JPH09234688A - ワーク搬送ロボットの防水機構 - Google Patents
ワーク搬送ロボットの防水機構Info
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- JPH09234688A JPH09234688A JP6926096A JP6926096A JPH09234688A JP H09234688 A JPH09234688 A JP H09234688A JP 6926096 A JP6926096 A JP 6926096A JP 6926096 A JP6926096 A JP 6926096A JP H09234688 A JPH09234688 A JP H09234688A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 各関節部に機械的なシールによる摩擦力を発
生させなくても効果的な防水対策が可能となる防水パン
を用いたワーク搬送ロボットの防水機構を提供するこ
と。 【解決手段】 ロボット胴体１０に２つの関節部３５，
３７を介して２つのアーム２５，２７を取り付け、アー
ム２７にワーク６０を保持する保持機構３３−１（３３
−２）を取り付けたワーク搬送ロボットである。保持機
構３３−１（３３−２）が保持するワーク６０とロボッ
ト胴体１０の間に該ワーク６０よりも大きい寸法形状の
防水パン５０を取り付ける。防水パン５０に排水管５１
を接続し、排水管５１をロボット胴体１０の外周側面に
設けた第２の防水パン５３に挿入する。第２の防水パン
５３に接続した排水管５５を樋５７に挿入する。
生させなくても効果的な防水対策が可能となる防水パン
を用いたワーク搬送ロボットの防水機構を提供するこ
と。 【解決手段】 ロボット胴体１０に２つの関節部３５，
３７を介して２つのアーム２５，２７を取り付け、アー
ム２７にワーク６０を保持する保持機構３３−１（３３
−２）を取り付けたワーク搬送ロボットである。保持機
構３３−１（３３−２）が保持するワーク６０とロボッ
ト胴体１０の間に該ワーク６０よりも大きい寸法形状の
防水パン５０を取り付ける。防水パン５０に排水管５１
を接続し、排水管５１をロボット胴体１０の外周側面に
設けた第２の防水パン５３に挿入する。第２の防水パン
５３に接続した排水管５５を樋５７に挿入する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、防水パンを用いた
ワーク搬送ロボットの防水機構に関するものである。
ワーク搬送ロボットの防水機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ロボット胴体に関節部を介して１
本以上のアームを取り付け、該アームの先端にワークを
保持する保持機構を備えたワーク搬送ロボットがある。
図３はこの種の従来のワーク搬送ロボットの内、半導体
ウエハ（ワーク）を研磨や洗浄などのために搬送するワ
ーク搬送ロボットの一例を示す概略側面図である。同図
に示すようにこのワーク搬送ロボットは円柱状に形成さ
れたロボット胴体１０の上面に、２組のアーム機構２
１，２１を取り付けて構成されている。
本以上のアームを取り付け、該アームの先端にワークを
保持する保持機構を備えたワーク搬送ロボットがある。
図３はこの種の従来のワーク搬送ロボットの内、半導体
ウエハ（ワーク）を研磨や洗浄などのために搬送するワ
ーク搬送ロボットの一例を示す概略側面図である。同図
に示すようにこのワーク搬送ロボットは円柱状に形成さ
れたロボット胴体１０の上面に、２組のアーム機構２
１，２１を取り付けて構成されている。
【０００３】アーム機構２１は、２つの関節部３５，３
７を介して２本のアーム２５，２７を取り付け、さらに
上側のアーム２７に関節部３８を介して半導体ウエハ保
持用の保持機構３３を取り付けて構成されている。
７を介して２本のアーム２５，２７を取り付け、さらに
上側のアーム２７に関節部３８を介して半導体ウエハ保
持用の保持機構３３を取り付けて構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところでこの搬送ロボ
ットは、半導体ウエハの研磨や洗浄等の工程のたび毎
に、保持機構３３によって半導体ウエハ６０を所定の装
置に搬送していくが、該半導体ウエハ６０には水などの
液体が付着しており、従って該液体が落下してロボット
胴体１０の上面に溜ることがある。
