JPH09229905A - 磁気センサアレイの校正方法 - Google Patents
磁気センサアレイの校正方法Info
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- JPH09229905A JPH09229905A JP3188796A JP3188796A JPH09229905A JP H09229905 A JPH09229905 A JP H09229905A JP 3188796 A JP3188796 A JP 3188796A JP 3188796 A JP3188796 A JP 3188796A JP H09229905 A JPH09229905 A JP H09229905A
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- magnetic
- sensor array
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な方法で複数の磁気センサを正確に校正
し、信頼性と能率の向上を図る。 【解決手段】 磁気センサ３を複数個配置した磁気セン
サアレイを校正する方法であって、磁気センサ３の配列
方向に胴長方向が一致するように配置されたロール４の
表面に、その胴長方向に導線９を張り付け、この導線に
電流を流して磁界を発生させた状態でロール４を回転さ
せ、当該磁界を磁気センサ３で検出して、その出力に基
づいて校正を行う。
し、信頼性と能率の向上を図る。 【解決手段】 磁気センサ３を複数個配置した磁気セン
サアレイを校正する方法であって、磁気センサ３の配列
方向に胴長方向が一致するように配置されたロール４の
表面に、その胴長方向に導線９を張り付け、この導線に
電流を流して磁界を発生させた状態でロール４を回転さ
せ、当該磁界を磁気センサ３で検出して、その出力に基
づいて校正を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、漏洩磁束探傷器等
に用いられる磁気センサアレイ（複数個の磁気センサを
配列してなるもの）の出力を校正する方法に関するもの
である。
に用いられる磁気センサアレイ（複数個の磁気センサを
配列してなるもの）の出力を校正する方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】複数個の磁気センサを配列した磁気セン
サアレイは、漏洩磁束探傷器等に用いられている。漏洩
磁束探傷器の例を図４に示す。図４において、１は金属
帯、２は検出器、３は金属帯の幅方向に複数個配置され
た磁気センサ、４はロール、５はロール５の内部に配置
された磁化器、６励磁コイル、７は電源、８は検出回路
である。
サアレイは、漏洩磁束探傷器等に用いられている。漏洩
磁束探傷器の例を図４に示す。図４において、１は金属
帯、２は検出器、３は金属帯の幅方向に複数個配置され
た磁気センサ、４はロール、５はロール５の内部に配置
された磁化器、６励磁コイル、７は電源、８は検出回路
である。
【０００３】電源７により励磁コイル６に電流を流して
励磁し、磁化器５により金属帯１を磁化する。金属帯１
の表面又は内部に疵があると、疵に起因して金属帯１よ
り漏洩磁束が発生する。この漏洩磁束を検出器２内に複
数個配置された磁気センサ３により検出し、検出回路８
で信号処理を行うことにより疵を検出する。磁気センサ
３は、金属帯１の幅方向に、金属帯１の全幅を覆うよう
に複数個配列されているので、金属帯１を走行させなが
ら探傷を行うことにより、金属帯１の全面の探傷が可能
である。
励磁し、磁化器５により金属帯１を磁化する。金属帯１
の表面又は内部に疵があると、疵に起因して金属帯１よ
り漏洩磁束が発生する。この漏洩磁束を検出器２内に複
数個配置された磁気センサ３により検出し、検出回路８
で信号処理を行うことにより疵を検出する。磁気センサ
３は、金属帯１の幅方向に、金属帯１の全幅を覆うよう
に複数個配列されているので、金属帯１を走行させなが
ら探傷を行うことにより、金属帯１の全面の探傷が可能
である。
【０００４】この漏洩磁束探傷器により疵を検出するた
めには、各磁気センサ３の感度を均一にし、かつ、検出
される疵の大きさと磁気センサの出力の関係を所定の関
係に保つ必要があり、このために各磁気センサ３の校正
が必要である。
めには、各磁気センサ３の感度を均一にし、かつ、検出
される疵の大きさと磁気センサの出力の関係を所定の関
係に保つ必要があり、このために各磁気センサ３の校正
が必要である。
【０００５】磁気センサ３の校正方法としては、ドリル
穴等の人工疵を加工した金属帯を、人工疵が個々の磁気
センサ３の直下を通過するように移動させ、そのときの
磁気センサ３の出力が規定値となるように感度を調整す
ることが一般的に行われている。
