JPH09239663A - 研磨用工具 - Google Patents
研磨用工具Info
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- JPH09239663A JPH09239663A JP7968696A JP7968696A JPH09239663A JP H09239663 A JPH09239663 A JP H09239663A JP 7968696 A JP7968696 A JP 7968696A JP 7968696 A JP7968696 A JP 7968696A JP H09239663 A JPH09239663 A JP H09239663A
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- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ニッケルが微細結晶化したりイオン化して母
材から分離又は析出することのない研磨用工具を得る。 【解決手段】 所要の形状を有する母材１１の表面に、
研磨用の砥粒１２をニッケル被膜１３に保持させて固着
すると共に、該ニッケル被膜の上に金属クロム薄膜１４
を被設し、且つ該金属クロム薄膜の上にフッ素樹脂から
なる保護被膜１６を被設する。
材から分離又は析出することのない研磨用工具を得る。 【解決手段】 所要の形状を有する母材１１の表面に、
研磨用の砥粒１２をニッケル被膜１３に保持させて固着
すると共に、該ニッケル被膜の上に金属クロム薄膜１４
を被設し、且つ該金属クロム薄膜の上にフッ素樹脂から
なる保護被膜１６を被設する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、研磨用砥石やドレ
ッサーのような研磨用工具に関するものであり、更に詳
しくは、母材上に研磨用の砥粒をニッケル被膜に保持さ
せて固着した研磨用工具に関するものである。
ッサーのような研磨用工具に関するものであり、更に詳
しくは、母材上に研磨用の砥粒をニッケル被膜に保持さ
せて固着した研磨用工具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】研磨用の砥粒を母材上にニッケル被膜に
保持させて固着したこの種の研磨用工具として、例えば
電着工具が知られている。これは、図４に示すように、
所要の形状に精密加工した鉄等からなる母材１の表面
に、電解メッキ法によりニッケル被膜２を被着し、この
ニッケル被膜２に保持させてダイヤモンド砥粒又はＣＢ
Ｎ砥粒３を固着したものである。
保持させて固着したこの種の研磨用工具として、例えば
電着工具が知られている。これは、図４に示すように、
所要の形状に精密加工した鉄等からなる母材１の表面
に、電解メッキ法によりニッケル被膜２を被着し、この
ニッケル被膜２に保持させてダイヤモンド砥粒又はＣＢ
Ｎ砥粒３を固着したものである。
【０００３】ところがこのように、砥粒をニッケル被膜
に保持させて母材１上に固着した研磨用工具において
は、研磨加工時や修正作業時等に上記ニッケル被膜２が
微細な破片となって母材１から分離したり、研磨剤との
接触によりイオン化するなどして溶出し易いという問題
がある。このため例えば、研磨用工具がドレッサーであ
る場合にそれを用いて研磨パッドを修正すると、ニッケ
ルの微細な破片や溶出物が研磨パッドに付着する。そし
て、修正されたこの研磨パッドで半導体ウエハを研磨す
ると、上記のような破片や溶出物が該ウエハに付着した
り、該ウエハの内部にまで入り込んでしまう。
に保持させて母材１上に固着した研磨用工具において
は、研磨加工時や修正作業時等に上記ニッケル被膜２が
微細な破片となって母材１から分離したり、研磨剤との
接触によりイオン化するなどして溶出し易いという問題
がある。このため例えば、研磨用工具がドレッサーであ
る場合にそれを用いて研磨パッドを修正すると、ニッケ
ルの微細な破片や溶出物が研磨パッドに付着する。そし
て、修正されたこの研磨パッドで半導体ウエハを研磨す
ると、上記のような破片や溶出物が該ウエハに付着した
り、該ウエハの内部にまで入り込んでしまう。
【０００４】そして、上記ウエハの表面に付着した破片
や溶出物はその後の洗浄で除去することができるが、ウ
エハの内部にまで入り込んだものは洗浄によっても除去
することはできず、ウエハが不良品になることが避けら
れなかった。また、上記ニッケル被膜にはピンホールが
でき易く、これができると、その部分から錆が広がって