ットは、半導体ウエハの研磨や洗浄等の工程のたび毎
に、保持機構３３によって半導体ウエハ６０を所定の装
置に搬送していくが、該半導体ウエハ６０には水などの
液体が付着しており、従って該液体が落下してロボット
胴体１０の上面に溜ることがある。
【０００５】そしてこの溜水３９の量が増えて図３に斜
線で示すように、関節部３５の周囲を満たすようになる
と、関節部３５に形成される隙間からアーム２５内やロ
ボット胴体１０内に液体が侵入して内部を腐食し、故障
原因となり、メンテナンス回数が増加し、コストパフォ
ーマンスや生産性が低下する恐れがある。この点は、各
アーム２５，２７の上面に液体が溜った場合の関節部３
７，３８においても同様である。
線で示すように、関節部３５の周囲を満たすようになる
と、関節部３５に形成される隙間からアーム２５内やロ
ボット胴体１０内に液体が侵入して内部を腐食し、故障
原因となり、メンテナンス回数が増加し、コストパフォ
ーマンスや生産性が低下する恐れがある。この点は、各
アーム２５，２７の上面に液体が溜った場合の関節部３
７，３８においても同様である。
【０００６】この水の侵入を防ぐには、各関節部３５，
３７，３８に接触式のシールを用いる方式もあるが、接
触式のシールにも厳密には隙間があり、従って液体の侵
入を完全に防止することは困難であった。
３７，３８に接触式のシールを用いる方式もあるが、接
触式のシールにも厳密には隙間があり、従って液体の侵
入を完全に防止することは困難であった。
【０００７】また接触式のシールとして効果的なＯリン
グを用いて関節部３５，３７，３８をシールした場合、
Ｏリングの弾力による締め付け力は大きいのでその隙間
は小さくなるが、その分摩擦力が大きくなるので、各ア
ーム２５，２７が減速してしまう。逆に各アーム２５，
２７の速度を保つためには、より大きなトルクを必要と
するので、駆動モータが大きくなってしまうという欠点
がある。
グを用いて関節部３５，３７，３８をシールした場合、
Ｏリングの弾力による締め付け力は大きいのでその隙間
は小さくなるが、その分摩擦力が大きくなるので、各ア
ーム２５，２７が減速してしまう。逆に各アーム２５，
２７の速度を保つためには、より大きなトルクを必要と
するので、駆動モータが大きくなってしまうという欠点
がある。
【０００８】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
ありその目的は、上記各欠点を除去し、各関節部に機械
的なシールによる摩擦力を発生させなくても効果的な防
水対策が可能となる防水パンを用いたワーク搬送ロボッ
トの防水機構を提供することにある。
ありその目的は、上記各欠点を除去し、各関節部に機械
的なシールによる摩擦力を発生させなくても効果的な防
水対策が可能となる防水パンを用いたワーク搬送ロボッ
トの防水機構を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め本発明は、ロボット胴体に１又は２以上の関節部を介
して１又は２以上のアームを取り付け、該アームの所定
位置にワークを保持する保持機構を取り付けたワーク搬
送ロボットの防水機構において、前記保持機構がワーク
を保持する部分とロボット胴体の間に、該ワークよりも
大きい寸法形状の防水パンを取り付けるように構成し
た。また前記防水パンに排水管を接続して排水せしめる
ように構成した。また前記排水管を前記ロボット胴体の
外周側面に設けた第２の防水パンに挿入し、さらに該第
２の防水パンに接続した排水管によって排水せしめるよ
うに構成した。さらに前記ワーク搬送ロボットには、該
ワーク搬送ロボット全体を移動させる移動機構を設け、
且つ該ワーク搬送ロボットの側部には該ワーク搬送ロボ
ットの移動方向に向かって該移動距離全長にわたる長さ
の樋を設置し、前記第２の防水パンに接続した排水管を
前記樋に挿入せしめるように構成した。
め本発明は、ロボット胴体に１又は２以上の関節部を介
して１又は２以上のアームを取り付け、該アームの所定
位置にワークを保持する保持機構を取り付けたワーク搬
送ロボットの防水機構において、前記保持機構がワーク
を保持する部分とロボット胴体の間に、該ワークよりも
大きい寸法形状の防水パンを取り付けるように構成し
た。また前記防水パンに排水管を接続して排水せしめる
ように構成した。また前記排水管を前記ロボット胴体の
外周側面に設けた第２の防水パンに挿入し、さらに該第