穴等の人工疵を加工した金属帯を、人工疵が個々の磁気
センサ３の直下を通過するように移動させ、そのときの
磁気センサ３の出力が規定値となるように感度を調整す
ることが一般的に行われている。
【０００６】また、特開平３ー１３４５５５号公報に
は、人工疵を用いる代わりに、交流磁界を発生させ、こ
の磁界を磁気センサで検出させて、校正を行う方法が開
示されている。これは、図５に示すように、電源２３に
より校正用磁化器２２の励磁コイル２２ｂに交流電流を
流して校正用磁化器２２を磁化し、そのヨーク２２ａの
上面２２ｃから、磁気センサの検出領域より広い領域に
均一な交流磁界を発生させ、この磁界を磁気センサで検
出させて、その出力に基づいて校正を行うものである。
は、人工疵を用いる代わりに、交流磁界を発生させ、こ
の磁界を磁気センサで検出させて、校正を行う方法が開
示されている。これは、図５に示すように、電源２３に
より校正用磁化器２２の励磁コイル２２ｂに交流電流を
流して校正用磁化器２２を磁化し、そのヨーク２２ａの
上面２２ｃから、磁気センサの検出領域より広い領域に
均一な交流磁界を発生させ、この磁界を磁気センサで検
出させて、その出力に基づいて校正を行うものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記人
工疵を加工した金属帯を用いて校正を行う方法では、複
数の磁気センサを校正するためには、金属帯の位置を幅
方向に移動させて、同じ疵が各々のセンサの直下を通過
するようにする必要があり、磁気センサの数だけの回数
金属帯を移動させなければならず、多大な手間と時間を
要する。また、全ての磁気センサについて、磁気センサ
と通過する人工疵の相対位置を同一に保つことは非常に
困難である。
工疵を加工した金属帯を用いて校正を行う方法では、複
数の磁気センサを校正するためには、金属帯の位置を幅
方向に移動させて、同じ疵が各々のセンサの直下を通過
するようにする必要があり、磁気センサの数だけの回数
金属帯を移動させなければならず、多大な手間と時間を
要する。また、全ての磁気センサについて、磁気センサ
と通過する人工疵の相対位置を同一に保つことは非常に
困難である。
【０００８】これを避けるためには、幅方向に複数の人
工疵を加工した金属帯を用いて校正を行うことが考えら
れるが、全く同じ人工疵を複数個加工することは、特に
人工疵の大きさが小さい場合には非常に困難である。
工疵を加工した金属帯を用いて校正を行うことが考えら
れるが、全く同じ人工疵を複数個加工することは、特に
人工疵の大きさが小さい場合には非常に困難である。
【０００９】特開平３ー１３４５５５号に開示されてい
る方法では、このような問題点は解消される。しかし、
発生する磁界は、磁気センサを垂直に（図４において上
下方向に）貫通する磁界であり、実際の疵が磁気センサ
の直下を通過するときの漏洩磁束の分布形状とは異なる
ものである。よって、正確な校正が期待できない。ま
た、校正用磁化器２２直上の磁界の強度分布は、図６に
示すごとく、校正用磁化器２２の長さ方向においても幅
方向においても、エッジ近くで大きくなり、完全に均一
な特性が得られないという問題点がある。
る方法では、このような問題点は解消される。しかし、
発生する磁界は、磁気センサを垂直に（図４において上
下方向に）貫通する磁界であり、実際の疵が磁気センサ
の直下を通過するときの漏洩磁束の分布形状とは異なる
ものである。よって、正確な校正が期待できない。ま
た、校正用磁化器２２直上の磁界の強度分布は、図６に
示すごとく、校正用磁化器２２の長さ方向においても幅
方向においても、エッジ近くで大きくなり、完全に均一
な特性が得られないという問題点がある。
【００１０】本発明は、これらの問題点を解決するため
になされたもので、簡便な方法で正確に磁気センサアレ
イの校正を行う方法を提供することを目的とする。
になされたもので、簡便な方法で正確に磁気センサアレ
イの校正を行う方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題は、磁気センサ
アレイの配列方向に延線された導線に所定の電流を流し
て磁界を発生させ、当該磁界を基準磁界として用いて磁
気センサアレイの校正を行うことにより解決される。
アレイの配列方向に延線された導線に所定の電流を流し
て磁界を発生させ、当該磁界を基準磁界として用いて磁
気センサアレイの校正を行うことにより解決される。
【００１２】導線に電流を流すと、その導線の回りに磁
束が発生する。この磁束の大きさは、導線の長さ方向
（磁気センサの配列方向）のいずれの位置でも一定であ
るので、各磁気センサに対して同一の基準として用いる
ことができる。よって、所定の電流を流したとき、各磁
気センサの出力が予め定められた値になるように校正を
行うことにより、正確な校正が実施できる。また、導線