ニッケルの分離やイオン化が一層促進されることにな
る。更に、上記ニッケル被膜の破壊によって砥粒の脱落
も生じ易くなるため、研磨用工具としての寿命が短いと
いう欠点もあった。
や溶出物はその後の洗浄で除去することができるが、ウ
エハの内部にまで入り込んだものは洗浄によっても除去
することはできず、ウエハが不良品になることが避けら
れなかった。また、上記ニッケル被膜にはピンホールが
でき易く、これができると、その部分から錆が広がって
ニッケルの分離やイオン化が一層促進されることにな
る。更に、上記ニッケル被膜の破壊によって砥粒の脱落
も生じ易くなるため、研磨用工具としての寿命が短いと
いう欠点もあった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の主たる課題
は、砥粒を保持するニッケル被膜からニッケルが破片や
溶出物となって分離又は溶出することのない研磨用工具
を得ることにある。本発明の他の課題は、砥粒が脱落し
にくく、従って寿命が長い研磨用工具を得ることにあ
る。
は、砥粒を保持するニッケル被膜からニッケルが破片や
溶出物となって分離又は溶出することのない研磨用工具
を得ることにある。本発明の他の課題は、砥粒が脱落し
にくく、従って寿命が長い研磨用工具を得ることにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の研磨用工具は、所要の形状を有する母材の
表面に、ニッケル被膜に保持させて研磨用の砥粒を固着
すると共に、該ニッケル被膜の上に金属クロム薄膜を被
設し、且つ該金属クロム薄膜の上にフッ素樹脂からなる
保護被膜を被設してなることを特徴とするものである。
本発明の具体的な構成態様によれば、上記金属クロム薄
膜の表面に酸化クロム層が形成されている。
め、本発明の研磨用工具は、所要の形状を有する母材の
表面に、ニッケル被膜に保持させて研磨用の砥粒を固着
すると共に、該ニッケル被膜の上に金属クロム薄膜を被
設し、且つ該金属クロム薄膜の上にフッ素樹脂からなる
保護被膜を被設してなることを特徴とするものである。
本発明の具体的な構成態様によれば、上記金属クロム薄
膜の表面に酸化クロム層が形成されている。
【０００７】上記構成を有する研磨用工具は、ニッケル
被膜の上に被設した金属クロム薄膜とフッ素樹脂からな
る保護被膜との被覆作用により、ニッケル被膜からニッ
ケルが微細破片や溶出物となって分離又は溶出するのが
確実に防止される。特に、金属クロム薄膜がニッケル被
膜と非常に強固に結合してこのニッケル被膜を外側から
保護すると同時に、その外側のフッ素樹脂製の保護被膜
が耐食性、耐薬品性、耐摩耗性を示し、これらの性質に
よって上記金属クロム薄膜及びニッケル被膜を保護する
ため、これらの金属クロム薄膜及びニッケル被膜の分離
又は溶出が確実に防止される。また、上記金属クロム薄
膜の表面の酸化クロム層が酸やアルカリに対して不溶性
を示すため、仮に上記保護被膜が一部破壊されてこの酸
化クロム層が露出したとしても、研磨剤によるクロムや
ニッケルの溶出は生じない。更に、砥粒がニッケル被膜
で保持されるだけでなく、金属クロム薄膜及び保護被膜
によっても保持されるため、脱落しにくくなっており、
従って研磨用工具としての寿命が長い。
被膜の上に被設した金属クロム薄膜とフッ素樹脂からな
る保護被膜との被覆作用により、ニッケル被膜からニッ
ケルが微細破片や溶出物となって分離又は溶出するのが
確実に防止される。特に、金属クロム薄膜がニッケル被
膜と非常に強固に結合してこのニッケル被膜を外側から
保護すると同時に、その外側のフッ素樹脂製の保護被膜
が耐食性、耐薬品性、耐摩耗性を示し、これらの性質に
よって上記金属クロム薄膜及びニッケル被膜を保護する
ため、これらの金属クロム薄膜及びニッケル被膜の分離
又は溶出が確実に防止される。また、上記金属クロム薄
膜の表面の酸化クロム層が酸やアルカリに対して不溶性
を示すため、仮に上記保護被膜が一部破壊されてこの酸
化クロム層が露出したとしても、研磨剤によるクロムや
ニッケルの溶出は生じない。更に、砥粒がニッケル被膜
で保持されるだけでなく、金属クロム薄膜及び保護被膜
によっても保持されるため、脱落しにくくなっており、
従って研磨用工具としての寿命が長い。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１は本発明に係る研磨用工具の
一実施例を示すもので、この研磨用工具１０はドレッサ
ーとして構成され、その形状は全体としてリング状をし