２の防水パンに接続した排水管によって排水せしめるよ
うに構成した。さらに前記ワーク搬送ロボットには、該
ワーク搬送ロボット全体を移動させる移動機構を設け、
且つ該ワーク搬送ロボットの側部には該ワーク搬送ロボ
ットの移動方向に向かって該移動距離全長にわたる長さ
の樋を設置し、前記第２の防水パンに接続した排水管を
前記樋に挿入せしめるように構成した。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態に
かかるワーク搬送ロボットの概略側面図である。このワ
ーク搬送ロボットは、半導体ウエハ搬送用のロボットで
ある。また図２は該ワーク搬送ロボットを２台設置して
なる具体例を示す斜視図である。
基づいて詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態に
かかるワーク搬送ロボットの概略側面図である。このワ
ーク搬送ロボットは、半導体ウエハ搬送用のロボットで
ある。また図２は該ワーク搬送ロボットを２台設置して
なる具体例を示す斜視図である。
【００１１】図１に示すようにこのワーク搬送ロボット
も、前記図３に示すワーク搬送ロボットと同様に、円柱
状のロボット胴体１０の上面に、２組のアーム機構２
１，２１を取り付けて構成されている。
も、前記図３に示すワーク搬送ロボットと同様に、円柱
状のロボット胴体１０の上面に、２組のアーム機構２
１，２１を取り付けて構成されている。
【００１２】アーム機構２１，２１はいずれも、２本の
アーム２５，２７を関節部３５，３７で接続し、上側の
アーム２７の端部に関節部３８を介して半導体ウエハ保
持用の保持機構３３−１，３３−２を取り付けて構成さ
れている。
アーム２５，２７を関節部３５，３７で接続し、上側の
アーム２７の端部に関節部３８を介して半導体ウエハ保
持用の保持機構３３−１，３３−２を取り付けて構成さ
れている。
【００１３】保持機構３３−１，３３−２の先端には、
略平板状のハンド４１−１，，４１−２が相互に接触せ
ずに上下に重なるように取り付けられている。各々のハ
ンド４１−１，４１−２の上には半導体ウエハ（ワー
ク）６０が保持される。
略平板状のハンド４１−１，，４１−２が相互に接触せ
ずに上下に重なるように取り付けられている。各々のハ
ンド４１−１，４１−２の上には半導体ウエハ（ワー
ク）６０が保持される。
【００１４】そして本実施形態の場合、保持機構３３−
１は保持機構３３−２より下側に位置し、下側の保持機
構３３−１に取り付けられたハンド４１−１と関節部３
８の間に、防水パン５０を取り付けている。この防水パ
ン５０は、少なくとも保持機構３３−１，３３−２が保
持する半導体ウエハ６０の径よりも大きい幅と長さの寸
法形状に形成されている。特にこの実施形態において
は、防水パン５０の長さと幅は、ロボット胴体１０の直
径よりも大きく形成されている。言い替えれば防水パン
５０は半導体ウエハ６０がロボット胴体１０上で移動す
る部分全体に設置されている。
１は保持機構３３−２より下側に位置し、下側の保持機
構３３−１に取り付けられたハンド４１−１と関節部３
８の間に、防水パン５０を取り付けている。この防水パ
ン５０は、少なくとも保持機構３３−１，３３−２が保
持する半導体ウエハ６０の径よりも大きい幅と長さの寸
法形状に形成されている。特にこの実施形態において
は、防水パン５０の長さと幅は、ロボット胴体１０の直
径よりも大きく形成されている。言い替えれば防水パン
５０は半導体ウエハ６０がロボット胴体１０上で移動す
る部分全体に設置されている。
【００１５】図１に示すように、防水パン５０の所定位
置には排水管５１が接続されており、該排水管５１の下
端はロボット胴体１０の外周側面にリング状に取り付け
られた第２の防水パン５３内に挿入されている。なお前
記防水パン５０を排水管５１を接続した部分に向かって
傾斜させておけば、排水がし易くなり好適である。
置には排水管５１が接続されており、該排水管５１の下
端はロボット胴体１０の外周側面にリング状に取り付け
られた第２の防水パン５３内に挿入されている。なお前
記防水パン５０を排水管５１を接続した部分に向かって
傾斜させておけば、排水がし易くなり好適である。
【００１６】また第２の防水パン５３の所定位置にも排
水管５５が接続されており、該排水管５５の下端は、樋
５７内に挿入されている。
水管５５が接続されており、該排水管５５の下端は、樋
５７内に挿入されている。