の回りに発生する磁界は、漏洩磁束探傷器において疵に
より発生する漏洩磁束と形状が類似しているので、漏洩
磁束探傷器に用いられる磁気センサアレイの校正に適し
ている。
束が発生する。この磁束の大きさは、導線の長さ方向
（磁気センサの配列方向）のいずれの位置でも一定であ
るので、各磁気センサに対して同一の基準として用いる
ことができる。よって、所定の電流を流したとき、各磁
気センサの出力が予め定められた値になるように校正を
行うことにより、正確な校正が実施できる。また、導線
の回りに発生する磁界は、漏洩磁束探傷器において疵に
より発生する漏洩磁束と形状が類似しているので、漏洩
磁束探傷器に用いられる磁気センサアレイの校正に適し
ている。
【００１３】磁気センサアレイの配列方向に延線された
導線に所定の電流を流して磁界を発生させながら磁気セ
ンサアレイの近傍を通過させ、当該磁界を基準磁界とし
て用いて磁気センサアレイの校正を行えば、例えば磁気
センサアレイの近傍を通過する疵の検出を行う場合の感
度ように、動的な感度の校正が可能である。
導線に所定の電流を流して磁界を発生させながら磁気セ
ンサアレイの近傍を通過させ、当該磁界を基準磁界とし
て用いて磁気センサアレイの校正を行えば、例えば磁気
センサアレイの近傍を通過する疵の検出を行う場合の感
度ように、動的な感度の校正が可能である。
【００１４】磁気センサアレイの配列方向に胴長方向が
一致するように配置されたロールの表面に、その胴長方
向に導線を張り付け、この導線に電流を流して磁界を発
生させた状態でロールを回転させ、当該磁界を基準磁界
として用いて磁気センサアレイの校正を行う方法によれ
ば、磁気センサアレイの配列方向と導線の延線方向を正
確に一致させることができ、かつ、繰り返し測定を行う
ことができる。よって、簡便な方法で正確な校正を行う
ことができる。
一致するように配置されたロールの表面に、その胴長方
向に導線を張り付け、この導線に電流を流して磁界を発
生させた状態でロールを回転させ、当該磁界を基準磁界
として用いて磁気センサアレイの校正を行う方法によれ
ば、磁気センサアレイの配列方向と導線の延線方向を正
確に一致させることができ、かつ、繰り返し測定を行う
ことができる。よって、簡便な方法で正確な校正を行う
ことができる。
【００１５】なお、本発明において、磁気センサアレイ
と称するものは、磁気センサを一体化して配列した物の
みでなく、複数の単体の磁気センサを単に配列した物を
も含む。
と称するものは、磁気センサを一体化して配列した物の
みでなく、複数の単体の磁気センサを単に配列した物を
も含む。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
用いて説明する。図１は、本発明を適用した装置の例の
概念を示す図であり、(a) は正面図、(b) は、縦断面図
である。図１において、図４と同一の部位には同一の符
号を付して説明を省略する。９は、ロール４の胴長方向
にそって張り付けられた導線、１０は電源である。
用いて説明する。図１は、本発明を適用した装置の例の
概念を示す図であり、(a) は正面図、(b) は、縦断面図
である。図１において、図４と同一の部位には同一の符
号を付して説明を省略する。９は、ロール４の胴長方向
にそって張り付けられた導線、１０は電源である。
【００１７】電源１０により導線９に規定電流を流し、
ロール４を回転させて導線９を各磁気センサ３の直下に
位置させ、各磁気センサ３の出力を検出する。そして、
各磁気センサ３の出力が所定値となるように感度を調整
する。これにより、静的な状態での各磁気センサ２の出
力の校正を行うことができる。
ロール４を回転させて導線９を各磁気センサ３の直下に
位置させ、各磁気センサ３の出力を検出する。そして、
各磁気センサ３の出力が所定値となるように感度を調整
する。これにより、静的な状態での各磁気センサ２の出
力の校正を行うことができる。
【００１８】ロール４を回転させた状態で、導線９が各
磁気センサ３の直下を通過するときの各磁気センサ３の
出力が所定値となるように感度を調整することにより、
動的な状態での各磁気センサ３の校正を行うことができ
る。
磁気センサ３の直下を通過するときの各磁気センサ３の
出力が所定値となるように感度を調整することにより、
動的な状態での各磁気センサ３の校正を行うことができ
る。
【００１９】なお、磁気センサ３の校正は、磁気センサ
３そのものの感度、バイアスを調整することにより行っ
てもよいし、磁気センサ３に接続された増幅器の感度、
バイアスを調整することによって行ってもよい。
３そのものの感度、バイアスを調整することにより行っ
てもよいし、磁気センサ３に接続された増幅器の感度、
バイアスを調整することによって行ってもよい。
【００２０】また、導線９は、ロール９に張り付けるの
でなく金属帯１に張り付けてもよいが、ロール９に張り
