JPH09232758A - Manufacture of wiring board - Google Patents

Manufacture of wiring board

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Publication number
JPH09232758A
JPH09232758A JP3857096A JP3857096A JPH09232758A JP H09232758 A JPH09232758 A JP H09232758A JP 3857096 A JP3857096 A JP 3857096A JP 3857096 A JP3857096 A JP 3857096A JP H09232758 A JPH09232758 A JP H09232758A
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JP
Japan
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wiring board
penetrating
hole
insulating resin
solvent
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP3857096A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shuji Maeda
修二 前田
Masayuki Ishihara
政行 石原
Hajime Sugiyama
肇 杉山
Shingo Yoshioka
愼悟 吉岡
Koji Takagi
光司 高木
Shinichi Iketani
晋一 池谷
Hiroaki Fujiwara
弘明 藤原
Katsuhiko Ito
克彦 伊藤
Kiyoaki Ihara
清暁 井原
Satoru Ogawa
悟 小川
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Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
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Publication date
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  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a wiring board, which can make an insulating resin fill favorably in non-penetration through holes. SOLUTION: An insulating resin 3 is applied on the surface of a wiring board 2 having non-penetration through holes 1 and at the same time, this resin 3 ia made to fill in the holes 1 to manufacture a wiring board. At the time of the manufacture of this wiring board, the inner peripheries of the holes 1 are wetted with solvent and thereafter, the resin 3 is applied on the inner peripheries to make the resin 3 fill in the holes 1 The wetting of the resin 3 to the inner peripheries of the holes 1 is enhanced by the solvent to wet the inner peripheries of the holes.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、非貫通スルーホー
ルを有する多層の配線板の製造方法に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer wiring board having non-penetrating through holes.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子機器の軽薄短小化の要求につれ、プ
リント配線板の高密度化のニーズが高くなっている。こ
のために、多層の配線板を製造するにあたって、各層の
回路を接続するものとして従来の貫通スルーホールに代
わって、非貫通スルーホールを使用することが増加して
きている。非貫通スルーホールは配線板を貫いて設けら
れないために、配線板の面積を有効利用することができ
るのである。
2. Description of the Related Art As electronic devices are required to be light, thin, short and small, there is an increasing need for high density printed wiring boards. For this reason, in manufacturing a multilayer wiring board, non-through through holes have been increasingly used in place of the conventional through through holes for connecting circuits of respective layers. Since the non-penetrating through hole is not provided so as to penetrate the wiring board, the area of the wiring board can be effectively used.

【0003】このような非貫通スルーホールを有する配
線板の製造方法としては特開昭59−175796号公
報で提供されているものがある。この方法は予め回路パ
ターンやスルーホールを形成した複数枚の基板をプリプ
レグを介して重ね、これを加熱加圧して多層成形するこ
とによって、スルーホールが未貫通孔として配線板に設
けられるようにしたものである。しかしこの方法では基
板にドリル加工等してスルーホールを形成しているため
にスルーホールの小径化が容易でなく、このスルーホー
ルから形成される非貫通スルーホールの高密度化に限界
がある。
As a method of manufacturing a wiring board having such a non-penetrating through hole, there is a method provided in Japanese Patent Laid-Open No. 59-175796. In this method, a plurality of substrates having circuit patterns and through holes formed in advance are stacked via a prepreg, and these are heated and pressed to form a multilayer, so that the through holes are provided in the wiring board as non-through holes. It is a thing. However, in this method, since the through holes are formed in the substrate by drilling or the like, it is not easy to reduce the diameter of the through holes, and there is a limitation in increasing the density of the non-penetrating through holes formed from the through holes.

【0004】これに対して、特開平2−260491号
公報等にみられるように、基板の表面に感光性樹脂など
の絶縁樹脂を塗布して絶縁層を設けると共にこの絶縁層
に露光・現像・硬化の処理をおこなって非貫通スルーホ
ールを設け、そしてこの絶縁層の表面にさらに絶縁樹脂
を塗布して絶縁層を形成するという、ビルドアップ工法
によって非貫通スルーホールを多層に形成するようにし
た工法が提供されている。この工法では非貫通スルーホ
ールを露光・現像のプロセスで形成することができるた
めに、非貫通スルーホールの小径化が容易であり、非貫
通スルーホールの高密度化が容易になる。
On the other hand, as disclosed in JP-A-2-260491, an insulating resin such as a photosensitive resin is applied to the surface of the substrate to form an insulating layer, and the insulating layer is exposed / developed. The non-penetrating through-holes are formed by hardening treatment, and the insulating resin is further applied to the surface of the insulating layer to form the insulating layer. Construction methods are provided. In this method, the non-penetrating through holes can be formed by the process of exposure / development. Therefore, it is easy to reduce the diameter of the non-penetrating through holes, and it is easy to increase the density of the non-penetrating through holes.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記のようにビルドア
ップ工法で配線板を製造するにあたって、非貫通スルー
ホールの上に絶縁樹脂を塗布してさらに絶縁層を形成す
る際に、非貫通スルーホール内に絶縁樹脂を充填させる
必要がある。非貫通スルーホール内への絶縁樹脂の充填
が不十分であると、非貫通スルーホール内にボイドが生
じ、半田工程等で高温が作用する際にこの部分に膨れが
発生し易くなるのである。しかし、絶縁樹脂を塗布する
際に非貫通スルーホールに絶縁樹脂を十分に充填させる
のは困難であり、膨れの発生が問題になるものであっ
た。
When a wiring board is manufactured by the build-up method as described above, a non-penetrating through-hole is formed when an insulating resin is applied on the non-penetrating through-hole to further form an insulating layer. It is necessary to fill the inside with insulating resin. If the insulating resin is not sufficiently filled in the non-penetrating through holes, voids are generated in the non-penetrating through holes, and swelling easily occurs in this portion when high temperature acts in the soldering process or the like. However, it is difficult to sufficiently fill the non-penetrating through holes with the insulating resin when the insulating resin is applied, and the occurrence of swelling has been a problem.