ていて、その表面に砥粒１２を固着させた加工用作業面
１０ａを有し、この作業面１０ａで平面研磨装置におけ
る研磨パッドや研磨砥石等を修正するものである。しか
しながら、本発明の研磨用工具がこのようなドレッサー
に限定されず、研磨用砥石にも適用できることは言うま
でもないことである。また、その形状も図示のものに限
らず、被加工物に応じて異なることも当然である。
一実施例を示すもので、この研磨用工具１０はドレッサ
ーとして構成され、その形状は全体としてリング状をし
ていて、その表面に砥粒１２を固着させた加工用作業面
１０ａを有し、この作業面１０ａで平面研磨装置におけ
る研磨パッドや研磨砥石等を修正するものである。しか
しながら、本発明の研磨用工具がこのようなドレッサー
に限定されず、研磨用砥石にも適用できることは言うま
でもないことである。また、その形状も図示のものに限
らず、被加工物に応じて異なることも当然である。
【０００９】上記研磨用工具１０は、図２に示すよう
に、所要の形状を有する母材１１の表面に、ニッケル被
膜１３に保持させて研磨用の砥粒１２を固着すると共
に、該ニッケル被膜１３の上に金属クロム薄膜１４を被
設し、且つ該金属クロム薄膜１４の上にフッ素樹脂から
なる保護被膜１６を被設したもので、上記金属クロム薄
膜１４の表面には酸化クロム層１４ａが形成されてい
る。
に、所要の形状を有する母材１１の表面に、ニッケル被
膜１３に保持させて研磨用の砥粒１２を固着すると共
に、該ニッケル被膜１３の上に金属クロム薄膜１４を被
設し、且つ該金属クロム薄膜１４の上にフッ素樹脂から
なる保護被膜１６を被設したもので、上記金属クロム薄
膜１４の表面には酸化クロム層１４ａが形成されてい
る。
【００１０】上記母材１１には鋼や鉄、アルミ合金、セ
ラミック等が使用される。また、砥粒１２としては、ダ
イヤモンド砥粒又はＣＢＮ砥粒が使用される。上記母材
１１上へのニッケル被膜１３による砥粒１２の固着は、
該母材が鋼又は鉄あるいはアルミ合金からなる場合は通
常、電解メッキ法により行われるが、この電解メッキ法
はニッケル被膜１３の膜厚の均一化にやや難があるた
め、膜厚精度を高める必要がある場合には無電解メッキ
法を用いるのが良い。また、母材がセラミックからなる
場合は無電解メッキ法が用いられる。また、ニッケル被
膜１３上への金属クロム薄膜１４の被設は、メッキやそ
の他の適宜化学的方法により行うことができ、更に、金
属クロム薄膜１４上への保護被膜１６の被設は公知のコ
ーティング技術により行われる。
ラミック等が使用される。また、砥粒１２としては、ダ
イヤモンド砥粒又はＣＢＮ砥粒が使用される。上記母材
１１上へのニッケル被膜１３による砥粒１２の固着は、
該母材が鋼又は鉄あるいはアルミ合金からなる場合は通
常、電解メッキ法により行われるが、この電解メッキ法
はニッケル被膜１３の膜厚の均一化にやや難があるた
め、膜厚精度を高める必要がある場合には無電解メッキ
法を用いるのが良い。また、母材がセラミックからなる
場合は無電解メッキ法が用いられる。また、ニッケル被
膜１３上への金属クロム薄膜１４の被設は、メッキやそ
の他の適宜化学的方法により行うことができ、更に、金
属クロム薄膜１４上への保護被膜１６の被設は公知のコ
ーティング技術により行われる。
【００１１】上記各膜の好ましい厚さは、砥粒１２の粒
径によっても異なるが、一般に、ニッケル被膜１３の厚
さを粒径の５０〜７０％とし、その上に２〜３μｍの厚
さで金属クロム薄膜１４を被設し、更にその上に、砥粒
１２が必要量突出する程度の厚さで保護被膜１６を被設
するのが良い。しかし、加工対象物によっては各膜の厚
さをこれ以外の関係に設定する場合もある。
径によっても異なるが、一般に、ニッケル被膜１３の厚
さを粒径の５０〜７０％とし、その上に２〜３μｍの厚
さで金属クロム薄膜１４を被設し、更にその上に、砥粒
１２が必要量突出する程度の厚さで保護被膜１６を被設
するのが良い。しかし、加工対象物によっては各膜の厚
さをこれ以外の関係に設定する場合もある。
【００１２】上記各膜の形成に当り、ニッケル被膜１３
と金属クロム薄膜１４は砥粒１２に付着しないが、フッ
素樹脂からなる保護被膜１６は砥粒１２にも付着する。
従って、図３のように砥粒１２上に被着した保護被膜１
６は適宜方法により除去することが必要である。その方
法としては、例えば、加工対象物である研磨パッドや研
磨砥石等と同様の素材からなる除去部材を用意し、それ
を作業面１０ａに当てて擦り合せるようにしても良い
が、そのまま修正作業又は研磨作業を行うことにより、