付けた場合には、ロール９を回転させることにより、簡
単に繰り返し測定が実施できるので好ましい。
でなく金属帯１に張り付けてもよいが、ロール９に張り
付けた場合には、ロール９を回転させることにより、簡
単に繰り返し測定が実施できるので好ましい。
【００２１】図２に、板厚 0.155mmの薄鋼板に直径が
0.05mm 、0.1mm 、0.2mm のドリルホール人工疵を加工
し、磁気センサの直下を通過させた場合の磁気センサの
出力信号の例を示す。図２によれば、磁気センサの出
力、即ち人工疵により発生する漏洩磁束の大きさは、人
工疵の直径の２乗、即ち人工疵の体積に比例しているこ
とが分かる。
0.05mm 、0.1mm 、0.2mm のドリルホール人工疵を加工
し、磁気センサの直下を通過させた場合の磁気センサの
出力信号の例を示す。図２によれば、磁気センサの出
力、即ち人工疵により発生する漏洩磁束の大きさは、人
工疵の直径の２乗、即ち人工疵の体積に比例しているこ
とが分かる。
【００２２】図３は、図１に示した装置において、導線
に流す電流値と磁気センサの出力信号の例を示すもので
ある。図３によれば、磁気センサの出力、即ち導線から
発生する磁束の大きさは電流に比例することがわかる。
に流す電流値と磁気センサの出力信号の例を示すもので
ある。図３によれば、磁気センサの出力、即ち導線から
発生する磁束の大きさは電流に比例することがわかる。
【００２３】図２と図３の関係に基づき、始めに、所定
の大きさの人工疵から発生する漏洩磁束に対応する磁束
を発生させる電流の値を決定しておき、以後はこの電流
を流したとき、磁気センサの出力が所定値になるように
磁気センサの感度を調整すればよい。
の大きさの人工疵から発生する漏洩磁束に対応する磁束
を発生させる電流の値を決定しておき、以後はこの電流
を流したとき、磁気センサの出力が所定値になるように
磁気センサの感度を調整すればよい。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、磁気センサアレイの配
列方向に延線された導線に所定の電流を流して磁界を発
生させ、当該磁界を基準磁界として用いて磁気センサア
レイの校正を行うので、簡単な方法で複数の磁気センサ
を正確に校正することができ、信頼性の向上と能率の向
上を図ることができる。
列方向に延線された導線に所定の電流を流して磁界を発
生させ、当該磁界を基準磁界として用いて磁気センサア
レイの校正を行うので、簡単な方法で複数の磁気センサ
を正確に校正することができ、信頼性の向上と能率の向
上を図ることができる。
【図１】 本発明を適用した装置の例の概念を示す図で
ある。
ある。
【図２】 人工疵の大きさと磁気センサの出力信号の関
係を示す図である。
係を示す図である。
【図３】 導線に流す電流と磁気センサの出力信号の関
係を示す図である。
係を示す図である。
【図４】 漏洩磁束探傷器の原理を示す図である。
【図５】 漏洩磁束探傷器の校正方法の従来例を示す図
である。
である。
【図６】 従来例における校正用磁化器の磁界の強度分
布を示す図である。
布を示す図である。
１ 金属帯 ２ 検出器 ３ 磁気センサ ４ ロール ５ 磁化器 ６ 励磁コイル ７ 電源 ８ 検出回路 ９ 導線 １０ 電源
Claims (3)
- 【請求項１】 複数個の磁気センサを配列してなる磁気
センサアレイの出力を校正する方法において、磁気セン
サアレイの配列方向に延線された導線に所定の電流を流
して磁界を発生させて当該導線を磁気センサアレイに対
面させ、当該磁界を基準磁界として用いて磁気センサア
レイの校正を行うことを特徴とする磁気センサアレイの
校正方法。 - 【請求項２】 複数個の磁気センサを配列してなる磁気
センサアレイの出力を校正する方法において、磁気セン
サアレイの配列方向に延線された導線に所定の電流を流
して磁界を発生させながら磁気センサアレイの近傍を通
過させ、当該磁界を基準磁界として用いて磁気センサア
レイの校正を行うことを特徴とする磁気センサアレイの
校正方法。 - 【請求項３】 複数個の磁気センサを配列してなる磁気
センサアレイの出力を校正する方法において、磁気セン
サアレイの配列方向に胴長方向が一致するように配置さ
れたロールの表面に、その胴長方向に導線を張り付け、
この導線に電流を流して磁界を発生させた状態でロール
を回転させ、当該磁界を基準磁界として用いて磁気セン
サアレイの校正を行うことを特徴とする磁気センサアレ
イの校正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03188796A JP3303650B2 (ja) | 1996-02-20 | 1996-02-20 | 磁気センサアレイの校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03188796A JP3303650B2 (ja) | 1996-02-20 | 1996-02-20 | 磁気センサアレイの校正方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09229905A true JPH09229905A (ja) | 1997-09-05 |