【0006】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、非貫通スルーホールに絶縁樹脂を良好に充填させ
ることができる配線板の製造方法を提供することを目的
とするものである。
The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a wiring board in which a non-penetrating through hole can be satisfactorily filled with an insulating resin.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明に係る配線板の製
造方法は、非貫通スルーホール1を有する配線基板2の
表面に絶縁樹脂3を塗布すると共にこの絶縁樹脂3を非
貫通スルーホール1に充填させる工程を有して配線板を
製造するにあたって、非貫通スルーホール1の内周を溶
媒で濡らした後に、絶縁樹脂3を塗布して非貫通スルー
ホール1に絶縁樹脂3を充填させることを特徴とするも
のである。
In the method of manufacturing a wiring board according to the present invention, an insulating resin 3 is applied to the surface of a wiring board 2 having a non-through hole 1 and the insulating resin 3 is applied to the non-through hole 1. In manufacturing a wiring board including a step of filling the non-penetrating through hole 1 with a solvent, the non-penetrating through hole 1 is filled with the insulating resin 3 after the inner periphery of the non-penetrating through hole 1 is wetted with a solvent. It is characterized by.

【0008】また請求項2の発明は、溶媒を噴霧して非
貫通スルーホール1の内周を溶媒で濡らすことを特徴と
するものである。また請求項3の発明は、ロールコータ
ーで配線基板2の表面に溶媒を塗布して非貫通スルーホ
ール1の内周を溶媒で濡らすことを特徴とするものであ
る。また請求項4の発明は、配線基板2を溶媒に浸漬し
て非貫通スルーホール1の内周を溶媒で濡らすことを特
徴とするものである。
Further, the invention of claim 2 is characterized in that the solvent is sprayed to wet the inner periphery of the non-penetrating through hole 1 with the solvent. The invention of claim 3 is characterized in that a solvent is applied to the surface of the wiring substrate 2 by a roll coater to wet the inner circumference of the non-penetrating through hole 1 with the solvent. The invention of claim 4 is characterized in that the wiring substrate 2 is immersed in a solvent to wet the inner periphery of the non-penetrating through hole 1 with the solvent.

【0009】また請求項5の発明は、スキージーで塗布
することによって絶縁樹脂3を非貫通スルーホール1に
充填させることを特徴とするものである。また請求項6
の発明は、バーコーターで塗布することによって絶縁樹
脂3を非貫通スルーホール1に充填させることを特徴と
するものである。また請求項7の発明は、流動性の異な
る複数の絶縁樹脂3を、流動性の良いものから順に塗布
することを特徴とするものである。
Further, the invention of claim 5 is characterized in that the non-penetrating through hole 1 is filled with the insulating resin 3 by applying with a squeegee. Claim 6
The present invention is characterized in that the non-penetrating through hole 1 is filled with the insulating resin 3 by coating with a bar coater. The invention of claim 7 is characterized in that a plurality of insulating resins 3 having different fluidity are applied in order from the one having good fluidity.

【0010】また請求項8の発明は、絶縁樹脂3を非貫
通スルーホール1に充填する際に、配線基板2を振動す
ることを特徴とするものである。
Further, the invention of claim 8 is characterized in that the wiring board 2 is vibrated when the non-penetrating through hole 1 is filled with the insulating resin 3.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。図1はビルドアップ工法による配線板の製造の一
例を示すものであり、先ず積層板等によって作製される
図1(a)に示すようなコア内層基板10を用いる。コ
ア内層基板10にはプリント加工等をすることによって
回路11が形成してある。そして、液状の絶縁樹脂をコ
ア内層基板10の両面にカーテンコーターやスクリーン
印刷等で塗布することによって、コア内層基板10の両
面にそれぞれ絶縁層12a,12bを形成し、コア内層
基板10の表面の所要の回路11の箇所において絶縁層
12a,12bに非貫通スルーホール1を設ける。絶縁
層12a,12bを形成する絶縁樹脂が感光性樹脂の場
合には、露光・現像処理することによって非貫通スルー
ホール1を形成することができる。また絶縁層12a,
12bを形成する絶縁樹脂が熱硬化性樹脂の場合にはレ
ーザー加工等することによって非貫通スルーホール1を
形成することができる。さらに絶縁層12a,12bの
表面にセミアデティブ法やサブトラクティブ法などで回
路11を形成すると共に非貫通スルーホール1の内周に
内層と外層の回路11を導通させる接続層13をメッキ
等で形成することによって、図1(b)に示すような配
線基板2を作製することができる。
Embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 shows an example of manufacturing a wiring board by a build-up method. First, a core inner layer substrate 10 shown in FIG. A circuit 11 is formed on the core inner layer substrate 10 by printing or the like. Then, the liquid insulating resin is applied to both surfaces of the core inner layer substrate 10 by a curtain coater, screen printing or the like to form the insulating layers 12a and 12b on both surfaces of the core inner layer substrate 10, respectively. The non-penetrating through hole 1 is provided in the insulating layers 12a and 12b at the location of the required circuit 11. When the insulating resin forming the insulating layers 12a and 12b is a photosensitive resin, the non-penetrating through hole 1 can be formed by exposure and development. Insulating layer 12a,
When the insulating resin forming 12b is a thermosetting resin, the non-penetrating through hole 1 can be formed by laser processing or the like. Further, a circuit 11 is formed on the surfaces of the insulating layers 12a and 12b by a semi-additive method or a subtractive method, and a connection layer 13 for conducting the inner and outer circuits 11 is formed on the inner circumference of the non-through hole 1 by plating or the like. As a result, the wiring board 2 as shown in FIG. 1B can be manufactured.

