の熱が奪われ、この温度変化にともなう
ヒータ用感温抵抗体12の抵抗値変化が検出回路14によっ
て検出される。温度補償用感温抵抗体13によって空気の
温度が測定され、空気の温度の違いによる風速の誤差が
補正される。ヒータ用感温抵抗体12及び温度補償用感温
抵抗体13の出力信号が検出回路14に入力され、風速に対
応する検出信号が引き出しリード15，16を通して出力さ
れる。
装置用センサの実施の形態を示す。プリント基板11上の
端部にアルミナ、窒化けい素等からなる電気的絶縁を有
するセラミック基板（以下セラミック基板と略す）17の
端部が固定され、プリント基板11上に検出回路14が形成
されている。セラミック基板17上にはヒータ用感温抵抗
体（流量センサ）12及び温度補償用感温抵抗体（温度セ
ンサ）13が形成され、ヒータ用感温抵抗体12及び温度補
償用感温抵抗体13は検出回路14に接続されている。図１
の平面図において、ヒータ用感温抵抗体12は温度補償用
感温抵抗体13の半分の大きさ（幅は同じで長さが半分）
である。従来例と同様に、ヒータ用感温抵抗体12に電流
が流され、加熱される。ここに気流が接触するとヒータ
用感温抵抗体12の熱が奪われ、この温度変化にともなう
ヒータ用感温抵抗体12の抵抗値変化が検出回路14によっ
て検出される。温度補償用感温抵抗体13によって空気の
温度が測定され、空気の温度の違いによる風速の誤差が
補正される。ヒータ用感温抵抗体12及び温度補償用感温
抵抗体13の出力信号が検出回路14に入力され、風速に対
応する検出信号が引き出しリード15，16を通して出力さ
れる。
【０００７】次にヒータ用感温抵抗体12の構造について
説明する。セラミック基板17上にニクロム膜及びニッケ
ル膜が任意の順序で形成される。すなわち、セラミック
基板17上にニクロム膜が形成され更にニクロム膜の上に
ニッケル膜が形成され、又はセラミック基板17上にニッ
ケル膜が形成され更にニッケル膜の上にニクロム膜が形
成される。ニクロム膜及びニッケル膜にエッチング又は
微細ビームにより同時にパターンを形成し、その上に必
要に応じて保護膜を形成してヒータ用感温抵抗体12が製
作される。白金に比べてニッケル及びニクロムは加工し
易く、パターンの形成が容易である。図２は、ヒータ用
感温抵抗体12のパターンの一例を示し、左側に電極部21
及び22があり、電極部21と電極部22との間の部分が抵抗
体部23である。電極部21及び22は幅の広いニクロム膜・
ニッケル膜により形成され、抵抗体部23は幅の狭い帯状
体が左右に繰り返し反転された形状のニクロム膜・ニッ
ケル膜により形成される。抵抗体部23の両端は電極部21
及び22に接続され、電極部21及び22には配線の一端が接
続され、配線の他端は検出回路14に接続される。なお、
図１に示す実施の形態では、温度補償用感温抵抗体13に
は白金膜のパターンを使用したが、使用条件によっては
ヒータ用感温抵抗体12と同様の構造のニクロム膜・ニッ
ケル膜を用いた温度補償用感温抵抗体13を使用すること
ができる。温度補償用感温抵抗体13は、ヒータ用感温抵
抗体12より抵抗が高いので、図２のパターンよりも抵抗
体部23の帯状体の幅が狭くなる。
説明する。セラミック基板17上にニクロム膜及びニッケ
ル膜が任意の順序で形成される。すなわち、セラミック
基板17上にニクロム膜が形成され更にニクロム膜の上に
ニッケル膜が形成され、又はセラミック基板17上にニッ
ケル膜が形成され更にニッケル膜の上にニクロム膜が形
成される。ニクロム膜及びニッケル膜にエッチング又は
微細ビームにより同時にパターンを形成し、その上に必
要に応じて保護膜を形成してヒータ用感温抵抗体12が製
作される。白金に比べてニッケル及びニクロムは加工し
易く、パターンの形成が容易である。図２は、ヒータ用
感温抵抗体12のパターンの一例を示し、左側に電極部21
及び22があり、電極部21と電極部22との間の部分が抵抗
体部23である。電極部21及び22は幅の広いニクロム膜・
ニッケル膜により形成され、抵抗体部23は幅の狭い帯状
体が左右に繰り返し反転された形状のニクロム膜・ニッ
ケル膜により形成される。抵抗体部23の両端は電極部21
及び22に接続され、電極部21及び22には配線の一端が接
続され、配線の他端は検出回路14に接続される。なお、
図１に示す実施の形態では、温度補償用感温抵抗体13に
は白金膜のパターンを使用したが、使用条件によっては
ヒータ用感温抵抗体12と同様の構造のニクロム膜・ニッ
ケル膜を用いた温度補償用感温抵抗体13を使用すること
ができる。温度補償用感温抵抗体13は、ヒータ用感温抵
抗体12より抵抗が高いので、図２のパターンよりも抵抗
体部23の帯状体の幅が狭くなる。
【０００８】
【実施例】図２に示すヒータ用感温抵抗体12のパターン
において、抵抗体部23の帯状体の幅を0.14mmとし、帯状
体の間隔を0.05mmとした。また、図１に示す実施の形態