| JP3303650B2 JP3303650B2 (ja) | 2002-07-22 |
Family
ID=12343553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03188796A Expired - Fee Related JP3303650B2 (ja) | 1996-02-20 | 1996-02-20 | 磁気センサアレイの校正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3303650B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004354282A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Jfe Steel Kk | 漏洩磁束探傷装置 |
| CN101832969A (zh) * | 2008-06-04 | 2010-09-15 | 株式会社东芝 | 阵列型磁传感器基板 |
| JP2016057170A (ja) * | 2014-09-10 | 2016-04-21 | 株式会社ハシマ | 検出センサーの動作確認方法、検針機、及びテストピース |
| JP2016180684A (ja) * | 2015-03-24 | 2016-10-13 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 渦流探傷装置の感度補正方法および感度補正装置 |
| JP2018054301A (ja) * | 2016-09-26 | 2018-04-05 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 漏洩磁束探傷装置 |
| JP2019066460A (ja) * | 2017-08-07 | 2019-04-25 | ザ・ボーイング・カンパニーＴｈｅ Ｂｏｅｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙ | 大表面用磁界センサアレイ |
| KR20220149207A (ko) * | 2021-04-30 | 2022-11-08 | (주)시티케이 | 이동형 후판 탐상 장치 |
-
1996
- 1996-02-20 JP JP03188796A patent/JP3303650B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004354282A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Jfe Steel Kk | 漏洩磁束探傷装置 |
| CN101832969A (zh) * | 2008-06-04 | 2010-09-15 | 株式会社东芝 | 阵列型磁传感器基板 |
| JP2016057170A (ja) * | 2014-09-10 | 2016-04-21 | 株式会社ハシマ | 検出センサーの動作確認方法、検針機、及びテストピース |
| JP2016180684A (ja) * | 2015-03-24 | 2016-10-13 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 渦流探傷装置の感度補正方法および感度補正装置 |
| JP2018054301A (ja) * | 2016-09-26 | 2018-04-05 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 漏洩磁束探傷装置 |
| JP2019066460A (ja) * | 2017-08-07 | 2019-04-25 | ザ・ボーイング・カンパニーＴｈｅ Ｂｏｅｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙ | 大表面用磁界センサアレイ |
| KR20220149207A (ko) * | 2021-04-30 | 2022-11-08 | (주)시티케이 | 이동형 후판 탐상 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3303650B2 (ja) | 2002-07-22 |
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