【0012】本発明は、このようにして非貫通スルーホ
ール1を設けた配線基板2の表面に絶縁樹脂3を塗布
し、配線基板2の表面にさらに絶縁層14を設けるもの
である。図1の例では配線基板2の片側の絶縁層12a
の表面にのみ絶縁樹脂3を塗布するようにしてある。そ
して本発明では絶縁樹脂3を絶縁層12aの表面に塗布
するに先立って、非貫通スルーホール1の内周を予め溶
媒で濡らすようにするものである。このように非貫通ス
ルーホール1の内周を溶媒で濡らしておくと、非貫通ス
ルーホール1の内周に対する絶縁樹脂3の濡れが良くな
り、絶縁層12aの表面に絶縁樹脂3を塗布する際にス
ムーズに絶縁樹脂3が非貫通スルーホール1に流入し、
非貫通スルーホール1に絶縁樹脂3を良好に充填させる
ことができるものである。この溶媒としては、絶縁樹脂
3に配合した溶媒と同種のものを用いるのが好ましい。
In the present invention, the insulating resin 3 is applied to the surface of the wiring board 2 provided with the non-penetrating through holes 1 in this way, and the insulating layer 14 is further provided on the surface of the wiring board 2. In the example of FIG. 1, the insulating layer 12a on one side of the wiring board 2
The insulating resin 3 is applied only to the surface of the. In the present invention, the inner circumference of the non-penetrating through hole 1 is wetted with a solvent in advance before the insulating resin 3 is applied to the surface of the insulating layer 12a. If the inner circumference of the non-penetrating through hole 1 is wetted with the solvent in this manner, the wetting of the insulating resin 3 on the inner circumference of the non-penetrating through hole 1 is improved, and when the insulating resin 3 is applied to the surface of the insulating layer 12a. The insulating resin 3 smoothly flows into the non-penetrating through hole 1,
The non-penetrating through hole 1 can be filled with the insulating resin 3 satisfactorily. As this solvent, it is preferable to use the same kind of solvent as the solvent mixed in the insulating resin 3.

【0013】この様に非貫通スルーホール1の内周を溶
媒で濡らすにあたっては、溶媒を噴霧したり、ロールコ
ーターで塗布したり、配線基板2を溶媒に浸漬したりし
て行なうことができる。溶媒を噴霧して非貫通スルーホ
ール1の内周を濡らす場合、噴霧は必要とする箇所にの
み溶媒を塗布することができるために、溶媒の使用量を
節約することができて経済的である。またロールコータ
ーは配線基板2の表面の大面積に溶媒を一度に塗布する
ことができるために、一度の処理で配線基板2の表面に
設けられている多数の非貫通スルーホール1の内周に溶
媒を塗布することができ、処理速度の高速化が容易にな
って生産性の向上を図ることができるものである。さら
に配線基板2を溶媒に浸漬する方法では、配線基板2の
表裏の両面の大面積を一度に処理して、両面の非貫通ス
ルーホール1に溶媒を塗布することができるために、処
理速度をさらに高速化して生産性を高めることができる
ものである。
In this way, the inner periphery of the non-penetrating through hole 1 can be wetted with a solvent by spraying the solvent, coating with a roll coater, or immersing the wiring board 2 in the solvent. When the solvent is sprayed to wet the inner periphery of the non-penetrating through-hole 1, the spray can apply the solvent only to a necessary portion, so that the amount of the solvent used can be saved and it is economical. . Further, since the roll coater can apply the solvent to a large area on the surface of the wiring board 2 at a time, the roll coater can be applied to the inner circumference of many non-penetrating through holes 1 provided on the surface of the wiring board 2 in a single treatment. The solvent can be applied, the processing speed can be easily increased, and the productivity can be improved. Further, in the method of immersing the wiring board 2 in the solvent, a large area on both front and back surfaces of the wiring board 2 can be processed at a time, and the solvent can be applied to the non-penetrating through-holes 1 on both surfaces. Further, the speed can be increased and the productivity can be increased.

【0014】上記のようにして非貫通スルーホール1の
内周を溶媒で濡らした後、溶媒が蒸発しないうちに、配
線基板2の絶縁層12aの表面に絶縁樹脂3を塗布し、
非貫通スルーホール1に絶縁樹脂3を充填させる。絶縁
樹脂3の塗布はカーテンコート等を用いて行なうことが
できるが、スキージやバーコーターを用いて絶縁樹脂3
を塗布することによって、非貫通スルーホール1に絶縁
樹脂3を押し込んで充填させるのが好ましい。スキージ
はスクリーン印刷等に用いられる板状の部材であるが、
配線基板2の表面に絶縁樹脂3を供給して配線基板2の
表面をスキージで擦ることによって、絶縁樹脂3を加圧
しながら非貫通スルーホール1に押し込んで充填するこ
とができる。またバーコーターはステンレス等の棒の外
周にステンレス等の線材を隙間なく巻き付けて形成され
るものであり、このものも配線基板2の表面に絶縁樹脂
3を供給して配線基板2の表面をバーコーターで擦るこ
とによって、絶縁樹脂3を加圧しながら非貫通スルーホ
ール1に押し込んで充填することができる。バーコータ
ーによる絶縁樹脂3の加圧はスキージによる加圧よりも
弱いが、配線基板2の表面に形成された回路11に対す
る外力の作用がスキージよりも小さく、回路11のパタ
ーン切れなどへの影響が少なくなるものである。尚、こ
れらのスキージやバーコーターによっても前述の非貫通
スルーホール1の内周への溶媒の塗布を行なうことが可
能である。
After the inner periphery of the non-penetrating through hole 1 is wetted with the solvent as described above, the insulating resin 3 is applied to the surface of the insulating layer 12a of the wiring board 2 before the solvent evaporates.
The non-penetrating through hole 1 is filled with the insulating resin 3. The insulating resin 3 can be applied using curtain coating or the like, but the insulating resin 3 can be applied using a squeegee or a bar coater.
It is preferable that the insulating resin 3 is pressed into the non-penetrating through-holes 1 to be filled by applying. Squeegee is a plate-shaped member used for screen printing,
By supplying the insulating resin 3 to the surface of the wiring board 2 and rubbing the surface of the wiring board 2 with a squeegee, it is possible to press the insulating resin 3 into the non-penetrating through holes 1 while filling the insulating resin 3 with pressure. The bar coater is formed by winding a wire rod made of stainless steel or the like around the outer circumference of a rod made of stainless steel or the like without any gaps. Also in this bar coater, the insulating resin 3 is supplied to the surface of the wiring substrate 2 to cover the surface of the wiring substrate 2 with the bar. By rubbing with a coater, the insulating resin 3 can be pressed and filled into the non-through through holes 1 while being pressed. Although the pressure applied to the insulating resin 3 by the bar coater is weaker than the pressure applied by the squeegee, the external force exerted on the circuit 11 formed on the surface of the wiring board 2 is smaller than that exerted on the squeegee, and the circuit 11 may be broken. It will be less. The solvent can be applied to the inner circumference of the non-penetrating through hole 1 by using such a squeegee or a bar coater.