において、セラミック基板17の厚みを0.15mmとし、ヒー
タ用感温抵抗体12のニクロム膜の厚みを0.85μｍとし、
ニッケル膜の厚みを0.85μｍ以上とした。図３(a),(b)
は、ニッケル膜とニクロム膜の厚みの比率別の温度- 抵
抗値線図を示す。図３(b) はニッケル膜の厚みをニッケ
ル膜及びニクロム膜の合計の厚み（ニッケル膜の厚み＋
ニクロム膜の厚み）の１／２以下とした場合の温度- 抵
抗値線を示し、図３(a) はニッケル膜の厚みをニッケル
膜及びニクロム膜の合計の厚みの１／２以上とした場合
の温度- 抵抗値線を示す。見易くするために、図３(a)
については図３(b) よりも縦の抵抗値の目盛りが拡大さ
れており、図３(a)の最上部の線と図３(b) の最下部の
線とは同一である。図３(a),(b) の温度- 抵抗値線図か
ら、ニッケル膜の厚みをニッケル膜及びニクロム膜の合
計の厚みの１／２以上の場合に、温度範囲１００°Ｃか
ら３５０°Ｃにおいてのみ直線状となっており、この温
度範囲に臨界的意義があり、この範囲では温度と抵抗値
が比例するので感温抵抗体として使用できることが判明
した。
において、抵抗体部23の帯状体の幅を0.14mmとし、帯状
体の間隔を0.05mmとした。また、図１に示す実施の形態
において、セラミック基板17の厚みを0.15mmとし、ヒー
タ用感温抵抗体12のニクロム膜の厚みを0.85μｍとし、
ニッケル膜の厚みを0.85μｍ以上とした。図３(a),(b)
は、ニッケル膜とニクロム膜の厚みの比率別の温度- 抵
抗値線図を示す。図３(b) はニッケル膜の厚みをニッケ
ル膜及びニクロム膜の合計の厚み（ニッケル膜の厚み＋
ニクロム膜の厚み）の１／２以下とした場合の温度- 抵
抗値線を示し、図３(a) はニッケル膜の厚みをニッケル
膜及びニクロム膜の合計の厚みの１／２以上とした場合
の温度- 抵抗値線を示す。見易くするために、図３(a)
については図３(b) よりも縦の抵抗値の目盛りが拡大さ
れており、図３(a)の最上部の線と図３(b) の最下部の
線とは同一である。図３(a),(b) の温度- 抵抗値線図か
ら、ニッケル膜の厚みをニッケル膜及びニクロム膜の合
計の厚みの１／２以上の場合に、温度範囲１００°Ｃか
ら３５０°Ｃにおいてのみ直線状となっており、この温
度範囲に臨界的意義があり、この範囲では温度と抵抗値
が比例するので感温抵抗体として使用できることが判明
した。
【０００９】
【発明の効果】本発明の吸入空気流量測定装置用センサ
では、セラミック基板上にニクロム膜及びニッケル膜が
任意の順序で形成され、ニクロム膜及びニッケル膜にエ
ッチング又は微細ビームにより同時にパターンが形成さ
れている。ニクロム膜及びニッケル膜は、白金膜に比べ
て化学反応が起きやすいので、エッチングによりニクロ
ム膜・ニッケル膜のパターンを形成するのが白金膜に比
べて容易である。また、ニッケル・ニクロムは白金より
も融点が低いので、微細ビームによるニクロム膜・ニッ
ケル膜のパターン形成が白金膜に比べて容易である。ま
た、本発明ではニッケル膜の厚みがニッケル膜及びニク
ロム膜の合計の厚みの１／２以上で、使用範囲を１００
°Ｃから３５０°Ｃとされたので、この範囲においての
み温度と抵抗値が比例する。
では、セラミック基板上にニクロム膜及びニッケル膜が
任意の順序で形成され、ニクロム膜及びニッケル膜にエ
ッチング又は微細ビームにより同時にパターンが形成さ
れている。ニクロム膜及びニッケル膜は、白金膜に比べ
て化学反応が起きやすいので、エッチングによりニクロ
ム膜・ニッケル膜のパターンを形成するのが白金膜に比
べて容易である。また、ニッケル・ニクロムは白金より
も融点が低いので、微細ビームによるニクロム膜・ニッ
ケル膜のパターン形成が白金膜に比べて容易である。ま
た、本発明ではニッケル膜の厚みがニッケル膜及びニク
ロム膜の合計の厚みの１／２以上で、使用範囲を１００
°Ｃから３５０°Ｃとされたので、この範囲においての
み温度と抵抗値が比例する。
【図１】本発明の吸入空気流量測定装置用センサの実施
の形態を示す平面図である。
の形態を示す平面図である。
【図２】本発明の吸入空気流量測定装置用センサの実施
の形態のパターンの一例を示す平面図である。
の形態のパターンの一例を示す平面図である。
【図３】図３(a) 及び図３(b) は本発明の実施例の温度
−抵抗値線図である。
−抵抗値線図である。
【図４】従来の吸入空気流量測定装置用センサの平面図
である。
である。
12 ヒーター用感温抵抗体 13 温度補償用感温抵抗体 17 セラミック基板
Claims (2)
- 【請求項１】 電気的絶縁を有するセラミック基板上に
ニクロム膜及びニッケル膜が任意の順序で形成され、ニ
クロム膜及びニッケル膜にエッチング又は微細ビームに
より同時にパターンが形成された吸入空気流量測定装置
用センサ。 - 【請求項２】 ニッケル膜の厚みがニッケル膜及びニク