実際の加工工程中に加工対象物によって徐々に保護被膜
１６を除去するようにしても良い。
と金属クロム薄膜１４は砥粒１２に付着しないが、フッ
素樹脂からなる保護被膜１６は砥粒１２にも付着する。
従って、図３のように砥粒１２上に被着した保護被膜１
６は適宜方法により除去することが必要である。その方
法としては、例えば、加工対象物である研磨パッドや研
磨砥石等と同様の素材からなる除去部材を用意し、それ
を作業面１０ａに当てて擦り合せるようにしても良い
が、そのまま修正作業又は研磨作業を行うことにより、
実際の加工工程中に加工対象物によって徐々に保護被膜
１６を除去するようにしても良い。
【００１３】上記構成を有する研磨用工具１０を使用し
て例えば研磨パッド等の修正対象物を修正する場合、ニ
ッケル被膜１３に被設した金属クロム薄膜１４と、該金
属クロム薄膜１４上に被設したフッ素樹脂からなる保護
被膜１６の被覆作用により、ニッケル被膜１３が保護さ
れ、ニッケルが微細な破片となって分離するのが防止さ
れると共に、研磨剤との接触が絶たれてイオン化による
溶出も確実に防止される。
て例えば研磨パッド等の修正対象物を修正する場合、ニ
ッケル被膜１３に被設した金属クロム薄膜１４と、該金
属クロム薄膜１４上に被設したフッ素樹脂からなる保護
被膜１６の被覆作用により、ニッケル被膜１３が保護さ
れ、ニッケルが微細な破片となって分離するのが防止さ
れると共に、研磨剤との接触が絶たれてイオン化による
溶出も確実に防止される。
【００１４】特に、金属クロム薄膜１４がニッケル被膜
１３と非常に強固に結合してこのニッケル被膜１３を外
側から保護するうえに、その外側のフッ素樹脂製の保護
被膜１６が勝れた耐食性、耐薬品性、耐摩耗性を示して
これらの金属クロム薄膜１４及びニッケル被膜１３を保
護するため、保護効果が非常に高く、この結果、金属ク
ロム薄膜１４及びニッケル被膜１３の分離又は溶出は確
実に防止される。また、上記金属クロム薄膜１４の表面
の酸化クロム層１４ａが形成されている場合には、この
酸化クロム層１４ａが酸やアルカリに対して不溶性を示
すため、仮に上記保護被膜１６が一部破壊されてこの酸
化クロム層１４が露出したとしても、研磨剤によるクロ
ムやニッケルの溶出は生じない。
１３と非常に強固に結合してこのニッケル被膜１３を外
側から保護するうえに、その外側のフッ素樹脂製の保護
被膜１６が勝れた耐食性、耐薬品性、耐摩耗性を示して
これらの金属クロム薄膜１４及びニッケル被膜１３を保
護するため、保護効果が非常に高く、この結果、金属ク
ロム薄膜１４及びニッケル被膜１３の分離又は溶出は確
実に防止される。また、上記金属クロム薄膜１４の表面
の酸化クロム層１４ａが形成されている場合には、この
酸化クロム層１４ａが酸やアルカリに対して不溶性を示
すため、仮に上記保護被膜１６が一部破壊されてこの酸
化クロム層１４が露出したとしても、研磨剤によるクロ
ムやニッケルの溶出は生じない。
【００１５】更に、砥粒１２がニッケル被膜１３で保持
されるだけでなく、金属クロム薄膜１４及び保護被膜１
６によっても保持されるため、脱落しにくくなってお
り、従って研磨用工具としての寿命が長い。なお、上記
研磨用工具を研磨砥石に適用した場合にも、上記と同様
の効果が得られることは当然である。
されるだけでなく、金属クロム薄膜１４及び保護被膜１
６によっても保持されるため、脱落しにくくなってお
り、従って研磨用工具としての寿命が長い。なお、上記
研磨用工具を研磨砥石に適用した場合にも、上記と同様
の効果が得られることは当然である。
【００１６】
【発明の効果】このように本発明の研磨用工具によれ
ば、ニッケル被膜の上に被設した金属クロム薄膜とフッ
素樹脂からなる保護被膜との被覆作用により、ニッケル
被膜からニッケルが微細破片や溶出物となって分離又は
溶出するのを確実に防止することができる。また、砥粒
がニッケル被膜と金属クロム薄膜及び保護被膜によって
保持されるため、脱落しにくく、研磨用工具としての寿
命が長い。
ば、ニッケル被膜の上に被設した金属クロム薄膜とフッ
素樹脂からなる保護被膜との被覆作用により、ニッケル
被膜からニッケルが微細破片や溶出物となって分離又は
溶出するのを確実に防止することができる。また、砥粒
がニッケル被膜と金属クロム薄膜及び保護被膜によって
保持されるため、脱落しにくく、研磨用工具としての寿
命が長い。
【図１】本発明に係る研磨用工具の一実施例を示す斜視
図である。
図である。
【図２】図１の要部拡大断面図である。
【図３】本発明に係る研磨用工具の異なる態様を示す図
１と同様位置での要部拡大断面図である。