【0015】また、非貫通スルーホール1に絶縁樹脂3
を充填するにあたっては、絶縁樹脂3として流動性の異
なる複数のものを用い、流動性の良いものから順に塗布
して非貫通スルーホール1に絶縁樹脂3を充填するよう
にすることができる。流動性の良い絶縁樹脂3は高沸点
の溶媒を用い、あるいは溶媒を多量に用いて低濃度にす
ることによって低粘度に調製することによって得ること
ができるものであり、流動性の良い絶縁樹脂3を用いる
と非貫通スルーホール1への充填が良好になる。しかし
反面、このような流動性の良い絶縁樹脂3は乾燥に時間
がかかり、生産性に問題が生じる。そこで、まずこのよ
うな流動性の良い絶縁樹脂3を塗布して非貫通スルーホ
ール1に充填した後に、これよりも流動性の悪い絶縁樹
脂3、すなわち低沸点の溶媒を用い、あるいは溶媒の使
用量を少量にして高濃度にすることによって高粘度に調
製した絶縁樹脂3を塗布することによって、生産性を低
下させることなく絶縁樹脂3を配線基板2に塗布して貫
通スルーホール1に良好に充填させるようにすることが
できるものである。
Further, the insulating resin 3 is provided in the non-through hole 1.
In filling the insulating resin 3, a plurality of insulating resins having different fluidity may be used, and the insulating resin 3 may be filled in the non-penetrating through holes 1 by sequentially coating the insulating resin 3 in order of good fluidity. The insulating resin 3 with good fluidity can be obtained by using a solvent having a high boiling point or by adjusting the concentration to a low viscosity by using a large amount of the solvent, and the insulating resin 3 with good fluidity can be obtained. Is used, the non-through through hole 1 can be filled well. On the other hand, however, such an insulating resin 3 having good fluidity takes time to dry, which causes a problem in productivity. Therefore, first, such an insulating resin 3 having good fluidity is applied and filled in the non-penetrating through holes 1, and then the insulating resin 3 having poorer fluidity than this, that is, a solvent having a low boiling point is used, or a solvent is used. By applying the insulating resin 3 adjusted to have a high viscosity by reducing the amount to a high concentration, the insulating resin 3 is applied to the wiring board 2 without lowering the productivity, and the through-hole 1 is satisfactorily applied. It can be filled.

【0016】さらに、上記のように配線基板2に絶縁樹
脂3を塗布して非貫通スルーホール1に絶縁樹脂3を充
填させた後、配線基板2に振動を与えることによって、
ボイド等を非貫通スルーホール1から追い出しながら非
貫通スルーホール1に絶縁樹脂3を完全に充填させるこ
とができると共に、配線基板2に塗布された絶縁樹脂3
の表面の平滑性を高めることができるものである。この
ように配線基板2に振動を与えるにあたっては、振動数
が100〜10000Hzの範囲に、振幅が0.5〜1
000μmの範囲になるように振動条件を設定するのが
好ましい。
Further, as described above, the insulating resin 3 is applied to the wiring board 2 to fill the non-penetrating through holes 1 with the insulating resin 3, and then the wiring board 2 is vibrated.
The non-penetrating through hole 1 can be completely filled with the insulating resin 3 while expelling voids and the like from the non-penetrating through hole 1, and the insulating resin 3 applied to the wiring board 2
The surface smoothness of the can be improved. When vibrating the wiring board 2 in this manner, the vibration frequency is in the range of 100 to 10000 Hz and the amplitude is 0.5 to 1 Hz.
It is preferable to set the vibration condition so as to be in the range of 000 μm.

【0017】上記のように配線基板2に絶縁樹脂3を塗
布して非貫通スルーホール1に絶縁樹脂3を充填した
後、絶縁樹脂3を乾燥させることによって、図1(c)
のように絶縁層12aの表面に絶縁層14を形成するこ
とができる。そしてこの絶縁層14において上記と同様
にして非貫通スルーホール1を形成し、絶縁層14の表
面に回路11を形成すると共に非貫通スルーホール1の
内周に接続層13を形成し、さらに貫通スルーホール1
5やその内周の接続層13を形成することによって、図
2に示すような多層の配線板を作製することができるも
のである。
As described above, the insulating resin 3 is applied to the wiring board 2 to fill the non-penetrating through-holes 1 with the insulating resin 3 and then the insulating resin 3 is dried.
As described above, the insulating layer 14 can be formed on the surface of the insulating layer 12a. Then, in this insulating layer 14, the non-penetrating through-hole 1 is formed in the same manner as described above, the circuit 11 is formed on the surface of the insulating layer 14, and the connection layer 13 is formed on the inner periphery of the non-penetrating through-hole 1. Through hole 1
By forming 5 and the connection layer 13 on the inner periphery thereof, a multilayer wiring board as shown in FIG. 2 can be manufactured.