【００１７】ここで図２に示す２台のワーク搬送ロボッ
トは、該ワーク搬送ロボット全体が図示しない移動装置
によって、同図に示す矢印Ａ，Ｂ方向にそれぞれ移動し
て、洗浄装置や研磨装置などの各種装置の近傍に位置で
きるように構成されているが、前記樋５７は図２に示す
ように、２台のワーク搬送ロボットの一側部であって該
ワーク搬送ロボットの移動方向に向かって該移動距離全
長にわたる長さに形成されている。そして該樋５７にも
排水管５９が接続されている。
トは、該ワーク搬送ロボット全体が図示しない移動装置
によって、同図に示す矢印Ａ，Ｂ方向にそれぞれ移動し
て、洗浄装置や研磨装置などの各種装置の近傍に位置で
きるように構成されているが、前記樋５７は図２に示す
ように、２台のワーク搬送ロボットの一側部であって該
ワーク搬送ロボットの移動方向に向かって該移動距離全
長にわたる長さに形成されている。そして該樋５７にも
排水管５９が接続されている。
【００１８】ところで図２の向かって左側のワーク搬送
ロボットの左側側部には、第３の防水パン６１が設置さ
れており（図１では省略）、該第３の防水パン６１にも
排水管６２が接続され樋５７内に挿入されている。また
樋５７の反対側にもワーク搬送ロボットの移動距離全長
にわたる長さを具備する第４の防水パン６３が設置され
ている。
ロボットの左側側部には、第３の防水パン６１が設置さ
れており（図１では省略）、該第３の防水パン６１にも
排水管６２が接続され樋５７内に挿入されている。また
樋５７の反対側にもワーク搬送ロボットの移動距離全長
にわたる長さを具備する第４の防水パン６３が設置され
ている。
【００１９】さらに図１に示すようにロボット胴体１０
の下側にも、第５の防水パン６５が設置されている（図
２では省略）。
の下側にも、第５の防水パン６５が設置されている（図
２では省略）。
【００２０】以上のように構成したワーク搬送ロボット
を動作させて半導体ウエハ６０を保持機構３３−１，３
３−２によって図示しない洗浄装置や研磨装置との間で
受け渡しさせると、半導体ウエハ６０に付着した液体が
垂れて落ちるが、ロボット胴体１０の上部においては該
液体は全て第１の防水パン５０の上に落ち、ロボット胴
体１０の上面や各アーム２５，２７の上面に落ちること
はない。従って各関節部３５，３７，３８から液体が各
アーム２５，２７やロボット胴体１０内部に侵入する恐
れはない。
を動作させて半導体ウエハ６０を保持機構３３−１，３
３−２によって図示しない洗浄装置や研磨装置との間で
受け渡しさせると、半導体ウエハ６０に付着した液体が
垂れて落ちるが、ロボット胴体１０の上部においては該
液体は全て第１の防水パン５０の上に落ち、ロボット胴
体１０の上面や各アーム２５，２７の上面に落ちること
はない。従って各関節部３５，３７，３８から液体が各
アーム２５，２７やロボット胴体１０内部に侵入する恐
れはない。
【００２１】防水パン５０の上に落ちた液体は、排水管
５１から第２の防水パン５３と排水管５５を通って樋５
７に集められ、排水管５９から外部に排水される。
５１から第２の防水パン５３と排水管５５を通って樋５
７に集められ、排水管５９から外部に排水される。
【００２２】なお第２の防水パン５３は、防水パン５０
の上に落ちた液体を樋５７に導く機能を有するのみでな
く、防水パン５０の上に落ちるべき液体が震動などによ
って飛び散ってロボット胴体１０の周囲に飛散したよう
な場合でも、該液体を逃さずに集める機能も有する。
の上に落ちた液体を樋５７に導く機能を有するのみでな
く、防水パン５０の上に落ちるべき液体が震動などによ
って飛び散ってロボット胴体１０の周囲に飛散したよう
な場合でも、該液体を逃さずに集める機能も有する。
【００２３】一方、半導体ウエハ６０を洗浄装置や研磨
装置との間で受け渡しする際、該半導体ウエハ６０は第
１の防水パン５０からはみ出すが、このとき落下する液
体は第３，第４の防水パン６１，６３及び樋５７がこれ
を受け、それぞれ排水管５９と第５の防水パン６５（図
１参照）から排水される。
装置との間で受け渡しする際、該半導体ウエハ６０は第
１の防水パン５０からはみ出すが、このとき落下する液
体は第３，第４の防水パン６１，６３及び樋５７がこれ
を受け、それぞれ排水管５９と第５の防水パン６５（図
１参照）から排水される。
【００２４】以上のように、防水パン５０と第２の防水
パン５３は主としてワーク搬送ロボットの上に液体が落
下することを防止するために設けたものであり、第３，