ロム膜の合計の厚みの１／２以上で、使用範囲を１００
°Ｃから３５０°Ｃとされた請求項１記載の吸入空気流
量測定装置用センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8075369A JPH09243427A (ja) | 1996-03-06 | 1996-03-06 | 吸入空気流量測定装置用センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8075369A JPH09243427A (ja) | 1996-03-06 | 1996-03-06 | 吸入空気流量測定装置用センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09243427A true JPH09243427A (ja) | 1997-09-19 |
Family
ID=13574242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8075369A Pending JPH09243427A (ja) | 1996-03-06 | 1996-03-06 | 吸入空気流量測定装置用センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09243427A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018124225A (ja) * | 2017-02-03 | 2018-08-09 | 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター | 熱伝導式センサ |
-
1996
- 1996-03-06 JP JP8075369A patent/JPH09243427A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018124225A (ja) * | 2017-02-03 | 2018-08-09 | 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター | 熱伝導式センサ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100488213B1 (ko) | 열식공기유량계 | |
| US5033299A (en) | Flow sensor | |
| EP1298420A1 (en) | Thermal mass flow sensor | |
| US6725716B1 (en) | Thermo-sensitive flow rate sensor and method of manufacturing the same | |
| US7426857B2 (en) | Flow detector element of thermosensible flow sensor | |
| KR100323315B1 (ko) | 감열식 유량센서 | |
| US6508117B1 (en) | Thermally balanced mass air flow sensor | |
| US5140854A (en) | Intake air quantity measuring apparatus | |
| JPH10197304A (ja) | 空気流量計測装置用測定素子及びそれを備えた空気流量計測装置 | |
| JPH09243427A (ja) | 吸入空気流量測定装置用センサ | |
| GB2177212A (en) | Flow sensor | |
| JPH11148849A (ja) | 流体検出センサ | |
| JPH09243428A (ja) | 吸入空気流量測定装置用センサ | |
| JP3668921B2 (ja) | 流量検出素子 | |
| JP2908942B2 (ja) | 感熱式流量センサ | |
| JP4253976B2 (ja) | フローセンサ | |
| JPH06249864A (ja) | 風速センサ | |
| JPH11295127A (ja) | 流量検出素子及び流量センサ並びに流量検出素子の製造方法 | |
| JPH04291115A (ja) | 熱式空気流量計 | |
| JP2646846B2 (ja) | 感温抵抗素子 | |
| JPH1151729A (ja) | 流体検出センサ | |
| JPH11295126A (ja) | 流量検出素子及び流量センサ | |
| JPH10260069A (ja) | 流量検出素子の製造方法 | |
| JP3663267B2 (ja) | 熱式空気流量計 | |
| JP2002214014A (ja) | 流量測定装置 |