【0018】[0018]

【実施例】次に、本発明を実施例によって具体的に説明
する。 (実施例1)チバガイギー社製「プロビマー52」を5
000g、同社製艶消し剤「DW91T」を1600
g、同社製硬化剤「XJ9001」を1000g及びシ
ンナー(シクロヘキサノン25重量%とメチルセロソル
ブ75重量%の混合溶媒)を1300gとり、これらを
混合することによってエポキシ系感光性樹脂液を調製し
た。
EXAMPLES Next, the present invention will be specifically described with reference to examples. (Example 1) 5 "Probimar 52" manufactured by Ciba-Geigy
000g, 1600 of the company's matting agent "DW91T"
g, 1000 g of the curing agent "XJ9001" manufactured by the same company, and 1300 g of thinner (a mixed solvent of 25% by weight of cyclohexanone and 75% by weight of methyl cellosolve) were taken, and these were mixed to prepare an epoxy photosensitive resin liquid.

【0019】そして図1に示すエポキシ樹脂積層板から
なる回路形成済のコア内層基板10の片面にこの樹脂液
をカーテンコーターを用いて塗布した後、90℃で20
分間乾燥することによって、厚み40μmの絶縁層12
aを形成した。またコア内層基板10の他方の片面にも
同様にして厚み40μmの絶縁層12bを形成した。次
にネガ型マスクを絶縁層12a,12bの表面に重ねて
露光し、そして現像処理することによって、直径150
μmの非貫通スルーホール1を形成した。この後にセミ
アディティブ法で絶縁層12a,12bの表面に回路1
1を形成すると共に非貫通スルーホール1の内周にメッ
キを施して接続層13を形成することによって配線基板
2を作製した(図1(b))。
Then, the resin solution is applied to one surface of the core inner layer substrate 10 formed of the epoxy resin laminated plate shown in FIG.
The insulating layer 12 having a thickness of 40 μm is dried by drying for a minute.
a was formed. Further, an insulating layer 12b having a thickness of 40 μm was similarly formed on the other surface of the core inner layer substrate 10. Then, a negative mask is overlaid on the surfaces of the insulating layers 12a and 12b, exposed, and developed to obtain a diameter of 150 mm.
A non-through hole 1 having a thickness of μm was formed. After this, the circuit 1 is formed on the surfaces of the insulating layers 12a and 12b by the semi-additive method.
1 was formed, and the inner periphery of the non-penetrating through hole 1 was plated to form the connection layer 13, thereby producing the wiring board 2 (FIG. 1B).

【0020】次に配線基板2の絶縁層12aに形成した
非貫通スルーホール1に上記の感光性樹脂液に配合した
同じシンナーを噴霧器を用いて噴霧し、この非貫通スル
ーホール1の内周をシンナーで濡らした。次に、このシ
ンナーが乾燥する前に、上記の感光性樹脂液を絶縁樹脂
3として用いてカーテンコーターによって配線基板2の
絶縁層12aの表面に塗布すると共に非貫通スルーホー
ル1に絶縁樹脂3を充填させた後、振動数1000H
z、振幅10μmの条件で30秒間、配線基板2を振動
させ、そして90℃で20分間乾燥することによって、
厚み40μmの絶縁層14を形成した(図1(c))。
Next, the same thinner mixed with the above-mentioned photosensitive resin liquid is sprayed onto the non-penetrating through hole 1 formed in the insulating layer 12a of the wiring board 2 by using a sprayer, and the inner circumference of the non-penetrating through hole 1 is sprayed. Wet it with thinner. Next, before the thinner is dried, the above photosensitive resin liquid is used as the insulating resin 3 to coat the surface of the insulating layer 12a of the wiring board 2 with the curtain coater, and the insulating resin 3 is applied to the non-penetrating through holes 1. After filling, vibration frequency 1000H
By vibrating the wiring substrate 2 for 30 seconds under the conditions of z and amplitude of 10 μm, and drying at 90 ° C. for 20 minutes,
An insulating layer 14 having a thickness of 40 μm was formed (FIG. 1 (c)).

【0021】後は上記と同様にして、絶縁層14に非貫
通スルーホール1を形成し、さらに絶縁層14の表面に
回路11を形成すると共に絶縁層14の非貫通スルーホ
ール1の内周に接続層13を形成することによって、多
層配線板を作製した(図2)。 (実施例2)シンナーを配線基板2の絶縁層12aの表
面にロールコーターで塗布して非貫通スルーホール1の
内周をシンナーで濡らすようにした他は、実施例1と同
様にして多層配線板を作製した。
Thereafter, in the same manner as described above, the non-penetrating through hole 1 is formed in the insulating layer 14, the circuit 11 is further formed on the surface of the insulating layer 14, and the inner periphery of the non-penetrating through hole 1 of the insulating layer 14 is formed. A multilayer wiring board was produced by forming the connection layer 13 (FIG. 2). (Example 2) Multilayer wiring was performed in the same manner as in Example 1 except that thinner was applied to the surface of the insulating layer 12a of the wiring board 2 by a roll coater to wet the inner circumference of the non-through hole 1 with thinner. A plate was made.