第４，第５の防水パン６１，６３，６５は主としてワー
ク搬送ロボットと他の装置との間で半導体ウエハ６０を
受け渡しする際にワーク搬送ロボットの周囲に液体が落
下することを防止するために設けたものである。また樋
５７などの排水機構は両者で共用している。
パン５３は主としてワーク搬送ロボットの上に液体が落
下することを防止するために設けたものであり、第３，
第４，第５の防水パン６１，６３，６５は主としてワー
ク搬送ロボットと他の装置との間で半導体ウエハ６０を
受け渡しする際にワーク搬送ロボットの周囲に液体が落
下することを防止するために設けたものである。また樋
５７などの排水機構は両者で共用している。
【００２５】なお上記実施形態ではハンドが２つのもの
を示したが、無論ハンドの数は１つ以上であれば良く、
また防水パンも必要なハンドの下だけに設置したり、各
ハンドごとに複数個取り付けても良い。防水パンの形状
も上記実施形態に示すものに限定されず、ロボット胴体
及び関節部を種々の液体の付着から防ぐ形状であればど
のような形状であっても良い。
を示したが、無論ハンドの数は１つ以上であれば良く、
また防水パンも必要なハンドの下だけに設置したり、各
ハンドごとに複数個取り付けても良い。防水パンの形状
も上記実施形態に示すものに限定されず、ロボット胴体
及び関節部を種々の液体の付着から防ぐ形状であればど
のような形状であっても良い。
【００２６】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば以下のような優れた効果を有する。 各関節部に接触式シールのように機械的な摩擦力を発
生させなくても、該各関節部からその内部に液体が侵入
することはなく、効果的な防水対策が可能となる。従っ
てロボット内部が腐食して故障することはなく、メンテ
ナンス回数が減少し、コストパフォーマンスや生産性が
向上する。
ば以下のような優れた効果を有する。 各関節部に接触式シールのように機械的な摩擦力を発
生させなくても、該各関節部からその内部に液体が侵入
することはなく、効果的な防水対策が可能となる。従っ
てロボット内部が腐食して故障することはなく、メンテ
ナンス回数が減少し、コストパフォーマンスや生産性が
向上する。
【００２７】接触式シールのような摩擦を生じないの
で、アームを駆動するための駆動モータを大きなものに
する必要はなくその小型化が図れる。また接触式シール
のような消耗品を使用しないので、メンテナンスの必要
性が少なくその労力と費用の節減が図れる。
で、アームを駆動するための駆動モータを大きなものに
する必要はなくその小型化が図れる。また接触式シール
のような消耗品を使用しないので、メンテナンスの必要
性が少なくその労力と費用の節減が図れる。
【００２８】ロボット上に液体が溜ったり、該溜った
液体が飛散することもないので見栄えが良いばかりか、
特にクリーンな環境が重視される場所、例えば食品製造
関係や半導体製造関係の場所で使用される場合は、前記
溜水中に発生するバクテリアを抑える効果がある。
液体が飛散することもないので見栄えが良いばかりか、
特にクリーンな環境が重視される場所、例えば食品製造
関係や半導体製造関係の場所で使用される場合は、前記
溜水中に発生するバクテリアを抑える効果がある。
【図１】本発明を用いたワーク搬送ロボットの概略側面
図である。
図である。
【図２】図１に示すワーク搬送ロボットを２台設置して
なる具体例を示す斜視図である。
なる具体例を示す斜視図である。
【図３】従来のワーク搬送ロボットの一例を示す概略側
面図である。
面図である。
１０ ロボット胴体 ２５，２７ アーム ３３−１，３３−２ 保持機構 ３５，３７，３８ 関節部 ５０ 防水パン ５１ 排水管 ５３ 第２の防水パン ５５ 排水管 ５７ 樋 ５９ 排水管 ６０ 半導体ウエハ（ワーク） ６１ 第３の防水パン ６２ 排水管 ６３ 第４の防水パン ６５ 第５の防水パン
Claims (4)
- 【請求項１】 ロボット胴体に１又は２以上の関節部を
介して１又は２以上のアームを取り付け、該アームの所
定位置にワークを保持する保持機構を取り付けたワーク
搬送ロボットの防水機構において、 前記保持機構がワークを保持する部分とロボット胴体の
間に、該ワークよりも大きい寸法形状の防水パンを取り
付けたことを特徴とするワーク搬送ロボットの防水機
構。 - 【請求項２】 前記防水パンには排水管を接続して排水