１と同様位置での要部拡大断面図である。
【図４】従来の研磨用工具の図２と同様位置での要部拡
大断面図である。
大断面図である。
１０ 研磨用工具 １１ 母材 １２ 砥粒 １３ ニッケル被膜 １４ 金属クロム薄膜 １４ａ 酸化クロム
層 １６ 保護被膜
層 １６ 保護被膜
Claims (2)
- 【請求項１】所要の形状を有する母材の表面に、研磨用
の砥粒をニッケル被膜に保持させて固着すると共に、該
ニッケル被膜の上に金属クロム薄膜を被設し、且つ該金
属クロム薄膜の上にフッ素樹脂からなる保護被膜を被設
してなることを特徴とする研磨用工具。 - 【請求項２】請求項１に記載の研磨用工具において、上
記金属クロム薄膜の表面に酸化クロム層が形成されてい
るもの。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7968696A JPH09239663A (ja) | 1996-03-07 | 1996-03-07 | 研磨用工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7968696A JPH09239663A (ja) | 1996-03-07 | 1996-03-07 | 研磨用工具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09239663A true JPH09239663A (ja) | 1997-09-16 |
Family
ID=13697099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7968696A Pending JPH09239663A (ja) | 1996-03-07 | 1996-03-07 | 研磨用工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09239663A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000127046A (ja) * | 1998-10-27 | 2000-05-09 | Noritake Diamond Ind Co Ltd | ポリッシャ研磨用電着ドレッサ |
| JP2007109767A (ja) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Mitsubishi Materials Corp | Ｃｍｐコンディショナおよびその製造方法 |
| JP2013123771A (ja) * | 2011-12-14 | 2013-06-24 | Ｄ．Ｎ．Ａ．メタル株式会社 | Ｃｍｐパッドコンディショナおよび当該ｃｍｐパッドコンディショナの製造方法 |
| JP2014027299A (ja) * | 2009-12-15 | 2014-02-06 | Osaka Univ | 研磨具及び研磨装置 |
-
1996
- 1996-03-07 JP JP7968696A patent/JPH09239663A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000127046A (ja) * | 1998-10-27 | 2000-05-09 | Noritake Diamond Ind Co Ltd | ポリッシャ研磨用電着ドレッサ |
| JP2007109767A (ja) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Mitsubishi Materials Corp | Ｃｍｐコンディショナおよびその製造方法 |
| JP2014027299A (ja) * | 2009-12-15 | 2014-02-06 | Osaka Univ | 研磨具及び研磨装置 |
| JP2013123771A (ja) * | 2011-12-14 | 2013-06-24 | Ｄ．Ｎ．Ａ．メタル株式会社 | Ｃｍｐパッドコンディショナおよび当該ｃｍｐパッドコンディショナの製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050217 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050301 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050705 |