【0022】(実施例3)シンナーに配線基板2を浸漬
して非貫通スルーホール1の内周をシンナーで濡らすよ
うにした他は、実施例1と同様にして多層配線板を作製
した。 (実施例4)シンナーの配合量を3000gとする他は
実施例1と同様にしてエポキシ系感光性樹脂液を調製し
た。そしてこの樹脂液を用いて実施例1と同様にコア内
層基板10の両面に絶縁層12a,12bを形成し、さ
らに実施例1と同様に絶縁層12a,12bに非貫通ス
ルーホール1を形成すると共に、回路11や接続層13
を形成することによって配線基板2を作製した(図1
(b))。
Example 3 A multilayer wiring board was produced in the same manner as in Example 1 except that the wiring substrate 2 was dipped in thinner to wet the inner periphery of the non-through hole 1 with thinner. (Example 4) An epoxy-based photosensitive resin liquid was prepared in the same manner as in Example 1 except that the amount of the thinner compounded was 3000 g. Then, using this resin solution, insulating layers 12a and 12b are formed on both surfaces of the core inner layer substrate 10 in the same manner as in Example 1, and further non-penetrating through holes 1 are formed in the insulating layers 12a and 12b as in Example 1. Together with the circuit 11 and the connection layer 13
To form the wiring board 2 (see FIG. 1).
(B)).

【0023】次に配線基板2の絶縁層12aの表面に上
記と同じシンナーをバーコーターで塗布することによっ
て、絶縁層12aに形成した非貫通スルーホール1の内
周をシンナーで濡らした。次に、このシンナーが乾燥す
る前に、上記の感光性樹脂液を絶縁樹脂3として用いて
バーコーターによって配線基板2の絶縁層12aの表面
に塗布すると共に非貫通スルーホール1に絶縁樹脂3を
充填させた後、実施例1と同様にして配線基板2を振動
させ、そして実施例1と同様にして乾燥することによっ
て、厚み40μmの絶縁層14を形成した(図1
(c))。後は実施例1と同様にして多層配線板を作製
した(図2)。
Next, the same thinner as described above was applied to the surface of the insulating layer 12a of the wiring board 2 by a bar coater to wet the inner circumference of the non-through hole 1 formed in the insulating layer 12a with the thinner. Next, before the thinner is dried, the photosensitive resin liquid is used as the insulating resin 3 by a bar coater to coat the surface of the insulating layer 12a of the wiring board 2 and the insulating resin 3 is applied to the non-penetrating through holes 1. After filling, the wiring board 2 was vibrated in the same manner as in Example 1 and dried in the same manner as in Example 1 to form the insulating layer 14 having a thickness of 40 μm (FIG. 1).
(C)). Thereafter, a multilayer wiring board was produced in the same manner as in Example 1 (FIG. 2).

【0024】(実施例5)バーコーターの代わりにスキ
ージーを用いるようにした他は、実施例1と同様にして
多層配線板を作製した。 (実施例6)シンナーの配合量を3000gとする他は
実施例1と同様にしてエポキシ系感光性樹脂液を調製し
た(これを感光性樹脂液Aとする)。またシンナーの配
合量を5000gする他は実施例1と同様にしてエポキ
シ系感光性樹脂液を調製した(これを感光性樹脂液Bと
する)。
Example 5 A multilayer wiring board was produced in the same manner as in Example 1 except that a squeegee was used instead of the bar coater. (Example 6) An epoxy photosensitive resin liquid was prepared in the same manner as in Example 1 except that the amount of the thinner compounded was 3000 g (this is referred to as photosensitive resin liquid A). Further, an epoxy photosensitive resin liquid was prepared in the same manner as in Example 1 except that the amount of the thinner compounded was 5000 g (this is referred to as photosensitive resin liquid B).

【0025】そして感光性樹脂液Aを用いて実施例1と
同様にコア内層基板10の両面に絶縁層12a,12b
を形成し、さらに実施例1と同様に絶縁層12a,12
bに非貫通スルーホール1を形成すると共に、回路11
や接続層13を形成することによって配線基板2を作製
した(図1(b))。次に配線基板2の絶縁層12aの
表面に上記と同じシンナーをカーテンコーターで塗布す
ることによって、絶縁層12aに形成した非貫通スルー
ホール1の内周をシンナーで濡らした。
Then, using the photosensitive resin liquid A, insulating layers 12a and 12b are formed on both surfaces of the core inner layer substrate 10 as in the first embodiment.
And the insulating layers 12a, 12 are formed in the same manner as in the first embodiment.
The non-penetrating through-hole 1 is formed in b and the circuit 11
The wiring board 2 was produced by forming the and connection layers 13 (FIG. 1B). Next, the same thinner as that described above was applied to the surface of the insulating layer 12a of the wiring board 2 by a curtain coater to wet the inner circumference of the non-through hole 1 formed in the insulating layer 12a with the thinner.

【0026】次に、このシンナーが乾燥する前に、感光
性樹脂液Bを絶縁樹脂3として用いてカーテンコーター
によって配線基板2の絶縁層12aの表面に塗布すると
共に非貫通スルーホール1に絶縁樹脂3を充填させた
後、実施例1と同様にして配線基板2を振動させ、そし
て実施例1と同様にして乾燥することによって、厚み2
0μmの1層目を形成し、さらにこの上に感光性樹脂液
Bを絶縁樹脂3として用いてカーテンコーターによって
塗布して同様に乾燥し、2層目を形成することによっ
て、厚み40μmの2層構成の絶縁層14を形成した
(図1(c))。後は実施例1と同様にして多層配線板
を作製した(図2)。
Next, before the thinner is dried, the photosensitive resin liquid B is used as the insulating resin 3 by a curtain coater to coat the surface of the insulating layer 12a of the wiring board 2 and the insulating resin is applied to the non-penetrating through holes 1. 3 was filled, and then the wiring board 2 was vibrated in the same manner as in Example 1 and dried in the same manner as in Example 1 to obtain the thickness 2
A first layer of 0 μm is formed, and a photosensitive resin liquid B is applied as an insulating resin 3 on the first layer by a curtain coater and dried in the same manner to form a second layer. The insulating layer 14 having the structure was formed (FIG. 1C). Thereafter, a multilayer wiring board was produced in the same manner as in Example 1 (FIG. 2).