せしめるように構成したことを特徴とする請求項１記載
のワーク搬送ロボットの防水機構。 - 【請求項３】 前記排水管を前記ロボット胴体の外周側
面に設けた第２の防水パンに挿入し、さらに該第２の防
水パンに接続した排水管によって排水せしめるように構
成したことを特徴とする請求項２記載のワーク搬送ロボ
ットの防水機構。 - 【請求項４】 前記ワーク搬送ロボットには、該ワーク
搬送ロボット全体を移動させる移動機構を設け、且つ該
ワーク搬送ロボットの側部には該ワーク搬送ロボットの
移動方向に向かって該移動距離全長にわたる長さの樋を
設置し、前記第２の防水パンに接続した排水管を前記樋
に挿入せしめたことを特徴とする請求項２記載のワーク
搬送ロボットの防水機構。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6926096A JP3616832B2 (ja) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | ワーク搬送ロボットの防水機構 |
| US08/808,690 US5893794A (en) | 1996-02-28 | 1997-02-28 | Polishing apparatus having robotic transport apparatus |
| KR1019970006469A KR100464702B1 (ko) | 1996-02-28 | 1997-02-28 | 로보틱이송장치 |
| EP97103376A EP0793261B1 (en) | 1996-02-28 | 1997-02-28 | Robotic transport apparatus having a guard against water |
| EP04019924A EP1498934A3 (en) | 1996-02-28 | 1997-02-28 | Robotic wafer transport apparatus |
| DE69732157T DE69732157T2 (de) | 1996-02-28 | 1997-02-28 | Transportroboter mit Tropfwasserschutz |
| US09/012,826 US5961380A (en) | 1996-02-28 | 1998-01-23 | Robotic transport apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6926096A JP3616832B2 (ja) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | ワーク搬送ロボットの防水機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09234688A true JPH09234688A (ja) | 1997-09-09 |
| JP3616832B2 JP3616832B2 (ja) | 2005-02-02 |
Family
ID=13397569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6926096A Expired - Lifetime JP3616832B2 (ja) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | ワーク搬送ロボットの防水機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3616832B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009214211A (ja) * | 2008-03-10 | 2009-09-24 | Nachi Fujikoshi Corp | 産業用ロボット及び産業用ロボットを用いた搬送装置 |
| JP2015082570A (ja) * | 2013-10-22 | 2015-04-27 | 株式会社ディスコ | ウエーハ加工システム |
| JP2015207602A (ja) * | 2014-04-17 | 2015-11-19 | 株式会社荏原製作所 | 排水機構、及びこれを備えた基板処理装置 |
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