【0027】(比較例)シンナーを塗布せず非貫通スル
ーホール1の内周を濡らすようにしないと共に、絶縁樹
脂3の塗布後に配線基板2を振動することをしない他
は、実施例1と同様にして多層配線板を作製した。上記
のようにして作製した各多層配線板について耐熱性試験
をおこなった。試験は、121℃、100%RHの条件
下で多層配線板を1時間処理するプレッシャークッカー
テストをした後に、多層配線板を260℃半田浴に10
秒間浸漬し、多層配線板の外観変化を観察することによ
って行なった。結果を表1に示す。
(Comparative Example) The same as Example 1 except that the inner periphery of the non-through hole 1 is not wetted by applying thinner and the wiring board 2 is not vibrated after the insulating resin 3 is applied. Then, a multilayer wiring board was produced. A heat resistance test was conducted on each of the multilayer wiring boards produced as described above. The test is a pressure cooker test in which the multilayer wiring board is treated for 1 hour under the conditions of 121 ° C. and 100% RH, and then the multilayer wiring board is subjected to a solder bath at 260 ° C. for 10 hours.
It was immersed for 2 seconds and observed by observing the appearance change of the multilayer wiring board. The results are shown in Table 1.

【0028】[0028]

【表1】 [Table 1]

【0029】表1にみられるように、シンナーで非貫通
スルーホールの内周を濡らすようにした各実施例のもの
は、膨れが発生せず、外観に異常がないものであった。
As can be seen from Table 1, in each of the examples in which the inner periphery of the non-through through hole was wetted with a thinner, no swelling occurred and the appearance was normal.

【0030】[0030]

【発明の効果】上記のように本発明は、非貫通スルーホ
ールを有する配線基板の表面に絶縁樹脂を塗布すると共
にこの絶縁樹脂を非貫通スルーホールに充填させる工程
を有して配線板を製造するにあたって、非貫通スルーホ
ールの内周を溶媒で濡らした後に、絶縁樹脂を塗布して
非貫通スルーホールに絶縁樹脂を充填させるようにした
ので、非貫通スルーホールの内周を濡らした溶媒によっ
て非貫通スルーホールの内周に対する絶縁樹脂の濡れが
良くなり、絶縁層の表面に絶縁樹脂を塗布する際にスム
ーズに絶縁樹脂が非貫通スルーホールに流入するもので
あり、非貫通スルーホールに絶縁樹脂を良好に充填させ
ることができるものである。
As described above, according to the present invention, a wiring board is manufactured by applying an insulating resin to the surface of a wiring board having non-penetrating through holes and filling the insulating resin in the non-penetrating through holes. In doing so, after wetting the inner circumference of the non-penetrating through hole with a solvent, the insulating resin was applied so that the non-penetrating through hole was filled with the insulating resin. The insulating resin wets the inner circumference of the non-penetrating through hole better, and the insulating resin smoothly flows into the non-penetrating through hole when the insulating resin is applied to the surface of the insulating layer. The resin can be filled well.

【0031】また請求項2の発明は、溶媒を噴霧して非
貫通スルーホールの内周を溶媒で濡らすことを特徴とす
るものであり、必要箇所にのみ噴霧して溶媒を塗布する
ことができ、溶媒の使用量を節約することができるもの
である。また請求項3の発明は、ロールコーターで配線
基板の表面に溶媒を塗布して非貫通スルーホールの内周
を溶媒で濡らすことを特徴とするものであり、一度の処
理で配線基板の表面に設けられている多数の非貫通スル
ーホールの内周に溶媒を塗布することができ、生産性を
高めることができるものである。
The invention of claim 2 is characterized in that the solvent is sprayed to wet the inner circumference of the non-penetrating through hole with the solvent, and the solvent can be sprayed and applied only to the necessary portions. The amount of solvent used can be saved. The invention of claim 3 is characterized in that a solvent is applied to the surface of the wiring board by a roll coater to wet the inner circumference of the non-penetrating through hole with the solvent. The solvent can be applied to the inner peripheries of the many non-penetrating through holes provided, and the productivity can be improved.

【0032】また請求項4の発明は、配線基板を溶媒に
浸漬して非貫通スルーホールの内周を溶媒で濡らすこと
を特徴とするものであり、配線基板の表裏の両面の大面
積を一度に処理して配線基板の表裏両面の非貫通スルー
ホールに溶媒を塗布することができ、生産性をさらに高
めることができるものである。また請求項5の発明は、
スキージーで塗布することによって絶縁樹脂を非貫通ス
ルーホールに充填させることを特徴とするものであり、
スキージーで絶縁樹脂を非貫通スルーホールに押し込ん
で、充填性高く絶縁樹脂を非貫通スルーホールに充填さ
せることができるものである。
Further, the invention of claim 4 is characterized in that the wiring board is immersed in a solvent to wet the inner circumference of the non-penetrating through hole with the solvent. Then, the solvent can be applied to the non-penetrating through holes on both the front and back surfaces of the wiring board, and the productivity can be further improved. The invention of claim 5 is
It is characterized in that the non-penetrating through hole is filled with insulating resin by applying with a squeegee,
With a squeegee, the insulating resin can be pushed into the non-penetrating through hole to fill the non-penetrating through hole with high filling property.

【0033】また請求項6の発明は、バーコーターで塗
布することによって絶縁樹脂を非貫通スルーホールに充
填させることを特徴とするものであり、バーコーターで
絶縁樹脂を非貫通スルーホールに押し込んで、充填性高
く絶縁樹脂を非貫通スルーホールに充填させることがで
きるものである。また請求項7の発明は、流動性の異な
る複数の絶縁樹脂を、流動性の良いものから順に塗布す
ることを特徴とするものであり、生産性を低下させるこ
となく貫通スルーホールに絶縁樹脂を良好に充填させる
ことができるものである。
The invention according to claim 6 is characterized in that the insulating resin is filled in the non-penetrating through holes by applying with a bar coater, and the insulating resin is pushed into the non-penetrating through holes with the bar coater. The non-penetrating through hole can be filled with the insulating resin with high filling property. Further, the invention of claim 7 is characterized in that a plurality of insulating resins having different fluidities are applied in order from the one having good fluidity, and the insulating resin is applied to the through-holes without lowering productivity. It can be filled well.

【0034】また請求項8の発明は、絶縁樹脂を非貫通
スルーホールに充填する際に、配線基板を振動すること
を特徴とするものであり、ボイド等を非貫通スルーホー
ルから追い出しながら、非貫通スルーホールに絶縁樹脂
を完全に充填させることができるものである。
The invention of claim 8 is characterized in that the wiring board is vibrated when the insulating resin is filled in the non-penetrating through holes. The through-hole can be completely filled with the insulating resin.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施の形態を示すものであり、(a)
乃至(c)は各工程の断面図である。
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, in which (a)
7A to 7C are cross-sectional views of each step.

【図2】同上の実施の形態における配線板の断面図であ
る。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a wiring board according to the above embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 非貫通スルーホール 2 配線基板 3 絶縁樹脂 1 Non-through through hole 2 Wiring board 3 Insulating resin

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉岡 愼悟 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 高木 光司 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 池谷 晋一 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 藤原 弘明 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 伊藤 克彦 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 井原 清暁 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 小川 悟 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Shingo Yoshioka, 1048, Kadoma, Kadoma, Osaka Prefecture, Matsushita Electric Works Co., Ltd. 72) Inventor Shinichi Ikeya, 1048, Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture, Matsushita Electric Works Co., Ltd. (72) Hiroaki Fujiwara, 1048, Kadoma, Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Works Co., Ltd. (72) Inventor, Katsuhiko Ito, Osaka Prefecture 1048 Kadoma, Kadoma City, Matsushita Electric Works Co., Ltd. (72) Inventor, Kiyoaki Ihara, 1048 Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Osaka, Ltd. (72), Satoru Ogawa, 1048 Kadoma, Kadoma City, Osaka Matsushita Denko stock company

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 非貫通スルーホールを有する配線基板の
表面に絶縁樹脂を塗布すると共にこの絶縁樹脂を非貫通
スルーホールに充填させる工程を有して配線板を製造す
るにあたって、非貫通スルーホールの内周を溶媒で濡ら
した後に、絶縁樹脂を塗布して非貫通スルーホールに絶
縁樹脂を充填させることを特徴とする配線板の製造方
法。
1. A non-penetrating through hole is produced when a wiring board is manufactured by the steps of applying an insulating resin to a surface of a wiring board having a non-penetrating through hole and filling the insulating resin in the non-penetrating through hole. A method for manufacturing a wiring board, which comprises applying an insulating resin to the inner periphery of the non-penetrating through-hole and then filling the insulating resin with the insulating resin.
【請求項2】 溶媒を噴霧して非貫通スルーホールの内
周を溶媒で濡らすことを特徴とする請求項1に記載の配
線板の製造方法。
2. The method for manufacturing a wiring board according to claim 1, wherein a solvent is sprayed to wet the inner circumference of the non-penetrating through hole with the solvent.
【請求項3】 ロールコーターで配線基板の表面に溶媒
を塗布して非貫通スルーホールの内周を溶媒で濡らすこ
とを特徴とする請求項1に記載の配線板の製造方法。
3. The method for manufacturing a wiring board according to claim 1, wherein a solvent is applied to the surface of the wiring board by a roll coater to wet the inner circumference of the non-penetrating through hole with the solvent.
【請求項4】 配線基板を溶媒に浸漬して非貫通スルー
ホールの内周を溶媒で濡らすことを特徴とする請求項1
に記載の配線板の製造方法。
4. The wiring board is dipped in a solvent to wet the inner circumference of the non-penetrating through hole with the solvent.
3. The method for manufacturing a wiring board according to claim 1.
【請求項5】 スキージーで塗布することによって絶縁
樹脂を非貫通スルーホールに充填させることを特徴とす
る請求項1乃至4のいずれかに記載の配線板の製造方
法。
5. The method for manufacturing a wiring board according to claim 1, wherein the non-penetrating through hole is filled with the insulating resin by applying with a squeegee.
【請求項6】 バーコーターで塗布することによって絶
縁樹脂を非貫通スルーホールに充填させることを特徴と
する請求項1乃至4のいずれかに記載の配線板の製造方
法。
6. The method for manufacturing a wiring board according to claim 1, wherein the non-penetrating through holes are filled with the insulating resin by coating with a bar coater.
【請求項7】 流動性の異なる複数の絶縁樹脂を、流動
性の良いものから順に塗布することを特徴とする請求項
1乃至6のいずれかに記載の配線板の製造方法。
7. The method for manufacturing a wiring board according to claim 1, wherein a plurality of insulating resins having different fluidities are applied in order from the one having good fluidity.
【請求項8】 絶縁樹脂を非貫通スルーホールに充填す
る際に、配線基板を振動することを特徴とする請求項1
乃至7のいずれかに記載の配線板の製造方法。
8. The wiring board is vibrated when the non-penetrating through hole is filled with an insulating resin.
8. The method for manufacturing a wiring board according to any one of 7 to 7.
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